JP2000133864A - Ｌｄ励起固体レーザ装置 - Google Patents
Ｌｄ励起固体レーザ装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体レーザ光の強度によらずエタロンの温
度が安定した、環境温度に強い低ノイズのＬＤ励起固体
レーザ装置を提供する。 【解決手段】 半導体レーザ１からのＬＤ光１７はコリ
メータレンズ２と集光レンズ３を介してレーザ媒質４を
励起し、レーザ媒質４の片端面ａと球面ミラ−７の片端
面ｂとで形成された共振器で、レーザ媒質４で基本波が
発生し、共振器内に設けられた非線形結晶５で第２高調
波に変換されて、球面ミラー７から外部に発射する。そ
の出力の一部がビームスプリッタ１１を介して検出器８
で捉えられ、フィードバック回路９を介して駆動電源１
０に入力され、半導体レーザ１の駆動電流を制御するこ
とでレーザ出力を一定にしている。前記共振器の非線形
結晶５と球面ミラー７との間にエタロン６を設け、その
片面にＬＤ光１７を反射する反射層１２を施し、エタロ
ン６にＬＤ光１７が反射し、吸収されないようにして、
エタロン６の温度変化をなくし、主縦モード１６の１本
で安定した低ノイズの出力を得る。
度が安定した、環境温度に強い低ノイズのＬＤ励起固体
レーザ装置を提供する。 【解決手段】 半導体レーザ１からのＬＤ光１７はコリ
メータレンズ２と集光レンズ３を介してレーザ媒質４を
励起し、レーザ媒質４の片端面ａと球面ミラ−７の片端
面ｂとで形成された共振器で、レーザ媒質４で基本波が
発生し、共振器内に設けられた非線形結晶５で第２高調
波に変換されて、球面ミラー７から外部に発射する。そ
の出力の一部がビームスプリッタ１１を介して検出器８
で捉えられ、フィードバック回路９を介して駆動電源１
０に入力され、半導体レーザ１の駆動電流を制御するこ
とでレーザ出力を一定にしている。前記共振器の非線形
結晶５と球面ミラー７との間にエタロン６を設け、その
片面にＬＤ光１７を反射する反射層１２を施し、エタロ
ン６にＬＤ光１７が反射し、吸収されないようにして、
エタロン６の温度変化をなくし、主縦モード１６の１本
で安定した低ノイズの出力を得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体レーザを励
起光源として用いたＳＨＧ固体レーザ装置にエタロンを
共振器内に挿入した低ノイズ型の端面励起方式のＬＤ励
起固体レーザ装置に関する。
起光源として用いたＳＨＧ固体レーザ装置にエタロンを
共振器内に挿入した低ノイズ型の端面励起方式のＬＤ励
起固体レーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＳＨＧ（第２高調波発生）技術を応用し
た固体レーザは、結晶育成技術の開発により高品位結晶
が得られ、かつ励起に用いられる高出力半導体レーザ
（ＬＤ）の価格が低下していることなどから最近注目を
浴びている。ＬＤ励起固体レーザ装置は次の様な構成が
一般的である。高出力半導体レーザの出力光をレンズ系
を用いて、一旦レーザ結晶であるＮｄ：ＹＡＧなどを励
起する。この励起によって発生した１０６４ｎｍや９４
６ｎｍの基本波を、非線形光学結晶のＳＨＧによって半
分の波長に変換し、その出力を取り出すものである。従
来のＬＤ励起固体レーザ装置を図３に示す。ＬＤ励起固
体レーザ装置は、半導体レーザ１、コリメータレンズ
２、集光レンズ３、レーザ媒質（ＹＡＧ）４、非線形結
晶（ＫＮ）５、エタロン６、出力用の球面ミラー７、ビ
ームスプリッタ１１、検出器８、フィードバック回路
９、駆動用電源１０から構成され、半導体レーザ１から
発したレーザ光がコリメータレンズ２によって平行光線
となった後集光レンズ３によって集光され、レーザ媒質
（ＹＡＧ）４を励起する。レーザ媒質４の片端面ａと、
球面ミラー７の片端面ｂとで共振器を形成しており、そ
の内側にレーザ媒質（ＹＡＧ）４が配置されているので
レーザ発振を起こす。このとき同様に共振器内に配置さ
れた非線形結晶５中で高調波（ＳＨＧ）が発生する。こ
のようにして波長変換された光が、球面ミラー７を通過
してレーザ装置の外部へ出力される。すなわち、レーザ
媒質４で発生した基本波をレーザ媒質４の片端面ａと球
面ミラー７の片端面ｂとの間に閉じ込め、この基本波を
非線形結晶５で異なる波長のレーザ光（ＳＨＧ）に変換
する。これと同時にレーザ出力の一部をビームスプリッ
タ１１で取り出し、検出器８で検知し、フィードバック
回路９を介して駆動用電源１０で出力パワーを制御（出
力安定機構ＡＰＣ）することによりレーザ出力を一定に
している。図３のような内部共振器を構成した装置でエ
タロン６を挿入しない場合、レーザ媒質４によるホール
バーニング効果により、図４に示すように、スペクトル
が同時に数本発振し、三角印で示した曲線（多縦モード
発振）の状態、つまり多波長のスペクトルが発振してい
る。基本波の縦モードが多モードになりＳＨＧ光のモー
ド競合が起こり、これがＳＨＧ光の出力を不安定にしノ
イズの原因となる。出力を安定化させるためには、モー
ドマッチング、周波数マッチングなどの条件を満足さ
せ、ＳＨＧ光をシングルモードにする必要がある。その
ため図３に示すように、周波数マッチングについては、
共振器内に非線形結晶５と球面ミラー７の間に平行平面
基板のエタロン６などの波長選択光学素子を共振器内部
に配置することが行なわれている。図５に示すように平
行平面基板の多重反射によるエタロン６の作用によっ
て、エタロン６の透過率がスペクトル上でＩ、II、III
のところで高くなる（一点鎖線で示した曲線）。平行平
面基板（エタロン６）の厚みを適切に選択し（フリース
ペクトルレンジＦＳＲを適切にする）透過ピークを多モ
ード発振の場合のスペクトルに重ねあわせることによ
り、縦モードがシングルとなる。この場合、Ｉの波長の
ところに発振した基本波の縦モードのみが透過し、透過
ピークの波長で発振することができる。II、IIIのとこ
ろではレーザの利得がないために発振することができな
い。黒点で示した曲線（エタロン挿入時スペクトル）の
みのシングルモード、つまり単一波長のスペクトルを発
振させることができ、モード競合を無くすることが可能
となる。このためレーザ光の出力が安定する。
た固体レーザは、結晶育成技術の開発により高品位結晶
が得られ、かつ励起に用いられる高出力半導体レーザ
（ＬＤ）の価格が低下していることなどから最近注目を
浴びている。ＬＤ励起固体レーザ装置は次の様な構成が
一般的である。高出力半導体レーザの出力光をレンズ系
を用いて、一旦レーザ結晶であるＮｄ：ＹＡＧなどを励
起する。この励起によって発生した１０６４ｎｍや９４
６ｎｍの基本波を、非線形光学結晶のＳＨＧによって半
分の波長に変換し、その出力を取り出すものである。従
来のＬＤ励起固体レーザ装置を図３に示す。ＬＤ励起固
体レーザ装置は、半導体レーザ１、コリメータレンズ
２、集光レンズ３、レーザ媒質（ＹＡＧ）４、非線形結
晶（ＫＮ）５、エタロン６、出力用の球面ミラー７、ビ
ームスプリッタ１１、検出器８、フィードバック回路
９、駆動用電源１０から構成され、半導体レーザ１から
発したレーザ光がコリメータレンズ２によって平行光線
となった後集光レンズ３によって集光され、レーザ媒質
（ＹＡＧ）４を励起する。レーザ媒質４の片端面ａと、
球面ミラー７の片端面ｂとで共振器を形成しており、そ
の内側にレーザ媒質（ＹＡＧ）４が配置されているので
レーザ発振を起こす。このとき同様に共振器内に配置さ
れた非線形結晶５中で高調波（ＳＨＧ）が発生する。こ
のようにして波長変換された光が、球面ミラー７を通過
してレーザ装置の外部へ出力される。すなわち、レーザ
媒質４で発生した基本波をレーザ媒質４の片端面ａと球
面ミラー７の片端面ｂとの間に閉じ込め、この基本波を
非線形結晶５で異なる波長のレーザ光（ＳＨＧ）に変換
する。これと同時にレーザ出力の一部をビームスプリッ
タ１１で取り出し、検出器８で検知し、フィードバック
回路９を介して駆動用電源１０で出力パワーを制御（出
力安定機構ＡＰＣ）することによりレーザ出力を一定に
している。図３のような内部共振器を構成した装置でエ
タロン６を挿入しない場合、レーザ媒質４によるホール
バーニング効果により、図４に示すように、スペクトル
が同時に数本発振し、三角印で示した曲線（多縦モード
発振）の状態、つまり多波長のスペクトルが発振してい
る。基本波の縦モードが多モードになりＳＨＧ光のモー
ド競合が起こり、これがＳＨＧ光の出力を不安定にしノ
イズの原因となる。出力を安定化させるためには、モー
ドマッチング、周波数マッチングなどの条件を満足さ
せ、ＳＨＧ光をシングルモードにする必要がある。その
ため図３に示すように、周波数マッチングについては、
共振器内に非線形結晶５と球面ミラー７の間に平行平面
基板のエタロン６などの波長選択光学素子を共振器内部
に配置することが行なわれている。図５に示すように平
行平面基板の多重反射によるエタロン６の作用によっ
て、エタロン６の透過率がスペクトル上でＩ、II、III
のところで高くなる（一点鎖線で示した曲線）。平行平
面基板（エタロン６）の厚みを適切に選択し（フリース
ペクトルレンジＦＳＲを適切にする）透過ピークを多モ
ード発振の場合のスペクトルに重ねあわせることによ
り、縦モードがシングルとなる。この場合、Ｉの波長の
ところに発振した基本波の縦モードのみが透過し、透過
ピークの波長で発振することができる。II、IIIのとこ
ろではレーザの利得がないために発振することができな
い。黒点で示した曲線（エタロン挿入時スペクトル）の
みのシングルモード、つまり単一波長のスペクトルを発
振させることができ、モード競合を無くすることが可能
となる。このためレーザ光の出力が安定する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のＬＤ励起固体レ
ーザ装置は以上のように構成されているが、出力の一部
をフィードバックさせて出力安定化機構（以下ＡＰＣと
いう）で出力を安定化させている場合、図４に示すよう
に、半導体レーザ１から放出するレーザ光がエタロン６
に照射され、吸収されると、そのレーザ光によりエタロ
ン６の温度がＴ１からＴ２に変化する。温度の変化によ
りエタロン６の厚みが変化して、図６に示すように、エ
タロン６の多重反射による透過ピークがＡ−Ａ’、Ｂ−
Ｂ’、Ｃ−Ｃ’のようにシフトする。そのフリースペク
トルレンジ（以下ＦＳＲという）の波長換算は、λＦＳ
Ｒ＝波長２／（２×エタロンの屈折率×エタロンの厚
み）に従い、図７に示すように、ＦＳＲ上に中央の主縦
モード１６から離れた場所に、異なる縦モード１５が発
振し、ノイズが発生するという問題があった。そのため
温度の変化に対して影響を受け難いエタロン６を選定す
る必要があり、さらにエタロン６の厚みが数百ｎｍと厳
しい条件が付け加わる。また、エタロン６の透過率の低
下（または増加）が生じて、半導体レーザ光を増加(ま
たは減少)させ、ＡＰＣの出力が減少(または増加)する
といった現象が生じて、出力が不安定になりＡＰＣ機構
の不良を起こすという問題があった。また、エタロン６
に温調を施しても急激な半導体レーザ１のレーザ光の変
化には対応できず、エタロン６の温度が不安定になりノ
イズが発生するという問題があった。
ーザ装置は以上のように構成されているが、出力の一部
をフィードバックさせて出力安定化機構（以下ＡＰＣと
いう）で出力を安定化させている場合、図４に示すよう
に、半導体レーザ１から放出するレーザ光がエタロン６
に照射され、吸収されると、そのレーザ光によりエタロ
ン６の温度がＴ１からＴ２に変化する。温度の変化によ
りエタロン６の厚みが変化して、図６に示すように、エ
タロン６の多重反射による透過ピークがＡ−Ａ’、Ｂ−
Ｂ’、Ｃ−Ｃ’のようにシフトする。そのフリースペク
トルレンジ（以下ＦＳＲという）の波長換算は、λＦＳ
Ｒ＝波長２／（２×エタロンの屈折率×エタロンの厚
み）に従い、図７に示すように、ＦＳＲ上に中央の主縦
モード１６から離れた場所に、異なる縦モード１５が発
振し、ノイズが発生するという問題があった。そのため
温度の変化に対して影響を受け難いエタロン６を選定す
る必要があり、さらにエタロン６の厚みが数百ｎｍと厳
しい条件が付け加わる。また、エタロン６の透過率の低
下（または増加）が生じて、半導体レーザ光を増加(ま
たは減少)させ、ＡＰＣの出力が減少(または増加)する
といった現象が生じて、出力が不安定になりＡＰＣ機構
の不良を起こすという問題があった。また、エタロン６
に温調を施しても急激な半導体レーザ１のレーザ光の変
化には対応できず、エタロン６の温度が不安定になりノ
イズが発生するという問題があった。
【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、半導体レーザ１から放出するレーザ光
が、エタロン６に照射されても、エタロン６の温度上昇
がなく、厚みも変化せず、主縦モード１６の一本みで、
安定したＡＰＣ機構でノイズが発生しないＬＤ励起固体
レーザ装置を提供することを目的とする。
たものであって、半導体レーザ１から放出するレーザ光
が、エタロン６に照射されても、エタロン６の温度上昇
がなく、厚みも変化せず、主縦モード１６の一本みで、
安定したＡＰＣ機構でノイズが発生しないＬＤ励起固体
レーザ装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のＬＤ励起固体レーザ装置は、半導体レーザ
からの出力光により固体レーザ媒質を励起するととも
に、固体レーザ媒質を含む光共振器内に非線形光学素子
を設け、固体レーザ媒質から誘導放出される基本波の第
２高調波を出力ミラーを介して外部に出力するように構
成され、上記光共振器内にエタロンが挿入されたレーザ
装置において、エタロンおよびそのホルダーに半導体レ
ーザ光が反射するように処理を施したものである。
め、本発明のＬＤ励起固体レーザ装置は、半導体レーザ
からの出力光により固体レーザ媒質を励起するととも
に、固体レーザ媒質を含む光共振器内に非線形光学素子
を設け、固体レーザ媒質から誘導放出される基本波の第
２高調波を出力ミラーを介して外部に出力するように構
成され、上記光共振器内にエタロンが挿入されたレーザ
装置において、エタロンおよびそのホルダーに半導体レ
ーザ光が反射するように処理を施したものである。
【０００６】本発明のＬＤ励起固体レーザ装置は上記の
ように構成されており、エタロンおよびそのホルダーに
半導体レーザ光が反射するように処理が施されているの
で、レーザ光がエタロン６に照射されても、反射してエ
タロン６の温度上昇がなく、したがって厚みも変化せ
ず、安定したＡＰＣ機構で、容易に温調もでき、ノイズ
が発生しない。
ように構成されており、エタロンおよびそのホルダーに
半導体レーザ光が反射するように処理が施されているの
で、レーザ光がエタロン６に照射されても、反射してエ
タロン６の温度上昇がなく、したがって厚みも変化せ
ず、安定したＡＰＣ機構で、容易に温調もでき、ノイズ
が発生しない。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明のＬＤ励起固体レーザ装置
の一実施例を図１を参照しながら説明する。本装置は励
起用半導体レーザ１、コリメータレンズ２、集光レンズ
３、固体のレーザ媒質４（Ｎｄ：ＹＡＧ結晶で片端面ａ
に反射処理を施す）、非線形結晶５（ＫＮｂＯ３結
晶）、球面ミラー７（片端面ｂに反射処理を施す）、反
射層１２を有したエタロン６、ビームスプリッタ１１、
検出器８、フィードバック回路９、駆動用電源１０から
構成されている。半導体レーザ１から発したＬＤ光１７
がコリメータレンズ２によって平行光線となった後、集
光レンズ３によって集光され固体のレーザ媒質４を励起
する。固体のレーザ媒質４の片端面ａと球面ミラ−７の
片端面ｂとで共振器を形成しており、その内側に固体の
レーザ媒質４が配置されているのでレーザ発振を起こ
す。固体のレーザ媒質４により基本波が発生し、共振器
内に配置された非線形結晶５中でこの基本波が高調波に
変換される。このようにして波長変換された光が、球面
ミラー７を通過してレーザ装置の外部へ出力される。こ
れと同時にレーザ出力の一部をビームスプリッタ１１で
取り出し、検出器８で検知し、フィードバック回路９を
介して駆動用電源１０で出力パワーを制御（出力安定機
構ＡＰＣ）している。固体のレーザ媒質４の端面ａに
も、球面ミラー７の端面ｂにも基本波を反射する膜がコ
ーティングされており、この端面ａ端面ｂの間に基本波
を閉じ込め、この基本波が非線形結晶５で異なる波長に
変換されて、波長変換された光だけが球面ミラー７を通
してレーザ装置の外部へ取り出される。この場合、非線
形結晶５と球面ミラー７の間に平行平面基板のエタロン
６が共振器内部に配置されている。このエタロン６の片
面に、半導体レーザ１のＬＤ光１７（レーザ光）を反射
させることができる反射層１２の処理が施されている。
したがって、半導体レーザ１からのＬＤ光１７はこの反
射層１２で反射され、エタロン６の内部に吸収されるこ
とがなく、エタロン６の温度を変化させることがない。
エタロン６の片面に施された反射層１２は、エタロン６
だけでなくエタロン６を保持するホルダー（図示せず）
の表面にも反射層１２を施す。このようにＬＤ光１７を
反射するような処理を、エタロン６の片面に施すこと
で、出力安定機構ＡＰＣによりＬＤ光１７の強度が変化
しても、エタロン６の温度が変化せずに安定することに
なり、その結果、エタロン６の厚みが変化することがな
くなるため、安定した一本の第２高調波のみの発振で、
低ノイズレーザとなる。
の一実施例を図１を参照しながら説明する。本装置は励
起用半導体レーザ１、コリメータレンズ２、集光レンズ
３、固体のレーザ媒質４（Ｎｄ：ＹＡＧ結晶で片端面ａ
に反射処理を施す）、非線形結晶５（ＫＮｂＯ３結
晶）、球面ミラー７（片端面ｂに反射処理を施す）、反
射層１２を有したエタロン６、ビームスプリッタ１１、
検出器８、フィードバック回路９、駆動用電源１０から
構成されている。半導体レーザ１から発したＬＤ光１７
がコリメータレンズ２によって平行光線となった後、集
光レンズ３によって集光され固体のレーザ媒質４を励起
する。固体のレーザ媒質４の片端面ａと球面ミラ−７の
片端面ｂとで共振器を形成しており、その内側に固体の
レーザ媒質４が配置されているのでレーザ発振を起こ
す。固体のレーザ媒質４により基本波が発生し、共振器
内に配置された非線形結晶５中でこの基本波が高調波に
変換される。このようにして波長変換された光が、球面
ミラー７を通過してレーザ装置の外部へ出力される。こ
れと同時にレーザ出力の一部をビームスプリッタ１１で
取り出し、検出器８で検知し、フィードバック回路９を
介して駆動用電源１０で出力パワーを制御（出力安定機
構ＡＰＣ）している。固体のレーザ媒質４の端面ａに
も、球面ミラー７の端面ｂにも基本波を反射する膜がコ
ーティングされており、この端面ａ端面ｂの間に基本波
を閉じ込め、この基本波が非線形結晶５で異なる波長に
変換されて、波長変換された光だけが球面ミラー７を通
してレーザ装置の外部へ取り出される。この場合、非線
形結晶５と球面ミラー７の間に平行平面基板のエタロン
６が共振器内部に配置されている。このエタロン６の片
面に、半導体レーザ１のＬＤ光１７（レーザ光）を反射
させることができる反射層１２の処理が施されている。
したがって、半導体レーザ１からのＬＤ光１７はこの反
射層１２で反射され、エタロン６の内部に吸収されるこ
とがなく、エタロン６の温度を変化させることがない。
エタロン６の片面に施された反射層１２は、エタロン６
だけでなくエタロン６を保持するホルダー（図示せず）
の表面にも反射層１２を施す。このようにＬＤ光１７を
反射するような処理を、エタロン６の片面に施すこと
で、出力安定機構ＡＰＣによりＬＤ光１７の強度が変化
しても、エタロン６の温度が変化せずに安定することに
なり、その結果、エタロン６の厚みが変化することがな
くなるため、安定した一本の第２高調波のみの発振で、
低ノイズレーザとなる。
【０００８】上記の実施例ではエタロン６の片面に反射
層１２を施すようにしたが、反射層１２をエタロン６に
施す替わりに、図２に示すように、非線形結晶５とエタ
ロン６との間に、ピンホール板１３を設けて、半導体レ
ーザ１からのＬＤ光１７を、このピンホール板１３で周
辺部のＬＤ光１７を反射させても良い。
層１２を施すようにしたが、反射層１２をエタロン６に
施す替わりに、図２に示すように、非線形結晶５とエタ
ロン６との間に、ピンホール板１３を設けて、半導体レ
ーザ１からのＬＤ光１７を、このピンホール板１３で周
辺部のＬＤ光１７を反射させても良い。
【０００９】次に本発明のＬＤ励起固体レーザ装置の他
の実施例を、図２を参照しながら説明する。本装置は上
記の実施例（図１）のエタロン６の片面に反射層１２の
処理をしないもので、その替わりに共振器内に非線型結
晶５とエタロン６の間にピンホール板１３を設けたもの
である。本装置は励起用半導体レーザ１、コリメータレ
ンズ２、集光レンズ３、固体のレーザ媒質４、非線形結
晶５、球面ミラー７、エタロン６、ピンホール板１３、
ビームスプリッタ１１、検出器８、フィードバック回路
９、駆動用電源１０から構成されている。レーザ発振の
基本的な動作については上記の実施例（図１）と同様で
あるが、この場合、共振器内の非線形結晶５と平行平面
基板のエタロン６との間に、ＬＤ光１７がエタロン６、
そのホルダに照射しないようにするピンホール板１３が
設けられている。このためＬＤ光１７の強度が変化して
も、エタロン６の温度は変化することなく、厚みの変化
がないため、異なる縦モード１５が発振しない。したが
って、モード競合による出力の不安定性、ノイズをなく
することが可能となり、安定したレーザ出力を得ること
ができる。
の実施例を、図２を参照しながら説明する。本装置は上
記の実施例（図１）のエタロン６の片面に反射層１２の
処理をしないもので、その替わりに共振器内に非線型結
晶５とエタロン６の間にピンホール板１３を設けたもの
である。本装置は励起用半導体レーザ１、コリメータレ
ンズ２、集光レンズ３、固体のレーザ媒質４、非線形結
晶５、球面ミラー７、エタロン６、ピンホール板１３、
ビームスプリッタ１１、検出器８、フィードバック回路
９、駆動用電源１０から構成されている。レーザ発振の
基本的な動作については上記の実施例（図１）と同様で
あるが、この場合、共振器内の非線形結晶５と平行平面
基板のエタロン６との間に、ＬＤ光１７がエタロン６、
そのホルダに照射しないようにするピンホール板１３が
設けられている。このためＬＤ光１７の強度が変化して
も、エタロン６の温度は変化することなく、厚みの変化
がないため、異なる縦モード１５が発振しない。したが
って、モード競合による出力の不安定性、ノイズをなく
することが可能となり、安定したレーザ出力を得ること
ができる。
【００１０】
【発明の効果】本発明のＬＤ励起固体レーザ装置は上記
のように構成されており、エタロンおよびそのホルダー
に半導体レーザ光が反射するように処理が施されている
ので、レーザ光がエタロンに照射されても、反射してエ
タロンの温度が安定し、したがって厚みも変化せず、安
定したＡＰＣ機構で、容易に温調もでき、ノイズが発生
しない。
のように構成されており、エタロンおよびそのホルダー
に半導体レーザ光が反射するように処理が施されている
ので、レーザ光がエタロンに照射されても、反射してエ
タロンの温度が安定し、したがって厚みも変化せず、安
定したＡＰＣ機構で、容易に温調もでき、ノイズが発生
しない。
【図１】 本発明のＬＤ励起固体レーザ装置の一実施例
を示す図である。
を示す図である。
【図２】 本発明のＬＤ励起固体レーザ装置の他の実施
例を示す図である。
例を示す図である。
【図３】 従来のＬＤ励起固体レーザ装置を示す図であ
る。
る。
【図４】 従来のＬＤ励起固体レーザ装置の温度が高い
状態を示す図である。
状態を示す図である。
【図５】 エタロンの多重反射効果、多縦モード、シン
グル縦モードを示す図である。
グル縦モードを示す図である。
【図６】 エタロンの温度に対する透過ピークシフトを
示す図である。
示す図である。
【図７】 エタロン温度が変化した場合のスペクトル変
化を示す図である。
化を示す図である。
１…半導体レーザ ２…コリメータ
レンズ ３…集光レンズ ４…レーザ媒質 ５…非線形結晶 ６…エタロン ７…球面ミラー ８…検出器 ９…フィードバック回路 １０…駆動用電源 １１…ビームスプリッタ １２…反射層 １３…ピンホール板 １４…第２高調
波 １５…異なる縦モード １６…主縦モー
ド １７…ＬＤ光
レンズ ３…集光レンズ ４…レーザ媒質 ５…非線形結晶 ６…エタロン ７…球面ミラー ８…検出器 ９…フィードバック回路 １０…駆動用電源 １１…ビームスプリッタ １２…反射層 １３…ピンホール板 １４…第２高調
波 １５…異なる縦モード １６…主縦モー
ド １７…ＬＤ光
Claims (1)
- 【請求項１】半導体レーザからの出力光により固体レー
ザ媒質を励起するとともに、固体レーザ媒質を含む光共
振器内に非線形光学素子を設け、固体レーザ媒質から誘
導放出される基本波の第２高調波を出力ミラーを介して
外部に出力するように構成され、上記光共振器内にエタ
ロンが挿入されたレーザ装置において、エタロンおよび
そのホルダーに半導体レーザ光が反射するように処理を
施したことを特徴とするＬＤ励起固体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30725198A JP2000133864A (ja) | 1998-10-28 | 1998-10-28 | Ｌｄ励起固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30725198A JP2000133864A (ja) | 1998-10-28 | 1998-10-28 | Ｌｄ励起固体レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000133864A true JP2000133864A (ja) | 2000-05-12 |
Family
ID=17966863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30725198A Pending JP2000133864A (ja) | 1998-10-28 | 1998-10-28 | Ｌｄ励起固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000133864A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101096906B1 (ko) * | 2005-06-22 | 2011-12-22 | 엘지전자 주식회사 | 고조파 레이저 발생 장치 및 그 구동 방법 |
| JP2019160977A (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | 国立研究開発法人理化学研究所 | パルス電磁波発生装置および計測装置 |
-
1998
- 1998-10-28 JP JP30725198A patent/JP2000133864A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101096906B1 (ko) * | 2005-06-22 | 2011-12-22 | 엘지전자 주식회사 | 고조파 레이저 발생 장치 및 그 구동 방법 |
| JP2019160977A (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | 国立研究開発法人理化学研究所 | パルス電磁波発生装置および計測装置 |
| JP7007667B2 (ja) | 2018-03-12 | 2022-02-10 | 国立研究開発法人理化学研究所 | パルス電磁波発生装置および計測装置 |
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