JP2000084835A - ラッピングキャリヤ - Google Patents
ラッピングキャリヤInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】機械的強度の低下を抑制しつつ研磨剤の透過面
積を拡大し、ラッピング装置による被研磨物の研磨時の
波打ち変形を防止する。 【解決手段】ラッピングキャリヤは、定盤１１の中央に
設けられた太陽ギヤ１２と太陽ギア１２と同心状に定盤
１１の周面に設けられたインターナルギヤ１３とに噛合
する歯車２１がキャリヤ本体２２の外周面に形成され、
キャリヤ本体２２に被研磨物を挿入可能な支持孔２３と
研磨剤を透過させる抜き孔とが形成されたものであり、
厚さが２０〜１０００μｍである。歯車２１及びその周
縁と支持孔２３及びその周縁以外のキャリヤ本体２２の
残部がメッシュ２６に形成され、抜き孔がメッシュの目
２７である。メッシュの目２７の間隔は０．３〜１．５
ｍｍであり、その目２７の形状は角形又は円形であり、
メッシュの目２７の大きさは０．５〜４ｍｍである。
積を拡大し、ラッピング装置による被研磨物の研磨時の
波打ち変形を防止する。 【解決手段】ラッピングキャリヤは、定盤１１の中央に
設けられた太陽ギヤ１２と太陽ギア１２と同心状に定盤
１１の周面に設けられたインターナルギヤ１３とに噛合
する歯車２１がキャリヤ本体２２の外周面に形成され、
キャリヤ本体２２に被研磨物を挿入可能な支持孔２３と
研磨剤を透過させる抜き孔とが形成されたものであり、
厚さが２０〜１０００μｍである。歯車２１及びその周
縁と支持孔２３及びその周縁以外のキャリヤ本体２２の
残部がメッシュ２６に形成され、抜き孔がメッシュの目
２７である。メッシュの目２７の間隔は０．３〜１．５
ｍｍであり、その目２７の形状は角形又は円形であり、
メッシュの目２７の大きさは０．５〜４ｍｍである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水晶、ガラス、セ
ラミックス等の硬質脆性材料の表面を研磨するラッピン
グ装置に用いられるキャリヤに関する。更に詳しくは、
歯車が外周面に形成され、被加工物を挿入可能な支持孔
が形成された厚さが２０〜１０００μｍのラッピングキ
ャリヤに関するものである。
ラミックス等の硬質脆性材料の表面を研磨するラッピン
グ装置に用いられるキャリヤに関する。更に詳しくは、
歯車が外周面に形成され、被加工物を挿入可能な支持孔
が形成された厚さが２０〜１０００μｍのラッピングキ
ャリヤに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】水晶、ガラス、セラミックス等の硬質脆
性材料の表面を研磨する装置としてラッピング装置が知
られており、被研磨物の上下面を同時に研磨するラッピ
ング装置では上下一対の定盤が設けられる。下側定盤の
中央には外歯車である太陽ギヤが設けられ、下側定盤の
周面にはその太陽ギアと同心状に内歯車であるインター
ナルギヤが設けられる。図３に示すように、ラッピング
キャリヤ１はこの下側定盤の上に配置されるものであっ
て、太陽ギアとインターナルギヤの双方に噛合する歯車
２が外周面に形成され、被研磨物はキャリヤ１に形成さ
れた支持孔３に挿入される。図示しないが、ラッピング
装置の上側定盤はキャリヤ１の支持孔３に挿入された被
研磨物を下側定盤とともに挟んで被研磨物に所定の圧力
を加えるように構成される。被研磨物を挟んだ状態で研
磨剤を下側定盤と上側定盤の間に供給しながら、定盤及
び太陽ギヤをそれぞれ同心状に回転させると、キャリヤ
１は被研磨物とともに太陽ギヤの周囲を自転しながら公
転し、それぞれの定盤は被研磨物の上面及び下面を同時
に研磨するようになっている。
性材料の表面を研磨する装置としてラッピング装置が知
られており、被研磨物の上下面を同時に研磨するラッピ
ング装置では上下一対の定盤が設けられる。下側定盤の
中央には外歯車である太陽ギヤが設けられ、下側定盤の
周面にはその太陽ギアと同心状に内歯車であるインター
ナルギヤが設けられる。図３に示すように、ラッピング
キャリヤ１はこの下側定盤の上に配置されるものであっ
て、太陽ギアとインターナルギヤの双方に噛合する歯車
２が外周面に形成され、被研磨物はキャリヤ１に形成さ
れた支持孔３に挿入される。図示しないが、ラッピング
装置の上側定盤はキャリヤ１の支持孔３に挿入された被
研磨物を下側定盤とともに挟んで被研磨物に所定の圧力
を加えるように構成される。被研磨物を挟んだ状態で研
磨剤を下側定盤と上側定盤の間に供給しながら、定盤及
び太陽ギヤをそれぞれ同心状に回転させると、キャリヤ
１は被研磨物とともに太陽ギヤの周囲を自転しながら公
転し、それぞれの定盤は被研磨物の上面及び下面を同時
に研磨するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、キャリヤ１の
支持孔３に挿入された被研磨物の研磨は、研磨剤を下側
定盤と上側定盤の間に供給しながら行われるため、研磨
剤が支持孔３を除くキャリヤ１の表面と定盤との間に残
存する場合があり、定盤が被研磨物に加える圧力の一部
がキャリヤ１の表面に残存した研磨剤により支持され、
被研磨物に均等な圧力が加わらない不具合がある。この
点を解消するために、従来研磨剤を透過させる抜き孔４
を支持孔３を除く部分に形成することが行われている
が、厚さが比較的薄い１０００μｍ以下のラッピングキ
ャリヤにあっては、この抜き孔４を大きくするとキャリ
ヤ１の機械的強度が低下し、機械的強度の低下を防止す
るために抜き孔４を小さくすると研磨剤を十分に透過で
きずに均一に被研磨物を研磨できない問題点がある。
支持孔３に挿入された被研磨物の研磨は、研磨剤を下側
定盤と上側定盤の間に供給しながら行われるため、研磨
剤が支持孔３を除くキャリヤ１の表面と定盤との間に残
存する場合があり、定盤が被研磨物に加える圧力の一部
がキャリヤ１の表面に残存した研磨剤により支持され、
被研磨物に均等な圧力が加わらない不具合がある。この
点を解消するために、従来研磨剤を透過させる抜き孔４
を支持孔３を除く部分に形成することが行われている
が、厚さが比較的薄い１０００μｍ以下のラッピングキ
ャリヤにあっては、この抜き孔４を大きくするとキャリ
ヤ１の機械的強度が低下し、機械的強度の低下を防止す
るために抜き孔４を小さくすると研磨剤を十分に透過で
きずに均一に被研磨物を研磨できない問題点がある。
【０００４】また、このように厚さが比較的薄いラッピ
ングキャリヤにあっては、キャリヤが被研磨物とともに
太陽ギヤの周囲を自転及び公転する際に、被研磨物の表
面を研磨する際に生じる定盤との摺動抵抗に起因して被
研磨物を支持するキャリヤ自体が変形して支持孔を除く
部分が波を打つように変形する不具合もある。キャリヤ
が波打ち変形するとキャリヤ自体の厚さが被研磨物の厚
さを越えるようになり、キャリヤ自体が上下の定盤にそ
れぞれ接触して被研磨物に均等な圧力が加わらないこと
に起因して被研磨物を均等に研磨できない問題点があ
る。本発明の目的は、機械的強度の低下を抑制しつつ研
磨剤の透過面積を拡大し得るラッピングキャリヤを提供
することにある。本発明の別の目的は、ラッピング装置
による被研磨物の研磨時に波打ち変形を起さないラッピ
ングキャリヤを提供することにある。
ングキャリヤにあっては、キャリヤが被研磨物とともに
太陽ギヤの周囲を自転及び公転する際に、被研磨物の表
面を研磨する際に生じる定盤との摺動抵抗に起因して被
研磨物を支持するキャリヤ自体が変形して支持孔を除く
部分が波を打つように変形する不具合もある。キャリヤ
が波打ち変形するとキャリヤ自体の厚さが被研磨物の厚
さを越えるようになり、キャリヤ自体が上下の定盤にそ
れぞれ接触して被研磨物に均等な圧力が加わらないこと
に起因して被研磨物を均等に研磨できない問題点があ
る。本発明の目的は、機械的強度の低下を抑制しつつ研
磨剤の透過面積を拡大し得るラッピングキャリヤを提供
することにある。本発明の別の目的は、ラッピング装置
による被研磨物の研磨時に波打ち変形を起さないラッピ
ングキャリヤを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
図１及び図２に示すように、定盤１１の中央に設けられ
た太陽ギヤ１２と太陽ギア１２と同心状に定盤１１の周
面に設けられたインターナルギヤ１３とに噛合する歯車
２１がキャリヤ本体２２の外周面に形成され、キャリヤ
本体２２に被研磨物を挿入可能な支持孔２３と研磨剤を
透過させる抜き孔とが形成された厚さが２０〜１０００
μｍのラッピングキャリヤの改良である。その特徴ある
構成は、歯車２１及びその周縁と支持孔２３及びその周
縁以外のキャリヤ本体２２の残部がメッシュ２６に形成
され、抜き孔がメッシュの目２７である点にある。請求
項１に係る発明では、メッシュの目２７が抜き孔を構成
するため、メッシュの目よりも大きな単一又は複数の抜
き孔を形成する図３に示す従来品に比較して研磨剤の透
過面積を拡大することができる。一方、抜き孔がメッシ
ュの目２７であるので、メッシュの面積に相当する大き
な抜き孔を形成する場合に比較してラッピングキャリヤ
自体の機械的強度の低下を抑制することができる。
図１及び図２に示すように、定盤１１の中央に設けられ
た太陽ギヤ１２と太陽ギア１２と同心状に定盤１１の周
面に設けられたインターナルギヤ１３とに噛合する歯車
２１がキャリヤ本体２２の外周面に形成され、キャリヤ
本体２２に被研磨物を挿入可能な支持孔２３と研磨剤を
透過させる抜き孔とが形成された厚さが２０〜１０００
μｍのラッピングキャリヤの改良である。その特徴ある
構成は、歯車２１及びその周縁と支持孔２３及びその周
縁以外のキャリヤ本体２２の残部がメッシュ２６に形成
され、抜き孔がメッシュの目２７である点にある。請求
項１に係る発明では、メッシュの目２７が抜き孔を構成
するため、メッシュの目よりも大きな単一又は複数の抜
き孔を形成する図３に示す従来品に比較して研磨剤の透
過面積を拡大することができる。一方、抜き孔がメッシ
ュの目２７であるので、メッシュの面積に相当する大き
な抜き孔を形成する場合に比較してラッピングキャリヤ
自体の機械的強度の低下を抑制することができる。
【０００６】請求項２に係る発明は、請求項１に係る発
明であって、メッシュの目２７の間隔ｔが０．３〜１．
５ｍｍであり、メッシュの目２７の形状が角形又は円形
であり、メッシュの目２７の大きさｄが０．５〜４．０
ｍｍであるラッピングキャリヤである。請求項２に係る
発明では、ラッピングキャリヤが被研磨物とともに自転
及び公転して被研磨物の表面を研磨する際に生じる摺動
抵抗を、キャリヤ本体２２に形成されたメッシュ２６の
目が弾性変形することにより吸収し、支持孔２３を除く
部分が波を打つように変形することを防止する。
明であって、メッシュの目２７の間隔ｔが０．３〜１．
５ｍｍであり、メッシュの目２７の形状が角形又は円形
であり、メッシュの目２７の大きさｄが０．５〜４．０
ｍｍであるラッピングキャリヤである。請求項２に係る
発明では、ラッピングキャリヤが被研磨物とともに自転
及び公転して被研磨物の表面を研磨する際に生じる摺動
抵抗を、キャリヤ本体２２に形成されたメッシュ２６の
目が弾性変形することにより吸収し、支持孔２３を除く
部分が波を打つように変形することを防止する。
【０００７】なお、本明細書におけるメッシュの目の間
隔とは、図１の拡大図のｔで示すように、メッシュの目
の間に残存するキャリヤ本体の寸法をいい、この目の間
隔が０．３ｍｍ未満であると研磨剤の透過能力が低減
し、１．５ｍｍを越えるとキャリヤ自体の機械的強度が
低下する。好ましくは０．５〜１．２ｍｍである。ま
た、角形のメッシュの目２７の形状には４角形、５角形
又は６角形からなる形状が挙げられ、６角形の目の形状
であればハニカム形状を構成するメッシュが挙げられ
る。一方、円形のメッシュの目２７の形状には真円及び
楕円の双方が含まれる。更に、メッシュの目２７の大き
さは、メッシュの目２７の形状が円形であればその直径
を、楕円である場合には長径を意味し、メッシュの目２
７の形状が角形であれば一辺の長さを意味する。このメ
ッシュの目２７の大きさの更に好ましい値は１〜３ｍｍ
である。
隔とは、図１の拡大図のｔで示すように、メッシュの目
の間に残存するキャリヤ本体の寸法をいい、この目の間
隔が０．３ｍｍ未満であると研磨剤の透過能力が低減
し、１．５ｍｍを越えるとキャリヤ自体の機械的強度が
低下する。好ましくは０．５〜１．２ｍｍである。ま
た、角形のメッシュの目２７の形状には４角形、５角形
又は６角形からなる形状が挙げられ、６角形の目の形状
であればハニカム形状を構成するメッシュが挙げられ
る。一方、円形のメッシュの目２７の形状には真円及び
楕円の双方が含まれる。更に、メッシュの目２７の大き
さは、メッシュの目２７の形状が円形であればその直径
を、楕円である場合には長径を意味し、メッシュの目２
７の形状が角形であれば一辺の長さを意味する。このメ
ッシュの目２７の大きさの更に好ましい値は１〜３ｍｍ
である。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面に
基づいて詳しく説明する。図２に示すように、本発明の
ラッピングキャリヤ２０はラッピング装置１０に使用さ
れるものである。ラッピング装置１０は水晶、ガラス、
セラミックス等の硬質脆性材料の表面を研磨するもので
あり、被研磨物の上下面を同時に研磨するラッピング装
置１０では上下一対の定盤１１（図には下側の定盤のみ
示す）が設けられる。下側定盤１１の中央には外歯車で
ある太陽ギヤ１２が設けられ、下側定盤１１の周面には
その太陽ギヤ１２と同心状に内歯車であるインターナル
ギヤ１３が設けられる。下側定盤１１には研磨剤を有効
に排出するための複数の凹溝１１ａが格子状に形成さ
れ、下側定盤１１及び太陽ギヤ１２は基台１４に対して
それぞれ同心状に回転可能に構成される。図示しない上
側定盤は下側定盤１１の上方に上下動可能に設けられ、
上側定盤は下降することにより、被研磨物を下側定盤１
１とともに挟んで被研磨物に所定の圧力を加えるように
構成される。
基づいて詳しく説明する。図２に示すように、本発明の
ラッピングキャリヤ２０はラッピング装置１０に使用さ
れるものである。ラッピング装置１０は水晶、ガラス、
セラミックス等の硬質脆性材料の表面を研磨するもので
あり、被研磨物の上下面を同時に研磨するラッピング装
置１０では上下一対の定盤１１（図には下側の定盤のみ
示す）が設けられる。下側定盤１１の中央には外歯車で
ある太陽ギヤ１２が設けられ、下側定盤１１の周面には
その太陽ギヤ１２と同心状に内歯車であるインターナル
ギヤ１３が設けられる。下側定盤１１には研磨剤を有効
に排出するための複数の凹溝１１ａが格子状に形成さ
れ、下側定盤１１及び太陽ギヤ１２は基台１４に対して
それぞれ同心状に回転可能に構成される。図示しない上
側定盤は下側定盤１１の上方に上下動可能に設けられ、
上側定盤は下降することにより、被研磨物を下側定盤１
１とともに挟んで被研磨物に所定の圧力を加えるように
構成される。
【０００９】図１に示すように、ラッピングキャリヤ２
０は太陽ギヤ１２とインターナルギヤ１３とに噛合する
歯車２１が外周面に形成されたキャリヤ本体２２と、こ
のキャリヤ本体２２に形成された被研磨物を挿入可能な
支持孔２３を備える。このラッピングキャリヤ２０はＳ
ＵＳ４２０Ｊ２、ＳＵＳ４３１、ＳＵＳ４４０Ｃ等のマ
ルテンサイト系ステンレス又はＳＫ材若しくは銅材から
なる厚さが２０〜１０００μｍの板材をエッチング加工
することにより作られる。支持孔２３は被研磨物の外径
形状に相応して形成され、この実施の形態では角部に丸
みが形成された４角形状の板材である被研磨物のための
支持孔２３が３つ形成される。歯車２１の周縁と支持孔
２３の周縁を除くキャリヤ本体２２はメッシュ２６に形
成される。この実施の形態におけるメッシュ２６は、図
１の拡大図に示すように、直径ｄが１ｍｍの円孔２７を
孔の間隔ｔが１。０ｍｍになるようにエッチング加工時
に複数同時に形成することにより作られる。このメッシ
ュ２６の目である円孔２７は研磨剤を透過させてキャリ
ヤ本体２２の表面に研磨剤の残存を防止する従来の抜き
孔として機能する。
０は太陽ギヤ１２とインターナルギヤ１３とに噛合する
歯車２１が外周面に形成されたキャリヤ本体２２と、こ
のキャリヤ本体２２に形成された被研磨物を挿入可能な
支持孔２３を備える。このラッピングキャリヤ２０はＳ
ＵＳ４２０Ｊ２、ＳＵＳ４３１、ＳＵＳ４４０Ｃ等のマ
ルテンサイト系ステンレス又はＳＫ材若しくは銅材から
なる厚さが２０〜１０００μｍの板材をエッチング加工
することにより作られる。支持孔２３は被研磨物の外径
形状に相応して形成され、この実施の形態では角部に丸
みが形成された４角形状の板材である被研磨物のための
支持孔２３が３つ形成される。歯車２１の周縁と支持孔
２３の周縁を除くキャリヤ本体２２はメッシュ２６に形
成される。この実施の形態におけるメッシュ２６は、図
１の拡大図に示すように、直径ｄが１ｍｍの円孔２７を
孔の間隔ｔが１。０ｍｍになるようにエッチング加工時
に複数同時に形成することにより作られる。このメッシ
ュ２６の目である円孔２７は研磨剤を透過させてキャリ
ヤ本体２２の表面に研磨剤の残存を防止する従来の抜き
孔として機能する。
【００１０】このように構成されたラッピングキャリヤ
を使用してラッピング装置により被研磨物を研磨するに
は、先ず、歯車２１を太陽ギヤ１２とインターナルギヤ
１３の双方に噛合させて下側定盤１１の上にラッピング
キャリヤ２０を配置し、被研磨物を支持孔２３に挿入す
ることなく上側定盤を下降させてラッピングキャリヤ２
０を下側定盤１１とともに挟み、この状態で下側定盤１
１及び太陽ギヤ１２を所定時間回転させる。この回転に
より、ラッピングキャリヤ２０は太陽ギヤ１２の周囲を
自転しながら公転し、反り又はゆがみのあるラッピング
キャリヤ２０は定盤との接触部分に応力が集中して変形
する。所定時間の回転の後上側定盤を上昇させラッピン
グキャリヤ２０の変形を目視により確認し、この確認に
より変形あるラッピングキャリヤ２０を排除する。これ
により、ラッピングキャリヤ２０の平滑度を予め確認で
き、変形を生じないラッピングキャリヤ２０の支持孔２
３に被研磨物を挿入する。
を使用してラッピング装置により被研磨物を研磨するに
は、先ず、歯車２１を太陽ギヤ１２とインターナルギヤ
１３の双方に噛合させて下側定盤１１の上にラッピング
キャリヤ２０を配置し、被研磨物を支持孔２３に挿入す
ることなく上側定盤を下降させてラッピングキャリヤ２
０を下側定盤１１とともに挟み、この状態で下側定盤１
１及び太陽ギヤ１２を所定時間回転させる。この回転に
より、ラッピングキャリヤ２０は太陽ギヤ１２の周囲を
自転しながら公転し、反り又はゆがみのあるラッピング
キャリヤ２０は定盤との接触部分に応力が集中して変形
する。所定時間の回転の後上側定盤を上昇させラッピン
グキャリヤ２０の変形を目視により確認し、この確認に
より変形あるラッピングキャリヤ２０を排除する。これ
により、ラッピングキャリヤ２０の平滑度を予め確認で
き、変形を生じないラッピングキャリヤ２０の支持孔２
３に被研磨物を挿入する。
【００１１】被研磨物を支持孔２３に挿入した後、図示
しない上側定盤を再び下降させて被研磨物をラッピング
キャリヤ２０とともに上側定盤と下側定盤１１の間に挟
んで被研磨物に所定の圧力を加える。この状態で図示し
ない研磨剤供給手段により研磨剤を下側定盤１１と上側
定盤の間に供給しながら、下側定盤１１及び太陽ギヤ１
２をそれぞれ回転させる。太陽ギヤ１２の回転によりラ
ッピングキャリヤ２０は被研磨物とともに太陽ギヤ１２
の周囲を自転しながら公転して、被研磨物の上面及び下
面は上側定盤及び下側定盤１１に接触して研磨される。
この時、下側定盤１１と上側定盤の間に供給された研磨
剤は、被研磨物の上面又は下面及び上側定盤又は下側定
盤１１との間に侵入して被研磨物を研磨した後メッシュ
２６の目である円孔２７に侵入し、円孔２７に侵入した
研磨剤は下側定盤１１に形成された凹溝１１ａに侵入し
た後排出される。このため、研磨剤が支持孔２３を除く
キャリヤ本体２２の表面とそれぞれの定盤１１との間に
残存することはなく、被研磨物に常に均等な圧力を加え
ることができる。
しない上側定盤を再び下降させて被研磨物をラッピング
キャリヤ２０とともに上側定盤と下側定盤１１の間に挟
んで被研磨物に所定の圧力を加える。この状態で図示し
ない研磨剤供給手段により研磨剤を下側定盤１１と上側
定盤の間に供給しながら、下側定盤１１及び太陽ギヤ１
２をそれぞれ回転させる。太陽ギヤ１２の回転によりラ
ッピングキャリヤ２０は被研磨物とともに太陽ギヤ１２
の周囲を自転しながら公転して、被研磨物の上面及び下
面は上側定盤及び下側定盤１１に接触して研磨される。
この時、下側定盤１１と上側定盤の間に供給された研磨
剤は、被研磨物の上面又は下面及び上側定盤又は下側定
盤１１との間に侵入して被研磨物を研磨した後メッシュ
２６の目である円孔２７に侵入し、円孔２７に侵入した
研磨剤は下側定盤１１に形成された凹溝１１ａに侵入し
た後排出される。このため、研磨剤が支持孔２３を除く
キャリヤ本体２２の表面とそれぞれの定盤１１との間に
残存することはなく、被研磨物に常に均等な圧力を加え
ることができる。
【００１２】また、キャリヤが被研磨物とともに太陽ギ
ヤ１２の周囲を自転及び公転する際に、被研磨物の表面
を研磨する際に生じる定盤１１との摺動抵抗が生じて
も、その応力はキャリヤ本体２２に形成されたメッシュ
２６の目、即ち本実施の形態では複数の円孔２７自体が
楕円形状に弾性変形することにより吸収し、支持孔２３
を除く部分が波を打つように変形することを防止する。
ヤ１２の周囲を自転及び公転する際に、被研磨物の表面
を研磨する際に生じる定盤１１との摺動抵抗が生じて
も、その応力はキャリヤ本体２２に形成されたメッシュ
２６の目、即ち本実施の形態では複数の円孔２７自体が
楕円形状に弾性変形することにより吸収し、支持孔２３
を除く部分が波を打つように変形することを防止する。
【００１３】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、歯
車の周縁と支持孔の周縁を除くキャリヤ本体をメッシュ
に形成し、このメッシュの目を従来の抜き孔として機能
させたので、メッシュの目よりも大きな単一又は複数の
抜き孔を形成する従来品に比較して研磨剤の透過面積を
拡大することができる。その一方、抜き孔がメッシュの
目であるので、メッシュの面積に相当する大きな抜き孔
を形成する場合に比較してラッピングキャリヤ自体の機
械的強度の低下を抑制することができる。この結果、従
来のラッピングキャリヤに比較して機械的強度の低下を
抑制しつつ研磨剤の透過面積を拡大することができる。
また、キャリヤ本体にメッシュを形成したので、被研磨
物の表面を研磨する際に生じる摺動抵抗をそのメッシュ
の目が弾性変形することにより吸収し、ラッピングキャ
リヤの支持孔を除く部分が波を打つように変形すること
を防止することができる。この結果、支持孔に挿入され
た被研磨物の表面を均一に研磨することができる。
車の周縁と支持孔の周縁を除くキャリヤ本体をメッシュ
に形成し、このメッシュの目を従来の抜き孔として機能
させたので、メッシュの目よりも大きな単一又は複数の
抜き孔を形成する従来品に比較して研磨剤の透過面積を
拡大することができる。その一方、抜き孔がメッシュの
目であるので、メッシュの面積に相当する大きな抜き孔
を形成する場合に比較してラッピングキャリヤ自体の機
械的強度の低下を抑制することができる。この結果、従
来のラッピングキャリヤに比較して機械的強度の低下を
抑制しつつ研磨剤の透過面積を拡大することができる。
また、キャリヤ本体にメッシュを形成したので、被研磨
物の表面を研磨する際に生じる摺動抵抗をそのメッシュ
の目が弾性変形することにより吸収し、ラッピングキャ
リヤの支持孔を除く部分が波を打つように変形すること
を防止することができる。この結果、支持孔に挿入され
た被研磨物の表面を均一に研磨することができる。
【図１】本発明のラッピングキャリヤを示す平面図。
【図２】そのラッピングキャリヤの使用状態を示すラッ
ピング装置の部分斜視図。
ピング装置の部分斜視図。
【図３】従来のラッピングキャリヤを示す図１に対応す
る平面図。
る平面図。
１１ 定盤 １２ 太陽ギヤ １３ インターナルギヤ ２０ ラッピングキャリヤ ２１ 歯車 ２２ キャリヤ本体 ２３ 支持孔 ２６ メッシュ ２７ 円孔（メッシュの目） ｔ メッシュの目の間隔 ｄ メッシュの目の大きさ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年１２月７日（１９９８．１２．
７）
７）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】また、このように厚さが比較的薄いラッピ
ングキャリヤにあっては、キャリヤが被研磨物とともに
太陽ギヤの周囲を自転及び公転する際に、被研磨物の表
面と定盤との間に摺動抵抗が生じ、被研磨物を支持する
キャリヤ自体が変形して支持孔を除く部分が波を打つよ
うに変形する不具合もある。キャリヤが波打ち変形する
とキャリヤ自体の厚さが被研磨物の厚さを越えるように
なり、キャリヤ自体が上下の定盤にそれぞれ接触して被
研磨物に均等な圧力が加わらないことに起因して被研磨
物を均等に研磨できない問題点がある。本発明の目的
は、機械的強度の低下を抑制しつつ研磨剤の透過面積を
拡大し得るラッピングキャリヤを提供することにある。
本発明の別の目的は、ラッピング装置による被研磨物の
研磨時に波打ち変形を起さないラッピングキャリヤを提
供することにある。
ングキャリヤにあっては、キャリヤが被研磨物とともに
太陽ギヤの周囲を自転及び公転する際に、被研磨物の表
面と定盤との間に摺動抵抗が生じ、被研磨物を支持する
キャリヤ自体が変形して支持孔を除く部分が波を打つよ
うに変形する不具合もある。キャリヤが波打ち変形する
とキャリヤ自体の厚さが被研磨物の厚さを越えるように
なり、キャリヤ自体が上下の定盤にそれぞれ接触して被
研磨物に均等な圧力が加わらないことに起因して被研磨
物を均等に研磨できない問題点がある。本発明の目的
は、機械的強度の低下を抑制しつつ研磨剤の透過面積を
拡大し得るラッピングキャリヤを提供することにある。
本発明の別の目的は、ラッピング装置による被研磨物の
研磨時に波打ち変形を起さないラッピングキャリヤを提
供することにある。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】なお、本明細書におけるメッシュの目の間
隔とは、図１の拡大図のｔで示すように、メッシュの目
の間に残存するキャリヤ本体の寸法をいい、この目の間
隔が０．３ｍｍ未満であるとキャリヤ自体の機械的強度
が低下し、１．５ｍｍを越えると研磨剤の透過能力が低
減する。好ましくは０．５〜１．２ｍｍである。また、
角形のメッシュの目２７の形状には４角形、５角形又は
６角形からなる形状が挙げられ、６角形の目の形状であ
ればハニカム形状を構成するメッシュが挙げられる。一
方、円形のメッシュの目２７の形状には真円及び楕円の
双方が含まれる。更に、メッシュの目２７の大きさは、
メッシュの目２７の形状が円形であればその直径を、楕
円である場合には長径を意味し、メッシュの目２７の形
状が角形であれば一辺の長さを意味する。このメッシュ
の目２７の大きさの更に好ましい値は１〜３ｍｍであ
る。
隔とは、図１の拡大図のｔで示すように、メッシュの目
の間に残存するキャリヤ本体の寸法をいい、この目の間
隔が０．３ｍｍ未満であるとキャリヤ自体の機械的強度
が低下し、１．５ｍｍを越えると研磨剤の透過能力が低
減する。好ましくは０．５〜１．２ｍｍである。また、
角形のメッシュの目２７の形状には４角形、５角形又は
６角形からなる形状が挙げられ、６角形の目の形状であ
ればハニカム形状を構成するメッシュが挙げられる。一
方、円形のメッシュの目２７の形状には真円及び楕円の
双方が含まれる。更に、メッシュの目２７の大きさは、
メッシュの目２７の形状が円形であればその直径を、楕
円である場合には長径を意味し、メッシュの目２７の形
状が角形であれば一辺の長さを意味する。このメッシュ
の目２７の大きさの更に好ましい値は１〜３ｍｍであ
る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】また、キャリヤが被研磨物とともに太陽ギ
ヤ１２の周囲を自転及び公転する際に、被研磨物の表面
と定盤１１との間に摺動抵抗が生じても、その応力はキ
ャリヤ本体２２に形成されたメッシュ２６の目、即ち本
実施の形態では複数の円孔２７自体が楕円形状に弾性変
形することにより吸収し、支持孔２３を除く部分が波を
打つように変形することを防止する。
ヤ１２の周囲を自転及び公転する際に、被研磨物の表面
と定盤１１との間に摺動抵抗が生じても、その応力はキ
ャリヤ本体２２に形成されたメッシュ２６の目、即ち本
実施の形態では複数の円孔２７自体が楕円形状に弾性変
形することにより吸収し、支持孔２３を除く部分が波を
打つように変形することを防止する。
Claims (2)
- 【請求項１】 定盤(11)の中央に設けられた太陽ギヤ(1
2)と前記太陽ギア(12)と同心状に前記定盤(11)の周面に
設けられたインターナルギヤ(13)とに噛合する歯車(21)
がキャリヤ本体(22)の外周面に形成され、前記キャリヤ
本体(22)に被研磨物を挿入可能な支持孔(23)と研磨剤を
透過させる抜き孔とが形成された厚さが２０〜１０００
μｍのラッピングキャリヤにおいて、 前記歯車(21)及びその周縁と前記支持孔(23)及びその周
縁以外のキャリヤ本体(22)の残部がメッシュ(26)に形成
され、前記抜き孔が前記メッシュの目(27)であることを
特徴とするラッピングキャリヤ。 - 【請求項２】 メッシュの目(27)の間隔(t)が０．３〜
１．５ｍｍであり、前記メッシュの目(27)の形状が角形
又は円形であり、前記メッシュの目(27)の大きさ(d)が
０．５〜４．０ｍｍである請求項１記載のラッピングキ
ャリヤ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10262680A JP2935843B1 (ja) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | ラッピングキャリヤ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10262680A JP2935843B1 (ja) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | ラッピングキャリヤ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2935843B1 JP2935843B1 (ja) | 1999-08-16 |
| JP2000084835A true JP2000084835A (ja) | 2000-03-28 |
Family
ID=17379106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10262680A Expired - Lifetime JP2935843B1 (ja) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | ラッピングキャリヤ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2935843B1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004283929A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウエーハ保持用キャリア並びにそれを用いた両面研磨装置及びウエーハの両面研磨方法 |
| JP2014128862A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Shuji Iwata | 円盤状キャリア |
| JP2016022542A (ja) * | 2014-07-17 | 2016-02-08 | 信越半導体株式会社 | ウェーハ保持用キャリア並びにそれを用いたウェーハの両面研磨方法及びウェーハ保持用キャリアの評価方法並びに設計方法 |
| KR20190027319A (ko) | 2017-09-06 | 2019-03-14 | 스피드팸 가부시키가이샤 | 양면 연마장치용 피연마물 유지용 캐리어 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107553314B (zh) * | 2017-10-21 | 2023-10-27 | 德清凯晶光电科技有限公司 | 可调整厚度的大尺寸游星轮 |
| CN107571145B (zh) * | 2017-10-21 | 2023-10-31 | 德清凯晶光电科技有限公司 | 厚度可调整的大尺寸游星轮 |
| CN113510614A (zh) * | 2021-08-03 | 2021-10-19 | 菲特晶(南京)电子有限公司 | 一种双面研磨机用游轮结构 |
-
1998
- 1998-09-17 JP JP10262680A patent/JP2935843B1/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004283929A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウエーハ保持用キャリア並びにそれを用いた両面研磨装置及びウエーハの両面研磨方法 |
| JP2014128862A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Shuji Iwata | 円盤状キャリア |
| JP2016022542A (ja) * | 2014-07-17 | 2016-02-08 | 信越半導体株式会社 | ウェーハ保持用キャリア並びにそれを用いたウェーハの両面研磨方法及びウェーハ保持用キャリアの評価方法並びに設計方法 |
| KR20190027319A (ko) | 2017-09-06 | 2019-03-14 | 스피드팸 가부시키가이샤 | 양면 연마장치용 피연마물 유지용 캐리어 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2935843B1 (ja) | 1999-08-16 |
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