JP2000131392A - Circuit for test board in burn-in testing system - Google Patents

Circuit for test board in burn-in testing system

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JP2000131392A
JP2000131392A JP10299927A JP29992798A JP2000131392A JP 2000131392 A JP2000131392 A JP 2000131392A JP 10299927 A JP10299927 A JP 10299927A JP 29992798 A JP29992798 A JP 29992798A JP 2000131392 A JP2000131392 A JP 2000131392A
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JP
Japan
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test
circuit
skew
signal
memory
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JP10299927A
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Japanese (ja)
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Yoshiyuki Uzuta
佳幸 埋田
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Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
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    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten transferring time to transfer SKEW data to all test boards for turn-in tests without adding a controller. SOLUTION: A test board 10 performs a test by performing SKEW adjustments between an impression pattern for a test to be impressed on a device to be tested 300 and a test result signal to be returned from the device to be tested 300 according to a control signal inputted from a controller 200. Then, according to a control signal inputted from the controller 200, a pattern generating circuit 19 outputs a control signal to an increment circuit 18, memory 16, a selector 17, and delay time variable circuits 11 and 12 to make the memory 16 output SKEW data corresponding to an impression pattern and updates SKEW data held in the delay time variable circuits 11 and 12. By this, SKEW data for SKEW adjustments is updated.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、IC等の被測定デ
バイスに温度ストレスをかけながら電気的試験を行うバ
ーンイン試験システムに係り、詳細には、バーンイン試
験システムにおける信号のSKEW調整を行って被測定
デバイスを試験する試験ボード用回路に関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a burn-in test system for performing an electrical test while applying a temperature stress to a device under test such as an IC, and more particularly, to a SKEW adjustment of a signal in the burn-in test system to perform a test. The present invention relates to a test board circuit for testing a measurement device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、被測定デバイスを恒温槽の炉の中
に入れ、その炉内の被測定デバイスに外部から電源電圧
や試験用の波形信号を印加して試験するバーンイン試験
を実施することにより、被測定デバイスの信頼性を確保
している。
2. Description of the Related Art Conventionally, a burn-in test is performed in which a device under test is placed in a furnace of a thermostat and a power supply voltage or a test waveform signal is externally applied to the device under test in the furnace. As a result, the reliability of the device under test is ensured.

【0003】このバーンイン試験の際、印加する波形信
号(以下、印加パターンと呼ぶ)や、試験結果を判定す
る試験ボード上における信号は、複数の信号線の経路を
通ることによって、到達時間の差が発生する。この到達
時間の差はSKEW(スキュー)と呼ばれ、その差は微
差ではあるが、この微差によって試験判定結果が大きく
異なるため、バーンイン試験においては、SKEW調整
が重要な役割を占めている。
In the burn-in test, a waveform signal to be applied (hereinafter, referred to as an application pattern) and a signal on a test board for judging a test result pass through a plurality of signal lines to obtain a difference in arrival time. Occurs. This difference in arrival time is called SKEW (skew), and the difference is a slight difference, but the test determination result greatly differs due to the small difference. Therefore, in the burn-in test, the SKEW adjustment plays an important role. .

【0004】図4にSKEW調整を行う従来のバーンイ
ン試験システムの要部回路構成を示すブロック図を示
し、この図を用いて従来のバーンイン試験におけるSK
EW調整について説明する。図4において、従来のバー
ンイン試験システム100は、コントローラ200と、
被試験デバイス300と、試験ボード400とにより構
成されており、図示しないが、被試験デバイス300の
数に応じて、その数分の試験ボード400が、それぞれ
被試験デバイス300に接続される構成となっている。
このバーンイン試験システム100は、試験ボード40
0が被試験デバイス300に試験用の波形信号を印加し
て、被試験デバイス300からの応答信号に基づいて被
試験デバイス300を試験するシステムである。
FIG. 4 is a block diagram showing a main circuit configuration of a conventional burn-in test system for performing SKEW adjustment. Referring to FIG.
The EW adjustment will be described. In FIG. 4, a conventional burn-in test system 100 includes a controller 200,
Although not shown, the configuration includes the device under test 300 and the test board 400, and the test boards 400 corresponding to the number of the devices under test 300 are connected to the device under test 300, respectively, according to the number of the devices under test 300. Has become.
The burn-in test system 100 includes a test board 40
Reference numeral 0 denotes a system for applying a test waveform signal to the device under test 300 and testing the device under test 300 based on a response signal from the device under test 300.

【0005】また、試験ボード400は、遅延時間可変
器11〜12と、判定回路13と、ドライバー回路14
と、コンパレータ回路15とから構成されており、印加
パターンや試験結果信号のSKEWを、コントローラ2
00から入力されるデータ(以降、SKEWデータと呼
ぶ)に基づいて遅延時間可変器11〜12が調整して、
被試験デバイス300へ印加パターンを出力するととも
に、被試験デバイス300から入力される試験結果信号
をSKEW調整後、被試験デバイス300の良否を判定
する。このSKEWデータは、遅延時間可変器11〜1
2が、予めSKEW調整を行った際のデータを、コント
ローラ200が記憶しており、試験システム100の電
源ON時にコントローラ200から遅延時間可変器11
〜12にそれぞれ送られるものである。
[0005] The test board 400 includes a delay time variable device 11 to 12, a determination circuit 13, and a driver circuit 14
And a comparator circuit 15. The SKEW of the applied pattern and the test result signal is
The delay time variable units 11 to 12 adjust based on data input from 00 (hereinafter referred to as SKEW data),
After outputting the application pattern to the device under test 300 and adjusting the SKEW of the test result signal input from the device under test 300, the quality of the device under test 300 is determined. This SKEW data is supplied to delay time variable devices 11 to 1
2, the controller 200 stores data when SKEW adjustment is performed in advance, and the controller 200 transmits the delay time variable unit 11 when the power of the test system 100 is turned on.
To 12 respectively.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
バーンイン試験システム100は、試験ボード400が
複数枚で構成されていても、コントローラ200は1台
であるため、コントローラ200から全ての試験ボード
400にSKEWデータが送られるまでに相当の時間が
かかっていた。
However, in the conventional burn-in test system 100, even if the test board 400 is composed of a plurality of test boards, only one controller 200 is provided. It took a considerable time before the SKEW data was sent.

【0007】本発明の課題は、コントローラを増設する
ことなく、バーンイン試験用の試験ボード全てにSKE
Wデータを転送する転送時間を短縮することである。
An object of the present invention is to provide SKE on all test boards for a burn-in test without adding a controller.
The purpose is to reduce the transfer time for transferring the W data.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1記載のバーンイ
ン試験システムにおける試験ボード用回路の発明は、S
KEW調整用のSKEWデータを記憶するメモリと、被
試験デバイスに所定の試験信号を印加する際に、前記メ
モリに記憶されたSKEWデータに基づいて該試験信号
のSKEW調整を行い、この試験信号に応じて該被試験
デバイスから出力される結果信号を前記メモリに記憶さ
れたSKEWデータに基づいてSKEW調整を行うSK
EW調整回路と、前記SKEW調整回路によりSKEW
調整された結果信号に基づいて、前記被試験デバイスの
良否を判定する判定回路と、を備えたことを特徴として
いる。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a test board circuit in a burn-in test system.
A memory for storing SKEW data for KEW adjustment, and when applying a predetermined test signal to a device under test, SKEW adjustment of the test signal is performed based on the SKEW data stored in the memory. SKW adjusting the result signal output from the device under test in accordance with the SKEW data stored in the memory.
An EW adjustment circuit, and the SKEW adjustment circuit
A determination circuit for determining the quality of the device under test based on the adjusted result signal.

【0009】この請求項1記載のバーンイン試験システ
ムにおける試験ボード用回路の発明によれば、メモリ
は、SKEW調整用のSKEWデータを記憶し、SKE
W調整回路は、被試験デバイスに所定の試験信号を印加
する際に、前記メモリに記憶されたSKEWデータに基
づいて該試験信号のSKEW調整を行い、この試験信号
に応じて該被試験デバイスから出力される結果信号を前
記メモリに記憶されたSKEWデータに基づいてSKE
W調整を行って、判定回路が、前記SKEW調整回路に
よりSKEW調整された結果信号に基づいて、前記被試
験デバイスの良否を判定する。
According to the invention of the test board circuit in the burn-in test system according to the first aspect, the memory stores SKEW data for SKEW adjustment, and
When a predetermined test signal is applied to the device under test, the W adjustment circuit performs SKEW adjustment of the test signal based on the SKEW data stored in the memory. Based on the SKEW data stored in the memory, the output result signal is
The W adjustment is performed, and the determination circuit determines pass / fail of the device under test based on the result signal SKEW adjusted by the SKEW adjustment circuit.

【0010】また、請求項2記載の発明のように、請求
項1記載の発明のバーンイン試験システムにおける試験
ボード用回路において、前記SKEW調整回路は、前記
被試験デバイスに所定の試験信号を印加する際に、前記
メモリに記憶されたSKEWデータに基づいて該試験信
号のSKEW調整を行って、該被試験デバイスに該試験
信号を印加する第1のSKEW調整回路と、この第1の
SKEW調整回路により印加された試験信号に応じて、
前記被試験デバイスから出力される結果信号を前記メモ
リに記憶されたSKEWデータに基づいてSKEW調整
を行う第2のSKEW調整回路と、から構成されること
として、前記判定回路は、前記第2のSKEW調整回路
によりSKEW調整された結果信号に基づいて前記被試
験デバイスの良否を判定することとしても良い。
According to a second aspect of the present invention, in the circuit for a test board in the burn-in test system according to the first aspect of the invention, the SKEW adjustment circuit applies a predetermined test signal to the device under test. A first SKEW adjustment circuit that performs SKEW adjustment of the test signal based on the SKEW data stored in the memory, and applies the test signal to the device under test; and a first SKEW adjustment circuit. Depending on the test signal applied by
A second SKEW adjustment circuit that performs SKEW adjustment based on the SKEW data stored in the memory on the result signal output from the device under test, wherein the determination circuit The quality of the device under test may be determined based on the result signal of the SKEW adjustment performed by the SKEW adjustment circuit.

【0011】この請求項1及び2記載の発明によれば、
従来の試験ボード用回路のように、試験毎に、試験ボー
ド用回路外部からSKEWデータを入力する必要がなく
なるため、試験ボード用回路へのSKEWデータの転送
に要していた転送時間を削減することのできる、実用性
の高い試験ボード用回路を提供することができ、この試
験ボード用回路を複数枚実装するバーンイン試験システ
ムにおいては、より一層の転送時間削減の効果を得るこ
とができる。
According to the first and second aspects of the present invention,
Unlike the conventional test board circuit, it is not necessary to input SKEW data from outside the test board circuit for each test, so that the transfer time required for transferring SKEW data to the test board circuit is reduced. Thus, it is possible to provide a highly practical test board circuit, and in a burn-in test system in which a plurality of test board circuits are mounted, it is possible to further reduce the transfer time.

【0012】請求項3記載の発明は、請求項1記載のバ
ーンイン試験システムにおける試験ボード用回路におい
て、前記SKEW調整回路が前記メモリに記憶されてい
るSKEWデータを読み出すタイミングを制御する制御
信号を、前記SKEW調整回路に出力する制御回路を更
に備え、前記SKEW調整回路は、前記制御回路から入
力される制御信号のタイミングに応じて前記メモリに記
憶されたSKEWデータを読み出して、前記試験信号及
び前記結果信号のSKEW調整を行うことを特徴として
いる。
According to a third aspect of the present invention, in the test board circuit in the burn-in test system according to the first aspect, a control signal for controlling a timing at which the SKEW adjustment circuit reads SKEW data stored in the memory is provided. The SKEW adjustment circuit further includes a control circuit that outputs the test signal and the test signal to the SKEW adjustment circuit. The SKEW adjustment circuit reads the SKEW data stored in the memory according to a timing of a control signal input from the control circuit. It is characterized in that SKEW adjustment of the result signal is performed.

【0013】この請求項3記載の発明によれば、請求項
1記載のバーンイン試験システムにおける試験ボード用
回路において、制御回路は、前記SKEW調整回路が前
記メモリに記憶されているSKEWデータを読み出すタ
イミングを制御する制御信号を、前記SKEW調整回路
に出力し、前記SKEW調整回路は、前記制御回路から
入力される制御信号のタイミングに応じて前記メモリに
記憶されたSKEWデータを読み出して、前記試験信号
及び前記結果信号のSKEW調整を行う。
According to the third aspect of the present invention, in the test board circuit in the burn-in test system according to the first aspect, the control circuit is configured to control the timing at which the SKEW adjustment circuit reads SKEW data stored in the memory. To the SKEW adjustment circuit, and the SKEW adjustment circuit reads the SKEW data stored in the memory according to the timing of the control signal input from the control circuit, and outputs the test signal And SKEW adjustment of the result signal.

【0014】また、請求項4記載の発明のように、請求
項3記載の発明のバーンイン試験システムにおける試験
ボード用回路において、前記メモリは、前記試験信号の
種類毎に対応して、複数のSKEWデータを記憶するこ
ととしても良い。
According to a fourth aspect of the present invention, in the test board circuit in the burn-in test system according to the third aspect of the present invention, the memory includes a plurality of SKEWs corresponding to each type of the test signal. Data may be stored.

【0015】また、請求項5記載の発明のように、請求
項4記載の発明のバーンイン試験システムにおける試験
ボード用回路において、前記制御回路は、更に、前記試
験信号の種類に応じたSKEWデータの記憶アドレスを
指示するアドレス信号を前記メモリに出力し、前記メモ
リは、この制御回路から入力されたアドレス信号に指示
されたSKEWデータを、前記SKEW調整回路に出力
することとしても良い。
According to a fifth aspect of the present invention, in the circuit for a test board in the burn-in test system according to the fourth aspect of the present invention, the control circuit further includes: a SKEW data corresponding to a type of the test signal. An address signal indicating a storage address may be output to the memory, and the memory may output SKEW data indicated by the address signal input from the control circuit to the SKEW adjustment circuit.

【0016】さらに、請求項6記載の発明のように、請
求項5記載の発明のバーンイン試験システムにおける試
験ボード用回路において、前記制御回路は、更に、前記
メモリが前記SKEWデータを前記SKEW調整回路に
出力するタイミングを制御する出力イネーブル信号を、
前記メモリに出力し、前記メモリは、この制御回路から
入力される出力イネーブル信号のタイミングに応じて、
前記SKEWデータを前記SKEW調整回路に出力する
こととしても良い。
According to a sixth aspect of the present invention, in the circuit for a test board in the burn-in test system according to the fifth aspect of the present invention, the control circuit further includes a memory for storing the SKEW data in the SKEW adjustment circuit. An output enable signal that controls the timing of output to
Output to the memory, and the memory responds to a timing of an output enable signal input from the control circuit.
The SKEW data may be output to the SKEW adjustment circuit.

【0017】上記請求項3〜6記載の発明によれば、制
御回路の出力する信号に応じて、SKEW調整回路及び
メモリが動作するため、SKEW調整回路やメモリの動
作を自由に制御して、動作タイミングを設定することが
できると共に、試験信号の種類に応じたSKEWデータ
の出力を行うことのできる、実用性の高い試験ボード用
回路を提供することができる。
According to the third aspect of the present invention, the SKEW adjustment circuit and the memory operate according to the signal output from the control circuit. Therefore, the operation of the SKEW adjustment circuit and the memory can be freely controlled. It is possible to provide a highly practical test board circuit that can set operation timing and can output SKEW data according to the type of test signal.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を詳細に説明する。図1〜図3は、本発明を適用
したバーンイン試験用の試験ボード、及びバーンイン試
験システムの一実施の形態を示す図である。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 to FIG. 3 are diagrams showing an embodiment of a test board for a burn-in test to which the present invention is applied, and a burn-in test system.

【0019】まず、構成を説明する。図1及び図2は、
本実施の形態におけるバーンイン試験システム1の要部
回路構成を示すブロック図であり、上記従来の図4に対
応する要部回路構成を図1、コントローラ200との接
続関係および試験ボード10上の信号を示した要部回路
構成を図2に示す。また、上記従来の図4に示したバー
ンイン試験システムと同一の構成部分には同一符号を付
している。
First, the configuration will be described. 1 and 2
FIG. 5 is a block diagram showing a main circuit configuration of the burn-in test system 1 according to the present embodiment. FIG. 1 shows the main circuit configuration corresponding to FIG. FIG. 2 shows a main circuit configuration showing the above. The same components as those of the conventional burn-in test system shown in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals.

【0020】この図1及び図2において、バーンイン試
験システム1は、試験ボード10と、コントローラ20
0と、被試験デバイス300と、から構成されている。
また、図2に示すように、バーンイン試験システム1が
複数の被試験デバイス(不図示)を試験する場合には、
被試験デバイス300それぞれに接続して試験を行う試
験ボードが必要なため、試験ボードは、試験ボード10
〜n0の被試験デバイス300の個数分の複数の試験ボ
ードにより構成される。
1 and 2, a burn-in test system 1 includes a test board 10 and a controller 20.
0 and the device under test 300.
As shown in FIG. 2, when the burn-in test system 1 tests a plurality of devices under test (not shown),
Since a test board for performing a test by connecting to each device under test 300 is required, the test board
It is composed of a plurality of test boards as many as the number of the devices under test 300 of No. to n0.

【0021】このバーンイン試験システム1は、試験ボ
ード10が、コントローラ200から入力される制御信
号に基づいて、被試験デバイス300へ印加パターンを
出力し、被試験デバイス300から入力される試験結果
信号によって被試験デバイス300の良否を判定するシ
ステムであり、試験ボード10は、印加パターンに応じ
たSKEW調整を行うために、印加パターン毎にSKE
Wデータを更新する。
In the burn-in test system 1, the test board 10 outputs an application pattern to the device under test 300 based on a control signal input from the controller 200, and outputs a test pattern according to a test result signal input from the device under test 300. This is a system for determining the quality of the device under test 300. The test board 10 performs SKEW adjustment for each applied pattern in order to perform SKEW adjustment according to the applied pattern.
Update W data.

【0022】また、図2に示すように、バーンイン試験
システム1が、複数の被試験デバイスと、複数の試験ボ
ード10〜n0とから構成される場合には、試験ボード
10〜n0は、コントローラ200に共通接続される。
このため、コントローラ200が制御信号を出力する
と、試験ボード10〜n0それぞれに制御信号が入力さ
れ、各試験ボード10〜n0に接続された被試験デバイ
ス(不図示)の試験が行われる。
As shown in FIG. 2, when the burn-in test system 1 includes a plurality of devices under test and a plurality of test boards 10 to n0, the test boards 10 to n0 Connected in common.
Therefore, when the controller 200 outputs the control signal, the control signal is input to each of the test boards 10 to n0, and the devices under test (not shown) connected to the test boards 10 to n0 are tested.

【0023】また、試験ボード10は、遅延時間可変回
路11〜12と、判定回路13と、ドライバー回路14
と、コンパレータ回路15と、メモリ16と、セレクタ
17と、インクリメント回路18と、パターン生成回路
19と、から構成されており、各回路について順次説明
する。また、試験ボード10〜n0は共に同一の構成と
なっている。このため、以下、試験ボード10について
のみ説明する。
The test board 10 includes delay time variable circuits 11 to 12, a judgment circuit 13, and a driver circuit 14.
, A comparator circuit 15, a memory 16, a selector 17, an increment circuit 18, and a pattern generation circuit 19, and each circuit will be sequentially described. The test boards 10 to n0 have the same configuration. Therefore, only the test board 10 will be described below.

【0024】まず、パターン生成回路19について説明
する。パターン生成回路19は、コントローラ200か
ら入力される制御信号に基づいて、インクリメント信号
aと、出力イネーブル信号cと、セレクタ制御信号d
と、ライトイネーブル信号fとを生成して、出力する制
御回路であり、これらの信号によって試験ボード10を
構成する各回路の動作が制御される。
First, the pattern generation circuit 19 will be described. The pattern generation circuit 19 includes an increment signal a, an output enable signal c, and a selector control signal d based on a control signal input from the controller 200.
And a control circuit for generating and outputting a write enable signal f, and the operation of each circuit constituting the test board 10 is controlled by these signals.

【0025】インクリメント信号aは、インクリメント
回路18に出力される、所定単位時間"H"レベルの単位
パルスであり、メモリ16に出力するメモリアドレスb
をインクリメントさせるための信号である。出力イネー
ブル信号cは、メモリ16に出力され、信号が"L"レベ
ルの場合にメモリ16からSKEWデータを出力させる
ための信号である。ライトイネーブル信号fは、遅延時
間可変回路11〜12に出力され、信号が"L"レベルの
場合に、遅延時間可変回路11〜12がメモリ16から
入力されるSKEWデータを取り込んで保持させるため
の信号である。セレクタ制御信号dは、セレクタ17に
出力される、所定単位時間"H"レベルの単位パルスであ
り、セレクタ17は、この信号が入力された後、遅延時
間可変回路11〜12を選択するためのセレクタ信号e
を出力する。
The increment signal “a” is a unit pulse of “H” level for a predetermined unit time outputted to the increment circuit 18, and a memory address “b” outputted to the memory 16.
Is a signal for incrementing. The output enable signal c is a signal that is output to the memory 16 and causes the memory 16 to output SKEW data when the signal is at the “L” level. The write enable signal f is output to the delay time variable circuits 11 to 12, and when the signal is at the “L” level, the delay time variable circuits 11 to 12 capture and hold the SKEW data input from the memory 16. Signal. The selector control signal d is a unit pulse of the "H" level for a predetermined unit time outputted to the selector 17, and the selector 17 selects the delay time variable circuits 11 to 12 after this signal is inputted. Selector signal e
Is output.

【0026】遅延時間可変回路11は、外部から入力さ
れた印加パターンのSKEW調整を行って、ドライバー
回路14を介して被試験デバイス300へ出力する回路
である。また、遅延時間可変回路12は、被試験デバイ
ス300からコンパレータ回路15を介して入力される
試験結果信号のSKEW調整を行って判定回路13に出
力する回路である。また、遅延時間可変回路11〜12
は、セレクタ17から入力されるセレクタ信号eが"H"
レベルで、かつ、パターン生成回路19から入力される
ライトイネーブル信号fが"L"レベルの時に、メモリ1
6から入力されるSKEWデータを取り込んで、SKE
W調整用のSKEWデータを更新して保持する回路であ
る。
The delay time variable circuit 11 is a circuit that performs SKEW adjustment of an application pattern input from the outside and outputs the result to the device under test 300 via the driver circuit 14. The delay time variable circuit 12 is a circuit that performs SKEW adjustment of a test result signal input from the device under test 300 via the comparator circuit 15 and outputs the result to the determination circuit 13. In addition, delay time variable circuits 11 to 12
Indicates that the selector signal e input from the selector 17 is "H".
Level, and when the write enable signal f input from the pattern generation circuit 19 is at “L” level, the memory 1
6 fetches the SKEW data input from
This is a circuit for updating and holding SKEW data for W adjustment.

【0027】判定回路13は、遅延時間可変回路12に
よりSKEW調整された被試験デバイス300の試験結
果信号を受信して、被試験デバイス300の良否を判定
する回路である。
The determination circuit 13 is a circuit that receives the test result signal of the device under test 300 SKEW adjusted by the delay time variable circuit 12 and determines the quality of the device under test 300.

【0028】ドライバー回路14は、遅延時間可変回路
11から入力されるSKEW調整後の印加パターンを、
被試験デバイス300に出力する回路である。コンパレ
ータ回路15は、被試験デバイス300と試験ボード1
0間の信号の内、被試験デバイス300から出力される
上記印加パターンに対応した試験結果信号を取り出し
て、遅延時間可変回路12に出力する回路である。
The driver circuit 14 converts the application pattern after the SKEW adjustment input from the delay time variable circuit 11 into
This is a circuit that outputs to the device under test 300. The comparator circuit 15 includes the device under test 300 and the test board 1
This circuit extracts a test result signal corresponding to the application pattern output from the device under test 300 out of the signals between 0, and outputs the test result signal to the delay time variable circuit 12.

【0029】メモリ16は、パターン生成回路19から
入力される出力イネーブル信号cが"L"レベルの時に、
インクリメント回路18から入力されるメモリアドレス
bに格納しているSKEWデータを、遅延時間可変回路
11〜12に出力する回路である。
When the output enable signal c input from the pattern generation circuit 19 is at "L" level, the memory 16
This circuit outputs the SKEW data stored at the memory address b input from the increment circuit 18 to the delay time variable circuits 11 to 12.

【0030】セレクタ17は、パターン生成回路19か
ら入力されるセレクタ制御信号dの立ち上がり時に、セ
レクタ信号eを"H"レベルまたは"L"レベルとして、遅
延時間可変回路11〜12に出力し、パターン生成回路
19から出力されるライトイネーブル信号fと併せて、
遅延時間可変回路11〜12のSKEWデータ書き込み
を制御する回路である。またこの"H"レベルまたは"L"
レベルとする時期及び期間は、セレクタ制御信号dの立
ち上がりを基準として、予めセレクタ17に設定されて
いる。
When the selector control signal d input from the pattern generation circuit 19 rises, the selector 17 outputs the selector signal e to the "H" level or the "L" level to the delay time variable circuits 11 to 12, Together with the write enable signal f output from the generation circuit 19,
This is a circuit for controlling writing of SKEW data to the delay time variable circuits 11 to 12. Also, this "H" level or "L"
The timing and the period of the level are preset in the selector 17 with reference to the rise of the selector control signal d.

【0031】インクリメント回路18は、メモリ16の
メモリアドレスbを保持し、保持しているメモリアドレ
スbをメモリ16に出力するとともに、パターン生成回
路19から入力されるインクリメント信号aの立ち上が
り時に、保持しているメモリアドレスbをインクリメン
トして、メモリ16に出力する回路である。
The increment circuit 18 holds the memory address b of the memory 16, outputs the held memory address b to the memory 16, and holds the memory address b when the increment signal a input from the pattern generating circuit 19 rises. This is a circuit that increments the memory address b and outputs it to the memory 16.

【0032】次に、本実施の形態の動作を説明する。上
記図2のバーンイン試験システム1において、コントロ
ーラ200から入力される制御信号に基づいて、パター
ン生成回路19が生成出力する上記インクリメント信号
a等の各信号により、試験ボード10がSKEWデータ
を更新する動作を、図3を参照して説明する。
Next, the operation of this embodiment will be described. In the burn-in test system 1 of FIG. 2, the test board 10 updates the SKEW data with each signal such as the increment signal a generated and output by the pattern generation circuit 19 based on the control signal input from the controller 200. Will be described with reference to FIG.

【0033】図3は、試験ボード10上の各制御信号の
タイミングチャートを示す図である。まず、Aの時点
で、パターン生成回路19は、インクリメント信号aを
所定単位時間"H"レベルとする単位パルスをインクリメ
ント回路18に出力する。このインクリメント信号aの
立ち上がり時に、インクリメント信号aが入力されたイ
ンクリメント回路18は、保持しているメモリアドレス
bをインクリメントして、メモリ16にメモリアドレス
bを出力する。
FIG. 3 is a diagram showing a timing chart of each control signal on the test board 10. First, at the point A, the pattern generation circuit 19 outputs to the increment circuit 18 a unit pulse that sets the increment signal a to the “H” level for a predetermined unit time. At the time of the rise of the increment signal a, the increment circuit 18 to which the increment signal a is input increments the held memory address b and outputs the memory address b to the memory 16.

【0034】また、パターン生成回路19は、セレクタ
制御信号dを所定単位時間"H"レベルとする単位パルス
をセレクタ17に出力する。そして、このセレクタ制御
信号dが入力されたセレクタ17は、セレクタ制御信号
dの立ち上がり時に、遅延時間可変回路11〜12を選
択するセレクタ信号eを"H"レベルまたは"L"レベルと
して出力する。またこの"H"レベルまたは"L"レベルと
する時期及び期間は、上記の通り、予めセレクタ17に
設定された内容に従って変更して出力される。
The pattern generating circuit 19 outputs a unit pulse for setting the selector control signal d to the “H” level for a predetermined unit time to the selector 17. Then, the selector 17 to which the selector control signal d has been input outputs the selector signal e for selecting the delay time variable circuits 11 to 12 as the “H” level or the “L” level at the rise of the selector control signal d. As described above, the timing and the period of the “H” level or the “L” level are changed and output according to the contents set in the selector 17 in advance.

【0035】次に、Bの時点で、パターン生成回路19
は、出力イネーブル信号cを"L"レベルに立ち下げてメ
モリ16に出力する。メモリ16は、出力イネーブル信
号cが"L"レベルとなったため、インクリメント回路1
8から入力されるメモリアドレスbに格納されているS
KEWデータを遅延時間可変回路11〜12に出力す
る。しかし、遅延時間可変回路11〜12は、この時点
ではライトイネーブル信号fが"H"レベルのために、回
路内にSKEWデータを取り込んで、保存することはで
きない。
Next, at time B, the pattern generation circuit 19
Falls the output enable signal c to the “L” level and outputs it to the memory 16. Since the output enable signal c has become “L” level, the memory 16
S stored in the memory address b input from
The KEW data is output to the delay time variable circuits 11 to 12. However, since the write enable signal f is at "H" level at this time, the delay time variable circuits 11 to 12 cannot capture and store the SKEW data in the circuits.

【0036】次に、Cの時点で、パターン生成回路19
は、ライトイネーブル信号fを"L"レベルに立ち下げて
遅延時間可変回路11〜12に出力する。遅延時間可変
回路11〜12は、ライトイネーブル信号fが"L"レベ
ルとなったため、セレクタ信号eが"H"レベルであれ
ば、メモリ16から入力されるSKEWデータを取り込
んで、回路内に保持する。
Next, at time C, the pattern generation circuit 19
Causes the write enable signal f to fall to the “L” level and outputs it to the delay time variable circuits 11 to 12. Since the write enable signal f is at the “L” level, if the selector signal e is at the “H” level, the delay time variable circuits 11 to 12 take in the SKEW data input from the memory 16 and hold the data in the circuits. I do.

【0037】次に、Dの時点で、パターン生成回路19
は、ライトイネーブル信号fを"H"レベルに立ち上げて
出力する。したがって、遅延時間可変回路11〜12
は、SKEWデータを取り込む動作を止め、Cの時点以
降に取り込んだSKEWデータを保持する。
Next, at time D, the pattern generation circuit 19
Raises the write enable signal f to "H" level and outputs it. Therefore, the delay time variable circuits 11 to 12
Stops the operation of taking in the SKEW data, and retains the SKEW data taken in after the time point C.

【0038】次に、Eの時点で、パターン生成回路19
は、出力イネーブル信号cを"H"レベルに立ち上げて出
力する。そして、出力イネーブル信号cが"H"レベルと
なったため、メモリ16は、SKEWデータの出力を中
止する。
Next, at the point of E, the pattern generation circuit 19
Raises the output enable signal c to "H" level and outputs it. Then, since the output enable signal c has become “H” level, the memory 16 stops outputting the SKEW data.

【0039】以上のA時点〜E時点が、試験ボード10
がSKEWデータを更新する動作の1周期である。A´
〜E´以降も同様にこの周期を繰り返すことにより、メ
モリアドレスbをインクリメントして、メモリ16のメ
モリアドレスbに格納されているSKEWデータを遅延
時間可変回路11〜12が取り込んで、被試験デバイス
300に印加する印加パターンに対応するSKEW調整
を行う。
The time points A to E correspond to the time on the test board 10.
Is one cycle of the operation for updating the SKEW data. A '
The memory address b is incremented by repeating this cycle in the same manner from -E 'onward, and the SKEW data stored in the memory address b of the memory 16 is fetched by the delay time variable circuits 11 to 12, and the device under test The SKEW adjustment corresponding to the application pattern applied to 300 is performed.

【0040】以上のように、本実施の形態のバーンイン
試験システム1では、試験ボード10が、コントローラ
200から入力される制御信号に応じて、被試験デバイ
ス300へ印加する試験用の印加パターンと、被試験デ
バイス300から戻ってくる試験結果信号とのSKEW
調整を行って試験を行う。そして、このSKEW調整用
のSKEWデータの更新は、コントローラ200から入
力される制御信号に応じて、パターン生成回路19が、
インクリメント回路18と、メモリ16と、セレクタ1
7と、遅延時間可変回路11〜12とに制御信号を出力
して、印加パターンに応じたSKEWデータをメモリ1
6内から出力させ、遅延時間可変回路11〜12が保持
しているSKEWデータを更新することにより行う。
As described above, in the burn-in test system 1 of the present embodiment, the test board 10 applies the test application pattern applied to the device under test 300 in accordance with the control signal input from the controller 200, SKEW with test result signal returned from device under test 300
Make adjustments and test. The SKEW data for SKEW adjustment is updated by the pattern generation circuit 19 according to a control signal input from the controller 200.
Increment circuit 18, memory 16, selector 1
7 and control signals to the delay time variable circuits 11 to 12 to store SKEW data corresponding to the applied pattern in the memory 1.
6 and updates the SKEW data held by the delay time variable circuits 11 to 12.

【0041】したがって、コントローラ200から入力
される制御信号に基づいて、メモリ16に格納されたS
KEWデータを、パターン生成回路19が遅延時間可変
器11〜12にSKEWデータを読み込ませるため、従
来、試験ボード枚数の増加に伴って全ての試験ボードに
SKEWデータを個別に転送するためにかかっていた転
送時間を短縮することができ、実用性の高いバーンイン
試験システム及び試験ボードを提供することができる。
Therefore, based on the control signal input from the controller 200, the S
Conventionally, since the pattern generation circuit 19 causes the delay time variable devices 11 to 12 to read the SKEW data from the KEW data, it has conventionally been necessary to individually transfer the SKEW data to all test boards as the number of test boards increases. The transfer time can be shortened, and a highly practical burn-in test system and test board can be provided.

【0042】なお、上記実施の形態で説明した試験ボー
ド10〜n0の実装数は、限定されるものではなく、バ
ーンイン試験が実行可能な範囲内で適用可能であり、コ
ントローラ200からの制御信号は同時に全ての試験ボ
ードに入力されるため、実装数が多い程、SKEWデー
タの転送時間削減の効果が表れる。
The number of test boards 10 to n0 described in the above embodiment is not limited, and can be applied within a range in which a burn-in test can be performed. Since the data is input to all the test boards at the same time, the effect of reducing the transfer time of the SKEW data appears as the number of mounted boards increases.

【0043】また、上記実施の形態では、遅延時間可変
器11〜12は、印加パターンを出力するためのSKE
W調整用と、試験結果信号のSKEW調整用の2つの回
路として説明したが、被試験デバイス300に入出力さ
れる信号のSKEW調整回路として1つの回路で構成す
ることとしても良い。
Further, in the above embodiment, the delay time varying units 11 to 12 are provided with the SKE for outputting the application pattern.
Although two circuits have been described for W adjustment and for SKEW adjustment of the test result signal, one circuit may be configured as a SKEW adjustment circuit for signals input to and output from the device under test 300.

【0044】[0044]

【発明の効果】請求項1及び2記載の発明によれば、従
来のバーンイン試験システムにおける試験ボード用回路
のように、試験毎に、試験ボード用回路外部からSKE
Wデータを入力する必要がなくなるため、試験ボード用
回路へのSKEWデータの転送に要していた転送時間を
削減することのできる、実用性の高い試験ボード用回路
を提供することができ、この試験ボード用回路を複数枚
実装するバーンイン試験システムにおいては、より一層
の転送時間削減の効果を得ることができる。
According to the first and second aspects of the present invention, like the test board circuit in the conventional burn-in test system, the SKE is supplied from outside the test board circuit every test.
Since there is no need to input W data, it is possible to provide a highly practical test board circuit that can reduce the transfer time required for transferring SKEW data to the test board circuit. In the burn-in test system in which a plurality of test board circuits are mounted, the effect of further reducing the transfer time can be obtained.

【0045】請求項3〜6記載の発明によれば、制御回
路の出力する信号に応じて、SKEW調整回路及びメモ
リが動作するため、SKEW調整回路やメモリの動作を
自由に制御して、動作タイミングを設定することができ
ると共に、試験信号の種類に応じたSKEWデータの出
力を行うことのできる、実用性の高い試験ボード用回路
を提供することができる。
According to the third aspect of the invention, the SKEW adjustment circuit and the memory operate according to the signal output from the control circuit. It is possible to provide a highly practical test board circuit that can set timing and output SKEW data according to the type of test signal.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を適用した一実施の形態におけるバーン
イン試験システム1の要部回路構成を示すブロック図。
FIG. 1 is a block diagram showing a main circuit configuration of a burn-in test system 1 according to an embodiment to which the present invention is applied.

【図2】図1のコントローラ200と試験ボード10と
の接続関係、および試験ボード10上の信号を示したバ
ーンイン試験システム1の要部回路構成を示すブロック
図。
FIG. 2 is a block diagram showing a connection relationship between a controller 200 and a test board 10 in FIG. 1 and a main part circuit configuration of the burn-in test system 1 showing signals on the test board 10;

【図3】図2の試験ボード10上の各制御信号のタイミ
ングチャートを示す図。
FIG. 3 is a diagram showing a timing chart of each control signal on a test board 10 of FIG. 2;

【図4】従来のバーンイン試験システムの要部回路構成
を示すブロック図。
FIG. 4 is a block diagram showing a main circuit configuration of a conventional burn-in test system.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 バーンイン試験システム 10 試験ボード 11、12 遅延時間可変器 13 判定回路 14 ドライバー回路 15 コンパレータ回路 16 メモリ 17 セレクタ 18 インクリメント回路 19 パターン生成回路 200 コントローラ 300 被試験デバイス DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Burn-in test system 10 Test board 11 and 12 Delay time variable device 13 Judgment circuit 14 Driver circuit 15 Comparator circuit 16 Memory 17 Selector 18 Increment circuit 19 Pattern generation circuit 200 Controller 300 Device under test

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】SKEW調整用のSKEWデータを記憶す
るメモリと、 被試験デバイスに所定の試験信号を印加する際に、前記
メモリに記憶されたSKEWデータに基づいて該試験信
号のSKEW調整を行い、この試験信号に応じて該被試
験デバイスから出力される結果信号を前記メモリに記憶
されたSKEWデータに基づいてSKEW調整を行うS
KEW調整回路と、 前記SKEW調整回路によりSKEW調整された結果信
号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判
定回路と、 を備えたことを特徴とするバーンイン試験システムにお
ける試験ボード用回路。
1. A memory for storing SKEW data for SKEW adjustment, and, when a predetermined test signal is applied to a device under test, performing SKEW adjustment of the test signal based on the SKEW data stored in the memory. SKEW adjustment is performed on the result signal output from the device under test in response to the test signal based on the SKEW data stored in the memory.
A test board circuit in a burn-in test system, comprising: a KEW adjustment circuit; and a determination circuit for determining the quality of the device under test based on a result signal SKEW adjusted by the SKEW adjustment circuit.
【請求項2】前記SKEW調整回路は、 前記被試験デバイスに所定の試験信号を印加する際に、
前記メモリに記憶されたSKEWデータに基づいて該試
験信号のSKEW調整を行って、該被試験デバイスに該
試験信号を印加する第1のSKEW調整回路と、 この第1のSKEW調整回路により印加された試験信号
に応じて、前記被試験デバイスから出力される結果信号
を前記メモリに記憶されたSKEWデータに基づいてS
KEW調整を行う第2のSKEW調整回路と、 から構成され、 前記判定回路は、前記第2のSKEW調整回路によりS
KEW調整された結果信号に基づいて前記被試験デバイ
スの良否を判定することを特徴とする請求項1記載のバ
ーンイン試験システムにおける試験ボード用回路。
2. The SKEW adjustment circuit, when applying a predetermined test signal to the device under test,
A first SKEW adjustment circuit that performs SKEW adjustment of the test signal based on the SKEW data stored in the memory and applies the test signal to the device under test; In response to the test signal, the result signal output from the device under test is converted into S based on the SKEW data stored in the memory.
And a second SKEW adjustment circuit that performs KEW adjustment.
2. The test board circuit in the burn-in test system according to claim 1, wherein the quality of the device under test is determined based on the result signal after the KEW adjustment.
【請求項3】前記SKEW調整回路が前記メモリに記憶
されているSKEWデータを読み出すタイミングを制御
する制御信号を、前記SKEW調整回路に出力する制御
回路を更に備え、 前記SKEW調整回路は、前記制御回路から入力される
制御信号のタイミングに応じて前記メモリに記憶された
SKEWデータを読み出して、前記試験信号及び前記結
果信号のSKEW調整を行うことを特徴とする請求項1
記載のバーンイン試験システムにおける試験ボード用回
路。
3. The SKEW adjustment circuit further includes a control circuit for outputting a control signal for controlling a timing at which the SKEW adjustment circuit reads SKEW data stored in the memory to the SKEW adjustment circuit. 2. The SKEW data stored in the memory is read in accordance with a timing of a control signal input from a circuit, and SKEW adjustment of the test signal and the result signal is performed.
A test board circuit in the described burn-in test system.
【請求項4】前記メモリは、前記試験信号の種類毎に対
応して、複数のSKEWデータを記憶することを特徴と
する請求項3記載のバーンイン試験システムにおける試
験ボード用回路。
4. A test board circuit in a burn-in test system according to claim 3, wherein said memory stores a plurality of SKEW data corresponding to each type of said test signal.
【請求項5】前記制御回路は、更に、前記試験信号の種
類に応じたSKEWデータの記憶アドレスを指示するア
ドレス信号を前記メモリに出力し、 前記メモリは、この制御回路から入力されたアドレス信
号に指示されたSKEWデータを、前記SKEW調整回
路に出力することを特徴とする請求項4記載のバーンイ
ン試験システムにおける試験ボード用回路。
5. The control circuit further outputs an address signal indicating a storage address of SKEW data according to a type of the test signal to the memory, and the memory outputs an address signal input from the control circuit. 5. The circuit for a test board in a burn-in test system according to claim 4, wherein the SKEW data specified in the step (c) is output to the SKEW adjustment circuit.
【請求項6】前記制御回路は、更に、前記メモリが前記
SKEWデータを前記SKEW調整回路に出力するタイ
ミングを制御する出力イネーブル信号を、前記メモリに
出力し、 前記メモリは、この制御回路から入力される出力イネー
ブル信号のタイミングに応じて、前記SKEWデータを
前記SKEW調整回路に出力することを特徴とする請求
項5記載のバーンイン試験システムにおける試験ボード
用回路。
6. The control circuit further outputs to the memory an output enable signal for controlling a timing at which the memory outputs the SKEW data to the SKEW adjustment circuit, and the memory receives an input from the control circuit. 6. The circuit for a test board in a burn-in test system according to claim 5, wherein the SKEW data is output to the SKEW adjustment circuit in accordance with the timing of the output enable signal.
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