JP2000146651A - 熱式空気流量計 - Google Patents
熱式空気流量計Info
- Publication number
- JP2000146651A JP2000146651A JP10326323A JP32632398A JP2000146651A JP 2000146651 A JP2000146651 A JP 2000146651A JP 10326323 A JP10326323 A JP 10326323A JP 32632398 A JP32632398 A JP 32632398A JP 2000146651 A JP2000146651 A JP 2000146651A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air flow
- resistor
- resistors
- flow rate
- potential difference
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
- G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】吸入空気量の脈動振幅が大きく一部逆流を伴う
場合には、従来の熱線式空気流量計では熱線プローブの
応答遅れと逆流により測定誤差が大きくなる。また、温
度差を検出する方式では、測定範囲が小さくなり、汚れ
に弱いという課題がある。 【解決手段】内燃機関の吸気通路内を流れる吸入空気の
流れの方向に応じた空気流量を計測する手段として、発
熱抵抗体と温度補償抵抗により定温度駆動回路を構成す
る第１のブリッジ回路手段、分割された発熱抵抗体の放
散熱量の温度差を検出する第２のブリッジ回路手段、２
つのブリッジ回路の出力の位相を調整する手段を設け
る。
場合には、従来の熱線式空気流量計では熱線プローブの
応答遅れと逆流により測定誤差が大きくなる。また、温
度差を検出する方式では、測定範囲が小さくなり、汚れ
に弱いという課題がある。 【解決手段】内燃機関の吸気通路内を流れる吸入空気の
流れの方向に応じた空気流量を計測する手段として、発
熱抵抗体と温度補償抵抗により定温度駆動回路を構成す
る第１のブリッジ回路手段、分割された発熱抵抗体の放
散熱量の温度差を検出する第２のブリッジ回路手段、２
つのブリッジ回路の出力の位相を調整する手段を設け
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、空気流量測定装置
に係り、特に内燃機関の吸気量検出に好適な熱式の空気
流量測定装置に関する。
に係り、特に内燃機関の吸気量検出に好適な熱式の空気
流量測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より自動車などの内燃機関の電子制
御燃料噴射装置に設けられ吸入空気量を測定する空気流
量装置として、熱線式のものが質量空気量を直接検知で
きることから多数使われている。ここで、４気筒以下の
エンジンの低回転数，重負荷時のように、吸入空気量の
脈動振幅が大きく一部逆流を伴う脈動流の場合、従来の
空気流量装置では精度が低下するため、特開昭62−821
号公報に記載のもの等が考案されている。
御燃料噴射装置に設けられ吸入空気量を測定する空気流
量装置として、熱線式のものが質量空気量を直接検知で
きることから多数使われている。ここで、４気筒以下の
エンジンの低回転数，重負荷時のように、吸入空気量の
脈動振幅が大きく一部逆流を伴う脈動流の場合、従来の
空気流量装置では精度が低下するため、特開昭62−821
号公報に記載のもの等が考案されている。
【０００３】空気流量の逆流量の補正方法として、空気
流の方向を検知せずに補正する方式が特公昭59−17371
号等に記載され、空気流量の交流分を検出し波形全体に
補正、二値を無くすとされている。また、ソフトウェア
による補正手段として空気流量を電圧として検出し、リ
ニアライズ（単位変換）した後、進み処理を施して逆流
状態を検出，補正するやり方が特開平9−88711号等に記
載されている。
流の方向を検知せずに補正する方式が特公昭59−17371
号等に記載され、空気流量の交流分を検出し波形全体に
補正、二値を無くすとされている。また、ソフトウェア
による補正手段として空気流量を電圧として検出し、リ
ニアライズ（単位変換）した後、進み処理を施して逆流
状態を検出，補正するやり方が特開平9−88711号等に記
載されている。
【０００４】一方、特開平9−318412 号等には、発熱部
の上流，下流の両側に温度検出部を設け、定温度駆動の
際の温度差から流速を検出し、流れの向きに応じた出力
を直接得る方法が記載されている。また、温度差の出力
から得られる流速信号と、発熱部に供給される加熱電流
から得られる流速信号とを加算して流速を検出するやり
方も記載されている。この様な場合でも、それぞれの流
速信号に位相差が発生し、位相ずれにより誤差が発生し
易いといった課題がある。
の上流，下流の両側に温度検出部を設け、定温度駆動の
際の温度差から流速を検出し、流れの向きに応じた出力
を直接得る方法が記載されている。また、温度差の出力
から得られる流速信号と、発熱部に供給される加熱電流
から得られる流速信号とを加算して流速を検出するやり
方も記載されている。この様な場合でも、それぞれの流
速信号に位相差が発生し、位相ずれにより誤差が発生し
易いといった課題がある。
【０００５】特開平8−43161号では発熱抵抗体を並列に
配置し、平均値した値を用いて加熱電流を制御し、流量
出力を得る方法が記載されている。この様な場合、平均
値化することにより平均値化した値が、流れの向きに応
じた瞬時的に流量と必ずしも等しくならず流れの向きに
応じた流量値の検出が正確さを欠くといった課題が生じ
ている。
配置し、平均値した値を用いて加熱電流を制御し、流量
出力を得る方法が記載されている。この様な場合、平均
値化することにより平均値化した値が、流れの向きに応
じた瞬時的に流量と必ずしも等しくならず流れの向きに
応じた流量値の検出が正確さを欠くといった課題が生じ
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、脈動
時に逆流と呼ばれる吸気弁がオーバーラップしていると
きはピストン上昇に伴って排気弁側から正圧で吸気弁側
に戻る空気の吹き返し現象を、従来の熱線式空気流量計
で測定すると、その信号は順流，逆流の流れの方向に関
係なく流速の絶対値に対応した正の信号を出力する。従
って逆流時にあたかも順流のような信号となるので、真
の平均空気流量よりも大きい信号を出力することにな
る。このときの測定誤差は３０〜１００％に達するとい
う問題があった。
時に逆流と呼ばれる吸気弁がオーバーラップしていると
きはピストン上昇に伴って排気弁側から正圧で吸気弁側
に戻る空気の吹き返し現象を、従来の熱線式空気流量計
で測定すると、その信号は順流，逆流の流れの方向に関
係なく流速の絶対値に対応した正の信号を出力する。従
って逆流時にあたかも順流のような信号となるので、真
の平均空気流量よりも大きい信号を出力することにな
る。このときの測定誤差は３０〜１００％に達するとい
う問題があった。
【０００７】また、熱線プローブの出力と空気流量はキ
ングの式と呼ばれる次式によって表される。
ングの式と呼ばれる次式によって表される。
【０００８】 Ｉｈ・Ｉｈ・Ｒｈ＝(Ｃ１＋Ｃ２√Ｑ)(Ｔｈ−Ｔａ) …（式１） ここでＩｈは熱線電流、Ｒｈは熱線抵抗、Ｔｈは熱線の
表面温度、Ｔａは空気の温度、Ｑは空気流量、Ｃ１，Ｃ
２は熱線で決まる定数である。センサの出力は、熱線電
流値Ｉｈを抵抗で電圧値として検出するのが一般的であ
り、エンジンコントロールユニットでは、式１の関係か
らセンサの出力電圧値を流量値に変換してエンジン制御
に用いている。
表面温度、Ｔａは空気の温度、Ｑは空気流量、Ｃ１，Ｃ
２は熱線で決まる定数である。センサの出力は、熱線電
流値Ｉｈを抵抗で電圧値として検出するのが一般的であ
り、エンジンコントロールユニットでは、式１の関係か
らセンサの出力電圧値を流量値に変換してエンジン制御
に用いている。
【０００９】しかし、自動車の計測に用いる熱線プロー
ブは、信頼性を確保するために太い線やある程度の熱容
量を有するセンサが用いられる場合が多い。その場合、
脈動時の動的な流量変動に対して応答遅れを有し、エン
ジンの脈動時に正確な波形を計測できず誤差を含みやす
いといった問題があった。
ブは、信頼性を確保するために太い線やある程度の熱容
量を有するセンサが用いられる場合が多い。その場合、
脈動時の動的な流量変動に対して応答遅れを有し、エン
ジンの脈動時に正確な波形を計測できず誤差を含みやす
いといった問題があった。
【００１０】また、熱容量の小さな抵抗発熱体として、
シリコン基盤上にヒータを構成した場合、ヒータの上
流，下流側に感温抵抗体を配置し温度差を検知すること
で流れの向きに応じた出力を得ることができるが、温度
差検出のための感温抵抗体へ汚れが付着した場合、感度
が変化して出力への影響を受けやすかったり、流量の測
定範囲を大きくすることが困難であった。同時に、大き
な感度を得るには、ヒータ部の抵抗発熱体や温度センサ
部の感温抵抗体の温度依存性を大きくする必要があり、
白金やニッケル等の比較的大きな温度依存性を有する物
質で膜を作成する必要があるため、製造プロセスが複雑
となり安価に作るのが困難であった。
シリコン基盤上にヒータを構成した場合、ヒータの上
流，下流側に感温抵抗体を配置し温度差を検知すること
で流れの向きに応じた出力を得ることができるが、温度
差検出のための感温抵抗体へ汚れが付着した場合、感度
が変化して出力への影響を受けやすかったり、流量の測
定範囲を大きくすることが困難であった。同時に、大き
な感度を得るには、ヒータ部の抵抗発熱体や温度センサ
部の感温抵抗体の温度依存性を大きくする必要があり、
白金やニッケル等の比較的大きな温度依存性を有する物
質で膜を作成する必要があるため、製造プロセスが複雑
となり安価に作るのが困難であった。
【００１１】本発明の目的は簡単な構成で、脈動時でも
測定誤差の少ない熱式空気流量計を提供することにあ
る。
測定誤差の少ない熱式空気流量計を提供することにあ
る。
【００１２】また、上記目的は、内燃機関の吸入空気流
中に設けられた２つの抵抗体と、前記２つの抵抗体の電
位差を制御するブリッジ回路とを備えた熱式空気流量計
において、前記吸入空気中に設けられ、前記ブリッジ回
路とは独立に設けられた第３の抵抗体を備え、前記２つ
の抵抗体のうちの１つは、第１の抵抗体と、前記第１の
抵抗体よりも前記吸入空気流の下流側に設けられ前記ブ
リッジ回路中で前記第１の抵抗体に直列に接続された第
２の抵抗体とからなり、前記第１の抵抗体の電位差と、
前記第２の抵抗体の電位差と、前記第３の抵抗体の電位
差とに基づいて、前記ブリッジ回路から出力される空気
流量信号を補正することによって達成される。
中に設けられた２つの抵抗体と、前記２つの抵抗体の電
位差を制御するブリッジ回路とを備えた熱式空気流量計
において、前記吸入空気中に設けられ、前記ブリッジ回
路とは独立に設けられた第３の抵抗体を備え、前記２つ
の抵抗体のうちの１つは、第１の抵抗体と、前記第１の
抵抗体よりも前記吸入空気流の下流側に設けられ前記ブ
リッジ回路中で前記第１の抵抗体に直列に接続された第
２の抵抗体とからなり、前記第１の抵抗体の電位差と、
前記第２の抵抗体の電位差と、前記第３の抵抗体の電位
差とに基づいて、前記ブリッジ回路から出力される空気
流量信号を補正することによって達成される。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的は、内燃機関の
吸入空気流中に設けられた２つの抵抗体と、前記２つの
抵抗体の電位差を制御するブリッジ回路とを備えた熱式
空気流量計において、前記２つの抵抗体のうちの１つ
は、第１の抵抗体と、前記第１の抵抗体よりも前記吸入
空気流の下流側に設けられ前記ブリッジ回路中で前記第
１の抵抗体に直列に接続された第２の抵抗体とからな
り、前記第１の抵抗体の電位差と前記第２の抵抗体の電
位差に基づいて、前記ブリッジ回路から出力される空気
流量信号を補正することによって達成される。
吸入空気流中に設けられた２つの抵抗体と、前記２つの
抵抗体の電位差を制御するブリッジ回路とを備えた熱式
空気流量計において、前記２つの抵抗体のうちの１つ
は、第１の抵抗体と、前記第１の抵抗体よりも前記吸入
空気流の下流側に設けられ前記ブリッジ回路中で前記第
１の抵抗体に直列に接続された第２の抵抗体とからな
り、前記第１の抵抗体の電位差と前記第２の抵抗体の電
位差に基づいて、前記ブリッジ回路から出力される空気
流量信号を補正することによって達成される。
【００１４】空気流量の脈動時において、流れの方向に
応じた空気流量を得ることができ、測定精度を高めるこ
とができると同時に測定範囲が広くなる。
応じた空気流量を得ることができ、測定精度を高めるこ
とができると同時に測定範囲が広くなる。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１により本発明の実施例の１つ
として、空気流量の測定装置２０の構成について説明す
る。センサ回路２１０は電源２１に接続され、発熱抵抗
体２１１を一定温度で加熱し、流速に応じて生じる熱の
やり取りにより、発熱抵抗体２１１に流れる空気流量を
測定する、熱線式空気流量計のセンシング部分を構成し
ている。マイクロコンピュータ２２０により構成された
誤差補正装置では、センサ回路２１０の出力信号Ｖｉｎ
を受けてアナログ・ディジタル変換器（Ａ／Ｄ変換器）
２２１によりディジタル値に変換し、書き換え可能メモ
リ２２３上に用意された補正データにより演算回路２２
２で誤差補正を施し、ディジタル・アナログ変換器（Ｄ
／Ａ変換器）２２４によりセンサ回路２１０の出力と同
等の電圧値でエンジンコントロールユニットに出力する
ものである。センサ回路２１０，マイクロコンピュータ
２２０により構成された誤差補正装置は、基準電圧を発
生する電源回路２３と含めて空気流量の測定装置２０を
構成している。
として、空気流量の測定装置２０の構成について説明す
る。センサ回路２１０は電源２１に接続され、発熱抵抗
体２１１を一定温度で加熱し、流速に応じて生じる熱の
やり取りにより、発熱抵抗体２１１に流れる空気流量を
測定する、熱線式空気流量計のセンシング部分を構成し
ている。マイクロコンピュータ２２０により構成された
誤差補正装置では、センサ回路２１０の出力信号Ｖｉｎ
を受けてアナログ・ディジタル変換器（Ａ／Ｄ変換器）
２２１によりディジタル値に変換し、書き換え可能メモ
リ２２３上に用意された補正データにより演算回路２２
２で誤差補正を施し、ディジタル・アナログ変換器（Ｄ
／Ａ変換器）２２４によりセンサ回路２１０の出力と同
等の電圧値でエンジンコントロールユニットに出力する
ものである。センサ回路２１０，マイクロコンピュータ
２２０により構成された誤差補正装置は、基準電圧を発
生する電源回路２３と含めて空気流量の測定装置２０を
構成している。
【００１６】次に、本発明の第１の実施例の詳細を具体
的なハードウェア構成を説明する。センサ回路２１０は
電源２１に接続され空気流量に応じた出力する。センサ
回路２１０は発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂ，温度補償
抵抗２１１ｃ，抵抗２１３，２１４からなるホイースト
ンブリッジ回路により、ブリッジ中点の電位差がゼロに
なるように差動増幅器２１５，トランジスタ２１６によ
って発熱抵抗体211ａ,２１１ｂに流れる電流を調整する
ように構成されている。この構成により空気流速によら
ず発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂの抵抗値は一定に、す
なわち温度が一定値になるように制御される。このと
き、発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂによる空気流速に対
応する信号をゼロスパン回路２１２０に入力する。ゼロ
スパン回路２１２０は差動増幅器２１２１，抵抗２１２
２，２１２３，２１２４，２１２５，２１２６，２１２
７から構成される。
的なハードウェア構成を説明する。センサ回路２１０は
電源２１に接続され空気流量に応じた出力する。センサ
回路２１０は発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂ，温度補償
抵抗２１１ｃ，抵抗２１３，２１４からなるホイースト
ンブリッジ回路により、ブリッジ中点の電位差がゼロに
なるように差動増幅器２１５，トランジスタ２１６によ
って発熱抵抗体211ａ,２１１ｂに流れる電流を調整する
ように構成されている。この構成により空気流速によら
ず発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂの抵抗値は一定に、す
なわち温度が一定値になるように制御される。このと
き、発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂによる空気流速に対
応する信号をゼロスパン回路２１２０に入力する。ゼロ
スパン回路２１２０は差動増幅器２１２１，抵抗２１２
２，２１２３，２１２４，２１２５，２１２６，２１２
７から構成される。
【００１７】発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂは流れの向
きに対して、並列に配置することで、発熱抵抗体２１１
ａ，２１１ｂと、抵抗２１２ａ，２１２ｂによりブリッ
ジ回路を構成し、差動増幅器２１３１，２１４１と抵抗
２１３２,２１３３,２１３４，２１３５，２１３６，２
１４２，２１４３，２１４４により構成された方向検知
回路２１３０により、空気の流れの方向に応じた方向検
知信号Ｖｂｉを得ることができる。
きに対して、並列に配置することで、発熱抵抗体２１１
ａ，２１１ｂと、抵抗２１２ａ，２１２ｂによりブリッ
ジ回路を構成し、差動増幅器２１３１，２１４１と抵抗
２１３２,２１３３,２１３４，２１３５，２１３６，２
１４２，２１４３，２１４４により構成された方向検知
回路２１３０により、空気の流れの方向に応じた方向検
知信号Ｖｂｉを得ることができる。
【００１８】ここで発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂは、
例えば板型のガラスやセラミック，シリコンなどの基盤
上に、発熱体として白金やニッケル，タングステン等の
金属化合物、又はポリシリコン抵抗体等の薄膜や厚膜が
形成されたものである。
例えば板型のガラスやセラミック，シリコンなどの基盤
上に、発熱体として白金やニッケル，タングステン等の
金属化合物、又はポリシリコン抵抗体等の薄膜や厚膜が
形成されたものである。
【００１９】発熱抵抗体の種類によっては、ながれの切
換時の熱的な遅れにより、方向検知信号器２２４を用い
て２つの反転した位相の電圧値Ｖｒ，Ｖｆを出力するも
のである。
換時の熱的な遅れにより、方向検知信号器２２４を用い
て２つの反転した位相の電圧値Ｖｒ，Ｖｆを出力するも
のである。
【００２０】例えば、アナログ・ディジタル変換器２２
１には、温度補償抵抗２１１ｃの両端を入力するなどし
て吸気通路内の温度を計算し、電圧出力Ｖｉｎの温度補
正や、温度変化による位相差の変動の調整に用いてもよ
い。同様に、電圧出力Ｖｉｎを空気流量に変換して、空
気流量や脈動周波数に応じて位相差を可変とすることも
可能であり、位相差が変動する場合でも、容易に位相差
による出力誤差の影響を低減できる。
１には、温度補償抵抗２１１ｃの両端を入力するなどし
て吸気通路内の温度を計算し、電圧出力Ｖｉｎの温度補
正や、温度変化による位相差の変動の調整に用いてもよ
い。同様に、電圧出力Ｖｉｎを空気流量に変換して、空
気流量や脈動周波数に応じて位相差を可変とすることも
可能であり、位相差が変動する場合でも、容易に位相差
による出力誤差の影響を低減できる。
【００２１】２つの反転した位相の電圧値出力Ｖｆ，Ｖ
ｒは、流れの方向に応じた方向信号Ｖｓｗにより、スイ
ッチ回路２１７０で信号を切り替えることにより、流れ
の方向に応じた信号Ｖｏｕｔを得ることができる。ここ
では、ディジタル・アナログ変換器２２４を用いて２つ
の反転した位相の電圧値Ｖｒ，Ｖｆを出力する方法を示
したが、ディジタル・アナログ変換器２２４の出力を１
つとし、演算増幅器等で反転信号を得るような構成にし
ても構わない。また、スイッチ回路２１７０で信号を切
り替えずに、流量の出力値と、方向信号Ｖｓｗの２つの
信号を、エンジンコントロール側に送る構成としても構
わない。
ｒは、流れの方向に応じた方向信号Ｖｓｗにより、スイ
ッチ回路２１７０で信号を切り替えることにより、流れ
の方向に応じた信号Ｖｏｕｔを得ることができる。ここ
では、ディジタル・アナログ変換器２２４を用いて２つ
の反転した位相の電圧値Ｖｒ，Ｖｆを出力する方法を示
したが、ディジタル・アナログ変換器２２４の出力を１
つとし、演算増幅器等で反転信号を得るような構成にし
ても構わない。また、スイッチ回路２１７０で信号を切
り替えずに、流量の出力値と、方向信号Ｖｓｗの２つの
信号を、エンジンコントロール側に送る構成としても構
わない。
【００２２】具体的な動作波形を図１２に示す。真の空
気量（１）が逆流と呼ぶエンジンからの逆方向の流れを
含んだ脈動波形とすると、方向検知信号Ｖｂｉ(２)は熱
的な応答遅れにより、位相差を持った信号となる。こ
の、方向検知信号Ｖｂｉ(２)を、一定のレベルＶｏｆで
判定することで、方向信号（３）を得ることができる。
方向検知信号Ｖｂｉ(２)は、もともとの感度が低いた
め、先の方向検知回路2130で大きな増幅度を必要とし、
演算増幅器等のドリフトの影響を受けやすい。そこで、
流量感度が大きく、ダイナミックレンジの広いゼロスパ
ン回路２１２０の出力を用いるのが望ましいが、先に述
べたようにそのままでは、方向検知信号Ｖbi（２）に対
し応答遅れの少ない流量信号（４）となる。また、流れ
の方向を検知できないため、逆流時も正側に出力する波
形となる。そこで、マイクロコンピュータ２２０の内部
処理として、温度や、空気流量や脈動周波数に応じて遅
延処理をし、順流，逆流の流量信号の基準となるオフセ
ット電圧を基準とした、２つの反転した位相の流量信号
Ｖｆ，Ｖｒ（５)(６）を発生させる。最後に、流れの方
向に応じた方向信号Ｖｓｗ（３）に応じて、流量信号
（５)(６）の出力を切り替えることで、正確な波形合成
後の流量（６）を得ることができる。
気量（１）が逆流と呼ぶエンジンからの逆方向の流れを
含んだ脈動波形とすると、方向検知信号Ｖｂｉ(２)は熱
的な応答遅れにより、位相差を持った信号となる。こ
の、方向検知信号Ｖｂｉ(２)を、一定のレベルＶｏｆで
判定することで、方向信号（３）を得ることができる。
方向検知信号Ｖｂｉ(２)は、もともとの感度が低いた
め、先の方向検知回路2130で大きな増幅度を必要とし、
演算増幅器等のドリフトの影響を受けやすい。そこで、
流量感度が大きく、ダイナミックレンジの広いゼロスパ
ン回路２１２０の出力を用いるのが望ましいが、先に述
べたようにそのままでは、方向検知信号Ｖbi（２）に対
し応答遅れの少ない流量信号（４）となる。また、流れ
の方向を検知できないため、逆流時も正側に出力する波
形となる。そこで、マイクロコンピュータ２２０の内部
処理として、温度や、空気流量や脈動周波数に応じて遅
延処理をし、順流，逆流の流量信号の基準となるオフセ
ット電圧を基準とした、２つの反転した位相の流量信号
Ｖｆ，Ｖｒ（５)(６）を発生させる。最後に、流れの方
向に応じた方向信号Ｖｓｗ（３）に応じて、流量信号
（５)(６）の出力を切り替えることで、正確な波形合成
後の流量（６）を得ることができる。
【００２３】本実施例においては、特に位相差を温度変
化等に応じて変えることが可能なため、位相ずれによる
流量の検出誤差を低減できるといった効果がある。
化等に応じて変えることが可能なため、位相ずれによる
流量の検出誤差を低減できるといった効果がある。
【００２４】次に、本発明の第４の実施例の詳細を図１
３により説明する。センサ回路210は電源２１に接続さ
れ空気流量に応じた出力をする。センサ回路２１０は発
熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂ，温度補償抵抗２１１ｃ，
抵抗２１３，２１４からなるホイーストンブリッジ回路
により、ブリッジ中点の電位差がゼロになるように差動
増幅器２１５，トランジスタ２１６によって発熱抵抗体
２１１ａ，２１１ｂに流れる電流を調整するように構成
されている。この構成により空気流速によらず発熱抵抗
体２１１ａ，２１１ｂの抵抗値は一定に、すなわち温度
が一定値になるように制御される。このとき、発熱抵抗
体２１１ａ，２１１ｂによる空気流速に対応する信号を
ゼロスパン回路２１２０に入力する。ゼロスパン回路２
１２０は差動増幅器２１２１，抵抗２１２２，２１２
３，２１２４，２１２５，２１２６，２１２７から構成
される。
３により説明する。センサ回路210は電源２１に接続さ
れ空気流量に応じた出力をする。センサ回路２１０は発
熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂ，温度補償抵抗２１１ｃ，
抵抗２１３，２１４からなるホイーストンブリッジ回路
により、ブリッジ中点の電位差がゼロになるように差動
増幅器２１５，トランジスタ２１６によって発熱抵抗体
２１１ａ，２１１ｂに流れる電流を調整するように構成
されている。この構成により空気流速によらず発熱抵抗
体２１１ａ，２１１ｂの抵抗値は一定に、すなわち温度
が一定値になるように制御される。このとき、発熱抵抗
体２１１ａ，２１１ｂによる空気流速に対応する信号を
ゼロスパン回路２１２０に入力する。ゼロスパン回路２
１２０は差動増幅器２１２１，抵抗２１２２，２１２
３，２１２４，２１２５，２１２６，２１２７から構成
される。
【００２５】発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂは流れの向
きに対して、並列に配置することで、発熱抵抗体２１１
ａ，２１１ｂと、抵抗２１２ａ，２１２ｂによりブリッ
ジ回路を構成し、差動増幅器２１４１と抵抗２１４２，
２１４３，２１４４により構成された回路により、空気
の流れの方向に応じた方向検知信号Ｖｂｉ１を得ること
ができる。
きに対して、並列に配置することで、発熱抵抗体２１１
ａ，２１１ｂと、抵抗２１２ａ，２１２ｂによりブリッ
ジ回路を構成し、差動増幅器２１４１と抵抗２１４２，
２１４３，２１４４により構成された回路により、空気
の流れの方向に応じた方向検知信号Ｖｂｉ１を得ること
ができる。
【００２６】同時に、方向信号を得る手段として、並列
に配置された発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂの両側に温
度検出用の抵抗体２１２ｄ，２１２ｅ，２１２ｆ，２１
２ｇを配置している。具体的な構造を図１４に示す。温
度検出用の抵抗体は左右対称なパターン構成となる。特
に、ポリシリコン抵抗体を用いる場合には、抵抗体を構
成する際の不純物ドーピング濃度を変えることで、温度
係数の大きな温度検知に適した高抵抗の製造が容易であ
る。１つのパターン上に、違う温度係数の抵抗体が作成
できるため、発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂと、温度検
出用の抵抗体２１２ｄ，２１２ｅ，２１２ｆ，２１２ｇ
の温度係数や抵抗率を変えてもパターン面積が不用意に
大きくならずに、コスト上有利である。また、エッチン
グ面積も、白金等を用いて同一の抵抗体を配置するのに
比較して低減することができ、信頼性の向上が図れる。
に配置された発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂの両側に温
度検出用の抵抗体２１２ｄ，２１２ｅ，２１２ｆ，２１
２ｇを配置している。具体的な構造を図１４に示す。温
度検出用の抵抗体は左右対称なパターン構成となる。特
に、ポリシリコン抵抗体を用いる場合には、抵抗体を構
成する際の不純物ドーピング濃度を変えることで、温度
係数の大きな温度検知に適した高抵抗の製造が容易であ
る。１つのパターン上に、違う温度係数の抵抗体が作成
できるため、発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂと、温度検
出用の抵抗体２１２ｄ，２１２ｅ，２１２ｆ，２１２ｇ
の温度係数や抵抗率を変えてもパターン面積が不用意に
大きくならずに、コスト上有利である。また、エッチン
グ面積も、白金等を用いて同一の抵抗体を配置するのに
比較して低減することができ、信頼性の向上が図れる。
【００２７】この温度検出用の抵抗体２１２ｄ，２１２
ｅ，２１２ｆ，２１２ｇをブリッジ構成とし、電圧回路
２３の定電圧出力Ｖｃｃを用いて駆動することで、流れ
の向きに応じた信号を先の方向検知信号Ｖｂｉ１と同様
に、差動増幅器２１３２と抵抗２１３２，２１３３，２
１３４，２１３５，２１３６，２１３７により構成され
た回路により、空気の流れの方向に応じた方向検知信号
Ｖｂｉ２を得ることができる。
ｅ，２１２ｆ，２１２ｇをブリッジ構成とし、電圧回路
２３の定電圧出力Ｖｃｃを用いて駆動することで、流れ
の向きに応じた信号を先の方向検知信号Ｖｂｉ１と同様
に、差動増幅器２１３２と抵抗２１３２，２１３３，２
１３４，２１３５，２１３６，２１３７により構成され
た回路により、空気の流れの方向に応じた方向検知信号
Ｖｂｉ２を得ることができる。
【００２８】但し、温度検出用の抵抗体２１２ｄ，２１
２ｅ，２１２ｆ，２１２ｇは温度係数を大きくし易いた
め、流れに対して感度が大きく、差動増幅器２１３２の
増幅度を下げることが可能で、信号そのものを流量信号
とすることも可能である。しかし、感度が大きくなると
高流量域の出力が飽和し易くなるので、先の発熱抵抗体
２１１ａ，２１１ｂによる空気流速に対応するゼロスパ
ン回路２１２０の出力と併用して、最適な流量を得るも
のである。その際、直接加熱された発熱抵抗体２１１
ａ，２１１ｂの信号と、発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂ
の温度変化に対して間接的に変化する温度検出用の抵抗
体２１２ｄ，２１２ｅ,２１２ｆ,２１２ｇの信号とで
は、位相差が生じ誤差要因となる。本発明では、位相調
整用に例えば、抵抗２１５１，コンデンサ２１５２を用
いた位相遅れ回路２１５０を付加することで、位相ずれ
を補正した電圧出力Ｖｉｎを得ることができる。位相ず
れを補正した信号をマイクロコンピュータ２２０に取り
込むことで、低流量から、高流量まで、最適な３つの信
号値の組み合わせにより、精度向上が図れる。位相調整
要素は、マイクロコンピュータ２２０に内蔵するアナロ
グ・ディジタル変換器２２１を高速にサンプリングする
場合は、ソフトウェアで遅れ要素を持たせて実現するこ
とも可能である。
２ｅ，２１２ｆ，２１２ｇは温度係数を大きくし易いた
め、流れに対して感度が大きく、差動増幅器２１３２の
増幅度を下げることが可能で、信号そのものを流量信号
とすることも可能である。しかし、感度が大きくなると
高流量域の出力が飽和し易くなるので、先の発熱抵抗体
２１１ａ，２１１ｂによる空気流速に対応するゼロスパ
ン回路２１２０の出力と併用して、最適な流量を得るも
のである。その際、直接加熱された発熱抵抗体２１１
ａ，２１１ｂの信号と、発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂ
の温度変化に対して間接的に変化する温度検出用の抵抗
体２１２ｄ，２１２ｅ,２１２ｆ,２１２ｇの信号とで
は、位相差が生じ誤差要因となる。本発明では、位相調
整用に例えば、抵抗２１５１，コンデンサ２１５２を用
いた位相遅れ回路２１５０を付加することで、位相ずれ
を補正した電圧出力Ｖｉｎを得ることができる。位相ず
れを補正した信号をマイクロコンピュータ２２０に取り
込むことで、低流量から、高流量まで、最適な３つの信
号値の組み合わせにより、精度向上が図れる。位相調整
要素は、マイクロコンピュータ２２０に内蔵するアナロ
グ・ディジタル変換器２２１を高速にサンプリングする
場合は、ソフトウェアで遅れ要素を持たせて実現するこ
とも可能である。
【００２９】信号の組み合わせとしては、低流量域を温
度検出用の抵抗体２１２ｄ，212ｅ,２１２ｆ，２１２ｇ
を用いた方向検知信号Ｖｂｉ２を主とし、高流量域で
は、発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂの信号より得た方向
検知信号Ｖｂｉ１と、発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂの
直接の信号を位相ずれを補正した電圧出力Ｖｉｎと組み
合わせることで実現できる。
度検出用の抵抗体２１２ｄ，212ｅ,２１２ｆ，２１２ｇ
を用いた方向検知信号Ｖｂｉ２を主とし、高流量域で
は、発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂの信号より得た方向
検知信号Ｖｂｉ１と、発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂの
直接の信号を位相ずれを補正した電圧出力Ｖｉｎと組み
合わせることで実現できる。
【００３０】同様に、発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂの
信号より得た方向検知信号Ｖｂｉ１を使用せずに、低流
量域を温度検出用の抵抗体２１２ｄ，２１２ｅ，２１２
ｆ，２１２ｇを用いた方向検知信号Ｖｂｉ２を主とし、
高流量域では、温度検出用の抵抗体２１２ｄ，２１２
ｅ，２１２ｆ，２１２ｇを用いた方向検知信号Ｖｂｉ２
と、発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂの直接の信号を位相
ずれを補正した電圧出力Ｖｉｎと組み合わせることで実
現できる。高流量域で飽和し易い、温度検出用の抵抗体
２１２ｄ，２１２ｅ，２１２ｆ，２１２ｇを用いた方向
検知信号Ｖｂｉ２を高流量側では方向信号の判別のみに
用いれば可能となる。
信号より得た方向検知信号Ｖｂｉ１を使用せずに、低流
量域を温度検出用の抵抗体２１２ｄ，２１２ｅ，２１２
ｆ，２１２ｇを用いた方向検知信号Ｖｂｉ２を主とし、
高流量域では、温度検出用の抵抗体２１２ｄ，２１２
ｅ，２１２ｆ，２１２ｇを用いた方向検知信号Ｖｂｉ２
と、発熱抵抗体２１１ａ，２１１ｂの直接の信号を位相
ずれを補正した電圧出力Ｖｉｎと組み合わせることで実
現できる。高流量域で飽和し易い、温度検出用の抵抗体
２１２ｄ，２１２ｅ，２１２ｆ，２１２ｇを用いた方向
検知信号Ｖｂｉ２を高流量側では方向信号の判別のみに
用いれば可能となる。
【００３１】流量の検出や、方向の検出を複数の抵抗体
で２重にするため、一部の抵抗の汚れ等による劣化があ
っても、最適な信号を選択して出力することも可能とな
る。本実施例においては、特に複数の方向検出可能な流
量検知手段を用いることで、広範囲での流量検出が高精
度に実現でき、また、方向検出可能な流量検知手段を簡
単なセンサ構造で実現することで、信頼性が向上すると
いった効果がある。
で２重にするため、一部の抵抗の汚れ等による劣化があ
っても、最適な信号を選択して出力することも可能とな
る。本実施例においては、特に複数の方向検出可能な流
量検知手段を用いることで、広範囲での流量検出が高精
度に実現でき、また、方向検出可能な流量検知手段を簡
単なセンサ構造で実現することで、信頼性が向上すると
いった効果がある。
【００３２】
【発明の効果】本発明によれば、特に１つのヒータで方
向検出と、流量検出を行うことで、ヒータ部の構造が簡
単になり、またポリシリコン抵抗体のような温度依存性
の少ない抵抗体でも流れの方向を含めた流量検出が可能
となるため、プロセスを含めた製造コストが低減できる
といった効果がある。また、ヒータ部の構造が簡単なこ
とと、１つのヒータで温度差検知と、直接熱量の検出を
併用することで、汚れ等に強く信頼性が向上するといっ
た効果がある。
向検出と、流量検出を行うことで、ヒータ部の構造が簡
単になり、またポリシリコン抵抗体のような温度依存性
の少ない抵抗体でも流れの方向を含めた流量検出が可能
となるため、プロセスを含めた製造コストが低減できる
といった効果がある。また、ヒータ部の構造が簡単なこ
とと、１つのヒータで温度差検知と、直接熱量の検出を
併用することで、汚れ等に強く信頼性が向上するといっ
た効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例による空気流量測定装置
の回路図。
の回路図。
【図２】本発明の第１の実施例の発熱抵抗体のパターン
図。
図。
【図３】本発明の第１の実施例の発熱抵抗体の断面図。
【図４】本発明の第１の実施例の発熱抵抗体の加熱温度
説明図。
説明図。
【図５】本発明の第１の実施例の動作波形。
【図６】本発明の第２の実施例による空気流量測定装置
の回路図。
の回路図。
【図７】本発明の第２の実施例の発熱抵抗体のパターン
図。
図。
【図８】本発明の第２の実施例の発熱抵抗体の断面図。
【図９】本発明の第２の実施例の発熱抵抗体の加熱温度
説明図。
説明図。
【図１０】本発明の第２の実施例の動作波形。
【図１１】本発明の第３の実施例による空気流量測定装
置の回路図。
置の回路図。
【図１２】本発明の第３の実施例の動作波形。
【図１３】本発明の第４の実施例による空気流量測定装
置の回路図。
置の回路図。
【図１４】本発明の第４の実施例の発熱抵抗体のパター
ン図。
ン図。
２０…空気流量の測定装置、２１…電源、２３…電源回
路、２１０…センサ回路、２１２…温度補償抵抗、２１
３，２１４…抵抗、２１６…トランジスタ、２２０…マ
イクロコンピュータ、２２１，６３１…アナログ・ディ
ジタル変換器、２２２…演算回路、２２３…書き換え可
能メモリ、２２４…ディジタル・アナログ変換器、２２
６…発振器、２２５，６３２…入出力ポート、２１２
１，2131，２１４１…差動増幅器、２１２０…ゼロスパ
ン回路、２１３０…方向検知回路、２１７０…スイッチ
回路。
路、２１０…センサ回路、２１２…温度補償抵抗、２１
３，２１４…抵抗、２１６…トランジスタ、２２０…マ
イクロコンピュータ、２２１，６３１…アナログ・ディ
ジタル変換器、２２２…演算回路、２２３…書き換え可
能メモリ、２２４…ディジタル・アナログ変換器、２２
６…発振器、２２５，６３２…入出力ポート、２１２
１，2131，２１４１…差動増幅器、２１２０…ゼロスパ
ン回路、２１３０…方向検知回路、２１７０…スイッチ
回路。
フロントページの続き (72)発明者 内山 薫 茨城県ひたちなか市大字高場2520番地 株 式会社日立製作所自動車機器事業部内 Ｆターム(参考） 2F035 AA02 EA04 EA08 EA09
Claims (9)
- 【請求項１】内燃機関の吸入空気流中に設けられた２つ
の抵抗体と、 前記２つの抵抗体の電位差を制御するブリッジ回路とを
備えた熱式空気流量計において、 前記２つの抵抗体のうちの１つは、第１の抵抗体と、前
記第１の抵抗体よりも前記吸入空気流の下流側に設けら
れ前記ブリッジ回路中で前記第１の抵抗体に直列に接続
された第２の抵抗体とからなり、 前記第１の抵抗体の電位差と前記第２の抵抗体の電位差
に基づいて、前記ブリッジ回路から出力される空気流量
信号を補正することを特徴とする熱式空気流量計。 - 【請求項２】内燃機関の吸入空気流中に設けられた２つ
の抵抗体と、 前記２つの抵抗体の電位差を制御するブリッジ回路とを
備えた熱式空気流量計において、 前記吸入空気中に設けられ、前記ブリッジ回路とは独立
に設けられた第３の抵抗体を備え、 前記２つの抵抗体のうちの１つは、第１の抵抗体と、前
記第１の抵抗体よりも前記吸入空気流の下流側に設けら
れ前記ブリッジ回路中で前記第１の抵抗体に直列に接続
された第２の抵抗体とからなり、 前記第１の抵抗体の電位差と、前記第２の抵抗体の電位
差と、前記第３の抵抗体の電位差とに基づいて、前記ブ
リッジ回路から出力される空気流量信号を補正すること
を特徴とする熱式空気流量計。 - 【請求項３】請求項１または２において、 前記空気流量信号は位相を調整されてから前記補正され
ることを特徴とする熱式空気流量計。 - 【請求項４】請求項１または２において、 前記第１の抵抗体と前記第２の抵抗体とは連続する材料
で構成されることを特徴とする熱式空気流量計。 - 【請求項５】請求項１または２において、 前記空気流量信号は、空気流量の大きさに応じて位相を
調整されてから前記補正されることを特徴とする熱式空
気流量計。 - 【請求項６】請求項２において、 前記第１の電位差と、前記第２の電位差とに基づいて、
前記ブリッジ回路から出力される空気流量を補正し、流
量域に応じて補正量を変えたことを特徴とする熱式空気
流量計。 - 【請求項７】請求項１または２において、 前記吸入空気の流れの方向に応じた信号、吸入空気に応
じた前記検出電圧値の少なくとも一方が、ディジタル値
に変換され位相差が設けられたことを特徴とする熱式空
気流量計。 - 【請求項８】請求項１または２において、 前記２つの抵抗体をバイパス通路内に配置し、バイパス
通路による応答性の変化分を、前記発熱抵抗体の流量に
対する応答性の遅れを回復する手段を用いて回復した信
号を用いることを特徴とする熱式空気流量計。 - 【請求項９】請求項１または２において、 前記２つの抵抗体が、シリコン基盤上に形成されたポリ
シリコン抵抗体であることを特徴とする熱式空気流量
計。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32632398A JP3470620B2 (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 熱式空気流量計 |
| EP99122022A EP1004856A3 (en) | 1998-11-17 | 1999-11-12 | Thermal air flow meter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32632398A JP3470620B2 (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 熱式空気流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000146651A true JP2000146651A (ja) | 2000-05-26 |
| JP3470620B2 JP3470620B2 (ja) | 2003-11-25 |
Family
ID=18186494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32632398A Expired - Lifetime JP3470620B2 (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 熱式空気流量計 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1004856A3 (ja) |
| JP (1) | JP3470620B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003012376A1 (fr) * | 2000-05-15 | 2003-02-13 | Hitachi, Ltd. | Procede et dispositif servant a mesurer le debit d'air thermique, son debitmetre et moteur a combustion interne |
| KR100486140B1 (ko) * | 2001-05-18 | 2005-04-28 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 유량검출장치 |
| JP2005283604A (ja) * | 2005-06-27 | 2005-10-13 | Hitachi Ltd | 熱式空気流量計 |
| JP2008286604A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Hitachi Ltd | 熱式流量計 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10539366B2 (en) | 2014-04-30 | 2020-01-21 | Stephen B. Maguire | Method and apparatus for vacuum drying granular resin material |
| US8141270B2 (en) * | 2009-08-13 | 2012-03-27 | Maguire Products, Inc. | Gas flow rate determination method and apparatus and granular material dryer and method for control thereof |
| JP5558599B1 (ja) | 2013-02-13 | 2014-07-23 | 三菱電機株式会社 | 熱式空気流量計 |
| US20190308344A1 (en) | 2018-04-04 | 2019-10-10 | Novatec, Inc. | Method and apparatus for polymer drying using inert gas |
| US11364657B2 (en) | 2018-04-04 | 2022-06-21 | Novatec, Inc. | Reducing moisture in granular resin material using inert gas |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63265118A (ja) * | 1987-04-22 | 1988-11-01 | Mitsubishi Electric Corp | 流量センサ |
| JPH06273435A (ja) * | 1993-03-17 | 1994-09-30 | Hitachi Ltd | 発熱抵抗体素子および熱式空気流量計 |
| JPH0758346A (ja) * | 1993-08-20 | 1995-03-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マイクロフローセンサ及びその製造方法 |
| JPH07333026A (ja) * | 1994-06-08 | 1995-12-22 | Unisia Jecs Corp | 熱式空気流量検出装置 |
| JPH10197305A (ja) * | 1997-01-16 | 1998-07-31 | Hitachi Ltd | 熱式空気流量計及び熱式空気流量計用の測定素子 |
| JPH10300544A (ja) * | 1997-04-24 | 1998-11-13 | Hitachi Ltd | 空気流量測定方法及び装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55112523A (en) * | 1979-02-22 | 1980-08-30 | Nippon Soken Inc | Gas flow rate measuring unit |
| EP0695928A3 (en) * | 1994-08-02 | 1996-11-27 | Hitachi Ltd | Suction air flow meter for an internal combustion engine |
| DE19543236C2 (de) * | 1994-11-18 | 2001-01-25 | Hitachi Ltd | Einlaßluftmengen-Meßvorrichtung für Verbrennungsmotoren |
| EP0785417A3 (en) * | 1996-01-17 | 1998-04-15 | Hitachi, Ltd. | Heating resistor type air flow rate measuring apparatus |
-
1998
- 1998-11-17 JP JP32632398A patent/JP3470620B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-11-12 EP EP99122022A patent/EP1004856A3/en not_active Withdrawn
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63265118A (ja) * | 1987-04-22 | 1988-11-01 | Mitsubishi Electric Corp | 流量センサ |
| JPH06273435A (ja) * | 1993-03-17 | 1994-09-30 | Hitachi Ltd | 発熱抵抗体素子および熱式空気流量計 |
| JPH0758346A (ja) * | 1993-08-20 | 1995-03-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マイクロフローセンサ及びその製造方法 |
| JPH07333026A (ja) * | 1994-06-08 | 1995-12-22 | Unisia Jecs Corp | 熱式空気流量検出装置 |
| JPH10197305A (ja) * | 1997-01-16 | 1998-07-31 | Hitachi Ltd | 熱式空気流量計及び熱式空気流量計用の測定素子 |
| JPH10300544A (ja) * | 1997-04-24 | 1998-11-13 | Hitachi Ltd | 空気流量測定方法及び装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003012376A1 (fr) * | 2000-05-15 | 2003-02-13 | Hitachi, Ltd. | Procede et dispositif servant a mesurer le debit d'air thermique, son debitmetre et moteur a combustion interne |
| KR100486140B1 (ko) * | 2001-05-18 | 2005-04-28 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 유량검출장치 |
| US7284424B2 (en) | 2001-07-26 | 2007-10-23 | Hitachi, Ltd. | Thermal air flow rate measuring apparatus and its flowmeter and internal combustion engine and thermal air flow rate measuring method using it |
| JP2005283604A (ja) * | 2005-06-27 | 2005-10-13 | Hitachi Ltd | 熱式空気流量計 |
| JP2008286604A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Hitachi Ltd | 熱式流量計 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3470620B2 (ja) | 2003-11-25 |
| EP1004856A2 (en) | 2000-05-31 |
| EP1004856A3 (en) | 2002-10-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6662121B1 (en) | Thermal fluid sensor, fluid discriminating apparatus and method, flow sensor, and flow rate measuring apparatus and method | |
| JP5558599B1 (ja) | 熱式空気流量計 | |
| JP3343509B2 (ja) | 空気流量計測装置 | |
| US5817932A (en) | Intake air flow measuring apparatus for internal combustion engine | |
| JP3650384B2 (ja) | 熱式流量検出装置 | |
| US7287424B2 (en) | Thermal type flow measurement apparatus having asymmetrical passage for flow rate measurement | |
| US5681989A (en) | Intake air amount measuring apparatus for internal combustion engines | |
| WO1995014215A1 (fr) | Procede et dispositif destines a detecter le debit d'air d'aspiration pour un moteur | |
| JP2000146651A (ja) | 熱式空気流量計 | |
| JP3421245B2 (ja) | 発熱抵抗体式空気流量測定装置 | |
| WO2003029759A1 (fr) | Instrument de mesure de debit | |
| JP3981907B2 (ja) | 流量測定装置 | |
| JP5120289B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
| JPH0915013A (ja) | 熱式空気流量測定方法及び測定装置 | |
| JPH09318412A (ja) | 熱式流速センサ | |
| JP5814884B2 (ja) | 熱式流量測定装置及びこれを用いた制御装置 | |
| JP3454265B2 (ja) | 熱式流速センサ | |
| JPH0250406B2 (ja) | ||
| JPS6273124A (ja) | 熱式流量検出器 | |
| JP2004093174A (ja) | 流量計 | |
| JP3060861B2 (ja) | 内燃機関の吸入空気量測定装置 | |
| JPH075009A (ja) | エンジンの空気流量測定装置、燃料噴射制御装置及びこれらに用いる流量センサ | |
| JP3577902B2 (ja) | 熱式流速センサ | |
| JPH07139985A (ja) | 熱式空気流量測定装置 | |
| JPH0351710Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070912 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080912 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080912 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090912 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090912 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100912 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100912 Year of fee payment: 7 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100912 Year of fee payment: 7 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100912 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110912 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120912 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120912 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130912 Year of fee payment: 10 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |