JP2000088433A - 冷風加工用の冷却空気供給装置 - Google Patents

冷風加工用の冷却空気供給装置

Info

Publication number
JP2000088433A
JP2000088433A JP10258938A JP25893898A JP2000088433A JP 2000088433 A JP2000088433 A JP 2000088433A JP 10258938 A JP10258938 A JP 10258938A JP 25893898 A JP25893898 A JP 25893898A JP 2000088433 A JP2000088433 A JP 2000088433A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air
cooling
valve
cooling air
cooled
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10258938A
Other languages
English (en)
Inventor
Koichi Umezawa
功一 梅澤
Yoshihiro Kurokawa
佳寛 黒川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyo Seisakusho KK
Original Assignee
Toyo Seisakusho KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyo Seisakusho KK filed Critical Toyo Seisakusho KK
Priority to JP10258938A priority Critical patent/JP2000088433A/ja
Publication of JP2000088433A publication Critical patent/JP2000088433A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P80/00Climate change mitigation technologies for sector-wide applications
    • Y02P80/10Efficient use of energy, e.g. using compressed air or pressurized fluid as energy carrier

Abstract

(57)【要約】 【課題】ノズルから加工部位へ吐出する冷却空気の流量
調節および冷却空気の供給停止を自由に行うことがで
き、しかも冷却空気供給装置からの排出冷却空気を工場
内外の被冷却機器に供給できて冷熱を無駄にすることな
く、有効に利用できて省エネルギ化を期せる冷風加工用
の冷却空気供給装置を提供する。 【解決手段】冷凍機からの冷媒が膨張弁6を経て冷却コ
イル3aに供給される空気冷却器3の空気入口に、乾燥
圧縮空気を供給する空気流入管1が流量計2を介して接
続され、前記空気冷却器3の空気出口に一端が接続さ
れ、温度調節器8を途中に備える送気管7の他端に冷却
空気吐出用のノズル11を備え、同送気管7における前
記ノズル11近傍に流量調整弁10を設けるとともに、
通常は閉ざされているが前記流量計により検知される空
気流量が予め設定された流量範囲の下限値になると開成
され、上限値になると閉止される開閉弁14と定流量弁
15とを途中に備える排気管13を、前記送気管7の温
度調節器8と流量調整弁10との間から分岐せしめて被
冷却機器16に接続した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば研削加工や
切削加工等において加工部位に冷却空気を供給する装置
に関する。
【0002】
【従来の技術とその問題点】金属製品等を研削加工や切
削加工する際に、砥石や切削治具と被加工物との間に−
1℃以下の冷却空気を研削あるいは切削用の微量の油と
ともに吹き付ける冷風加工が従来から行われている。
【0003】従来の冷風加工に用いられている冷却空気
供給装置は、図4に示すように予め除塵、乾燥された圧
縮空気を空気流入管30から空気冷却器31に送って冷
却し、温度調節器32に所要の温度に調節して送気管3
3の先端ノズル34から冷却空気を加工部位に吹き付け
るものとしてある。
【0004】前記空気冷却器31においては冷却コイル
31aに圧縮機35、凝縮器36よりなる冷凍機からの
冷媒が膨張弁37を経て供給されるようになっており、
ノズル34から吐出する冷却空気の風量はあまり大にす
る必要がないので、前記圧縮機35にはアンローダのな
い小型のものを使用している。なお、同図において符号
38は流量計を示す。
【0005】ノズルから吐出する冷却空気の流量を制御
するには、前記送気管33の途中に流量調整弁を設けれ
ばよいが、吐出流量を小にしたり、あるいは冷却空気の
吐出を一時中断して流量を0にすると前記圧縮機35は
アンローダがないものなので、冷凍機の運転が不安定に
なったり、液バックを起こして圧縮機が損傷するという
問題点がある。
【0006】冷凍機を安定して運転させるには、前記送
気管33の途中から排気管を分岐せしめ、加工部位への
冷却空気の供給量が小である場合には、排気管から冷却
空気の一部または全部を外部に放出し、空気冷却器に一
定以上の空気を流過せしめる必要がある。
【0007】しかし、排気管からの冷却空気の放出量を
調節するのはバルブの調節等の操作が煩雑で正確に調節
するのが困難であり、しかも冷却空気をそのまま外部に
放出するのは冷熱の無駄であった。
【0008】ところで、冷風加工を行う工場において
は、工場内外の冷房や各種冷却プロセス用の冷却装置、
あるいは工場内設置機器用の冷却装置など冷熱を多く必
要とし、特に夏場においては移動式スポットクーラーを
用いて工場内設置機器の冷却を行わなければならないよ
うな場合さえある。
【0009】そこで、本発明は工場内外における上述の
ような冷熱の需要に着目し、ノズルから吐出する冷却空
気の流量調節および冷却空気の供給停止を自由に行うこ
とができ、しかも冷却空気供給装置からの排出冷却空気
を工場内外の被冷却機器に供給できて冷熱を無駄にする
ことなく、有効に利用できて省エネルギ化を期せる冷風
加工用の冷却空気供給装置を提供できるようにした。
【0010】
【本発明の構成】上記目的を達成するために、本発明に
係る冷風加工用の冷却空気供給装置は、冷凍機からの冷
媒が膨張弁を経て冷却コイルに供給される空気冷却器の
空気入口に、乾燥圧縮空気を供給する空気流入管が流量
計を介して接続され、前記空気冷却器の空気出口に一端
が接続され、温度調節器を途中に備える送気管の他端に
冷却空気吐出用のノズルを備え、同送気管における前記
ノズル近傍に流量調整弁を設けるとともに、通常は閉ざ
されているが前記流量計により検知される空気流量が予
め設定された流量範囲の下限値になると開成され、上限
値になると閉止される開閉弁と定流量弁とを途中に備え
る排気管を、前記送気管の温度調節器と流量調整弁との
間から分岐せしめて被冷却機器に接続したものとしてあ
る。
【0011】また、本発明に係る冷却空気供給装置は、
前記被冷却機器が空冷式凝縮器であり、前記排気管の先
端に、多数の吐出ノズルを有する吐出ヘッダを接続し、
吐出ノズルを前記凝縮器の冷媒コイルに臨ませたもの
や、前記被冷却機器が冷却塔からの冷却水往管の途中に
設けられた熱交換器であり、前記排気管の先端を熱交換
器の低温側入口に接続したものや、あるいは前記被冷却
機器が蓄冷装置におけるブラインタンクや氷蓄槽等の蓄
冷槽であり、同蓄冷槽内に設けた熱交換用のコイルの一
端に前記排気管の先端を接続したものとしてある。
【0012】
【実施例】以下、本発明に係る冷風加工用の冷却空気供
給装置の実施例を添付図面に示す具体例に基づいて詳細
に説明する。空気流入管1には、エアコンプレッサや工
場の圧縮空気配管から図示省略のエアフィルタやエアド
ライヤを経た乾燥圧縮空気が供給され、同空気流入管1
は後述する流量計2を途中に備え、空気冷却器3の冷却
コイル3a入口に接続されている。
【0013】冷却コイル3aには圧縮機4、凝縮器5よ
りなる冷凍機からの冷媒が膨張弁6を経て供給され、前
記空気流入管1から空気冷却器3内に流入する乾燥圧縮
空気は所要の温度に冷却され、空気冷却器3の空気出口
に一端が接続された送気管7へ送り出される。なお、冷
凍機にはホットガスバイパス運転が可能で、ある程度低
負荷の状態でも運転できるものを使用する。
【0014】前記送気管7は温度調節器8、第1開閉弁
9、流量調整弁10をこの順に備え、他端にノズル11
を設けてあって、同ノズルを例えば研削加工や切削加工
等の加工部位に臨ませてある。
【0015】前記第1開閉弁9は電磁弁としてあって、
通常は開かれているが、後述する一時中断用スイッチ1
2のON・OFFにより開閉されるものとしてあり、前
記流量調整弁10は手動で自由に開度を調節できるもの
としてある。
【0016】また、前記温度調節器8と第1開閉弁9と
の間における送気管7には排気管13の一端を接続して
あって、同排気管13は第2開閉弁14を途中に備え、
定流量弁15を介して他端を被冷却機器たる空冷式凝縮
器16に接続してある。空冷式凝縮器16は例えば工場
内外の冷房や工場内の冷却プロセス、工場内設置機器の
冷却に用いられる冷凍機の冷媒凝縮用のものとしてあっ
て、排気管13の先端には多数の吐出ノズル20、20
を有する吐出ヘッダ19を接続してあり、吐出ノズルを
前記空冷式凝縮器16内の冷媒コイル16bに臨ませて
あって、吐出ノズルから吹き出される冷却空気を前記冷
媒コイルへ吹き付けるようにしてある。
【0017】前記第2開閉弁14は電磁弁としてあっ
て、通常は閉ざされているが、前記流量計2にて検知さ
れる流量および一時中断用スイッチ12の操作により開
閉制御されるものとしてあり、前記定流量弁15は例え
ばニードル弁としてあって、予め設定された一定流量の
空気を被冷却機器16側へ送り出すためのものとしてあ
る。
【0018】次ぎに、前記第1開閉弁9および第2開閉
弁14を開閉する構成について詳述する。第2開閉弁1
4は信号線17a、17bを介して流量計2に取り付け
た上限センサS1 、下限S2 にそれぞれ接続されてい
て、上限センサS1 は空気流入管1を流過する空気の流
量、すなわち空気冷却器に送られる空気の流量が予め設
定された所定の流量範囲の上限になると第2開閉弁14
を閉止させる上限信号を、下限センサS2 は前記所定の
流量範囲の下限になると第2開閉弁14を開成させる下
限信号をそれぞれ出力するものとしてある。
【0019】流量計2には各種のものがあるが、一例と
して、図示のごとく管体2a内を下から上へ流れる流体
の流量増減に応じ、流体よりも比重の大なる移動子2b
が上下動する面積式流量計があり、本発明の装置におい
ては例えば前記面積式流量計の管体2aの上部と下部の
所定の位置にそれぞれ前記上限センサS1 と下限センサ
2 を取り付け、各センサには移動子が近づくとそれぞ
れONになるセンサ、例えば磁気センサや光電センサを
用いる。
【0020】また、第1開閉弁9と第2開閉弁14はと
もに一時中断用のスイッチ12に信号線18a、18b
を介してそれぞれ接続されており、前記スイッチ12は
例えば加工部位の近傍に設けられ、加工部位への冷却空
気の供給を一時中断する中断ボタン12aと、冷却空気
の供給が停止されている状態から通常の運転状態に復帰
させる復帰ボタン12bとを備えている。
【0021】一時中断用のスイッチ12は中断ボタン1
2aが押されるとONになり、通常は開かれている第1
開閉弁9は閉止され、通常は閉ざされている第2開閉弁
14は開成されるようにしてある。
【0022】また、一時中断用のスイッチ12は復帰ボ
タン12bが押されるとOFFになり、一時中断状態に
おいて閉ざされていた第1開閉弁9は開成され、同状態
において開かれていた第2開閉弁14は閉止されるよう
にしてある。
【0023】一時中断用のスイッチ12は装置本体に設
けてもよいし、電波や赤外線等により加工部位の近傍か
ら遠隔操作できるワイヤレスタイプのものとしてもよ
い。なお、上述した実施例では流量計2からの上限、下
限信号や一時中断用のスイッチ12の操作により各開閉
弁9、14が開閉操作されるが、上限、下限信号やスイ
ッチの操作12と同時に開閉弁を動作させるとハンチン
グを起こすおそれがあるので、リレータイマ等により1
0秒程度のタイムラグを設定するのが望ましい。
【0024】次ぎに、上述のように構成された本発明に
係る冷却空気供給装置の作用を詳細に説明する。通常運
転においては、乾燥圧縮空気は空気流入管1により流量
計2を経て空気冷却器3に送られて冷却され、送気管7
により温度調節器8に送られて所要の温度(−35℃程
度)に調節され、第1開閉弁9、流量調整弁10を経て
ノズル11から被冷却部たる加工部位に供給される。
【0025】前記流量調整弁10の操作によりノズル1
1から吐出される冷却空気の流量が減少して下限値以下
になり、流量計2の移動子2bが下限位置に達すると、
下限センサS2 から下限信号が発せられて低流量運転に
なり、第2開閉弁14が開成されて排気管13に一定流
量(下限値以上)の冷却空気が流れ、同冷却空気は排気
管先端の吐出ノズル20、20から吐出されて空冷式凝
縮器16内の冷媒コイル16bに吹き付けられる。
【0026】図示省略の圧縮機から冷媒流入管16aに
より空冷式凝縮器16内の冷媒コイル16bに流入した
冷媒は吐出ノズル20、20からの冷却空気と熱交換し
て冷却され、冷媒流出管16cにより例えば工場内冷房
用の冷却器等へ送り出される。したがって、凝縮器から
送り出される冷媒は十分に凝縮温度が低下され、前記圧
縮機の出力を小ならしめることができて、小エネルギ化
を期せる。
【0027】また、低流量運転の状態から流量調整弁1
0の操作によりノズル11から吐出される冷却空気の流
量が増加して上限値以上になり、流量計2の移動子2b
が上限位置に達すると、上限センサS1 から上限信号が
発せられ、第2開閉弁14が閉成されて通常運転に戻
り、空気冷却器を流過した空気はすべてノズル11から
吐出される。
【0028】上述したように、空気冷却器3を流過する
空気の流量は通常運転、低流量運転に拘らず、常に下限
値以上に維持され、冷凍機を安定した状態で運転するこ
とができるとともに、低風量運転時においては排気管1
3からの冷却空気が空冷式凝縮器16へ送られて冷却空
気の冷熱が冷媒コイル内における冷媒の凝縮に無駄なく
利用される。
【0029】次ぎに、ノズルからの冷却空気の供給を一
時中断せしめる場合の作用について説明する。一時中断
スイッチ12の中断ボタン12aを押すと、通常運転時
において開かれていた第1開閉弁9が閉成されてノズル
への冷却空気の供給が止まり、一方、通常運転時におい
て閉ざされていた第2開閉弁14が開成され、冷却空気
はすべて排気管13に流入して第2開閉弁14、定流量
弁15を経て吐出ヘッダ19に送られ、吐出ノズル2
0、20から空冷式凝縮器16内の冷媒コイル16bへ
吹き付けられる。
【0030】したがって、一時中断時においても前述し
た低風量運転時と同様に、空冷式凝縮器の冷媒コイル1
6bに流入した冷媒は吐出ノズル20、20からの冷却
空気により十分に凝縮温度が低下され、前記圧縮機の出
力を小ならしめることができて、小エネルギ化を期せ
る。
【0031】この一時中断時においても、排出される冷
却空気の流量は定流量弁によって下限値以上の一定流量
になっており、したがって空気冷却器3にも冷凍機を安
定運転させるための最低流量の空気が流れる。
【0032】一時中断スイッチ12の復帰ボタン12b
を押すと、一時中断時において閉ざされていた第1開閉
弁9が開成されてノズル11への冷却空気の供給が再開
され、一方、一時中断時において開かれていた第2開閉
弁14は、通常運転であれば閉止され、低流量運転であ
れば開かれたままとなる。
【0033】上述した実施例においては、被冷却機器が
空冷式凝縮器16である場合の具体例について説明した
が、他の被冷却機器としては例えば冷却塔の冷却水循環
路の途中に設けた熱交換器や、蓄冷装置の蓄冷槽の場合
があり、以下各例について説明する。
【0034】図2は被冷却機器が冷却塔24からの冷却
水往管25aの途中に設けた熱交換器27である場合の
具体例を示し、同図において符号25bは各種冷却装置
の水冷式凝縮器26等に冷却水を送る冷却水復管を示し
ている。
【0035】熱交換器27の低温側入口27aには本発
明に係る冷却空気供給装置の排気管13の先端を接続し
てあり、低温側出口27bには一端が外部に開口するエ
ア放出管13aの他端を接続してある。
【0036】冷却塔24においてノズル24aから散布
された冷却水は、充填材24bの表面を伝って流れ落
ち、ファン24cによって内部に吸入された外気と熱交
換され、冷却塔下部の冷却水タンク24dに溜められ
る。なお、図中の符号24eは冷却塔内の水が外部へ飛
散しないようにするためのエリミネータを示す。
【0037】冷却水は冷却水ポンプPを備える冷媒往管
25aにより熱交換器27へ送られ、同熱交換器におい
て排気管13からの冷却空気と熱交換することによって
さらに低温に冷却され、各種冷却装置の水冷式凝縮器2
6に送られ、水冷式凝縮器内の冷媒を凝縮せしめること
によって温度が上昇して、冷却水復管25bにより冷却
塔へ戻される。
【0038】水冷式凝縮器26においては、冷媒流入管
26aから冷媒コイル26bに流入した冷媒が冷却水に
より十分に冷却されて冷媒流出管26cにより例えば工
場内冷房用の冷却器等へ送られる。
【0039】夏場など外気の湿球温度が高い場合では、
冷却塔における冷却水の冷却が十分に行われず、冷却塔
出口における冷却水温度は比較的高いままであるが、冷
却水は冷却水往管25aに設けられた熱交換器27にお
いて排気管からの冷却空気によって十分に冷却されてか
ら水冷式凝縮器26等へ送られる。
【0040】図3は蓄冷装置の蓄冷槽たるブラインタン
ク28内のブライン28aを冷却する場合の具体例を示
し、ブラインタンク内には排気管13の先端に接続され
た熱交換用のコイル29が設けられていて、同コイルの
先端はブラインタンクの外部に開口している。
【0041】図示省略の冷却装置により冷却され、ブラ
イン流入管28bによりブラインタンク28内に流入し
て蓄えられたブライン28aは、排気管13から熱交換
用コイル29内に供給される冷却空気によりさらに冷却
され、ブライン流出管28cにより、必要に応じて例え
ば工場内冷房用の冷却器へ送られる。したがって、冷却
空気供給装置からの冷熱を無駄にすることなく蓄えるこ
とができる。
【0042】一方、排気管13から熱交換用コイル29
に流れ込んでブラインと熱交換した後の冷却空気は同コ
イルの先端から外部へ放出される。なお、前記蓄冷槽は
ブラインタンクでなく、氷蓄熱槽等の他の冷却媒体を蓄
えるものであってもよい。
【0043】上述した各実施例においては排気管13か
らの冷却空気を被冷却機器へ送るようにしてあるが、送
気管7の先端ノズル11から加工部位に供給された冷却
空気を回収し、回収エア中の油や研削、切削屑をエアフ
ィルタで取り除き、排気管内の冷却空気とともに被冷却
機器へ供給する場合もある。
【0044】
【発明の効果】本発明に係る冷却空気供給装置は、送気
管に設けた流量調整弁を操作することによりノズルから
の冷却空気吐出量を自由に調節することができ、しかも
前記流量調整弁の操作によりノズルからの冷却空気吐出
量が小になると、流量計のセンサから出力される流量の
下限信号により排気管にも冷却空気が流され、空気冷却
器を流れる空気の流量を一定の値以上に保つことがで
き、したがってノズルから冷却空気吐出量の増減に拘ら
ず空気冷却器には常に一定流量以上の空気が供給され、
負荷の減少に起因する冷凍機の運転不良や圧縮機の損傷
を防止することができ、冷却空気を安定して供給するこ
とができる。
【0045】しかも、前記排気管への冷却空気は空冷式
凝縮器等の被冷却機器へ送られ、冷熱を無駄にすること
なく利用することができ、省エネルギ化を期せる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る冷却空気供給装置の実施例を示す
構成図。
【図2】冷却塔からの冷却水を冷却する場合の具体例を
示す構成図。
【図3】ブラインタンク内のブラインを冷却する場合の
具体例を示す構成図。
【図4】従来の冷却空気供給装置の一例を示す構成図。
【符号の説明】
1 空気流入管 2 流量計 3 空気冷却器 3a 冷却コイル 4 圧縮機 5 凝縮器 6 膨張弁 7 送気管 8 温度調節器 9 第1開閉弁 10 流量調整弁 11 ノズル 12 一時中断スイッチ 13 排気管 14 第2開閉弁 15 定流量弁 16 空冷式凝縮器 17a、17b 信号
線 18a、18b 信号線 19 吐出ヘッダ 20 吐出ノズル 24 冷却塔 25a 冷却水往管 25b 冷却水復管 26 水冷式凝縮器 27 熱交換器 28 ブラインタンク 29 熱交換用コイル

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】冷凍機からの冷媒が膨張弁を経て冷却コイ
    ルに供給される空気冷却器の空気入口に、乾燥圧縮空気
    を供給する空気流入管が流量計を介して接続され、前記
    空気冷却器の空気出口に一端が接続され、温度調節器を
    途中に備える送気管の他端に冷却空気吐出用のノズルを
    備え、同送気管における前記ノズル近傍に流量調整弁を
    設けるとともに、通常は閉ざされているが前記流量計に
    より検知される空気流量が予め設定された流量範囲の下
    限値になると開成され、上限値になると閉止される開閉
    弁と定流量弁とを途中に備える排気管を、前記送気管の
    温度調節器と流量調整弁との間から分岐せしめて被冷却
    機器に接続してなる冷風加工用の冷却空気供給装置。
  2. 【請求項2】前記被冷却機器が空冷式凝縮器であり、前
    記排気管の先端に、多数の吐出ノズルを有する吐出ヘッ
    ダを接続し、吐出ノズルを前記凝縮器の冷媒コイルへ臨
    ませてなる請求項1に記載の冷風加工用の冷却空気供給
    装置。
  3. 【請求項3】前記被冷却機器が冷却塔からの冷却水往管
    の途中に設けられた熱交換器であり、前記排気管の先端
    を熱交換器の低温側入口に接続してなる請求項1に記載
    の冷風加工用の冷却空気供給装置。
  4. 【請求項4】前記被冷却機器が蓄冷装置におけるブライ
    ンタンクや氷蓄槽等の蓄冷槽であり、同蓄冷槽内に設け
    た熱交換用のコイルの一端に前記排気管の先端を接続し
    てなる請求項1に記載の冷風加工用の冷却空気供給装
    置。
JP10258938A 1998-09-11 1998-09-11 冷風加工用の冷却空気供給装置 Pending JP2000088433A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10258938A JP2000088433A (ja) 1998-09-11 1998-09-11 冷風加工用の冷却空気供給装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10258938A JP2000088433A (ja) 1998-09-11 1998-09-11 冷風加工用の冷却空気供給装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000088433A true JP2000088433A (ja) 2000-03-31

Family

ID=17327134

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10258938A Pending JP2000088433A (ja) 1998-09-11 1998-09-11 冷風加工用の冷却空気供給装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000088433A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180042096A (ko) * 2016-10-17 2018-04-25 주식회사 솔리움 가공툴 냉각장치
CN113587525A (zh) * 2020-04-30 2021-11-02 气体产品与化学公司 用于增强型闭路冷却系统的工艺

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180042096A (ko) * 2016-10-17 2018-04-25 주식회사 솔리움 가공툴 냉각장치
CN113587525A (zh) * 2020-04-30 2021-11-02 气体产品与化学公司 用于增强型闭路冷却系统的工艺

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5052472A (en) LSI temperature control system
EP2232230B1 (en) Refrigeration system comprising a test chamber with temperature and humidity control
JP3504608B2 (ja) 冷却システム
CN107655152B (zh) 空调系统及其运行控制方法
JP5098046B2 (ja) 温度調整システム
JP2000088433A (ja) 冷風加工用の冷却空気供給装置
CN205939817U (zh) 一种空气能水温控制机组及使用其的水浴系统
US6749016B2 (en) Brine temperature control apparatus using a three-way proportional valve
CN101929770A (zh) 热水空调器的控制电路
CN116154585A (zh) 一种冷却系统及冷却方法
CN109282534A (zh) 冷水机组及水温控制方法
JP4081737B2 (ja) 冷却装置
JP2002022300A (ja) 冷凍装置
JPH0694270A (ja) 気流粒体搬送装置および空気調和装置
JP4631365B2 (ja) ヒートポンプ加熱装置
CN207317356U (zh) 一种恒温冷却装置
JP3651370B2 (ja) 冷凍装置
JP2008116184A (ja) 冷凍サイクル装置
KR100671237B1 (ko) 히트펌프 구조를 이용한 에너지 절전형 반도체용온도제어장치
JPH062982A (ja) 吸収冷暖房システムとその制御方法
JP2003269815A (ja) 排熱回収型吸収冷凍機
CN219654847U (zh) 一种集成式水冷压缩机组装置
JPH08261626A (ja) レーザー加工機用クーラーのミラー回路温調装置
JP2921632B2 (ja) 原子力発電所の冷房空調用冷水供給方法及び設備
JP2007198617A (ja) 補助冷却装置における給水制御方法