JP2000073956A - 液体移送用往復運動ポンプ及びその制御方法、並びに洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液面レベルセンサ等を使用することなく洗浄
液の全量排出完了を検知することでセンサから異物の溶
出やパーティクルの発生がなく且つ洗浄液の排出不良や
無駄なポンプの空運転を招くことのない液体移送用往復
運動ポンプ及びその制御方法、並びに洗浄装置を提供す
る。 【解決手段】 ストローク周期を計測する手段を持つ制
御回路を有し、計測したストローク周期が予め設定され
た液体移送時のストローク周期を下回ることにより液体
の排出完了と判断するプログラムを制御回路に組み込ん
だ液体移送用往復運動ポンプ、及びポンプの往復運動を
感知するセンサの信号からストローク周期を計測し、計
測したストローク周期が予め設定された液体移送時のス
トローク周期を下回ることにより液体の排出完了と制御
回路が判断して空運転を検知することによりポンプを制
御する液体移送用往復運動ポンプの制御方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエーハや
液晶基板ガラスなどの精密洗浄分野で好適に使用できる
液体移送用往復運動ポンプ及びその制御方法、並びに洗
浄装置に関する。特に本発明は、液面レベルセンサを使
用することなく液体の排出完了を直ちに検知することが
できる液体移送用往復運動ポンプ及びその制御方法、並
びに洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体ウエーハや液晶基板ガラス
などの精密洗浄を行う洗浄装置では、洗浄液を循環濾過
したり排出したりするポンプとしてエアー駆動式のベロ
ーズポンプのような往復運動ポンプが広く利用されてい
る。そして、洗浄液の排出時、洗浄液が完全に排出され
たかどうかを知るために、洗浄槽内に液面レベルセンサ
を設置するのが一般的である。

【０００３】しかし種々の薬液を用いる精密洗浄に於て
は、このセンサから異物の溶出やパーティクルの発生が
危惧されるため好まれない。そのため場合によっては、
センサなしでポンプの予測運転を行う場合もある。この
ような予測運転では、洗浄液の排出完了に要する時間で
洗浄液の排出完了を予測するものであるが、初期の洗浄
液量の違いやポンプ駆動エアーの圧力変化などにより誤
差を生じることがある。そして、この誤差が洗浄液の排
出不良や無駄なポンプの空運転を招くという問題を有す
る。そして、このような問題が生じるのは、上記洗浄液
を移送する場合に限定されず、往復運動ポンプで液体を
移送する場合に共通する問題である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は前述の事情に
鑑みなされたもので、液面レベルセンサ等を使用するこ
となく洗浄液等の液体の全量排出完了を検知することで
センサから異物の溶出やパーティクルの発生がなく且つ
洗浄液等の液体の排出不良や無駄なポンプの空運転を招
くことのない液体移送用往復運動ポンプ及びその制御方
法、並びに洗浄装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は前述の課題を解
決するためになされたもので、請求項１に記載した発明
は、ストローク周期を計測する手段を持つ制御回路を有
し、計測したストローク周期が予め設定された液体移送
時のストローク周期を下回ることにより液体の排出完了
と判断するプログラムを制御回路に組み込んだことを特
徴とする液体移送用往復運動ポンプである。

【０００６】本発明者は、液体移送用往復運動ポンプが
空運転（即ち空気移送）の時は、液体を移送している通
常運転の時に比し、往復運動のスピードが速くなること
を見出した。このことから逆に、ポンプの往復運動のス
ピードが速くなってストローク周期が短くなるのを検知
すれば、ポンプが空運転であることを検知できることを
見出した。

【０００７】即ち上述のように、計測したストローク周
期が予め設定された液体移送時のストローク周期を下回
ることにより液体の排出完了と判断するプログラムを制
御回路に組み込むことにより、槽内に液面レベルセンサ
等を設置することなく、ポンプの空運転を検知すること
ができる。その結果、液面レベルセンサ等からの異物の
溶出やパーティクルの発生がなく且つ液体の排出不良や
無駄なポンプの空運転を招くことがない。

【０００８】また、本発明の請求項２に記載した発明
は、前記移送する液体が洗浄液であることを特徴とする
液体移送用往復運動ポンプである。上述のように本発明
装置は、槽内に液面レベルセンサ等を設置することな
く、ポンプの空運転を検知することができる。その結
果、液面レベルセンサ等からの異物の溶出やパーティク
ルの発生という問題がなく且つ液体の排出不良や無駄な
ポンプの空運転を招くことがない。従って、各種製品の
洗浄、特に異物の溶出やパーティクルの発生を極力避け
なければならない半導体ウエーハや液晶基板ガラス等の
精密洗浄分野において洗浄液を移送するのに好適であ
る。

【０００９】また、本発明の請求項３に記載した発明
は、ポンプが圧縮空気駆動式のものであることを特徴と
する液体移送用往復運動ポンプである。圧縮空気駆動式
ポンプは、空運転になった場合のストローク周期の変化
が大きいので、より容易に且つ正確に空運転であること
を検知することができるので好ましい。

【００１０】また、請求項４に記載した発明は、ポンプ
の往復運動を感知するセンサの信号からストローク周期
を計測し、計測したストローク周期が予め設定された液
体移送時のストローク周期を下回ることにより液体の排
出完了と制御回路が判断して空運転を検知することによ
りポンプを制御することを特徴とする液体移送用往復運
動ポンプの制御方法である。

【００１１】即ち上述のように、ポンプの往復運動を感
知するセンサの信号からストローク周期を計測し、計測
したストローク周期が予め設定された液体移送時のスト
ローク周期を下回ることにより液体の排出完了と制御回
路が判断して空運転を検知することによりポンプを制御
すれば、槽内に液面レベルセンサ等を設置することな
く、ポンプの空運転を検知することができる。その結
果、液面レベルセンサ等からの異物の溶出やパーティク
ルの発生がなく且つ液体の排出不良や無駄なポンプの空
運転を招くことがない。

【００１２】また、本発明の請求項５に記載した発明
は、少なくとも、洗浄液を収容するための槽と、ストロ
ーク周期を計測する手段を持つ制御回路を有する液体移
送用往復運動ポンプと、並びに被洗浄物の収容手段を具
備した洗浄装置であって、該ポンプの制御回路はストロ
ーク周期の変化を計測することによりポンプの空運転を
検出することができるものであることを特徴とする洗浄
装置である。

【００１３】このような洗浄装置にすれば、液面レベル
センサ等を使用せずにポンプの空運転を検知できる。そ
のため、従来問題であった液面レベルセンサ等からの洗
浄液中への異物の溶出やパーティクルの発生がなく、且
つ液体の排出不良や無駄なポンプの空運転を招くことも
ない。

【００１４】さらに、請求項６に記載した発明は、用い
るポンプが前述の請求項１〜請求項３のいずれかに記載
した液体移送用往復運動ポンプであることを特徴とする
洗浄装置である。このようなポンプを用いることで、液
面レベルセンサ等からの洗浄液中への異物の溶出やパー
ティクルの発生がなく、且つ液体の排出不良や無駄なポ
ンプの空運転を招くこともない。従って、この洗浄装置
は、例えば半導体ウエーハや液晶基板ガラス等の精密洗
浄分野に好適に使用できる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明するが、本発明はこれらに限定されない。本発明
の液体移送用往復運動ポンプは、ストローク周期を計測
する手段を持つ制御回路を有する。ストローク周期を計
測する手段は、ポンプの往復運動を感知するセンサにて
ストローク運動を感知し、その信号周期によりストロー
ク周期を計測する。

【００１６】ポンプの往復運動を感知するには、例えば
ポンプ駆動部の往復運動領域の両端部にセンサを設置
し、両端のセンサがそれぞれポンプ駆動部の往復接近を
感知することにより、行うことができる。

【００１７】上記センサとしては、ポンプの往復運動を
感知できれば特に限定されないが、例えばスプール検出
用センサ、光学式センサ（具体的には光伝導センサ、フ
ォトダイオードセンサ、ＣＣＤイメージセンサ等）、静
電容量圧力センサ等が挙げられる。このようにして、両
端のセンサがそれぞれストローク運動を感知し、それぞ
れの感知信号を発する。そして、各信号の時間間隔から
ポンプのストローク周期を計測する。

【００１８】本発明の液体移送用往復運動ポンプは、前
述のストローク周期を計測する手段を持つ制御回路にて
制御される。この制御回路は、ポンプの運転速度の変化
を検知して、空運転等を検知できることを特徴とする。

【００１９】本発明においては前述の制御回路に、前述
のストローク周期を計測する手段により計測したストロ
ーク周期が、予め設定された液体移送時のストローク周
期を下回ることにより液体の排出完了と判断するプログ
ラムを組み込んだことを特徴とする。

【００２０】そのようなプログラムは、例えば以下の手
順に従って制御回路に組み込むことができる。即ち、先
ず所望の液体移送速度となるようにポンプの運転条件
（例えばエアー圧力等）を適宜設定してポンプを稼働さ
せ、実際に液体をポンプにて移送する。そして、所望の
液体移送速度に達し定常運転になったら、そのストロー
ク周期を予め測定しておく。

【００２１】次いで、前述のポンプの運転条件と同じ条
件下にポンプを運転した場合に計測されるストローク周
期が前述のストローク周期測定値を下回ったら液体の排
出完了と判断するプログラムを、実際のポンプの稼働に
先立ち予め制御回路に組み込んでおく。尚、計測したス
トローク周期を制御回路に入力する場合、制御回路が自
動的に行ってもよいし、手動で行ってもよい。

【００２２】上記排出完了の判断に基づき、オペレータ
に例えば視覚や聴覚等により排出完了を知らせるように
更にプログラムしてもよい。また必要に応じ、前述の排
出完了と判断後も尚、一定時間以上同じストローク信号
をセンサが送り続けた場合、ポンプは空運転であると判
断してこれを検知するプログラムを制御回路に組み込ん
でもよい。更にまた、ポンプを停止させ、あるいは次工
程に移るなどのプログラムを組み込んでもよい。

【００２３】本発明の往復運動ポンプとしては、往復運
動を行うポンプであれば特に限定されないが、例えばベ
ローズポンプ、ダイアフラムポンプ等が挙げられる。ポ
ンプの駆動源としては、液体移送量等の負荷量が変動し
た時にストローク周期の変化が出るものであれば特に限
定されない。そのような駆動源としては、例えば圧縮空
気が好ましい。即ち圧縮空気駆動式ポンプは、液体移送
量等の負荷量が変動した時、ストローク周期の変化が大
きく出る。そのため、僅かに空運転になり始めても敏感
にストローク周期が変化し、このストローク周期の変化
を検知できる。従って、空運転を敏感に且つ正確に検知
することができるので好ましい。その他、電気モータ駆
動式ポンプも負荷変動に伴いストローク周期が変化する
ので、本発明の往復運動ポンプに使用することができ
る。

【００２４】上記本発明の液体移送用往復運動ポンプ
は、例えば以下のようにして構成される。即ち、もしポ
ンプがポンプの往復運動を感知するセンサを有しない場
合は、先ずこのセンサをポンプ駆動部の往復運動領域の
両端部に設置しておく。そして、このセンサと制御回路
とを接続し、センサの感知信号を制御回路に送れるよう
にする。そしてこの制御回路をポンプ駆動源の出力調整
部、例えばエアーの供給弁または供給バルブ等と接続し
て、制御回路がポンプの駆動出力を制御できるようにす
る。

【００２５】このような構成を有する本発明の液体移送
用ポンプは、上述のように、液体レベルセンサ等を全く
使用しないで、液体の排出完了を検知できる。そのた
め、液体レベルセンサによって液体を汚染したり液体中
にパーティクルが発生することがない。従って、高純度
が要求される液体、例えば洗浄液、特に精密洗浄用洗浄
液を移送するのに、本発明の往復運動ポンプは好適であ
る。

【００２６】本発明の液体移送用往復運動ポンプの制御
方法においては先ず、ポンプの往復運動を感知するセン
サの信号からストローク周期を計測する。ポンプの往復
運動を感知するセンサとしては、前述のように、例えば
ポンプ駆動部の往復運動領域の両端部に設置したスプー
ル検出用センサ等を用いることができる。そして、両端
のセンサがそれぞれストローク運動を感知し、それぞれ
の感知信号を発する。発せられた各信号の時間間隔から
ポンプのストローク周期を計測する。

【００２７】次いで本発明のポンプの制御方法において
は、上記のようにして計測したストローク周期が、予め
設定された液体移送時のストローク周期を下回ることに
より液体の排出完了と制御回路が判断して空運転を検知
することによりポンプを制御する。

【００２８】具体的には、前述のように、先ず所望の液
体移送速度にて定常運転を行っている場合のポンプのス
トローク周期を予め測定しておく。次いで、前述のよう
にして計測されるストローク周期を制御回路に自動的に
又は手動にて入力し、この計測される周期が上記ストロ
ーク周期測定値を下回ったら液体の排出完了と判断する
プログラムを、実際のポンプの稼働に先立ち予め制御回
路に組み込む。そして更に、排出完了と判断後も尚、一
定時間以上同じストローク信号をセンサが送り続けた場
合、空運転と判断しこれを検知するプログラムを制御回
路に組み込む。更に、必要に応じ、ポンプを停止させ、
あるいは次工程に移るなどのプログラムを組み込んでも
よい。

【００２９】上記のようにプログラミングすることで、
ポンプのストローク周期が短くなった場合、先ずセンサ
が速くなったストローク運動を感知し、これに基づき制
御回路はポンプの排出完了と空運転を検知する。そして
制御回路は、ポンプ駆動源の出力調整部、例えばエアー
の供給弁または供給バルブ等を調整し、ポンプの駆動出
力を制御する。その結果、ポンプの運転状況を自動的に
制御することになる。

【００３０】本発明の洗浄装置は、少なくとも、洗浄液
を収容するための槽と、ストローク周期を計測する手段
を持つ制御回路を有する液体移送用往復運動ポンプと、
並びに被洗浄物の収容手段を具備する。本発明の洗浄装
置において上記洗浄液を収容するための槽には、液体レ
ベルセンサ等を使用する必要がない。従って本発明にお
ける上記槽を使用することにより、液面レベルセンサ等
から洗浄液中への異物の溶出やパーティクルの発生がな
く、洗浄液を高純度に保つことができる。

【００３１】本発明の洗浄装置は、ストローク周期を計
測する手段を持つ制御回路を有する液体移送用往復運動
ポンプを具備する。上記ストローク周期を計測する手段
を持つ制御回路としては、前述の本発明の液体移送用往
復運動ポンプのところで述べたものが挙げられる。

【００３２】本発明の洗浄装置においては、上記制御回
路がストローク周期の変化を計測することによりポンプ
の空運転を検出することができることを特徴とする。具
体的には、前述のように、計測したストローク周期が予
め設定された例えば液体移送時のストローク周期を下回
ることにより洗浄液の排出完了と制御回路が判断して空
運転を検知することができるものである。そのような回
路を有する液体移送用往復運動ポンプとしては、前述の
本発明の液体移送用往復運動ポンプが好適である。

【００３３】更に本発明の洗浄装置は、被洗浄物の収容
手段を具備する。そのような収容手段としては、通常の
洗浄装置に使用されるものでよく、具体的には被洗浄物
を保持するバケット等であってよい。被洗浄物を洗浄す
る時は例えば、被洗浄物をこのバケット等に収容し、こ
のバケット等を上記槽に浸漬することにより行うように
すればよい。その他、本発明の洗浄装置においては、通
常洗浄装置で使用される、例えばフィルター、加熱装
置、冷却装置、ダクト、その他種々の付加的装置を具備
してよい。

【００３４】本発明の洗浄装置において、上記槽と上記
液体移送用往復運動ポンプとはパイプ等で接続してい
る。そして上記液体移送用往復運動ポンプは、そのまま
液体排出パイプに直列的に接続してもよいし、更に別に
上記槽とポンプとの間を液体が循環する循環パイプに接
続していてもよい。上記パイプには適宜例えば液流を変
換するためのオートバルブ等を備えていてもよい。特
に、循環パイプにはフィルターを設けることによりパー
ティクル等の不純物を除去するようにしておくのが好ま
しい。また、上記液体移送用往復運動ポンプも必要に応
じ複数設けてもよい。尚、液体を循環させる場合、上記
本発明の洗浄装置を使用すれば、液量の変化に基づく運
転速度の変化のみならず、流速の変化に基づく運転速度
の変化も検知することができ、従って、液量及び流速の
両方の変化を検知することができる。

【００３５】

【実施例】以下、本発明を実施例で図を用い具体的に説
明する。 （実施例）図１に示すように、オーバーフロー槽１３を
備え且つ液体レベルセンサを具備しない液体を収容する
ための槽４と、ストローク周期を計測する手段を持つ制
御回路を有する液体移送用往復運動ポンプ５とをパイプ
６で接続し、被洗浄物の収容手段７を上記槽４に入れ、
本発明の洗浄装置を構成した。尚パイプ６には、バルブ
１〜３、及びフィルター１４を設けた。

【００３６】上記ポンプ５としては、図２に示すよう
に、圧縮空気駆動式ベローズポンプであって、ポンプの
往復運動領域の両端にはスプール検出用センサ８を設置
したものを使用した。そして、このセンサ８と制御回路
９とを接続した。尚、制御回路９には、計測したストロ
ーク周期が自動入力され、且つこの入力された計測周期
が予め設定された液体移送時のストローク周期を下回る
ことにより液体の排出完了と判断して空運転を検知し、
ポンプを停止するようにプログラムを入力した。更にこ
の制御回路９をエアー供給弁１０に接続した。これによ
り、エアー供給弁１０の開閉を制御回路にて制御するよ
うにした。エアー供給弁１０を例えばベローズからなる
ポンプ駆動部１１とエアーパイプ１２にて接続して、液
体移送用往復運動ポンプを構成した。

【００３７】（ポンプの空運転検出）上記洗浄装置の槽
４に洗浄液を注入した。次にオートバルブ１と２を開い
て、制御回路に予め設定しておいた液体移送時のストロ
ーク周期と同じストローク周期でポンプ５を稼働させ、
槽４内の洗浄液の排出を開始した。

【００３８】しばらくポンプが上記ストローク周期で洗
浄液移送運転を続けた後、槽４の洗浄液が全て排出され
るのに伴い、スプール検出用センサ８を介して検出され
たポンプのストローク周期が短くなり、これに従って制
御回路９によりポンプを自動停止することができた。上
記の結果より、ポンプの制御回路が空運転を正確に検知
することが判った。

【００３９】以上本発明を詳述したが、本発明は、上記
実施形態に限定されるものではない。前述の実施形態
は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された
技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効
果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技
術的範囲に包含される。

【００４０】

【発明の効果】本発明により、液面レベルセンサを用い
ることなく洗浄液等の排出完了を直ちに知ることができ
る。そのため、洗浄液中に異物が溶出したりパーティク
ルが発生したりすることがなく、且つ無駄な時間をかけ
ずに次工程に移ることができ、更にはポンプのベローズ
等の寿命を延ばすことも可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の洗浄装置の概略構造図であ
る。

【図２】図２は、本発明の液体移送用往復運動ポンプの
概略構造図である。

【符号の説明】

１〜３…オートバルブ、４…液体を収容するための槽、
５…液体移送用往復運動ポンプ、６…パイプ、７…被洗
浄物の収容手段、８…スプール検出用センサ、９…制御
回路、１０…エアー供給弁、１１…ポンプ駆動部、１２
…エアーパイプ、１３…オーバーフロー槽、１４…フィ
ルター。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１１年８月２０日（１９９９．８．２
０）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【請求項４】 前記移送する液体が洗浄液であることを
特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載
の液体移送用往復運動ポンプ。

【請求項５】 ポンプが圧縮空気駆動式のものであるこ
とを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に
記載の液体移送用往復運動ポンプ。

【請求項６】 ポンプ駆動部の往復接近を感知すること
によりポンプの往復運動を感知するセンサの信号からス
トローク周期を計測し、計測したストローク周期が予め
設定された液体移送時のストローク周期を下回ることに
より液体の排出完了と制御回路が判断して空運転を検知
することによりポンプを制御することを特徴とする液体
移送用往復運動ポンプの制御方法。

【請求項７】 少なくとも、洗浄液を収容するための槽
と、ポンプの往復運動を感知するセンサにてストローク
運動を感知し、その信号周期によりストローク周期を計
測する手段を持つ制御回路を有する液体移送用往復運動
ポンプと、並びに被洗浄物の収容手段を具備した洗浄装
置であって、該ポンプの制御回路はストローク周期の変
化を計測することによりポンプの空運転を検出すること
ができるものであることを特徴とする洗浄装置。

【請求項８】 用いるポンプが請求項１乃至請求項５の
いずれか１項に記載の液体移送用往復運動ポンプである
ことを特徴とする請求項７に記載の洗浄装置。

【手続補正書】

【提出日】平成１１年１１月３０日（１９９９．１１．
３０）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【請求項２】 前記センサが、スプール検出用センサ、
光伝導センサ、フォトダイオードセンサ、ＣＣＤイメー
ジセンサ、または静電容量圧力センサであることを特徴
とする請求項１に記載の液体移送用往復運動ポンプ。

【請求項３】 前記移送する液体が洗浄液であることを
特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体移送用
往復運動ポンプ。

【請求項４】 ポンプ駆動部の往復接近を感知すること
によりポンプの往復運動を感知するセンサの信号からス
トローク周期を計測し、計測したストローク周期が予め
設定された液体移送時のストローク周期を下回ることに
より液体の排出完了と制御回路が判断して空運転を検知
することによりポンプを制御することを特徴とする液体
移送用ベローズポンプまたはダイアフラムポンプの制御
方法。

【請求項５】 少なくとも、洗浄液を収容するための槽
と、ポンプの往復運動を感知するセンサにてストローク
運動を感知し、その信号周期によりストローク周期を計
測する手段を持つ制御回路を有する液体移送用ベローズ
ポンプまたは ダイアフラムポンプと、並びに被洗浄物の
収容手段を具備した洗浄装置であって、該ポンプの制御
回路はストローク周期の変化を計測することによりポン
プの空運転を検出することができるものであることを特
徴とする洗浄装置。

【請求項６】 用いるポンプが請求項１乃至請求項３の
いずれか１項に記載の液体移送用往復運動ポンプである
ことを特徴とする請求項５に記載の洗浄装置。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００５

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は前述の課題を解
決するためになされたもので、本発明は、ストローク周
期を計測する手段を持つ制御回路を有し、計測したスト
ローク周期が予め設定された液体移送時のストローク周
期を下回ることにより液体の排出完了と判断するプログ
ラムを制御回路に組み込んだことを特徴とする液体移送
用往復運動ポンプである。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００８

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００８】また、本発明は、前記移送する液体が洗浄
液であることを特徴とする液体移送用往復運動ポンプで
ある。上述のように本発明装置は、槽内に液面レベルセ
ンサ等を設置することなく、ポンプの空運転を検知する
ことができる。その結果、液面レベルセンサ等からの異
物の溶出やパーティクルの発生という問題がなく且つ液
体の排出不良や無駄なポンプの空運転を招くことがな
い。従って、各種製品の洗浄、特に異物の溶出やパーテ
ィクルの発生を極力避けなければならない半導体ウエー
ハや液晶基板ガラス等の精密洗浄分野において洗浄液を
移送するのに好適である。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００９

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００９】また、本発明は、ポンプが圧縮空気駆動式
のものであることを特徴とする液体移送用往復運動ポン
プである。圧縮空気駆動式ポンプは、空運転になった場
合のストローク周期の変化が大きいので、より容易に且
つ正確に空運転であることを検知することができるので
好ましい。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１０】また、本発明は、ポンプの往復運動を感知
するセンサの信号からストローク周期を計測し、計測し
たストローク周期が予め設定された液体移送時のストロ
ーク周期を下回ることにより液体の排出完了と制御回路
が判断して空運転を検知することによりポンプを制御す
ることを特徴とする液体移送用往復運動ポンプの制御方
法である。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１２】また、本発明は、少なくとも、洗浄液を収
容するための槽と、ストローク周期を計測する手段を持
つ制御回路を有する液体移送用往復運動ポンプと、並び
に被洗浄物の収容手段を具備した洗浄装置であって、該
ポンプの制御回路はストローク周期の変化を計測するこ
とによりポンプの空運転を検出することができるもので
あることを特徴とする洗浄装置である。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１４】さらに、本発明は、用いるポンプが前述の
液体移送用往復運動ポンプであることを特徴とする洗浄
装置である。このようなポンプを用いることで、液面レ
ベルセンサ等からの洗浄液中への異物の溶出やパーティ
クルの発生がなく、且つ液体の排出不良や無駄なポンプ
の空運転を招くこともない。従って、この洗浄装置は、
例えば半導体ウエーハや液晶基板ガラス等の精密洗浄分
野に好適に使用できる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3B201 AA03 AB43 BB03 BB04 BB92 CB01 CD42 CD43 3H077 AA08 CC03 CC07 DD09 DD14 EE15 EE21 EE23 EE37 FF34 FF45 FF55

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ストローク周期を計測する手段を持つ制
   御回路を有し、計測したストローク周期が予め設定され
   た液体移送時のストローク周期を下回ることにより液体
   の排出完了と判断するプログラムを制御回路に組み込ん
   だことを特徴とする液体移送用往復運動ポンプ。
2. 【請求項２】 前記移送する液体が洗浄液であることを
   特徴とする請求項１に記載の液体移送用往復運動ポン
   プ。
3. 【請求項３】 ポンプが圧縮空気駆動式のものであるこ
   とを特徴とする請求項１または請求項２記載の液体移送
   用往復運動ポンプ。
4. 【請求項４】 ポンプの往復運動を感知するセンサの信
   号からストローク周期を計測し、計測したストローク周
   期が予め設定された液体移送時のストローク周期を下回
   ることにより液体の排出完了と制御回路が判断して空運
   転を検知することによりポンプを制御することを特徴と
   する液体移送用往復運動ポンプの制御方法。
5. 【請求項５】 少なくとも、洗浄液を収容するための槽
   と、ストローク周期を計測する手段を持つ制御回路を有
   する液体移送用往復運動ポンプと、並びに被洗浄物の収
   容手段を具備した洗浄装置であって、該ポンプの制御回
   路はストローク周期の変化を計測することによりポンプ
   の空運転を検出することができるものであることを特徴
   とする洗浄装置。
6. 【請求項６】 用いるポンプが請求項１乃至請求項３の
   いずれか１項に記載の液体移送用往復運動ポンプである
   ことを特徴とする請求項５記載の洗浄装置。