JP2000098366A - 反射型液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法 - Google Patents
反射型液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法Info
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- JP2000098366A JP2000098366A JP26347398A JP26347398A JP2000098366A JP 2000098366 A JP2000098366 A JP 2000098366A JP 26347398 A JP26347398 A JP 26347398A JP 26347398 A JP26347398 A JP 26347398A JP 2000098366 A JP2000098366 A JP 2000098366A
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- color filter
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Abstract
(57)【要約】
【課題】マトリックス状遮光層を設けない反射型液晶表
示装置用カラーフィルタにおいて、位置合わせマーカー
３の機能が損なわれない、廉価な反射型液晶表示装置用
カラーフィルタ、及び、その製造方法を提供すること。 【解決手段】透明基板１上の略中央部にカラーフィルタ
画素２、周辺部に位置合わせマーカー３を具備し、黒色
感光性樹脂４１を部分的に印刷したあと着色感光性樹脂
４２を全面に設けて形成した２層構造の位置合わせマー
カー３を用ること。また、部分的に黒色感光性樹脂４１
を印刷法により設け、着色感光性樹脂４２を塗布し、フ
ォトマスクを介しての露光、現像を行い、黒色感光性樹
脂と着色感光性樹脂を用いた２層構造の位置合わせマー
カー３を形成し、反射型液晶表示装置用カラーフィルタ
を製造すること。
示装置用カラーフィルタにおいて、位置合わせマーカー
３の機能が損なわれない、廉価な反射型液晶表示装置用
カラーフィルタ、及び、その製造方法を提供すること。 【解決手段】透明基板１上の略中央部にカラーフィルタ
画素２、周辺部に位置合わせマーカー３を具備し、黒色
感光性樹脂４１を部分的に印刷したあと着色感光性樹脂
４２を全面に設けて形成した２層構造の位置合わせマー
カー３を用ること。また、部分的に黒色感光性樹脂４１
を印刷法により設け、着色感光性樹脂４２を塗布し、フ
ォトマスクを介しての露光、現像を行い、黒色感光性樹
脂と着色感光性樹脂を用いた２層構造の位置合わせマー
カー３を形成し、反射型液晶表示装置用カラーフィルタ
を製造すること。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は反射型液晶表示装置
用カラーフィルタに関するものであり、特に、廉価な反
射型液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法に
関する。
用カラーフィルタに関するものであり、特に、廉価な反
射型液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】透過型液晶表示装置用カラーフィルタの
多くにはマトリックス状遮光層が設けられている。これ
は、例えば、ツイストネマチック液晶を用いたＴＦＴ駆
動の液晶表示装置においては、ＴＦＴ素子の遮光、及び
液晶表示装置としてのコントラスト向上のためのもので
ある。反射型液晶表示装置において、例えば、ゲストホ
スト液晶を用いたＴＦＴ駆動の液晶表示装置の際には、
反射性で遮光機能を有する画素電極の下方にパッシベー
シヨン層を介してＴＦＴ素子を設けるため、カラーフィ
ルタにはＴＦＴ素子を遮光するマトリックス状遮光層は
必要なものではなく、また、元々コントラストが低いた
めに、コントラスト向上への寄与も少ないものなので、
原価低減のためにマトリックス状遮光層を設けない反射
型液晶表示装置用カラーフィルタが試みられている。
多くにはマトリックス状遮光層が設けられている。これ
は、例えば、ツイストネマチック液晶を用いたＴＦＴ駆
動の液晶表示装置においては、ＴＦＴ素子の遮光、及び
液晶表示装置としてのコントラスト向上のためのもので
ある。反射型液晶表示装置において、例えば、ゲストホ
スト液晶を用いたＴＦＴ駆動の液晶表示装置の際には、
反射性で遮光機能を有する画素電極の下方にパッシベー
シヨン層を介してＴＦＴ素子を設けるため、カラーフィ
ルタにはＴＦＴ素子を遮光するマトリックス状遮光層は
必要なものではなく、また、元々コントラストが低いた
めに、コントラスト向上への寄与も少ないものなので、
原価低減のためにマトリックス状遮光層を設けない反射
型液晶表示装置用カラーフィルタが試みられている。
【０００３】従来、液晶表示装置用カラーフィルタの製
造においては、マトリックス状遮光層の材料としてはス
パッタリング法などにより成膜されたクロム膜が多く用
いられ、液晶表示装置用カラーフィルタの製造工程にお
いて、クロム膜によるマトリックス状遮光層の形成と同
時に、位置合わせマーカーも形成されていた。
造においては、マトリックス状遮光層の材料としてはス
パッタリング法などにより成膜されたクロム膜が多く用
いられ、液晶表示装置用カラーフィルタの製造工程にお
いて、クロム膜によるマトリックス状遮光層の形成と同
時に、位置合わせマーカーも形成されていた。
【０００４】この位置合わせマーカーは、液晶表示装置
用カラーフィルタの製造の際に使用するカラーフィルタ
画素の位置合わせマーカー、液晶表示装置の製造の際に
使用する対向基板との貼り合わせ用位置合わせマーカ
ー、断裁用位置合わせマーカーなどで構成されている。
用カラーフィルタの製造の際に使用するカラーフィルタ
画素の位置合わせマーカー、液晶表示装置の製造の際に
使用する対向基板との貼り合わせ用位置合わせマーカ
ー、断裁用位置合わせマーカーなどで構成されている。
【０００５】さて、原価低減のためにマトリックス状遮
光層を設けないで反射型液晶表示装置用カラーフィルタ
を製造すると、上記クロム膜による位置合わせマーカー
も同時に形成されなくなるので、カラーフィルタ画素の
形成と同時に、カラーフィルタ画素と同じ材料で位置合
わせマーカーを形成することになる。
光層を設けないで反射型液晶表示装置用カラーフィルタ
を製造すると、上記クロム膜による位置合わせマーカー
も同時に形成されなくなるので、カラーフィルタ画素の
形成と同時に、カラーフィルタ画素と同じ材料で位置合
わせマーカーを形成することになる。
【０００６】しかし、反射型液晶表示装置用カラーフィ
ルタのカラーフィルタ画素の色濃度は、透過型液晶表示
装置用カラーフィルタのカラーフィルタ画素の色濃度よ
り低いため、例えば、カラーフィルタの製造の際の位置
合わせ装置にて、カラーフィルタ画素の材料による位置
合わせマーカーの検出が困難なものとなる。そして、位
置合わせマーカーのみのために、クロム膜による位置合
わせマーカーを形成することになり、原価低減の効果は
殆どない状態である。
ルタのカラーフィルタ画素の色濃度は、透過型液晶表示
装置用カラーフィルタのカラーフィルタ画素の色濃度よ
り低いため、例えば、カラーフィルタの製造の際の位置
合わせ装置にて、カラーフィルタ画素の材料による位置
合わせマーカーの検出が困難なものとなる。そして、位
置合わせマーカーのみのために、クロム膜による位置合
わせマーカーを形成することになり、原価低減の効果は
殆どない状態である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
点を解決すべくされたものであり、マトリックス状遮光
層を設けない反射型液晶表示装置用カラーフィルタにお
いて、位置合わせマーカーの機能が損なわれない、廉価
な反射型液晶表示装置用カラーフィルタ、及び、その製
造方法を提供することを課題とするものである。
点を解決すべくされたものであり、マトリックス状遮光
層を設けない反射型液晶表示装置用カラーフィルタにお
いて、位置合わせマーカーの機能が損なわれない、廉価
な反射型液晶表示装置用カラーフィルタ、及び、その製
造方法を提供することを課題とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上の
略中央部にカラーフィルタ画素、透明基板上の周辺部に
位置合わせマーカーを具備する反射型液晶表示装置用カ
ラーフィルタであって、黒色感光性樹脂を部分的に印刷
したあと着色感光性樹脂を全面に設け、マスク露光法に
より形成された２層構造の位置合わせマーカーを用るこ
とを特徴とする反射型液晶表示装置用カラーフィルタで
ある。
略中央部にカラーフィルタ画素、透明基板上の周辺部に
位置合わせマーカーを具備する反射型液晶表示装置用カ
ラーフィルタであって、黒色感光性樹脂を部分的に印刷
したあと着色感光性樹脂を全面に設け、マスク露光法に
より形成された２層構造の位置合わせマーカーを用るこ
とを特徴とする反射型液晶表示装置用カラーフィルタで
ある。
【０００９】また、本発明は、上記発明の反射型液晶表
示装置用カラーフィルタにおいて、前記黒色感光性樹脂
にかえて前記着色感光性樹脂の色の補色である色を有す
る着色感光性樹脂を用いることを特徴とする反射型液晶
表示装置用カラーフィルタである。
示装置用カラーフィルタにおいて、前記黒色感光性樹脂
にかえて前記着色感光性樹脂の色の補色である色を有す
る着色感光性樹脂を用いることを特徴とする反射型液晶
表示装置用カラーフィルタである。
【００１０】また、本発明は、透明基板上の略中央部に
カラーフィルタ画素、透明基板上の周辺部に位置合わせ
マーカーを具備する反射型液晶表示装置用カラーフィル
タの製造方法において、（１）該透明基板上の周辺部の
該位置合わせマーカーを形成する部分に黒色感光性樹脂
を印刷法により設け、（２）該透明基板上に第一色目の
カラーフィルタ画素用着色感光性樹脂を塗布し、第一色
目のカラーフィルタ画素用と位置合わせマーカー用を兼
ねたフォトマスクを介しての露光、及び現像を行い、該
透明基板上の略中央部に第一色目のカラーフィルタ画素
を形成し、同時に該透明基板上の周辺部に黒色感光性樹
脂と第一色目のカラーフィルタ画素用着色感光性樹脂を
用いた２層構造の位置合わせマーカーを形成し、（３）
該透明基板上に第二色目のカラーフィルタ画素用着色感
光性樹脂を塗布し、該位置合わせマーカーを基準とし
て、第二色目のカラーフィルタ画素用フォトマスクの位
置合わせを行い、第二色目のカラーフィルタ画素用フォ
トマスクを介しての露光、及び現像を行い、該透明基板
上の略中央部に第二色目のカラーフィルタ画素を形成
し、（４）上記（３）を第三色目以降の所望する色数回
おこない、第三色目以降の所望する色数のカラーフィル
タ画素を該透明基板上の略中央部に形成し、反射型液晶
表示装置用カラーフィルタを製造することを特徴とする
反射型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であ
る。
カラーフィルタ画素、透明基板上の周辺部に位置合わせ
マーカーを具備する反射型液晶表示装置用カラーフィル
タの製造方法において、（１）該透明基板上の周辺部の
該位置合わせマーカーを形成する部分に黒色感光性樹脂
を印刷法により設け、（２）該透明基板上に第一色目の
カラーフィルタ画素用着色感光性樹脂を塗布し、第一色
目のカラーフィルタ画素用と位置合わせマーカー用を兼
ねたフォトマスクを介しての露光、及び現像を行い、該
透明基板上の略中央部に第一色目のカラーフィルタ画素
を形成し、同時に該透明基板上の周辺部に黒色感光性樹
脂と第一色目のカラーフィルタ画素用着色感光性樹脂を
用いた２層構造の位置合わせマーカーを形成し、（３）
該透明基板上に第二色目のカラーフィルタ画素用着色感
光性樹脂を塗布し、該位置合わせマーカーを基準とし
て、第二色目のカラーフィルタ画素用フォトマスクの位
置合わせを行い、第二色目のカラーフィルタ画素用フォ
トマスクを介しての露光、及び現像を行い、該透明基板
上の略中央部に第二色目のカラーフィルタ画素を形成
し、（４）上記（３）を第三色目以降の所望する色数回
おこない、第三色目以降の所望する色数のカラーフィル
タ画素を該透明基板上の略中央部に形成し、反射型液晶
表示装置用カラーフィルタを製造することを特徴とする
反射型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であ
る。
【００１１】また、本発明は、上記発明の反射型液晶表
示装置用カラーフィルタの製造方法において、前記黒色
感光性樹脂にかえて前記着色感光性樹脂の色の補色であ
る色を有する着色感光性樹脂を用いることを特徴とする
反射型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であ
る。
示装置用カラーフィルタの製造方法において、前記黒色
感光性樹脂にかえて前記着色感光性樹脂の色の補色であ
る色を有する着色感光性樹脂を用いることを特徴とする
反射型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であ
る。
【００１２】また、本発明は、透明基板上の略中央部に
カラーフィルタ画素、透明基板上の周辺部に位置合わせ
マーカーを具備する反射型液晶表示装置用カラーフィル
タの製造方法において、（１）該透明基板上に第一色目
のカラーフィルタ画素用着色感光性樹脂を塗布し、
（２）該透明基板上の周辺部の該位置合わせマーカーを
形成する部分に黒色感光性樹脂を印刷法により設け、
（３）第一色目のカラーフィルタ画素用と位置合わせマ
ーカー用を兼ねたフォトマスクを介しての露光、及び現
像を行い、該透明基板上の略中央部に第一色目のカラー
フィルタ画素を形成し、同時に該透明基板上の周辺部に
第一色目のカラーフィルタ画素用着色感光性樹脂と黒色
感光性樹脂を用いた２層構造の位置合わせマーカーを形
成し、（４）該透明基板上に第二色目のカラーフィルタ
画素用着色感光性樹脂を塗布し、該位置合わせマーカー
を基準として、第二色目のカラーフィルタ画素用フォト
マスクの位置合わせを行い、第二色目のカラーフィルタ
画素用フォトマスクを介しての露光、及び現像を行い、
該透明基板上の略中央部に第二色目のカラーフィルタ画
素を形成し、（５）上記（４）を第三色目以降の所望す
る色数回おこない、第三色目以降の所望する色数のカラ
ーフィルタ画素を該透明基板上の略中央部に形成し、反
射型液晶表示装置用カラーフィルタを製造することを特
徴とする反射型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方
法である。
カラーフィルタ画素、透明基板上の周辺部に位置合わせ
マーカーを具備する反射型液晶表示装置用カラーフィル
タの製造方法において、（１）該透明基板上に第一色目
のカラーフィルタ画素用着色感光性樹脂を塗布し、
（２）該透明基板上の周辺部の該位置合わせマーカーを
形成する部分に黒色感光性樹脂を印刷法により設け、
（３）第一色目のカラーフィルタ画素用と位置合わせマ
ーカー用を兼ねたフォトマスクを介しての露光、及び現
像を行い、該透明基板上の略中央部に第一色目のカラー
フィルタ画素を形成し、同時に該透明基板上の周辺部に
第一色目のカラーフィルタ画素用着色感光性樹脂と黒色
感光性樹脂を用いた２層構造の位置合わせマーカーを形
成し、（４）該透明基板上に第二色目のカラーフィルタ
画素用着色感光性樹脂を塗布し、該位置合わせマーカー
を基準として、第二色目のカラーフィルタ画素用フォト
マスクの位置合わせを行い、第二色目のカラーフィルタ
画素用フォトマスクを介しての露光、及び現像を行い、
該透明基板上の略中央部に第二色目のカラーフィルタ画
素を形成し、（５）上記（４）を第三色目以降の所望す
る色数回おこない、第三色目以降の所望する色数のカラ
ーフィルタ画素を該透明基板上の略中央部に形成し、反
射型液晶表示装置用カラーフィルタを製造することを特
徴とする反射型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方
法である。
【００１３】また、本発明は、上記発明の反射型液晶表
示装置用カラーフィルタの製造方法において、前記黒色
感光性樹脂にかえて前記着色感光性樹脂の色の補色であ
る色を有する着色感光性樹脂を用いることを特徴とする
反射型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であ
る。
示装置用カラーフィルタの製造方法において、前記黒色
感光性樹脂にかえて前記着色感光性樹脂の色の補色であ
る色を有する着色感光性樹脂を用いることを特徴とする
反射型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であ
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下に本発明による反射型液晶表
示装置用カラーフィルタ及びその製造方法を、一実施形
態に基づいて説明する。図１は、本発明による反射型液
晶表示装置用カラーフィルタの一実施例の平面図であ
る。また、図２は、図１における反射型液晶表示装置用
カラーフィルタをＸ−Ｘ’断面で示す断面図である。
示装置用カラーフィルタ及びその製造方法を、一実施形
態に基づいて説明する。図１は、本発明による反射型液
晶表示装置用カラーフィルタの一実施例の平面図であ
る。また、図２は、図１における反射型液晶表示装置用
カラーフィルタをＸ−Ｘ’断面で示す断面図である。
【００１５】図１及び図２に示すように、反射型液晶表
示装置用カラーフィルタは、透明基板（１）上の略中央
部にカラーフィルタ画素（２）、透明基板（１）上の周
辺部に位置合わせマーカー（３）が設けられており、カ
ラーフィルタ画素（２）間にはマトリックス状遮光層が
設けられていない。図１及び図２において、Ｒ、Ｇ、Ｂ
は各々カラーフィルタの赤色画素、緑色画素、青色画素
を示している。
示装置用カラーフィルタは、透明基板（１）上の略中央
部にカラーフィルタ画素（２）、透明基板（１）上の周
辺部に位置合わせマーカー（３）が設けられており、カ
ラーフィルタ画素（２）間にはマトリックス状遮光層が
設けられていない。図１及び図２において、Ｒ、Ｇ、Ｂ
は各々カラーフィルタの赤色画素、緑色画素、青色画素
を示している。
【００１６】図３は、図１における位置合わせマーカー
（３）の一部を拡大した平面図である。また、図４は、
図３における位置合わせマーカー（３）をＸ−Ｘ’断面
で示す断面図である。図３及び図４に示すように、透明
基板（１）上の周辺部の位置合わせマーカー（３）は、
黒色感光性樹脂を用いて形成された下層位置合わせマー
カー（３１）と第一色目のカラーフィルタ画素用着色感
光性樹脂を用いて形成された上層位置合わせマーカー
（３２）の２層構造のものである。
（３）の一部を拡大した平面図である。また、図４は、
図３における位置合わせマーカー（３）をＸ−Ｘ’断面
で示す断面図である。図３及び図４に示すように、透明
基板（１）上の周辺部の位置合わせマーカー（３）は、
黒色感光性樹脂を用いて形成された下層位置合わせマー
カー（３１）と第一色目のカラーフィルタ画素用着色感
光性樹脂を用いて形成された上層位置合わせマーカー
（３２）の２層構造のものである。
【００１７】すなわち、前記のように、反射型液晶表示
装置用カラーフィルタのカラーフィルタ画素の色濃度
は、透過型液晶表示装置用カラーフィルタのカラーフィ
ルタ画素の色濃度より低いものであるが、本発明による
位置合わせマーカー（３）は、黒色感光性樹脂を用いて
形成された下層位置合わせマーカー（３１）と反射型液
晶表示装置用カラーフィルタのカラーフィルタ画素の色
濃度と同一の色濃度を有する上層位置合わせマーカー
（３２）の２層構造であるので、色濃度は十分なもので
あり、例えば、カラーフィルタの製造の際の位置合わせ
装置にて、位置合わせマーカー（３）の検出は容易に可
能なものとなる。
装置用カラーフィルタのカラーフィルタ画素の色濃度
は、透過型液晶表示装置用カラーフィルタのカラーフィ
ルタ画素の色濃度より低いものであるが、本発明による
位置合わせマーカー（３）は、黒色感光性樹脂を用いて
形成された下層位置合わせマーカー（３１）と反射型液
晶表示装置用カラーフィルタのカラーフィルタ画素の色
濃度と同一の色濃度を有する上層位置合わせマーカー
（３２）の２層構造であるので、色濃度は十分なもので
あり、例えば、カラーフィルタの製造の際の位置合わせ
装置にて、位置合わせマーカー（３）の検出は容易に可
能なものとなる。
【００１８】この際、カラーフィルタ画素の色濃度と同
一の色濃度を有する上層位置合わせマーカー（３２）の
色濃度と、黒色感光性樹脂を用いて形成された下層位置
合わせマーカー（３１）の色濃度との関係は、透過率に
て、上層位置合わせマーカー（３２）の透過率１に対し
下層位置合わせマーカー（３１）の透過率は２／３以下
であることが好ましいものである。
一の色濃度を有する上層位置合わせマーカー（３２）の
色濃度と、黒色感光性樹脂を用いて形成された下層位置
合わせマーカー（３１）の色濃度との関係は、透過率に
て、上層位置合わせマーカー（３２）の透過率１に対し
下層位置合わせマーカー（３１）の透過率は２／３以下
であることが好ましいものである。
【００１９】また、本発明による位置合わせマーカー
（３）を構成している下層位置合わせマーカー（３１）
を形成するために用いる感光性樹脂は、第一色目のカラ
ーフィルタ画素用着色感光性樹脂の色の補色である色を
有する着色感光性樹脂であることを特徴とするものであ
る。すなわち、前記のように、反射型液晶表示装置用カ
ラーフィルタのカラーフィルタ画素の色濃度は、透過型
液晶表示装置用カラーフィルタのカラーフィルタ画素の
色濃度より低いものであるが、本発明による位置合わせ
マーカー（３）においては、下層位置合わせマーカー
（３１）の色と上層位置合わせマーカー（３２）の色と
は補色関係にあり、その構造が２層構造であるので、色
濃度は十分なものであり、例えば、カラーフィルタの製
造の際の位置合わせ装置にて、位置合わせマーカー
（３）の検出は容易に可能なものとなる。
（３）を構成している下層位置合わせマーカー（３１）
を形成するために用いる感光性樹脂は、第一色目のカラ
ーフィルタ画素用着色感光性樹脂の色の補色である色を
有する着色感光性樹脂であることを特徴とするものであ
る。すなわち、前記のように、反射型液晶表示装置用カ
ラーフィルタのカラーフィルタ画素の色濃度は、透過型
液晶表示装置用カラーフィルタのカラーフィルタ画素の
色濃度より低いものであるが、本発明による位置合わせ
マーカー（３）においては、下層位置合わせマーカー
（３１）の色と上層位置合わせマーカー（３２）の色と
は補色関係にあり、その構造が２層構造であるので、色
濃度は十分なものであり、例えば、カラーフィルタの製
造の際の位置合わせ装置にて、位置合わせマーカー
（３）の検出は容易に可能なものとなる。
【００２０】例えば、第一色目のカラーフィルタ画素用
着色感光性樹脂の色が赤色の際には、シアン色の色素を
含有する着色感光性樹脂を下層位置合わせマーカー（３
１）の形成に用いることにより補色関係を保たせるもの
である。
着色感光性樹脂の色が赤色の際には、シアン色の色素を
含有する着色感光性樹脂を下層位置合わせマーカー（３
１）の形成に用いることにより補色関係を保たせるもの
である。
【００２１】また、本発明における反射型液晶表示装置
用カラーフィルタにおいては、そのカラーフィルタ画素
の形成に際し、カラーフィルタ画素の色の順序は特に限
定されるものではなく、例えば、第一色目のカラーフィ
ルタ画素の色は赤色、緑色、青色のいずれでもよい。そ
して、第一色目のカラーフィルタ画素の色が、例えば、
緑色の際には、下層位置合わせマーカー（３１）の形成
には補色関係にあるマゼンタ色の色素を含有する着色感
光性樹脂を用いることになる。
用カラーフィルタにおいては、そのカラーフィルタ画素
の形成に際し、カラーフィルタ画素の色の順序は特に限
定されるものではなく、例えば、第一色目のカラーフィ
ルタ画素の色は赤色、緑色、青色のいずれでもよい。そ
して、第一色目のカラーフィルタ画素の色が、例えば、
緑色の際には、下層位置合わせマーカー（３１）の形成
には補色関係にあるマゼンタ色の色素を含有する着色感
光性樹脂を用いることになる。
【００２２】図５（イ）〜（ヘ）は、本発明による反射
型液晶表示装置用カラーフィルタの製造工程をその断面
で示す説明図である。図５（イ）における透明基板
（１）は十分な強度、平坦性、耐熱性、耐薬品性などを
有したものが好ましい。透明基板としてコーニング
（株）製、低膨張ガラス、品番１７３７などが用いられ
る。
型液晶表示装置用カラーフィルタの製造工程をその断面
で示す説明図である。図５（イ）における透明基板
（１）は十分な強度、平坦性、耐熱性、耐薬品性などを
有したものが好ましい。透明基板としてコーニング
（株）製、低膨張ガラス、品番１７３７などが用いられ
る。
【００２３】図５（ロ）に示すように、透明基板上の周
辺部の位置合わせマーカー（３）を形成する部分に選択
的に黒色感光性樹脂（４１）を、例えば、オフセット印
刷法により設ける。この黒色感光性樹脂としては、新日
鉄化学（株）製：感光性樹脂ブラックレジストインキ
「Ｖ−２５９ＢＩＳ」などが用いられる。
辺部の位置合わせマーカー（３）を形成する部分に選択
的に黒色感光性樹脂（４１）を、例えば、オフセット印
刷法により設ける。この黒色感光性樹脂としては、新日
鉄化学（株）製：感光性樹脂ブラックレジストインキ
「Ｖ−２５９ＢＩＳ」などが用いられる。
【００２４】次に、図５（ハ）に示すように、透明基板
上に第一色目のカラーフィルタ画素用着色感光性樹脂
（４２）を塗布し、図５（ニ）に示すように、第一色目
のカラーフィルタ画素用と位置合わせマーカー用を兼ね
たフォトマスク（５）を介しての露光（６）、及び現像
を行う。この際の現像液としては、炭酸ソーダ水溶液に
よるアルカリ現像液などが用いられる。現像後にポスト
ベークとして２３０℃、０．５時間程度の加熱を行い、
図５（ホ）に示すように、透明基板上の略中央部に第一
色目のカラーフィルタ画素（２）、（Ｒ）を形成し、同
時に透明基板上の周辺部に下層位置合わせマーカー（３
１）と上層位置合わせマーカー（３２）の２層構造の位
置合わせマーカー（３）を形成する。
上に第一色目のカラーフィルタ画素用着色感光性樹脂
（４２）を塗布し、図５（ニ）に示すように、第一色目
のカラーフィルタ画素用と位置合わせマーカー用を兼ね
たフォトマスク（５）を介しての露光（６）、及び現像
を行う。この際の現像液としては、炭酸ソーダ水溶液に
よるアルカリ現像液などが用いられる。現像後にポスト
ベークとして２３０℃、０．５時間程度の加熱を行い、
図５（ホ）に示すように、透明基板上の略中央部に第一
色目のカラーフィルタ画素（２）、（Ｒ）を形成し、同
時に透明基板上の周辺部に下層位置合わせマーカー（３
１）と上層位置合わせマーカー（３２）の２層構造の位
置合わせマーカー（３）を形成する。
【００２５】続いて、透明基板上に第二色目のカラーフ
ィルタ画素用着色感光性樹脂を塗布し、位置合わせマー
カー（３）を基準として、第二色目のカラーフィルタ画
素用フォトマスクの位置合わせを行い、第二色目のカラ
ーフィルタ画素用フォトマスクを介しての露光、及び現
像を行い、第二色目のカラーフィルタ画素を形成する。
例えば、第二色目として緑色、第三色目として青色のカ
ラーフィルタ画素を形成し、図５（ヘ）に示す反射型液
晶表示装置用カラーフィルタを得る。この着色感光性樹
脂としては、例えば、富士フィルムオーリン（株）製：
着色感光性樹脂「ＣＳ２０００−Ｒ、ＣＳ２０００−
Ｇ、ＣＳ２０００−Ｂ」などが用いられる。
ィルタ画素用着色感光性樹脂を塗布し、位置合わせマー
カー（３）を基準として、第二色目のカラーフィルタ画
素用フォトマスクの位置合わせを行い、第二色目のカラ
ーフィルタ画素用フォトマスクを介しての露光、及び現
像を行い、第二色目のカラーフィルタ画素を形成する。
例えば、第二色目として緑色、第三色目として青色のカ
ラーフィルタ画素を形成し、図５（ヘ）に示す反射型液
晶表示装置用カラーフィルタを得る。この着色感光性樹
脂としては、例えば、富士フィルムオーリン（株）製：
着色感光性樹脂「ＣＳ２０００−Ｒ、ＣＳ２０００−
Ｇ、ＣＳ２０００−Ｂ」などが用いられる。
【００２６】上記のように、本発明による反射型液晶表
示装置用カラーフィルタはカラーフィルタ画素（２）間
にはマトリックス状遮光層が設けられていないものであ
る。そして、位置合わせマーカー（３）は下層位置合わ
せマーカー（３１）と上層位置合わせマーカー（３２）
の２層構造であるので、位置合わせマーカー（３）の色
濃度は十分にあり、例えば、カラーフィルタの製造の際
の位置合わせ装置、対向基板との貼り合わせ装置、断裁
装置などにての、位置合わせマーカーの検出は確実なも
のとなる。
示装置用カラーフィルタはカラーフィルタ画素（２）間
にはマトリックス状遮光層が設けられていないものであ
る。そして、位置合わせマーカー（３）は下層位置合わ
せマーカー（３１）と上層位置合わせマーカー（３２）
の２層構造であるので、位置合わせマーカー（３）の色
濃度は十分にあり、例えば、カラーフィルタの製造の際
の位置合わせ装置、対向基板との貼り合わせ装置、断裁
装置などにての、位置合わせマーカーの検出は確実なも
のとなる。
【００２７】また、上記のように、本発明による反射型
液晶表示装置用カラーフィルタは、スパッタリング法な
どにより成膜された高価なクロム膜による位置合わせマ
ーカーでなく、材料は黒色感光性樹脂であり、また、黒
色感光性樹脂は位置合わせマーカーを形成する部分にの
み、例えば、オフセット印刷法、スクリーン印刷法、イ
ンクジェット印刷法などにより設け、更には、第一色目
のカラーフィルタ画素の形成と同時に位置合わせマーカ
ーを形成するので、廉価な反射型液晶表示装置用カラー
フィルタとなる。
液晶表示装置用カラーフィルタは、スパッタリング法な
どにより成膜された高価なクロム膜による位置合わせマ
ーカーでなく、材料は黒色感光性樹脂であり、また、黒
色感光性樹脂は位置合わせマーカーを形成する部分にの
み、例えば、オフセット印刷法、スクリーン印刷法、イ
ンクジェット印刷法などにより設け、更には、第一色目
のカラーフィルタ画素の形成と同時に位置合わせマーカ
ーを形成するので、廉価な反射型液晶表示装置用カラー
フィルタとなる。
【００２８】図６（イ）〜（ヘ）は、本発明による反射
型液晶表示装置用カラーフィルタの他の例の製造工程を
その断面で示す説明図である。図６（イ）〜（ハ）に示
すように、透明基板（１）上に第一色目のカラーフィル
タ画素用着色感光性樹脂（４２）を塗布し、透明基板上
の周辺部の位置合わせマーカー（３）を形成する部分に
のみ黒色感光性樹脂（４１）を、例えば、インクジェッ
ト印刷法により設ける。
型液晶表示装置用カラーフィルタの他の例の製造工程を
その断面で示す説明図である。図６（イ）〜（ハ）に示
すように、透明基板（１）上に第一色目のカラーフィル
タ画素用着色感光性樹脂（４２）を塗布し、透明基板上
の周辺部の位置合わせマーカー（３）を形成する部分に
のみ黒色感光性樹脂（４１）を、例えば、インクジェッ
ト印刷法により設ける。
【００２９】次に、図６（ニ）〜（ホ）に示すように、
第一色目のカラーフィルタ画素用と位置合わせマーカー
用を兼ねたフォトマスク（５）を介しての露光（６）、
現像、及び加熱処理を行い、透明基板上の略中央部に第
一色目のカラーフィルタ画素（２）、（Ｒ）を形成し、
同時に透明基板上の周辺部に、本例における下層位置合
わせマーカー（３３）と上層位置合わせマーカー（３
４）の２層構造の位置合わせマーカー（３）を形成す
る。
第一色目のカラーフィルタ画素用と位置合わせマーカー
用を兼ねたフォトマスク（５）を介しての露光（６）、
現像、及び加熱処理を行い、透明基板上の略中央部に第
一色目のカラーフィルタ画素（２）、（Ｒ）を形成し、
同時に透明基板上の周辺部に、本例における下層位置合
わせマーカー（３３）と上層位置合わせマーカー（３
４）の２層構造の位置合わせマーカー（３）を形成す
る。
【００３０】続いて、透明基板上に第二色目のカラーフ
ィルタ画素用着色感光性樹脂を塗布し、位置合わせマー
カー（３）を基準として、第二色目のカラーフィルタ画
素用フォトマスクの位置合わせを行い、第二色目のカラ
ーフィルタ画素用フォトマスクを介しての露光、現像、
及び加熱処理を行い、第二色目のカラーフィルタ画素を
形成する。例えば、第二色目として緑色、第三色目とし
て青色のカラーフィルタ画素を形成し、図６（ヘ）に示
す反射型液晶表示装置用カラーフィルタを得る。
ィルタ画素用着色感光性樹脂を塗布し、位置合わせマー
カー（３）を基準として、第二色目のカラーフィルタ画
素用フォトマスクの位置合わせを行い、第二色目のカラ
ーフィルタ画素用フォトマスクを介しての露光、現像、
及び加熱処理を行い、第二色目のカラーフィルタ画素を
形成する。例えば、第二色目として緑色、第三色目とし
て青色のカラーフィルタ画素を形成し、図６（ヘ）に示
す反射型液晶表示装置用カラーフィルタを得る。
【００３１】上記のように、本発明による反射型液晶表
示装置用カラーフィルタはカラーフィルタ画素（２）間
にはマトリックス状遮光層が設けられていないものであ
る。そして、位置合わせマーカー（３）は、本例におけ
る下層位置合わせマーカー（３３）と上層位置合わせマ
ーカー（３４）の２層構造であるので、位置合わせマー
カー（３）の検出は確実なものとなる。
示装置用カラーフィルタはカラーフィルタ画素（２）間
にはマトリックス状遮光層が設けられていないものであ
る。そして、位置合わせマーカー（３）は、本例におけ
る下層位置合わせマーカー（３３）と上層位置合わせマ
ーカー（３４）の２層構造であるので、位置合わせマー
カー（３）の検出は確実なものとなる。
【００３２】また、上記のように、本発明による反射型
液晶表示装置用カラーフィルタは、スパッタリング法な
どにより成膜された高価なクロム膜による位置合わせマ
ーカーでなく、材料は黒色感光性樹脂であり、また、黒
色感光性樹脂は位置合わせマーカーを形成する部分にの
み、例えば、インクジェット印刷法、スクリーン印刷
法、オフセット印刷法などオフセット印刷法により設
け、更には、第一色目のカラーフィルタ画素の形成と同
時に位置合わせマーカーを形成するので、廉価な反射型
液晶表示装置用カラーフィルタとなる。
液晶表示装置用カラーフィルタは、スパッタリング法な
どにより成膜された高価なクロム膜による位置合わせマ
ーカーでなく、材料は黒色感光性樹脂であり、また、黒
色感光性樹脂は位置合わせマーカーを形成する部分にの
み、例えば、インクジェット印刷法、スクリーン印刷
法、オフセット印刷法などオフセット印刷法により設
け、更には、第一色目のカラーフィルタ画素の形成と同
時に位置合わせマーカーを形成するので、廉価な反射型
液晶表示装置用カラーフィルタとなる。
【００３３】
【発明の効果】本発明による反射型液晶表示装置用カラ
ーフィルタ基板には、クロム膜の成膜及びそのパターニ
ングといった高価なマトリックス状遮光層を設けておら
ず、透明基板上の略中央部にカラーフィルタ画素、透明
基板上の周辺部に位置合わせマーカーを具備し、位置合
わせマーカーとしては、黒色感光性樹脂を部分的に印刷
したあと着色感光性樹脂を全面に設け、マスク露光法に
よりカラーフィルタ画素と同時に形成された２層構造の
位置合わせマーカーを用いるので、位置合わせ装置での
検出が容易な位置合わせマーカーとなり、廉価な反射型
液晶表示装置用カラーフィルタとなる。
ーフィルタ基板には、クロム膜の成膜及びそのパターニ
ングといった高価なマトリックス状遮光層を設けておら
ず、透明基板上の略中央部にカラーフィルタ画素、透明
基板上の周辺部に位置合わせマーカーを具備し、位置合
わせマーカーとしては、黒色感光性樹脂を部分的に印刷
したあと着色感光性樹脂を全面に設け、マスク露光法に
よりカラーフィルタ画素と同時に形成された２層構造の
位置合わせマーカーを用いるので、位置合わせ装置での
検出が容易な位置合わせマーカーとなり、廉価な反射型
液晶表示装置用カラーフィルタとなる。
【００３４】また、その位置合わせマーカーが、着色感
光性樹脂とその着色感光性樹脂の色の補色の色の着色感
光性樹脂を用いて形成された２層構造であるの場合は、
位置合わせマーカーの機能が損なわれない、廉価な反射
型液晶表示装置用カラーフィルタとなる。
光性樹脂とその着色感光性樹脂の色の補色の色の着色感
光性樹脂を用いて形成された２層構造であるの場合は、
位置合わせマーカーの機能が損なわれない、廉価な反射
型液晶表示装置用カラーフィルタとなる。
【００３５】また、本発明は、透明基板上の略中央部に
カラーフィルタ画素、透明基板上の周辺部に位置合わせ
マーカーを具備する反射型液晶表示装置用カラーフィル
タを製造する際に、透明基板上の周辺部の位置合わせマ
ーカーを形成する部分に黒色感光性樹脂を印刷法により
設けるので、位置合わせマーカー形成のためだけのパタ
ーニング工程を必要とせず、廉価な反射型液晶表示装置
用カラーフィルタを製造する方法となる。また、その位
置合わせマーカーが、着色感光性樹脂とその着色感光性
樹脂の色の補色の色の着色感光性樹脂を用いて形成され
た２層構造であるの場合は、透明基板上の周辺部の位置
合わせマーカーを形成する部分に着色感光性樹脂の色の
補色の色の着色感光性樹脂を印刷法により設けるので、
位置合わせマーカー形成のためだけのパターニング工程
を必要とせず、廉価な反射型液晶表示装置用カラーフィ
ルタを製造する方法となる。
カラーフィルタ画素、透明基板上の周辺部に位置合わせ
マーカーを具備する反射型液晶表示装置用カラーフィル
タを製造する際に、透明基板上の周辺部の位置合わせマ
ーカーを形成する部分に黒色感光性樹脂を印刷法により
設けるので、位置合わせマーカー形成のためだけのパタ
ーニング工程を必要とせず、廉価な反射型液晶表示装置
用カラーフィルタを製造する方法となる。また、その位
置合わせマーカーが、着色感光性樹脂とその着色感光性
樹脂の色の補色の色の着色感光性樹脂を用いて形成され
た２層構造であるの場合は、透明基板上の周辺部の位置
合わせマーカーを形成する部分に着色感光性樹脂の色の
補色の色の着色感光性樹脂を印刷法により設けるので、
位置合わせマーカー形成のためだけのパターニング工程
を必要とせず、廉価な反射型液晶表示装置用カラーフィ
ルタを製造する方法となる。
【００３６】また、本発明は、透明基板上の略中央部に
カラーフィルタ画素、透明基板上の周辺部に位置合わせ
マーカーを具備する反射型液晶表示装置用カラーフィル
タを製造する際に、透明基板上に第一色目のカラーフィ
ルタ画素用着色感光性樹脂を塗布し、次に、透明基板上
の周辺部の位置合わせマーカーを形成する部分に黒色感
光性樹脂を印刷法により設けるので、位置合わせマーカ
ー形成のためだけのパターニング工程を必要とせず、廉
価な反射型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する方
法となる。また、その位置合わせマーカーが、着色感光
性樹脂とその着色感光性樹脂の色の補色の色の着色感光
性樹脂を用いて形成された２層構造であるの場合は、透
明基板上の周辺部の位置合わせマーカーを形成する部分
に着色感光性樹脂の色の補色の色の着色感光性樹脂を印
刷法により設けるので、位置合わせマーカー形成のため
だけのパターニング工程を必要とせず、廉価な反射型液
晶表示装置用カラーフィルタを製造する方法となる。
カラーフィルタ画素、透明基板上の周辺部に位置合わせ
マーカーを具備する反射型液晶表示装置用カラーフィル
タを製造する際に、透明基板上に第一色目のカラーフィ
ルタ画素用着色感光性樹脂を塗布し、次に、透明基板上
の周辺部の位置合わせマーカーを形成する部分に黒色感
光性樹脂を印刷法により設けるので、位置合わせマーカ
ー形成のためだけのパターニング工程を必要とせず、廉
価な反射型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する方
法となる。また、その位置合わせマーカーが、着色感光
性樹脂とその着色感光性樹脂の色の補色の色の着色感光
性樹脂を用いて形成された２層構造であるの場合は、透
明基板上の周辺部の位置合わせマーカーを形成する部分
に着色感光性樹脂の色の補色の色の着色感光性樹脂を印
刷法により設けるので、位置合わせマーカー形成のため
だけのパターニング工程を必要とせず、廉価な反射型液
晶表示装置用カラーフィルタを製造する方法となる。
【図１】本発明による反射型液晶表示装置用カラーフィ
ルタの一実施例の平面図である。
ルタの一実施例の平面図である。
【図２】図１における反射型液晶表示装置用カラーフィ
ルタをＸ−Ｘ’断面で示す断面図である。
ルタをＸ−Ｘ’断面で示す断面図である。
【図３】図１における位置合わせマーカーの一部を拡大
した平面図である。
した平面図である。
【図４】図３における位置合わせマーカーをＸ−Ｘ’断
面で示す断面図である。
面で示す断面図である。
【図５】（イ）〜（ヘ）は、本発明による反射型液晶表
示装置用カラーフィルタの製造工程をその断面で示す説
明図である。
示装置用カラーフィルタの製造工程をその断面で示す説
明図である。
【図６】（イ）〜（ヘ）は、本発明による反射型液晶表
示装置用カラーフィルタの他の例の製造工程をその断面
で示す説明図である。
示装置用カラーフィルタの他の例の製造工程をその断面
で示す説明図である。
１…透明基板 ２…カラーフィルタ画素 ３…位置合わせマーカー ５…第一色目のカラーフィルタ画素用と位置合わせマー
カー用を兼ねたフォトマスク ６…露光 ３１…下層位置合わせマーカー ３２…上層位置合わせマーカー ４１…黒色感光性樹脂 ４２…第一色目のカラーフィルタ画素用着色感光性樹脂 Ｒ…カラーフィルタの赤色画素 Ｇ…カラーフィルタの緑色画素 Ｂ…カラーフィルタの青色画素
カー用を兼ねたフォトマスク ６…露光 ３１…下層位置合わせマーカー ３２…上層位置合わせマーカー ４１…黒色感光性樹脂 ４２…第一色目のカラーフィルタ画素用着色感光性樹脂 Ｒ…カラーフィルタの赤色画素 Ｇ…カラーフィルタの緑色画素 Ｂ…カラーフィルタの青色画素
Claims (6)
- 【請求項１】透明基板上の略中央部にカラーフィルタ画
素、透明基板上の周辺部に位置合わせマーカーを具備す
る反射型液晶表示装置用カラーフィルタであって、黒色
感光性樹脂を部分的に印刷したあと着色感光性樹脂を全
面に設け、マスク露光法により形成された２層構造の位
置合わせマーカーを用いることを特徴とする反射型液晶
表示装置用カラーフィルタ。 - 【請求項２】前記黒色感光性樹脂にかえて前記着色感光
性樹脂の色の補色である色を有する着色感光性樹脂を用
いることを特徴とする請求項１記載の反射型液晶表示装
置用カラーフィルタ。 - 【請求項３】透明基板上の略中央部にカラーフィルタ画
素、透明基板上の周辺部に位置合わせマーカーを具備す
る反射型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法にお
いて、（１）該透明基板上の周辺部の該位置合わせマー
カーを形成する部分に黒色感光性樹脂を印刷法により設
け、（２）該透明基板上に第一色目のカラーフィルタ画
素用着色感光性樹脂を塗布し、第一色目のカラーフィル
タ画素用と位置合わせマーカー用を兼ねたフォトマスク
を介しての露光、及び現像を行い、該透明基板上の略中
央部に第一色目のカラーフィルタ画素を形成し、同時に
該透明基板上の周辺部に黒色感光性樹脂と第一色目のカ
ラーフィルタ画素用着色感光性樹脂を用いた２層構造の
位置合わせマーカーを形成し、（３）該透明基板上に第
二色目のカラーフィルタ画素用着色感光性樹脂を塗布
し、該位置合わせマーカーを基準として、第二色目のカ
ラーフィルタ画素用フォトマスクの位置合わせを行い、
第二色目のカラーフィルタ画素用フォトマスクを介して
の露光、及び現像を行い、該透明基板上の略中央部に第
二色目のカラーフィルタ画素を形成し、（４）上記
（３）を第三色目以降の所望する色数回おこない、第三
色目以降の所望する色数のカラーフィルタ画素を該透明
基板上の略中央部に形成し、反射型液晶表示装置用カラ
ーフィルタを製造することを特徴とする反射型液晶表示
装置用カラーフィルタの製造方法。 - 【請求項４】前記黒色感光性樹脂にかえて前記着色感光
性樹脂の色の補色である色を有する着色感光性樹脂を用
いることを特徴とする請求項３記載の反射型液晶表示装
置用カラーフィルタの製造方法。 - 【請求項５】透明基板上の略中央部にカラーフィルタ画
素、透明基板上の周辺部に位置合わせマーカーを具備す
る反射型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法にお
いて、（１）該透明基板上に第一色目のカラーフィルタ
画素用着色感光性樹脂を塗布し、（２）該透明基板上の
周辺部の該位置合わせマーカーを形成する部分に黒色感
光性樹脂を印刷法により設け、（３）第一色目のカラー
フィルタ画素用と位置合わせマーカー用を兼ねたフォト
マスクを介しての露光、及び現像を行い、該透明基板上
の略中央部に第一色目のカラーフィルタ画素を形成し、
同時に該透明基板上の周辺部に第一色目のカラーフィル
タ画素用着色感光性樹脂と黒色感光性樹脂を用いた２層
構造の位置合わせマーカーを形成し、（４）該透明基板
上に第二色目のカラーフィルタ画素用着色感光性樹脂を
塗布し、該位置合わせマーカーを基準として、第二色目
のカラーフィルタ画素用フォトマスクの位置合わせを行
い、第二色目のカラーフィルタ画素用フォトマスクを介
しての露光、及び現像を行い、該透明基板上の略中央部
に第二色目のカラーフィルタ画素を形成し、（５）上記
（４）を第三色目以降の所望する色数回おこない、第三
色目以降の所望する色数のカラーフィルタ画素を該透明
基板上の略中央部に形成し、反射型液晶表示装置用カラ
ーフィルタを製造することを特徴とする反射型液晶表示
装置用カラーフィルタの製造方法。 - 【請求項６】前記黒色感光性樹脂にかえて前記着色感光
性樹脂の色の補色である色を有する着色感光性樹脂を用
いることを特徴とする請求項５記載の反射型液晶表示装
置用カラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26347398A JP2000098366A (ja) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | 反射型液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26347398A JP2000098366A (ja) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | 反射型液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000098366A true JP2000098366A (ja) | 2000-04-07 |
Family
ID=17390009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26347398A Pending JP2000098366A (ja) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | 反射型液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000098366A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003084120A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-19 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| KR100459483B1 (ko) * | 2001-10-30 | 2004-12-03 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시 소자의 제조 방법 |
| CN100380216C (zh) * | 2003-12-01 | 2008-04-09 | Lg.菲利浦Lcd株式会社 | 薄膜晶体管上滤色器型液晶显示器件及其制造方法 |
| KR20160078599A (ko) * | 2014-12-24 | 2016-07-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광표시패널 및 유기발광표시장치 |
| JP2016212286A (ja) * | 2015-05-11 | 2016-12-15 | 大日本印刷株式会社 | カラーフィルタ、カラーフィルタ基板及び表示装置 |
-
1998
- 1998-09-17 JP JP26347398A patent/JP2000098366A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003084120A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-19 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| KR100459483B1 (ko) * | 2001-10-30 | 2004-12-03 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시 소자의 제조 방법 |
| CN100380216C (zh) * | 2003-12-01 | 2008-04-09 | Lg.菲利浦Lcd株式会社 | 薄膜晶体管上滤色器型液晶显示器件及其制造方法 |
| KR20160078599A (ko) * | 2014-12-24 | 2016-07-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광표시패널 및 유기발광표시장치 |
| KR102235395B1 (ko) | 2014-12-24 | 2021-04-02 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광표시패널 및 유기발광표시장치 |
| JP2016212286A (ja) * | 2015-05-11 | 2016-12-15 | 大日本印刷株式会社 | カラーフィルタ、カラーフィルタ基板及び表示装置 |
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