JP2000147335A - レーザダイオードモジュールおよびその作製方法 - Google Patents
レーザダイオードモジュールおよびその作製方法Info
- Publication number
- JP2000147335A JP2000147335A JP10341145A JP34114598A JP2000147335A JP 2000147335 A JP2000147335 A JP 2000147335A JP 10341145 A JP10341145 A JP 10341145A JP 34114598 A JP34114598 A JP 34114598A JP 2000147335 A JP2000147335 A JP 2000147335A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ferrule
- laser diode
- fixed
- diode element
- fixing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/4236—Fixing or mounting methods of the aligned elements
- G02B6/4237—Welding
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4202—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/422—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
- G02B6/4225—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements by a direct measurement of the degree of coupling, e.g. the amount of light power coupled to the fibre or the opto-electronic element
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/422—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
- G02B6/4226—Positioning means for moving the elements into alignment, e.g. alignment screws, deformation of the mount
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/0225—Out-coupling of light
- H01S5/02251—Out-coupling of light using optical fibres
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/023—Mount members, e.g. sub-mount members
- H01S5/02325—Mechanically integrated components on mount members or optical micro-benches
- H01S5/02326—Arrangements for relative positioning of laser diodes and optical components, e.g. grooves in the mount to fix optical fibres or lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 作製が容易で短時間で作製することができ、
コストが安く、長期信頼性の高いレーザダイオードモジ
ュールとその作製方法を提供する。 【解決手段】 図１の(ａ）に示すように、レンズドフ
ァイバ８とレーザダイオード(ＬＤ)素子３とを調心した
状態で、レンズドファイバ８が固定されているフェルー
ル４のＬＤ素子３側に近いの端部を、フェルール支持部
品６によって両側部がわから挟持固定して挟持部９とす
る。挟持部９を支点とし、挟持部９と反対側のフェルー
ル４の後端側を力点としてレンズドファイバ８とＬＤ素
子３を再調心し、同図の(ｃ）に示すように、フェルー
ル４の後端側を挟む両側に、フェルール４と間隔を介し
てガイド部１１にガイドされたフェルール固定部品１０
を、フェルール４の側面との間隔が０〜約５μｍとなる
ように配置してガイド部１１に固定した後、フェルール
固定部品１０にフェルール４をＹＡＧ溶接固定する。
コストが安く、長期信頼性の高いレーザダイオードモジ
ュールとその作製方法を提供する。 【解決手段】 図１の(ａ）に示すように、レンズドフ
ァイバ８とレーザダイオード(ＬＤ)素子３とを調心した
状態で、レンズドファイバ８が固定されているフェルー
ル４のＬＤ素子３側に近いの端部を、フェルール支持部
品６によって両側部がわから挟持固定して挟持部９とす
る。挟持部９を支点とし、挟持部９と反対側のフェルー
ル４の後端側を力点としてレンズドファイバ８とＬＤ素
子３を再調心し、同図の(ｃ）に示すように、フェルー
ル４の後端側を挟む両側に、フェルール４と間隔を介し
てガイド部１１にガイドされたフェルール固定部品１０
を、フェルール４の側面との間隔が０〜約５μｍとなる
ように配置してガイド部１１に固定した後、フェルール
固定部品１０にフェルール４をＹＡＧ溶接固定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信に用いられ
るレーザダイオードモジュールおよびその作製方法に関
するものである。
るレーザダイオードモジュールおよびその作製方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、光を発信するレーザダイオード素
子(半導体レーザ素子)と、レーザダイオード素子からの
光を伝播する光ファイバとを、予め光結合してモジュー
ル化したレーザダイオードモジュールが用いられてお
り、このようなレーザダイオードモジュールの一例とし
て、ＥＵＲＯＰＥＡＮ ＰＡＴＥＮＴ ＡＰＰＬＩＣＡ
ＴＩＯＮ ＥＰ ０ ７１７ ２９７ Ａ２には、図３
に示すようなレーザダイオードモジュールが示されてい
る。このレーザダイオードモジュールは、同図の(ｃ）
に示すように、例えば金属製のベース１を有し、ベース
１の上部側に固定された素子載置台２に、レーザダイオ
ード素子３が固定配設されている。
子(半導体レーザ素子)と、レーザダイオード素子からの
光を伝播する光ファイバとを、予め光結合してモジュー
ル化したレーザダイオードモジュールが用いられてお
り、このようなレーザダイオードモジュールの一例とし
て、ＥＵＲＯＰＥＡＮ ＰＡＴＥＮＴ ＡＰＰＬＩＣＡ
ＴＩＯＮ ＥＰ ０ ７１７ ２９７ Ａ２には、図３
に示すようなレーザダイオードモジュールが示されてい
る。このレーザダイオードモジュールは、同図の(ｃ）
に示すように、例えば金属製のベース１を有し、ベース
１の上部側に固定された素子載置台２に、レーザダイオ
ード素子３が固定配設されている。
【０００３】レーザダイオード素子３に対向させて、レ
ンズドファイバ８が設けられており、このレンズドファ
イバ８は、レーザダイオード素子３からのレーザ光を受
光する光ファイバの先端側にレンズ(同図には図示せず)
が形成されており、レンズドファイバ８は、そのレンズ
が設けられている先端側をフェルール４の先端からレー
ザダイオード素子３に向けて突出させてフェルール４に
固定されている。
ンズドファイバ８が設けられており、このレンズドファ
イバ８は、レーザダイオード素子３からのレーザ光を受
光する光ファイバの先端側にレンズ(同図には図示せず)
が形成されており、レンズドファイバ８は、そのレンズ
が設けられている先端側をフェルール４の先端からレー
ザダイオード素子３に向けて突出させてフェルール４に
固定されている。
【０００４】そして、レンズドファイバ８とレーザダイ
オード素子３とが調心された状態で、フェルール４のレ
ーザダイオード素子３に近い側の端部側が、フェルール
前方固定部品１５によって両側部がわから挟持固定され
ており、フェルール４のレーザダイオード素子３から遠
い側の端部側は、後方固定部品１６を介してベース１に
固定されている。なお、フェルール４は、円筒形状また
はＵ溝形状に形成されている。
オード素子３とが調心された状態で、フェルール４のレ
ーザダイオード素子３に近い側の端部側が、フェルール
前方固定部品１５によって両側部がわから挟持固定され
ており、フェルール４のレーザダイオード素子３から遠
い側の端部側は、後方固定部品１６を介してベース１に
固定されている。なお、フェルール４は、円筒形状また
はＵ溝形状に形成されている。
【０００５】前記フェルール前方固定部品１５は、ガイ
ド部１１にガイドされた状態でフェルール４の両側部が
わにフェルール４の側面との間隔が０〜約５μｍで配置
されてガイド部１１に固定され、その後、フェルール前
方固定部品１５にフェルール４がＹＡＧ溶接固定され
て、挟持部９が形成されている。
ド部１１にガイドされた状態でフェルール４の両側部が
わにフェルール４の側面との間隔が０〜約５μｍで配置
されてガイド部１１に固定され、その後、フェルール前
方固定部品１５にフェルール４がＹＡＧ溶接固定され
て、挟持部９が形成されている。
【０００６】なお、このようなレーザダイオードモジュ
ールにおいて、レンズドファイバ８の先端側に形成され
ているレンズは、レーザダイオード素子３と高い光結合
効率が得られるように加工されているが、光ファイバの
位置ずれに対する光結合トレランスが非常に狭い。その
ため、上記のような、レンズドファイバ８とレーザダイ
オード素子３との調心は、レンズが形成されていない一
般的な光ファイバの端面とレーザダイオード素子３との
間に、球レンズや非球面レンズ等の微小光学レンズを１
つ以上設けて、レーザダイオード素子３からの光を微小
光学レンズを介して光ファイバに入射させる場合の、レ
ーザダイオード素子３とレンズおよび光ファイバの調心
に比べ、非常に高い精度で調心を行い、固定することが
必要不可欠であるとされている。
ールにおいて、レンズドファイバ８の先端側に形成され
ているレンズは、レーザダイオード素子３と高い光結合
効率が得られるように加工されているが、光ファイバの
位置ずれに対する光結合トレランスが非常に狭い。その
ため、上記のような、レンズドファイバ８とレーザダイ
オード素子３との調心は、レンズが形成されていない一
般的な光ファイバの端面とレーザダイオード素子３との
間に、球レンズや非球面レンズ等の微小光学レンズを１
つ以上設けて、レーザダイオード素子３からの光を微小
光学レンズを介して光ファイバに入射させる場合の、レ
ーザダイオード素子３とレンズおよび光ファイバの調心
に比べ、非常に高い精度で調心を行い、固定することが
必要不可欠であるとされている。
【０００７】上記レーザダイオードモジュールを作製す
るときには、レーザダイオード素子３とレンズドファイ
バ８とを調心した後、図３の(ａ）に示すように、フェ
ルール４のレーザダイオード素子３に近い側の両側部が
わに、フェルール４と間隔を介して設けたガイド部１１
の間に、それぞれ、フェルール前方固定部品１５を配置
する。なお、ガイド部１１は、ベース１に固定して設け
ておくか、またはベース１と一体的に形成しておく。そ
して、フェルール前方固定部品１５は、ガイド部１１に
ガイドされて、フェルール４の光軸に対して略直交する
方向(図のＸ方向)に、ベース１の表面に沿ってスライド
移動するようにし、これらのフェルール前方固定部品１
５とフェルール４の側面との間隔を０〜約５μｍに調整
する。
るときには、レーザダイオード素子３とレンズドファイ
バ８とを調心した後、図３の(ａ）に示すように、フェ
ルール４のレーザダイオード素子３に近い側の両側部が
わに、フェルール４と間隔を介して設けたガイド部１１
の間に、それぞれ、フェルール前方固定部品１５を配置
する。なお、ガイド部１１は、ベース１に固定して設け
ておくか、またはベース１と一体的に形成しておく。そ
して、フェルール前方固定部品１５は、ガイド部１１に
ガイドされて、フェルール４の光軸に対して略直交する
方向(図のＸ方向)に、ベース１の表面に沿ってスライド
移動するようにし、これらのフェルール前方固定部品１
５とフェルール４の側面との間隔を０〜約５μｍに調整
する。
【０００８】その後、同図の(ｂ）に示すように、フェ
ルール前方固定部品１５をガイド部１１に複数の溶接部
７で溶接固定した後、フェルール前方固定部品１５とフ
ェルール４をＹＡＧ溶接により固定し、この固定位置を
フェルール４の挟持部９とする。その後、挟持部９を支
点として、例えば図４に示すように、フェルール４のレ
ーザダイオード素子３から遠い側の端側を調心移動させ
てレーザダイオード素子３とレンズドファイバ８とを再
調心する。なお、同図の図中、５はレンズを示す。
ルール前方固定部品１５をガイド部１１に複数の溶接部
７で溶接固定した後、フェルール前方固定部品１５とフ
ェルール４をＹＡＧ溶接により固定し、この固定位置を
フェルール４の挟持部９とする。その後、挟持部９を支
点として、例えば図４に示すように、フェルール４のレ
ーザダイオード素子３から遠い側の端側を調心移動させ
てレーザダイオード素子３とレンズドファイバ８とを再
調心する。なお、同図の図中、５はレンズを示す。
【０００９】そして、前記再調心状態で、図３の(ｃ）
に示すように、フェルール４のレーザダイオード素子３
から遠い側の端部に後方固定部品１６を配置し、ベース
１に固定した後、この後方固定部品１６にフェルール４
をＹＡＧ溶接固定する。そして、最後に、後方固定部品
１６へのフェルール４の固定時に生じるずれを補正する
ために、挟持部９を支点として、後方固定部品１６を塑
性変形させて最終的な調心を行ない、その位置で、フェ
ルール４を塑性変形固定する。
に示すように、フェルール４のレーザダイオード素子３
から遠い側の端部に後方固定部品１６を配置し、ベース
１に固定した後、この後方固定部品１６にフェルール４
をＹＡＧ溶接固定する。そして、最後に、後方固定部品
１６へのフェルール４の固定時に生じるずれを補正する
ために、挟持部９を支点として、後方固定部品１６を塑
性変形させて最終的な調心を行ない、その位置で、フェ
ルール４を塑性変形固定する。
【００１０】なお、上記のようなレーザダイオードモジ
ュールにおいて、フェルール４は、レーザダイオード素
子３とレンズドファイバ８との調心後に、フェルール４
のレーザダイオード素子３に近い側の端部側のＹＡＧ溶
接固定が行われるが、この固定時には、どうしても多少
のずれが生じる。そこで、図３に示したレーザダイオー
ドモジュールにおいては、このずれを少なくするため
に、フェルール４のレーザダイオード素子３に近い側の
端部を上記のような固定方法により固定し、フェルール
４の側部とフェルール前方固定部品１５との間隔を０〜
約５μｍに調整した後にフェルール４の側部とフェルー
ル前方固定部品１５を溶接固定することによって、フェ
ルール前方固定部品１５とフェルール４とのＹＡＧ溶接
時のフェルール移動量を少なくし、フェルール４のレー
ザダイオード素子３に近い側の端部を固定するときのず
れ量を少なくしている。
ュールにおいて、フェルール４は、レーザダイオード素
子３とレンズドファイバ８との調心後に、フェルール４
のレーザダイオード素子３に近い側の端部側のＹＡＧ溶
接固定が行われるが、この固定時には、どうしても多少
のずれが生じる。そこで、図３に示したレーザダイオー
ドモジュールにおいては、このずれを少なくするため
に、フェルール４のレーザダイオード素子３に近い側の
端部を上記のような固定方法により固定し、フェルール
４の側部とフェルール前方固定部品１５との間隔を０〜
約５μｍに調整した後にフェルール４の側部とフェルー
ル前方固定部品１５を溶接固定することによって、フェ
ルール前方固定部品１５とフェルール４とのＹＡＧ溶接
時のフェルール移動量を少なくし、フェルール４のレー
ザダイオード素子３に近い側の端部を固定するときのず
れ量を少なくしている。
【００１１】そして、その後、固定部(挟持部９)を支点
として、フェルール４のレーザダイオード素子３から遠
い側の端部を移動させ、レンズドファイバ８をレーザダ
イオード素子３に対し、再調心する際の再調心移動量を
少なくしている。
として、フェルール４のレーザダイオード素子３から遠
い側の端部を移動させ、レンズドファイバ８をレーザダ
イオード素子３に対し、再調心する際の再調心移動量を
少なくしている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようなレーザダイオードモジュールにおいては、挟持部
９を支点としての再調心位置でのフェルール４の固定
を、上記のような後方固定部品１６を用いて溶接固定お
よび塑性変形固定を行なうため、前記再調心位置で正確
に固定することができない。そのため、この再調心位置
とフェルール４の固定位置とのずれ量を後方固定部品１
６の塑性変形で補正するといった最終的な調心動作を行
なわざるをえなかった。
ようなレーザダイオードモジュールにおいては、挟持部
９を支点としての再調心位置でのフェルール４の固定
を、上記のような後方固定部品１６を用いて溶接固定お
よび塑性変形固定を行なうため、前記再調心位置で正確
に固定することができない。そのため、この再調心位置
とフェルール４の固定位置とのずれ量を後方固定部品１
６の塑性変形で補正するといった最終的な調心動作を行
なわざるをえなかった。
【００１３】また、後方固定部品１６は、塑性変形によ
りレーザダイオード素子３とレンズドファイバ８との最
終的な調心を行ないやすく、かつ、その調心状態を長期
にわたって保つことができるように、例えば図３の
(ｃ）に示したような複雑な形状になるために、コスト
も高くなり、したがって、このような後方固定部品１６
を設けて構成されるレーザダイオードモジュールのコス
トも高くなってしまうといった問題があった。
りレーザダイオード素子３とレンズドファイバ８との最
終的な調心を行ないやすく、かつ、その調心状態を長期
にわたって保つことができるように、例えば図３の
(ｃ）に示したような複雑な形状になるために、コスト
も高くなり、したがって、このような後方固定部品１６
を設けて構成されるレーザダイオードモジュールのコス
トも高くなってしまうといった問題があった。
【００１４】さらに、最終的な調心動作に伴う後方固定
部品１６の変形は、後方固定部品１６の塑性変形に至る
までの、弾性変形による戻りを見越して行なう必要があ
るため、最終的な調心作業に時間がかかり、レーザダイ
オードモジュールの作製が容易でないといった問題があ
った。
部品１６の変形は、後方固定部品１６の塑性変形に至る
までの、弾性変形による戻りを見越して行なう必要があ
るため、最終的な調心作業に時間がかかり、レーザダイ
オードモジュールの作製が容易でないといった問題があ
った。
【００１５】さらに、レンズ５の先端から再調心の際に
支点となる挟持部９までの距離(ａ）に対する、挟持部
９から後方固定部品１６までの距離(ｂ）に応じて、例
えば、ａ：ｂが１：１０の場合は、レンズ５の先端の微
動量に対して、その１０倍の量だけ後方固定部品１６を
変形させなければならず、さらに、前記のように、弾性
変形による戻り分を余計に変形させなければならないた
め、後方固定部品１６の変形量は必然的に大きくならざ
るをえない。その結果、挟持部９にねじれ応力などによ
る歪みが生じ易く、レーザダイオードモジュールを使用
しているうちに、挟持部９の溶接部にクラックなどが発
生しやすくなり、クラックによりレーザダイオードモジ
ュールの特性が劣化して、信頼性が低下するといった問
題も生じた。
支点となる挟持部９までの距離(ａ）に対する、挟持部
９から後方固定部品１６までの距離(ｂ）に応じて、例
えば、ａ：ｂが１：１０の場合は、レンズ５の先端の微
動量に対して、その１０倍の量だけ後方固定部品１６を
変形させなければならず、さらに、前記のように、弾性
変形による戻り分を余計に変形させなければならないた
め、後方固定部品１６の変形量は必然的に大きくならざ
るをえない。その結果、挟持部９にねじれ応力などによ
る歪みが生じ易く、レーザダイオードモジュールを使用
しているうちに、挟持部９の溶接部にクラックなどが発
生しやすくなり、クラックによりレーザダイオードモジ
ュールの特性が劣化して、信頼性が低下するといった問
題も生じた。
【００１６】本発明は、上記従来の課題を解決するため
になされたものであり、その目的は、作製が容易で短時
間で作製することができ、コストが安く、しかも、信頼
性の高いレーザダイオードモジュールおよびその作製方
法を提供することにある。
になされたものであり、その目的は、作製が容易で短時
間で作製することができ、コストが安く、しかも、信頼
性の高いレーザダイオードモジュールおよびその作製方
法を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のような構成をもって課題を解決するた
めの手段としている。すなわち、本発明のレーザダイオ
ードモジュールは、ベースに固定された固定部にレーザ
ダイオード素子が配設固定され、該レーザダイオード素
子に対向させてレンズドファイバが配置されており、該
レンズドファイバは前記レーザダイオード素子からのレ
ーザ光を受光する光ファイバの先端側にレンズが形成さ
れている構成と成し、該レンズドファイバは前記レンズ
が形成されている先端側をフェルール先端から突出させ
てフェルールに固定されており、該フェルールはレンズ
ドファイバの突出している側をレーザダイオード素子に
向けて調心固定されている、レーザダイオードモジュー
ルであって、前記レンズドファイバと前記レーザダイオ
ード素子とが調心された状態でフェルールの前記レーザ
ダイオード素子に近い側の端部とレーザダイオード素子
から遠い側の端部がそれぞれの箇所において固定部品に
より両側から挟持固定されており、フェルールのレーザ
ダイオード素子から遠い側の端部を固定する固定部品は
対のフェルール固定部品からなり、この対のフェルール
固定部品はフェルールを両側から挟んだ状態でベースに
固定されており、該フェルール固定部品とフェルールが
ＹＡＧ溶接固定されている構成をもって課題を解決する
手段としている。
に、本発明は次のような構成をもって課題を解決するた
めの手段としている。すなわち、本発明のレーザダイオ
ードモジュールは、ベースに固定された固定部にレーザ
ダイオード素子が配設固定され、該レーザダイオード素
子に対向させてレンズドファイバが配置されており、該
レンズドファイバは前記レーザダイオード素子からのレ
ーザ光を受光する光ファイバの先端側にレンズが形成さ
れている構成と成し、該レンズドファイバは前記レンズ
が形成されている先端側をフェルール先端から突出させ
てフェルールに固定されており、該フェルールはレンズ
ドファイバの突出している側をレーザダイオード素子に
向けて調心固定されている、レーザダイオードモジュー
ルであって、前記レンズドファイバと前記レーザダイオ
ード素子とが調心された状態でフェルールの前記レーザ
ダイオード素子に近い側の端部とレーザダイオード素子
から遠い側の端部がそれぞれの箇所において固定部品に
より両側から挟持固定されており、フェルールのレーザ
ダイオード素子から遠い側の端部を固定する固定部品は
対のフェルール固定部品からなり、この対のフェルール
固定部品はフェルールを両側から挟んだ状態でベースに
固定されており、該フェルール固定部品とフェルールが
ＹＡＧ溶接固定されている構成をもって課題を解決する
手段としている。
【００１８】また、前記フェルールのレーザダイオード
素子から遠い側の端部には、フェルールと間隔を介して
ガイド部がベース上に設けられ、該ガイド部にガイドさ
れたフェルール固定部品がフェルールの両側部がわに配
置されて前記ガイド部に固定されていることも本発明の
レーザダイオードモジュールの特徴的な構成とされてい
る。
素子から遠い側の端部には、フェルールと間隔を介して
ガイド部がベース上に設けられ、該ガイド部にガイドさ
れたフェルール固定部品がフェルールの両側部がわに配
置されて前記ガイド部に固定されていることも本発明の
レーザダイオードモジュールの特徴的な構成とされてい
る。
【００１９】さらに、本発明のレーザダイオードモジュ
ールの作製方法は、上記本発明のレーザダイオードモジ
ュールの作製方法であって、レーザダイオード素子とレ
ンズドファイバとを調心した後、フェルールの前記レー
ザダイオード素子に近い側の端部をフェルール支持部品
で両側部がわから挟持して該挟持部とフェルール支持部
品との固定および該フェルール支持部品とベースとの固
定を行ない、然る後に、該フェルール支持部品による挟
持部を支点としてフェルールのレーザダイオード素子か
ら遠い側の側の端部を調心移動させて前記レンズドファ
イバと前記レーザダイオード素子とを再調心し、この再
調心移動側のフェルール端部を挟む両側に該フェルール
と間隔を介して設けられたガイド部にガイドされて前記
フェルールの光軸に対して略直交する方向に前記ベース
の表面に沿ってスライド移動するフェルール固定部品を
フェルールの両側部がわに配置してこれらのフェルール
固定部品とフェルール側面との間隔を０〜約５μｍに調
整し、該フェルール固定部品を前記ガイド部に溶接固定
した後、該フェルール固定部品とフェルールをＹＡＧ溶
接により固定する構成をもって課題を解決する手段とし
ている。
ールの作製方法は、上記本発明のレーザダイオードモジ
ュールの作製方法であって、レーザダイオード素子とレ
ンズドファイバとを調心した後、フェルールの前記レー
ザダイオード素子に近い側の端部をフェルール支持部品
で両側部がわから挟持して該挟持部とフェルール支持部
品との固定および該フェルール支持部品とベースとの固
定を行ない、然る後に、該フェルール支持部品による挟
持部を支点としてフェルールのレーザダイオード素子か
ら遠い側の側の端部を調心移動させて前記レンズドファ
イバと前記レーザダイオード素子とを再調心し、この再
調心移動側のフェルール端部を挟む両側に該フェルール
と間隔を介して設けられたガイド部にガイドされて前記
フェルールの光軸に対して略直交する方向に前記ベース
の表面に沿ってスライド移動するフェルール固定部品を
フェルールの両側部がわに配置してこれらのフェルール
固定部品とフェルール側面との間隔を０〜約５μｍに調
整し、該フェルール固定部品を前記ガイド部に溶接固定
した後、該フェルール固定部品とフェルールをＹＡＧ溶
接により固定する構成をもって課題を解決する手段とし
ている。
【００２０】上記構成の本発明において、レーザダイオ
ード素子とレンズドファイバとを調心した後、フェルー
ル支持部品によってフェルールのレーザダイオード素子
に近い側の端部が両側部がわから挟持固定される。
ード素子とレンズドファイバとを調心した後、フェルー
ル支持部品によってフェルールのレーザダイオード素子
に近い側の端部が両側部がわから挟持固定される。
【００２１】ここで、挟持固定方法は特定の方法に限定
されるものではなく、例えば、フェルールとフェルール
支持部品とをＹＡＧ溶接固定してもよいし、図２に示す
ように、機械的な構造によりフェルールとフェルール支
持部品とを固定してもよい。また、調心後にフェルール
支持部品とベースとの固定と、フェルール支持部品とフ
ェルールとの固定のいずれの固定を先に行なうかは適宜
変更可能であり、この固定順序は、限定されるものでは
ない。
されるものではなく、例えば、フェルールとフェルール
支持部品とをＹＡＧ溶接固定してもよいし、図２に示す
ように、機械的な構造によりフェルールとフェルール支
持部品とを固定してもよい。また、調心後にフェルール
支持部品とベースとの固定と、フェルール支持部品とフ
ェルールとの固定のいずれの固定を先に行なうかは適宜
変更可能であり、この固定順序は、限定されるものでは
ない。
【００２２】その後、本発明においては、フェルール支
持部品によるフェルールの挟持部を支点として、フェル
ールのレーザダイオード素子から遠い側の端部を調心移
動させてレンズドファイバとレーザダイオード素子とを
再調心するが、この再調心移動側のフェルール端部を挟
む両側には、フェルールと間隔を介してガイド部が設け
られており、ガイド部にガイドされて前記フェルールの
光軸に対して略直交する方向に前記ベースの表面に沿っ
てスライド移動するフェルール固定部品をフェルールの
両側部がわに配置して、これらのフェルール固定部品と
フェルール側面との間隔を０〜約５μｍに調整し、フェ
ルール固定部品をガイド部に溶接固定した後、フェルー
ル固定部品とフェルールをＹＡＧ溶接により固定するた
め、この固定によって、再調心移動側のフェルール端部
は再調心位置に正確に固定される。
持部品によるフェルールの挟持部を支点として、フェル
ールのレーザダイオード素子から遠い側の端部を調心移
動させてレンズドファイバとレーザダイオード素子とを
再調心するが、この再調心移動側のフェルール端部を挟
む両側には、フェルールと間隔を介してガイド部が設け
られており、ガイド部にガイドされて前記フェルールの
光軸に対して略直交する方向に前記ベースの表面に沿っ
てスライド移動するフェルール固定部品をフェルールの
両側部がわに配置して、これらのフェルール固定部品と
フェルール側面との間隔を０〜約５μｍに調整し、フェ
ルール固定部品をガイド部に溶接固定した後、フェルー
ル固定部品とフェルールをＹＡＧ溶接により固定するた
め、この固定によって、再調心移動側のフェルール端部
は再調心位置に正確に固定される。
【００２３】すなわち、挟持部を支点としてレーザダイ
オード素子から遠い側のフェルール端部側を再調心移動
させても、従来のように、この位置でのフェルール端部
固定時に、固定位置が再調心位置からずれてしまうと、
再調心位置での固定後に、さらに最終的な調心作業が必
要となるが、本発明においては、前記再調心位置での固
定位置が再調心位置から殆どずれることなく固定される
ために、前記最終的な調心作業は必要なく、したがっ
て、レーザダイオードモジュール作製に伴う調心作業時
間を非常に短くすることが可能となり、容易に短時間で
レーザダイオードモジュールが作製され、その分だけコ
ストも安くすることが可能となる。
オード素子から遠い側のフェルール端部側を再調心移動
させても、従来のように、この位置でのフェルール端部
固定時に、固定位置が再調心位置からずれてしまうと、
再調心位置での固定後に、さらに最終的な調心作業が必
要となるが、本発明においては、前記再調心位置での固
定位置が再調心位置から殆どずれることなく固定される
ために、前記最終的な調心作業は必要なく、したがっ
て、レーザダイオードモジュール作製に伴う調心作業時
間を非常に短くすることが可能となり、容易に短時間で
レーザダイオードモジュールが作製され、その分だけコ
ストも安くすることが可能となる。
【００２４】また、本発明においては、従来例と異な
り、再調心位置での固定後に、調心作業が必要ないため
に、再調心位置での固定後の調心作業時に、レーザダイ
オード素子から遠い側のフェルール端部を大きく移動さ
せて、挟持部にねじれ応力などによる歪みを生じさせた
りすることもない。そのため、挟持部に加えられた歪み
が原因となって、レーザダイオードモジュールを使用し
ているうちに、挟持部の溶接部にクラックなどが発生す
るといったことを防げるようになり、クラックによりレ
ーザダイオードモジュールの特性が劣化して、信頼性が
低下するといった問題も防ぐことが可能となる。
り、再調心位置での固定後に、調心作業が必要ないため
に、再調心位置での固定後の調心作業時に、レーザダイ
オード素子から遠い側のフェルール端部を大きく移動さ
せて、挟持部にねじれ応力などによる歪みを生じさせた
りすることもない。そのため、挟持部に加えられた歪み
が原因となって、レーザダイオードモジュールを使用し
ているうちに、挟持部の溶接部にクラックなどが発生す
るといったことを防げるようになり、クラックによりレ
ーザダイオードモジュールの特性が劣化して、信頼性が
低下するといった問題も防ぐことが可能となる。
【００２５】さらに、本発明においては、従来例と異な
り、レーザダイオード素子とレンズドファイバとの最終
的な調心を行ないやすく、かつ、その調心状態を長期に
わたって保つことができるようにするために複雑な形状
の高価な部品を設けないため、その分だけレーザダイオ
ードモジュールのコストも安くすることが可能となる。
り、レーザダイオード素子とレンズドファイバとの最終
的な調心を行ないやすく、かつ、その調心状態を長期に
わたって保つことができるようにするために複雑な形状
の高価な部品を設けないため、その分だけレーザダイオ
ードモジュールのコストも安くすることが可能となる。
【００２６】以上のことから、短時間で容易に作製で
き、コストが安く、しかも、信頼性の高いレーザダイオ
ードモジュールおよびレーザダイオードモジュールの作
製方法を提供することが可能となり、上記課題が解決さ
れる。
き、コストが安く、しかも、信頼性の高いレーザダイオ
ードモジュールおよびレーザダイオードモジュールの作
製方法を提供することが可能となり、上記課題が解決さ
れる。
【００２７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明におい
て、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重
複説明は省略する。図１には、本発明に係るレーザダイ
オードモジュールの一実施形態例がその作製方法と共に
示されている。なお、本実施形態例のレーザダイオード
モジュールは、同図の(ａ）、(ｂ）に示す作製工程を踏
んで、同図の(ｃ）に示すような構成に作製される。
に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明におい
て、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重
複説明は省略する。図１には、本発明に係るレーザダイ
オードモジュールの一実施形態例がその作製方法と共に
示されている。なお、本実施形態例のレーザダイオード
モジュールは、同図の(ａ）、(ｂ）に示す作製工程を踏
んで、同図の(ｃ）に示すような構成に作製される。
【００２８】同図の(ｃ）に示すように、本実施形態例
でも、従来例と同様に、例えば金属製のベース１を有
し、ベース１の上部側には固定部としての素子載置台２
が設けられており、素子載置台２にはレーザダイオード
素子３が固定配設されている。
でも、従来例と同様に、例えば金属製のベース１を有
し、ベース１の上部側には固定部としての素子載置台２
が設けられており、素子載置台２にはレーザダイオード
素子３が固定配設されている。
【００２９】また、レーザダイオード素子３に対向させ
て、レーザダイオード素子３からのレーザ光を受光する
光ファイバの先端側にレンズ(同図には図示せず)が形成
されて成るレンズドファイバ８が配置されており、レン
ズドファイバ８は、その先端側をフェルール４の先端か
らレーザダイオード素子３に向けて突出させてフェルー
ル４に固定されている。フェルール４は、レンズドファ
イバ８のレンズが突出している側をレーザダイオード素
子３に対向させて固定されている。フェルール４は金属
製であり、例えば円筒形状またはＵ溝形状に形成されて
いる。
て、レーザダイオード素子３からのレーザ光を受光する
光ファイバの先端側にレンズ(同図には図示せず)が形成
されて成るレンズドファイバ８が配置されており、レン
ズドファイバ８は、その先端側をフェルール４の先端か
らレーザダイオード素子３に向けて突出させてフェルー
ル４に固定されている。フェルール４は、レンズドファ
イバ８のレンズが突出している側をレーザダイオード素
子３に対向させて固定されている。フェルール４は金属
製であり、例えば円筒形状またはＵ溝形状に形成されて
いる。
【００３０】本実施形態例が従来例と異なる最も特徴的
なことは、フェルール４のベース１への固定構造であ
り、本実施形態例は、この特徴的な固定構造を有するた
めに、レーザダイオードモジュールの作製工程を、従来
例よりも簡略化したものとしている。
なことは、フェルール４のベース１への固定構造であ
り、本実施形態例は、この特徴的な固定構造を有するた
めに、レーザダイオードモジュールの作製工程を、従来
例よりも簡略化したものとしている。
【００３１】すなわち、本実施形態例では、図１の
(ｃ）に示すように、レンズドファイバ８とレーザダイ
オード素子３とが調心された状態で、フェルール４のレ
ーザダイオード素子３に近い側の端部側が、フェルール
支持部品６によって両側部がわから挟持固定されてお
り、フェルール４のレーザダイオード素子３から遠い側
の端部を挟む両側には、フェルール４と間隔を介してガ
イド部１１が配設されており、ガイド部１１にガイドさ
れた１対のフェルール固定部品１０がフェルール４の両
側部がわに、フェルール４の側面との間隔が０〜約５μ
ｍに調整されて配置され、ガイド部１１に固定された後
に、フェルール固定部品１０にフェルール４がＹＡＧ溶
接固定されている。
(ｃ）に示すように、レンズドファイバ８とレーザダイ
オード素子３とが調心された状態で、フェルール４のレ
ーザダイオード素子３に近い側の端部側が、フェルール
支持部品６によって両側部がわから挟持固定されてお
り、フェルール４のレーザダイオード素子３から遠い側
の端部を挟む両側には、フェルール４と間隔を介してガ
イド部１１が配設されており、ガイド部１１にガイドさ
れた１対のフェルール固定部品１０がフェルール４の両
側部がわに、フェルール４の側面との間隔が０〜約５μ
ｍに調整されて配置され、ガイド部１１に固定された後
に、フェルール固定部品１０にフェルール４がＹＡＧ溶
接固定されている。
【００３２】また、本実施形態例のレーザダイオードモ
ジュールは、次のようにして作製される。すなわち、図
１の(ａ）に示すように、レーザダイオード素子３に対
応したレンズドファイバ８とをフェルール支持部品６の
フェルール支持部１２間に配置する。なお、フェルール
支持部１２とフェルール４との間隔は、０〜２０μｍ程
度とする。その状態で、レーザダイオード素子３から遠
い側の側のフェルール４の端部を、例えば調心治具によ
って把持し、調心治具を用いてレーザダイオード素子３
とレンズドファイバ８とを調心する。なお、このとき、
フェルール支持部品６はフェルール４と共にベース１の
表面に沿って移動可能とする。
ジュールは、次のようにして作製される。すなわち、図
１の(ａ）に示すように、レーザダイオード素子３に対
応したレンズドファイバ８とをフェルール支持部品６の
フェルール支持部１２間に配置する。なお、フェルール
支持部１２とフェルール４との間隔は、０〜２０μｍ程
度とする。その状態で、レーザダイオード素子３から遠
い側の側のフェルール４の端部を、例えば調心治具によ
って把持し、調心治具を用いてレーザダイオード素子３
とレンズドファイバ８とを調心する。なお、このとき、
フェルール支持部品６はフェルール４と共にベース１の
表面に沿って移動可能とする。
【００３３】そして、前記調心の後、フェルール支持部
品６を溶接部７によりベース１に固定する。その後、フ
ェルール４をフェルール支持部品６に溶接固定して挟持
部９とし、それにより、フェルール４のレーザダイオー
ド素子３に近い側の端部側をフェルール支持部品６によ
って両側部がわから挟持固定して、ベース１に固定した
状態とする。なお、フェルール支持部品６をベース１に
先に固定し、挟持部９の固定(フェルール４とフェルー
ル支持部品６との固定)を後にするか、あるいは、その
逆の工程をとるかは、調心がほどよくできるように、適
宜選択してもよい。
品６を溶接部７によりベース１に固定する。その後、フ
ェルール４をフェルール支持部品６に溶接固定して挟持
部９とし、それにより、フェルール４のレーザダイオー
ド素子３に近い側の端部側をフェルール支持部品６によ
って両側部がわから挟持固定して、ベース１に固定した
状態とする。なお、フェルール支持部品６をベース１に
先に固定し、挟持部９の固定(フェルール４とフェルー
ル支持部品６との固定)を後にするか、あるいは、その
逆の工程をとるかは、調心がほどよくできるように、適
宜選択してもよい。
【００３４】その後、フェルール支持部品６による挟持
部９を支点としてレーザダイオード素子３から遠い側の
フェルール端部(例えば同図のＡに示す部分)を、前記調
心治具によって、例えば図４に示したように調心移動さ
せて、レンズドファイバ８とレーザダイオード素子３と
を再調心する。図１の(ｂ）は、この再調心状態を示
す。
部９を支点としてレーザダイオード素子３から遠い側の
フェルール端部(例えば同図のＡに示す部分)を、前記調
心治具によって、例えば図４に示したように調心移動さ
せて、レンズドファイバ８とレーザダイオード素子３と
を再調心する。図１の(ｂ）は、この再調心状態を示
す。
【００３５】そして、図１の(ｃ）に示すように、この
再調心移動側のフェルール端部を挟む両側に、フェルー
ル４と間隔を介してベース１に設けておいたガイド部１
１にガイドされる態様で、フェルール固定部品１０をフ
ェルール４の両側部がわに静かに配置する。このフェル
ール固定部品１０は、ガイド部１１にガイドされて、フ
ェルール４の光軸に対して略直交する図のＸ方向に、ベ
ース１の表面に沿ってスライド移動するものであり、こ
のスライド移動によって、フェルール４の両側部がわの
フェルール固定部品１０とフェルール４の側面との間隔
を０〜約５μｍに調整する。そして、フェルール固定部
品１０を、複数の溶接部７によってガイド部１１に溶接
固定した後、フェルール固定部品１０とフェルール４を
ＹＡＧ溶接により固定する。
再調心移動側のフェルール端部を挟む両側に、フェルー
ル４と間隔を介してベース１に設けておいたガイド部１
１にガイドされる態様で、フェルール固定部品１０をフ
ェルール４の両側部がわに静かに配置する。このフェル
ール固定部品１０は、ガイド部１１にガイドされて、フ
ェルール４の光軸に対して略直交する図のＸ方向に、ベ
ース１の表面に沿ってスライド移動するものであり、こ
のスライド移動によって、フェルール４の両側部がわの
フェルール固定部品１０とフェルール４の側面との間隔
を０〜約５μｍに調整する。そして、フェルール固定部
品１０を、複数の溶接部７によってガイド部１１に溶接
固定した後、フェルール固定部品１０とフェルール４を
ＹＡＧ溶接により固定する。
【００３６】なお、前記調心作業は、例えば、レーザダ
イオード素子３からレーザ光を発振させてレンズドファ
イバ８に入射させて伝播させながら、前記のように、調
心治具などを用いてフェルール４のレーザダイオード素
子３から遠い側の端部を調心移動させ、レンズドファイ
バ８を伝播するレーザ光の強度がもっとも強くなる位置
を調心位置とすることにより行われる。また、フェルー
ル４の調心移動は、例えば、調心治具にステッピングモ
ータなどを取り付け、レンズドファイバ８を伝播して出
射される光の強度を検出する光強度検出装置を監視しな
がら、ステッピングモータによるフェルール４の移動量
を人が調節して行なってもよいし、前記光強度検出装置
とステッピングモータの駆動装置を共にコンピュータに
接続し、コンピュータ制御により自動的にフェルール４
を調心位置に移動させるようにして行なってもよい。
イオード素子３からレーザ光を発振させてレンズドファ
イバ８に入射させて伝播させながら、前記のように、調
心治具などを用いてフェルール４のレーザダイオード素
子３から遠い側の端部を調心移動させ、レンズドファイ
バ８を伝播するレーザ光の強度がもっとも強くなる位置
を調心位置とすることにより行われる。また、フェルー
ル４の調心移動は、例えば、調心治具にステッピングモ
ータなどを取り付け、レンズドファイバ８を伝播して出
射される光の強度を検出する光強度検出装置を監視しな
がら、ステッピングモータによるフェルール４の移動量
を人が調節して行なってもよいし、前記光強度検出装置
とステッピングモータの駆動装置を共にコンピュータに
接続し、コンピュータ制御により自動的にフェルール４
を調心位置に移動させるようにして行なってもよい。
【００３７】本実施形態例によれば、フェルール固定部
品１０をガイド部１１にガイドした状態で配置して、フ
ェルール固定部品１０とフェルール４の側部との間隔を
０〜約５μｍに調整した後、フェルール固定部品１０に
フェルール４を固定することによって、フェルール固定
部品１０とフェルール４とのＹＡＧ溶接時のフェルール
移動量を少なくし、フェルール４のレーザダイオード素
子３から遠い側の端部(再調心移動側のフェルール端部)
を固定するときのずれ量を殆どないようにしているため
に、この固定によって、レーザダイオード素子３に近い
側、すなわち、レンズが形成されている側のフェルール
端部を再調心位置に正確に固定することができる。
品１０をガイド部１１にガイドした状態で配置して、フ
ェルール固定部品１０とフェルール４の側部との間隔を
０〜約５μｍに調整した後、フェルール固定部品１０に
フェルール４を固定することによって、フェルール固定
部品１０とフェルール４とのＹＡＧ溶接時のフェルール
移動量を少なくし、フェルール４のレーザダイオード素
子３から遠い側の端部(再調心移動側のフェルール端部)
を固定するときのずれ量を殆どないようにしているため
に、この固定によって、レーザダイオード素子３に近い
側、すなわち、レンズが形成されている側のフェルール
端部を再調心位置に正確に固定することができる。
【００３８】すなわち、従来例のように、挟持部９を支
点としてレーザダイオード素子３から遠い側のフェルー
ル端部側を再調心移動させても、この位置でのフェルー
ル４の端部固定時に、固定位置が再調心位置からずれて
しまうと、再調心位置での固定後に、さらに最終的な調
心作業が必要となるが、本実施形態例においては、前記
再調心位置での固定位置が再調心位置から殆どずれるこ
となく固定されるために、前記最終的な調心作業は必要
なく、したがって、レーザダイオードモジュール作製に
伴う調心作業時間を非常に短くすることが可能となり、
容易に短時間でレーザダイオードモジュールを作製する
ことができるし、その分だけコストも安くすることがで
きる。
点としてレーザダイオード素子３から遠い側のフェルー
ル端部側を再調心移動させても、この位置でのフェルー
ル４の端部固定時に、固定位置が再調心位置からずれて
しまうと、再調心位置での固定後に、さらに最終的な調
心作業が必要となるが、本実施形態例においては、前記
再調心位置での固定位置が再調心位置から殆どずれるこ
となく固定されるために、前記最終的な調心作業は必要
なく、したがって、レーザダイオードモジュール作製に
伴う調心作業時間を非常に短くすることが可能となり、
容易に短時間でレーザダイオードモジュールを作製する
ことができるし、その分だけコストも安くすることがで
きる。
【００３９】また、本実施形態例によれば、従来例と異
なり、再調心位置での固定後に、調心作業が必要ないた
めに、従来例のように、再調心位置での固定後の調心作
業時に、後方固定部品１６を塑性変形させて、レーザダ
イオード素子３から遠い側のフェルール端部を移動させ
るといったことは必要なく、この移動によって、挟持部
９にねじれ応力などによる歪みを生じさせたりすること
もないために、レーザダイオードモジュールを使用して
いるうちに、挟持部９の溶接部にクラックなどが発生す
ることを防ぐことが可能となり、クラックによりレーザ
ダイオードモジュールの特性が劣化して、信頼性が低下
するといった問題も防ぐことができる。
なり、再調心位置での固定後に、調心作業が必要ないた
めに、従来例のように、再調心位置での固定後の調心作
業時に、後方固定部品１６を塑性変形させて、レーザダ
イオード素子３から遠い側のフェルール端部を移動させ
るといったことは必要なく、この移動によって、挟持部
９にねじれ応力などによる歪みを生じさせたりすること
もないために、レーザダイオードモジュールを使用して
いるうちに、挟持部９の溶接部にクラックなどが発生す
ることを防ぐことが可能となり、クラックによりレーザ
ダイオードモジュールの特性が劣化して、信頼性が低下
するといった問題も防ぐことができる。
【００４０】さらに、本実施形態例によれば、従来例と
異なり、図３の(ｃ）に示したような複雑な形状の高価
な後方固定部品１６を設けないために、その分だけレー
ザダイオードモジュールのコストも安くすることができ
る。
異なり、図３の(ｃ）に示したような複雑な形状の高価
な後方固定部品１６を設けないために、その分だけレー
ザダイオードモジュールのコストも安くすることができ
る。
【００４１】なお、本発明は上記実施形態例に限定され
ることはなく様々な実施の態様を採り得る。例えば、上
記実施形態例では、フェルール４のレーザダイオード素
子３に近い側の端部側をフェルール支持部品６により挟
持し、溶接固定して挟持部９としたが、例えば図２に示
すように、フェルール４の側面に凹部１３を形成し、フ
ェルール支持部品６には先端側が細くなった突起部１４
をフェルール４の凹部１３に対応させて設けて凹部１３
側に突出させ、突起部１４をフェルール４の凹部１３に
嵌合させて、突起部１４によってフェルール４を挟持固
定してもよい。
ることはなく様々な実施の態様を採り得る。例えば、上
記実施形態例では、フェルール４のレーザダイオード素
子３に近い側の端部側をフェルール支持部品６により挟
持し、溶接固定して挟持部９としたが、例えば図２に示
すように、フェルール４の側面に凹部１３を形成し、フ
ェルール支持部品６には先端側が細くなった突起部１４
をフェルール４の凹部１３に対応させて設けて凹部１３
側に突出させ、突起部１４をフェルール４の凹部１３に
嵌合させて、突起部１４によってフェルール４を挟持固
定してもよい。
【００４２】このように、フェルール４に形成した凹部
１３に突起部１４を嵌合させて挟持部９とすると、フェ
ルール４のレーザダイオード素子３側の端部を点接触状
態で固定できるために、挟持部９を支点としてレーザダ
イオード素子３とレンズドファイバ８とを再調心する際
に、フェルール４を突起部１４の先端を支点として自由
に傾動させ、挟持部９に無理な力が加わることを回避す
ることができるため、前記再調心作業をより一層行ない
やすくすることができる。また、フェルール４をフェル
ール支持部品６に溶接固定する場合と異なり、挟持部９
にクラックが発生することも確実に回避することができ
るために、レーザダイオードモジュールの信頼性をより
一層高めることができる。
１３に突起部１４を嵌合させて挟持部９とすると、フェ
ルール４のレーザダイオード素子３側の端部を点接触状
態で固定できるために、挟持部９を支点としてレーザダ
イオード素子３とレンズドファイバ８とを再調心する際
に、フェルール４を突起部１４の先端を支点として自由
に傾動させ、挟持部９に無理な力が加わることを回避す
ることができるため、前記再調心作業をより一層行ない
やすくすることができる。また、フェルール４をフェル
ール支持部品６に溶接固定する場合と異なり、挟持部９
にクラックが発生することも確実に回避することができ
るために、レーザダイオードモジュールの信頼性をより
一層高めることができる。
【００４３】また、フェルール４にかしめ力を付与でき
るかしめ部材によりフェルール支持部品６を形成し、こ
のかしめ部材によるかしめ力でフェルール４をかしめ固
定し、このかしめ固定部を挟持部９としてもよい。この
ように、本発明において、フェルール４のレーザダイオ
ード素子３に近い側の端部の挟持固定方法は特に限定さ
れるものでなく、適宜設定されるものであり、いずれの
方法を用いて挟持固定してもよい。レーザダイオード素
子３から遠い挟持部９と反対側のフェルール４の端部側
を上記実施形態例と同様の固定構造により固定すること
により、挟持部と反対側のフェルール４の端部側を、再
調心した位置で確実に固定でき、上記実施形態例と同様
の効果を奏することができる。
るかしめ部材によりフェルール支持部品６を形成し、こ
のかしめ部材によるかしめ力でフェルール４をかしめ固
定し、このかしめ固定部を挟持部９としてもよい。この
ように、本発明において、フェルール４のレーザダイオ
ード素子３に近い側の端部の挟持固定方法は特に限定さ
れるものでなく、適宜設定されるものであり、いずれの
方法を用いて挟持固定してもよい。レーザダイオード素
子３から遠い挟持部９と反対側のフェルール４の端部側
を上記実施形態例と同様の固定構造により固定すること
により、挟持部と反対側のフェルール４の端部側を、再
調心した位置で確実に固定でき、上記実施形態例と同様
の効果を奏することができる。
【００４４】さらに、上記実施形態例では、フェルール
４は円筒形状またはＵ溝形状としたが、フェルール４の
形状は特に限定されるものではなく適宜設定されるもの
である。
４は円筒形状またはＵ溝形状としたが、フェルール４の
形状は特に限定されるものではなく適宜設定されるもの
である。
【００４５】
【発明の効果】本発明によれば、レーザダイオード素子
に近い側のフェルール端部にフェルール支持部品を設け
て、フェルール支持部品によるフェルールの挟持部を支
点とし、レーザダイオード素子から遠い側のフェルール
端部側を調心移動させてレンズドファイバとレーザダイ
オード素子とを再調心するが、この再調心移動側のフェ
ルール端部を挟む両側には、例えばフェルールと間隔を
介してベースに設けられたガイド部にガイドされたフェ
ルール固定部品をフェルールの両側部がわに配置して、
これらのフェルール固定部品とフェルール側面との間隔
を０〜約５μｍに調整し、フェルール固定部品をガイド
部に溶接固定した後、フェルール固定部品とフェルール
をＹＡＧ溶接により固定するため、ＹＡＧ溶接固定時の
フェルール移動量を殆どなくし、再調心移動側のフェル
ール端部を再調心位置に正確に固定することができる。
に近い側のフェルール端部にフェルール支持部品を設け
て、フェルール支持部品によるフェルールの挟持部を支
点とし、レーザダイオード素子から遠い側のフェルール
端部側を調心移動させてレンズドファイバとレーザダイ
オード素子とを再調心するが、この再調心移動側のフェ
ルール端部を挟む両側には、例えばフェルールと間隔を
介してベースに設けられたガイド部にガイドされたフェ
ルール固定部品をフェルールの両側部がわに配置して、
これらのフェルール固定部品とフェルール側面との間隔
を０〜約５μｍに調整し、フェルール固定部品をガイド
部に溶接固定した後、フェルール固定部品とフェルール
をＹＡＧ溶接により固定するため、ＹＡＧ溶接固定時の
フェルール移動量を殆どなくし、再調心移動側のフェル
ール端部を再調心位置に正確に固定することができる。
【００４６】すなわち、フェルールの挟持部を支点とし
て、レーザダイオード素子から遠い側のフェルール端部
側を再調心移動させても、この再調心位置でのフェルー
ル端部固定時に、固定位置が再調心位置からずれてしま
うと、再調心位置での固定後に、さらに最終的な調心作
業が必要となるが、本発明によれば、前記再調心位置で
の固定位置が再調心位置から殆どずれることなく固定さ
れるために、前記最終的な調心作業は必要なく、レーザ
ダイオードモジュール作製に伴う調心作業時間を非常に
短くすることが可能となり、容易に短時間でレーザダイ
オードモジュールを作製することができ、その分だけコ
ストも安くすることができる。
て、レーザダイオード素子から遠い側のフェルール端部
側を再調心移動させても、この再調心位置でのフェルー
ル端部固定時に、固定位置が再調心位置からずれてしま
うと、再調心位置での固定後に、さらに最終的な調心作
業が必要となるが、本発明によれば、前記再調心位置で
の固定位置が再調心位置から殆どずれることなく固定さ
れるために、前記最終的な調心作業は必要なく、レーザ
ダイオードモジュール作製に伴う調心作業時間を非常に
短くすることが可能となり、容易に短時間でレーザダイ
オードモジュールを作製することができ、その分だけコ
ストも安くすることができる。
【００４７】また、本発明によれば、従来例で示したレ
ーザダイオードモジュールと異なり、再調心位置での固
定後に、調心作業が必要ないために、再調心位置での固
定後の調心作業時に、レーザダイオード素子から遠い側
のフェルール端部を大きく移動させて、挟持部にねじれ
応力などによる歪みを生じさせたりすることもないため
に、レーザダイオードモジュールを使用しているうち
に、挟持部の溶接部にクラックなどが発生することを防
ぐことが可能となり、クラックによりレーザダイオード
モジュールの特性が劣化して、信頼性が低下するといっ
た問題も防ぐことができる。
ーザダイオードモジュールと異なり、再調心位置での固
定後に、調心作業が必要ないために、再調心位置での固
定後の調心作業時に、レーザダイオード素子から遠い側
のフェルール端部を大きく移動させて、挟持部にねじれ
応力などによる歪みを生じさせたりすることもないため
に、レーザダイオードモジュールを使用しているうち
に、挟持部の溶接部にクラックなどが発生することを防
ぐことが可能となり、クラックによりレーザダイオード
モジュールの特性が劣化して、信頼性が低下するといっ
た問題も防ぐことができる。
【００４８】さらに、本発明によれば、従来例に示した
レーザダイオードモジュールと異なり、レーザダイオー
ド素子とレンズドファイバとの最終的な調心を行ないや
すく、かつ、その調心状態を長期にわたって保つことが
できるような複雑な形状の高価な部品をフェルールのレ
ーザダイオード素子から遠い側の端部に設けないため
に、その分だけレーザダイオードモジュールのコストも
安くすることができる。
レーザダイオードモジュールと異なり、レーザダイオー
ド素子とレンズドファイバとの最終的な調心を行ないや
すく、かつ、その調心状態を長期にわたって保つことが
できるような複雑な形状の高価な部品をフェルールのレ
ーザダイオード素子から遠い側の端部に設けないため
に、その分だけレーザダイオードモジュールのコストも
安くすることができる。
【図１】本発明に係るレーザダイオードモジュールの一
実施形態例を、その作製工程と共に示す要部構成図であ
る。
実施形態例を、その作製工程と共に示す要部構成図であ
る。
【図２】本発明に係るレーザダイオードモジュールの他
の実施形態例のフェルール支持部品によるフェルールの
挟持固定構造を平面図(ａ）と側面図(ｂ）により示す説
明図である。
の実施形態例のフェルール支持部品によるフェルールの
挟持固定構造を平面図(ａ）と側面図(ｂ）により示す説
明図である。
【図３】従来のレーザダイオードモジュールの一例を、
その作製工程と共に示す要部説明図である。
その作製工程と共に示す要部説明図である。
【図４】挟持部を支点としたフェルールの傾動動作を、
傾動量を誇張して示す説明図である。
傾動量を誇張して示す説明図である。
１ ベース ２ 素子載置台 ３ レーザダイオード素子 ４ フェルール ５ レンズ ６ フェルール支持部品 ７ 溶接部 ８ レンズドファイバ ９ 挟持部 １０ フェルール固定部品 １１ ガイド部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清水 健男 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古 河電気工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2H037 AA01 BA03 CA08 CA14 DA04 DA06 DA11 DA16 5F073 BA02
Claims (3)
- 【請求項１】 ベースに固定された固定部にレーザダイ
オード素子が配設固定され、該レーザダイオード素子に
対向させてレンズドファイバが配置されており、該レン
ズドファイバは前記レーザダイオード素子からのレーザ
光を受光する光ファイバの先端側にレンズが形成されて
いる構成と成し、該レンズドファイバは前記レンズが形
成されている先端側をフェルール先端から突出させてフ
ェルールに固定されており、該フェルールはレンズドフ
ァイバの突出している側をレーザダイオード素子に向け
て調心固定されている、レーザダイオードモジュールで
あって、前記レンズドファイバと前記レーザダイオード
素子とが調心された状態でフェルールの前記レーザダイ
オード素子に近い側の端部とレーザダイオード素子から
遠い側の端部がそれぞれの箇所において固定部品により
両側から挟持固定されており、フェルールのレーザダイ
オード素子から遠い側の端部を固定する固定部品は対の
フェルール固定部品からなり、この対のフェルール固定
部品はフェルールを両側から挟んだ状態でベースに固定
されており、該フェルール固定部品とフェルールがＹＡ
Ｇ溶接固定されていることを特徴とするレーザダイオー
ドモジュール。 - 【請求項２】 フェルールのレーザダイオード素子から
遠い側の端部には、フェルールと間隔を介してガイド部
がベース上に設けられ、該ガイド部にガイドされたフェ
ルール固定部品がフェルールの両側部がわに配置されて
前記ガイド部に固定されていることを特徴とする請求項
１記載のレーザダイオードモジュール。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２記載のレーザダイ
オードモジュールの作製方法であって、レーザダイオー
ド素子とレンズドファイバとを調心した後、フェルール
の前記レーザダイオード素子に近い側の端部をフェルー
ル支持部品で両側部がわから挟持して該挟持部とフェル
ール支持部品との固定および該フェルール支持部品とベ
ースとの固定を行ない、然る後に、該フェルール支持部
品による挟持部を支点としてフェルールのレーザダイオ
ード素子から遠い側の側の端部を調心移動させて前記レ
ンズドファイバと前記レーザダイオード素子とを再調心
し、この再調心移動側のフェルール端部を挟む両側に該
フェルールと間隔を介して設けられたガイド部にガイド
されて前記フェルールの光軸に対して略直交する方向に
前記ベースの表面に沿ってスライド移動するフェルール
固定部品をフェルールの両側部がわに配置して、これら
のフェルール固定部品とフェルール側面との間隔を０〜
約５μｍに調整し、該フェルール固定部品を前記ガイド
部に溶接固定した後、該フェルール固定部品とフェルー
ルをＹＡＧ溶接により固定することを特徴とするレーザ
ダイオードモジュールの作製方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34114598A JP3345853B2 (ja) | 1998-11-13 | 1998-11-13 | レーザダイオードモジュールおよびその作製方法 |
| PCT/JP1999/006288 WO2000029890A1 (fr) | 1998-11-13 | 1999-11-11 | Module a diode laser et procede de fabrication |
| EP99972312A EP1059547A4 (en) | 1998-11-13 | 1999-11-11 | LASER DIODE MODULE AND MANUFACTURING METHOD |
| CA002318518A CA2318518A1 (en) | 1998-11-13 | 1999-11-11 | Laser diode module and its manufacture method |
| US09/600,199 US6606435B1 (en) | 1998-11-13 | 1999-11-11 | Laser diode module and its manufacture method |
| US10/465,685 US7014371B1 (en) | 1998-11-13 | 2003-06-20 | Laser diode module and its manufacture method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34114598A JP3345853B2 (ja) | 1998-11-13 | 1998-11-13 | レーザダイオードモジュールおよびその作製方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000147335A true JP2000147335A (ja) | 2000-05-26 |
| JP3345853B2 JP3345853B2 (ja) | 2002-11-18 |
Family
ID=18343681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34114598A Expired - Fee Related JP3345853B2 (ja) | 1998-11-13 | 1998-11-13 | レーザダイオードモジュールおよびその作製方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6606435B1 (ja) |
| EP (1) | EP1059547A4 (ja) |
| JP (1) | JP3345853B2 (ja) |
| CA (1) | CA2318518A1 (ja) |
| WO (1) | WO2000029890A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003057498A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-26 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザモジュールの製造方法 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6625372B1 (en) | 1999-11-15 | 2003-09-23 | Axsun Technologies, Inc. | Mounting and alignment structures for optical components |
| US6559464B1 (en) | 1999-11-15 | 2003-05-06 | Axsun Technologies, Inc. | Optical system active alignment process including alignment structure attach, position search, and deformation |
| US6892444B1 (en) * | 2000-09-21 | 2005-05-17 | Axsun Technologies, Inc. | Optical system manufacturing and alignment system |
| US20020172475A1 (en) * | 2001-02-20 | 2002-11-21 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Ferrule holder and method of making semiconductor laser module |
| EP1316826A1 (en) * | 2001-11-30 | 2003-06-04 | Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation) | Apparatus and method for coupling an optical fibre to an optical device |
| WO2004010190A1 (en) * | 2002-07-23 | 2004-01-29 | Corning Incorporated | Optoelectronic module with passive alignment of optical elements |
| US6862389B2 (en) * | 2002-08-29 | 2005-03-01 | Triquint Technologies Holding Co. | Fiber alignment using a channel incorporating a fulcrum structure |
| CN102356523B (zh) * | 2009-03-18 | 2013-11-20 | 古河电气工业株式会社 | 半导体激光模块 |
| US8475056B2 (en) * | 2009-07-28 | 2013-07-02 | Jds Uniphase Corporation | Semiconductor device assembly |
| RU2584724C2 (ru) * | 2014-10-10 | 2016-05-20 | Открытое акционерное общество "Ракетно-космический центр "Прогресс" (ОАО "РКЦ "Прогресс") | Волоконно-оптический разъемный активный модуль |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2124402B (en) * | 1982-07-27 | 1986-01-22 | Standard Telephones Cables Ltd | Injection laser packages |
| DE3732433A1 (de) * | 1987-09-26 | 1989-04-06 | Standard Elektrik Lorenz Ag | Lasermodul und verfahren zum ankoppeln einer glasfaser |
| JPH02284106A (ja) | 1989-04-26 | 1990-11-21 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | レーザダィオードと光ファイバとを結合する方法とそれに用いる固定金具 |
| JP3110039B2 (ja) * | 1990-10-31 | 2000-11-20 | 日本電気株式会社 | 半導体レーザモジュール |
| DE4307974C1 (de) * | 1993-03-15 | 1994-08-25 | Piezosystem Jena Praezisionsju | Vorrichtung zur hochgenauen Drehung rotationssymmetrischer Bauteile, insbesondere von Lichtwellenleitern |
| GB2296101B (en) * | 1994-12-12 | 1998-04-01 | Northern Telecom Ltd | Optically coupling optical fibres to injection lasers |
| US5619609A (en) * | 1996-02-02 | 1997-04-08 | E-Tek Dynamics, Inc. | Fiberoptic support clip |
| US6061374A (en) * | 1997-02-07 | 2000-05-09 | Coherent, Inc. | Laser diode integrating enclosure and detector |
| JPH11160581A (ja) | 1997-11-26 | 1999-06-18 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光半導体モジュール |
-
1998
- 1998-11-13 JP JP34114598A patent/JP3345853B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-11-11 CA CA002318518A patent/CA2318518A1/en not_active Abandoned
- 1999-11-11 EP EP99972312A patent/EP1059547A4/en not_active Withdrawn
- 1999-11-11 US US09/600,199 patent/US6606435B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-11-11 WO PCT/JP1999/006288 patent/WO2000029890A1/ja active Application Filing
-
2003
- 2003-06-20 US US10/465,685 patent/US7014371B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003057498A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-26 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザモジュールの製造方法 |
| JP4676101B2 (ja) * | 2001-08-08 | 2011-04-27 | 古河電気工業株式会社 | 半導体レーザモジュールの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA2318518A1 (en) | 2000-05-25 |
| JP3345853B2 (ja) | 2002-11-18 |
| EP1059547A4 (en) | 2002-03-20 |
| US6606435B1 (en) | 2003-08-12 |
| EP1059547A1 (en) | 2000-12-13 |
| US7014371B1 (en) | 2006-03-21 |
| WO2000029890A1 (fr) | 2000-05-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR920010947B1 (ko) | 광결합장치와 그 제조방법, 발광장치와 그 조립방법 및 렌즈홀더 | |
| JP2875812B2 (ja) | 光ファイバと半導体レーザダイオード間にカップリングを有するオプトエレクトロニク装置 | |
| US7548673B2 (en) | Methods and apparatus for alignment and assembly of optoelectronic components | |
| EP1560052A1 (en) | Method and apparatus for adjusting the path of an optical beam | |
| EP0495865A1 (en) | Mounting optical components | |
| JP3345853B2 (ja) | レーザダイオードモジュールおよびその作製方法 | |
| JP2002267891A (ja) | 半導体レーザモジュールおよびその半導体レーザモジュールの調心方法 | |
| JPH11160569A (ja) | 光結合回路 | |
| JPH11160581A (ja) | 光半導体モジュール | |
| US7636504B2 (en) | Optical fibre alignment mechanism | |
| JPH01310315A (ja) | 光導波路と光ファイバとの接続構造及びその製造方法 | |
| JP2002055264A (ja) | 光学部品をベースに装着した傾斜導波路と整合させる方法および関連する光学装置 | |
| JP2000121869A (ja) | 光ファイバ結合方法 | |
| JPH01310314A (ja) | 光導波路と光ファイバとを接続する方法 | |
| WO2002067030A1 (fr) | Dispositif de support de capsule de contact et procede de production de modules laser a semi-conducteurs | |
| JPH0943455A (ja) | 光モジュール | |
| JPH0943454A (ja) | 光モジュール | |
| JP3977098B2 (ja) | フェルール把持装置及び半導体レーザモジュールの製造装置並びにその製造方法 | |
| JP2555945B2 (ja) | 光モジュール組立方法 | |
| JPH02310507A (ja) | 光フアイバ位置決め固定方法 | |
| JP5056778B2 (ja) | 光学素子及びその調整方法 | |
| JP2003057498A (ja) | 半導体レーザモジュールの製造方法 | |
| JPH08278430A (ja) | 光素子モジュールおよびその組立方法 | |
| JPH0627324A (ja) | 光学装置の組立方法及びその組立治具 | |
| JPH01186907A (ja) | 半導体レーザ・光ファイバ結合器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080906 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090906 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100906 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110906 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120906 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130906 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |