JP2000081500A - マイクロハニカム、蛍光面及び蛍光板の製造方法 - Google Patents
マイクロハニカム、蛍光面及び蛍光板の製造方法Info
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- JP2000081500A JP2000081500A JP10252607A JP25260798A JP2000081500A JP 2000081500 A JP2000081500 A JP 2000081500A JP 10252607 A JP10252607 A JP 10252607A JP 25260798 A JP25260798 A JP 25260798A JP 2000081500 A JP2000081500 A JP 2000081500A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高解像度の蛍光面の製造方法を提供すること
である。 【解決手段】 化学繊維の糸１０ａの表面にアルミメッ
キ１０ｂを施してメッキ糸１０を製造し、このメッキ糸
を複数本接着する。次に、所定長さに切断して細線セル
１４を製造する。アルカリ溶液を用いて細線セル１４か
らメッキ糸１０中の化学繊維の糸１０ａを抜き取り、こ
のメッキ糸１０の芯線を向き採った部分にＣｓＩを充填
することにより蛍光面を製造する。
である。 【解決手段】 化学繊維の糸１０ａの表面にアルミメッ
キ１０ｂを施してメッキ糸１０を製造し、このメッキ糸
を複数本接着する。次に、所定長さに切断して細線セル
１４を製造する。アルカリ溶液を用いて細線セル１４か
らメッキ糸１０中の化学繊維の糸１０ａを抜き取り、こ
のメッキ糸１０の芯線を向き採った部分にＣｓＩを充填
することにより蛍光面を製造する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、マイクロハニカ
ム、蛍光面及び蛍光板の製造方法に関するものである。
ム、蛍光面及び蛍光板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線を利用した検査装置は、医療用のＸ
線診断装置等の他、産業用のＩＣ検査装置等に広く使用
されている。このような検査装置に使用されるＸ線検出
器は、Ｘ線を蛍光面で受け、これを光に変換してＣＣＤ
等の２次元撮像素子（撮像管）で画像化する。このＸ線
検出器には様々な性能の向上が求められるが、最も重要
なものとして解像度の向上が求められる。
線診断装置等の他、産業用のＩＣ検査装置等に広く使用
されている。このような検査装置に使用されるＸ線検出
器は、Ｘ線を蛍光面で受け、これを光に変換してＣＣＤ
等の２次元撮像素子（撮像管）で画像化する。このＸ線
検出器には様々な性能の向上が求められるが、最も重要
なものとして解像度の向上が求められる。
【０００３】ところでＸ線検出器に用いられる蛍光面に
は、ヨウ化セシウム（ＣｓＩ）等の蛍光体を基板上に蒸
着して針状結晶とするタイプが存在する。この蛍光面に
おいては、図７に示すように、全反射の臨界角よりも大
きな角度でＣｓＩ結晶と空気との界面に光が入射した場
合には、光が全反射を繰り返し蛍光面の表面に到達する
が、全反射の臨界角よりも小さな角度でＣｓＩ結晶と空
気との界面に光が入射した場合には、光はＣｓＩ結晶と
空気との界面を通り抜け光（漏れ光）が横方向に広がっ
て解像度が低下する。なお、図８に全反射臨界角θ１
（θ２、θ３は全反射臨界角θ１よりも小さい角を示
す）を示す。
は、ヨウ化セシウム（ＣｓＩ）等の蛍光体を基板上に蒸
着して針状結晶とするタイプが存在する。この蛍光面に
おいては、図７に示すように、全反射の臨界角よりも大
きな角度でＣｓＩ結晶と空気との界面に光が入射した場
合には、光が全反射を繰り返し蛍光面の表面に到達する
が、全反射の臨界角よりも小さな角度でＣｓＩ結晶と空
気との界面に光が入射した場合には、光はＣｓＩ結晶と
空気との界面を通り抜け光（漏れ光）が横方向に広がっ
て解像度が低下する。なお、図８に全反射臨界角θ１
（θ２、θ３は全反射臨界角θ１よりも小さい角を示
す）を示す。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従って、蛍光面におい
て解像度を向上させるためには漏れ光を減少させる必要
があるが、漏れ光を減少させる方法として反射層として
の役目を有する細管を集束し、細管内にシンチレータを
充填した構造を有する蛍光面が考えられる（特開平２−
２２５９８号公報参照）。このような構造を有する蛍光
面においては、有効面を減少させないようにするため細
管の管壁を極めて薄く形成することが望まれるが、従
来、管壁が極めて薄い細管を形成することが困難であっ
た。
て解像度を向上させるためには漏れ光を減少させる必要
があるが、漏れ光を減少させる方法として反射層として
の役目を有する細管を集束し、細管内にシンチレータを
充填した構造を有する蛍光面が考えられる（特開平２−
２２５９８号公報参照）。このような構造を有する蛍光
面においては、有効面を減少させないようにするため細
管の管壁を極めて薄く形成することが望まれるが、従
来、管壁が極めて薄い細管を形成することが困難であっ
た。
【０００５】この発明の課題は、隔離壁が極めて薄いマ
イクロハニカム、高解像度の蛍光面及び蛍光板の製造方
法を提供することである。
イクロハニカム、高解像度の蛍光面及び蛍光板の製造方
法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載のマイクロ
ハニカムの製造方法は、有機物の芯線に金属をコーティ
ングして金属をコーティングした細線を形成する細線形
成工程と、複数の前記細線を集束する細線集束工程と、
前記細線集束工程において集束した細線を所定長に切断
する切断工程と、前記切断工程において所定長に切断し
た細線から前記芯線を抜き取る芯線抜取工程とを備える
ことを特徴とする。
ハニカムの製造方法は、有機物の芯線に金属をコーティ
ングして金属をコーティングした細線を形成する細線形
成工程と、複数の前記細線を集束する細線集束工程と、
前記細線集束工程において集束した細線を所定長に切断
する切断工程と、前記切断工程において所定長に切断し
た細線から前記芯線を抜き取る芯線抜取工程とを備える
ことを特徴とする。
【０００７】また、請求項２記載のマイクロハニカムの
製造方法は、有機物の芯線に金属をコーティングして金
属をコーティングした細線を形成する細線形成工程と、
前記細線形成工程において形成した細線を所定長に切断
する切断工程と、前記切断工程において切断した複数の
前記細線を集束する細線集束工程と、前記細線集束工程
において集束した細線から前記芯線を抜き取る芯線抜取
工程とを備えることを特徴とする。
製造方法は、有機物の芯線に金属をコーティングして金
属をコーティングした細線を形成する細線形成工程と、
前記細線形成工程において形成した細線を所定長に切断
する切断工程と、前記切断工程において切断した複数の
前記細線を集束する細線集束工程と、前記細線集束工程
において集束した細線から前記芯線を抜き取る芯線抜取
工程とを備えることを特徴とする。
【０００８】この請求項１及び請求項２記載のマイクロ
ハニカムの製造方法によれば、芯線にコーティングする
金属を極めて薄くすることができるため、隔離壁が極め
て薄いマイクロハニカムを製造することができる。
ハニカムの製造方法によれば、芯線にコーティングする
金属を極めて薄くすることができるため、隔離壁が極め
て薄いマイクロハニカムを製造することができる。
【０００９】また、請求項３記載の蛍光面の製造方法
は、有機物の芯線に金属をコーティングして金属をコー
ティングした細線を形成する細線形成工程と、複数の前
記細線を集束する細線集束工程と、前記細線集束工程に
おいて集束した細線を所定長に切断する切断工程と、前
記切断工程において所定長に切断した細線から前記芯線
を抜き取る芯線抜取工程と、前記細線の前記芯線を抜き
取った部分に蛍光体を充填する蛍光体充填工程とを備え
ることを特徴とする。
は、有機物の芯線に金属をコーティングして金属をコー
ティングした細線を形成する細線形成工程と、複数の前
記細線を集束する細線集束工程と、前記細線集束工程に
おいて集束した細線を所定長に切断する切断工程と、前
記切断工程において所定長に切断した細線から前記芯線
を抜き取る芯線抜取工程と、前記細線の前記芯線を抜き
取った部分に蛍光体を充填する蛍光体充填工程とを備え
ることを特徴とする。
【００１０】この請求項３記載の蛍光面の製造方法によ
れば、芯線にコーティングした金属が反射層として機能
するため、高解像度の蛍光面を製造することができる。
れば、芯線にコーティングした金属が反射層として機能
するため、高解像度の蛍光面を製造することができる。
【００１１】また、請求項４記載の蛍光板の製造方法
は、請求項１記載の前記マイクロハニカムを複数配列す
る配列工程と、前記マイクロハニカムの側壁同士を融着
する融着工程と、前記細線の前記芯線を抜き取った部分
に蛍光体を充填する蛍光体充填工程とを備えることを特
徴とする。この請求項４記載の蛍光板の製造方法によれ
ば、大面積の蛍光板を容易に製造することができる。
は、請求項１記載の前記マイクロハニカムを複数配列す
る配列工程と、前記マイクロハニカムの側壁同士を融着
する融着工程と、前記細線の前記芯線を抜き取った部分
に蛍光体を充填する蛍光体充填工程とを備えることを特
徴とする。この請求項４記載の蛍光板の製造方法によれ
ば、大面積の蛍光板を容易に製造することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図５を参照して、こ
の発明の実施の形態にかかるマイクロハニカム、蛍光面
及び蛍光板の製造方法について説明する。
の発明の実施の形態にかかるマイクロハニカム、蛍光面
及び蛍光板の製造方法について説明する。
【００１３】まず、直径５０〜２００μｍ、長さ３０〜
５０ｃｍのナイロン、テトロン等の化学繊維の糸（芯
線）１０ａの表面に３〜４０μｍの厚さで（芯線の直径
の５〜２０％）アルミメッキ１０ｂを施してメッキ糸１
０を製造する（図１（ａ）参照）。
５０ｃｍのナイロン、テトロン等の化学繊維の糸（芯
線）１０ａの表面に３〜４０μｍの厚さで（芯線の直径
の５〜２０％）アルミメッキ１０ｂを施してメッキ糸１
０を製造する（図１（ａ）参照）。
【００１４】次に、収容部１２ａの断面が正方形（１×
１ｃｍ）である枠１２の収容部に複数本のメッキ糸１０
（メッキ糸１０の直径が１００μｍの場合には、約１１
０００本）を収容して、枠１２の収容部１２ａに収容し
た状態のメッキ糸１０を真空中において２００〜３００
℃で１時間加熱して、メッキ糸１０同士を仮接着する
（図１（ｂ）参照）。
１ｃｍ）である枠１２の収容部に複数本のメッキ糸１０
（メッキ糸１０の直径が１００μｍの場合には、約１１
０００本）を収容して、枠１２の収容部１２ａに収容し
た状態のメッキ糸１０を真空中において２００〜３００
℃で１時間加熱して、メッキ糸１０同士を仮接着する
（図１（ｂ）参照）。
【００１５】次に、スライシングマシーンで厚さ０．２
〜５ｍｍ（標準は１ｍｍ）に切断して細線セル１４を製
造する（図１（ｃ）参照）。
〜５ｍｍ（標準は１ｍｍ）に切断して細線セル１４を製
造する（図１（ｃ）参照）。
【００１６】次に、細線セル１４をパレット（図示せ
ず）に載置して電気炉１６内に入れ、電気炉１６内の温
度を４５０〜６００℃に上昇させる。これにより各メッ
キ糸１０同士の接着を完全に行う（図２（ａ）参照）。
ず）に載置して電気炉１６内に入れ、電気炉１６内の温
度を４５０〜６００℃に上昇させる。これにより各メッ
キ糸１０同士の接着を完全に行う（図２（ａ）参照）。
【００１７】次に、細線セル１４を電気炉１６から取り
出しアルカリ溶液（１０％ＮａＯＨ）中に入れ約１時間
放置することにより、メッキ糸１０中の化学繊維の糸１
０ａを抜き取る（図２（ｂ）参照）。これによりマイク
ロハニカム１８の製造が終了する。
出しアルカリ溶液（１０％ＮａＯＨ）中に入れ約１時間
放置することにより、メッキ糸１０中の化学繊維の糸１
０ａを抜き取る（図２（ｂ）参照）。これによりマイク
ロハニカム１８の製造が終了する。
【００１８】次に、ステンレス容器２０に粉末状のＣｓ
Ｉを入れ、ステンレス容器２０を窒素又は空気を満たし
た電気炉１６内に入れて電気炉１６内を約８００℃に加
熱する。これにより、ＣｓＩが溶解し、溶解したＣｓＩ
中にマイクロハニカム１８を浸すことにより毛細管現象
によりＣｓＩがマイクロハニカム１８中に充填される。
その後マイクロハニカム１８を徐冷し、マイクロハニカ
ム１８の表面を研磨して余分なＣｓＩを取り除くことに
より蛍光面が完成する。
Ｉを入れ、ステンレス容器２０を窒素又は空気を満たし
た電気炉１６内に入れて電気炉１６内を約８００℃に加
熱する。これにより、ＣｓＩが溶解し、溶解したＣｓＩ
中にマイクロハニカム１８を浸すことにより毛細管現象
によりＣｓＩがマイクロハニカム１８中に充填される。
その後マイクロハニカム１８を徐冷し、マイクロハニカ
ム１８の表面を研磨して余分なＣｓＩを取り除くことに
より蛍光面が完成する。
【００１９】図３は、この実施の形態にかかる蛍光面の
解像度と空間周波数との関係を示すグラフである。この
蛍光面においては、マイクロハニカムの隔離壁を極めて
薄く形成することができ、この隔壁が反射層として機能
することから、従来の蛍光面に比較して全ての空間周波
数域において解像度を向上させることができる。
解像度と空間周波数との関係を示すグラフである。この
蛍光面においては、マイクロハニカムの隔離壁を極めて
薄く形成することができ、この隔壁が反射層として機能
することから、従来の蛍光面に比較して全ての空間周波
数域において解像度を向上させることができる。
【００２０】なお、蛍光面を複数配列することにより、
大面積化した蛍光板を製造することができる。即ち、図
４に示すように１０×１０個のマイクロハニカム１８
を、その側壁同士が接触するように平面的に配列し枠内
（図示せず）に収容する。そして、マイクロハニカム１
８を収容した枠をパレットに載置して電気炉１６内に入
れ、電気炉１６内の温度を４５０〜６００℃に上昇させ
ることによりマイクロハニカム１８の側壁同士を融着す
る。これにより大面積化したマイクロハニカムを製造す
ることができる。
大面積化した蛍光板を製造することができる。即ち、図
４に示すように１０×１０個のマイクロハニカム１８
を、その側壁同士が接触するように平面的に配列し枠内
（図示せず）に収容する。そして、マイクロハニカム１
８を収容した枠をパレットに載置して電気炉１６内に入
れ、電気炉１６内の温度を４５０〜６００℃に上昇させ
ることによりマイクロハニカム１８の側壁同士を融着す
る。これにより大面積化したマイクロハニカムを製造す
ることができる。
【００２１】その後、大面積化したマイクロハニカムを
溶解したＣｓＩに浸し、ＣｓＩをマイクロハニカム中に
充填する。これにより平面蛍光板２２が完成する（図５
参照）。
溶解したＣｓＩに浸し、ＣｓＩをマイクロハニカム中に
充填する。これにより平面蛍光板２２が完成する（図５
参照）。
【００２２】また、蛍光板は、平面的なものに限らず曲
面状のものを製造することも可能である。即ち、図６に
示すように曲面を有する型にマイクロハニカム１８を配
列し、平面蛍光板の場合と同様にＣｓＩの充填を行うこ
とにより曲面蛍光板２４を製造することができる。
面状のものを製造することも可能である。即ち、図６に
示すように曲面を有する型にマイクロハニカム１８を配
列し、平面蛍光板の場合と同様にＣｓＩの充填を行うこ
とにより曲面蛍光板２４を製造することができる。
【００２３】なお、上述の実施の形態においては、化学
繊維の糸の表面にアルミメッキを施しているが、これに
限らず銀メッキ、ニッケルメッキ、マグネシウムメッキ
等反射率の高い金属メッキを施すようにしても良い。
繊維の糸の表面にアルミメッキを施しているが、これに
限らず銀メッキ、ニッケルメッキ、マグネシウムメッキ
等反射率の高い金属メッキを施すようにしても良い。
【００２４】また、上述の実施の形態においては、化学
繊維の糸の表面に金属メッキを施しているが、金属を蒸
着することにより化学繊維の表面に金属層を形成するよ
うにしても良い。
繊維の糸の表面に金属メッキを施しているが、金属を蒸
着することにより化学繊維の表面に金属層を形成するよ
うにしても良い。
【００２５】また、上述の実施の形態においては、化学
繊維の糸の表面にアルミメッキ、即ち１層の金属メッキ
を施しているが、アルミメッキの表面にニッケルメッキ
を施す等複数層の金属メッキを施すようにしても良い。
この場合には、アルミメッキが反射層として作用すると
共にニッケルメッキが支持層として作用することにより
強度の向上を図ることができる。
繊維の糸の表面にアルミメッキ、即ち１層の金属メッキ
を施しているが、アルミメッキの表面にニッケルメッキ
を施す等複数層の金属メッキを施すようにしても良い。
この場合には、アルミメッキが反射層として作用すると
共にニッケルメッキが支持層として作用することにより
強度の向上を図ることができる。
【００２６】また、上述の実施の形態においては、複数
のメッキ糸１０を接着した後に所定長に切断している
が、メッキ糸１０を所定長に切断した後に、この切断し
たメッキ糸１０を複数本集めて接着するようにしても良
い。
のメッキ糸１０を接着した後に所定長に切断している
が、メッキ糸１０を所定長に切断した後に、この切断し
たメッキ糸１０を複数本集めて接着するようにしても良
い。
【００２７】また、上述の実施の形態においては、メッ
キ糸１０を集束するために断面が正方形である枠１２を
用いているが、枠の断面は、長方形、六角形、三角形等
複数並べたときに隙間のできない形状であれば良い。
キ糸１０を集束するために断面が正方形である枠１２を
用いているが、枠の断面は、長方形、六角形、三角形等
複数並べたときに隙間のできない形状であれば良い。
【００２８】また、上述の実施の形態においては、メッ
キ糸１０を集束するために仮接着する場合に、メッキ糸
１０を加熱して仮接着しているが、接着剤により集束す
るメッキ糸１０を仮接着するようにしても良い。
キ糸１０を集束するために仮接着する場合に、メッキ糸
１０を加熱して仮接着しているが、接着剤により集束す
るメッキ糸１０を仮接着するようにしても良い。
【００２９】
【発明の効果】この発明のマイクロハニカムの製造方法
によれば、芯線にコーティングする金属を極めて薄くす
ることができるため、隔離壁が極めて薄いマイクロハニ
カムを製造することができる。
によれば、芯線にコーティングする金属を極めて薄くす
ることができるため、隔離壁が極めて薄いマイクロハニ
カムを製造することができる。
【００３０】また、この発明の蛍光面の製造方法によれ
ば、芯線にコーティングした金属が反射層として機能す
るため、高解像度の蛍光面を製造することができる。更
に、この発明の蛍光板の製造方法によれば、大面積の蛍
光板を容易に製造することができる。
ば、芯線にコーティングした金属が反射層として機能す
るため、高解像度の蛍光面を製造することができる。更
に、この発明の蛍光板の製造方法によれば、大面積の蛍
光板を容易に製造することができる。
【図１】この発明の実施の形態にかかるマイクロハニカ
ムの製造工程を説明するための図である。
ムの製造工程を説明するための図である。
【図２】この発明の実施の形態にかかるマイクロハニカ
ムの製造工程を説明するための図である。
ムの製造工程を説明するための図である。
【図３】この発明の実施の形態にかかる蛍光面の解像度
と空間周波数との関係を示すグラフである。
と空間周波数との関係を示すグラフである。
【図４】この発明の実施の形態にかかる大面積化したマ
イクロハニカムを示す図である。
イクロハニカムを示す図である。
【図５】この発明の実施の形態にかかる平面蛍光板を示
す図である。
す図である。
【図６】この発明の実施の形態にかかる曲面蛍光板を示
す図である
す図である
【図７】従来の蛍光面における蛍光の伝達の仕方を説明
する図である。
する図である。
【図８】従来の蛍光面における全反射臨界角を説明する
ための図である。
ための図である。
１０…メッキ糸、１０ａ…芯線、１０ｂ…アルミメッ
キ、１４…細線セル、１８…マイクロハニカム、２２…
平面蛍光板、２４…曲面蛍光板。
キ、１４…細線セル、１８…マイクロハニカム、２２…
平面蛍光板、２４…曲面蛍光板。
Claims (4)
- 【請求項１】 有機物の芯線に金属をコーティングして
金属をコーティングした細線を形成する細線形成工程
と、 複数の前記細線を集束する細線集束工程と、 前記細線集束工程において集束した細線を所定長に切断
する切断工程と、 前記切断工程において所定長に切断した細線から前記芯
線を抜き取る芯線抜取工程と、 を備えることを特徴とするマイクロハニカムの製造方
法。 - 【請求項２】 有機物の芯線に金属をコーティングして
金属をコーティングした細線を形成する細線形成工程
と、 前記細線形成工程において形成した細線を所定長に切断
する切断工程と、 前記切断工程において切断した複数の前記細線を集束す
る細線集束工程と、 前記細線集束工程において集束した細線から前記芯線を
抜き取る芯線抜取工程と、 を備えることを特徴とするマイクロハニカムの製造方
法。 - 【請求項３】 有機物の芯線に金属をコーティングして
金属をコーティングした細線を形成する細線形成工程
と、 複数の前記細線を集束する細線集束工程と、 前記細線集束工程において集束した細線を所定長に切断
する切断工程と、 前記切断工程において所定長に切断した細線から前記芯
線を抜き取る芯線抜取工程と、 前記細線の前記芯線を抜き取った部分に蛍光体を充填す
る蛍光体充填工程と、 を備えることを特徴とする蛍光面の製造方法。 - 【請求項４】 請求項１記載の前記マイクロハニカムを
複数配列する配列工程と、 前記マイクロハニカムの側壁同士を融着する融着工程
と、 前記細線の前記芯線を抜き取った部分に蛍光体を充填す
る蛍光体充填工程と、 を備えることを特徴とする蛍光板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10252607A JP2000081500A (ja) | 1998-09-07 | 1998-09-07 | マイクロハニカム、蛍光面及び蛍光板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10252607A JP2000081500A (ja) | 1998-09-07 | 1998-09-07 | マイクロハニカム、蛍光面及び蛍光板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000081500A true JP2000081500A (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=17239731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10252607A Pending JP2000081500A (ja) | 1998-09-07 | 1998-09-07 | マイクロハニカム、蛍光面及び蛍光板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000081500A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013200290A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Katsuhiro Dobashi | シンチレーターアレイ放射線検出器の製作方法 |
-
1998
- 1998-09-07 JP JP10252607A patent/JP2000081500A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013200290A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Katsuhiro Dobashi | シンチレーターアレイ放射線検出器の製作方法 |
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