JP2000100681A

JP2000100681A - 複数ターゲット用の温度調節コントローラ及び同コントローラを備えた基板処理装置

Info

Publication number: JP2000100681A
Application number: JP26973998A
Authority: JP
Inventors: Takayoshi Endo; 貴義遠藤
Original assignee: Komatsu Ltd
Current assignee: Komatsu Ltd
Priority date: 1998-09-24
Filing date: 1998-09-24
Publication date: 2000-04-07

Abstract

(57)【要約】【課題】複数の処理チャンバをもつ基板処理装置にお
いて、全チャンバの温度調節プロセスを１台で制御で
き、かつチャンバの増設や仕様変更にも容易に対応でき
る温度調節コントローラを提供する。【解決手段】温度調節コントローラ２３は、複数の処
理チャンバ１Ａ，１Ｂ，…の温度調節のための情報処理
を行うコンピュータを搭載したマザーボード２３と、処
理チャンバ１Ａ，１Ｂ，…に対してセンサ信号や制御信
号の入出力を行う複数枚のインタフェースボード４１〜
４７とを有する。インタフェースボード４１〜４７は、
マザーボード２３に着脱可能であり、その枚数も変更で
きる。インタフェースボード４１〜４７は、デジタル信
号入出力ボード４１、高精度アナログ信号入力ボード４
３、中精度アナログ信号入力ボード４５、アナログ信号
出力ボード４７のように、入出力する信号の性質に応じ
て幾つかの種類に分けられている。各インタフェースボ
ードは、それぞれ複数の入力又は出力ポートを有し、複
数の処理チャンバと接続できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハや液
晶基板などの基板の製造又は処理工程で用いられる温度
調節コントローラに関する。

【０００２】

【従来の技術】複数の処理チャンバを備えて複数枚の基
板を同時に処理する基板処理装置が知られている（例え
ば、特公平７−５０６４７号）。一般に図１に示すよう
に、各処理チャンバ１内には温度調節ステージ３があ
り、半導体ウェハなどの基板９はこの温度調節ステージ
３上で目的の処理に適した温度に調節される。温度調節
のための加熱・冷却手段には、例えば電熱ヒータ５や冷
却液配管７などが広く用いられている。

【０００３】また、各チャンバ１の加熱・冷却手段の動
作を制御するために、コンピュータや電子回路などを用
いた温度調節コントローラが必要である。従来、図２に
示すように、複数の処理チャンバ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，…
の各々に対し（より正確には、個々の温度調節ステージ
のような独立して温度制御すべき対象物の各々に対
し）、専用の温度調節コントロー１１Ａ，１１Ｂ，１１
Ｃ，…が個別に設けられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来の基
板処理装置では、独立して温度制御すべき対象物（以
下、「温調ターゲット」又は単に「ターゲット」とい
う）の各々に対し１つづつ温度調節コントローラが設け
られている。各温度調節コントローラは、ＣＰＵ、電源
回路及び入出力回路などを含んでおり、相当の価格をも
つ。従って、温調ターゲットの個数を増やすと、必要な
温調コントローラの個数も増えるので、価格が大幅に上
がる。

【０００５】また、各温度調節コントローラは互いに独
立して制御を行うから、複数のターゲット全体を効率的
に調和的に制御するようなことはできない。

【０００６】また、仕様（例えば、入出力数）の異なる
複数の温調ターゲット（例えば、１温度入力１制御出力
と２温度入力１制御出力）が混在する場合、各仕様毎に
異なる構成のコントローラを設計しなければならない。

【０００７】また、従来の温度調節コントローラは、温
度制御の中で制御出力以外の他のモジュールの入出力を
使用することができない。また、温度を常に一定値に保
つという単調な制御しか行っておらず、例えば高温プロ
セスと低温プロセスとを交互に繰り返すような制御はで
きない。

【０００８】従って、本発明の目的は、基板処理装置に
おいて、複数の温調ターゲットを１台で制御でき、ター
ゲット数が増えてもＣＰＵなどの主要部のハードウェア
はそのままで、せいぜい入出力回路の増設程度で対応で
きる温度調節コントローラを提供することにある。

【０００９】本発明の別の目的は、基板処理装置におい
て、複数のターゲットの温度調節情報を纏めたり、複数
のターゲット全体を効率的に又は調和的に制御したりす
ることができるようにすることにある。

【００１０】本発明のまた別の目的は、温調ターゲット
に対する制御方法を自由に設定でき、よって、入出力数
の異なる複数の温調ターゲットに１台で対応できる温度
調節コントローラを提供することにある。

【００１１】本発明のさらに別の目的は、基板処理装置
において、例えば高温プロセスと低温プロセスとを交互
に繰り返すように、目標温度が変化する制御ができるよ
うにすることにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の観点に従
う温度調節コントローラは、複数の温調ターゲットを温
度調節するための情報処理を行う、複数の温調ターゲッ
トに対し共通に設けられた情報処理装置と、複数の温調
ターゲットから出力される異なった種類の状態信号を情
報処理装置に入力するための入力回路と、情報処理装置
から出力される異なった種類の制御信号を複数の温調タ
ーゲットへ出力するための出力回路とを備え、入力回路
は状態信号の各種類につき複数の入力ポートを有し、出
力回路は制御信号の各種類につき複数の出力ポートを有
している。

【００１３】この温度調節コントローラによれば、複数
ターゲットの温度調節制御を、それらターゲットに共通
の情報処理装置が行う。この情報処理装置のための入出
力回路は、入出力する信号の各種類毎に複数の入出力ポ
ートを有しているから、ターゲットが増設されても、予
め用意してある入出力ポート数の範囲内での変更や増設
であれば、ハードウェアの変更は全く必要なく、また、
入出力ポート数を超える増設の場合は、入出力回路を増
設することで対応でき、情報処理装置自体のハードウェ
アを変更する必要はない。入出力数などの仕様が異なる
ターゲットが混在していても、各ターゲットの入出力数
に応じて各ターゲットに必要数の入出力ポートを割り当
てることができるから、やはり、ハードウェアを変更す
る必要はない。

【００１４】好適な実施形態では、入出力回路は、情報
処理装置のマザーボードに着脱可能な１枚以上のインタ
フェースボードとして提供される。よって、入出力回路
の増設はインタフェースボードを追加するだけで容易に
できる。

【００１５】好適な実施形態では、上記インタフェース
ボードが複数種類あり、各種類のインタフェースボード
はそれぞれ固有の特定種類の信号の入出力ポートを複数
有している。例えば、ある種類のインタフェースボード
はデジタル信号の入出力ポートを複数有し、別の種類の
ボードは高精度アナログ信号の入力ポートを複数有し、
また別のボードは中精度のアナログ信号の入力ポートを
複数有する、というようにである。各種類のインタフェ
ースボードには、複数のターゲットの対応する種類の信
号を接続することができる。よって、ターゲットの増設
や仕様変更などで、ある種類の信号の入出力ポートが不
足したなら、その信号種類に対応したインタフェースボ
ードだけを増設すればよい。

【００１６】好適な実施形態では、情報処理装置は、Ｃ
ＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ及びこれらを繋ぐシステムバスを
有するコンピュータであり、上記インタフェースボード
を接続するための外部コネクタを有している。そして、
各外部コネクタとシステムバスとの間にはデータバッフ
ァが設けられている。このデータバッファのために、低
速なバスで外部のインタフェースボードと接続できるの
でノイズに強く、また、ＣＰＵはバッファとデータを受
け渡しすればよいので通信負担が軽い。

【００１７】好適な実施形態では、情報処理装置は、複
数の温調ターゲットの温度調節プロセスを、それらプロ
セスが所定の相互関係をもつように制御する機能を有し
ている。これにより、複数ターゲット全体を効率的に又
は調和的に運転することができる。例えば、各ターゲッ
トが最大電力を消費する動作を行う時期を互いに違える
ことにより、全体の最大消費電力を抑えることができ
る。

【００１８】好適な実施形態では、情報処理装置は、時
計を有しており、この時計からの時刻情報を用いて、各
ターゲットの温度が時間経過に伴って所定の変化をする
ように制御を行う機能を有している。これにより、例え
ば、低温プロセスと高温プロセスとを交互に繰り返すよ
うな制御を行うことができる。

【００１９】好適な実施形態では、情報処理装置は、複
数ターゲットの温度調節プロセスのログを保存し出力す
る手段を備える。これにより、複数ターゲットのログを
動作纏めて管理でき、異常発生時の原因分析やリカバリ
に役立たせることができる。

【００２０】本発明の第２の観点に従う基板処理装置
は、基板を処理するための複数の処理チャンバと、これ
ら複数の処理チャンバに対し共通に設けられた温度調節
コントローラとを備え、温度調節コントローラは、複数
の処理チャンバを温度調節するための情報処理を行う、
これら複数チャンバに対し共通に設けられた情報処理装
置と、複数チャンバから出力される異なった種類の状態
信号を情報処理装置に入力するための入力回路と、情報
処理装置から出力される異なった種類の制御信号を複数
チャンバへ出力するための出力回路とを有する。そし
て、入力回路は状態信号の各種類につき複数の入力ポー
トを有し、出力回路は制御信号の各種類につき複数の出
力ポートを有する。この基板処理装置によれば、複数タ
ーゲットの温度調節を１つの温度調節コントローラで制
御でき、かつ、ターゲットが増設されたり、異なる仕様
のターゲットが混在していても、せいぜい入出力回路の
増設だけで、情報処理装置自体のハードウェアを変更す
ることなく対応することができる。

【００２１】本発明の第３の観点に従う複数ターゲット
の温度調節のための情報処理装置は、複数ターゲットに
対し共通に設けられたもので、複数の温調ターゲットか
ら入力される多数の状態信号に基づきそれらの複数ター
ゲットに対する多数の制御信号を生成する温度制御手段
と、この温度制御手段が行った情報処理のログを保存し
出力するログ管理手段とを備える。この情報処理装置
は、それ１台で複数の温調ターゲットの温度調節プロセ
スを制御でき、かつ、その制御のログを纏めて管理でき
る。

【００２２】本発明の情報処理装置は典型的にはコンピ
ュータにより実施することができるが、そのためのコン
ピュータプログラムは、ディスク型ストレージ、半導体
メモリおよび通信ネットワークなどの各種の媒体を通じ
てコンピュータにインストールまたはロードすることが
できる。

【００２３】

【発明の実施の形態】図３は、複数の処理チャンバをも
つ基板処理装置に適用された本発明の一実施形態にかか
る温度調節コントローラを示す。

【００２４】複数個の処理チャンバ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，
…に対して、１台の温度調節コントローラ２１が接続さ
れている。温度調節コントローラ２１は、処理チャンバ
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，…の温度調節のための情報処理を行
う１台のコンピュータを搭載しているマザーボード２３
と、このマザーボード２３に自由に着脱可能な複数の外
部インタフェースボード（入出力ボード）４１〜４９と
を備える。

【００２５】マザーボード２３上には、ＣＰＵ２５、ワ
ークエリアやキャッシュのためのＤＲＡＭ２７、プログ
ラムやデータのためのフラッシュＲＯＭ２９、及びこれ
らを接続するシステムバス３１などを含んだマイクロコ
ンピュータが搭載されている。このマイクロコンピュー
タは、外部インタフェースボード４１〜４９を直接差込
んで接続するための多数の外部コネクタ３４Ａ〜３４Ｈ
を有しており、外部コネクタ３４Ａ〜３４Ｈとバス３１
との間にはそれぞれデータバッファ３３Ａ〜２３Ｈが介
装されている。

【００２６】バッファ３３Ａ〜２３Ｈの介在により、バ
ッファ３３Ａ〜２３Ｈと外部インタフェースボード４１
〜４９間はマイクロコンピュータのシステムバス３１よ
りも低速なバス接続とすることができるのでノイズに強
く、また、ＣＰＵ２５はバッファ３３Ａ〜２３Ｈとデー
タを受け渡しすれば済み、外部インタフェースボード４
１〜４９と直接通信する必要がないのでＣＰＵ２５の通
信負担は軽いという利点がある。なお、コネクタ３４Ａ
〜３４Ｈとバッファ３３Ａ〜２３Ｈの仕様は、そこに接
続する外部インタフェースボード４１〜４９の種類によ
って異なる（後述するように、外部インタフェースボー
ド４１〜４９の種類により入出力するデータのビット数
などの仕様が異なるため）。

【００２７】外部インタフェースボード４１〜４９は、
幾つかの種類に分けられる。すなわち、デジタル入出力
ボード４１Ａ〜４１Ｃ、高精度Ａ／Ｄ変換入力ボード５
３、中精度Ａ／Ｄ変換入力ボード４５、Ｄ／Ａ変換出力
ボード４７、コンソールパネルボード４８、通信ボード
４９などである。これら外部インタフェースボード４１
〜４９とマザーボード２３との間で授受される情報は、
当然ながらデジタルデータの形である。

【００２８】外部インタフェースボード４１〜４９のう
ち、デジタル入出力ボード４１Ａ〜４１Ｃ、高精度Ａ／
Ｄ変換入力ボード５３、中精度Ａ／Ｄ変換入力ボード４
５及びＤ／Ａ変換出力ボード４７は、処理チャンバ１
Ａ，１Ｂ，１Ｃ，…に対し各種センサ信号の入力又は制
御信号の出力などを行うものである。外部インタフェー
スボード４１〜４９と処理チャンバ１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，
…とは、信号ケーブルによって接続される。これら処理
チャンバ用インタフェースボードの種類は、入出力する
信号の性質又は種類（デジタル信号かアナログ信号か、
アナログ信号の精度（ひいては、対応するデジタルデー
タに必要な値分解能又はビット数）の高低など）によっ
て分けられている。すなわち、デジタル入出力ボード４
１Ａ〜４１Ｃは、デジタル信号を処理チャンバとの間で
入出力するもので、そのデジタル信号には例えばスイッ
チのＯＮ／ＯＦＦ出力又はＯＮ／ＯＦＦ駆動信号などが
ある。高精度Ａ／Ｄ変換入力ボード４３は、高精度の
（よって、値分解能の高いつまり１ワードのビット数の
多いデジタルデータにＡ／Ｄ変換する必要のある）アナ
ログ信号を処理チャンバから入力するものであり、その
高精度のアナログ信号には例えば温度センサからの温度
信号などある。中精度Ａ／Ｄ変換入力ボード４５は、中
精度の（よって、値分解能が中程度のデジタルデータに
Ａ／Ｄ変換すればよい）アナログ信号を処理チャンバか
ら入力するものであり、その中精度のアナログ信号には
例えば電流センサからの電流信号などがある。Ｄ／Ａ変
換出力ボード４７は、アナログ制御信号を処理チャンバ
に出力するものであり、そのアナログ制御信号には例え
ばヒータの電力制御信号などがある。入出力信号の具体
例は後に説明する。

【００２９】コンソールパネルボード４８は、ユーザに
対して基板処理装置の運転指定の入力やステータスを表
示したりするためのコンソールパネルを提供するもので
ある（これは、配置の関係から、マザーボード４８にケ
ーブル５１で接続される）。通信ボード４９は、遠隔の
コンピュータ１３に対して通信ネットワーク（例えばＬ
ＡＮ７１）を通じ、運転指令の受信やステータス情報の
送信などを行うための通信インタフェースを提供するも
のである。

【００３０】次に、上述した処理チャンバ用インタフェ
ースボード４１〜４７の入出力信号の具体例を説明す
る。

【００３１】まず、前提となる処理チャンバ内の温度調
節ステージ３の構成を、図４に示した温度調節ステージ
３の概略的な断面図を用いて説明する。なお、図４の構
成は説明のための一例にすぎず、かつ実際の構成より大
幅に単純化してあるが、他の様々な構成をもつ実際の処
理チャンバに本発明が適用できることは以下の説明から
容易に理解できるはずである。

【００３２】図４に例示した温度調節ステージ３は、２
つの電熱ヒータ５Ａ，５Ｂと、１系統の冷却液配管７と
を有している。各ヒータ５Ａ，５Ｂの近傍には、それぞ
れの温度を測定する温度センサ１０１Ａ，１０１Ｂが設
けられている。また、過熱を検出するための安全用熱電
対１０２も適所に配置されている。各ヒータ５Ａ，５Ｂ
は各ヒータドライバ１０５Ａ，１０５Ｂに接続されてお
り、各ヒータドライバ１０５Ａ，１０５Ｂは各ヒータ５
Ａ，５Ｂへの供給電力を制御する。また、各ヒータ５
Ａ，５ＢをＯＮ／ＯＦＦするためのヒータコンタクタ１
０３Ａ，１０３Ｂや、各ヒータ５Ａ，５Ｂの電流を測る
電流センサ１０７Ａ，１０７Ｂも設けられている。

【００３３】温度調節ステージ３の低部には、冷却液配
管７からの液漏れを検出するための安全用のリークスイ
ッチ１０９が設けられている。冷却液配管７には、冷却
液を流したり止めたりする電磁バルブ１１１、冷却液が
流れているか否かを検出するフロースイッチ１１３、冷
却液の流量を測るフローセンサ１１５、及び配管７内の
圧力過大を検出するための安全用の圧力スイッチ１１７
などが設けられている。

【００３４】このような構成のステージ３の場合、図３
に示した温度調節コントローラ２１が処理チャンバに対
して入出力する信号は具体的には次のようになる。ま
ず、デジタル入出力ボード４１の入力デジタル信号６３
には、例えば安全用リークスイッチ１０９、フロースイ
ッチ１１３及び安全用圧力スイッチ１１７のＯＮ／ＯＦ
Ｆ出力信号がある。また、デジタル入出力ボード４１の
出力デジタル信号６５には、例えば、ヒータコンタクタ
１０３Ａ，１０３ＢのＯＮ／ＯＦＦ切替信号や、電磁バ
ルブ１１の開閉切替信号などがある。また、高精度Ａ／
Ｄ入力ボード４３の入力高精度アナログ信号６５には、
例えば温度センサ１０１Ａ，１０１Ｂからの温度信号が
ある。また、中精度Ａ／Ｄ入力ボード４５の入力中精度
アナログ信号６７には、例えば安全用熱電対１０２から
の温度信号や、電流センサ１０７Ａ，１０７Ｂからの電
流信号などがある。また、Ｄ／Ａ出力ボード４７の出力
アナログ信号６９には、例えばヒータドライバ１０５
Ａ，１０５Ｂへの電力制御信号などがある。

【００３５】次に、処理チャンバ用インタフェースボー
ド４１〜４７の構成を説明する。

【００３６】図５〜図８は、それぞれ、デジタル入出力
ボード４１Ａ〜４１Ｃ、高精度Ａ／Ｄ変換入力ボード５
３、中精度Ａ／Ｄ変換入力ボード４５及びＤ／Ａ変換出
力ボード４７の構成を示している。

【００３７】図５に示すように、デジタル入出力ボード
４１は、マザーボード２３の対応する外部コネクタ３４
に差し込むための１つのマザーボードコネクタ１２１
と、処理チャンバからデジタル信号を入力するための複
数の入力ケーブルコネクタ（物理的な入力ポート）１２
７Ａ，１２７Ｂ，１２７Ｃ，…と、処理チャンバへデジ
タル信号を出力するための複数の出力ケーブルコネクタ
（物理的な出力ポート）１２９Ａ，１２９Ｂ，１２９
Ｃ，…とを有する。マザーボードコネクタ１２１と入力
ケーブルコネクタ１２９Ａ，１２９Ｂ，１２９Ｃ，…と
の間に変換器１２３があり、同様にマザーボードコネク
タ１２１と出力ケーブルコネクタ１２７Ａ，１２７Ｂ，
１２７Ｃ，…との間にも変換器１２５がある。これらの
変換器１２３、１２５はそれぞれ、マザーボード側と処
理チャンバ側との間のデータ変換やアクセスする入出力
ポートの選択などを行う。

【００３８】この１枚のデジタル入出力ボード４１で、
複数の入出力ポートを用いて図示のように、例えば１番
目処理チャンバ１Ａからのリークスイッチ信号、同フロ
ースイッチ信号、２番目処理チャンバ１Ｂからのリース
スイッチ信号、…のような、複数の処理チャンバからの
各種デジタル信号を入力することができ、かつ、例えば
１番目処理チャンバ１ＡへのヒータコネクタＯＮ／ＯＦ
Ｆ切替信号、同バルブ開閉切替信号、２番目処理チャン
バ１ＢへのヒータコネクタＯＮ／ＯＦＦ切替信号、…の
ような、複数の処理チャンバへの各種デジタル信号を出
力することができる。

【００３９】図６に示すように、高精度Ａ／Ｄ入力ボー
ド４３は、マザーボード２３の対応する外部コネクタ３
４に差し込むための１つのマザーボードコネクタ１３１
と、処理チャンバから高精度アナログ信号を入力するた
めの複数の入力ケーブルコネクタ（物理的な入力ポー
ト）１３７Ａ，１３７Ｂ，１３７Ｃ，…と、これら入力
ケーブルコネクタ１３７Ａ，１３７Ｂ，１３７Ｃ，…か
ら入力したアナログ信号を増幅する複数の増幅器１３５
Ａ，１３５Ｂ，１３５Ｃ，…とを有している。マザーボ
ードコネクタ１３１と増幅器１３５Ａ，１３５Ｂ，１３
５Ｃ，…との間には、Ａ／Ｄ変換器及びマルチプレクサ
１３３がある。Ａ／Ｄ変換器及びマルチプレクサ１３３
は、入力された高精度アナログ信号を、相応の高い値分
解能をもった（例えば１６ビットの）デジタルデータに
変換してマザーボード２３へ送る。

【００４０】この１枚の高精度デジタル入出力ボード４
３で、複数の入力ポートを用いて図示のように、例えば
１番目処理チャンバ１Ａの１番目温度センサ１０１Ａか
らの信号、同２番目温度センサ１０１Ｂからの信号、２
番目処理チャンバ１Ｂの１番目温度センサ１０１Ａから
の信号、…のような、複数の処理チャンバからの各種の
高精度アナログ信号を入力することができる。

【００４１】図７に示すように、中精度Ａ／Ｄ入力ボー
ド４５も図６に示した高精度デジタル入出力ボード４１
と類似の構成であって、複数の入力ケーブルコネクタ
（物理的な入力ポート）１４７Ａ，１４７Ｂ，１４７
Ｃ，…をもつ。Ａ／Ｄ変換器及びマルチプレクサ１４３
は、入力された中精度アナログ信号を、相応の中程度の
値分解能をもった（例えば１０ビットの）デジタルデー
タに変換してマザーボード２３へ送る。

【００４２】この１枚の中精度デジタル入出力ボード４
５で、複数の入力ポートを用いて図示のように、例えば
１番目処理チャンバ１Ａの１番目電流センサ１０７Ａか
らの信号、同２番目電流センサ１０７Ｂからの信号、２
番目処理チャンバ１Ｂの１番目電流センサ１０７Ａから
の信号、…のような、複数の処理チャンバからの各種の
中精度アナログ信号を入力することができる。

【００４３】図８に示すように、Ｄ／Ａ出力ボード４７
は、マザーボード２３の対応する外部コネクタ３４に差
し込むための１つのマザーボードコネクタ１５１と、処
理チャンバへアナログ制御信号を出力するための複数の
出力ケーブルコネクタ（物理的な出力ポート）１５５
Ａ，１５５Ｂ，１５５Ｃ，…と、マザーボードコネクタ
１５１からのデジタル制御データをアナログ制御信号に
変換して各出力ケーブルコネクタ１５５Ａ，１５５Ｂ，
１５５Ｃ，…へ振り分けて送るＤ／Ａ変換器１５３とを
備えている。

【００４４】この１枚のＤ／Ａ出力ボード４７で、複数
の出力ポートを用いて図示のように、例えば１番目処理
チャンバ１Ａの１番目ヒータドライバ１０５Ａへの電力
制御信号、同２番目ヒータドライバ１０５Ｂへの電力制
御信号、２番目処理チャンバ１Ｂの１番目ヒータドライ
バ１０５Ａへの電力制御信号、…のような、複数の処理
チャンバへの各種のアナログ制御信号を出力することが
できる。

【００４５】以上のように、処理チャンバ用インタフェ
ースボード４１〜４７の各々は、特定の性質又は種類の
信号を複数入出力できる構成となっており、個々の処理
チャンバに専用に対応した構成ではないので、個々のボ
ードに何れの処理チャンバの何れの信号を接続するか
は、信号の性質又は種類さえ一致していれば、自由に設
定できる。例えば、図３で処理チャンバ１Ａからのデジ
タル信号６１は１番目のデジタル入出力ボード４１Ａに
接続されているが、これを２番目のデジタル入出力ボー
ド４１Ｂに接続してもよい。また、処理チャンバ用イン
タフェースボード４１〜４７の各々は複数の入出力ポー
トを有しているので、図５〜図８に例示したように、１
枚のボードに、そのポート数の範囲内で、複数の処理チ
ャンバの複数の信号を接続することができる。さらに、
処理チャンバ用インタフェースボード４１〜４７の枚数
は、マザーボード３２のもつ対応のコネクタの個数の範
囲内で、自由に増減することができる。結果として、仕
様の異なる複数の処理チャンバ（例えば１温度入力１制
御出力のチャンバと２温度入力１制御出力のチャンバ）
が混在していても、また、処理チャンバの台数増減や仕
様変更があっても、この１つの温度調節コントローラ２
１で柔軟に対応することができる。

【００４６】次に、コンソールパネルボード４８の構成
を図９を参照して説明する。

【００４７】図９に示すように、コンソールパネルボー
ド４８は、マザーボード２３の対応する外部コネクタ３
４に差し込むための１つのマザーボードコネクタ１６１
と、数字やアルファベット等のキャラクタ列を表示する
キャラクタＬＥＤのセット１６５と、運転／停止などの
単純な状態を表示するＬＥＤセット１６７と、運転指令
などを入力するスイッチセット１６９とを有する。マザ
ーボードコネクタ１６１とキャラクタＬＥＤセット１６
５、ＬＥＤセット１６７及びスイッチセット１６９との
間には制御回路１６３がある。制御回路１６３は、マザ
ーボード２３からのデータに応答してキャラクタＬＥＤ
セット１６５やＬＥＤセット１６７を点灯／消灯した
り、スイッチセット１６９からの信号をコード化してマ
ザーボード２３に送ったりする。

【００４８】最後に、マザーボード２３のマイクロコン
ピュータが行う情報処理について、図１０を参照して説
明する。

【００４９】図１０に示すように、マイクロコンピュー
タが行う情報処理は、各処理チャンバ毎に分けられたタ
スク群２０１Ａ，２０１Ｂ，…と、そうでない共通のタ
スク群とに大別できる。前者の各処理チャンバ別のタス
ク群２０１Ａ，２０１Ｂ，…は、それぞれ、制御タスク
２０３、プロセス監視タスク２０５及び安全監視タスク
２０７からなる。後者の共通のタスク群は、表示・入力
制御タスク２０９、通信制御タスク２１１、ログ管理タ
スク２１３などである。更に、現在時刻を発する内部時
計２１５も設けられている。

【００５０】温度制御タスク２０３は、前述した外部イ
ンタフェースボートから、対応する処理チャンバの温度
信号や電流信号などの各種のセンサ信号及びスイッチ信
号を取得し、これに基づき温度制御のための電力制御信
号やスイッチ切替信号などの各種制御信号を生成し、そ
れら制御信号を前述した外部インタフェースボートを通
じて対応する処理チャンバへ出力する。

【００５１】温度制御タスク２０３は、上記の温度制御
プロセスの中で、内部時計２１５からの現在時刻を取得
して時間経過に伴ってチャンバ内の温度が所定の変化す
るような制御を行うことができる。例えば、高温に維持
するプロセスと低温に維持するプロセスとを所定の時間
区間で交互に繰り返すというようにである。また、（他
のタスクもそうであるが）温度制御タスク２０３の具体
的な処理内容の変更は、プログラム又はパラメータ設定
などのソフトウェア変更によって対応できるので、処理
チャンバの仕様がまちまちであったり、処理チャンバの
増設や仕様変更があっても、ハードウェアは本質的に変
更することなく（せいぜいインタフェースボードの増設
や差し替え程度で）容易に対応することができる。特
に、本実施形態ののようにプログラム用ストレージとし
てフラッシュＲＯＭ２９（図３参照）のような書き換え
可能な不揮発性記憶媒体を使用すると、プログラムの変
更や追加が一層容易である。

【００５２】各処理チャンバに対する温度制御プロセス
は、他の処理チャンバから独立して行うことも可能であ
るが、一方、複数の処理チャンバの温度制御プロセスが
所定の相互関係をもつように、各チャンバの制御を行う
こともできる。適切な相互関係をもたせた制御により、
基板処理装置全体の運転効率や電力消費量などを最適に
制御することが可能である。例えば、各処理チャンバが
大電力を消費する動作の時期を相互に違えることによ
り、基板処理装置全体の最大消費電力を小さく抑えられ
るという利点を得ることができる。

【００５３】プロセス監視タスク２０５は、温度制御タ
スク２０３による温度制御プロセスが正しく行われてい
るか否かを監視するもので、異常を検知した場合はその
異常に対応する所定のエラーワーニングのデータを表示
・入力タスク２０９及び通信制御タスク２１１に与え
る。それにより、コンソールパネルボード４８や遠隔コ
ンピュータ１３からユーザに対しエラーワーニングが発
される。

【００５４】安全監視タスク２０７は、処理チャンバの
安全用の熱電対１０９、リークスイッチ１０９及び圧力
スイッチ１１７などから入力された信号に基づいて、処
理チャンバの状態が安全か否かをチェックし、異常を検
知した場合はその異常に対応する所定のエラーワーニン
グのデータを表示・入力タスク２０９及び通信制御タス
ク２１１に与える。それにより、コンソールパネルボー
ド４８や遠隔コンピュータ１３からユーザに対しエラー
ワーニングが発される。

【００５５】表示・入力制御タスク２０９は、コンソー
ルパネルボード４８のスイッチセット１６９から入力さ
れるユーザ指令に応答して、チャンバ別タスク群２０１
Ａ，２０１Ｂ，…を起動したり停止したり、ログ管理タ
スク２１３にログ出力指令を与えたり、コンソールパネ
ルのキャラクタＬＥＤセット１６５又はＬＥＤセット１
６７を点灯して各処理チャンバの運転状態を表示したり
する。さらに、前述したように、プロセス監視タスク２
０５又は安全監視タスク２０７からエラーワーニングの
データを受けたときは、表示・入力制御タスク２０９
は、コンソールパネルのキャラクタＬＥＤセット１６５
又はＬＥＤセット１６７を用いてエラーワーニングを行
う。

【００５６】通信制御タスク２１１は、遠隔コンピュー
タ１３から入力されるユーザ指令に応答して、チャンバ
別タスク群２０１Ａ，２０１Ｂ，…を起動したり停止し
たり、ログ管理タスク２１３にログ出力指令を与えた
り、ログ管理タスク２１３からログを受けて遠隔コンピ
ュータ１３のディスプレイに表示したり、各処理チャン
バの運転状態を遠隔コンピュータ１３のディスプレイに
表示したりする。さらに、前述したように、プロセス監
視タスク２０５又は安全監視タスク２０７からエラーワ
ーニングのデータを受けたときは、通信制御タスク２１
１は、表示・入力制御タスク２０９は、遠隔コンピュー
タ１３のディスプレイ又はスピーカにエラーワーニング
のメッセージを出力する。

【００５７】ログ管理タスク２１３は、チャンバ別タス
ク群２１０Ａ，２０１Ｂ，…から適時に動作ログを取得
してフラッシュＲＯＭ２９内のチャンバ別のログファイ
ル２１７Ａ，２１７Ｂ，…に保存したり、表示・入力制
御タスク２０９又は通信制御タスク２１１からログ出力
指令を受けて、ログファイル２１７Ａ，２１７Ｂ，…を
フラッシュＲＯＭ２９から読み出して遠隔コンピュータ
１３又はプリンタ（図示しない）などへ出力したりす
る。このログ管理タスク２１３によって、全ての処理チ
ャンバのログを纏めて管理できる。

【００５８】以上、本発明の一実施形態を説明したが、
この実施形態はあくまで本発明の説明のための例示であ
り、本発明をこの実施形態にのみ限定する趣旨ではな
い。従って、本発明は、上記実施形態以外の様々な形態
でも実施することができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】処理チャンバの構成例を示す概略的な断面図。

【図２】従来の構成を示すブロック図。

【図３】本発明の一実施形態の構成を示すブロック図。

【図４】温度調節ステージの一構成例を示す概略的な断
面図。

【図５】デジタル入出力ボード４１の構成を示すブロッ
ク図。

【図６】高精度Ａ／Ｄ変換入力ボード５３の構成を示す
ブロック図。

【図７】中精度Ａ／Ｄ変換入力ボード４５の構成を示す
ブロック図。

【図８】及びＤ／Ａ変換出力ボード４７の構成を示すブ
ロック図。

【図９】コンソールパネルボード４８の構成を示すブロ
ック図。

【図１０】マザーボード２３のマイクロコンピュータが
行うタスクを示すブロック図。

【符号の説明】

１処理チャンバ２１温度調節コントローラ２５ＣＰＵ２７ＤＲＡＭ２９フラッシュＲＯＭ３３データバッファ３４外部接続コネクタ２３マザーボード４１デジタル入出力ボード４３高精度Ａ／Ｄ入力ボード４５中精度Ａ／Ｄ入力ボード４７Ｄ／Ａ出力ボード

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の温調ターゲットを温度調節するた
めの情報処理を行う、前記複数の温調ターゲットに対し
共通に設けられた情報処理装置と、前記複数の温調ターゲットから出力される異なった種類
の状態信号を前記情報処理装置に入力するための入力回
路と、前記情報処理装置から出力される異なった種類の制御信
号を前記複数の温調ターゲットへ出力するための出力回
路とを備え、前記入力回路は前記状態信号の各種類につき複数の入力
ポートを有し、前記出力回路は前記制御信号の各種類に
つき複数の出力ポートを有する、複数ターゲット用の温
度調節コントローラ。
【請求項２】前記入力回路又は前記出力回路を搭載し
た、前記情報処理装置に対して着脱可能な、少なくとも
１枚のインタフェースボードを有する請求項１記載の温
度調節コントローラ。
【請求項３】複数種類の前記インタフェースボードを
有し、各種類のインタフェースボードは、それぞれ固有の特定
種類の信号の入力又は出力を行うための複数の入力又は
出力ポートを有する請求項２記載の温度調節コントロー
ラ。
【請求項４】前記情報処理装置は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ及びこれらを繋ぐシステムバス
を有するコンピュータと、前記インタフェースボードを接続するための外部コネク
タと、前記外部コネクタと前記システムバスとの間に存在する
データバッファとを有する請求項２又は３記載の温度調
節コントローラ。
【請求項５】前記情報処理装置は、前記複数の温調タ
ーゲットの温度調節プロセスが所定の相互関係をもつよ
うに、前記情報処理を実行する請求項１記載の温度調節
コントローラ。
【請求項６】前記情報処理装置は、時計を有し、この
時計からの時刻情報を用いて、各温調ターゲットの温度
が時間経過に伴って所定の変化をするように、前記情報
処理を行う請求項１記載の温度調節コントローラ。
【請求項７】前記情報処理装置は、前記複数の温調タ
ーゲットの温度調節のための情報処理のログを保存し出
力するログ管理手段を更に備える請求項１記載の温度調
節コントローラ。
【請求項８】基板を処理するための複数の処理チャン
バと、前記複数の処理チャンバに対し共通に設けられた温度調
節コントローラと、を備え、前記温度調節コントローラは、前記複数の処理チャンバを温度調節するための情報処理
を行う、前記複数の処理チャンバに対し共通に設けられ
た情報処理装置と、前記複数の処理チャンバから出力される異なった種類の
状態信号を前記情報処理装置に入力するための入力回路
と、前記情報処理装置から出力される異なった種類の制御信
号を前記複数の処理チャンバへ出力するための出力回路
とを有し、前記入力回路は前記状態信号の各種類につき複数の入力
ポートを有し、前記出力回路は前記制御信号の各種類に
つき複数の出力ポートを有する、基板処理装置。
【請求項９】前記入力回路又は前記出力回路を搭載し
た、前記情報処理装置に対して着脱可能な、少なくとも
１枚のインタフェースボードを有する請求項８記載の基
板処理装置。
【請求項１０】複数種類の前記インタフェースボード
を有し、各種類のインタフェースボードは、それぞれ固有の特定
種類の信号の入力又は出力を行うための複数の入力又は
出力ポートを有する請求項９記載の基板処理装置。
【請求項１１】前記情報処理装置は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ及びこれらを繋ぐシステムバス
を有するコンピュータと、前記インタフェースボードを接続するための外部コネク
タと、前記外部コネクタと前記システムバスとの間に存在する
データバッファとを有する請求項９又は１０記載の基板
処理装置。
【請求項１２】前記情報処理装置は、前記複数の処置
チャンバの温度調節プロセスが所定の相互関係をもつよ
うに、前記情報処理を実行する請求項８記載の基板処理
装置。
【請求項１３】前記情報処理装置は、時計を有し、こ
の時計からの時刻情報を用いて、各処理チャンバの温度
が時間経過に伴って所定の変化をするように、前記情報
処理を行う請求項８記載の基板処理装置。
【請求項１４】前記情報処理装置は、前記複数の処理
チャンバの温度調節のための情報処理のログを保存し出
力するログ管理手段を更に備える請求項８記載の基板処
理装置。
【請求項１５】複数の温調ターゲットに対し共通に設
けられ、前記複数の温調ターゲットを温度調節するために、前記
複数の温調ターゲットからの多数の状態信号に基づい
て、前記複数の温調ターゲットに対する多数の制御信号
を生成する温度制御手段と、前記温度制御手段が行った情報処理のログを保存し出力
するログ管理手段と、を備えた、複数ターゲットの温度
調節のための情報処理装置。
【請求項１６】複数の温調ターゲットに対し共通に設
けられ、前記複数の温調ターゲットを温度調節するために、前記
複数の温調ターゲットからの多数の状態信号に基づい
て、前記複数の温調ターゲットに対する多数の制御信号
を生成する温度制御手段と、前記温度制御手段が行った情報処理のログを保存し出力
するログ管理手段と、を備えた、複数ターゲットの温度
調節のための情報処理装置、としてコンピュータを機能
させるためのプログラムを担持したコンピュータ読み取
り可能な記録媒体。