JP2000153165A - 酸除去方法、酸除去装置および排水回収装置 - Google Patents
酸除去方法、酸除去装置および排水回収装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 酸化剤と酸を含む排水を処理するための、再
生時の洗浄性に優れた酸除去方法を提供する。 【解決手段】 酸化剤および酸成分を含有する被処理液
を、全イオン交換容量あたりの第四級アンモニウム基の
割合が、３０当量％超５０当量％以下である（メタ）ア
クリル−ジビニルベンゼン共重合体を母体とする弱塩基
性陰イオン交換樹脂で処理することを特徴とする被処理
液からの酸成分除去方法。
生時の洗浄性に優れた酸除去方法を提供する。 【解決手段】 酸化剤および酸成分を含有する被処理液
を、全イオン交換容量あたりの第四級アンモニウム基の
割合が、３０当量％超５０当量％以下である（メタ）ア
クリル−ジビニルベンゼン共重合体を母体とする弱塩基
性陰イオン交換樹脂で処理することを特徴とする被処理
液からの酸成分除去方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｈ2Ｏ2などの酸化
剤と塩酸等の酸成分を含有する排水、カチオン交換樹脂
処理水あるいは糖液等の被処理液から酸成分を除去する
酸除去方法、酸除去装置および酸除去装置を用いた排水
回収装置に関するものである。
剤と塩酸等の酸成分を含有する排水、カチオン交換樹脂
処理水あるいは糖液等の被処理液から酸成分を除去する
酸除去方法、酸除去装置および酸除去装置を用いた排水
回収装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】酸成分を含む排水等から酸成分を除去す
る酸除去装置としては、従来から弱塩基性陰イオン交換
樹脂を塔やカラムに充填したものが用いられている。
る酸除去装置としては、従来から弱塩基性陰イオン交換
樹脂を塔やカラムに充填したものが用いられている。
【０００３】弱塩基性陰イオン交換樹脂の官能基は第一
〜第三級アミノ基であり、これらの官能基は、水中での
解離は弱く、中性塩分解反応は起こらないが、酸を効率
よく吸着するという特性を有している。また、弱塩基性
陰イオン交換樹脂は、再生効率がよいので、酸の除去や
純水製造装置の陽イオン交換樹脂塔の後段に強塩基性陰
イオン交換樹脂と併用して用いられている。
〜第三級アミノ基であり、これらの官能基は、水中での
解離は弱く、中性塩分解反応は起こらないが、酸を効率
よく吸着するという特性を有している。また、弱塩基性
陰イオン交換樹脂は、再生効率がよいので、酸の除去や
純水製造装置の陽イオン交換樹脂塔の後段に強塩基性陰
イオン交換樹脂と併用して用いられている。
【０００４】弱塩基性陰イオン交換樹脂は母体として、
主にスチレン−ジビニルベンゼン共重合体または、アク
リル−ジビニルベンゼン共重合体が用いられている。
主にスチレン−ジビニルベンゼン共重合体または、アク
リル−ジビニルベンゼン共重合体が用いられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】アクリル酸および／ま
たはその誘導体とジビニルベンゼン共重合体を母体とす
る弱塩基性陰イオン交換樹脂（以下、「アクリル系弱塩
基性陰イオン交換樹脂」と略称する）は、母体の性質
上、高いイオン交換容量を有している。しかし、半導体
の工程排水等に含まれるＨ2Ｏ2などの酸化剤がわずかに
混入した排水等を処理すると、アルカリ通液後の洗浄性
が悪化してしまうため、再生剤として使用したアルカリ
を洗浄して、再生可能となる所定の水質にするために
は、多量の洗浄水を用いるか、あるいはリークしてくる
ＮａＯＨを除去するためのカチオン樹脂が必要となる。
たはその誘導体とジビニルベンゼン共重合体を母体とす
る弱塩基性陰イオン交換樹脂（以下、「アクリル系弱塩
基性陰イオン交換樹脂」と略称する）は、母体の性質
上、高いイオン交換容量を有している。しかし、半導体
の工程排水等に含まれるＨ2Ｏ2などの酸化剤がわずかに
混入した排水等を処理すると、アルカリ通液後の洗浄性
が悪化してしまうため、再生剤として使用したアルカリ
を洗浄して、再生可能となる所定の水質にするために
は、多量の洗浄水を用いるか、あるいはリークしてくる
ＮａＯＨを除去するためのカチオン樹脂が必要となる。
【０００６】アクリル系弱塩基性陰イオン交換樹脂にお
いて、酸化剤と接触するとアルカリ再生後の洗浄性が悪
くなるのは、母体のアクリル−ジビニルベンゼン共重合
体の骨格に存在するＣ＝Ｏ基の一部が、酸化剤により−
ＣＯＯ-基となり、この−ＣＯＯ-基が再生剤のＮａＯＨ
と接触することにより−ＣＯＯＮａとなり、この−ＣＯ
ＯＮａが洗浄時に加水分解されＮａ+がリークするため
である。
いて、酸化剤と接触するとアルカリ再生後の洗浄性が悪
くなるのは、母体のアクリル−ジビニルベンゼン共重合
体の骨格に存在するＣ＝Ｏ基の一部が、酸化剤により−
ＣＯＯ-基となり、この−ＣＯＯ-基が再生剤のＮａＯＨ
と接触することにより−ＣＯＯＮａとなり、この−ＣＯ
ＯＮａが洗浄時に加水分解されＮａ+がリークするため
である。
【０００７】被処理水に含まれるＨ2Ｏ2等の酸化剤を除
去するためにアクリル系弱塩基性陰イオン交換樹脂塔の
前段に活性炭塔を設けたとしても、活性炭塔からリーク
してくるわずかなＨ2Ｏ2や被処理液水中のＨ2Ｏ2濃度の
変動により活性炭塔からリークしてくるＨ2Ｏ2によりア
クリル系弱塩基性陰イオン交換樹脂の洗浄性は悪化す
る。
去するためにアクリル系弱塩基性陰イオン交換樹脂塔の
前段に活性炭塔を設けたとしても、活性炭塔からリーク
してくるわずかなＨ2Ｏ2や被処理液水中のＨ2Ｏ2濃度の
変動により活性炭塔からリークしてくるＨ2Ｏ2によりア
クリル系弱塩基性陰イオン交換樹脂の洗浄性は悪化す
る。
【０００８】一方、スチレン−ジビニルベンゼン共重合
体を母体とする弱塩基性陰イオン交換樹脂（以下、「ス
チレン系弱塩基性陰イオン交換樹脂」と略称する）は少
量のＨ2Ｏ2と接触しても、再生時におけるアルカリ通液
後の洗浄性は良好であるが、母体の性質上、アクリル系
弱塩基性陰イオン交換樹脂よりもイオン交換容量が少な
いため、一定量の被処理液を処理するためには多量の樹
脂が必要となる。そのため、スチレン系弱塩基性陰イオ
ン交換樹脂を用いた酸除去装置を大きくしなければなら
ない。
体を母体とする弱塩基性陰イオン交換樹脂（以下、「ス
チレン系弱塩基性陰イオン交換樹脂」と略称する）は少
量のＨ2Ｏ2と接触しても、再生時におけるアルカリ通液
後の洗浄性は良好であるが、母体の性質上、アクリル系
弱塩基性陰イオン交換樹脂よりもイオン交換容量が少な
いため、一定量の被処理液を処理するためには多量の樹
脂が必要となる。そのため、スチレン系弱塩基性陰イオ
ン交換樹脂を用いた酸除去装置を大きくしなければなら
ない。
【０００９】従って、Ｈ2Ｏ2等の酸化剤と酸成分を含む
被処理液から酸成分を除去する装置を製造するには、樹
脂量と洗浄水量のバランスを考えて、アクリル系弱塩基
性陰イオン交換樹脂またはスチレン系弱塩基性陰イオン
交換樹脂を使い分けるか、アクリル系弱塩基性陰イオン
交換樹脂を用いる場合は、リークするＮａＯＨを除去す
るために後段に陽イオン交換樹脂塔を設置したり、被処
理液中のカチオン除去のために後段に設置された陽イオ
ン交換樹脂塔の樹脂量を増やさなければならず、操作の
煩雑化、装置の複雑化あるいは装置の大型化を招いてい
た。
被処理液から酸成分を除去する装置を製造するには、樹
脂量と洗浄水量のバランスを考えて、アクリル系弱塩基
性陰イオン交換樹脂またはスチレン系弱塩基性陰イオン
交換樹脂を使い分けるか、アクリル系弱塩基性陰イオン
交換樹脂を用いる場合は、リークするＮａＯＨを除去す
るために後段に陽イオン交換樹脂塔を設置したり、被処
理液中のカチオン除去のために後段に設置された陽イオ
ン交換樹脂塔の樹脂量を増やさなければならず、操作の
煩雑化、装置の複雑化あるいは装置の大型化を招いてい
た。
【００１０】本発明が解決しようとする課題は、酸化剤
と酸を含む排水を処理するための、より小型で、再生時
の洗浄性に優れた酸除去方法、酸除去装置および酸除去
装置を用いた排水回収装置を提供することである。
と酸を含む排水を処理するための、より小型で、再生時
の洗浄性に優れた酸除去方法、酸除去装置および酸除去
装置を用いた排水回収装置を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題を
解決するため鋭意研究を重ねた結果、アクリル系弱塩基
性陰イオン交換樹脂において、全イオン交換容量あたり
の第四級アンモニウム塩の割合を特定の範囲とすればよ
いことを見出し、本発明を完成するに至った。
解決するため鋭意研究を重ねた結果、アクリル系弱塩基
性陰イオン交換樹脂において、全イオン交換容量あたり
の第四級アンモニウム塩の割合を特定の範囲とすればよ
いことを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１２】すなわち、請求項１に記載の本発明は酸化
剤および酸成分を含有する被処理液を、全イオン交換容
量あたりの第四級アンモニウム基の割合が、３０当量％
超５０当量％以下である（メタ）アクリル−ジビニルベ
ンゼン共重合体を母体とする弱塩基性陰イオン交換樹脂
で処理することを特徴とする被処理液からの酸成分除去
方法に関するものである。
剤および酸成分を含有する被処理液を、全イオン交換容
量あたりの第四級アンモニウム基の割合が、３０当量％
超５０当量％以下である（メタ）アクリル−ジビニルベ
ンゼン共重合体を母体とする弱塩基性陰イオン交換樹脂
で処理することを特徴とする被処理液からの酸成分除去
方法に関するものである。
【００１３】請求項２に記載の本発明は、酸化剤および
酸成分を含有する被処理液から酸成分を除去する酸除去
装置であって、全イオン交換容量あたりの第四級アンモ
ニウム基の割合が、３０当量％超５０当量％以下である
（メタ）アクリル−ジビニルベンゼン共重合体を母体と
する弱塩基性陰イオン交換樹脂を用いることを特徴とす
る酸除去装置に関するものである。
酸成分を含有する被処理液から酸成分を除去する酸除去
装置であって、全イオン交換容量あたりの第四級アンモ
ニウム基の割合が、３０当量％超５０当量％以下である
（メタ）アクリル−ジビニルベンゼン共重合体を母体と
する弱塩基性陰イオン交換樹脂を用いることを特徴とす
る酸除去装置に関するものである。
【００１４】また、請求項３に記載の本発明は、酸化剤
および酸成分を含有する工程排水を処理して排水を回収
する装置であって、酸化剤および酸成分を含有する工程
排水を通液する活性炭塔、活性炭塔から流出する処理液
を通液する請求項２に記載の酸除去装置、および酸除去
装置から流出する処理液を通液する脱塩装置からなるこ
とを特徴とする排水回収装置に関するものである。
および酸成分を含有する工程排水を処理して排水を回収
する装置であって、酸化剤および酸成分を含有する工程
排水を通液する活性炭塔、活性炭塔から流出する処理液
を通液する請求項２に記載の酸除去装置、および酸除去
装置から流出する処理液を通液する脱塩装置からなるこ
とを特徴とする排水回収装置に関するものである。
【００１５】さらに、請求項４に記載の本発明は、酸化
剤および酸成分を含有する工程排水を処理して超純水原
水として排水を回収する装置であって、酸化剤および酸
成分を含有する工程排水を通液する活性炭塔、活性炭塔
から流出する処理液を通液する請求項２に記載の酸除去
装置、酸除去装置から流出する処理液を通液する脱塩装
置、脱塩装置から流出する処理液を通液する紫外線酸化
装置、紫外線酸化装置から流出する処理液を通液する活
性炭塔、および活性炭塔から流出する処理液を精密濾過
する精密フィルターからなることを特徴とする排水回収
装置に関するものである。
剤および酸成分を含有する工程排水を処理して超純水原
水として排水を回収する装置であって、酸化剤および酸
成分を含有する工程排水を通液する活性炭塔、活性炭塔
から流出する処理液を通液する請求項２に記載の酸除去
装置、酸除去装置から流出する処理液を通液する脱塩装
置、脱塩装置から流出する処理液を通液する紫外線酸化
装置、紫外線酸化装置から流出する処理液を通液する活
性炭塔、および活性炭塔から流出する処理液を精密濾過
する精密フィルターからなることを特徴とする排水回収
装置に関するものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明の酸除去方法および酸除去
装置に用いられるイオン交換樹脂は、全イオン交換容量
あたりの第四級アンモニウム基の割合が、３０当量％超
５０当量％以下である（メタ）アクリル−ジビニルベン
ゼン共重合体を母体とする弱塩基性陰イオン交換樹脂で
ある。
装置に用いられるイオン交換樹脂は、全イオン交換容量
あたりの第四級アンモニウム基の割合が、３０当量％超
５０当量％以下である（メタ）アクリル−ジビニルベン
ゼン共重合体を母体とする弱塩基性陰イオン交換樹脂で
ある。
【００１７】本発明の全イオン交換容量あたりの第四級
アンモニウム基の割合が、３０当量％超５０当量％以下
である（メタ）アクリル−ジビニルベンゼン共重合体を
母体とする弱塩基性陰イオン交換樹脂は、モノビニル単
量体単位としての（メタ）アクリル部位とポリビニル単
量体単位としてのジビニルベンゼンより構成されてい
る。そして、モノビニル単量体単位の（メタ）アクリル
部位に第一〜第三級アミノ基等の弱塩基性の官能基が導
入されたものであり、本発明の場合には、強塩基性官能
基である第四級アンモニウム塩が全イオン交換容量あた
り３０当量％超５０当量％以下当量％の範囲で導入され
たものである。従って、本発明の酸除去装置に用いられ
る弱塩基性陰イオン交換樹脂は、全イオン交換容量あた
りの第一〜第三級アミノ基等の弱塩基性の官能基の割合
は、５０〜７０当量％である。
アンモニウム基の割合が、３０当量％超５０当量％以下
である（メタ）アクリル−ジビニルベンゼン共重合体を
母体とする弱塩基性陰イオン交換樹脂は、モノビニル単
量体単位としての（メタ）アクリル部位とポリビニル単
量体単位としてのジビニルベンゼンより構成されてい
る。そして、モノビニル単量体単位の（メタ）アクリル
部位に第一〜第三級アミノ基等の弱塩基性の官能基が導
入されたものであり、本発明の場合には、強塩基性官能
基である第四級アンモニウム塩が全イオン交換容量あた
り３０当量％超５０当量％以下当量％の範囲で導入され
たものである。従って、本発明の酸除去装置に用いられ
る弱塩基性陰イオン交換樹脂は、全イオン交換容量あた
りの第一〜第三級アミノ基等の弱塩基性の官能基の割合
は、５０〜７０当量％である。
【００１８】本発明の弱塩基性陰イオン交換樹脂の全イ
オン交換容量あたりの第四級アンモニウム基の割合が３
０当量％以下では、再生時の洗浄性の改善が十分でな
く、また５０当量％を超えると再生効率が悪くなるため
好ましくない。
オン交換容量あたりの第四級アンモニウム基の割合が３
０当量％以下では、再生時の洗浄性の改善が十分でな
く、また５０当量％を超えると再生効率が悪くなるため
好ましくない。
【００１９】本発明の酸除去装置は、上記の弱塩基性陰
イオン交換樹脂を用いたものであり、例えば塔やカラム
に上記の弱塩基性陰イオン交換樹脂を充填した装置を挙
げることができる。また、本発明の酸除去装置は、上記
の弱塩基性陰イオン交換樹脂と他のイオン交換樹脂を併
用してもよい。
イオン交換樹脂を用いたものであり、例えば塔やカラム
に上記の弱塩基性陰イオン交換樹脂を充填した装置を挙
げることができる。また、本発明の酸除去装置は、上記
の弱塩基性陰イオン交換樹脂と他のイオン交換樹脂を併
用してもよい。
【００２０】本発明の酸除去方法および酸除去装置で除
去できる酸成分としては、塩酸、硫酸、フッ酸等の鉱酸
や酢酸、ギ酸等の有機酸である。また、被処理液中に共
存してもよい酸化剤としては、過酸化水素、次亜塩素酸
などである。
去できる酸成分としては、塩酸、硫酸、フッ酸等の鉱酸
や酢酸、ギ酸等の有機酸である。また、被処理液中に共
存してもよい酸化剤としては、過酸化水素、次亜塩素酸
などである。
【００２１】本発明の酸除去装置が処理しうる被処理水
としては、酸成分と酸化剤を含有する排水や、純水ある
いは超純水の製造工程におけるＨ形の陽イオン交換樹脂
によって脱カチオンされた酸化剤を含む酸性の液体から
酸成分を除去するために用いることができる。
としては、酸成分と酸化剤を含有する排水や、純水ある
いは超純水の製造工程におけるＨ形の陽イオン交換樹脂
によって脱カチオンされた酸化剤を含む酸性の液体から
酸成分を除去するために用いることができる。
【００２２】本願発明の酸除去装置は、イオン交換樹脂
を用いる２床３塔、３床４塔、４床５塔形等の複床式純
水製造装置、複層床式純水製造装置、混床式純水製造装
置、電気式脱イオン水製造装置などのイオン交換装置や
逆浸透膜装置と組み合わせて、純水製造に用いることが
できる。本発明の酸除去装置を複層床純水製造装置に用
いる場合は、上記の弱塩基性陰イオン交換樹脂と強塩基
性陰イオン交換樹脂を同一の塔に充填した酸除去装置を
陰イオン交換塔として用いてもよい。また、本発明の酸
除去装置の前段に酸化剤濃度を低減させるために活性炭
塔を設置してもよい。
を用いる２床３塔、３床４塔、４床５塔形等の複床式純
水製造装置、複層床式純水製造装置、混床式純水製造装
置、電気式脱イオン水製造装置などのイオン交換装置や
逆浸透膜装置と組み合わせて、純水製造に用いることが
できる。本発明の酸除去装置を複層床純水製造装置に用
いる場合は、上記の弱塩基性陰イオン交換樹脂と強塩基
性陰イオン交換樹脂を同一の塔に充填した酸除去装置を
陰イオン交換塔として用いてもよい。また、本発明の酸
除去装置の前段に酸化剤濃度を低減させるために活性炭
塔を設置してもよい。
【００２３】図１に本発明の酸除去装置を用いた、半導
体工場の酸化剤と酸成分を含む排水を回収して再利用す
るための排水回収装置の一実施形態をフロー図で示す。
体工場の酸化剤と酸成分を含む排水を回収して再利用す
るための排水回収装置の一実施形態をフロー図で示す。
【００２４】酸化剤および酸成分を含む工程排水は、活
性炭塔、請求項２に記載の酸除去装置、脱塩装置（図１
の実施形態では、脱塩装置の一例として、強酸性陽イオ
ン交換樹脂塔と強塩基性陰イオン交換塔からなるイオン
交換装置を例示している）の順に通液され、雑用水とし
て回収される。超純水の原水として回収する場合は、さ
らに脱塩装置から流出してくる処理水を紫外線酸化装置
で処理して、活性炭塔、精密フィルターで処理される。
性炭塔、請求項２に記載の酸除去装置、脱塩装置（図１
の実施形態では、脱塩装置の一例として、強酸性陽イオ
ン交換樹脂塔と強塩基性陰イオン交換塔からなるイオン
交換装置を例示している）の順に通液され、雑用水とし
て回収される。超純水の原水として回収する場合は、さ
らに脱塩装置から流出してくる処理水を紫外線酸化装置
で処理して、活性炭塔、精密フィルターで処理される。
【００２５】排水回収装置の活性炭塔では、工程排水中
の過酸化水素水の大部分が除去される。次に本発明の弱
塩基性陰イオン交換樹脂を充填した酸除去装置で酸成分
が除去される。脱塩装置の強酸性陽イオン交換樹脂塔で
は、排水中のＫ+やＮａ+などのカチオンが除去され、脱
塩装置の強塩基性陰イオン交換樹脂塔ではシリカおよび
残りのアニオンが除去される。紫外線酸化装置では前段
装置で処理できない有機物が分解除去される。活性炭塔
では紫外線酸化装置で添加する酸化剤の残留物の除去お
よび有機物の除去が行われる。精密フィルターにより微
少な粒子が除去され超純水原水として回収される。
の過酸化水素水の大部分が除去される。次に本発明の弱
塩基性陰イオン交換樹脂を充填した酸除去装置で酸成分
が除去される。脱塩装置の強酸性陽イオン交換樹脂塔で
は、排水中のＫ+やＮａ+などのカチオンが除去され、脱
塩装置の強塩基性陰イオン交換樹脂塔ではシリカおよび
残りのアニオンが除去される。紫外線酸化装置では前段
装置で処理できない有機物が分解除去される。活性炭塔
では紫外線酸化装置で添加する酸化剤の残留物の除去お
よび有機物の除去が行われる。精密フィルターにより微
少な粒子が除去され超純水原水として回収される。
【００２６】
【作用】本発明の酸除去装置において、アルカリ通薬後
の洗浄性がよい理由として、本発明の酸除去装置に用い
る弱塩基性陰イオン交換樹脂は交換基の一部が第四級ア
ンモニウム基であるため、（１）母体の−ＣＯＯ-と第
四級アンモニウム基が樹脂内で塩を形成し、再生時の−
ＣＯＯＮａの生成を抑制する、（２）第四級アンモニウ
ム基はプラスの電荷を有しているので、ナトリウムイオ
ンとの静電的な反発により樹脂層内へのナトリウムイオ
ンの拡散を抑制し、そのため−ＣＯＯＮａの生成が押さ
えられるため、などが考えられる。
の洗浄性がよい理由として、本発明の酸除去装置に用い
る弱塩基性陰イオン交換樹脂は交換基の一部が第四級ア
ンモニウム基であるため、（１）母体の−ＣＯＯ-と第
四級アンモニウム基が樹脂内で塩を形成し、再生時の−
ＣＯＯＮａの生成を抑制する、（２）第四級アンモニウ
ム基はプラスの電荷を有しているので、ナトリウムイオ
ンとの静電的な反発により樹脂層内へのナトリウムイオ
ンの拡散を抑制し、そのため−ＣＯＯＮａの生成が押さ
えられるため、などが考えられる。
【００２７】
【実施例】アクリル製カラムに表１に示した弱塩基性陰
イオン交換樹脂を充填し、本発明の酸除去装置を作製し
た。
イオン交換樹脂を充填し、本発明の酸除去装置を作製し
た。
【００２８】
【表１】
【００２９】上記酸除去装置に、原水（純水に塩酸２０
０mg as CaCO3/L、過酸化水素５mgas H2O2/Lとなるよう
に溶解したもの）をＬＶ３０ｍ／Ｈで充填樹脂の４００
倍量通液した後、２ｗｔ％ＮａＯＨ水溶液を、使用した
陰イオン交換樹脂の総交換容量の２倍量（当量）だけ通
液（通液ＳＶ４）し、次いで樹脂量の２倍量の純水をＳ
Ｖ４で通水（押し出し）してさらに樹脂量の２倍量の純
水をＳＶ１０で通水して樹脂を再生した。この一連の通
水−再生操作を１００回繰り返した。
０mg as CaCO3/L、過酸化水素５mgas H2O2/Lとなるよう
に溶解したもの）をＬＶ３０ｍ／Ｈで充填樹脂の４００
倍量通液した後、２ｗｔ％ＮａＯＨ水溶液を、使用した
陰イオン交換樹脂の総交換容量の２倍量（当量）だけ通
液（通液ＳＶ４）し、次いで樹脂量の２倍量の純水をＳ
Ｖ４で通水（押し出し）してさらに樹脂量の２倍量の純
水をＳＶ１０で通水して樹脂を再生した。この一連の通
水−再生操作を１００回繰り返した。
【００３０】上記処理を行った樹脂に再び上記原水を４
００倍量通水し、２ｗｔ％ＮａＯＨ水溶液を、陰イオン
交換樹脂の総交換容量の２倍量（当量）だけ通薬して再
生し、ついで樹脂量の２倍量の純水をＳＶ４で通水（押
し出し）した。その後、以下の洗浄試験と通水試験を行
い、その結果を表２に示した。 ・洗浄試験 純水をＳＶ１０で通水し、洗浄排水のｐＨを測定し、ｐ
Ｈ１０になるまでに要する洗浄水量を測定した。 ・通水試験 上記洗浄試験終了後、上記原水をＬＶ３０ｍ／Ｈで通水
し、処理水のｐＨが５に達した点を終点とした時の処理
水量を求めた。
００倍量通水し、２ｗｔ％ＮａＯＨ水溶液を、陰イオン
交換樹脂の総交換容量の２倍量（当量）だけ通薬して再
生し、ついで樹脂量の２倍量の純水をＳＶ４で通水（押
し出し）した。その後、以下の洗浄試験と通水試験を行
い、その結果を表２に示した。 ・洗浄試験 純水をＳＶ１０で通水し、洗浄排水のｐＨを測定し、ｐ
Ｈ１０になるまでに要する洗浄水量を測定した。 ・通水試験 上記洗浄試験終了後、上記原水をＬＶ３０ｍ／Ｈで通水
し、処理水のｐＨが５に達した点を終点とした時の処理
水量を求めた。
【００３１】
【表２】
【００３２】比較例１〜３ 総イオン交換容量あたりの第四級アンモニウム基が０当
量％、１０当量％、８５当量％であるアクリル系陰イオ
ン交換樹脂を用いて、実施例１に準じて酸除去装置を調
製し、実施例１と同様に通水試験と洗浄試験を行った。
結果を表３に示す。
量％、１０当量％、８５当量％であるアクリル系陰イオ
ン交換樹脂を用いて、実施例１に準じて酸除去装置を調
製し、実施例１と同様に通水試験と洗浄試験を行った。
結果を表３に示す。
【００３３】
【表３】
【００３４】比較例４ スチレン系の弱塩基性陰イオン交換樹脂を用いて実施例
１に準じて酸除去装置を調製し、実施例１と同様に通水
試験と洗浄試験を行った。結果を表４に示す。
１に準じて酸除去装置を調製し、実施例１と同様に通水
試験と洗浄試験を行った。結果を表４に示す。
【００３５】
【表４】
【００３６】表２〜表４の結果から明らかなように、従
来の第四級アンモニウム基が０当量％であるアクリル系
弱塩基性陰イオン交換樹脂を用いた比較例１の酸除去装
置に比較して、本発明の酸除去装置は洗浄水量を著しく
削減できることがわかる。
来の第四級アンモニウム基が０当量％であるアクリル系
弱塩基性陰イオン交換樹脂を用いた比較例１の酸除去装
置に比較して、本発明の酸除去装置は洗浄水量を著しく
削減できることがわかる。
【００３７】一方、第四級アンモニウム基が１０当量％
のアクリル系弱塩基性陰イオン交換樹脂を用いた比較例
２の酸除去装置は、洗浄性に改善が見られず、第四級ア
ンモニウム基が８５当量％のアクリル系陰イオン交換樹
脂を用いた比較例４の酸除去装置は、洗浄性は良好なも
のの、現状使用している第四級アンモニウム基が０当量
％のアクリル系弱塩基性陰イオン交換樹脂やスチレン系
弱塩基性陰イオン交換樹脂よりも処理水量が低かった。
のアクリル系弱塩基性陰イオン交換樹脂を用いた比較例
２の酸除去装置は、洗浄性に改善が見られず、第四級ア
ンモニウム基が８５当量％のアクリル系陰イオン交換樹
脂を用いた比較例４の酸除去装置は、洗浄性は良好なも
のの、現状使用している第四級アンモニウム基が０当量
％のアクリル系弱塩基性陰イオン交換樹脂やスチレン系
弱塩基性陰イオン交換樹脂よりも処理水量が低かった。
【００３８】
【発明の効果】本発明の酸除去方法、酸除去装置および
排水回収装置は、酸化剤と酸成分を含む排水等の処理に
おいて、（１）再生時の洗浄性がよいので、洗浄水量を
削減できる、（２）リークするＮａＯＨ除去のための陽
イオン交換樹脂あるいは陽イオン交換塔が不要となる、
（３）洗浄性が同程度のスチレン系弱塩基性陰イオン交
換樹脂と比較して交換容量が高いので、装置全体を小型
化できる、という効果を有している。
排水回収装置は、酸化剤と酸成分を含む排水等の処理に
おいて、（１）再生時の洗浄性がよいので、洗浄水量を
削減できる、（２）リークするＮａＯＨ除去のための陽
イオン交換樹脂あるいは陽イオン交換塔が不要となる、
（３）洗浄性が同程度のスチレン系弱塩基性陰イオン交
換樹脂と比較して交換容量が高いので、装置全体を小型
化できる、という効果を有している。
【図１】半導体工場の酸化剤および酸成分を含む工程排
水を回収して再利用するための排水回収装置の一実施形
態を示すフロー図。
水を回収して再利用するための排水回収装置の一実施形
態を示すフロー図。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年１０月４日（１９９９．１０．
４）
４）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３７】一方、第四級アンモニウム基が１０当量％
のアクリル系弱塩基性陰イオン交換樹脂を用いた比較例
２の酸除去装置は、洗浄性に改善が見られず、第四級ア
ンモニウム基が８５当量％のアクリル系陰イオン交換樹
脂を用いた比較例３の酸除去装置は、洗浄性は良好なも
のの、現状使用している第四級アンモニウム基が０当量
％のアクリル系弱塩基性陰イオン交換樹脂を用いた酸除
去装置（比較例１）やスチレン系弱塩基性陰イオン交換
樹脂を用いた酸除去装置（比較例４）よりも処理水量が
低かった。
のアクリル系弱塩基性陰イオン交換樹脂を用いた比較例
２の酸除去装置は、洗浄性に改善が見られず、第四級ア
ンモニウム基が８５当量％のアクリル系陰イオン交換樹
脂を用いた比較例３の酸除去装置は、洗浄性は良好なも
のの、現状使用している第四級アンモニウム基が０当量
％のアクリル系弱塩基性陰イオン交換樹脂を用いた酸除
去装置（比較例１）やスチレン系弱塩基性陰イオン交換
樹脂を用いた酸除去装置（比較例４）よりも処理水量が
低かった。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０２Ｆ 9/00 ５０２ Ｃ０２Ｆ 9/00 ５０２Ｎ ５０２Ｇ ５０４ ５０４Ｂ ５０４Ｅ
Claims (4)
- 【請求項１】 酸化剤および酸成分を含有する被処理液
を、全イオン交換容量あたりの第四級アンモニウム基の
割合が、３０当量％超５０当量％以下である（メタ）ア
クリル−ジビニルベンゼン共重合体を母体とする弱塩基
性陰イオン交換樹脂で処理することを特徴とする被処理
液からの酸成分除去方法。 - 【請求項２】 酸化剤および酸成分を含有する被処理液
から酸成分を除去する酸除去装置であって、全イオン交
換容量あたりの第四級アンモニウム基の割合が、３０当
量％超５０当量％以下である（メタ）アクリル−ジビニ
ルベンゼン共重合体を母体とする弱塩基性陰イオン交換
樹脂を用いることを特徴とする酸除去装置。 - 【請求項３】 酸化剤および酸成分を含有する工程排水
を処理して排水を回収する装置であって、酸化剤および
酸成分を含有する工程排水を通液する活性炭塔、活性炭
塔から流出する処理液を通液する請求項２に記載の酸除
去装置、および酸除去装置から流出する処理液を通液す
る脱塩装置からなることを特徴とする排水回収装置。 - 【請求項４】 酸化剤および酸成分を含有する工程排水
を処理して超純水原水として排水を回収する装置であっ
て、酸化剤および酸成分を含有する工程排水を通液する
活性炭塔、活性炭塔から流出する処理液を通液する請求
項２に記載の酸除去装置、酸除去装置から流出する処理
液を通液する脱塩装置、脱塩装置から流出する処理液を
通液する紫外線酸化装置、紫外線酸化装置から流出する
処理液を通液する活性炭塔および活性炭塔から流出する
処理液を精密濾過する精密フィルターからなることを特
徴とする排水回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33317898A JP3963599B2 (ja) | 1998-11-24 | 1998-11-24 | 酸成分除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33317898A JP3963599B2 (ja) | 1998-11-24 | 1998-11-24 | 酸成分除去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000153165A true JP2000153165A (ja) | 2000-06-06 |
| JP3963599B2 JP3963599B2 (ja) | 2007-08-22 |
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ID=18263183
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33317898A Expired - Fee Related JP3963599B2 (ja) | 1998-11-24 | 1998-11-24 | 酸成分除去方法 |
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|---|---|
| JP (1) | JP3963599B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114502279A (zh) * | 2019-11-07 | 2022-05-13 | 奥加诺株式会社 | 非水电解液的制造装置和非水电解液的制造方法 |
-
1998
- 1998-11-24 JP JP33317898A patent/JP3963599B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114502279A (zh) * | 2019-11-07 | 2022-05-13 | 奥加诺株式会社 | 非水电解液的制造装置和非水电解液的制造方法 |
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