JP2000066056A - ファイバアレイの測定方法およびファイバアレイの測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ファイバアレイを高精度で測定することので
きるファイバアレイの測定方法およびファイバアレイの
測定装置を提供する。 【解決手段】 光源１に接続された一つの光部品１９
と、間隔を測定するファイバアレイ５のＶ溝１３に取り
付けられた複数本の測定側光ファイバ７を面合せ機構３
９により面合せし、光部品１９および一本の測定側光フ
ァイバ７を介して透過する光量を光量測定手段８３によ
り測定して受光量が最大となるように位置決めを行いこ
のときの座標を高分解能測定手段７３により測定した
後、同様の手順により次々に測定側光ファイバ７と位置
決めを行って座標を測定し、制御装置８７が各測定側光
ファイバ７の座標から前記ファイバアレイ５の光ファイ
バ７の間隔を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光源から出た光
の光導波路への導入あるいはファイバアレイ同士の接続
や、マイクロアレイレンズとの接合等に使用されるファ
イバアレイの光ファイバのコア間隔測定方法およびファ
イバアレイの光ファイバのコア間隔測定装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】図５を参照するに、光源の一例であるＬ
Ｄ光源１からの光を導波路３で分岐して、ファイバアレ
イ５に取り付けられている測定側光ファイバ７に導入す
る装置９が示されている。この装置９においては、導波
路３は光を分岐するだけなので、半導体技術を用いてガ
ラス基盤にイオンをドープして屈折率を変える等して製
作される。このため高精度で加工することができる。

【０００３】一方、図６に示されているファイバアレイ
５は、基台１１に複数の溝の一例としてのＶ溝１３を機
械加工により設けて、押え板１５により測定側光ファイ
バ７を押圧・固定するものであるため、組立てした光フ
ァイバ７の間隔からファイバアレイ５の精度を知る必要
がある。

【０００４】ここでは光ファイバ７の間隔としたが実際
には光ファイバ７のコア間隔のことであり、以下「光フ
ァイバ７の間隔」と呼ぶ。

【０００５】なお、本発明のファイバアレイ５の精度測
定はほとんど行われていないため、実現しようとすると
次の方法が考えられる。

【０００６】すなわち、図７を参照するに、用途の判定
等を行うべくファイバアレイ５の光ファイバ７の間隔Ｐ
を測定するには、固定台１７に光部品１９を取り付け、
固定台１７に対してＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向へ移動位置決
め自在の可動台２１にファイバアレイ５を取り付けて可
動台２１を移動させる。そして、光部品１９に設けられ
ている光源２３から、可動台２１のファイバアレイ５に
取り付けられている測定側光ファイバ７を介して受光手
段２５に投光し、目視あるいはカメラを用いた画像によ
り補助軸等を用いて合せ面２７Ａ、２７Ｂを密着させて
から測定側光ファイバ７の間隔Ｐを測定するものであ
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な従来の技術における構成にあっては、以下のような問
題がある。

【０００８】すなわち、図８を参照するに、光部品１９
とファイバアレイ５の合せ面２７Ａ、２７Ｂの平行がで
ていないと位置が狂うため測定ができない。また、図９
に示されているように、合せ面２７Ａ、２７Ｂの間に空
気が入っているとガラスと空気との接触面で屈折（図９
中Ｂ）が起こり、本来の光路（図９中Ａ）からずれるた
め照射角が不安定となって正確な測定ができないという
問題がある。

【０００９】また、目視あるいはカメラを用いた画像モ
ニタにより平行出しを行う場合には、位置決めに不正確
要素が多く、多大な時間を要するという問題がある。

【００１０】さらに、通常の光学系の測定精度から、送
り系の位置測定に精度の低いマイクロメータを用いる場
合が多いため高精度の測定ができないという問題があ
る。

【００１１】この発明の目的は、以上のような従来の技
術に着目してなされたものであり、ファイバアレイを高
精度で測定することのできるファイバアレイの測定方法
およびファイバアレイの測定装置を提供することにあ
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１によるファイバアレイの測定方法は、合
せ面から一つの光を投光する光投光手段を有する光部品
を面合せ機構により面合せ調整自在に支持し、測定対象
であって光量測定手段に接続された光ファイバの端面を
含む合せ面を面一としたファイバアレイを前記光部品に
対して相対的にＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に移動せしめて、
前記光部品の合せ面にファイバアレイの端面を押し付け
て面同士および前記光部品からの光とファイバアレイの
光ファイバの平行出しを行った後、面同士をわずかに離
し、このファイバアレイに設けられている複数の測定側
光ファイバのうちの一本の測定側光ファイバを、前記光
部品から前記一本の測定側光ファイバを介して光量測定
手段により入力する光量が最大となるように相対的に移
動して位置決めを行い、このときの座標を高分解能測定
手段により測定した後、同様の手順により前記複数本の
測定側光ファイバのうちの他の測定側光ファイバの位置
決めを行って座標を次々に測定し、得られた測定側光フ
ァイバの座標から前記ファイバアレイのコア間隔を測定
すること、を特徴とするものである。

【００１３】従って、ファイバアレイの光ファイバ間隔
すなわち光ファイバのコア間隔の測定を、光部品に対し
てファイバアレイを相対的に移動させて順次複数の測定
側光ファイバの位置決めを行い、その時の測定側光ファ
イバの光部品に対する相対的な座標を高分解能測定手段
により高精度で測定して求める。この時の面の平行出し
は、先に出願した特開平９−１３３８３２号公報におい
て記載されている光部品を揺動自在に支持して面合せを
可能にする面合せ機構を用いて行い、また、位置決め
は、光源からの光が光部品から測定側光ファイバへ透過
する量を検出して受光量が最大となるように行われる。

【００１４】請求項２によるファイバアレイの測定方法
は、合せ面に光量測定手段が接続された光部品を面合せ
機構により面合せ調整自在に支持し、測定対象であって
光投光手段に接続された光ファイバの端面を含む合せ面
を面一としたファイバアレイを前記光部品に対して相対
的にＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に移動せしめて、前記光部品
の合せ面にファイバアレイの端面を押し付けて面同士お
よび前記光部品からの光とファイバアレイの光ファイバ
の平行出しを行った後、面同士をわずかに離し、このフ
ァイバアレイに設けられている複数の測定側光ファイバ
のうちの一本の測定側光ファイバを、前記一本の測定側
光ファイバから前記光部品を介して光量測定手段により
入力する光量が最大となるように相対的に移動して位置
決めを行い、このときの座標を高分解能測定手段により
測定した後、同様の手順により前記複数本の測定側光フ
ァイバのうちの他の測定側光ファイバの位置決めを行っ
て座標を次々に測定し、得られた測定側光ファイバの座
標から前記ファイバアレイのコア間隔を測定すること、
を特徴とするものである。

【００１５】従って、ファイバアレイの光ファイバ間隔
すなわち光ファイバのコア間隔の測定を、光部品に対し
てファイバアレイを相対的に移動させて順次複数の測定
側光ファイバの位置決めを行い、その時の測定側光ファ
イバの光部品に対する相対的な座標を高分解能測定手段
により高精度で測定して求める。この時の面の平行出し
は、先に出願した特開平９−１３３８３２号公報におい
て記載されている光部品を揺動自在に支持して面合せを
可能にする面合せ機構を用いて行い、また、位置決め
は、光源からの光が測定側光ファイバから光部品へ透過
する量を検出して受光量が最大となるように行われる。

【００１６】請求項３による発明のファイバアレイの測
定方法は、請求項１または２記載のファイバアレイの測
定方法において、前記光投光手段が、前記合せ面に１本
の光ファイバの一端を、また、該光ファイバの他端に光
源を各々接続し、前記光源の光を前記光ファイバを通し
て前記合せ面から投光すること、を特徴とするものであ
る。

【００１７】従って、光源から発せられた光は１本の光
ファイバを通って合せ面から投光される。

【００１８】請求項４による発明のファイバアレイの測
定方法は、請求項１記載のファイバアレイの測定方法に
おいて、前記光投光手段が、発光素子であること、を特
徴とするものである。

【００１９】従って、発光素子が、接合面から投光する
光を発する。

【００２０】請求項５による発明のファイバアレイの測
定装置は、複数本の光ファイバを所定間隔で取り付けた
ファイバアレイの前記光ファイバのコア間隔を測定する
ファイバアレイの測定装置であって、前記複数本の光フ
ァイバを有する測定側光ファイバと、この複数本の測定
側光ファイバの合せ面を順次平行移動し対向せしめる合
せ面から一つの光を投光する光投光手段を有する光部品
と、この光部品を面合せ調整自在に支持する面合せ機構
と、前記光部品から前記測定側光ファイバに光を透過せ
しめこの透過してきた光量を前記合せ面とは反対の光フ
ァイバ端で測定する光量測定手段と、前記光部品と測定
側光ファイバを相対的に移動せしめる移動機構と、この
移動機構による移動量を測定する高分解能測定手段と、
前記光量測定手段により受光された光量から光部品と測
定側光ファイバの位置合せを判断すると共に隣り合う前
記測定側光ファイバの座標から前記光ファイバのコア間
隔を算出する制御装置と、を備えてなることを特徴とす
るものである。

【００２１】従って、光源からの投光部を合せ面に持つ
光部品を面合せ機構により面合せ調整自在に支持し、他
方の測定側光ファイバの合せ面を前記光部品に対して移
動機構により相対的にＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に移動自在
に支持し、前記光部品の合せ面を測定側光ファイバの合
せ面に押し付けて面合せを行い、平行出しをした後合せ
面にわずかな隙間を設け、前記光部品の合せ面の投光部
と対向した一本の測定側光ファイバを介して透過する光
量を光量測定手段により測定して受光量が最大となるよ
うに相対的に移動して位置決めを行い、このときの座標
を高分解能測定手段により測定した後、同様の手順によ
り次々に測定側光ファイバと位置決めを行って座標を測
定し、制御装置が各測定側光ファイバの座標から前記フ
ァイバアレイの溝の間隔を測定する。

【００２２】請求項６による発明のファイバアレイの測
定装置は、複数本の光ファイバを所定間隔で取り付けた
ファイバアレイの前記光ファイバのコア間隔を測定する
ファイバアレイの測定装置であって、前記複数本の光フ
ァイバを有すると共に一つの光を投光する光投光手段を
有する測定側光ファイバと、この複数本の測定側光ファ
イバの合せ面を順次平行移動し対向せしめる合せ面を有
する光部品と、この光部品を面合せ調整自在に支持する
面合せ機構と、前記測定側光ファイバから前記光部品に
光を透過せしめこの透過してきた光量を前記合せ面とは
反対の光部品端で測定する光量測定手段と、前記光部品
と測定側光ファイバを相対的に移動せしめる移動機構
と、この移動機構による移動量を測定する高分解能測定
手段と、前記光量測定手段により受光された光量から光
部品と測定側光ファイバの位置合せを判断すると共に隣
り合う前記測定側光ファイバの座標から前記光ファイバ
のコア間隔を算出する制御装置と、を備えてなることを
特徴とするものである。

【００２３】従って、光部品を面合せ機構により面合せ
調整自在に支持し、光源からの投光部を合せ面に持つ測
定側光ファイバを前記光部品に対して移動機構により相
対的にＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に移動自在に支持し、前記
光部品の合せ面を測定側光ファイバの合せ面に押し付け
て面合せを行い、平行出しをした後合せ面にわずかな隙
間を設け、前記一本の測定側光ファイバの投光部と対向
した光部品の合せ面を介して透過する光量を光量測定手
段により測定して受光量が最大となるように相対的に移
動して位置決めを行い、このときの座標を高分解能測定
手段により測定した後、同様の手順により次々に測定側
光ファイバと位置決めを行って座標を測定し、制御装置
が各測定側光ファイバの座標から前記ファイバアレイの
溝の間隔を測定する。

【００２４】請求項７による発明のファイバアレイの測
定装置は、請求項５または６のファイバアレイの測定装
置において、前記光投光手段が、前記合せ面に一端が接
続された１本の光ファイバと、このファイバの他端に接
続された光源と、を備えてなることを特徴とするもので
ある。

【００２５】従って、光源から発せられた光は１本の光
ファイバを通って合せ面から投光される。

【００２６】請求項８による発明のファイバアレイの測
定装置は、請求項５記載のファイバアレイの測定装置に
おいて、前記光投光手段が、発光素子であること、を特
徴とするものである。

【００２７】従って、発光素子が、接合面から投光する
光を発する。

【００２８】請求項９による発明のファイバアレイの測
定装置は、請求項１，２，５または６記載のファイバア
レイの測定装置において、前記光部品と前記測定側光フ
ァイバの合せ面に、光ファイバのコアと同じ屈折率を有
する補正液を供給する補正液供給手段を、備えてなるこ
とを特徴とするものである。

【００２９】従って、光部品の接合面と測定側光ファイ
バの接合面の間に設けられた隙間に、補正液供給手段に
より光ファイバのコアと同じ屈折率を有する補正液を供
給して、接合面間に空気が入らないようにする。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明する。

【００３１】図１には、この発明に係るファイバアレイ
の測定装置２９が示されている。このファイバアレイの
測定装置２９では、図１中架台３１の上左側に固定側ス
テージ３３が設けられており、この固定側ステージ３３
に対向して架台３１の中央部には可動側ステージ３５が
設けられている。

【００３２】前記固定側ステージ３３の上端部には、主
軸３７がＺ軸方向に貫通して設けられており、この主軸
３７の先端（図１中右側）には面合せ機構３９が設けら
れている。主軸３７はＺ軸方向に微少移動可能であり、
後端部（図１中左側）にはこの主軸３７に対する押圧力
を検知するロードセル４１が設けられている。

【００３３】前記面合せ機構３９として先に出願した特
開平９−１３３８３２号公報に詳細を示したものを使用
することができるので、詳細な説明は省略して概略のみ
を説明する。

【００３４】図３を参照するに、この面合せ機構３９で
は、内部に球面状の空間４３を有し、この空間４３の内
部には可動ホルダ４５に図７に示したような光源２３を
有する光部品１９を固定するための球面座４９を有して
いる。この球面座４９は、スプリング５１により支持さ
れ、さらに球面座４９に対して空気ノズル５３Ｆ、５３
Ｒにより前後および上下から空気が吹き付けられて空間
４３に浮いた状態となっている。

【００３５】これにより、可動ホルダ４５で支持された
光部品１９の接合面２７Ａは、可動側ステージ３５の光
部品固定ホルダ５７に取り付けられたファイバアレイ５
の接合面２７Ｂに対向する。

【００３６】再び図１を参照するに、可動側ステージ３
５では、最下段にＺブロック６１がＺ軸モータ６３によ
りＺ軸ボールネジ６５等を介してＺ軸方向へ移動自在に
設けられており、このＺブロック６１の移動量は、図２
に示されているように、例えばレーザ測長器や差動トラ
ンス等の高分解能Ｚスケール６６により測定されるよう
になっている。例えばレーザ測長器を用いる場合には、
移動体であるＺブロック６１にプリズムを設置し、移動
に伴って発生する干渉縞パルスを用いて測長するもので
ある。

【００３７】このＺブロック６１の上にはＸブロック６
７がＸ軸モータ６９によりＸ軸ボールネジ７１等を介し
てＸ軸方向へ移動自在に設けられており、このＸブロッ
ク６７の移動量は例えばレーザ測長器や作動トランス等
の高分解能Ｘスケール７３により測定されるようになっ
ている。

【００３８】このＸブロック６７の上にはＹブロック７
５がＹ軸モータ７７によりＹ軸ボールネジ７９等を介し
てＹ軸方向へ移動自在に設けられており、このＹブロッ
ク７５の移動量は例えばレーザ測長器や作動トランス等
の高分解能Ｙスケール８１により測定されるようになっ
ている。

【００３９】図３を併せて参照するに、前記Ｙブロック
７５の上には光部品固定ホルダ５７が設けられており、
この光部品固定ホルダ５７にピッチを測定されるファイ
バアレイ５が取り付けられている。

【００４０】前述した図６に示されているように、ファ
イバアレイ５には複数本の測定側光ファイバ７を所定の
間隔で載置するためのＶ溝１３が形成されており、この
各Ｖ溝１３に測定側光ファイバ７を載せて、上から押え
板１５により固定されている。なお、測定側光ファイバ
７は光量測定手段の一例であるＯ／Ｅ変換器８３に接続
されている。

【００４１】また、図１を参照するに、面合せされる光
部品１９および測定側光ファイバ７の接合面２７Ａ、２
７Ｂの上方位置には、接合面間にガラスと同じ屈折率を
有する補正液（マッチングオイル）を供給するマッチン
グオイル用ディスペンサ８５が設けられている。

【００４２】なお、面合せ機構３９の空気ノズル５３
Ｆ、５３Ｒの制御およびＸ軸モータ６９、Ｙ軸モータ７
７、Ｚ軸モータ６３の制御およびマッチングオイル用デ
ィスペンサ８５等を制御すると共に、高分解能Ｘスケー
ル７３および高分解能Ｙスケール８１、面合せ機構３９
の主軸３７の押圧力を測定するロードセル４１、Ｏ／Ｅ
変換器８３からの信号を受ける制御装置としてのパソコ
ン８７が設けられている。

【００４３】次に、ファイバアレイ５の測定動作につい
て説明する。

【００４４】図１〜図４を参照するに、まず、面合せ機
構３９の可動ホルダ４５にＬＤ光源１に接続されている
光ファイバ２３を有する光部品１９を取り付ける。一
方、光部品固定ホルダ５７に、ピッチを測定するファイ
バアレイ５の各Ｖ溝１３に測定側光ファイバ７を一本づ
つ載せて押え板１５により上から固定したファイバアレ
イ５を取り付ける。

【００４５】なお、ファイバアレイ５の接合面２７Ｂ
は、Ｖ溝１３に設けられた複数の光ファイバ端面をそろ
えた後、基台１１、押え板１５共面一に加工されてい
る。

【００４６】続いて、まず基準として例えばファイバア
レイ５のＶ溝１３に取り付けられている図６中最も左に
取り付けられている測定側光ファイバ７Ａの接合面２７
Ｂを、面合せ機構３９の可動ホルダ４５に取り付けられ
ている光部品１９の接合面２７Ａと対向するように、目
視あるいは画像をみながらある程度の位置決めをする。

【００４７】すなわち、可動側ステージ３５のＺ軸モー
タ６３を作動させてＺブロック６１をＺ軸方向へ移動さ
せ、Ｘ軸モータ６９を作動させてＸブロック６７をＸ軸
方向へ移動させ、さらにＹ軸モータ７７を作動させてＹ
ブロック７５をＹ軸方向へ移動させて、接合面２７Ａ、
２７Ｂが大体一致するように位置決めする。

【００４８】大体の位置決めが完了したら、Ｚ軸モータ
６３の作動によりＺブロック６１をＺ軸方向（図１中左
方向）へ移動させて、測定側光ファイバ７の接合面２７
Ｂを面合せ機構３９側の光部品１９の接合面２７Ａに押
し付ける。この時の押圧力をロードセル４１により監視
して、面合せ機構３９の球面座４９が自由に移動して適
正な面合せが行われるようにする。

【００４９】接合面２７Ａ、２７Ｂの面合せが完了した
ら、面合せ機構３９の後側の空気ノズル５３Ｒを止め
て、前側の空気ノズル５３Ｆからの空気により球面座４
９を後側（図３中左側）の内壁に押し付けて固定する。
この後可動ステージ３５のＺ軸を移動させ、接合面２７
Ａ、２７Ｂにわずかな隙間を設け、この後マッチングオ
イル用ディスペンサ８５により接合面２７Ａ、２７Ｂの
間に光ファイバのコアのガラスと同じ屈折率を有するマ
ッチングオイルを注入して空気を追い出し、接合面２７
Ａ、２７Ｂにおいて光が屈折することなく真っ直ぐに透
過するようにする。続いて、ＬＤ光源１から光ファイバ
２３を介して光部品１９に光りを投じ、測定側光ファイ
バ７により受光される光量をＯ／Ｅ変換器８３により電
気的に検出して、受光量が最も多くなる位置に位置決め
して、この位置の各軸座標を高分解能Ｘスケール７３等
により測定してパソコン８７に記憶しておく。

【００５０】このようにして、最初の測定側光ファイバ
７の面合せおよび中心合せが完了したら、同様にしてフ
ァイバアレイ５の二番目のＶ溝１３に取り付けられてい
る測定側光ファイバ７Ｂを介して受光量が最大となるよ
うにＸブロック６７を移動させる。この時のＸブロック
６７の位置を高分解能Ｘスケール７３により測定し、パ
ソコン８７に伝達する。パソコン８７は、先に求めて記
憶してある基準の測定側光ファイバ７Ａ位置と、二番目
の測定側光ファイバ７Ｂ位置から、両者の間隔を算出す
る。

【００５１】以後、次々に測定側光ファイバ７Ｃ、…の
中心合せを行って位置測定を行うことにより、ファイバ
アレイ５の光ファイバ７の間隔を測定する。

【００５２】以上の結果から、高分解能のスケールを用
いてＸブロック６７の移動量を測定するので、ファイバ
アレイ５に取り付けられている測定側光ファイバ７のピ
ッチを高精度で測定することができる。これにより、フ
ァイバアレイ５の光ファイバ７のピッチを高精度で測定
することができるので、光ファイバ７のピッチの精度に
応じてファイバアレイ５の使用用途を適正に判定するこ
とができる。

【００５３】また、面合せ機構３９により光部品１９の
光ファイバ２３と測定側光ファイバ７間の面合せを行う
と共に、これら両光ファイバ２３、７を透過してくる光
量から面合せおよび中心合せを行うので、迅速且つ密着
性の高い面合せを行うことができ、ファイバアレイ５の
光ファイバ７の間隔を高精度で測定することができる。

【００５４】また、接合面２７Ａ、２７Ｂの間に光ファ
イバのコアのガラスと屈折率が同じマッチングオイルを
注入して空気を追い出すことにより、接合面２７Ａ、２
７Ｂの間における屈折を防止して光りを真っ直ぐに透過
させることができるので、安定した測定を行うことがで
きる。

【００５５】さらに、図４には、この発明の別の実施の
形態として、光部品１９に光源１を有する光ファイバ２
３を組み込んだものを示しているが、これに代わり、Ｌ
ＤやＬＥＤ等の光源としての発光素子を図７の光部品１
９の形態で図４に組み込んでもよい。

【００５６】なお、この発明は前述の実施の形態に限定
されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他
の態様で実施し得るものである。すなわち、この発明の
目的である光ファイバの間隔測定の実際は、前述の実施
の形態においては、測定された光ファイバ７の間隔の精
度により作業者がファイバアレイ５の使用の可否や使用
用途を判定しているが、精度の基準を定めておいてパソ
コン８７により自動的に判定を行うようにすることも可
能である。

【００５７】また、図４において、光源１と光量測定手
段２５を入れ替えてもまったく同様の作用効果を有す
る。

【００５８】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よるファイバアレイの測定方法では、ファイバアレイの
光ファイバ間隔の測定を、溝に取り付けた測定側光ファ
イバを用いて行うものであり、そのために光部品に対し
てファイバアレイをＸ軸方向に平行移動させ中心合せを
行って、高分解能測定手段により測定側光ファイバの間
隔を測定するので、ファイバアレイの光ファイバ間隔を
高精度で測定することができる。この時、光部品を面合
せ機構により移動自在に支持しているので、測定側光フ
ァイバに押し付けるだけで正確に面合せを行い平行出し
をすることができる。また、位置決めは、光源からの光
が光部品から測定側光ファイバへ透過する量を検出して
受光量が最大となるように行われので、高精度の測定を
迅速に行うことができる。

【００５９】請求項２の発明によるファイバアレイの測
定方法では、ファイバアレイの光ファイバ間隔の測定
を、溝に取り付けた測定側光ファイバを用いて行うもの
であり、そのために光部品に対してファイバアレイをＸ
軸方向に平行移動させ中心合せを行って、高分解能測定
手段により測定側光ファイバの間隔を測定するので、フ
ァイバアレイの光ファイバ間隔を高精度で測定すること
ができる。この時、光部品を面合せ機構により移動自在
に支持しているので、測定側光ファイバに押し付けるだ
けで正確に面合せを行い平行出しをすることができる。
また、位置決めは、光源からの光が測定側光ファイバか
ら光部品へ透過する量を検出して受光量が最大となるよ
うに行われので、高精度の測定を迅速に行うことができ
る。

【００６０】請求項３の発明によるファイバアレイの測
定方法では、光源から発せられた光は１本の光ファイバ
を通って合せ面から投光されるので、透過する光量によ
り位置決めを行うことができる。

【００６１】請求項４の発明によるファイバアレイの測
定方法では、発光素子が、接合面から投光する光を発す
るので、透過する光量により位置決めを行うことができ
る。

【００６２】請求項５の発明によるファイバアレイの測
定装置では、光部品を面合せ機構により支持し、光ファ
イバアレイを移動機構により相対的にＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸
方向に移動自在に支持し、前記光部品に測定側光ファイ
バを押し付けて面合せを行った後わずかな隙間を合せ面
間にあけてＸ軸の移動により光部品と測定側光ファイバ
を順次対向させ、前記光部品からの投光を前記一本の測
定側光ファイバを介して透過する光量を光量測定手段に
より測定して受光量が最大となるように相対的に移動し
て位置決めを行いこのときの座標を高分解能測定手段に
より測定した後、同様の手順により次々に測定側光ファ
イバと中心合せを行って座標を測定し、制御装置が各測
定側光ファイバの座標から前記ファイバアレイの光ファ
イバの間隔を測定するので、ファイバアレイのコア間隔
を高精度で測定することができる。この時、光部品を面
合せ機構により移動自在に支持しているので、測定側光
ファイバに押し付けるだけで正確に面合せを行うことが
できる。これにより、高精度の測定を迅速に行うことが
できる。

【００６３】請求項６の発明によるファイバアレイの測
定装置では、光部品を面合せ機構により支持し、光源か
らの投光部を合せ面に持つ測定側光ファイバを前記光部
品に対して移動機構により相対的にＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方
向に移動自在に支持し、前記光部品に測定側光ファイバ
を押し付けて面合せを行った後わずかな隙間を合せ面間
にあけてＸ軸の移動により、前記一本の測定側光ファイ
バと光部品を順次対向させ、測定側光ファイバからの投
光を前記光部品を介して透過する光量を光量測定手段に
より測定して受光量が最大となるように相対的に移動し
て位置決めを行い、このときの座標を高分解能測定手段
により測定した後、同様の手順により次々に測定側光フ
ァイバと位置決めを行って座標を測定し、制御装置が各
測定側光ファイバの座標から前記ファイバアレイのコア
間隔を測定するので、ファイバアレイのコア間隔を高精
度で測定することができる。この時、光部品を面合せ機
構により移動自在に支持しているので、測定側光ファイ
バに押し付けるだけで正確に面合せを行うことができ
る。これにより、高精度の測定を迅速に行うことができ
る。

【００６４】請求項７の発明によるファイバアレイの測
定装置では、光源から発せられた光は１本の光ファイバ
を通って合せ面から投光されるので、透過する光量によ
り位置決めを行うことができる。

【００６５】請求項８の発明によるファイバアレイの測
定装置では、発光素子が、接合面から投光する光を発す
るので、透過する光量により位置決めを行うことができ
る。

【００６６】請求項９の発明によるファイバアレイの測
定装置では、面合せを行う光部品と測定側光ファイバの
合せ面間に補正液供給手段により、ガラスと同じ屈折率
を有する補正液を供給して、合せ面間に空気が入らない
ようにするので、合せ面間において光の屈折が生じず、
受光量の測定により行う面合せおよび位置決めを安定し
て行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係るファイバアレイの測定装置を示
す正面図である。

【図２】図１中II方向から見た平面図である。

【図３】面合せ機構を示す断面図である。

【図４】面合せ機構へのこの発明にかかる光部品取付例
を示す説明図、および光部品固定ホルダへの部品取付説
明図である。

【図５】光源からの光を導波路を介して光ファイバに導
入する装置である。

【図６】ファイバアレイに光ファイバを取り付ける状態
を示す断面図である。

【図７】従来におけるファイバアレイの測定装置の比較
例である。

【図８】合せ面が平行になっていない場合の不都合を示
す説明図である。

【図９】空気により光りが屈折する状態を示す説明図で
ある。

【符号の説明】

１ ＬＤ光源（光源、光量測定手段） ５ ファイバアレイ ７ 測定側光ファイバ １３ 溝 ２７Ａ、２７Ｂ 溝 ２９ ファイバアレイの測定装置 ３９ 面合せ機構 ４７ 光部品 ５５、５９ 接合面 ６３ Z軸モータ（移動機構） ６９ X軸モータ（移動機構） ７３ 高分解能Ｘスケール（高分解能測定手段） ７７ Y軸モータ（移動機構） ８３ Ｏ／Ｅ変換器（光量測定手段） ８５ マッチングオイル用ディスペンサ（補正液供給手
段） ８７ パソコン（制御装置）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 芹澤 祥吾 静岡県沼津市大岡2068の３ 東芝機械株式 会社沼津事業所内 (72)発明者 藤原 茂 静岡県沼津市大岡2068の３ 東芝機械株式 会社沼津事業所内 (72)発明者 杉浦 裕喜 静岡県沼津市大岡2068の３ 東芝機械株式 会社沼津事業所内 (72)発明者 田村 保暁 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内 Ｆターム(参考） 2H036 AA02 CA03 CA08

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 合せ面から一つの光を投光する光投光手
   段を有する光部品を面合せ機構により面合せ調整自在に
   支持し、測定対象であって光量測定手段に接続された光
   ファイバの端面を含む合せ面を面一としたファイバアレ
   イを前記光部品に対して相対的にＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向
   に移動せしめて、前記光部品の合せ面にファイバアレイ
   の端面を押し付けて面同士および前記光部品からの光と
   ファイバアレイの光ファイバの平行出しを行った後、面
   同士をわずかに離し、このファイバアレイに設けられて
   いる複数の測定側光ファイバのうちの一本の測定側光フ
   ァイバを、前記光部品から前記一本の測定側光ファイバ
   を介して光量測定手段により入力する光量が最大となる
   ように相対的に移動して位置決めを行い、このときの座
   標を高分解能測定手段により測定した後、同様の手順に
   より前記複数本の測定側光ファイバのうちの他の測定側
   光ファイバの位置決めを行って座標を次々に測定し、得
   られた測定側光ファイバの座標から前記ファイバアレイ
   のコア間隔を測定すること、を特徴とするファイバアレ
   イの測定方法。
2. 【請求項２】 合せ面に光量測定手段が接続された光部
   品を面合せ機構により面合せ調整自在に支持し、測定対
   象であって光投光手段に接続された光ファイバの端面を
   含む合せ面を面一としたファイバアレイを前記光部品に
   対して相対的にＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に移動せしめて、
   前記光部品の合せ面にファイバアレイの端面を押し付け
   て面同士および前記光部品からの光とファイバアレイの
   光ファイバの平行出しを行った後、面同士をわずかに離
   し、このファイバアレイに設けられている複数の測定側
   光ファイバのうちの一本の測定側光ファイバを、前記一
   本の測定側光ファイバから前記光部品を介して光量測定
   手段により入力する光量が最大となるように相対的に移
   動して位置決めを行い、このときの座標を高分解能測定
   手段により測定した後、同様の手順により前記複数本の
   測定側光ファイバのうちの他の測定側光ファイバの位置
   決めを行って座標を次々に測定し、得られた測定側光フ
   ァイバの座標から前記ファイバアレイのコア間隔を測定
   すること、を特徴とするファイバアレイの測定方法。
3. 【請求項３】 前記光投光手段が、前記合せ面に１本の
   光ファイバの一端を、また、該光ファイバの他端に光源
   を各々接続し、前記光源の光を前記光ファイバを通して
   前記合せ面から投光すること、を特徴とする請求項１ま
   たは２記載のファイバアレイの測定方法。
4. 【請求項４】 前記光投光手段が、発光素子であるこ
   と、を特徴とする請求項１記載のファイバアレイの測定
   方法。
5. 【請求項５】 複数本の光ファイバを所定間隔で取り付
   けたファイバアレイの前記光ファイバのコア間隔を測定
   するファイバアレイの測定装置であって、前記複数本の
   光ファイバを有する測定側光ファイバと、この複数本の
   測定側光ファイバの合せ面を順次平行移動し対向せしめ
   る合せ面から一つの光を投光する光投光手段を有する光
   部品と、この光部品を面合せ調整自在に支持する面合せ
   機構と、前記光部品から前記測定側光ファイバに光を透
   過せしめこの透過してきた光量を前記合せ面とは反対の
   光ファイバ端で測定する光量測定手段と、前記光部品と
   測定側光ファイバを相対的に移動せしめる移動機構と、
   この移動機構による移動量を測定する高分解能測定手段
   と、前記光量測定手段により受光された光量から光部品
   と測定側光ファイバの位置合せを判断すると共に隣り合
   う前記測定側光ファイバの座標から前記光ファイバのコ
   ア間隔を算出する制御装置と、を備えてなることを特徴
   とするファイバアレイの測定装置。
6. 【請求項６】 複数本の光ファイバを所定間隔で取り付
   けたファイバアレイの前記光ファイバのコア間隔を測定
   するファイバアレイの測定装置であって、前記複数本の
   光ファイバを有すると共に一つの光を投光する光投光手
   段を有する測定側光ファイバと、この複数本の測定側光
   ファイバの合せ面を順次平行移動し対向せしめる合せ面
   を有する光部品と、この光部品を面合せ調整自在に支持
   する面合せ機構と、前記測定側光ファイバから前記光部
   品に光を透過せしめこの透過してきた光量を前記合せ面
   とは反対の光部品端で測定する光量測定手段と、前記光
   部品と測定側光ファイバを相対的に移動せしめる移動機
   構と、この移動機構による移動量を測定する高分解能測
   定手段と、前記光量測定手段により受光された光量から
   光部品と測定側光ファイバの位置合せを判断すると共に
   隣り合う前記測定側光ファイバの座標から前記光ファイ
   バのコア間隔を算出する制御装置と、を備えてなること
   を特徴とするファイバアレイの測定装置。
7. 【請求項７】 前記光投光手段が、前記合せ面に一端が
   接続された１本の光ファイバと、このファイバの他端に
   接続された光源と、を備えてなることを特徴とする請求
   項５または６記載のファイバアレイの測定装置。
8. 【請求項８】 前記光投光手段が、発光素子であるこ
   と、を特徴とするを請求項５記載のファイバアレイの測
   定装置。
9. 【請求項９】 前記光部品と前記測定側光ファイバの合
   せ面に、光ファイバのコアと同じ屈折率を有する補正液
   を供給する補正液供給手段を、備えてなることを特徴と
   する請求項１，２，５または６記載のファイバアレイの
   測定装置。