JP2000094294A

JP2000094294A - スライダの加工装置およびスライダ加工用補助具

Info

Publication number: JP2000094294A
Application number: JP10272253A
Authority: JP
Inventors: Kanji Kobayashi; 寛二小林; Masao Yamaguchi; 正雄山口
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1998-09-25
Filing date: 1998-09-25
Publication date: 2000-04-04
Anticipated expiration: 2018-09-25
Also published as: JP3664891B2

Abstract

(57)【要約】【課題】スライダにおける段差を有する複数のエッジ
部分を同時に研磨して面取り加工を施すことを可能とす
ると共に、加工精度を向上させることができるようにす
る。【解決手段】ワイヤ巻きブロック３０は、ブロック本
体３１と、このブロック本体３１の外周に巻き付けられ
たワイヤ３４とを有している。ワイヤ巻きブロック３０
の上には、ゴムシート３８が配置され、このゴムシート
３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９が配置さ
れる。ワイヤ３４は、ダイヤモンドラッピングシート３
９によってスライダにおける段差を有する複数のエッジ
部分が同時に研磨されるように、ゴムシート３８および
ダイヤモンドラッピングシート３９を変形させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、浮上型磁気ヘッド
等に用いられるスライダのエッジ部分の面取り加工を行
うためのスライダの加工装置およびスライダ加工用補助
具に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスク装置等に用いられる浮上型
磁気ヘッドは、一般的に、スライダの後端部に薄膜磁気
ヘッド素子を形成して構成されるようになっている。ス
ライダは、一般的に、表面が媒体対向面（エアベアリン
グ面）となるレール部を有すると共に、空気流入側の端
部近傍にテーパ部またはステップ部を有し、テーパ部ま
たはステップ部より流入する空気流によってレール部が
磁気ディスク等の記録媒体の表面からわずかに浮上する
ようになっている。

【０００３】このようなスライダでは、例えば特開平６
−２８２８３１号公報に示されるように、スライダが揺
れたりして傾いたときに、レール部の媒体対向面とレー
ル部の外側の側面との間のエッジ部分（以下、レール部
のエッジ部分とも言う。）によって記録媒体を傷つけな
いように、レール部のエッジ部分に対して面取り加工を
施すことが行われている。なお、この特開平６−２８２
８３１号公報に示されているスライダでは、２本のレー
ル部の外側の側面がそのままスライダの側面になってい
る。

【０００４】ところで、磁気ヘッド用のスライダは、多
数の磁気ヘッド素子がマトリクス状に形成されたウェハ
を一方向に切断して、一列に配列された複数の磁気ヘッ
ド素子を含むバーと呼ばれるブロックを形成し、このバ
ーに対してレール部を形成した後に、バーを切断して各
スライダに分離することによって形成される。ここで、
上記特開平６−２８２８３１号公報に示されているスラ
イダでは、２本のレール部の外側の側面がそのままスラ
イダの側面になっている。しかしながら、スライダを、
上記特開平６−２８２８３１号公報に示されているよう
な形状とした場合には、バーを切断してスライダを形成
する際の機械加工によって、レール部に欠け（チッピン
グ）が生じるという問題点がある。

【０００５】そのため、図４７に示したように、スライ
ダ２１１の側面２１２すなわちバーの切断部よりも所定
距離だけ内側にレール部２１３の側面２１４が配置され
るように、レール部２１３を形成したスライダが一般的
になっている。以下、このような形状のスライダを、２
段構造のスライダと言う。

【０００６】このような２段構造のスライダにおいて
も、レール部のエッジ部分に対して面取り加工を施すこ
とが行われている。レール部のエッジ部分に対する従来
の面取り加工の方法としては、例えば特開平６−１２６
４５号公報に示されるように、弾性体上に設けられたダ
イヤモンドラッピングシート上でスライダを摺動させる
方法がある。図４８は、この従来の面取り加工の方法の
概略を説明するための説明図である。この従来の面取り
加工では、複数のスライダ２１１を、治具２１５に固定
して、例えばシリコーンゴムによって形成された板状の
弾性部材２１６上に設けられたダイヤモンドラッピング
シート２１７に対して、図中符号２１８で示す矢印方向
に押し付けながら、水平方向の２方向に摺動させて、レ
ール部２１３のエッジ部分２１９の面取りを行うように
なっている。

【０００７】図４９は、図４８に示した方法によって面
取り加工を施した後のレール部２１３のエッジ部分２１
９近傍（図４８におけるＣ部）を拡大して示したもので
ある。

【０００８】従来の面取り加工の他の方法としては、特
開平２−３０１０１４号公報に示されるように、研磨テ
ープをガイドによって案内しながら往復運動させて、ス
ライダのレール部に対して研磨テープを摺動させる方法
がある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、記録
密度向上のため、スライダの浮上量を小さくすることが
要望されている。また、アクセスの高速化のため、スラ
イダの浮上安定性の向上が要望されている。これらの要
望を満たすものとして、最近では、負圧スライダが用い
られるようになってきた。一般的に、負圧スライダで
は、２本のレール部間に、負圧を発生させるための凹部
が形成されている。このような負圧スライダでは、記録
媒体側となる面が微細な形状となり、特にレール部の高
さが従来のスライダに比べて大幅に小さくなっている。

【００１０】このような負圧スライダでは、レール部の
高さが小さいために、図５０に示したように、スライダ
２２１が傾いたときに、スライダ２２１の側面２２２と
これに直交するスライダ２２１の記録媒体側となる面２
２３との間のエッジ部分（以下、スライダのエッジ部分
と言う。）２２４が記録媒体２２５に接触して記録媒体
２２５を傷つけるおそれがあるという問題点がある。特
に、ノート型パーソナルコンピュータ等、可搬型の装置
に用いられるハードディスク装置では、スライダが傾き
易いため、上述の問題点が顕著となる。

【００１１】そこで、本出願人は、例えば特願平１０−
１０４２３５号において、ワイヤによってダイヤモンド
ラッピングシートを変形させて、スライダにおける段差
を有する複数のエッジ部分を同時に研磨して面取り加工
を施す技術を提案している。この場合、ワイヤの張力が
不安定だと加工精度が低下するため、加工精度を向上さ
せるためには、ワイヤの張力を安定にする必要がある。

【００１２】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、スライダにおける段差を有する複数
のエッジ部分を同時に研磨して面取り加工を施すことを
可能とすると共に、加工精度を向上させることができる
ようにしたスライダの加工装置およびスライダ加工用補
助具を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明に係るスライダの
加工装置は、媒体対向面を有するスライダにおけるエッ
ジ部分を研磨してエッジ部分の面取り加工を行うスライ
ダの加工装置であって、スライダを保持するためのスラ
イダ保持具と、このスライダ保持具によって保持された
スライダのエッジ部分を研磨するための可撓性を有する
研磨部材と、スライダ保持具によって保持されたスライ
ダに対して研磨部材を挟んで対向する位置に配置される
補助具本体と、この補助具本体の外周部に巻き付けら
れ、研磨部材を変形させるためのワイヤとを有し、研磨
部材によってスライダにおける段差を有する複数のエッ
ジ部分が同時に研磨されるように、ワイヤによって研磨
部材を変形させるスライダ加工用補助具と、研磨部材に
よってスライダのエッジ部分が研磨されるように、スラ
イダ保持具によって保持されたスライダと研磨部材とを
相対的に移動させる移動手段とを備えたものである。

【００１４】このスライダの加工装置では、スライダ加
工用補助具のワイヤによって研磨部材が変形され、この
研磨部材によって、スライダにおける段差を有する複数
のエッジ部分が同時に研磨される。ワイヤは、補助具本
体の外周部に巻き付けられていることから、張力が安定
している。

【００１５】また、本発明のスライダの加工装置では、
例えば、スライダ加工用補助具は、ワイヤのうちの、ス
ライダ加工用補助具における上面部分に位置する部分の
下側に配置された弾性部材を有する。

【００１６】また、本発明のスライダの加工装置では、
例えば、スライダ加工用補助具は、ワイヤのうちの、ス
ライダ加工用補助具における上面部分に位置する部分の
下側に配置された凸部を有する。

【００１７】本発明のスライダ加工用補助具は、媒体対
向面を有するスライダを保持するためのスライダ保持具
と、このスライダ保持具によって保持されたスライダの
エッジ部分を研磨するための可撓性を有する研磨部材
と、研磨部材によってスライダのエッジ部分が研磨され
るように、スライダ保持具によって保持されたスライダ
と研磨部材とを相対的に移動させる移動手段とを備え、
スライダにおけるエッジ部分を研磨してエッジ部分の面
取り加工を行うスライダの加工装置に用いられ、スライ
ダ保持具によって保持されたスライダに対して研磨部材
を挟んで対向する位置に配置される補助具本体と、この
補助具本体の外周部に巻き付けられ、研磨部材によって
スライダにおける段差を有する複数のエッジ部分が同時
に研磨されるように、研磨部材を変形させるためのワイ
ヤとを備えたものである。

【００１８】このスライダ加工用補助具では、ワイヤが
研磨部材を変形させる。そして、変形された研磨部材に
よって、スライダにおける段差を有する複数のエッジ部
分が同時に研磨される。ワイヤは、補助具本体の外周部
に巻き付けられていることから、張力が安定している。

【００１９】また、本発明のスライダ加工用補助具は、
例えば、更に、ワイヤのうちの、スライダ加工用補助具
における上面部分に位置する部分の下側に配置された弾
性部材を備えている。

【００２０】また、本発明のスライダ加工用補助具は、
例えば、更に、ワイヤのうちの、スライダ加工用補助具
における上面部分に位置する部分の下側に配置された凸
部を備えている。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一
実施の形態に係るスライダの加工装置を一部切り欠いて
示す正面図、図２は、図１の右側面図である。また、図
３は、図１に示した加工装置におけるＸ−Ｙテーブルの
近傍を拡大して示す正面図、図４は、図３の右側面図で
ある。本実施の形態に係る加工装置１０は、スライダの
エッジ部分を研磨してエッジ部分の面取り加工を行う装
置である。なお、本実施の形態では、スライダとして、
薄膜磁気ヘッドに利用されるスライダの例を挙げてい
る。

【００２２】加工装置１０は、装置本体１１を備えてい
る。この装置本体１１の前端部には、操作パネル２３が
設けられている。また、装置本体１１上には、ベース部
１２が設けられている。ベース部１２上には、上面をＸ
方向（図１における矢印が示す左右方向）およびＹ方向
（図２における矢印が示す左右方向）に移動可能なＸ−
Ｙテーブル１３が設けられている。Ｘ−Ｙテーブル１３
は、本発明における移動手段に対応する。

【００２３】Ｘ−Ｙテーブル１３は、ベース部１２に対
して固定された固定プレート１４と、この固定プレート
１４上に設けられたＹ方向揺動プレート１５と、このＹ
方向揺動プレート１５上に固定されたプレート１６と、
このプレート１６上に設けられたＸ方向揺動プレート１
７と、このＸ方向揺動プレート１７上に固定されたプレ
ート１８とを備えている。

【００２４】図３に示したように、固定プレート１４の
上面におけるＸ方向の両端部には、それぞれＹ方向に延
び、ベアリングを有するガイド１９が設けられている。
Ｙ方向揺動プレート１５の下面におけるＸ方向の両端部
には、それぞれＹ方向に延び、固定プレート１４に設け
られたガイド１９に移動可能に係合する係合部２０が設
けられている。そして、この係合部２０が固定プレート
１４上のガイド１９に沿って移動することにより、Ｙ方
向揺動プレート１５がＹ方向に移動するようになってい
る。

【００２５】また、図４に示したように、プレート１６
の上面におけるＹ方向の両端部には、それぞれＸ方向に
延び、ベアリングを有するガイド２１が設けられてい
る。Ｘ方向揺動プレート１７の下面におけるＹ方向の両
端部には、それぞれＸ方向に延び、プレート１６に設け
られたガイド２１に係合する係合部２２が設けられてい
る。そして、この係合部２２がプレート１６上のガイド
２１に沿って移動することにより、Ｘ方向揺動プレート
１７がＸ方向に移動するようになっている。

【００２６】プレート１８上には、複数のワイヤ巻きブ
ロック３０が固定されている。ワイヤ巻きブロック３０
は、本発明におけるスライダ加工用補助具に対応する。
このワイヤ巻きブロック３０の構成については、後で詳
しく説明する。

【００２７】図３に示したように、装置本体１１内に
は、Ｙ方向揺動用モータ４０が設けられている。装置本
体１１内において、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４
１には、円板４２が取り付けられている。装置本体１１
内には、この円板４２を挟むように、揺動原点センサ４
３が設けられている。例えば、円板４２には、所定の箇
所に孔が設けられ、揺動原点センサ４３には、アンプを
内蔵した透過型のフォトセンサが用いられる。この場
合、揺動原点センサ４３は、円板４２における孔の位置
を検出して、Ｙ方向の揺動の原点を検出するようになっ
ている。

【００２８】また、ベース部１２の上面より上方の位置
において、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１の上端
部には、Ｙ方向揺動幅調整部材４４を介して、Ｙ方向揺
動用回転軸４５が連結されている。Ｙ方向揺動幅調整部
材４４は、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１とＹ方
向揺動用回転軸４５とをずらすことができると共に、そ
のずれ量を調節することができるようになっている。Ｙ
方向揺動用回転軸４５の上端部には、ベアリングを有す
るカム４６が取り付けられている。Ｙ方向揺動プレート
１５の上面には、Ｘ方向に延び、カム４６を誘導するた
めのガイド４７が設けられている。Ｙ方向揺動用モータ
４０の回転軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とがずれて
いる場合には、Ｙ方向揺動用モータ４１を回転させる
と、カム４６が回転し、このカム４６がガイド４７に沿
って移動することにより、ガイド４７、プレート１６お
よびＹ方向揺動プレート１５がＹ方向に揺動するように
なっている。なお、ベース部１２、固定プレート１４、
Ｙ方向揺動プレート１５およびプレート１６には、Ｙ方
向揺動用回転軸４５が挿通される孔が形成されている。

【００２９】また、装置本体１１内には、Ｘ方向揺動用
モータ５０が設けられている。装置本体１１内におい
て、Ｘ方向揺動用モータ５０の回転軸５１には、円板５
２が取り付けられている。装置本体１１内には、この円
板５２を挟むように、揺動原点センサ５３が設けられて
いる。例えば、円板５２には、所定の箇所に孔が設けら
れ、揺動原点センサ５３には、アンプを内蔵した透過型
のフォトセンサが用いられる。この場合、揺動原点セン
サ５３は、円板５２における孔の位置を検出して、Ｘ方
向の揺動の原点を検出するようになっている。

【００３０】本実施の形態では、加工処理の開始時に、
揺動原点センサ４３，５３によって、Ｙ方向およびＸ方
向の揺動の原点を検出し、Ｘ−Ｙテーブル１３の位置を
揺動の原点に復帰させることにより、加工処理の開始時
におけるＸ−Ｙテーブル１３の位置を常に一定にするよ
うにしている。これにより、処理結果のばらつきをなく
すことができる。

【００３１】また、ベース部１２の上面より上方の位置
において、Ｘ方向揺動用モータ５０の回転軸５１の上端
部には、Ｘ方向揺動幅調整部材５４を介して、Ｘ方向揺
動用回転軸５５が連結されている。Ｘ方向揺動幅調整部
材５４は、Ｘ方向揺動用モータ５０の回転軸５１とＸ方
向揺動用回転軸５５とをずらすことができると共に、そ
のずれ量を調節することができるようになっている。Ｘ
方向揺動用回転軸５５の上端部には、ベアリングを有す
るカム５６が取り付けられている。Ｘ方向揺動プレート
１７の下面には、Ｙ方向に延び、カム５６を誘導するた
めのガイド５７が設けられている。Ｙ方向揺動用モータ
５０の回転軸５１とＸ方向揺動用回転軸５５とがずれて
いる場合には、Ｘ方向揺動用モータ５０を回転させる
と、カム５６が回転し、このカム５６がガイド５７に沿
って移動することにより、ガイド５７、Ｘ方向揺動プレ
ート１７およびプレート１８がＸ方向に揺動するように
なっている。なお、ベース部１２、固定プレート１４、
Ｙ方向揺動プレート１５およびプレート１６には、Ｘ方
向揺動用回転軸５５が挿通される孔が形成されている。

【００３２】ここで、図５ないし図８を参照して、Ｙ方
向揺動幅調整部材４４の構成および作用について説明す
る。図５は、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１とＹ
方向揺動用回転軸４５とのずれ量がゼロであるときのＹ
方向揺動幅調整部材４４の正面図、図６は図５の側面図
である。また、図７は、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転
軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とのずれ量がゼロより
大きい所定の大きさであるときのＹ方向揺動幅調整部材
４４の正面図、図８は図７の側面図である。

【００３３】Ｙ方向揺動幅調整部材４４は、Ｙ方向揺動
用モータ４０の回転軸４１の上端部に固定され、一方向
に延びる溝を有する固定部６１と、この固定部６１の溝
内に移動可能に収納され、Ｙ方向揺動用回転軸４５の下
端部に固定された可動部６２と、固定部６１の側部に取
り付けられ、固定部６１に対して可動部６２を移動させ
るための駆動用ねじ６３と、固定部６１の他の側部に取
り付けられ、固定部６１に対して可動部６２を固定する
ための固定用ねじ６４とを備えている。

【００３４】このＹ方向揺動幅調整部材４４では、駆動
用ねじ６３を回すことによって、固定部６１に対して可
動部６２を移動させることができ、固定用ねじ６４を締
め付けることによって、固定部６１に対して可動部６２
を固定することができる。

【００３５】Ｙ方向揺動幅調整部材４４では、図５およ
び図６に示したように、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転
軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とのずれ量をゼロにし
た場合には、Ｙ方向揺動用モータ４０を駆動しても、Ｙ
方向揺動用回転軸４５は回転するだけで、その位置は変
わらない。従って、Ｙ方向揺動プレート１５の揺動幅は
ゼロとなる。

【００３６】また、Ｙ方向揺動幅調整部材４４では、図
７および図８に示したように、Ｙ方向揺動用モータ４０
の回転軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とのずれ量をゼ
ロより大きい所定の大きさにした場合には、Ｙ方向揺動
用モータ４０を駆動すると、Ｙ方向揺動用回転軸４５
は、回転軸４１に対して偏心した状態で回転し、その結
果、Ｙ方向揺動プレート１５が揺動する。この場合、Ｙ
方向揺動プレート１５の揺動幅は、回転軸４１とＹ方向
揺動用回転軸４５とのずれ量の２倍となる。

【００３７】なお、Ｘ方向揺動幅調整部材５４の構成お
よび作用も、Ｙ方向揺動幅調整部材４４と同様である。

【００３８】本実施の形態では、Ｙ方向揺動用モータ４
０の回転数は、０〜４０ｒｐｍの範囲内で制御され、Ｘ
方向揺動用モータ５０の回転数は、０〜３０ｒｐｍの範
囲内で制御されるようになっている。

【００３９】また、本実施の形態では、Ｙ方向揺動プレ
ート１５の揺動幅は、０〜１５ｍｍの範囲内で制御さ
れ、Ｘ方向揺動プレート１７の揺動幅は、０〜３０ｍｍ
の範囲内で制御されるようになっている。

【００４０】図１に示したように、ベース部１２の上に
は、Ｘ−Ｙテーブル１３の左右方向の両側の位置におい
て、Ｙ方向に延びる２本のレール部２９が固定されてい
る。各レール部２９には、それぞれ、Ｙ方向に延びるガ
イド７１が設けられている。

【００４１】一方、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方には、ス
ライダ保持治具セットプレート７０が設けられている。
このスライダ保持治具セットプレート７０は、スライダ
を保持するスライダ保持治具８０を位置決めするための
ものである。スライダ保持治具８０は、本発明における
スライダ保持具に対応する。スライダ保持治具セットプ
レート７０のＸ方向の両端部近傍における下面には、ガ
イド７１に係合する係合部７２が接合されている。そし
て、この係合部７２がガイド７１に沿って移動すること
により、スライダ保持治具セットプレート７０がＹ方向
に移動するようになっている。スライダ保持治具セット
プレート７０は、最も前側に配置された状態でＸ−Ｙテ
ーブル１３の上方の位置に配置され、この状態から後ろ
側に移動することにより、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方の
位置から退避するようになっている。

【００４２】図９は、スライダ保持治具セットプレート
７０が移動する様子を示したものである。スライダ保持
治具セットプレート７０が最も後ろ側（図において右
側）に配置された状態でスライダ保持治具セットプレー
ト７０の後端部に対応する位置には、スライダ保持治具
セットプレート７０の後ろ側への移動を規制するための
ストッパ７５が設けられている。

【００４３】また、図１０は、Ｘ−Ｙテーブル１３の上
方の位置におけるスライダ保持治具セットプレート７０
の有無を検出するためのセンサを示す説明図である。こ
の図に示したように、保持治具セットプレート７０の前
端部には、センサ作動片７３が設けられている。スライ
ダ保持治具セットプレート７０が最も前側に配置された
状態でスライダ保持治具セットプレート７０の前端部に
対応する位置には、センサ作動片７３を検出することに
よって、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方の位置におけるスラ
イダ保持治具セットプレート７０の有無を検出するスラ
イダ保持治具セットプレート検出センサ７４が設けられ
ている。このセンサ７４には、例えば、アンプを内蔵し
た透過型のフォトセンサが用いられる。

【００４４】本実施の形態では、スライダ保持治具セッ
トプレート検出センサ７４によって、Ｘ−Ｙテーブル１
３の上方の位置からスライダ保持治具セットプレート７
０が退避されたことが検出され、その後、Ｘ−Ｙテーブ
ル１３の上方の位置にスライダ保持治具セットプレート
７０が配置されたことが検出された後でなければ、加工
処理を行うことができないようにしている。これは、１
回の加工処理が終了する毎に、一旦、Ｘ−Ｙテーブル１
３の上方の位置からスライダ保持治具セットプレート７
０を退避させ、後述するダイヤモンドラッピングシート
を張り替えるようにするためである。

【００４５】また、図１に示したように、スライダ保持
治具セットプレート７０上には、このスライダ保持治具
セットプレート７０にスライダ保持治具８０が装着され
ているか否かを検出するためのスライダ保持治具検出セ
ンサ７５が設けられている。このセンサ７５には、例え
ば、スライダ保持治具８０を挟んで対向する位置に発光
部および受光部が配置されたフォトセンサが用いられ
る。

【００４６】本実施の形態に係る加工装置１０では、ス
ライダ保持治具検出センサ７５によって、スライダ保持
治具８０がないのを確認してから、Ｘ−Ｙテーブル１３
の位置を揺動の原点に復帰させるようにしている。

【００４７】本実施の形態に係る加工装置１０は、更
に、スライダ保持治具８０によって保持されたスライダ
に対して下向きの荷重を付加すると共に、付加する荷重
の大きさを調整可能な荷重付加部１００を備えている。
荷重付加部１００の構成については、後で詳しく説明す
る。

【００４８】次に、図１１ないし１５を参照して、ワイ
ヤ巻きブロック３０の構成について説明する。図１１は
ワイヤ巻きブロック３０の側面図、図１２はワイヤ巻き
ブロック３０の正面図、図１３はワイヤ巻きブロック３
０に用いられる弾性部材を示す斜視図、図１４はワイヤ
巻きブロック３０に用いられる変形用部材を示す斜視図
である。

【００４９】図１１および図１２に示したように、ワイ
ヤ巻きブロック３０は、ブロック本体３１を備えてい
る。このブロック本体３１には、上面で開口する直方体
形状の凹部３１ａが形成されている。凹部３１ａ内に
は、図１３に示したような直方体形状の弾性部材３２、
または図１４に示したような変形用部材３３が収納され
るようになっている。弾性部材３２は、例えばシリコー
ンゴムによって形成されている。弾性部材３２は、凹部
３１ａ内に収納されたとき、その上面がブロック本体３
１の上面と同一面となるようになっている。変形用部材
３３の上面には、変形用部材３３の長手方向に直交する
方向に延びる複数の凸部３３ａが形成されている。各凸
部３３ａは、断面が矩形になっている。変形用部材３３
は、例えばステンレス鋼によって形成されている。変形
用部材３３は、凹部３１ａ内に収納されたとき、その凸
部３３ａの上面がブロック本体３１の上面と同一面とな
るようになっている。

【００５０】凹部３１ａ内に弾性部材３２または変形用
部材３３が収納されたブロック本体３１の外周には、ワ
イヤ３４が複数回巻き付けられている。ワイヤ３４の各
端部は、ブロック本体３１の長手方向の両端部近傍にお
いて、ワイヤ止めねじ３５によって、ブロック本体３１
に対して固定されている。なお、凹部３１ａ内に変形用
部材３３が収納されている場合には、ワイヤ３４のう
ち、ワイヤ巻きブロック３０における上面部分に位置す
る部分は、変形用部材３３の凸部３３ａの上に配置され
るようになっている。

【００５１】ブロック本体３１の長手方向の両端部近傍
には、止めねじを通すための孔３６が形成されている。
そして、図３および図４に示したように、ワイヤ巻きブ
ロック３０は、止めねじ用の孔３６を通された止めねじ
３７によって、プレート１８上に固定されている。

【００５２】図１５は、ワイヤ巻きブロック３０と、そ
の上に配置されるゴムシートおよびダイヤモンドラッピ
ングシートを示す斜視図である。なお、この図では、ワ
イヤ巻きブロック３０として、ブロック本体３１の凹部
３１ａ内に変形用部材３３が収納されたものを示してい
るが、凹部３１ａ内に弾性部材３２が収納されたもので
もよい。ワイヤ巻きブロック３０の上には、ゴムシート
３８が配置され、このゴムシート３８の上にダイヤモン
ドラッピングシート３９が配置される。ゴムシート３８
は、例えばシリコーンゴムによって形成されている。ダ
イヤモンドラッピングシート３９は、本発明における研
磨部材に対応する。

【００５３】なお、本実施の形態に係る加工装置１０で
は、目的によっては、ワイヤ巻きブロック３０の代わり
に、図１６に示したようなプレート９０が用いられる。
このプレート９０は、例えばステンレス鋼によって形成
されている。プレート９０を使用する場合には、プレー
ト９０がプレート１８上に固定され、プレート９０上
に、ゴムシート３８が配置され、このゴムシート３８の
上に、図１５に示したようなダイヤモンドラッピングシ
ート３９が配置される。

【００５４】ここで、図１７ないし図１９を参照して、
ワイヤ巻きブロック３０の上に、ゴムシート３８および
ダイヤモンドラッピングシート３９を配置する方法の一
例について説明する。図１７に示したように、プレート
１８上には、複数のワイヤ巻きブロック３０が固定され
る。ゴムシート３８は、全てのワイヤ巻きブロック３０
を覆うように配置される。図１７に示した例では、ゴム
シート３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９を
配置する場合、まず、ダイヤモンドラッピングシート３
９を台紙９１の上に載せる。このとき、ダイヤモンドラ
ッピングシート３９の端が台紙９１の端よりも少しはみ
出るようにする。次に、ダイヤモンドラッピングシート
３９の台紙９１の端よりはみ出た部分を、ゴムシート３
８上のダイヤモンドラッピングシート３９を配置する領
域の端の部分に当て、その部分を手で押さえ、台紙９１
を、矢印９２で示した方向に引っ張りながら、ゴムシー
ト３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９を張っ
てゆく。

【００５５】図１８は、このようにしてゴムシート３８
の上にダイヤモンドラッピングシート３９を張った後の
状態を示す平面図、図１９は、その正面図である。図１
８に示したように、本実施の形態に係る加工装置１０で
は、ワイヤ巻きブロック３０は、Ｘ方向（図１８におけ
る矢印が示す左右方向）に５個、Ｙ方向（図１８におけ
る矢印が示す上下方向）に２個配列され、合計１０個設
けられている。また、ワイヤ３４は、Ｘ方向に沿って配
置される。

【００５６】次に、図２０ないし図２３を参照して、ス
ライダ保持治具セットプレート７０について説明する。
本実施の形態に係る加工装置１０では、スライダ保持治
具セットプレート７０として２種類のものが用意されて
いる。以下、第１の種類のスライダ保持治具セットプレ
ートを符号７０Ａで表し、第２の種類のスライダ保持治
具セットプレートを符号７０Ｂで表す。また、符号７０
は、２種類のスライダ保持治具セットプレート７０Ａ，
７０Ｂを代表して表すものとする。

【００５７】図２０は、第１の種類のスライダ保持治具
セットプレート７０Ａの平面図、図２１は、図２０のＡ
−Ａ′線断面図である。これらの図に示したように、ス
ライダ保持治具セットプレート７０Ａには、スライダ保
持治具８０が挿通される１０個の孔７６Ａが形成されて
いる。この１０個の孔７６Ａは、図１８における１０個
のワイヤ巻きブロック３０と同様の位置関係となるよう
に配置されている。また、孔７６Ａは、図２１に示した
ように、垂直方向に対して所定の角度で傾いている。こ
れにより、孔７６Ａは、ダイヤモンドラッピングシート
３９の研磨面に対してスライダの媒体対向面が傾いた状
態で、スライダがダイヤモンドラッピングシート３９に
当接するように、スライダ保持治具８０を位置決めする
ようになっている。

【００５８】図２２は、第２の種類のスライダ保持治具
セットプレート７０Ｂの平面図、図２３は、図２２のＢ
−Ｂ′線断面図である。これらの図に示したように、ス
ライダ保持治具セットプレート７０Ｂには、スライダ保
持治具８０が挿通される１０個の孔７６Ｂが形成されて
いる。この１０個の孔７６Ｂは、図１８における１０個
のワイヤ巻きブロック３０と同様の位置関係となるよう
に配置されている。また、孔７６Ｂは、図２３に示した
ように、垂直方向に延びている。これにより、孔７６Ｂ
は、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対し
てスライダの媒体対向面が平行な状態で、スライダがダ
イヤモンドラッピングシート３９に当接するように、ス
ライダ保持治具８０を位置決めするようになっている。

【００５９】スライダ保持治具セットプレート７０Ａ，
７０Ｂのいずれにも、図１および図２に示した係合部７
２にプレート７０Ａ，７０Ｂを固定するためのねじが挿
通される複数のねじ孔７７が形成されている。また、ス
ライダ保持治具セットプレート７０Ａ，７０Ｂのいずれ
にも、スライダ保持治具検出センサ７５を取り付けるた
めのねじが挿通されるねじ孔７８が形成されている。

【００６０】次に、図２４を参照して、本実施の形態に
係る加工装置１０によって加工されるスライダの一例に
ついて説明する。この図に示したスライダ１５０は、薄
膜磁気ヘッドに利用されるものであり、表面が媒体対向
面（エアベアリング面）となるレール部を有すると共
に、スライダ１５０の側面よりも内側にレール部の外側
の側面が配置されるようにレール部が形成されたもので
ある。

【００６１】また、このスライダ１５０は、負圧スライ
ダであり、表面が媒体対向面となる２本のレール部１５
３を有すると共に、スライダ１５０の側面１５２すなわ
ちバーの切断部よりも所定距離だけ内側にレール部１５
３の外側の側面１５４が配置されるように、レール部１
５３が形成されている。

【００６２】図２４において、動作の際における空気の
流れる方向を、符号１６６で示している。スライダ１５
０では、空気が流入する側である空気流入側の面を流入
側端面ＬＥとし、空気が流出する側である空気流出側の
面を流出側端面をＴＲとする。また、それに対し、空気
の流れに沿う方向に形成されており、流入側端面ＬＥ、
流出側端面ＴＲおよび媒体対向面と交差する面を側面と
する。ただし、流入側端面ＬＥ、流出側端面ＴＲと、媒
体対向面と、側面とは、多くの場合には互いに直交して
いる。また、図２４に示したスライダ１５０において、
レール部１５３の外側の側面１５４とは、レール部１５
３の側面のうち、スライダの側面１５２に最も近い２つ
の側面である。

【００６３】２本のレール部１５３の間は、凹部形状の
負圧発生部１５５になっている。レール部１５３の幅
は、空気流入側から空気流出側まで均一ではなく、空気
流入側の幅が大きく、次いで空気流出側の幅が大きく、
中間部分の幅が最も小さくなっている。また、レール部
１５３における空気流入側の端部近傍には、端部側ほど
高さの低くなるテーパ部１６０が形成されている。ま
た、スライダ１５０の空気流出側の端部には、磁気ヘッ
ド素子１５７と、この磁気ヘッド素子１５７に接続され
た端子１５８が形成されている。このようなスライダ１
５０では、レール部１５３の高さ（負圧発生部１５５の
深さ）は、数μｍ（例えば０．５〜５μｍ）程度であ
る。また、スライダ１５０の側面１５２とレール部１５
３の外側の側面１５４との間の幅は、数十μｍ（例えば
１０〜６０μｍ）程度である。

【００６４】なお、図２４に示したスライダ１５０は、
符号１５０ａで示した大部分が、例えばアルティック
（Ａｌ₂Ｏ₃・ＴｉＣ）によって形成され、符号１５０
ｂで示した空気流出側の一部が、磁気ヘッド素子１５７
や端子１５８を囲うアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）によって形
成されている。

【００６５】次に、図２５および図２６を参照して、ワ
イヤ巻きブロック３０とスライダ１５０との関係につい
て説明する。図２５は、加工時におけるスライダ１５０
の近傍を示す説明図である。また、図２６は、図２５の
Ｃ部を拡大して示したものである。なお、図２５は、ワ
イヤ巻きブロック３０として、ブロック本体３１の凹部
３１ａ内に変形用部材３３が収納されたものを用いた場
合の例を表しており、図２５には、このワイヤ巻きブロ
ック３０のうちの変形用部材３３およびワイヤ３４のみ
を示している。

【００６６】図２５に示したように、スライダ保持治具
８０には、その下端側に、複数のスライダ固定部８０ａ
が設けられており、各スライダ固定部８０ａに対して、
加工対象となるスライダ１５０が、例えば接着によって
固定されるようになっている。

【００６７】変形用部材３３の凸部３３ａの上に配置さ
れたワイヤ３４は、個々のスライダ１５０の分離位置に
対応する位置に配置されている。個々のスライダ１５０
の分離位置は、言い換えると、図２６に示したように、
スライダ保持治具８０に固定されたスライダ１５０のレ
ール部１５３の媒体対向面とレール部１５３の外側の側
面１５４との間の第１のエッジ部分１６１およびスライ
ダ１５０の側面１５２とこれに直交するスライダ１５０
の記録媒体（磁気ディスク）側となる面１５９との間の
第２のエッジ部分１６２に対応する位置である。そのた
め、ワイヤ３４上に配置されたゴムシート３８およびダ
イヤモンドラッピングシート３９は、第１のエッジ部分
１６１および第２のエッジ部分１６２に対応する部分が
第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２
側に突出するように変形される。その結果、ダイヤモン
ドラッピングシート３９は、少なくとも、第１のエッジ
部分１６１および第２のエッジ部分１６２に当接するよ
うになっている。

【００６８】上述の作用は、ブロック本体３１の凹部３
１ａ内に弾性部材３２が収納された場合も同様である。
ただし、ブロック本体３１の凹部３１ａ内に変形用部材
３３が収納されている場合には、凹部３１ａ内に弾性部
材３２が収納されている場合に比べて、ワイヤ３４の移
動が容易になる。そのため、凹部３１ａ内に収納する部
材として変形用部材３３を用いた場合には、スライダ保
持治具８０に対するスライダ１５０の固定位置が若干ず
れている場合でも、ワイヤ３４によって隆起されたゴム
シート３８およびダイヤモンドラッピングシート３９
が、個々のスライダ１５０の分離位置に入り込むことに
より、ワイヤ３４が分離位置に対応する位置に移動す
る。その結果、隣接する２つのスライダ１５０に対し
て、ダイヤモンドラッピングシート３９が均一に当た
り、スライダ１５０の面取り加工を均一に行うことが可
能となる。

【００６９】ところで、スライダ１５０の空気流出側の
端部には、磁気ヘッド素子１５７が形成されている。従
って、スライダ１５０の空気流出側の端部におけるエッ
ジ部分は、面取り加工を行うにしても、加工の程度を抑
えることが好ましい。

【００７０】ブロック本体３１の凹部３１ａ内に収納す
る部材として変形用部材３３を用いた場合には、変形用
部材３３の凸部３３ａ上にワイヤ３４が配置され、その
ワイヤ３４上にゴムシート３８およびダイヤモンドラッ
ピングシート３９が配置されるため、隣接する凸部３３
ａ間の部分では、変形用部材３３の上面とゴムシート３
８との間に大きな隙間が生じる。その結果、隣接する凸
部３３ａ間の部分では、スライダ１５０に対するダイヤ
モンドラッピングシート３９の当たり方が緩くなる。そ
のため、スライダ１５０の空気流出側の端部におけるエ
ッジ部分の面取り加工の程度を抑えることが可能とな
る。

【００７１】変形用部材３３の凸部３３ａの幅や高さ
は、スライダ保持治具８０に固定された隣り合うスライ
ダ１５０間の距離（以下、分離幅と言う。）ｄ等に応じ
て適宜に設定されるが、凸部３３ａの幅は０．０５〜
０．２０ｍｍの範囲内で設定されるのが好ましく、凸部
３３ａの高さは０．１０〜０．５０ｍｍの範囲内で設定
されるのが好ましい。ここでは、一例として、分離幅ｄ
を０．２ｍｍとし、凸部３３ａの幅を０．１５ｍｍ、高
さを０．４０ｍｍとしている。

【００７２】ワイヤ３４は、例えば、ナイロン（商品
名）等の合成繊維やステンレス鋼等によって形成されて
いる。ワイヤ３４の外径は、分離幅ｄ等に応じて適宜に
設定されるが、本実施の形態では、０．０３〜０．２０
ｍｍの範囲内で設定されるのが好ましい。ここでは、一
例として、ワイヤ３４の外径を０．０９ｍｍとしてい
る。

【００７３】ゴムシート３８の硬度は、３０〜６０が好
ましいが、研磨量を多くする場合ほど、柔らかいものを
用いるのが好ましい。ここでは、一例として、ゴムシー
ト３８の硬度を５０としている。また、ゴムシート３８
の厚みは、０．１０〜０．３０ｍｍが好ましい。ここで
は、一例として、ゴムシート３８の厚みを０．３０ｍｍ
としている。

【００７４】ダイヤモンドラッピングシート３９は、例
えば、可撓性フィルム上に研磨材層を形成して構成され
ている。可撓性フィルムは、例えばポリエチレンテレフ
タレート（ＰＥＴ）によって形成されている。研磨材層
は、例えば、ダイヤモンド粒子をバインダと共に可撓性
フィルム上に塗布した後、乾燥することによって形成さ
れる。また、ここでは、一例として、ダイヤモンド粒子
の粒径を０．２５μｍとしている。可撓性フィルムの厚
みは０〜６μｍが好ましい。可撓性フィルムの厚みが０
μｍの場合とは、可撓性フィルムを用いずに、ダイヤモ
ンド粒子とバインダによってダイヤモンドラッピングシ
ート３９を形成する場合である。ここでは、一例とし
て、可撓性フィルムの厚みを、４μｍまたは２μｍとし
ている。

【００７５】また、Ｘ−Ｙテーブル１３によるＹ方向の
揺動幅は、Ｘ方向の揺動幅よりも大きいことが好まし
い。上述のように分離幅ｄを０．２ｍｍとし、ワイヤ３
４の外径を０．０９ｍｍとした場合には、Ｘ方向の揺動
幅は１〜５ｍｍが好ましく、Ｙ方向の揺動幅は０．０５
〜０．１５ｍｍが好ましい。ここでは、一例として、Ｘ
方向の揺動幅を３ｍｍとし、Ｙ方向の揺動幅を０．０８
ｍｍとしている。

【００７６】ところで、本実施の形態に係る加工装置１
０では、プレート１８上に、複数のワイヤ巻きブロック
３０を設けている。これに対し、プレート１８上に、１
つの大きな弾性部材や変形用部材を固定し、この弾性部
材や変形用部材の上に、ワイヤを配置し、その両端部を
プレート１８の端部に固定することも考えられる。しか
しながら、このような構成では、ワイヤの張力が不安定
になり、加工精度が低下するおそれがある。

【００７７】これに対し、本実施の形態では、各ワイヤ
巻きブロック３０において、ワイヤ３４のうちブロック
３０の上面部分に位置する部分の長さが短いため、上述
のような構成の場合に比べて、ワイヤ３４の張力は安定
する。従って、本実施の形態によれば、加工精度を向上
させることができる。

【００７８】次に、図２７および図２８を参照して、荷
重付加部１００の構成について説明する。図２７は、荷
重付加部１００を正面側から見た断面図、図２８は、荷
重付加部１００を側面側から見た断面図である。これら
の図に示したように、荷重付加部１００は、１段目の重
り保持板１１０と、この重り保持板１１０の上に固定さ
れた、側壁のみからなる２つの枠１１１と、各枠１１１
の上に固定された２段目の２つの重り保持板１２０と、
各重り保持板１２０の上に固定された、側壁のみからな
る２つの枠１２１と、各枠１２１の上に固定された３段
目の２つの重り保持板１３０と、各重り保持板１３０の
上に固定された、側面および上面を有する２つのカバー
１３１とを備えている。２つずつ設けられた枠１１１、
重り保持板１２０、枠１２１、重り保持板１３０および
カバー１３１は、前後方向に配列されている。

【００７９】重り保持板１１０には、断面が矩形の１０
個の孔１１２が形成されている。この孔１１２は、図２
０または図２２に示したスライダ保持治具セットプレー
ト７０における１０個の孔７６と同様の位置関係となる
ように配置されている。重り保持板１２０，１３０に
は、重り保持板１１０における孔１１２に対応する位置
に、それぞれ、孔１１２と同様の形状の孔１２２，１３
２が形成されている。各孔１１２，１２２，１３２に
は、それぞれ、重り保持具１４０が装着されている。各
重り保持具１４０には、垂直方向に延びる断面円形の３
個の孔１４１が形成されている。

【００８０】１段目における各重り保持具１４０には、
それぞれ３個の重り１１３が装着されている。この重り
１１３は、細長い円柱形状の軸部材１１４と、この軸部
材１１４の上端部側に固定された、軸部材１１４よりも
径の大きな円柱形状の大径部材１１５とで構成されてい
る。軸部材１１４の下端面は、球面状になっている。大
径部材１１５には、下端面で開口する断面円形の凹部が
形成され、この凹部内に軸部材１１４の上端側が挿入さ
れている。そして、大径部材１１５は、軸部材１１４に
対してねじ止めされている。このように軸部材１１４と
大径部材１１５からなる重り１１３は、所定の重さを有
するブロックとなる。なお、このブロックの重さは、任
意でよい。つまり、使用用途等に応じて適宜変えればよ
い。本実施の形態では、例えば２５ｇとする。また、１
段目の重り１１３では、軸部材１１４において大径部材
１１５の下端面より下側に突出する部分が軸部１１３ａ
となり、この軸部１１３ａより上側の部分が大径部１１
３ｂとなる。従って、重り保持具１４０は、重り１１３
の軸部１１３ａを挿通させ、大径部１１３ｂの挿通を阻
止することによって、重り１１３を保持するようになっ
ている。

【００８１】２段目における各重り保持具１４０には、
それぞれ３個の重り１２３が装着されている。この重り
１２３は、細長い円柱形状の軸部材１２４と、この軸部
材１２４の途中にねじ止めされたフランジ部材１２５
と、軸部材１２４におけるフランジ部材１２５よりも上
側の部分に装着された１個以上の荷重調整用ブロック１
２６とで構成されている。軸部材１２４の下端面は、球
面状になっている。フランジ部材１２５の外径は、軸部
材１２４の外径よりも大きくなっている。また、荷重調
整用ブロック１２６の外径は、フランジ部材１２５の外
径と等しくなっている。荷重調整用ブロック１２６に
は、それぞれ、軸部材１２４を挿通可能な孔が形成され
ている。そして、この孔に軸部材１２４を挿通すること
で、複数の荷重調整用ブロック１２６を、フランジ部材
１２５の上に積み重ねることができるようになってい
る。ここでは、最大４個まで、荷重調整用ブロック１２
６を積み重ねることができるようになっている。

【００８２】２段目の重り１２３では、軸部材１２４と
フランジ部材１２５とを組み合わせたものが、所定の重
さを有するブロックとなり、その重さは例えば２５ｇに
なっている。また、各荷重調整用ブロック１２６も、所
定の重さを有するブロックとなり、その重さは例えば２
５ｇになっている。従って、荷重調整用ブロック１２６
の数を変えることで、重り１２３全体の重さを２５ｇ〜
１２５ｇの範囲で、２５ｇ単位で変えることができる。

【００８３】なお、２段目の重り１２３では、最も上に
配置される荷重調整用ブロック１２６は、荷重調整用ブ
ロック１２６の個数に関わらず、軸部材１２４に対して
一定の位置、すなわち４個の荷重調整用ブロック１２６
を積み重ねた場合における最上段のブロック１２６の位
置でねじ止めされるようになっている。これは、最も上
に配置される荷重調整用ブロック１２６によって、３段
目の重り１３３を押し上げる必要があるためである。

【００８４】また、２段目の重り１２３では、軸部材１
２４においてフランジ部材１２５の下端面より下側に突
出する部分が軸部１２３ａとなり、この軸部１２３ａよ
り上側の部分が大径部１２３ｂとなる。従って、重り保
持具１４０は、重り１２３の軸部１２３ａを挿通させ、
大径部１２３ｂの挿通を阻止することによって、重り１
２３を保持するようになっている。

【００８５】３段目における各重り保持具１４０には、
それぞれ３個の重り１３３が装着されている。この重り
１３３は、細長い円柱形状の軸部材１３４と、この軸部
材１３４の途中にねじ止めされたフランジ部材１３５
と、軸部材１３４におけるフランジ部材１３５よりも上
側の部分に装着された１個以上の荷重調整用ブロック１
３６とで構成されている。軸部材１３４の下端面は、球
面状になっている。フランジ部材１３５の外径は、軸部
材１３４の外径よりも大きくなっている。また、荷重調
整用ブロック１３６の外径は、フランジ部材１３５の外
径と等しくなっている。荷重調整用ブロック１３６に
は、それぞれ、軸部材１３４を挿通可能な孔が形成され
ている。そして、この孔に軸部材１３４を挿通すること
で、複数の荷重調整用ブロック１３６を、フランジ部材
１３５の上に積み重ねることができるようになってい
る。ここでは、最大４個まで、荷重調整用ブロック１３
６を積み重ねることができるようになっている。

【００８６】３段目の重り１３３では、軸部材１３４と
フランジ部材１３５とを組み合わせたものが、所定の重
さを有するブロックとなり、その重さは例えば２５ｇに
なっている。また、各荷重調整用ブロック１３６も、所
定の重さを有するブロックにとなり、その重さは例えば
２５ｇになっている。従って、荷重調整用ブロック１３
６の数を変えることで、重り１３３全体の重さを２５ｇ
〜１２５ｇの範囲で、２５ｇ単位で変えることができ
る。

【００８７】なお、３段目の重り１３３では、最も上に
配置される荷重調整用ブロック１３６を軸部材１３４に
対して一定の位置でねじ止めする必要はない。

【００８８】また、３段目の重り１３３では、軸部材１
３４においてフランジ部材１３５の下端面より下側に突
出する部分が軸部１３３ａとなり、この軸部１３３ａよ
り上側の部分が大径部１３３ｂとなる。従って、重り保
持具１４０は、重り１３３の軸部１３３ａを挿通させ、
大径部１３３ｂの挿通を阻止することによって、重り１
３３を保持するようになっている。

【００８９】各重り１１３，１２３，１３３の軸部１１
３ａ，１２３ａ，１３３ａには、螺旋状の溝１３８が形
成されている。この溝１３８は、軸部１１３ａ，１２３
ａ，１３３ａと重り保持具１４０の孔とが擦れて発生す
る削りくず（粉）を取り込んで、軸部１１３ａ，１２３
ａ，１３３ａの円滑な動作を維持させる機能を有してい
る。

【００９０】なお、図２９に示したように、重り保持具
１４０の孔に、螺旋状の溝１３９を形成しても、同様の
効果を得ることができる。この効果を得るためには、溝
１３８と溝１３９の少なくとも一方を設ければよい。

【００９１】図１に示したように、ベース部１２の上に
設けられたレール部２９には、Ｙ方向に延びるガイド１
０１が設けられている。このガイド１０１の上には、Ｙ
方向可動部１０３が設けられている。この可動部１０３
には、ガイド１０１に係合する係合部１０２が設けられ
ている。そして、係合部１０２がガイド１０１に沿って
移動することにより、可動部１０３がＹ方向に移動する
ようになっている。また、可動部１０３には、上下方向
に延びるガイド１０４が設けられている。

【００９２】一方、重り保持板１１０の左右方向の両端
部は、上下方向可動部１０９に連結されている。この可
動部１０９には、ガイド１０４に係合する係合部１０５
が設けられている。そして、係合部１０５がガイド１０
４に沿って移動することにより、可動部１０９が上下方
向に移動するようになっている。

【００９３】上下方向可動部１０９は、上下方向駆動シ
リンダ１０８によって上下方向に駆動されるようになっ
ている。また、Ｙ方向可動部１０３は、図２に示したＹ
方向駆動シリンダ１０７によってＹ方向に駆動されるよ
うになっている。

【００９４】このようにして、荷重付加部１００は、Ｙ
方向および上下方向に移動可能になっている。図２に
は、荷重付加部１００を後方に移動させて、Ｘ−Ｙテー
ブル１３上から退避させた状態を示しているが、この状
態から荷重付加部１００を前方に移動させると、荷重付
加部１００をＸ−Ｙテーブル１３上に配置することがで
きる。

【００９５】また、荷重付加部１００は、最下段におけ
る重り１１３の軸部１１３ａの下端部がスライダ保持治
具８０に対して接触せずにスライダ保持治具８０の上方
に位置する状態から、下方向に移動させることにより、
複数段に配置された重り１１３，１２３，１３３が、下
段側から順に、スライダ保持治具８０に対して荷重を付
加する状態となる。以下、この作用について、図３０な
いし図３３を参照して説明する。

【００９６】図３０は、荷重付加部１００の最下段にお
ける重り１１３の軸部１１３ａの下端部がスライダ保持
治具８０の上方に位置する状態における荷重付加部１０
０を表している。この状態では、スライダ保持治具８０
には、外部より荷重は付加されない。

【００９７】図３１は、図３０に示した状態から荷重付
加部１００を下方向に移動させて、最下段における重り
１１３の軸部１１３ａの下端部がスライダ保持治具８０
の上端部に当接し、最下段における重り保持具１４０に
対して、重り１１３が持ち上がった状態を表している。
なお、図３１に示した状態では、重り１１３の上端部が
２段目における重り１２３の軸部１２３ａの下端部には
当接していない。この状態では、スライダ保持治具８０
に対して、最下段における重り１１３による荷重のみが
付加される。ここで、１つのスライダ保持治具８０に
は、３個の重り１１３によって荷重が付加されるので、
１つの重り１１３を２５ｇとした場合には、１つのスラ
イダ保持治具８０には、７５ｇの荷重が付加されること
になる。

【００９８】図３２は、図３１に示した状態から更に荷
重付加部１００を下方向に移動させて、最下段における
重り１１３の上端部が２段目における重り１２３の軸部
１２３ａの下端部に当接し、２段目における重り保持具
１４０に対して、重り１２３が持ち上がった状態を表し
ている。なお、図３２に示した状態では、重り１２３の
上端部が３段目における重り１３３の軸部１３３ａの下
端部には当接していない。この状態では、スライダ保持
治具８０に対して、最下段における重り１１３と２段目
における重り１２３による荷重が付加される。ここで、
１つのスライダ保持治具８０には、３個の重り１１３お
よび３個の重り１２３によって荷重が付加されるので、
１つの重り１１３を２５ｇ、１つの重り１２３を１２５
ｇとした場合には、１つのスライダ保持治具８０には、
４５０ｇの荷重が付加されることになる。

【００９９】図３３は、図３２に示した状態から更に荷
重付加部１００を下方向に移動させて、２段目における
重り１２３の上端部が３段目における重り１３３の軸部
１３３ａの下端部に当接し、３段目における重り保持具
１４０に対して、重り１３３が持ち上がった状態を表し
ている。この状態では、スライダ保持治具８０に対し
て、最下段における重り１１３と２段目における重り１
２３と３段目における重り１３３による荷重が付加され
る。ここで、１つのスライダ保持治具８０には、３個の
重り１１３、３個の重り１２３および３個の重り１３３
によって荷重が付加されるので、１つの重り１１３を２
５ｇ、１つの重り１２３を１２５ｇ、１つの重り１３３
を１２５ｇとした場合には、１つのスライダ保持治具８
０には、８２５ｇの荷重が付加されることになる。

【０１００】このような荷重付加部１００の機能を実現
するには、最下段における重り１１３が上下方向に移動
できる距離が、スライダ保持治具８０に荷重を付加しな
い状態（図３０に示した状態）における重り１１３の上
端部と重り１２３の軸部１２３ａの下端部との間の距離
と、重り１２３の上端部と重り１３３の軸部１３３ａの
下端部との間の距離とを足した距離よりも大きいことが
必要である。

【０１０１】このように、本実施の形態では、スライダ
保持治具８０に対して複数の重り１１３，１２３，１３
３による荷重を段階的に加えることによって、スライダ
保持治具８０に付加する荷重を調整することができる。

【０１０２】そのため、本実施の形態では、例えば、ス
ライダ１５０のレール部のエッジ部分の面取りがまだ行
われていないときや面取りの初期の段階では、スライダ
保持治具８０に対して対して小さい荷重を付加してエッ
ジ部分の面取り加工を行い、面取り加工の進行に応じ
て、スライダ保持治具８０に付加する荷重を増加させる
ことができる。これにより、スライダ１５０のエッジ部
分で、薄いダイヤモンドラッピングシート３９が切れる
ことを防止することができる。なお、１つのスライダ保
持治具８０に荷重を付加する１段あたりの重りの数は、
３個に限らず、２個や４個以上でもよい。また、荷重付
加部１００における各重り１１３，１２３，１３３の重
さや、各重り１１３，１２３，１３３を構成するブロッ
クの重さは、適宜変えてもよい。

【０１０３】なお、本実施の形態に係る加工装置１０
は、図示しないが、更に、操作パネル２３における操作
に対応した信号や各センサの出力信号を入力し、各駆動
部分を制御する制御部を備えている。

【０１０４】次に、本実施の形態に係る加工装置１０の
作用について説明する。なお、以下の説明は、本実施の
形態に係るスライダの加工方法の説明を兼ねている。

【０１０５】加工装置１０を用いてスライダ１５０を加
工する場合には、まず、スライダ保持治具８０に対し
て、加工対象となる複数のスライダ１５０を、記録媒体
側となる面が下側となるように、例えば接着によって固
定する。なお、この時点におけるスライダ１５０は、一
列に配列された複数の磁気ヘッド素子を含み媒体対向面
となる面の研磨が終了した後のバーに対して、イオンミ
リング等によってレール部を形成した後に、バーを切断
して得られたものである。

【０１０６】本実施の形態では、スライダ１５０が固定
されたスライダ保持治具８０に対して、好ましくは、以
下で説明するような３段階の面取り加工を行う。

【０１０７】図３４は、１段階目の面取り加工の様子を
示す説明図である。１段階目の面取り加工では、ワイヤ
巻きブロック３０の代わりに、図１６に示したようなプ
レート９０が用いられる。そして、このプレート９０上
に、ゴムシート３８が配置され、このゴムシート３８の
上に、ダイヤモンドラッピングシート３９が配置され
る。また、スライダ保持治具セットプレート７０として
は、プレート７０Ａが用いられる。１段階目の面取り加
工では、図３４に示したように、プレート７０Ａによっ
て、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対し
てスライダ１５０の媒体対向面が傾いた状態で、スライ
ダ１５０がダイヤモンドラッピングシート３９に当接す
るように、スライダ保持治具８０が位置決めされる。

【０１０８】なお、本実施の形態では、スライダ保持治
具８０がプレート７０Ａによって位置決めされたとき
に、スライダ１５０の媒体対向面のうちの空気流入端側
が下側となるように、スライダ保持治具８０に対してス
ライダ１５０が固定されている。

【０１０９】スライダ保持治具８０の側面とダイヤモン
ドラッピングシート３９の研磨面とのなす角度θは、６
０°以上で、９０°より小さい角度の範囲内が好まし
く、特に、７０°±２．５°が好ましい。

【０１１０】また、スライダ保持治具８０の上端部に
は、最下段における重り１１３の軸部１１３ａの下端部
が当接する。前述のように、スライダ保持治具８０に付
加する荷重は調整することができる。スライダ保持治具
８０に付加する荷重は、面取り加工の進行に応じて、段
階的に増加させることが好ましい。

【０１１１】１段階目の面取り加工では、図３４に示し
た状態で、Ｘ−Ｙテーブル１３が揺動され、スライダ１
５０の空気流入端側のエッジのみが面取り加工される。

【０１１２】図３５は、２段階目の面取り加工の様子を
示す説明図である。２段階目の面取り加工では、ブロッ
ク本体３１の凹部３１ａ内に弾性部材３２が収納された
ワイヤ巻きブロック３０が用いられる。従って、弾性部
材３２の上にワイヤ３４が配置され、ワイヤ３４の上に
ゴムシート３８が配置され、ゴムシート３８の上にダイ
ヤモンドラッピングシート３９が配置される。また、ス
ライダ保持治具セットプレート７０としては、プレート
７０Ａが用いられる。２段階目の面取り加工では、図３
５に示したように、プレート７０Ａによって、ダイヤモ
ンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダ１
５０の媒体対向面が傾いた状態で、スライダ１５０がダ
イヤモンドラッピングシート３９に当接するように、ス
ライダ保持治具８０が位置決めされる。

【０１１３】スライダ保持治具８０の側面とダイヤモン
ドラッピングシート３９の研磨面とのなす角度θは、６
０°以上で、９０°より小さい角度の範囲内が好まし
く、特に、７０°前後が好ましい。

【０１１４】また、スライダ保持治具８０の上端部に
は、最下段における重り１１３の軸部１１３ａの下端部
が当接する。前述のように、スライダ保持治具８０に付
加する荷重は調整することができる。スライダ保持治具
８０に付加する荷重は、面取り加工の進行に応じて、段
階的に増加させることが好ましい。

【０１１５】２段階目の面取り加工では、図２５に示し
たように、ワイヤ３４上に配置されたゴムシート３８お
よびダイヤモンドラッピングシート３９は、スライダ１
５０の第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分
１６２に対応する部分が第１のエッジ部分１６１および
第２のエッジ部分１６２側に突出するように変形され
る。その結果、ダイヤモンドラッピングシート３９は、
少なくとも、第１のエッジ部分１６１および第２のエッ
ジ部分１６２に当接するようになっている。

【０１１６】２段階目の面取り加工では、図３５に示し
た状態で、Ｘ−Ｙテーブル１３が揺動され、スライダ１
５０の空気流入端側のエッジが更に面取り加工されると
共に、段差を有する第１のエッジ部分１６１および第２
のエッジ部分１６２が同時に面取り加工される。このよ
うに、１段階目の面取り加工および２段階目の面取り加
工によって、スライダ１５０の空気流入端側のエッジ
は、他のエッジよりも多く面取り加工が施される。この
ように、スライダ１５０の空気流入端側のエッジを多く
面取り加工するのは、空気流入端側のエッジは、他のエ
ッジよりも記録媒体に接触する可能性が大きいからであ
る。また、１段階目の面取り加工および２段階目の面取
り加工によって、スライダ１５０の空気流入端側のエッ
ジは、斜面状に面取りされる。

【０１１７】図３６は、３段階目の面取り加工の様子を
示す説明図である。３段階目の面取りでは、ブロック本
体３１の凹部３１ａ内に変形用部材３３が収納されたワ
イヤ巻きブロック３０が用いられる。従って、弾性部材
３３の凸部３３ａの上にワイヤ３４が配置され、ワイヤ
３４の上にゴムシート３８が配置され、ゴムシート３８
の上にダイヤモンドラッピングシート３９が配置され
る。また、スライダ保持治具セットプレート７０として
は、プレート７０Ｂが用いられる。３段階目の面取り加
工では、図３６に示したように、プレート７０Ｂによっ
て、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対し
てスライダ１５０の媒体対向面が平行な状態で、スライ
ダ１５０がダイヤモンドラッピングシート３９に当接す
るように、スライダ保持治具８０が位置決めされる。

【０１１８】また、スライダ保持治具８０の上端部に
は、最下段における重り１１３の軸部１１３ａの下端部
が当接する。ここで、スライダ１５０の媒体対向面のう
ちの空気流入端側は、図３６におけるスライダ１５０の
右側になっている。本実施の形態では、図３６に示した
ように、スライダ１５０の媒体対向面のうちの空気流入
端側に対してより面取り加工を施すために軸部１１３ａ
の下端部は、スライダ保持治具８０の上端部のうちの右
側に偏った位置に当接するようにしている。また、前述
のように、スライダ保持治具８０に付加する荷重は調整
することができる。スライダ保持治具８０に付加する荷
重は、面取り加工の進行に応じて、段階的に増加させる
ことが好ましい。

【０１１９】３段階目の面取り加工では、ワイヤ３４上
に配置されたゴムシート３８およびダイヤモンドラッピ
ングシート３９は、スライダ１５０の第１のエッジ部分
１６１および第２のエッジ部分１６２に対応する部分が
第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２
側に突出するように変形される。その結果、ダイヤモン
ドラッピングシート３９は、少なくとも、第１のエッジ
部分１６１および第２のエッジ部分１６２に当接するよ
うになっている。

【０１２０】３段階目の面取り加工では、図３６に示し
た状態で、Ｘ−Ｙテーブル１３が揺動される。これによ
り、第１のエッジ部分１６１を含むスライダ１５０のレ
ール部１５３のエッジ部分全体と、第２のエッジ部分１
６２が同時に面取り加工される。また、３段階目の面取
り加工では、第１および第２の面取り加工によって斜面
状に面取り加工されたエッジ部分を含め、ダイヤモンド
ラッピングシート３９に当接するエッジ部分は、曲面状
に面取り加工される。

【０１２１】１段階目ないし３段階目の面取り加工は、
１台の加工装置１０を用いて、各段階毎にワイヤ巻きブ
ロック３０やスライダ保持治具セットプレート７０等を
取り替えて行うことも可能であるが、各段階用に設定さ
れた３台の加工装置１０を用いて行う方が効率的であ
る。

【０１２２】このような本実施の形態に係るスライダの
加工方法によれば、スライダ１５０の空気流入端側のエ
ッジ部分に対して、他のエッジ部分よりも多く面取り加
工を施すことができる。これにより、スライダ１５０の
耐衝撃性を向上させることができる。

【０１２３】ここで、スライダ１５０の空気流入端側の
エッジ部分に対して、本実施の形態による３段階の面取
り加工を施した場合と、他の方法で面取り加工を施した
場合とで、エッジ部分の形状を比較する。

【０１２４】なお、比較のための他の面取り加工の方法
には、図３７に示した方法と、図３８に示した方法とを
用いた。図３７に示した方法では、図３４に示した１段
階目の面取り加工と同様に、ワイヤ巻きブロック３０の
代わりに、図１６に示したようなプレート９０が用いら
れる。そして、このプレート９０上に、ゴムシート３８
が配置され、このゴムシート３８の上に、ダイヤモンド
ラッピングシート３９が配置される。また、スライダ保
持治具セットプレート７０としては、プレート７０Ｂが
用いられる。従って、図３７に示した方法では、ダイヤ
モンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダ
１５０の媒体対向面が平行な状態で、スライダ１５０が
ダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、
スライダ保持治具８０が位置決めされる。そして、この
状態で、Ｘ−Ｙテーブル１３が揺動されて、スライダ１
５０のエッジ部分の面取り加工が施される。

【０１２５】一方、図３８に示した方法では、図３５に
示した２段階目の面取り加工と同様に、ブロック本体３
１の凹部３１ａ内に弾性部材３２が収納されたワイヤ巻
きブロック３０が用いられる。従って、弾性部材３２の
上にワイヤ３４が配置され、ワイヤ３４の上にゴムシー
ト３８が配置され、ゴムシート３８の上にダイヤモンド
ラッピングシート３９が配置される。また、スライダ保
持治具セットプレート７０としては、プレート７０Ｂが
用いられる。従って、図３８に示した方法では、ダイヤ
モンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダ
１５０の媒体対向面が平行な状態で、スライダ１５０が
ダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、
スライダ保持治具８０が位置決めされる。そして、この
状態で、Ｘ−Ｙテーブル１３が揺動されて、スライダ１
５０のエッジ部分の面取り加工が施される。

【０１２６】図３７に示した方法や図３８で示した方法
によって面取り加工を施した場合におけるスライダ１５
０の空気流入端側のエッジ部分の形状の一例を図３９に
示す。また、本実施の形態による３段階の面取り加工を
施した場合におけるスライダ１５０の空気流入端側のエ
ッジ部分の形状の一例を図４０に示す。なお、図３９０
および図４０に示した形状は、触針式表面粗さ計を用い
て測定したものである。触針式表面粗さ計としては、英
国ランクテーラーホブソン（Rank Taylor-Hobson）
社製「タリステップ（Talystep）」（商品名）を用い
た。なお、触針には、先端部の曲率半径が２μｍのもの
を用いた。図３９および図４０において、横軸は水平方
向の位置、縦軸は垂直方向の位置を表している。

【０１２７】図３９に示した形状において、面取り加工
が施された領域の高さ方向の長さは、０．５μｍであっ
た。これに対し、図４０に示した形状において、面取り
加工が施された領域の高さ方向の長さは、５．０μｍで
あった。これらの図から、本実施の形態による３段階の
面取り加工によれば、スライダ１５０の空気流入端側の
エッジ部分に対して多く面取り加工を施すことができ、
スライダ１５０の耐衝撃性を向上させることが可能とな
ることが分かる。

【０１２８】次に、図４１ないし図４６を参照して、本
実施の形態におけるスライダ保持治具８０の側面とダイ
ヤモンドラッピングシート３９の研磨面とのなす角度θ
と、面取り加工後のエッジ部分の形状との関係について
説明する。

【０１２９】図４１に示したように、１段階目および２
段階目の面取り加工におけるθを６０°とした場合、２
段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状は、例え
ば図４２に示したようになり、３段階目の面取り加工終
了後のエッジ部分の形状は、例えば図４３に示したよう
になった。

【０１３０】また、図４４に示したように、１段階目お
よび２段階目の面取り加工におけるθを７５°とした場
合、２段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状
は、例えば図４５に示したようになり、３段階目の面取
り加工終了後のエッジ部分の形状は、例えば図４６に示
したようになった。

【０１３１】図４２、図４３、図４５および図４６に示
した形状の測定方法は、図３９、図４０の場合と同様で
ある。

【０１３２】図４２に示した形状において、面取り加工
が施された領域の高さ方向の長さは、３．５μｍであっ
た。これに対し、図４５に示した形状において、面取り
加工が施された領域の高さ方向の長さは、２．５μｍで
あった。これらの図からも分かるように、θが小さいほ
ど、面取り加工が施された領域の高さ方向の長さが大き
くなる。

【０１３３】しかし、図４３と図４６とを比較すると分
かるように、θが小さいほど、３段階目の面取り加工後
においても、面取り加工が施された領域が斜面状に近い
ままであることが推測される。図４３に示した形状を許
容範囲の限度とすると、θは６０°以上とする必要があ
る。

【０１３４】以上説明したように、本実施の形態に係る
加工装置１０および本実施の形態に係るスライダの加工
方法によれば、スライダ１５０の空気流入端側のエッジ
に対してより多く面取り加工を施すことができると共
に、段差を有する第１のエッジ部分１６１と第２のエッ
ジ部分１６２に対して面取り加工を施すことができる。
従って、本実施の形態によれば、傾いても、エッジ部分
によって記録媒体の面を傷つけることを防止できるスラ
イダ１５０を得ることができる。

【０１３５】また、負圧を発生させないスライダに比べ
て負圧スライダの方が、傾いたときに第１のエッジ部分
１６１が記録媒体に接触する可能性が大きいので、本実
施の形態に係る加工装置１０および本実施の形態に係る
スライダの加工方法は、特に、負圧スライダを加工する
場合に効果が顕著になる。

【０１３６】また、本実施の形態に係るスライダの加工
方法によれば、スライダ１５０の空気流入端側のエッジ
や、第１のエッジ部分１６１や、第２のエッジ部分１６
２だけではなく、それ以外の、レール部１５３における
媒体対向面の周縁部、およびスライダ１５０の外周面の
媒体対向面側の周縁部についても、十分に面取り加工を
施すことができる。これにより、スライダ１５０が種々
の態様で傾いたとしても、記録媒体を傷つけることを防
止できるスライダ１５０を得ることができる。

【０１３７】また、本実施の形態に係る加工装置１０お
よび本実施の形態に係るスライダの加工方法では、ダイ
ヤモンドラッピングシート３９を変形させて、このダイ
ヤモンドラッピングシート３９をスライダ１５０の第１
のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２に当
接させるようにしている。その際、ダイヤモンドラッピ
ングシート３９を、弾性を有するゴムシート３８によっ
て保持するようにしたので、ダイヤモンドラッピングシ
ート３９が切れることを防止でき、安定してスライダ１
５０の加工を行うことができる。

【０１３８】また、本実施の形態では、スライダ保持治
具８０に対して複数の重り１１３，１２３，１３３によ
る荷重を段階的に加えることによって、スライダ保持治
具８０に付加する荷重を調整することができる。そのた
め、本実施の形態によれば、スライダ１５０のエッジ部
分で、薄いダイヤモンドラッピングシート３９が切れる
ことを防止することができる。

【０１３９】また、本実施の形態では、重り１１３，１
２３，１３３の軸部１１３ａ，１２３ａ，１３３ａと重
り保持具１４０の孔との少なくとも一方に、螺旋状の溝
１３８または溝１３９を形成したので、この溝１３８，
１３９によって、軸部１１３ａ，１２３ａ，１３３ａと
重り保持具１４０の孔とが擦れて発生する削りくず
（粉）を取り込んで、軸部１１３ａ，１２３ａ，１３３
ａの円滑な動作を維持させることができる。

【０１４０】また、本実施の形態では、スライダ保持治
具セットプレート７０の１種類として、垂直方向に対し
て所定の角度で傾いた孔７６Ａを有するスライダ保持治
具セセットプレート７０Ａを用意している。このプレー
ト７０Ａは、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨
面に対してスライダの媒体対向面が傾いた状態で、スラ
イダ１５０がダイヤモンドラッピングシート３９に当接
するように、スライダ保持治具８０を位置決めする。従
って、本実施の形態によれば、スライダ保持治具セセッ
トプレート７０Ａを用いることにより、スライダ１５０
の特定のエッジ部分、例えばスライダ１５０の空気流入
端側のエッジに対して、他のエッジ部分よりも多く面取
り加工を施すことが可能となる。

【０１４１】また、本実施の形態では、段差を有する第
１のエッジ部分１６１と第２のエッジ部分１６２を同時
に面取り加工するために、ワイヤ３４によってゴムシー
ト３８およびダイヤモンドラッピングシート３９を変形
させるようにしている。本実施の形態では、ワイヤ３４
を、プレート１８上の全面に張らずに、複数のワイヤ巻
きブロック３０を用いて、複数の部分に分けて張ってい
る。そのため、本実施の形態によれば、ワイヤ３４の張
力が安定し、加工精度を向上させることができる。

【０１４２】なお、本発明は、上記実施の形態に限定さ
れず、種々の変更が可能である。例えば、実施の形態で
は、スライダ１５０を固定し、Ｘ−Ｙテーブル１３によ
ってダイヤモンドラッピングシート３９を移動させるよ
うにしたが、ダイヤモンドラッピングシート３９を固定
し、スライダ保持治具８０を動かしてスライダ１５０を
移動（揺動）させるようにしてもよい。

【０１４３】また、本発明は、図２４に示した形状のス
ライダに限らず、他の形状のスライダの加工にも適用す
ることができる。また、本発明は、２段構造のスライダ
に限らず、３段以上の構造のスライダの加工にも適用す
ることができる。

【０１４４】また、実施の形態では、加工対象としての
スライダとして、負圧スライダの例を挙げたが、本発明
は、負圧を発生させないスライダの加工にも適用するこ
とができる。

【０１４５】また、本発明は、磁気ヘッド用以外の他の
用途のスライダ、例えば光記録方式や光磁気記録方式に
よる情報の記録または再生を行うためのヘッド（ピック
アップ）用のスライダ等にも適用することが可能であ
る。

【０１４６】

【発明の効果】以上説明したように本発明のスライダの
加工装置または本発明のスライダ加工用補助具によれ
ば、スライダにおける段差を有する複数のエッジ部分が
同時に研磨されるように研磨部材を変形させるためのワ
イヤを、補助具本体の外周部に巻き付けたので、ワイヤ
の張力が安定し、スライダにおける段差を有する複数の
エッジ部分を同時に研磨して面取り加工を施すことが可
能になると共に、加工精度を向上させることができると
いう効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係るスライダの加工装
置を一部切り欠いて示す正面図である。

【図２】図１の右側面図である。

【図３】図１におけるＸ−Ｙテーブルの近傍を拡大して
示す正面図である。

【図４】図３の右側面図である。

【図５】図１におけるＹ方向揺動幅調整部材の正面図で
ある。

【図６】図５の側面図である。

【図７】図１におけるＹ方向揺動幅調整部材の正面図で
ある。

【図８】図７の側面図である。

【図９】図２におけるスライダ保持治具セットプレート
が移動する様子を示す説明図である。

【図１０】図９に示したスライダ保持治具セットプレー
トの有無を検出するためのセンサを示す説明図である。

【図１１】図１におけるワイヤ巻きブロックの側面図で
ある。

【図１２】図１１に示したワイヤ巻きブロックの正面図
である。

【図１３】図１１に示したワイヤ巻きブロックに用いら
れる弾性部材を示す斜視図である。

【図１４】図１１に示したワイヤ巻きブロックに用いら
れる変形用部材を示す斜視図である。

【図１５】図１１に示したワイヤ巻きブロックとその上
に配置されるゴムシートおよびダイヤモンドラッピング
シートを示す斜視図である。

【図１６】図１１に示したワイヤ巻きブロックの代わり
に用いられるプレートとその上に配置されるゴムシート
を示す正面図である。

【図１７】図１１に示したワイヤ巻きブロックの上にゴ
ムシートおよびダイヤモンドラッピングシートを配置す
る方法の一例を説明するための説明図である。

【図１８】図１７に示した方法によってワイヤ巻きブロ
ックの上にゴムシートおよびダイヤモンドラッピングシ
ートを張った後の状態を示す平面図である。

【図１９】図１８の正面図である。

【図２０】本発明の一実施の形態に係る加工装置で使用
するスライダ保持治具セットプレートの平面図である。

【図２１】図２０のＡ−Ａ′線断面図である。

【図２２】本発明の一実施の形態に係る加工装置で使用
する他のスライダ保持治具セットプレートの平面図であ
る。

【図２３】図２２のＢ−Ｂ′線断面図である。

【図２４】本発明の一実施の形態に係る加工装置によっ
て加工されるスライダの一例を示す斜視図である。

【図２５】本発明の一実施の形態に係る加工装置による
加工時におけるスライダの近傍を示す断面図である。

【図２６】図２５のＣ部を拡大して示す説明図である。

【図２７】図１における荷重付加部を正面側から見た断
面図である。

【図２８】図１における荷重付加部を側面側から見た断
面図である。

【図２９】図２８に示した重り保持具の孔に螺旋状の溝
を形成した場合における重り保持具を示す断面図であ
る。

【図３０】図１における荷重付加部の作用を説明するた
めの断面図である。

【図３１】図１における荷重付加部の作用を説明するた
めの断面図である。

【図３２】図１における荷重付加部の作用を説明するた
めの断面図である。

【図３３】図１における荷重付加部の作用を説明するた
めの断面図である。

【図３４】本発明の一実施の形態に係る加工方法におけ
る１段階目の面取り加工の様子を示す断面図である。

【図３５】本発明の一実施の形態に係る加工方法におけ
る２段階目の面取り加工の様子を示す断面図である。

【図３６】本発明の一実施の形態に係る加工方法におけ
る３段階目の面取り加工の様子を示す断面図である。

【図３７】本発明の一実施の形態に係る加工方法と比較
するための他の面取り加工の方法を示す断面図である。

【図３８】本発明の一実施の形態に係る加工方法と比較
するための他の面取り加工の方法を示す断面図である。

【図３９】図３７に示した方法や図３８で示した方法に
よって面取り加工を施した場合におけるスライダの空気
流入端側のエッジ部分の形状の一例を示す説明図であ
る。

【図４０】本発明の一実施の形態による３段階の面取り
加工を施した場合におけるスライダの空気流入端側のエ
ッジ部分の形状の一例を示す説明図である。

【図４１】本発明の一実施の形態におけるスライダ保持
治具の側面とダイヤモンドラッピングシートの研磨面と
のなす角度を６０°とした場合のスライダ保持治具を示
す説明図である。

【図４２】図４１に示した場合における２段階目の面取
り加工終了後のエッジ部分の形状の一例を示す説明図で
ある。

【図４３】図４１に示した場合における３段階目の面取
り加工終了後のエッジ部分の形状の一例を示す説明図で
ある。

【図４４】本発明の一実施の形態におけるスライダ保持
治具の側面とダイヤモンドラッピングシートの研磨面と
のなす角度を７５°とした場合のスライダ保持治具を示
す説明図である。

【図４５】図４４に示した場合における２段階目の面取
り加工終了後のエッジ部分の形状の一例を示す説明図で
ある。

【図４６】図４４に示した場合における３段階目の面取
り加工終了後のエッジ部分の形状の一例を示す説明図で
ある。

【図４７】スライダの形状の一例を示す斜視図である。

【図４８】従来のスライダに対する面取り加工の方法の
概略を説明するための説明図である。

【図４９】図４８に示した方法によって面取り加工を施
した後のレール部のエッジ近傍Ｃ部を拡大して示す説明
図である。

【図５０】スライダの傾き方の態様を示す説明図であ
る。

【符号の説明】

１０…加工装置、１１…装置本体、１３…Ｘ−Ｙテーブ
ル、３０…ワイヤ巻きブロック、３１…ブロック本体、
３２…弾性部材、３３…変形用部材、３４…ワイヤ、３
８…ゴムシート、３９…ダイヤモンドラッピングシー
ト、７０，７０Ａ，７０Ｂ…スライダ保持治具セットプ
レート、８０…スライダ保持治具、１００…荷重付加
部、１１３，１２３，１３３…重り、１１３ａ，１２３
ａ，１３３ａ…軸部、１３８，１３９…溝、１５０…ス
ライダ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】媒体対向面を有するスライダにおけるエ
ッジ部分を研磨してエッジ部分の面取り加工を行うスラ
イダの加工装置であって、スライダを保持するためのスライダ保持具と、このスライダ保持具によって保持されたスライダのエッ
ジ部分を研磨するための可撓性を有する研磨部材と、前記スライダ保持具によって保持されたスライダに対し
て前記研磨部材を挟んで対向する位置に配置される補助
具本体と、この補助具本体の外周部に巻き付けられ、前
記研磨部材を変形させるためのワイヤとを有し、前記研
磨部材によってスライダにおける段差を有する複数のエ
ッジ部分が同時に研磨されるように、前記ワイヤによっ
て前記研磨部材を変形させるスライダ加工用補助具と、前記研磨部材によってスライダのエッジ部分が研磨され
るように、前記スライダ保持具によって保持されたスラ
イダと前記研磨部材とを相対的に移動させる移動手段と
を備えたことを特徴とするスライダの加工装置。
【請求項２】前記スライダ加工用補助具は、前記ワイ
ヤのうちの、スライダ加工用補助具における上面部分に
位置する部分の下側に配置された弾性部材を有すること
を特徴とする請求項１記載のスライダの加工装置。
【請求項３】前記スライダ加工用補助具は、前記ワイ
ヤのうちの、スライダ加工用補助具における上面部分に
位置する部分の下側に配置された凸部を有することを特
徴とする請求項１記載のスライダの加工装置。
【請求項４】媒体対向面を有するスライダを保持する
ためのスライダ保持具と、このスライダ保持具によって
保持されたスライダのエッジ部分を研磨するための可撓
性を有する研磨部材と、前記研磨部材によってスライダ
のエッジ部分が研磨されるように、前記スライダ保持具
によって保持されたスライダと前記研磨部材とを相対的
に移動させる移動手段とを備え、スライダにおけるエッ
ジ部分を研磨してエッジ部分の面取り加工を行うスライ
ダの加工装置に用いられ、前記スライダ保持具によって保持されたスライダに対し
て前記研磨部材を挟んで対向する位置に配置される補助
具本体と、この補助具本体の外周部に巻き付けられ、前記研磨部材
によってスライダにおける段差を有する複数のエッジ部
分が同時に研磨されるように、前記研磨部材を変形させ
るためのワイヤとを備えたことを特徴とするスライダ加
工用補助具。
【請求項５】更に、前記ワイヤのうちの、スライダ加
工用補助具における上面部分に位置する部分の下側に配
置された弾性部材を備えたことを特徴とする請求項４記
載のスライダ加工用補助具。
【請求項６】更に、前記ワイヤのうちの、スライダ加
工用補助具における上面部分に位置する部分の下側に配
置された凸部を備えたことを特徴とする請求項４記載の
スライダ加工用補助具。