JP2000056230A - 光学顕微装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の目的は、フィルタに入射する角度の
違いが存在しても、単一波長画像を観察し得る装置を提
供することにある。 【解決手段】 前記目的を達成するために、本発明にか
かる光学顕微装置は、試料情報を含んだ試料２４からの
光を集光する集光部２６と、集光部で集光された光を試
料像として結像させる結像レンズ２８と、ポイント別に
測定光の光強度を測定する検出部３０と、を備えた光学
顕微装置において、前記試料情報を含む光から特定波長
域の光のみを透過させるフィルタ３２と、フィルタを観
察光軸に対して傾斜させることによって透過可能な特定
波長域を変化させるフィルタ傾斜機構３３と、フィルタ
の異なる傾斜角において検出した測定結果を記憶する記
憶部３４と、記憶部に記憶された測定結果から解析画像
を構成する画像処理部３４と、画像処理部の出力を表示
する表示手段３６を備えたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は試料からの光を測定
することで詳しく試料を解析し得る光学顕微装置、特に
波長−光強度を測定する測定機構の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】光学顕微鏡や分光光度計などの光学顕微
装置は、被測定物からの光を測定し解析することで被測
定物の情報を得ることができる現代の一般的な解析機器
である。このような機器で被測定物を解析する際には、
被測定物からどの波長の光がどの程度の強度で放射され
ているのかを測定し得ることが重要である。

【０００３】しかし被測定物から単一の波長の光だけが
放射されている場合は非常に稀であり、通常は複数の波
長の光が同時に放たれている。そこで被測定物から放射
される光の波長−強度を測定する際はフィルタを使用す
ることで単一波長の光を残してカットし、その強度を測
定する方法が採られている。このため通常は、フィルタ
複数枚を入れ替え可能な状態で備える装置が用いられて
いる。

【０００４】前述のような光学顕微装置の測定機構の概
要図を図１に示す。同図に示す測定機構２は試料４から
放射される光を集光する対物レンズ６と試料像を結像さ
せる結像レンズ８と特定波長の光のみを透過させるフィ
ルタ１０を備える。そして試料４の観察像１２は、対物
レンズ６、結像レンズ８を介してフィルタ１０を通過す
る。このようにして得られた試料４の観察像１２は、特
定波長画像となっているはずである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、フィル
タ１０は、入射してくる光の入射角度によって透過し得
る波長が変わってしまうという欠点を有する。この問題
は入射角度の違いによってフィルタの光路差が変わって
しまうことなど、入射した光に対して影響を与える条件
が変わってしまうことを要因とする。前記構成の測定機
構２では、試料４の非常に狭範囲な部位、すなわち試料
４のうち、フィルタ１０に垂直な光軸（観察光軸）Ｘ_０
上の部位での特定波長画像は適正に得ることができるも
のの、試料４の比較的広範囲な部位の特定波長画像を得
ようとする場合、例えば図１に示すように試料４の右端
から放射される光（破線で示したもの）の光軸Ｘ_１及び
試料４の左端から放射される光（二点破線で示したも
の）の光軸Ｘ_２は、フィルタ１０に垂直な光軸（観察光
軸）Ｘ_０に対しそれぞれθ_１、θ_２傾いてしまうため、
試料４の観察像１２は光軸Ｘ_０から離れるほど少しづつ
波長がずれて行き特定波長画像を適正に得ることができ
ないものであった。

【０００６】このため特定の単一波長画像であるとして
観察像を解析すると波長のズレのために誤差が生じてし
まうという問題があった。これらの問題を解決するため
に本発明者らは、フィルタに入射する角度の違いによっ
て透過波長が変化してしまうという問題から、その特長
を生かしてフィルタの角度を変化させることによって透
過波長を操作することに思い至りなされたものである。

【０００７】本発明は前記課題に鑑みなされたものであ
り、フィルタに入射する角度の違いが存在しても、単一
波長画像を観察し得る装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明にかかる光学顕微装置は、試料情報を含んだ
試料からの光を集光する集光部と、前記集光部で集光さ
れた光を試料像として結像させる結像レンズと、前記結
像レンズによって結像された試料像の各ポイント別に光
強度を測定する検出部と、を備えた光学顕微装置におい
て、前記試料情報を含む光から特定波長域の光のみを透
過させるフィルタと、前記フィルタを観察光軸に対して
傾斜させることによって透過可能な特定波長域を変化さ
せるフィルタ傾斜機構と、前記フィルタの異なる傾斜角
において前記検出部で検出した測定結果を記憶する記憶
部と、前記記憶部に記憶された測定結果から試料の解析
画像を構成する画像処理部と、前記画像処理部の出力を
表示する表示手段を備えたことを特徴とする

【０００９】また本発明において、前記検出部は、前記
結像レンズによって結像された試料像を微小な多角形領
域で分解区分し、区分された微小領域ごとに光強度を測
定すると共に、測定位置とフィルタ傾斜から微小領域の
位置座標と波長を割り出し、記憶部に出力することが好
適である。また本発明において、前記画像処理部が特定
波長の解析画像を構成する際には、前記微小領域ごとに
観測された測定結果を記憶部から読み出し、それぞれの
微小領域の位置座標に基づいて決定された表示手段への
表示位置に、それぞれの微小領域での特定波長計算結果
を表示することで試料像の特定波長画像を合成すること
が好適である。

【００１０】また本発明において、特定波長域の光のみ
を透過させるフィルタとして干渉フィルタを用いること
が好適である。また本発明において、特定波長域の光の
みを透過させるフィルタとしてファブリペロー干渉フィ
ルタと、前記ファブリペロー干渉フィルタを透過する波
長ｍλ（ｍ：整数）の光の内、ｍ＝ｎ〜ｎ＋１（ｎ：整
数）の光を透過させるバンドパスフィルタを用いること
が好適である。

【００１１】また本発明において、用いられるバンドパ
スフィルタはｎの値の異なるフィルタが複数枚用意され
ており、任意のｎ値のフィルタに適宜入れ替え可能な構
成を有することが好適である。また本発明において、試
料像の各ポイント別に測定光の波長と光強度を測定する
前記測定光検出部として高感度ＣＣＤ検出器を使用する
ことが好適である。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明にかかる光学顕微装置は、
試料の比較的広範囲な部位の観察像の特定波長画像を得
るものに採用することができる。例えば顕微ラマン分光
法を用いたＳｉデバイスのストレス評価などがその例と
して挙げられる。Ｓｉデバイスのストレス評価の精度
は、非常に狭い波長幅のラマンピーク特定波長画像をい
かに正確に得るかにかかっているため、比較的広範囲な
部位の観察像で特定波長画像を得る必要がある。このよ
うな場合に本発明の光学顕微装置を用いることが好適で
ある。

【００１３】以下、図面に基づき本発明の好適な一実施
形態について説明する。図２は本発明の一実施形態にか
かる光学顕微装置をラマン分光装置に適用した際の概略
構成が示されている。なお、本実施形態において試料と
してＳｉデバイスの比較的広範囲な部位を想定し、その
観察像の特定波長画像を得る場合について説明する。同
図に示す光学顕微装置であるラマン分光装置１４は、レ
ーザ部１６と、顕微試料室１８と、差分散型トリプル分
光器２０と、ＣＣＤ検出器２２を備える。図３に図２に
示すラマン分光装置１４のイメージ測定系を示す。

【００１４】同図に示すように試料情報を含んだ試料２
４からの光を集光する測定光集光部である対物レンズ２
６と、前記測定光集光部で集光された光を試料像として
結像させる結像レンズ２８と、前記結像レンズによって
結像された試料像の各ポイント別に測定光の光強度を測
定する測定光検出部であるＣＣＤ検出器３０と、前記測
定光から特定波長域の光のみを透過させるフィルタとし
て干渉フィルタ３２と、前記フィルタを測定光の観察光
軸に対して傾斜させることによって透過可能な特定波長
域を変化させるフィルタ傾斜機構３３と、前記フィルタ
の異なる傾斜角において前記測定光検出部で検出した測
定結果を記憶し、記憶された測定結果から試料の解析画
像を構成する記憶部兼画像処理部３４と、前記画像処理
部の出力を表示する表示手段３６を備える。

【００１５】レーザ部１６から出射されたレーザ光は、
ビーム拡大機構部３８によりビーム径が拡大され、半透
鏡４０、対物レンズ２６を介して試料２４上の広範囲な
部位に照射される。この観察像は対物レンズ２６、半透
鏡４０、ラマン光導入切替部４２、干渉フィルタ３２、
結像レンズ２８、マスキング４４、リレーレンズ部４６
及び切替部４８を介してＣＣＤ検出器３０により撮影さ
れる。ＣＣＤ検出器３０により撮影された画像は、画像
処理装置３４により後述する画像処理がなされ、表示手
段３６上で目視観察が可能となる。なお、本実施形態に
おいて前記干渉フィルタは、レーリー光除去用のスーパ
ーノッチフィルタ（図示省略）を備える。

【００１６】本発明において特徴的なことは、フィルタ
を傾けることによって波長操作を行うことであり、試料
像の各ポイントごとに波長を計算し、光強度を測定、記
憶し、同一波長の画像を再構成して表示し得ることであ
る。

【００１７】図４はフィルターの角度と透過波長との関
係を示すために本発明の測定機構を簡略的に示した模式
図である。なお図３と対応するものには符号１００を付
して説明を省略する。同図において、試料１２４から放
射された光は対物レンズ１２６を経て、結像レンズ１２
８によって検知面上に試料像を結像されており、対物レ
ンズ１２６と結像レンズ１２８の間にはフィルタ１３２
が回転可能に備えられている。そして試料１２４には試
料上の位置を示す座標軸ｘ−ｙ−ｚが、さらに観察面上
にも試料像上の位置を示す座標軸Ｘ−Ｙ−Ｚが図に示す
ようにそれぞれ張られている。

【００１８】試料上の位置（ｘ，ｙ）の点から放射され
る光を測定する際に、点（ｘ，ｙ）と対物レンズの中心
Ｏを結ぶ直線の平面ｘ−ｚ、及び平面ｙ−ｚ上への正射
影が、ｚ軸（観察光軸）となす角をそれぞれｉ、ｊであ
り、フィルタがθだけ傾いていたとすると、フィルタの
傾きと透過波長には以下のような関係にある。使用して
いるフィルタが干渉フィルタであるとき透過波長λ_Ｉは
次の数１で表される。

【数１】 ここでＮは干渉フィルタの屈折率である。また使用して
いるフィルタがファブリペロー干渉フィルタであると
き、エア・スペースにおいてはＮ＝１であるから透過波
長λ_Ｆ．Ｐ．は次の数２で表される。

【００１９】

【数２】 なお本実施形態において、フィルタは図４に示すように
観察光軸に対して垂直なｘ−ｙ平面に平行な状態からｙ
軸と平行な軸を回転軸として回転するようになってい
る。

【００２０】この数式のように表されるフィルタの傾斜
角と透過波長の関係から波長操作を行い得ることを見出
し、実験の結果この式と良く一致する結果が得られるこ
とが確かめられた。故にフィルタの角度を操作すること
によってその角度に対応した透過波長範囲の光を観測す
ることが確かめられたのである。しかしフィルタを傾け
ることで透過波長の操作を行うことはできるが、単一波
長画像を得ることはできない。このため本発明は試料像
の各ポイント別に、測定光の光強度を測定して行き、そ
の位置で観測される光の波長を計算して行くのである。

【００２１】試料から放射される光は対物レンズ１２６
によって集光され、結像レンズ１２８によって試料像が
観察面上に結像されている。この試料像をポイント別に
測定する機構として本実施形態では、微小領域に分解
し、その領域ごとに波長−強度を測定するために、画素
単位で測定して行くのである。つまり観察面上の座標
（Ｘ，Ｙ）での画素で強度Ｉを測定し、その位置で測定
される光の波長λを計算し、記憶部に｛（Ｘ，Ｙ），
（λ_Ｘ，Ｙ，Ｉ_Ｘ，Ｙ）｝という４次元データとして記
憶していくことで、ある波長における単一波長画像を画
素単位で再構成し、観察することができるのである。

【００２２】また観察光軸と入射光のなす角ｉ、ｊには
次のような関係がある。

【数３】

【数４】 ここでｆは試料と対物レンズ１２６の間の焦点距離、Ｆ
は試料像と結像レンズ１２８の間の焦点距離である。数
３、４から、

【００２３】

【数５】

【数６】 が成り立ち、測定されたデータ群｛（Ｘ，Ｙ），（λ
_Ｘ，Ｙ，Ｉ_Ｘ，Ｙ）｝を試料の座標（ｘ，ｙ）に関する
データ群に変換することが可能である。

【００２４】なお、本発明でいう「観察面上に試料像が
結像されている」ということは目視可能な状態にあるこ
とを必要としない。試料上の各位置（ｘ，ｙ）が試料像
上の各位置（Ｘ，Ｙ）と１：１に対応している状態をい
う。なぜならば本発明は可視領域でない紫外、赤外など
の光を扱う装置においても適用可能であるからである。
また本実施形態においては画素単位で測定を行ったが本
発明はこれに限られるものではなく、微小領域ごとに測
定するものであればよい。もちろん分解能の向上を考慮
すると、微小領域が小さければ小さいほどよい。

【００２５】

【実施例】第一実施形態 図３に示された測定機構によって、実際に測定を行っ
た。以下、図３を参照して操作手順を追いながら本発明
の作用について説明する。レーザ部１６から出射された
レーザ光は、ビーム拡大機構部３８によりビーム径が拡
大され、半透鏡４０、対物レンズ２６を介して試料２４
上の広範囲な部位に照射されることは前述の通りであ
る。レーザ光を照射された試料２４からは試料の情報を
含んだ光が放射される。その試料の情報を含んだ光は対
物レンズ２６で集光される。集光した光には様々な波長
の光が含まれており、干渉フィルタ３２を傾斜させるこ
とによって透過する光の波長操作を行う。

【００２６】フィルタ３２を傾斜させる角度、及び何度
と何度で測定を行えば測定すべき波長域全域が全視野
（すべての位置（Ｘ，Ｙ））で測定できるかは、前述し
た式によって計算できる。測定に際しては前記数１によ
ってフィルタ３２の傾斜角θ_１、θ_２、θ_３、θ_４、θ
_５、…で測定すればよいことをあらかじめ計算してあ
る。

【００２７】まず観察光軸に対してフィルタが垂直な状
態である傾斜角θ_１＝０度で測定を行った。結像レンズ
２８によってＣＣＤ検出器３０上の観察面に結像された
試料像を各ピクセルごとに波長−強度を測定して行き、
測定結果は各ピクセルごとに前述したように｛（Ｘ，
Ｙ），（λ_Ｘ，Ｙ，Ｉ_Ｘ，Ｙ）｝の４次元データとして
記憶部兼画像処理部３４に記憶される。

【００２８】このとき観察された画像を図５に示す。同
図に示すようにフィルタを透過しているにも関わらず得
られた画像は単一波長画像ではないことがわかる。この
ため各ピクセルごとに測定し、結果を記憶しているので
ある。

【００２９】続いてフィルタをθ_２＝３度に傾斜させ、
測定を行った。このとき観察された画像を図６に示す。
同図に示すように図５と比較して明らかに観測される光
の波長や分布状態が異なることがわかる。これはフィル
タを傾斜させることで透過波長が操作し得ることを示し
ている。

【００３０】このようにしてあらかじめ計算されたフィ
ルタの傾斜角θ_３、θ_４、θ_５、…と測定して行き、測
定すべき波長域全域が全視野（すべての位置（Ｘ，
Ｙ））で測定されるまで測定を行う。測定すべき波長域
全域が全視野（すべての位置（Ｘ，Ｙ））で測定された
ら、試料像の観察面上での位置座標（Ｘ，Ｙ）で書かれ
た測定データを、試料の位置座標（ｘ，ｙ）に変換し、
（ｘ，ｙ）に対する各波長ごとの強度値を並べ換える。

【００３１】試料座標に変換されたデータ群は、画像処
理部３４によって解析者が指定した波長の単一波長画像
として表示手段３６に表示される。図７は波長５３０ｎ
ｍにおける試料表面での強度変化を示した３次元グラフ
である。このように得られる画像は単一波長画像である
から正確な解析を行うことができる。

【００３２】ここで画像処理部のソフト的な改良によっ
てあるｘの値に対するｙ軸方向の波長と強度変化を示す
３次元画面やあるポイント（ｘ，ｙ）における波長−強
度の変化を示した２次元グラフなどを表示できるように
しても良い。

【００３３】第二実施形態 図８には本発明の第二の実施形態として図３の測定機構
においてフィルタとしてファブリペロー干渉フィルタと
バンドパスフィルタとして干渉フィルタを用いた測定機
構の概要図が示されている。なお図３と対応するものに
は符号２００を付して説明を省略する。

【００３４】ファブリペロー干渉フィルタは、高い分離
能を有するが、波長ｍλ（ｍは整数）の光を透過させる
性質を持つ。そこでファブリペロー干渉フィルタを使用
する際には、透過する光の波長をさらにバンドパスフィ
ルタによって操作するのである。このため測定して行く
手順は前述の第一実施形態と同じであるが、透過波長操
作において多少異なる。

【００３５】レーザ部２１６から出射されたレーザ光
は、ビーム拡大機構部２３８によりビーム径が拡大さ
れ、半透鏡２４０、対物レンズ２２６を介して試料２２
４上の広範囲な部位に照射され、レーザ光を照射された
試料２２４からは試料の情報を含んだ光が放射される。
その試料の情報を含んだ光は対物レンズ２２６で集光さ
れる。集光した光には様々な波長の光が含まれており、
ファブリペロー干渉フィルタ２５０及びバンドパスフィ
ルタ２５２を傾斜させることによって透過する光の波長
操作を行うのである。

【００３６】ファブリペロー干渉フィルタ２５０及びバ
ンドパスフィルタ２５２を傾斜させる角度、及び何度と
何度で測定を行えば測定すべき波長域全域が全視野（す
べての位置（Ｘ，Ｙ））で測定できるかは、前述した式
数２によってファブリペロー干渉フィルタ２５０の傾斜
角ψ_１、ψ_２、ψ_３、ψ_４、ψ_５、…でおよび数１によ
ってバンドパスフィルタ２５２の傾斜角θ_１、θ_２、θ
_３、θ_４、θ_５、…で測定すればよいことをあらかじめ
計算してある。

【００３７】第一実施形態との相違はバンドパスフィル
タがファブリペロー干渉フィルタを透過する波長ｍλ
（ｍ：整数）の光の内、ｍ＝ｎ〜ｎ＋１（ｎ：整数）の
光を透過させるバンドパスフィルタを、ｎの値の異なる
フィルタが複数枚用意されており、任意のｎ値のフィル
タに適宜入れ替え可能となっていることである。

【００３８】まず観察光軸に対してフィルタが垂直な状
態であるファブリペロー干渉フィルタ２５０の傾斜角ψ
_１＝０度、バンドパスフィルタの傾斜角θ_１＝０度でｎ
＝１のバンドパスフィルタを用いて測定を行った。結像
レンズ２８によってＣＣＤ検出器３０上の観察面に結像
された試料像を各ピクセルごとに波長−強度を測定して
行き、測定結果は各ピクセルごとに前述したように
｛（Ｘ，Ｙ），（λ_Ｘ，Ｙ，Ｉ_Ｘ，Ｙ）｝の４次元デー
タとして記憶部兼画像処理部３４に記憶される。

【００３９】続いてψ_１、θ_１は動かさずにそのままに
しておきバンドパスフィルタをｎ＝１のものからｎ＝２
のものに入れ換えて測定を行う。そしてｎ＝２で測定を
終了したらｎ＝３のバンドパスフィルタに入れ換えて測
定を行うというように、備えられたバンドパスフィルタ
をｎ＝１〜ｋ（ｋは任意の整数）まで入れ換えて順次測
定して行く。

【００４０】一通りバンドパスフィルタを入れ換えて測
定を行った後、ファブリペロー干渉フィルタ２５０の傾
斜角ψ_１＝０度からψ_２＝３度に傾斜させた。このとき
バンドパスフィルタ２５２も必要があればθ_１からθ_２
に角度を変える。

【００４１】必要があればというのはファブリペロー干
渉フィルタの透過させる光の波長と透過量の関係におけ
る半値幅Δλ_Ｆが、バンドパスフィルタが透過させる光
の波長と透過量の関係における半値幅Δλ_Ｉに比べて十
分小さく、Δλ_Ｉ＞＞Δλ_Ｆとなっているときはバンド
パスフィルタの角度は変える必要がないからである。

【００４２】このような手順で測定を進めて行き、測定
すべき波長域全域が全視野（すべての位置（Ｘ，Ｙ））
で測定されたら、試料像の観察面上での位置座標（Ｘ，
Ｙ）で書かれた測定されたデータを、試料の位置座標
（ｘ，ｙ）に変換し、（ｘ，ｙ）に対する各波長ごとの
強度値を並べ換える。試料座標に変換されたデータ群
は、画像処理部２３４によって解析者が指定した波長の
単一波長画像として表示手段２３６に表示される。図９
に本発明の実施形態にある装置を作動させた際の動作の
流れを示したブロック図が示されている。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように本発明による光学顕
微装置によれば、フィルタを傾斜させることにより、透
過波長の操作が可能なのでコストを抑えることができる
うえ、ポイント別に波長−強度を測定するので正確な単
一波長画像を解析することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、光学顕微装置の測定機構の概要図であ
る。

【図２】図２は本発明の一実施形態にかかる光学顕微装
置をラマン分光装置に適用した際の概略構成を示した図
である。

【図３】図３は、図２に示すラマン分光装置１４のイメ
ージ測定系である。

【図４】図４は、本発明の測定機構を簡略的に示した模
式図である。

【図５】図５は、フィルタの傾斜角θ_１＝０度で測定を
行った際に観察された観察画像である。

【図６】図６は、フィルタの傾斜角θ_２＝３度で測定を
行った際に観察された観察画像である。

【図７】図７は波長５３０ｎｍにおける試料表面での強
度変化を示した３次元グラフである。

【図８】図８はファブリペロー干渉フィルタとバンドパ
スフィルタとして干渉フィルタを用いた測定機構の概要
図である。

【図９】図９は本発明の装置を作動させた際の動作の流
れを示したブロック図である。

【符号の説明】 【符号の説明】

２ 測定機構（光学顕微装置） ４ 試料 ６ 対物レンズ（集光部） ８ 結像レンズ １０ フィルタ １２ 観察像 １４ ラマン分光装置 １６ レーザ部 １８ 顕微試料室 ２０ 差分散型トリプル分光器 ２２ ＣＣＤ検出器 ２４ 試料 ２６ 対物レンズ ２８ 結像レンズ ３０ ＣＣＤ検出器 ３２ 干渉フィルタ ３３ フィルタ傾斜機構 ３４ 記憶部兼画像処理部 ３６ 表示手段 ３８ ビーム拡大機構部 ４０ 半透鏡 ４２ ラマン光導入切替部 ４４ マスキング ４６ リレーレンズ部 ４８ 切替部

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Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料情報を含んだ試料からの光を集光す
   る集光部と、 前記集光部で集光された光を試料像として結像させる結
   像レンズと、 前記結像レンズによって結像された試料像の各ポイント
   別に光強度を測定する検出部と、を備えた光学顕微装置
   において、 前記試料情報を含む光から特定波長域の光のみを透過さ
   せるフィルタと、 前記フィルタを観察光軸に対して傾斜させることによっ
   て透過可能な特定波長域を変化させるフィルタ傾斜機構
   と、 前記フィルタの異なる傾斜角において前記検出部で検出
   した測定結果を記憶する記憶部と、 前記記憶部に記憶された測定結果から試料の解析画像を
   構成する画像処理部と、 前記画像処理部の出力を表示する表示手段を備えたこと
   を特徴とする光学顕微装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の装置において、前記検出
   部は、前記結像レンズによって結像された試料像を微小
   な多角形領域で分解区分し、区分された微小領域ごとに
   光強度を測定すると共に、測定位置とフィルタ傾斜から
   微小領域の位置座標と波長を割り出し、記憶部に出力す
   ることを特徴とする光学顕微装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載の光学顕微装置において、
   前記画像処理部が特定波長の解析画像を構成する際に
   は、前記微小領域ごとに観測された測定結果を記憶部か
   ら読み出し、それぞれの微小領域の位置座標に基づいて
   決定された表示手段への表示位置に、それぞれの微小領
   域での特定波長計算結果を表示することで試料像の特定
   波長画像を合成することを特徴とする光学顕微装置。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３いずれか記載の装置にお
   いて、特定波長域の光のみを透過させるフィルタとして
   干渉フィルタを用いることを特徴とする光学顕微装置。
5. 【請求項５】 請求項１乃至４いずれか記載の装置にお
   いて、特定波長域の光のみを透過させるフィルタとして
   ファブリペロー干渉フィルタと、前記ファブリペロー干
   渉フィルタを透過する波長ｍλ（ｍ：整数）の光の内、
   ｍ＝ｎ〜ｎ＋１（ｎ：整数）の光を透過させるバンドパ
   スフィルタを用いることを特徴とする光学顕微装置。
6. 【請求項６】 請求項５記載の装置において、用いられ
   るバンドパスフィルタはｎの値の異なるフィルタが複数
   枚用意されており、任意のｎ値のフィルタに適宜入れ替
   え可能な構成を有することを特徴とする光学顕微装置。
7. 【請求項７】 請求項１乃至６いずれか記載の装置にお
   いて、試料像の各ポイント別に測定光の波長と光強度を
   測定する前記測定光検出部として高感度ＣＣＤ検出器を
   使用することを特徴とする光学顕微装置。