JP2000147331A - Ldアレイ光の集光装置 - Google Patents

Ldアレイ光の集光装置

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JP2000147331A
JP2000147331A JP10321194A JP32119498A JP2000147331A JP 2000147331 A JP2000147331 A JP 2000147331A JP 10321194 A JP10321194 A JP 10321194A JP 32119498 A JP32119498 A JP 32119498A JP 2000147331 A JP2000147331 A JP 2000147331A
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JP
Japan
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array
light
face
fan
laser
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JP10321194A
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English (en)
Inventor
Tsutomu Sakurai
努 櫻井
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数のLDアレイから出射されるレーザー光
を効率よく集光するLDアレイ光の集光装置を提供す
る。 【解決手段】 LDアレイ1から出射されるレーザー光
をファイバーレンズ6により平行光にして扇形カライド
4に入射して集光させユニットを前記扇形カライド4を
密着積層して複数ユニットに構成する。LDアレイ1か
ら出射されるレーザー光が扇形カライド4の出射端面の
外側で集光されるように前記ファイバーレンズをアライ
メントする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のLDアレイ
からのレーザー光を効率よく集光し、集光されたレーザ
ー光をレーザー加工等の用に供するLDアレイ光の集光
装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図10に示すように、複数のLDアレイ
21a、21b、21cを積層配置し、各LDアレイ2
1a、21b、21cから出射されるレーザー光を扇形
カライド22により集光することによって大きなレーザ
ー出力を得ることができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、レーザ
ー光は扇形カライドの厚さ方向の上下面で多重反射して
出射端面に向かうため、多重反射による反射損失が大き
くなり、また、扇形カライドによる集光は出射端面側で
焦点を結ぶものでなく、出射端面の開口径で面発光する
状態となるため、出射端面でのレーザー光の広がりが大
きく、光ファイバーなどの光学系とのカップリング効率
が低い問題点があった。
【0004】本発明が目的とするところは、積層配置し
た複数のLDアレイから出射されるレーザー光を効率よ
く集光するLDアレイ光の集光装置を提供することにあ
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本願の第1発明に係るLDアレイ光の集光装置は、複
数のレーザーダイオードを一直線上に配列して構成され
たLDアレイと、このLDアレイのレーザーダイオード
の配列方向に配設されたファイバーレンズと、平面形状
が円をその中心点から所定角度で切り取った扇形に形成
され、円弧側の平面方向の幅がLDアレイのレーザーダ
イオード配列方向の幅に対応し、中心点側が中心点から
円弧側寄りの所定位置で直線カットされ、その厚さが円
弧側から中心点側に向けて減少するテーパー角度に形成
され、円弧側をレーザー光の入射端面、中心点側をレー
ザー光の出射端面とする扇形カライドとを1ユニットと
して、複数の前記扇形カライドをその平面で密着積層さ
せた状態にして複数のユニットに組み合わせ、各LDア
レイから出射されたレーザー光が各扇形カライドの出射
端面より外側の位置で集光されるように各ファイバーレ
ンズをアライメントしてなることを特徴とする。
【0006】上記第1発明の構成によれば、複数に配設
された各LDアレイから出射されたレーザー光は、各フ
ァイバーレンズによって平行光にして扇形カライドに入
射されて集光される。各LDアレイからのレーザー光
は、各扇形カライドの積層方向には、扇形カライドの出
射端面より外側の位置で焦点を結ぶように各ファイバー
レンズがアライメントされるので、扇形カライド内の上
下面での多重反射はなく、多重反射による損失は生じな
い。扇形カライドの幅方向には所定幅に集光されるの
で、扇形カライドの出射端面の外側には扇状カライドの
幅方向に線状に集光された状態となり、これを線状に並
べた複数の光ファイバーに導波するような光学系に集光
することができる。
【0007】また、上記目的を達成するための本願の第
2発明に係るLDアレイ光の集光装置は、複数のレーザ
ーダイオードを一直線上に配列して構成されたLDアレ
イをレーザーダイオードの配列方向を平行にして複数層
に積層配置したLDアレイ群と、平面形状が円をその中
心点から所定角度で切り取った扇形に形成され、円弧側
の平面方向の幅がLDアレイのレーザーダイオードの配
列方向の幅に対応し、扇形の中心点側が中心点から円弧
側寄りの所定位置で直線カットされ、その厚さが複数の
LDアレイの積層厚さに対応するように形成され、円弧
側をレーザー光の入射端面、中心点側を出射端面として
形成されてなる扇形カライドとの間に、各LDアレイの
レーザーダイオードの配列方向にそれぞれ集光レンズを
配設し、各LDアレイから出射されたレーザー光が扇形
カライドの平面方向には前記扇形カライドにより集光さ
れると同時に、扇形カライドの厚さ方向には前記集光レ
ンズにより扇形カライドの出射端面の外側で集光される
ように構成されてなることを特徴とする。
【0008】上記第2発明の構成によれば、複数に配設
された各LDアレイから出射されたレーザー光は、各集
光レンズによって平行光にして扇形カライドに入射され
て集光される。各LDアレイからのレーザー光は、扇形
カライドの出射端面より外側の位置で焦点を結ぶように
各集光レンズがアライメントされるので、扇形カライド
内の上下面での多重反射はなく、多重反射による損失は
生じない。扇形カライドの幅方向には所定幅に集光され
るので、扇形カライドの出射端面の外側には扇状カライ
ドの幅方向に線状に集光された状態となり、これを線状
に並べた複数の光ファイバーに導波するような光学系に
集光することができる。
【0009】上記構成において、集光レンズは、シリン
ドリカルレンズもしくはファイバーレンズもしくはロッ
ドレンズで形成することができる。
【0010】また、上記目的を達成するための本願の第
3発明に係るLDアレイ光の集光装置は、複数のレーザ
ーダイオードを一直線上に配列して構成されたLDアレ
イと、このLDアレイに密着するレーザー光の入射端面
の幅と厚さとが出射端面に向けてそれぞれ所定のテーパ
ー角度で減少するように形成された台形カライドとを1
ユニットとして、複数の前記台形カライドを厚さ方向に
積層させた状態にして複数のユニットに組み合わせ、各
LDアレイから出射されたレーザー光が各台形カライド
により集光されるように構成されてなることを特徴とす
る。
【0011】上記第3発明の構成によれば、各LDアレ
イの出射面に各台形カライドの入射端面を密着させて配
置されるので、この間のカップリング損失はなく、レー
ザー光は各台形カライドによって集光され、台形カライ
ドの出射端面から出射される。
【0012】上記第3発明の構成において、複数の台形
カライドの出射端面に、レーザー光によって励起される
発振プレートを配設して構成することにより、台形カラ
イドの出射端面から広がるレーザー光は、発振プレート
により平行光に変換されるので、出射端面に接続される
光学系とのNA差による損失を減少させることができ
る。
【0013】また、上記目的を達成するための本願の第
4発明に係るLDアレイ光の集光装置は、複数のレーザ
ーダイオードを一直線上に配列して構成されたLDアレ
イと、入射端面の幅と厚さとが出射端面に向けてそれぞ
れ所定のテーパー角度で減少するように形成され、入射
端面にLDアレイのレーザーダイオード配列方向と直交
する方向の拡がり光を出射端面より外側の位置で焦点を
結ぶようにアール面が形成された台形カライドとを1ユ
ニットとして、複数の前記台形カライドを厚さ方向に積
層すると共に、各台形カライドによる焦点位置が同一位
置に一致する状態にして複数のユニットに組み合わせて
なることを特徴とする。
【0014】上記第4発明の構成によれば、各台形カラ
イドの入射端面に形成されたアール面により、LDアレ
イのレーザーダイオード配列方向と直交する方向の拡が
り光を集光して出射端面より外側の位置で焦点を結ぶよ
うになるので、出射NAが小さくなり、台形カライドの
出射端面に結合される光ファイバーとのカップリング効
率を向上させることができる。
【0015】また、上記目的を達成するための本願の第
5発明に係るLDアレイ光の集光装置は、複数のレーザ
ーダイオードを一直線上に配列して構成されたLDアレ
イと、平面形状が円をその中心点から所定角度で切り取
った扇形に形成され、円弧側の平面方向の幅がLDアレ
イのレーザーダイオードの配列方向の幅に対応し、扇形
の中心点側が中心点から円弧側寄りの所定位置で直線カ
ットされ、その厚さが入射端面から出射端面に向け所定
のテーパー角度で減少するように形成され、入射端面に
LDアレイのレーザーダイオード配列方向と直交する方
向の拡がり光を出射端面より外側の位置で焦点を結ぶよ
うにアール面が形成された台形カライドとを1ユニット
として、複数の前記扇形カライドを厚さ方向に積層する
と共に、各扇形カライドによる焦点位置が同一位置に一
致する状態にして複数のユニットに組み合わせてなるこ
とを特徴とする。
【0016】上記第5発明の構成によれば、各扇形カラ
イドの入射端面に形成されたアール面により、LDアレ
イのレーザーダイオード配列方向と直交する方向の拡が
り光を集光して出射端面より外側の位置で焦点を結ぶよ
うになり、扇形によるLDアレイの幅方向の拡がり光も
集光されるので、出射NAが小さくなり、扇形カライド
の出射端面に結合される光ファイバーとのカップリング
効率はより向上させることができる。
【0017】また、上記目的を達成するための本願の第
6発明に係るLDアレイ光の集光装置は、複数のレーザ
ーダイオードを一直線上に配列して構成されたLDアレ
イをレーザーダイオードの配列方向を平行にして複数層
に配置したLDアレイ群と、平面形状が円をその中心点
から所定角度で切り取った扇形に形成され、円弧側の平
面方向の幅がLDアレイのレーザーダイオードの配列方
向の幅に対応し、扇形の中心点側が中心点から円弧側寄
りの所定位置で直線カットされ、その厚さが複数のLD
アレイの積層厚さに対応するように形成され、円弧側を
レーザー光の入射端面、中心点側を出射端面として形成
されてなる扇形カライドとの間に、円形断面の対角でカ
ットしたカットファイバーレンズを各LDアレイに対応
するように配列し、各LDアレイから出射されるレーザ
ー光が前記扇形カライドの出射端面より外側の位置で集
光されるように各カットファイバーレンズのカット幅及
び配列位置を調整して、ビルドブロックに組み合わせた
ファイバーレンズブロックが配設されてなることを特徴
とする。
【0018】上記第6発明の構成によれば、ビルドブロ
ックによりカットファイバーレンズを一体的に構成する
ことにより、ファイバー固有の曲がりやLDアレイ間の
ピッチ誤差の影響をなくすことができるので、極めて高
密度に集光できるようにアライメントすることができ
る。
【0019】上記第6発明において、各カットファイバ
ーレンズと各LDアレイとの間に、カットファイバーレ
ンズによりレーザー光を集光するのに必要な厚みに調整
された透明平板を各カットファイバーレンズに密着させ
て配設することにより、各カットファイバーレンズのア
ライメントが容易で、複数のカットファイバーレンズを
一体的に構成するビルドブロックに形成することができ
る。
【0020】また、上記各構成において、入射端面の形
状が扇形カライドまたは台形カライドの平面方向への拡
がり光の幅に対応する方向に広い偏平断面に形成され、
円形断面の出射端面に向けてテーパー角度が形成された
偏平テーパーファイバーにより、扇形カライドまたは台
形カライドからの出射光を導波するように構成すること
により、扇形カライドまたは台形カライドによって、そ
の平面方向に拡がりをもつ形状に集光されたレーザー光
は平面方向に偏平な入射端面の形状に形成された偏平テ
ーパーファイバーに入射されるので、ケラレがなく効率
よく光導波させることができる。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の一実施形態について説明し、本発明の理解に供する。
尚、以下に示す実施形態は本発明を具体化した一例であ
って、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【0022】図1は、本発明の第1の実施形態に係るL
Dアレイ光の集光装置の構成を示すもので、同図(a)
は平面図、同図(b)は側面図である。
【0023】図1(a)に示すLDアレイ1、ファイバ
ーレンズ6、扇形カライド4は、これを1ユニットとし
て、これを同図(b)に示すように、3ユニットをx軸
方向に積層配置して構成されている。前記LDアレイ1
は、複数のLD(レーザーダイオード)2をy軸方向の
一直線上に配列して構成されている。このLDアレイ1
(1a〜1c)から出射されるレーザー光は、図1
(b)に示すようにファイバレンズ6(6a〜6c)に
よりほぼ平行にして扇形カライド4(4a〜4c)にそ
の入射端面から入射される。扇形カライド4は、所定半
径の円を前記LDアレイ1のLD2の配列方向に対応す
る幅の円弧に切り取った扇形の平面形状に形成され、円
弧側をx軸方向に所定厚さに形成して、これを入射端面
とし、この入射端面の厚さは中心点側(z軸方向)に向
けて減少するテーパー角度が形成されている。中心点側
は円の中心点から円弧側への所定位置で直線カットされ
た面を出射端面として形成されている。このように形成
された扇形カライド4は、図1(b)に示すように3個
の扇形カライド4a、4b、4cを扇形平面で密着させ
て積層配置される。
【0024】上記構成において、各LDアレイ1a、1
b、1cそれぞれから出射されるレーザー光は、各ファ
イバーレンズ6a、6b、6cをアライメントすること
によって、各扇形カライド4a、4b、4cの出射端面
より外側の位置でx軸方向の1点で集光されるように設
定される。従って、各LDアレイ1a、1b、1cから
出射されたレーザー光は、各扇形カライド4a、4b、
4cによってy軸方向に出射端面の幅に集光されると共
に、x軸方向には1点に集光された線状の高密度なレー
ザー光として出力される。
【0025】図2は、本発明の第2の実施形態に係るL
Dアレイ光の集光装置の構成を示すもので、同図(a)
は平面図、同図(b)は側面図である。
【0026】図2(a)に示すように、第2の実施形態
に係るLDアレイ光の集光装置は、LDアレイスタック
3、シリンドリカルレンズ群7、扇形カライド8の順に
z軸方向に配設して構成されている。前記LDアレイス
タック3は、同図(b)に示すように、3個のLDアレ
イ1a、1b、1cをx軸方向に等間隔に配設して一体
化して構成されている。また、前記シリンドリカルレン
ズ群7は、各LDアレイ1a、1b、1cそれぞれに対
応して配設され、各LDアレイ1a、1b、1cから出
射されたレーザー光を扇形カライド8の出射端面より外
側の位置でx軸方向の1点に焦点を結ぶように各シリン
ドリカルレンズ7a、7b、7cの曲率及び配設ピッチ
が調整される。また、扇形カライド8は、所定半径の円
を前記LDアレイ1のLD2の配列方向に対応する幅の
円弧に切り取った扇形の平面形状に形成され、円弧側を
前記LDアレイスタック3のx軸方向の幅に対応する厚
さに形成され、中心点側は円の中心点から円弧側への所
定位置で直線カットされた面を出射端面として形成され
ている。
【0027】上記構成において、LDアレイスタック3
の各LDアレイ1a、1b、1cそれぞれから出射され
るレーザー光は、x軸方向には各シリンドリカルレンズ
7a、7b、7cによって集光され、y軸方向には各扇
形カライド8によって集光される。従って、LDアレイ
スタック3から出射されたレーザー光は、各扇形カライ
ド8のy軸方向に出射端面の幅に集光されると共に、x
軸方向には1点に集光された線状の高密度なレーザー光
として出力される。
【0028】上記第2の実施形態の構成は、図3(a)
に示すように、シリンドリカルレンズ7に代えて第1の
実施形態の構成と同様にファイバーレンズ6(6a〜6
c)を配設してもよい。この第1及び第2の実施形態の
構成において、扇形カライド4、8の出射端面にy軸方
向に線状に集光されたレーザー光を、図3(a)(b)
に示すように、y軸方向に複数本の光ファイバーを列設
したバンドルファイバー11に導き、このバンドルファ
イバー11の延長端側で、図3(c)に示すように円形
に束め、ここから出射されるレーザー光をコンデンサー
レンズ12により集光すると、微小スポット径で高ピー
ク密度のレーザー光出力が得られ、レーザー加工等の用
に供することができる。
【0029】また、図4に示すように、上記バンドルフ
ァイバー11に代えて偏平テーパーファイバー28を用
いて構成することができる。偏平テーパーファイバー2
8は、図4(b)に示すように、扇形カライド8の出射
光のy軸方向のライン形状に合わせてテーパーファイバ
ーの入射端を偏平させたもので、図4(c)に示すよう
に、入射端面が偏平形状で出射端面が円形形状となるテ
ーパー形状に形成される。この構成により扇形カライド
8からの出射光はケラレがなく偏平テーパーファイバー
28に入射され、偏平テーパーファイバー28自体の集
光作用により、入射端面のY軸方向に幅広の入射光は、
出射端面の径の円形に出射される。
【0030】尚、テーパーファイバーの入射端面と出射
端面とのNA(numericalaperture:
開口数)比は、入射径と出射径の比と下式(1)の関係
にあるため、大きな入射径の丸形テーパーファイバーを
用いた場合よりも、上記偏平テーパーファイバー28の
場合には、出射端面でのNA値を小さくすることができ
る。
【0031】 出射NA/入射NA=入射径/出射径……(1) 図5は、本発明の第3の実施形態に係るLDアレイ光の
集光装置の構成を示すもので、同図(a)は平面図、同
図(b)は側面図である。
【0032】第3の実施形態に係るLDアレイ光の集光
装置は、図5(a)(b)に示すように、x軸方向に配
列された5個のLDアレイ1(1a〜1e)、ファイバ
ーレンズブロック20、扇形カライド8の順にz軸方向
に配設して構成されている。
【0033】前記ファイバーレンズブロック20は、同
図(b)に示すように、円形断面のファイバーレンズを
LDアレイ1から出射されるレーザー光のx軸方向の拡
がりよるケラレが生じない幅にHカットしたカットファ
イバーレンズ22a〜22eを配列し、その両側に直方
体形状のブロック25、26を配して透明平板23、2
4で挟んで構成される。このファイバーレンズブロック
20の形成方法は次のようになされる。
【0034】まず、x軸方向に配置された透明平板23
に各LDアレイ1a〜1eを密着配置し、透明平板23
に1つめのカットファイバーレンズ22aの円弧面を密
着させ、ブロック25に押し当ててファイバー固有の曲
がりを矯正すると共に透明平板23上をスライドさせ、
LDアレイ1aから出射されるレーザー光が所望の焦点
位置fに集光する位置にアライメントする。次に、2つ
めのカットファイバーレンズ22bを1つめのカットフ
ァイバーレンズ22aに押し当てたとき、前記焦点位置
fに集光されるようにカット幅を調整する。尚、1つめ
のカットファイバーレンズ22aとの間に隙間が生じる
場合には、シムを挟んで調整することができる。以下、
同様の手順により3つめ以降のカットファイバーレンズ
22c、22d、22eの位置をアライメントし、図示
するようにブロック26、透明平板24を配してファイ
バーレンズブロック20に完成させる。
【0035】本実施形態の構成によるLDアレイ光の集
光構造は、第2の実施形態の構成と同様であるが、ファ
イバーレンズブロック20を構成することにより、ファ
イバーの曲がりや各LDアレイ1a〜1e間の配列ピッ
チの誤差の影響をなくすことができ、極めて高密度に集
光できるアライメントが可能となる。具体的な実施デー
タとしては、LD2のx軸方向の発光幅1μmに対し
て、集光幅はLD2の端面から30mm離れた位置で
0.3mmとなった。
【0036】図6は、本発明の第4の実施形態に係るL
Dアレイ光の集光装置の構成を示すもので、同図(a)
は平面図、同図(b)は側面図である。
【0037】図6(a)(b)に示すように、第4の実
施形態に係るLDアレイ光の集光装置は、LDアレイ1
a、1b、1cそれぞれのレーザー光の出射面に密着さ
せて台形カライド9a、9b、9cを配設して構成され
ている。各台形カライド9a、9b、9cは、LDアレ
イ1のy軸方向の幅に一致する入射端面の幅がz軸方向
に減少する台形に形成され、x軸方向には入射端面の厚
さが出射端面に向けて減少するテーパー角度が形成さ
れ、各台形カライド9a、9b、9cは、図6(b)に
示すように互いに密着させた状態で積層されている。
【0038】上記構成において、各LDアレイ1a、1
b、1cそれぞれから出射されるレーザー光は、各台形
カライド9a、9b、9cによって集光され、光密度を
上げて出射端面から出射される。この出射端面から出射
されるレーザー光は、出射端面での面発光の状態でNA
値が大きく、出射端面に光ファイバーを接続したときの
周辺部でのケラレが生じて導波ロスが大きくなる。これ
を解決するために、図7に示すように、台形カライド9
の出射端面に発振プレート14を配設することができ
る。
【0039】図7は、前記発振プレート14の配設部分
を拡大図示するもので、発振プレート14は、図示する
ように台形カライド9a、9b、9cと光ファイバー1
3と間に配置され、台形カライド9内での反射角度が大
きくなったレーザー光を平行光にして光ファイバー13
に入射させるので、NA差によるケラレは少なくなる。
また、光ファイバー13への入射角度が大きくなる端部
側のレーザー光を平行光に変換するように、図示するよ
うに中心部が開口された発振プレート14を配設する
と、NA差によるケラレの発生は抑制される。
【0040】前記発振プレート14は、LDアレイ1か
ら出射されるレーザー光の波長が810nmのときに
は、Ndのドープ量が1〜3%のYVO4 結晶を厚さ
0.3〜1mmの平行平板にカットしたプレートのレー
ザー光入射面側に全反射コート、反対面に1064nm
に対して90〜98%の反射コートを施して形成するこ
とができ、変換効率は60%以上となる。
【0041】図8は、本発明の第5の実施形態に係るL
Dアレイ光の集光装置の構成を示すもので、同図(a)
は平面図、同図(b)は側面図である。
【0042】図8(a)(b)に示すように、第4の実
施形態に係るLDアレイ光の集光装置は、x軸方向に配
列された各LDアレイ1a、1b、1cそれぞれに台形
カライド15a、15b、15cを配設して構成されて
いる。各台形カライド15a、15b、15cは、LD
アレイ1のy軸方向の幅に対応する入射端面の幅がz軸
方向に減少する台形に形成され、x軸方向には入射端面
の厚さが出射端面に向けて減少するテーパー角度が形成
され、更に、図8(b)に示すように、入射端面に厚さ
方向のアール面が形成されており、これら各台形カライ
ド15a、15b、15cは、互いに密着させた状態で
積層されている。
【0043】上記構成において、各LDアレイ1a、1
b、1cそれぞれから出射されるレーザー光のx軸方向
の拡がり光は、各台形カライド15a、15b、15c
それぞれの入射端面に形成されたアール面により、各台
形カライド15a、15b、15cの出射端面より外側
の所望の焦点位置fに集光される。従って、各台形カラ
イド15a、15b、15cの出射端面でのx軸方向の
出射NA値は小さくなり、光ファイバーに結合するカッ
プリング効率を向上させることができる。
【0044】図9は、本発明の第6の実施形態に係るL
Dアレイ光の集光装置の構成を示すもので、同図(a)
は平面図、同図(b)は側面図である。
【0045】図9(a)(b)に示すように、第5の実
施形態に係るLDアレイ光の集光装置は、x軸方向に配
列された各LDアレイ1a、1b、1cそれぞれに扇形
カライド16a、16b、16cを配設して構成されて
いる。各扇形カライド16a、16b、16cは、所定
半径の円を前記LDアレイ1のLD2の配列方向に対応
する幅の円弧に切り取った扇形の平面形状に形成され、
円弧側は前記LDアレイスタック3のx軸方向の幅に対
応する厚さに形成され、中心点側は円の中心点から円弧
側への所定位置で直線カットされた面を出射端面として
形成すると共に、x軸方向に入射端面の厚さが出射端面
に向けて減少するテーパー角度が形成され、更に、入射
端面に厚さ方向のアール面が形成されてなり、これら各
扇形カライド16a、16b、16cは、互いに密着さ
せた状態で積層されている。
【0046】上記構成において、各LDアレイ1a、1
b、1cそれぞれから出射されるレーザー光のx軸方向
の拡がり光は、各扇形カライド16a、16b、16c
それぞれの入射端面に形成されたアール面により、各台
形カライド16a、16b、16cの出射端面より外側
の所望の焦点位置fに集光されると共に、y軸方向にも
扇形の円弧によるアール面が形成されている。従って、
各扇形カライド16a、16b、16cの出射端面での
x軸方向に加えてy軸方向にも出射NA値は小さくな
り、光ファイバーに結合するカップリング効率を更に向
上させることができる。
【0047】上記第5及び第6の実施形態の構成では、
台形カライド15もしくは扇形カライド16により集光
のためのアライメントを行うことができ、ファイバーレ
ンズ等によるアライメントに比して大きなサイズの要素
を取り扱うので、アライメントの作業は簡便になる。
【0048】
【発明の効果】以上の説明の通り本発明によれば、複数
のLDアレイから出射されるレーザー光を効率よく集光
し、導波ロスを少なくして光ファイバーに導くことがで
きるので、LDアレイから光密度の高いレーザービーム
を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態に係るLDアレイ光の集光装置
の構成を示す(a)は平面図、(b)は側面図。
【図2】第2の実施形態に係るLDアレイ光の集光装置
の構成を示す(a)は平面図、(b)は側面図。
【図3】集光装置によって集光されたレーザー光を光フ
ァイバーに導波する構成を示す(a)は側面図、(b)
はB−B線、(c)はC−C線の矢視断面図。
【図4】上記構成を偏平テーパーファイバーに代えた構
成を示す(a)は側面図、(b)はB−B線矢視断面
図、(c)は偏平テーパーファイバーの断面形状の変化
を示す模式図。
【図5】第3の実施形態に係るLDアレイ光の集光装置
の構成を示す(a)は平面図、(b)は側面図。
【図6】第4の実施形態に係るLDアレイ光の集光装置
の構成を示す(a)は平面図、(b)は側面図。
【図7】発振プレートの構成を示す側面図。
【図8】第5の実施形態に係るLDアレイ光の集光装置
の構成を示す(a)は平面図、(b)は側面図。
【図9】第6の実施形態に係るLDアレイ光の集光装置
の構成を示す(a)は平面図、(b)は側面図。
【図10】従来技術に係るLDアレイ光の集光装置の構
成を示す(a)は平面図、(b)は側面図。
【符号の説明】
1、1a、1b、1c LDアレイ 2 LD(レーザーダイオード) 3 LDアレイスタック 4、8 扇形カライド 6、6a、6b、6c ファイバーレンズ 7、7a、7b、7c シリンドリカルレンズ 9、9a、9b、9c 台形カライド 11、13 光ファイバー 14 発振プレート 20 ファイバーレンズブロック 22a〜22e カットファイバーレンズ 23、24 透明平板 25、26 ブロック 28 偏平テーパーファイバー

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のレーザーダイオードを一直線上に
    配列して構成されたLDアレイと、このLDアレイのレ
    ーザーダイオードの配列方向に配設されたファイバーレ
    ンズと、平面形状が円をその中心点から所定角度で切り
    取った扇形に形成され、円弧側の平面方向の幅がLDア
    レイのレーザーダイオード配列方向の幅に対応し、中心
    点側が中心点から円弧側寄りの所定位置で直線カットさ
    れ、その厚さが円弧側から中心点側に向けて減少するテ
    ーパー角度に形成され、円弧側をレーザー光の入射端
    面、中心点側をレーザー光の出射端面とする扇形カライ
    ドとを1ユニットとして、複数の前記扇形カライドをそ
    の平面で密着積層させた状態にして複数のユニットに組
    み合わせ、各LDアレイから出射されたレーザー光が各
    扇形カライドの出射端面より外側の位置で集光されるよ
    うに各ファイバーレンズをアライメントしてなることを
    特徴とするLDアレイ光の集光装置。
  2. 【請求項2】 複数のレーザーダイオードを一直線上に
    配列して構成されたLDアレイをレーザーダイオードの
    配列方向を平行にして複数層に積層配置したLDアレイ
    群と、平面形状が円をその中心点から所定角度で切り取
    った扇形に形成され、円弧側の平面方向の幅がLDアレ
    イのレーザーダイオードの配列方向の幅に対応し、扇形
    の中心点側が中心点から円弧側寄りの所定位置で直線カ
    ットされ、その厚さが複数のLDアレイの積層厚さに対
    応するように形成され、円弧側をレーザー光の入射端
    面、中心点側を出射端面として形成されてなる扇形カラ
    イドとの間に、各LDアレイのレーザーダイオードの配
    列方向にそれぞれ集光レンズを配設し、各LDアレイか
    ら出射されたレーザー光が扇形カライドの平面方向には
    前記扇形カライドにより集光されると同時に、扇形カラ
    イドの厚さ方向には前記集光レンズにより扇形カライド
    の出射端面の外側で集光されるように構成されてなるこ
    とを特徴とするLDアレイ光の集光装置。
  3. 【請求項3】 集光レンズが、シリンドリカルレンズも
    しくはファイバーレンズもしくはロッドレンズで形成さ
    れてなる請求項2記載のLDアレイ光の集光装置。
  4. 【請求項4】 複数のレーザーダイオードを一直線上に
    配列して構成されたLDアレイと、このLDアレイに密
    着するレーザー光の入射端面の幅と厚さとが出射端面に
    向けてそれぞれ所定のテーパー角度で減少するように形
    成された台形カライドとを1ユニットとして、複数の前
    記台形カライドを厚さ方向に積層させた状態にして複数
    のユニットに組み合わせ、各LDアレイから出射された
    レーザー光が各台形カライドにより集光されるように構
    成されてなることを特徴とするLDアレイ光の集光装
    置。
  5. 【請求項5】 複数の台形カライドの出射端面に、レー
    ザー光によって励起される発振プレートが配設されてな
    る請求項4記載のLDアレイ光の集光装置。
  6. 【請求項6】 複数のレーザーダイオードを一直線上に
    配列して構成されたLDアレイと、入射端面の幅と厚さ
    とが出射端面に向けてそれぞれ所定のテーパー角度で減
    少するように形成され、入射端面にLDアレイのレーザ
    ーダイオード配列方向と直交する方向の拡がり光を出射
    端面より外側の位置で焦点を結ぶようにアール面が形成
    された台形カライドとを1ユニットとして、複数の前記
    台形カライドを厚さ方向に積層すると共に、各台形カラ
    イドによる焦点位置が同一位置に一致する状態にして複
    数のユニットに組み合わせてなることを特徴とするLD
    アレイ光の集光装置。
  7. 【請求項7】 複数のレーザーダイオードを一直線上に
    配列して構成されたLDアレイと、平面形状が円をその
    中心点から所定角度で切り取った扇形に形成され、円弧
    側の平面方向の幅がLDアレイのレーザーダイオードの
    配列方向の幅に対応し、扇形の中心点側が中心点から円
    弧側寄りの所定位置で直線カットされ、その厚さが入射
    端面から出射端面に向け所定のテーパー角度で減少する
    ように形成され、入射端面にLDアレイのレーザーダイ
    オード配列方向と直交する方向の拡がり光を出射端面よ
    り外側の位置で焦点を結ぶようにアール面が形成された
    台形カライドとを1ユニットとして、複数の前記扇形カ
    ライドを厚さ方向に積層すると共に、各扇形カライドに
    よる焦点位置が同一位置に一致する状態にして複数のユ
    ニットに組み合わせてなることを特徴とするLDアレイ
    光の集光装置。
  8. 【請求項8】 複数のレーザーダイオードを一直線上に
    配列して構成されたLDアレイをレーザーダイオードの
    配列方向を平行にして複数層に配置したLDアレイ群
    と、平面形状が円をその中心点から所定角度で切り取っ
    た扇形に形成され、円弧側の平面方向の幅がLDアレイ
    のレーザーダイオードの配列方向の幅に対応し、扇形の
    中心点側が中心点から円弧側寄りの所定位置で直線カッ
    トされ、その厚さが複数のLDアレイの積層厚さに対応
    するように形成され、円弧側をレーザー光の入射端面、
    中心点側を出射端面として形成されてなる扇形カライド
    との間に、円形断面の対角でカットしたカットファイバ
    ーレンズを各LDアレイに対応するように配列し、各L
    Dアレイから出射されるレーザー光が前記扇形カライド
    の出射端面より外側の位置で集光されるように各カット
    ファイバーレンズのカット幅及び配列位置を調整して、
    ビルドブロックに組み合わせたファイバーレンズブロッ
    クが配設されてなることを特徴とするLDアレイ光の集
    光装置。
  9. 【請求項9】 各カットファイバーレンズと各LDアレ
    イとの間に、カットファイバーレンズによりレーザー光
    を集光するのに必要な厚みに調整された透明平板を各カ
    ットファイバーレンズに密着させて配設されてなる請求
    項8記載のLDアレイ光の集光装置。
  10. 【請求項10】 入射端面の形状が扇形カライドまたは
    台形カライドの平面方向への拡がり光の幅に対応する方
    向に広い偏平断面に形成され、円形断面の出射端面に向
    けてテーパー角度が形成された偏平テーパーファイバー
    により、扇形カライドまたは台形カライドからの出射光
    を導波するように構成されてなる請求項1〜9いずれか
    一項に記載のLDアレイ光の集光装置。
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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002232056A (ja) * 2001-01-31 2002-08-16 Hamamatsu Photonics Kk 半導体レーザ装置、及び、半導体レーザ装置のレンズ位置固定方法
JP2002232057A (ja) * 2001-01-31 2002-08-16 Hamamatsu Photonics Kk 半導体レーザ装置、及び、半導体レーザ装置のレンズ位置固定方法
JP2002232064A (ja) * 2001-02-05 2002-08-16 Hamamatsu Photonics Kk 半導体レーザ装置、及び、半導体レーザ装置のレンズ位置固定方法
JP2004029570A (ja) * 2002-06-27 2004-01-29 Toyoda Mach Works Ltd 積層型光導波路及びレーザ発光装置
JP2011224042A (ja) * 2010-04-15 2011-11-10 Fujifilm Corp 光源装置及びこれを用いた内視鏡装置
CN102243335A (zh) * 2010-05-12 2011-11-16 夏普株式会社 光导构件、激光光导结构体、激光照射设备和光源设备
JP2011249538A (ja) * 2010-05-26 2011-12-08 Sharp Corp 発光装置および照明装置
CN102764105A (zh) * 2011-05-02 2012-11-07 富士胶片株式会社 医疗设备的光源装置以及内视镜装置
JP2013030453A (ja) * 2011-06-24 2013-02-07 Sharp Corp 投光装置、投光ユニットおよび集光部材
JP2013054386A (ja) * 2012-12-06 2013-03-21 Sharp Corp 導光部材、レーザ導光構造体、レーザ照射装置および光源装置
JP2015230378A (ja) * 2014-06-04 2015-12-21 シャープ株式会社 光学装置
US9228710B2 (en) 2011-06-13 2016-01-05 Sharp Kabushiki Kaisha Light projection apparatus, light condensing unit, and light emitting apparatus

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002232056A (ja) * 2001-01-31 2002-08-16 Hamamatsu Photonics Kk 半導体レーザ装置、及び、半導体レーザ装置のレンズ位置固定方法
JP2002232057A (ja) * 2001-01-31 2002-08-16 Hamamatsu Photonics Kk 半導体レーザ装置、及び、半導体レーザ装置のレンズ位置固定方法
JP4567213B2 (ja) * 2001-01-31 2010-10-20 浜松ホトニクス株式会社 半導体レーザ装置、及び、半導体レーザ装置のレンズ位置固定方法
JP2002232064A (ja) * 2001-02-05 2002-08-16 Hamamatsu Photonics Kk 半導体レーザ装置、及び、半導体レーザ装置のレンズ位置固定方法
JP2004029570A (ja) * 2002-06-27 2004-01-29 Toyoda Mach Works Ltd 積層型光導波路及びレーザ発光装置
JP2011224042A (ja) * 2010-04-15 2011-11-10 Fujifilm Corp 光源装置及びこれを用いた内視鏡装置
CN102243335A (zh) * 2010-05-12 2011-11-16 夏普株式会社 光导构件、激光光导结构体、激光照射设备和光源设备
JP2011237665A (ja) * 2010-05-12 2011-11-24 Sharp Corp 導光部材、レーザ導光構造体、レーザ照射装置および光源装置
JP2011249538A (ja) * 2010-05-26 2011-12-08 Sharp Corp 発光装置および照明装置
CN102764105A (zh) * 2011-05-02 2012-11-07 富士胶片株式会社 医疗设备的光源装置以及内视镜装置
US9228710B2 (en) 2011-06-13 2016-01-05 Sharp Kabushiki Kaisha Light projection apparatus, light condensing unit, and light emitting apparatus
US9494725B2 (en) 2011-06-13 2016-11-15 Sharp Kabushiki Kaisha Light projection apparatus, light condensing unit, and light emitting apparatus
JP2013030453A (ja) * 2011-06-24 2013-02-07 Sharp Corp 投光装置、投光ユニットおよび集光部材
JP2013054386A (ja) * 2012-12-06 2013-03-21 Sharp Corp 導光部材、レーザ導光構造体、レーザ照射装置および光源装置
JP2015230378A (ja) * 2014-06-04 2015-12-21 シャープ株式会社 光学装置

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