JP2000111272A - 炉内監視口 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 真空炉の側壁等に設けられる炉内監視口から
の熱損失を大幅に抑制できるようにするとともに、炉内
温度分布等を向上させ炉洩熱による種々の障害発生を防
止する。 【解決手段】 断熱壁１の開口部２に透過率が可視光線
域で高く輻射熱線域で低い光透過特性を持つ複数枚の透
明板材３ａ，３ｂ，３ｃを配設し、複数枚の透明板材を
取付枠４に嵌め込み、該透明板材３ａ，３ｂ，３ｃ間に
ポリイミド等の耐熱シール材５ａ，５ｂを配置して隙間
６ａ，６ｂを構成し、該隙間を減圧状態に保持した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は真空炉等の炉壁に炉
内状況を監視するために設ける炉内監視口に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】真空炉等の炉内状況を監視するために従
来から設けられている炉内監視口は、図４に示したよう
に、断熱壁ａに開口部ｂを設け、その外側の炉殻ｃに開
設された開口ｄの外側にフランジｅを形成し、透明な耐
熱性板ガラスｆを該フランジにＯリング，ガスケット等
のシール部材ｇを介在させて気密に重合し取付枠ｈを外
嵌してなるものであった。なおｉは炉内の処理品であ
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従って言うまでもなく
この従来の炉内監視口では、断熱壁ａの開口部ｂで炉内
ガスが対流することによる熱損失、および輻射による熱
損失があり、その熱損失のために該開口部ｂ付近の炉内
処理品の温度が低くなり温度分布を悪化させるととも
に、その漏洩熱によりシール部材ｇが過熱され気密性が
損なわれガス漏れを起こすおそれがある等の危険があっ
た。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明に係る炉内監視口
は上記課題を解決しようとするもので、断熱壁の開口部
に透過率が可視光線域で高く輻射熱線域で低い光透過特
性を持つ透明板材を複数枚配設してなることを特徴とす
る。また本発明は上記炉内監視口において、複数枚の透
明板材の間隙を減圧状態としたことを特徴とする。

【０００５】

【発明の実施の形態】次に図１〜図３に従い本発明の実
施の形態を説明する。本発明で使用する透明板材は、液
晶ディスプレイ用の透明電極を製造する工程で従来から
使用されているＣＶＤ法により、透明な耐熱性板ガラス
に酸化スズ系皮膜を約２０００オングストロームの厚さ
に蒸着（コーティング）してなるものである。図３は、
普通の耐熱性板ガラスと上記コーティング処理済の板ガ
ラスの光の透過率を夫々紫外線から遠赤外線に亘って測
定した結果、および８００℃における黒体の放射エネル
ギー強度をグラフに表わしたものである。同図から解る
ようにコーティング処理をした板ガラスは波長が０．５
〜１．６μの可視光線域で５０％以上の高い透過率を示
す反面、２〜５μの近赤外線および遠赤外線等の輻射熱
線域で２０％以下の低い透過率を持つようになる。

【０００６】しかして本発明では、図１に示したよう
に、断熱壁１の開口部２にこのようにコーティング処理
をすることによって透過率が可視光線域で高く輻射熱線
域で低い光透過特性を持つようになった複数枚の透明板
材３ａ，３ｂ，３ｃを配設する。４は該透明板材３ａ〜
３ｃの取付枠、５ａ，５ｂは該各透明板材間に介在させ
ることによって隙間６ａ，６ｂを生じさせているポリイ
ミド等の耐熱性シール材である。また９は炉殻１０に開
設された開口１１の外側にフランジ１２を形成し、該フ
ランジにシール部材１３を介在させて気密に重合し取付
枠１４を外嵌してなる透明な耐熱性板ガラスである。

【０００７】このように構成した炉内監視口では、炉内
の高温度の処理品１５或いは熱源から放射される輻射熱
線が透明板材３ｃにより５０％以上遮断され、さらに透
明板材３ｂ，透明板材３ａを透過することにより夫々５
０％以上遮断されるので、断熱壁１の外への輻射熱線の
放射を大幅に少なく抑えることができ、例えば炉内温度
が８００℃にとき隙間６ａの温度は５７０℃となり、隙
間６ｂの温度は３１０℃、断熱壁１外の温度を２５０℃
に低下させることができる。

【０００８】一方、図２に示した炉内監視口は、図１に
示した透明板材３ａ，３ｂに通気口７ａ，７ｂを開設
し、減圧排気用パイプ１７の先端を該通気口７ａに接続
し、真空ポンプ１６を作動させることによって隙間６
ａ，６ｂの空気を排出させ、該隙間を減圧状態に保持さ
せるもので、このようにすることで該間隙中に対流熱伝
達が抑制されるので断熱効果は一層よくなり、同様に炉
内温度が８００℃であるとき、隙間６ａの温度は５４０
℃、隙間６ｂの温度は２７０℃、断熱壁１外の温度を１
９０℃に低下させることができた。

【０００９】

【発明の効果】このように本発明の炉内監視口は、断熱
壁の開口部に輻射熱線域で低い光透過特性を持つ透明板
材を複数枚配設したので、輻射による熱損失が大幅に軽
減され炉内温度分布を向上させるとともに漏洩熱による
種々の障害発生のおそれがなくなる。また、透明板材の
間隙を減圧状態とすることで一層断熱特性を向上できる
など有益な効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る炉内監視口の実施形態を示した縦
断面図。

【図２】本発明に係る炉内監視口の他の実施形態を示し
た縦断面図。

【図３】コーティング処理済の板ガラスの光の透過率を
表わすグラフ。

【図４】従来の炉内監視口の縦断面図。

【符号の説明】

１ 断熱壁 ２ 開口部 ３ａ，３ｂ，３ｃ 透明板材 ５ａ，５ｂ 耐熱性シール材 ６ａ，６ｂ 隙間 ７ａ，７ｂ 通気口 １６ 真空ポンプ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 断熱壁の開口部に透過率が可視光線域で
   高く輻射熱線域で低い光透過特性を持つ透明板材を複数
   枚配設してなることを特徴とした炉内監視口。
2. 【請求項２】 複数枚の透明板材の間隙を減圧状態とし
   た請求項１に記載の炉内監視口。