JP2000055235A - バルブの遠隔開閉装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 バルブ本体と駆動源とを分離して設置するこ
とができるとともに、バルブ本体から駆動源への熱伝導
を抑えることもできるバルブの遠隔開閉装置を提供す
る。 【解決手段】 バルブ２の開閉を行う駆動源（回転駆動
機１１）の駆動軸１２と、バルブ２の弁軸４とを、熱伝
導の小さい材料で形成したフレキシブルチューブ又は縒
線等の変形可能で、かつ、回転力を伝達できる管状又は
ケーブル状の可撓性接続軸２１を介して接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、バルブの遠隔開閉
装置に関し、特に、高温状態の流体を扱うバルブを開閉
する際に好適なバルブの遠隔開閉装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体製造分野、特にＣＶＤ装
置では、バルブの開閉駆動源にエアアクチュエーターを
使用しており、バルブ本体とエアアクチュエーターとを
一体的に形成し、バルブの弁軸とエアアクチュエーター
の駆動軸とを一体形成あるいは直接接続していた。

【０００３】一方、近年のＣＶＤ装置等では、高温のガ
スを使用するようになってきており、例えば、常温で固
体の物質を数Ｔｏｒｒの蒸気圧を有するガス状に保持す
るため、２５０℃程度の高温に加熱するようにしてい
る。このような高温のガスが流れる経路は、経路内での
ガスの凝縮や固化を防止するため、バルブも含めた配管
全体を所定の温度まで加熱しておかなければならない。
さらに、バルブにおいては、バルブ本体からの熱伝導を
考慮してエアアクチュエーター部分までを含めた全体を
加熱する必要がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、一般的なエア
アクチュエーターでは、エアピストンのシール材にゴム
系の素材が使用されており、その耐熱温度（使用可能温
度）が２５０℃に達していないことが多い。また、２５
０℃で使用可能なものでも、このような高温下での耐久
性には問題があった。

【０００５】このため、バルブ本体とエアアクチュエー
ターとの間に断熱材を配置し、エアアクチュエーターへ
の熱伝導を抑制することも行われている。しかし、この
場合は、バルブ全体の大きさが通常のものの数倍にもな
ってしまうため、多数のバルブを有するＣＶＤ装置等で
は、装置への設置性や使い勝手が非常に悪くなってしま
う。さらに、このような断熱バルブは、特注品となるた
めに価格も高く、納期も長くなり、故障時の迅速な対応
が困難になるなどの問題があった。

【０００６】そこで本発明は、バルブ本体とバルブを開
閉するための駆動源とを分離して設置することができ、
バルブ本体及び駆動源の設置位置を任意に設定すること
ができ、さらに、バルブ本体から駆動源への熱伝導を抑
えることもできるバルブの遠隔開閉装置を提供すること
を目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のバルブの遠隔開閉装置は、バルブの開閉を
行う回転駆動機の駆動軸と、バルブの弁軸とを、フレキ
シブルチューブ又は縒線等の変形可能で、かつ、回転力
を伝達できる管状又はケーブル状の材料であって、なお
かつ熱伝導の小さい材料で形成した可撓性接続軸を介し
て接続したことを特徴としている。

【０００８】

【発明の実施の形態】図１は、本発明のバルブの遠隔開
閉装置の一形態例を示す概略図である。まず、配管１の
途中に設けられるバルブ２は、弁箱３から突出した弁軸
４を回転することにより開閉される手動式バルブであっ
て、通常、弁軸４の先端には、開閉操作用のハンドルが
装着されている。また、このバルブ２を含めた配管全体
は、保温材やヒーターにより形成された加熱手段５によ
り覆われている。

【０００９】一方、バルブ２の開閉を行う回転駆動機１
１は、空圧あるいは電動機によって駆動軸１２を回転さ
せる機構を有するものであり、バルブ２を開閉するため
に必要な弁軸４の回転数に応じて任意の形式のものを用
いることができる。

【００１０】前記バルブ２の弁軸４と回転駆動機１１の
駆動軸１２とは、可撓性接続軸２１によって接続されて
いる。この可撓性接続軸２１は、フレキシブルチューブ
又は縒線等の変形可能で、かつ、回転力を伝達できる管
状又はケーブル状の材料により形成されており、この可
撓性接続軸２１を介して駆動軸１２の回転が弁軸４に伝
達されるように形成されている。

【００１１】可撓性接続軸２１と弁軸４との接合は、弁
軸４の形状に応じて通常の接続構造の中から任意に選択
することができ、可撓性接続軸２１を前記ハンドルに接
合することもできる。図２及び図３は、可撓性接続軸２
１と弁軸４との一接合例を示すもので、図２は弁軸と可
撓性接続軸との接合部を示す正面図、図３は図２の III
−III 線断面図である。

【００１２】この弁軸４は、先端部４ａが半割り状の断
面半円形に形成されたものであって、通常は、この先端
部４ａをハンドル中心の係合穴に嵌入させて弁軸４とハ
ンドルとを結合させている。このような形状の弁軸４の
場合は、可撓性接続軸２１の先端部２１ａを、弁軸４の
先端部４ａに対応した半割り状の断面半円形に形成し、
両先端部４ａ，２１ａの平面部同士を突合わせた状態
で、その周囲を締結具２２により締付けて固定すればよ
い。なお、締結具２２には、市販のホースバンド等を用
いることができる。

【００１３】さらに、前記可撓性接続軸２１を熱伝導の
小さい材料で形成することにより、例えば、可撓性接続
軸２１として適宜な径及び強度のスチール製ワイヤーロ
ープを用いることにより、弁軸４から可撓性接続軸２１
を介して回転駆動機１１に伝わる熱量を低減できるの
で、回転駆動機１１が熱の影響を受けることがなくなる
とともに、バルブ２からの熱の逃げを低減することがで
きるので、バルブ部分での流体の凝縮や固化を防止で
き、かつ、加熱手段５の負担も軽減できる。また、可撓
性接続軸２１と弁軸４との接合部に、耐熱性断熱材、例
えばセラミックス製断熱材等を介在させておくことによ
り、断熱効果を向上させることができる。

【００１４】このように、熱伝導の小さい材料で形成し
た可撓性接続軸２１を介してバルブ２の弁軸４と回転駆
動機１１の駆動軸１２と接続することにより、バルブ２
を開閉する回転駆動機１１が熱の影響をほとんど受けな
いので、半導体製造装置等で使用される高温流体を扱う
バルブ２の開閉を確実に行うことができ、信頼性や耐久
性の向上が図れる。

【００１５】また、可撓性接続軸２１の強度や長さを適
当に選択することにより、バルブ２に対して回転駆動機
１１を適当な位置に設置することができるので、バルブ
２の設置位置の自由度が増大し、装置の設計も容易とな
り、改造や増設も容易に行うことが可能となる。

【００１６】さらに、バルブ２として、入手が容易でし
かも安価な汎用の手動弁を用いることができるので、装
置製作コストの低減が図れ、故障時の対応も迅速に行う
ことができる。

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のバルブの
遠隔開閉装置によれば、高温の流体を扱うバルブの開閉
を確実に行うことができ、信頼性や耐久性が向上する。
また、バルブや駆動源（回転駆動機）の設置の自由度が
向上する。さらに、バルブとして市販の汎用品を使用で
きるので、安価に容易に入手することができ、故障時の
対応も迅速に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のバルブの遠隔開閉装置の一形態例を
示す概略図である。

【図２】 弁軸と可撓性接続軸との接合例を示す正面図
である。

【図３】 図２の III−III 線断面図である。

【符号の説明】

１…配管、２…バルブ、３…弁箱、４…弁軸、５…加熱
手段、１１…回転駆動機、１２…駆動軸、２１…可撓性
接続軸、２２…締結具

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 バルブの開閉を行う回転駆動機の駆動軸
   と、バルブの弁軸とを可撓性接続軸を介して接続したこ
   とを特徴とするバルブの遠隔開閉装置。
2. 【請求項２】 前記可撓性接続軸は、フレキシブルチュ
   ーブ又は縒線等の変形可能で、かつ、回転力を伝達でき
   る管状又はケーブル状の材料により形成されていること
   を特徴とする請求項１記載のバルブの遠隔開閉装置。
3. 【請求項３】 前記可撓性接続軸は、熱伝導の小さい材
   料により形成されていることを特徴とする請求項１又は
   ２記載のバルブの遠隔開閉装置。