JP2000046720A - 微分型電気移動度測定器 - Google Patents
微分型電気移動度測定器Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 微粒子の粒径を効率的かつ広範囲にわたって
測定することができる微分型電気移動度測定器を提供す
る。 【解決手段】 微分型電気移動度測定器１は、微粒子を
外部に取り出すための第１のスリット２１を有する囲み
体２と、囲み体２の内部に延びるとともに微粒子を外部
に取り出すための第２のスリット２２を有する中心ロッ
ド３と、正に帯電した微粒子および負に帯電した微粒子
が混在した帯電粒子を囲み体２と中心ロッド３との間に
供給する微粒子供給部４とを備えている。囲み体２と中
心ロッド３との間には可変電圧源１０により所定電圧が
印加され、微粒子供給部４と囲み体２との間、または微
粒子供給部４と中心ロッド３との間の電位差により、正
に帯電した微粒子を微粒子供給部４側から囲み体２側へ
移動させるとともに、負に帯電した微粒子を微粒子供給
部４側から中心ロッド３側へ移動させることができるよ
うになっている。
測定することができる微分型電気移動度測定器を提供す
る。 【解決手段】 微分型電気移動度測定器１は、微粒子を
外部に取り出すための第１のスリット２１を有する囲み
体２と、囲み体２の内部に延びるとともに微粒子を外部
に取り出すための第２のスリット２２を有する中心ロッ
ド３と、正に帯電した微粒子および負に帯電した微粒子
が混在した帯電粒子を囲み体２と中心ロッド３との間に
供給する微粒子供給部４とを備えている。囲み体２と中
心ロッド３との間には可変電圧源１０により所定電圧が
印加され、微粒子供給部４と囲み体２との間、または微
粒子供給部４と中心ロッド３との間の電位差により、正
に帯電した微粒子を微粒子供給部４側から囲み体２側へ
移動させるとともに、負に帯電した微粒子を微粒子供給
部４側から中心ロッド３側へ移動させることができるよ
うになっている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はナノ（nano）粒子等
の微粒子（エアロゾル）を測定する微分型電気移動度測
定器（ＤＭＡ：differential mobility analyzer）に係
り、とりわけ微粒子の粒径を効率的かつ広範囲にわたっ
て測定することができる微分型電気移動度測定器に関す
る。
の微粒子（エアロゾル）を測定する微分型電気移動度測
定器（ＤＭＡ：differential mobility analyzer）に係
り、とりわけ微粒子の粒径を効率的かつ広範囲にわたっ
て測定することができる微分型電気移動度測定器に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体製造プロセスにおける粒子
汚染の抑制や量子ナノ材料の開発等に関連して、雰囲気
中に浮遊するナノ粒子等の微粒子が注目を集めている。
汚染の抑制や量子ナノ材料の開発等に関連して、雰囲気
中に浮遊するナノ粒子等の微粒子が注目を集めている。
【０００３】このような微粒子の測定装置としては従来
から、帯電した微粒子の電場中での移動速度（電気移動
度）の違いを利用して微粒子の粒径を測定する微分型電
気移動度測定器が知られている。一般的な微分型電気移
動度測定器の原理について図４により説明する。
から、帯電した微粒子の電場中での移動速度（電気移動
度）の違いを利用して微粒子の粒径を測定する微分型電
気移動度測定器が知られている。一般的な微分型電気移
動度測定器の原理について図４により説明する。
【０００４】図４に示すように、微分型電気移動度測定
器１は、中心ロッド（内筒）３および囲み体（外筒）２
からなる二重円筒構造を有し、囲み体２の内周面と中心
ロッド３の外周面との間には可変電圧源１０により所定
電圧が印加されている。また、囲み体２には帯電した微
粒子（帯電粒子）を内部に引き込むためのスリット２３
が設けられ、また中心ロッド３にはスリット２３から引
き込まれた帯電粒子を外部に取り出すためのスリット２
４が設けられている。さらに、囲み体２の内周面と中心
ロッド３の外周面との間の空間には囲み体２の上部から
シースガスが供給されるようになっている。
器１は、中心ロッド（内筒）３および囲み体（外筒）２
からなる二重円筒構造を有し、囲み体２の内周面と中心
ロッド３の外周面との間には可変電圧源１０により所定
電圧が印加されている。また、囲み体２には帯電した微
粒子（帯電粒子）を内部に引き込むためのスリット２３
が設けられ、また中心ロッド３にはスリット２３から引
き込まれた帯電粒子を外部に取り出すためのスリット２
４が設けられている。さらに、囲み体２の内周面と中心
ロッド３の外周面との間の空間には囲み体２の上部から
シースガスが供給されるようになっている。
【０００５】図４において、帯電粒子が囲み体２のスリ
ット２３から引き込まれると、この引き込まれた帯電粒
子は囲み体２の上部から供給されるシースガスとともに
中心軸方向下方に移動するとともに、囲み体２の内周面
と中心ロッド３の外周面との間に形成される電場の影響
を受けて個々の微粒子が電気移動度に応じた速度で囲み
体２側から中心ロッド３側へ引き寄せられる。そして、
所定の軌跡を描いて中心ロッド３のスリット２４に到達
した微粒子のみが外部に取り出される。
ット２３から引き込まれると、この引き込まれた帯電粒
子は囲み体２の上部から供給されるシースガスとともに
中心軸方向下方に移動するとともに、囲み体２の内周面
と中心ロッド３の外周面との間に形成される電場の影響
を受けて個々の微粒子が電気移動度に応じた速度で囲み
体２側から中心ロッド３側へ引き寄せられる。そして、
所定の軌跡を描いて中心ロッド３のスリット２４に到達
した微粒子のみが外部に取り出される。
【０００６】ここで、中心ロッド３のスリット２４に到
達する微粒子の電気移動度Ｚpは、次式（１）により算
出される。 Ｚp＝Ｑ・ln（ｒ1／ｒ2）／（２・π・Ｖ・Ｌ） … （１） 上式（１）において、Ｑはシースガス流量、ｒ1，ｒ2は
それぞれ囲み体２の内周面の半径，中心ロッド３の外周
面の半径である。また、Ｖは囲み体２の内周面と中心ロ
ッド３の外周面との間に印加される電圧、Ｌはスリット
２３およびスリット２４間の距離である。
達する微粒子の電気移動度Ｚpは、次式（１）により算
出される。 Ｚp＝Ｑ・ln（ｒ1／ｒ2）／（２・π・Ｖ・Ｌ） … （１） 上式（１）において、Ｑはシースガス流量、ｒ1，ｒ2は
それぞれ囲み体２の内周面の半径，中心ロッド３の外周
面の半径である。また、Ｖは囲み体２の内周面と中心ロ
ッド３の外周面との間に印加される電圧、Ｌはスリット
２３およびスリット２４間の距離である。
【０００７】また、微粒子の電気移動度Ｚpと粒径Ｄpと
の間には次式（２）により表される関係がある。 Ｚp＝ｎ・ｅ・Ｃm／（３・π・μ・Ｄp） … （２） 上式（２）において、ｎは微粒子の電荷量、ｅは電気素
量（１．６×１０-19クーロン）、Ｃmはカニンガムの補
正係数、μは供給されるシースガスの粘性係数である。
の間には次式（２）により表される関係がある。 Ｚp＝ｎ・ｅ・Ｃm／（３・π・μ・Ｄp） … （２） 上式（２）において、ｎは微粒子の電荷量、ｅは電気素
量（１．６×１０-19クーロン）、Ｃmはカニンガムの補
正係数、μは供給されるシースガスの粘性係数である。
【０００８】ここで、微分型電気移動度測定器１から外
部に取り出される微粒子の粒径Ｄpは上式（１）（２）
に基づいて決定される。なお、このような微分型電気移
動度測定器１において、各種の粒径を有する微粒子の測
定を行う場合には、可変電圧源１０により囲み体２の内
周面と中心ロッド３の外周面との間に印加される電圧Ｖ
を所定範囲内で変化させ、これにより印加電圧Ｖに対応
する所定粒径Ｄpの微粒子のみを外部に取り出すように
している。
部に取り出される微粒子の粒径Ｄpは上式（１）（２）
に基づいて決定される。なお、このような微分型電気移
動度測定器１において、各種の粒径を有する微粒子の測
定を行う場合には、可変電圧源１０により囲み体２の内
周面と中心ロッド３の外周面との間に印加される電圧Ｖ
を所定範囲内で変化させ、これにより印加電圧Ｖに対応
する所定粒径Ｄpの微粒子のみを外部に取り出すように
している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、図４
に示す微分型電気移動度測定器１においては、正または
負のいずれかに帯電した微粒子を内部に引き込むととも
に、可変電圧源１０により囲み体２の内周面と中心ロッ
ド３の外周面との間に印加される電圧Ｖを所定範囲内で
変化させ、これにより印加電圧Ｖに対応する所定粒径Ｄ
pの微粒子のみを外部に取り出すようにしている。
に示す微分型電気移動度測定器１においては、正または
負のいずれかに帯電した微粒子を内部に引き込むととも
に、可変電圧源１０により囲み体２の内周面と中心ロッ
ド３の外周面との間に印加される電圧Ｖを所定範囲内で
変化させ、これにより印加電圧Ｖに対応する所定粒径Ｄ
pの微粒子のみを外部に取り出すようにしている。
【００１０】ところで、このような微分型電気移動度測
定器１では一般に、測定精度や測定範囲等の観点から、
測定される微粒子の量をできるだけ増大させたり、測定
できる微粒子の粒径Ｄpの範囲（ダイナミックレンジ）
を拡げることが望まれている。
定器１では一般に、測定精度や測定範囲等の観点から、
測定される微粒子の量をできるだけ増大させたり、測定
できる微粒子の粒径Ｄpの範囲（ダイナミックレンジ）
を拡げることが望まれている。
【００１１】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、微粒子の粒径を効率的かつ広範囲にわたっ
て測定することができる微分型電気移動度測定器を提供
することを目的とする。
ものであり、微粒子の粒径を効率的かつ広範囲にわたっ
て測定することができる微分型電気移動度測定器を提供
することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の特徴は、
微粒子を外部に取り出すための第１のスリットを有する
囲み体と、前記囲み体の内部に延びるとともに微粒子を
外部に取り出すための第２のスリットを有するロッド
と、正に帯電した微粒子および負に帯電した微粒子を前
記囲み体と前記ロッドとの間に供給する微粒子供給部と
を備え、前記囲み体と前記ロッドとの間には所定電圧が
印加され、前記微粒子供給部と前記囲み体との間または
前記微粒子供給部と前記ロッドとの間の電位差により、
正または負のいずれかに帯電した微粒子を前記微粒子供
給部側から前記囲み体側へ移動させるとともに、負また
は正のいずれかに帯電した微粒子を前記微粒子供給部側
から前記ロッド側へ移動させることを特徴とする微分型
電気移動度測定器である。
微粒子を外部に取り出すための第１のスリットを有する
囲み体と、前記囲み体の内部に延びるとともに微粒子を
外部に取り出すための第２のスリットを有するロッド
と、正に帯電した微粒子および負に帯電した微粒子を前
記囲み体と前記ロッドとの間に供給する微粒子供給部と
を備え、前記囲み体と前記ロッドとの間には所定電圧が
印加され、前記微粒子供給部と前記囲み体との間または
前記微粒子供給部と前記ロッドとの間の電位差により、
正または負のいずれかに帯電した微粒子を前記微粒子供
給部側から前記囲み体側へ移動させるとともに、負また
は正のいずれかに帯電した微粒子を前記微粒子供給部側
から前記ロッド側へ移動させることを特徴とする微分型
電気移動度測定器である。
【００１３】本発明の第２の特徴は、微粒子を外部に取
り出すための第１のスリットを有する囲み体と、前記囲
み体の内部に延びるとともに微粒子を外部に取り出すた
めの第２のスリットを有するロッドと、帯電した微粒子
を前記囲み体と前記ロッドとの間に供給する微粒子供給
部とを備え、前記微粒子供給部と前記囲み体との間また
は前記微粒子供給部と前記ロッドとの間には帯電した微
粒子を前記微粒子供給部側から前記囲み体側または前記
ロッド側へ移動させるよう所定電圧が選択的に印加さ
れ、前記第１のスリットから取り出される微粒子の電気
移動度と、前記第２のスリットから取り出される微粒子
の電気移動度とが互いに異なることを特徴とする微分型
電気移動度測定器である。
り出すための第１のスリットを有する囲み体と、前記囲
み体の内部に延びるとともに微粒子を外部に取り出すた
めの第２のスリットを有するロッドと、帯電した微粒子
を前記囲み体と前記ロッドとの間に供給する微粒子供給
部とを備え、前記微粒子供給部と前記囲み体との間また
は前記微粒子供給部と前記ロッドとの間には帯電した微
粒子を前記微粒子供給部側から前記囲み体側または前記
ロッド側へ移動させるよう所定電圧が選択的に印加さ
れ、前記第１のスリットから取り出される微粒子の電気
移動度と、前記第２のスリットから取り出される微粒子
の電気移動度とが互いに異なることを特徴とする微分型
電気移動度測定器である。
【００１４】本発明の第１の特徴によれば、微粒子供給
部から供給された正に帯電した微粒子および負に帯電し
た微粒子のそれぞれを、囲み体に設けられた第１のスリ
ットおよび中心ロッドに設けられた第２のスリットのそ
れぞれを介して外部に取り出すことができるので、正に
帯電した微粒子および負に帯電した微粒子の粒径の分布
を同時に測定することができる。
部から供給された正に帯電した微粒子および負に帯電し
た微粒子のそれぞれを、囲み体に設けられた第１のスリ
ットおよび中心ロッドに設けられた第２のスリットのそ
れぞれを介して外部に取り出すことができるので、正に
帯電した微粒子および負に帯電した微粒子の粒径の分布
を同時に測定することができる。
【００１５】本発明の第２の特徴によれば、囲み体およ
びロッドにそれぞれ設けられた第１のスリットおよび第
２のスリットにより、正または負のいずれかに帯電した
微粒子に対して２種類の異なる移動距離を与えることが
できるので、測定できる微粒子の粒径の範囲（ダイナミ
ックレンジ）を容易に拡げることができる。
びロッドにそれぞれ設けられた第１のスリットおよび第
２のスリットにより、正または負のいずれかに帯電した
微粒子に対して２種類の異なる移動距離を与えることが
できるので、測定できる微粒子の粒径の範囲（ダイナミ
ックレンジ）を容易に拡げることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】第１の実施の形態 以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明
する。図１乃至図３は本発明による微分型電気移動度測
定器の第１の実施の形態を示す図である。ここで、図１
は微分型電気移動度測定器を示す縦断面図、図２は図１
に示す微分型電気移動度測定器の原理を説明するための
図、図３は図１に示す微粒子供給部の形状を説明するた
めの縦断面図である。
する。図１乃至図３は本発明による微分型電気移動度測
定器の第１の実施の形態を示す図である。ここで、図１
は微分型電気移動度測定器を示す縦断面図、図２は図１
に示す微分型電気移動度測定器の原理を説明するための
図、図３は図１に示す微粒子供給部の形状を説明するた
めの縦断面図である。
【００１７】図１および図２に示すように、微分型電気
移動度測定器１は、微粒子を外部に取り出すための第１
のスリット２１を有する囲み体２と、囲み体２の内部に
延びるとともに微粒子を外部に取り出すための第２のス
リット２２を有する中心ロッド３と、正に帯電した微粒
子および負に帯電した微粒子が混在した帯電粒子を囲み
体２と中心ロッド３との間に供給する微粒子供給部４と
を備えている。
移動度測定器１は、微粒子を外部に取り出すための第１
のスリット２１を有する囲み体２と、囲み体２の内部に
延びるとともに微粒子を外部に取り出すための第２のス
リット２２を有する中心ロッド３と、正に帯電した微粒
子および負に帯電した微粒子が混在した帯電粒子を囲み
体２と中心ロッド３との間に供給する微粒子供給部４と
を備えている。
【００１８】ここで微粒子供給部４は、図２に示すよう
に、中心ロッド３が延びる方向に沿って延びる円筒状の
内管４ａおよび外管４ｂと、内管４ａおよび外管４ｂの
上端に設けられた環状の蓋部４ｃとを有し、外管４ｂに
接続された導管５により、外部に設けられたサンプリン
グ装置（図示せず）等から内管４ａと外管４ｂとの間に
帯電粒子が導かれるようになっている。なお、このよう
にして導かれた帯電粒子は、内管４ａと外管４ｂとの間
の円筒状の空間にて円周方向に分散しつつ中心軸方向下
方に移動し、供給口６を介して囲み体２と中心ロッド３
との間に供給される。なお、内管４ａと外管４ｂとの間
には帯電粒子の流れを整えるよう帯電粒子の流れに流体
抵抗を与える網部材（流体抵抗手段）１１が設けられて
おり、これにより帯電粒子の流れの円周方向成分を低減
するとともに供給口６における帯電粒子の落下速度を調
整することができるようになっている。
に、中心ロッド３が延びる方向に沿って延びる円筒状の
内管４ａおよび外管４ｂと、内管４ａおよび外管４ｂの
上端に設けられた環状の蓋部４ｃとを有し、外管４ｂに
接続された導管５により、外部に設けられたサンプリン
グ装置（図示せず）等から内管４ａと外管４ｂとの間に
帯電粒子が導かれるようになっている。なお、このよう
にして導かれた帯電粒子は、内管４ａと外管４ｂとの間
の円筒状の空間にて円周方向に分散しつつ中心軸方向下
方に移動し、供給口６を介して囲み体２と中心ロッド３
との間に供給される。なお、内管４ａと外管４ｂとの間
には帯電粒子の流れを整えるよう帯電粒子の流れに流体
抵抗を与える網部材（流体抵抗手段）１１が設けられて
おり、これにより帯電粒子の流れの円周方向成分を低減
するとともに供給口６における帯電粒子の落下速度を調
整することができるようになっている。
【００１９】一方、第１のスリット２１は囲み体２の内
周面に沿って環状に設けられ、また第２のスリット２２
は中心ロッド３の外周面に沿って環状に設けられてい
る。これら第１のスリット２１および第２のスリット２
２はいずれもファラデーカップ電流計（ＦＣＥ：Farada
y cup electrometer）と連通しており、第１のスリット
２１および第２のスリット２２を介して取り出された分
級後の微粒子（分級粒子）の粒子数が計数されるように
なっている。なお図１においては、第２のスリット２２
と連通するファラデーカップ電流計１３のみが示されて
いる。図１に示すように、第２のスリット２２は、連通
管１２を介してファラデーカップ電流計１３に接続され
ている。なお、ファラデーカップ電流計１３により粒子
数が計数された分級粒子は吐出口１４からポンプ等によ
り外部に排出されるようになっている。
周面に沿って環状に設けられ、また第２のスリット２２
は中心ロッド３の外周面に沿って環状に設けられてい
る。これら第１のスリット２１および第２のスリット２
２はいずれもファラデーカップ電流計（ＦＣＥ：Farada
y cup electrometer）と連通しており、第１のスリット
２１および第２のスリット２２を介して取り出された分
級後の微粒子（分級粒子）の粒子数が計数されるように
なっている。なお図１においては、第２のスリット２２
と連通するファラデーカップ電流計１３のみが示されて
いる。図１に示すように、第２のスリット２２は、連通
管１２を介してファラデーカップ電流計１３に接続され
ている。なお、ファラデーカップ電流計１３により粒子
数が計数された分級粒子は吐出口１４からポンプ等によ
り外部に排出されるようになっている。
【００２０】さらに、囲み体２の上部には、微粒子供給
部４の上方から囲み体２の内周面と中心ロッド３の外周
面との間の空間にシースガスを供給するための引込口７
が設けられるとともに、シースガスの流れを整えるとと
もに不純物を除去するためのフィルタ８が取り付けられ
ている。なお、囲み体２の引込口７から供給されたシー
スガスは囲み体２の下部に設けられた吐出口９からポン
プ等により排出されるようになっている。
部４の上方から囲み体２の内周面と中心ロッド３の外周
面との間の空間にシースガスを供給するための引込口７
が設けられるとともに、シースガスの流れを整えるとと
もに不純物を除去するためのフィルタ８が取り付けられ
ている。なお、囲み体２の引込口７から供給されたシー
スガスは囲み体２の下部に設けられた吐出口９からポン
プ等により排出されるようになっている。
【００２１】さらにまた、囲み体２および中心ロッド３
はともに導体からなり、囲み体２と中心ロッド３との間
に接続された可変電圧源１０により所定電圧が印加され
るようになっている。ここで例えば、囲み体２が接地さ
れ、中心ロッド３に正電圧が印加される場合には、微粒
子供給部４と囲み体２との間には正に帯電した微粒子を
微粒子供給部４側から囲み体２側へ移動させるような電
位差が生じた状態となり、また微粒子供給部４と中心ロ
ッド３との間には負に帯電した微粒子を微粒子供給部４
側から中心ロッド３側へ移動させるような電位差が生じ
た状態となる。
はともに導体からなり、囲み体２と中心ロッド３との間
に接続された可変電圧源１０により所定電圧が印加され
るようになっている。ここで例えば、囲み体２が接地さ
れ、中心ロッド３に正電圧が印加される場合には、微粒
子供給部４と囲み体２との間には正に帯電した微粒子を
微粒子供給部４側から囲み体２側へ移動させるような電
位差が生じた状態となり、また微粒子供給部４と中心ロ
ッド３との間には負に帯電した微粒子を微粒子供給部４
側から中心ロッド３側へ移動させるような電位差が生じ
た状態となる。
【００２２】なお、微粒子供給部４の蓋部４ｃは、図３
（ａ）に示すように、微粒子供給部４のまわりにおける
シースガスの流れを層流に保つような形状をなしてお
り、ここでは蓋部４ｃの外面はその縦断面が半円形をな
している。
（ａ）に示すように、微粒子供給部４のまわりにおける
シースガスの流れを層流に保つような形状をなしてお
り、ここでは蓋部４ｃの外面はその縦断面が半円形をな
している。
【００２３】次に、このような構成からなる本発明の第
１の実施の形態の作用について図１および図２により説
明する。
１の実施の形態の作用について図１および図２により説
明する。
【００２４】外部に設けられたサンプリング装置等か
ら、正に帯電した微粒子および負に帯電した微粒子が混
在した帯電粒子が供給されると、この帯電粒子は導管５
を介して微粒子供給部４の内管４ａと外管４ｂとの間に
導かれる。
ら、正に帯電した微粒子および負に帯電した微粒子が混
在した帯電粒子が供給されると、この帯電粒子は導管５
を介して微粒子供給部４の内管４ａと外管４ｂとの間に
導かれる。
【００２５】そして、このようにして導かれた帯電粒子
は、内管４ａと外管４ｂとの間の円筒状の空間にて円周
方向に分散しつつ中心軸方向下方に移動し、供給口６を
介して囲み体２と中心ロッド３との間に供給される。な
おこのとき、帯電粒子は、内管４ａと外管４ｂとの間に
設けられた網部材１１を通過し、帯電粒子の流れの円周
方向成分が低減されるとともに供給口６における帯電粒
子の落下速度が調整される。
は、内管４ａと外管４ｂとの間の円筒状の空間にて円周
方向に分散しつつ中心軸方向下方に移動し、供給口６を
介して囲み体２と中心ロッド３との間に供給される。な
おこのとき、帯電粒子は、内管４ａと外管４ｂとの間に
設けられた網部材１１を通過し、帯電粒子の流れの円周
方向成分が低減されるとともに供給口６における帯電粒
子の落下速度が調整される。
【００２６】その後、微粒子供給部４の供給口６から囲
み体２と中心ロッド３との間に帯電粒子が引き込まれる
と、この引き込まれた帯電粒子のうち正に帯電した微粒
子は、囲み体２の吐出口７から供給されるシースガスと
ともに中心軸方向下方（中心ロッド３が延びる方向）に
移動するとともに、囲み体２の内周面と中心ロッド３の
外周面との間で可変電圧源１０により印加される電圧に
より形成される電場の影響を受けて個々の微粒子が電気
移動度に応じた速度で微粒子供給部４側から囲み体２側
へ引き寄せられる。そして、所定の軌跡を描いて距離Ｌ
1だけ進み、囲み体２の第１のスリット２１に到達した
所定粒径の微粒子のみが外部に取り出される。
み体２と中心ロッド３との間に帯電粒子が引き込まれる
と、この引き込まれた帯電粒子のうち正に帯電した微粒
子は、囲み体２の吐出口７から供給されるシースガスと
ともに中心軸方向下方（中心ロッド３が延びる方向）に
移動するとともに、囲み体２の内周面と中心ロッド３の
外周面との間で可変電圧源１０により印加される電圧に
より形成される電場の影響を受けて個々の微粒子が電気
移動度に応じた速度で微粒子供給部４側から囲み体２側
へ引き寄せられる。そして、所定の軌跡を描いて距離Ｌ
1だけ進み、囲み体２の第１のスリット２１に到達した
所定粒径の微粒子のみが外部に取り出される。
【００２７】同様にして、引き込まれた帯電粒子のうち
負に帯電した微粒子は、囲み体２の吐出口７から供給さ
れるシースガスとともに中心軸方向下方（中心ロッド３
が延びる方向）に移動するとともに、囲み体２の内周面
と中心ロッド３の外周面との間で可変電圧源１０により
印加される電圧により形成される電場の影響を受けて個
々の微粒子が電気移動度に応じた速度で微粒子供給部４
側から中心ロッド３側へ引き寄せられる。そして、所定
の軌跡を描いて距離Ｌ2だけ進み、中心ロッド３の第２
のスリット２２に到達した所定粒径の微粒子のみが外部
に取り出される。
負に帯電した微粒子は、囲み体２の吐出口７から供給さ
れるシースガスとともに中心軸方向下方（中心ロッド３
が延びる方向）に移動するとともに、囲み体２の内周面
と中心ロッド３の外周面との間で可変電圧源１０により
印加される電圧により形成される電場の影響を受けて個
々の微粒子が電気移動度に応じた速度で微粒子供給部４
側から中心ロッド３側へ引き寄せられる。そして、所定
の軌跡を描いて距離Ｌ2だけ進み、中心ロッド３の第２
のスリット２２に到達した所定粒径の微粒子のみが外部
に取り出される。
【００２８】ここで、このような微分型電気移動度測定
器１においては、可変電圧源１０により囲み体２の内周
面と中心ロッド３の外周面との間に印加される電圧を所
定範囲内で変化させ、ファラデーカップ電流計１３によ
り第１のスリット２１および第２のスリット２２を介し
て取り出された分級粒子の粒子数（電荷量）と電圧との
関係を求めることにより、正に帯電した微粒子および負
に帯電した微粒子の粒径の分布を同時に測定することが
できる。
器１においては、可変電圧源１０により囲み体２の内周
面と中心ロッド３の外周面との間に印加される電圧を所
定範囲内で変化させ、ファラデーカップ電流計１３によ
り第１のスリット２１および第２のスリット２２を介し
て取り出された分級粒子の粒子数（電荷量）と電圧との
関係を求めることにより、正に帯電した微粒子および負
に帯電した微粒子の粒径の分布を同時に測定することが
できる。
【００２９】なお、このような微分型電気移動度測定器
１においては、第１のスリット２１を介して取り出され
る分級粒子の粒径と、第２のスリット２２を介して取り
出される分級粒子の粒径とが同一となるよう、各種の寸
法（囲み体２の内周面の半径ｒ1、中心ロッド３の外周
面の半径ｒ2、供給口６および第１のスリット２１間の
距離Ｌ1、供給口６および第２のスリット２２間の距離
Ｌ2等）を決定することが好ましい。
１においては、第１のスリット２１を介して取り出され
る分級粒子の粒径と、第２のスリット２２を介して取り
出される分級粒子の粒径とが同一となるよう、各種の寸
法（囲み体２の内周面の半径ｒ1、中心ロッド３の外周
面の半径ｒ2、供給口６および第１のスリット２１間の
距離Ｌ1、供給口６および第２のスリット２２間の距離
Ｌ2等）を決定することが好ましい。
【００３０】以下、第１のスリット２１を介して取り出
される分級粒子の粒径と、第２のスリット２２を介して
取り出される分級粒子の粒径とを同一にするための条件
について図２により説明する。
される分級粒子の粒径と、第２のスリット２２を介して
取り出される分級粒子の粒径とを同一にするための条件
について図２により説明する。
【００３１】図２において、微粒子供給部４の供給口６
の半径方向の位置をｘ（ｒ2≦ｘ≦ｒ1）とする。この位
置ｘにおける電界強度はｘに反比例するので、電界強度
と位置ｘとの関係は定数ｋを用いて次式（３）のように
表される。
の半径方向の位置をｘ（ｒ2≦ｘ≦ｒ1）とする。この位
置ｘにおける電界強度はｘに反比例するので、電界強度
と位置ｘとの関係は定数ｋを用いて次式（３）のように
表される。
【数１】
【００３２】従って、上式（３）の関係から、位置ｘに
おける電位Ｖ（ｘ）は定数ｋ，Ｃを用いて次式（４）の
ように表される。
おける電位Ｖ（ｘ）は定数ｋ，Ｃを用いて次式（４）の
ように表される。
【数２】
【００３３】ここで、囲み体２が接地され、中心ロッド
３に電圧Ｖ0が印加されるものとして、電位Ｖ（ｘ）の
境界条件であるＶ（ｒ1）＝０，Ｖ（ｒ2）＝Ｖ0を上式
（４）に代入すると、位置ｘにおける電位Ｖ（ｘ）は次
式（５）のように求められる。
３に電圧Ｖ0が印加されるものとして、電位Ｖ（ｘ）の
境界条件であるＶ（ｒ1）＝０，Ｖ（ｒ2）＝Ｖ0を上式
（４）に代入すると、位置ｘにおける電位Ｖ（ｘ）は次
式（５）のように求められる。
【数３】
【００３４】なお、上式（５）の関係から、微粒子供給
部４と囲み体２との間の電位差Ｖ1は次式（６）のよう
に求められるので、これを上式（１）に代入することに
より、第１のスリット２１から取り出される帯電粒子の
電気移動度Ｚp1は次式（７）のように求められる。
部４と囲み体２との間の電位差Ｖ1は次式（６）のよう
に求められるので、これを上式（１）に代入することに
より、第１のスリット２１から取り出される帯電粒子の
電気移動度Ｚp1は次式（７）のように求められる。
【数４】
【００３５】同様にして、上式（５）の関係から、微粒
子供給部４と中心ロッド３との間の電位差Ｖ2は次式
（８）のように求められるので、これを上式（１）に代
入することにより、第２のスリット２２から取り出され
るの帯電粒子の電気移動度Ｚp2は次式（９）のように求
められる。
子供給部４と中心ロッド３との間の電位差Ｖ2は次式
（８）のように求められるので、これを上式（１）に代
入することにより、第２のスリット２２から取り出され
るの帯電粒子の電気移動度Ｚp2は次式（９）のように求
められる。
【数５】
【００３６】ここで、第１のスリット２１を介して取り
出される分級粒子の粒径と、第２のスリット２２を介し
て取り出される分級粒子の粒径とを同一にするために
は、上式（７）（９）により求められた帯電粒子の電気
移動度Ｚp1，Ｚp2が一致する必要があり、このことか
ら、囲み体２の内周面の半径ｒ1、中心ロッド３の外周
面の半径ｒ2、供給口６および第１のスリット２１間の
距離Ｌ1、供給口６および第２のスリット２２間の距離
Ｌ2が満足すべき条件は次式（１０）のようなものとな
る。
出される分級粒子の粒径と、第２のスリット２２を介し
て取り出される分級粒子の粒径とを同一にするために
は、上式（７）（９）により求められた帯電粒子の電気
移動度Ｚp1，Ｚp2が一致する必要があり、このことか
ら、囲み体２の内周面の半径ｒ1、中心ロッド３の外周
面の半径ｒ2、供給口６および第１のスリット２１間の
距離Ｌ1、供給口６および第２のスリット２２間の距離
Ｌ2が満足すべき条件は次式（１０）のようなものとな
る。
【数６】
【００３７】このように本発明の第１の実施の形態によ
れば、微粒子供給部４の供給口６から供給された正に帯
電した微粒子および負に帯電した微粒子のそれぞれを、
囲み体２に設けられた第１のスリット２１および中心ロ
ッド３に設けられた第２のスリット２２のそれぞれを介
して外部に取り出すことができるので、正に帯電した微
粒子および負に帯電した微粒子の粒径の分布を同時に測
定することができる。
れば、微粒子供給部４の供給口６から供給された正に帯
電した微粒子および負に帯電した微粒子のそれぞれを、
囲み体２に設けられた第１のスリット２１および中心ロ
ッド３に設けられた第２のスリット２２のそれぞれを介
して外部に取り出すことができるので、正に帯電した微
粒子および負に帯電した微粒子の粒径の分布を同時に測
定することができる。
【００３８】なお、上述した第１の実施の形態において
は、微粒子供給部４の蓋部４ｃのみが微粒子供給部４の
まわりにおけるシースガスの流れを層流に保つような形
状をなしているが、これに限らず、微粒子供給部４の蓋
部４ｃ、内管４ａおよび外管４ｂの全体が微粒子供給部
４のまわりにおけるシースガスの流れを層流に保つよう
な形状をなしていてもよい。具体的には例えば、蓋部４
ｃ、内管４ａおよび外管４ｂの外面は、図３（ｂ）に示
すように、その縦断面が流線形をなしているとよい。
は、微粒子供給部４の蓋部４ｃのみが微粒子供給部４の
まわりにおけるシースガスの流れを層流に保つような形
状をなしているが、これに限らず、微粒子供給部４の蓋
部４ｃ、内管４ａおよび外管４ｂの全体が微粒子供給部
４のまわりにおけるシースガスの流れを層流に保つよう
な形状をなしていてもよい。具体的には例えば、蓋部４
ｃ、内管４ａおよび外管４ｂの外面は、図３（ｂ）に示
すように、その縦断面が流線形をなしているとよい。
【００３９】また、上述した第１の実施の形態において
は、微粒子供給部４の内管４ａと外管４ｂとの間に流体
抵抗手段として網部材１１を設けているが、これに限ら
ず、多孔板や海綿状またはスポンジ状の多孔体を用いる
こともできる。
は、微粒子供給部４の内管４ａと外管４ｂとの間に流体
抵抗手段として網部材１１を設けているが、これに限ら
ず、多孔板や海綿状またはスポンジ状の多孔体を用いる
こともできる。
【００４０】第２の実施の形態 次に、本発明による微分型電気移動度測定器の第２の実
施の形態について説明する。本発明の第２の実施の形態
は、囲み体および中心ロッドにそれぞれ設けられた第１
のスリットおよび第２のスリットにより、正または負の
いずれかに帯電した微粒子に対して２種類の異なる移動
距離を与えるようにした点を除いて、他は図１乃至図３
に示す第１の実施の形態と略同一である。
施の形態について説明する。本発明の第２の実施の形態
は、囲み体および中心ロッドにそれぞれ設けられた第１
のスリットおよび第２のスリットにより、正または負の
いずれかに帯電した微粒子に対して２種類の異なる移動
距離を与えるようにした点を除いて、他は図１乃至図３
に示す第１の実施の形態と略同一である。
【００４１】本発明の第２の実施の形態においては、微
粒子供給部４から正または負に帯電した微粒子（帯電粒
子）が囲み体２と中心ロッド３との間に供給される。ま
た、微粒子供給部４と囲み体２との間または微粒子供給
部３と中心ロッド３との間には、囲み体２と中心ロッド
３との間に接続された可変電圧源１０により、帯電粒子
を微粒子供給部４側から囲み体２側またはロッド３側へ
移動させるよう所定電圧が選択的に印加されるようにな
っている。すなわち、例えば、囲み体２が接地され、中
心ロッド３に所定電圧が印加される場合には、電圧の正
負を切り換えることにより、正または負に帯電した微粒
子が微粒子供給部４側から囲み体２側へ移動するか、微
粒子供給部４側から中心ロッド３側へ移動するかが切り
換えられる。
粒子供給部４から正または負に帯電した微粒子（帯電粒
子）が囲み体２と中心ロッド３との間に供給される。ま
た、微粒子供給部４と囲み体２との間または微粒子供給
部３と中心ロッド３との間には、囲み体２と中心ロッド
３との間に接続された可変電圧源１０により、帯電粒子
を微粒子供給部４側から囲み体２側またはロッド３側へ
移動させるよう所定電圧が選択的に印加されるようにな
っている。すなわち、例えば、囲み体２が接地され、中
心ロッド３に所定電圧が印加される場合には、電圧の正
負を切り換えることにより、正または負に帯電した微粒
子が微粒子供給部４側から囲み体２側へ移動するか、微
粒子供給部４側から中心ロッド３側へ移動するかが切り
換えられる。
【００４２】なおここでは、上述した第１の実施の形態
の場合と異なり、第１のスリット２１を介して取り出さ
れる分級粒子の粒径と、第２のスリット２２を介して取
り出される分級粒子の粒径とが異なるよう、上式（７）
（９）により求められた帯電粒子の電気移動度Ｚp1，Ｚ
p2、すなわち供給口６および第１のスリット２１間の距
離Ｌ1、および供給口６および第２のスリット２２間の
距離Ｌ2を決定しておく。
の場合と異なり、第１のスリット２１を介して取り出さ
れる分級粒子の粒径と、第２のスリット２２を介して取
り出される分級粒子の粒径とが異なるよう、上式（７）
（９）により求められた帯電粒子の電気移動度Ｚp1，Ｚ
p2、すなわち供給口６および第１のスリット２１間の距
離Ｌ1、および供給口６および第２のスリット２２間の
距離Ｌ2を決定しておく。
【００４３】次に、このような構成からなる本発明の第
２の実施の形態の作用について図１および図２により説
明する。なおここでは、微粒子供給部４から正に帯電し
た微粒子（帯電粒子）が供給されるものとする。
２の実施の形態の作用について図１および図２により説
明する。なおここでは、微粒子供給部４から正に帯電し
た微粒子（帯電粒子）が供給されるものとする。
【００４４】まず、可変電圧源１０により囲み体２の内
周面と中心ロッド３の外周面との間に印加される電圧
（正電圧）Ｖを所定範囲内で変化させ、ファラデーカッ
プ電流計１３により第１のスリット２１を介して取り出
された分級粒子の粒子数（電荷量）と電圧との関係を求
めることにより、第１のスリット２１の移動距離Ｌ1に
対応した範囲で帯電粒子の粒径の分布を測定する。
周面と中心ロッド３の外周面との間に印加される電圧
（正電圧）Ｖを所定範囲内で変化させ、ファラデーカッ
プ電流計１３により第１のスリット２１を介して取り出
された分級粒子の粒子数（電荷量）と電圧との関係を求
めることにより、第１のスリット２１の移動距離Ｌ1に
対応した範囲で帯電粒子の粒径の分布を測定する。
【００４５】この場合には、外部に設けられたサンプリ
ング装置等から帯電粒子が供給されると、この帯電粒子
は導管５を介して微粒子供給部４の内管４ａと外管４ｂ
との間に導かれる。
ング装置等から帯電粒子が供給されると、この帯電粒子
は導管５を介して微粒子供給部４の内管４ａと外管４ｂ
との間に導かれる。
【００４６】そして、このようにして導かれた帯電粒子
は、内管４ａと外管４ｂとの間の円筒状の空間にて円周
方向に分散しつつ中心軸方向下方に移動し、供給口６を
介して囲み体２と中心ロッド３との間に供給される。な
おこのとき、帯電粒子は、内管４ａと外管４ｂとの間に
設けられた網部材１１を通過し、帯電粒子の流れの円周
方向成分が低減されるとともに供給口６における帯電粒
子の落下速度が調整される。
は、内管４ａと外管４ｂとの間の円筒状の空間にて円周
方向に分散しつつ中心軸方向下方に移動し、供給口６を
介して囲み体２と中心ロッド３との間に供給される。な
おこのとき、帯電粒子は、内管４ａと外管４ｂとの間に
設けられた網部材１１を通過し、帯電粒子の流れの円周
方向成分が低減されるとともに供給口６における帯電粒
子の落下速度が調整される。
【００４７】その後、微粒子供給部４の供給口６から囲
み体２と中心ロッド３との間に帯電粒子が引き込まれる
と、この引き込まれた帯電粒子は、囲み体２の吐出口７
から供給されるシースガスとともに中心軸方向下方（中
心ロッド３が延びる方向）に移動するとともに、囲み体
２の内周面と中心ロッド３の外周面との間で可変電圧源
１０により印加される電圧により形成される電場の影響
を受けて個々の微粒子が電気移動度に応じた速度で微粒
子供給部４側から囲み体２側へ引き寄せられる。そし
て、所定の軌跡を描いて距離Ｌ1だけ進み、囲み体２の
第１のスリット２１に到達した所定粒径の微粒子のみが
外部に取り出される。
み体２と中心ロッド３との間に帯電粒子が引き込まれる
と、この引き込まれた帯電粒子は、囲み体２の吐出口７
から供給されるシースガスとともに中心軸方向下方（中
心ロッド３が延びる方向）に移動するとともに、囲み体
２の内周面と中心ロッド３の外周面との間で可変電圧源
１０により印加される電圧により形成される電場の影響
を受けて個々の微粒子が電気移動度に応じた速度で微粒
子供給部４側から囲み体２側へ引き寄せられる。そし
て、所定の軌跡を描いて距離Ｌ1だけ進み、囲み体２の
第１のスリット２１に到達した所定粒径の微粒子のみが
外部に取り出される。
【００４８】このようにして第１のスリット２１の移動
距離Ｌ1に対応した範囲で帯電粒子の粒径の分布を測定
した後、中心ロッド３に印加される電圧を正電圧から負
電圧に切り換え、可変電圧源１０により囲み体２の内周
面と中心ロッド３の外周面との間に印加される電圧（負
電圧）Ｖを所定範囲内で変化させ、ファラデーカップ電
流計１３により第２のスリット２２を介して取り出され
た分級粒子の粒子数（電荷量）と電圧との関係を求める
ことにより、第２のスリット２２の移動距離Ｌ2に対応
した範囲で帯電粒子の粒径の分布を測定する。なお、こ
の場合の帯電粒子の移動等については上述した正電圧の
場合と同様であるので、ここでは詳細な説明は省略す
る。
距離Ｌ1に対応した範囲で帯電粒子の粒径の分布を測定
した後、中心ロッド３に印加される電圧を正電圧から負
電圧に切り換え、可変電圧源１０により囲み体２の内周
面と中心ロッド３の外周面との間に印加される電圧（負
電圧）Ｖを所定範囲内で変化させ、ファラデーカップ電
流計１３により第２のスリット２２を介して取り出され
た分級粒子の粒子数（電荷量）と電圧との関係を求める
ことにより、第２のスリット２２の移動距離Ｌ2に対応
した範囲で帯電粒子の粒径の分布を測定する。なお、こ
の場合の帯電粒子の移動等については上述した正電圧の
場合と同様であるので、ここでは詳細な説明は省略す
る。
【００４９】このように本発明の第２の実施の形態によ
れば、囲み体２および中心ロッド３に設けられた第１の
スリット２１および第２のスリット２２により、正また
は負のいずれかに帯電した微粒子に対して２種類の異な
る移動距離Ｌ1，Ｌ2を与えることができるので、測定で
きる微粒子の粒径の範囲（ダイナミックレンジ）を容易
に拡げることができる。
れば、囲み体２および中心ロッド３に設けられた第１の
スリット２１および第２のスリット２２により、正また
は負のいずれかに帯電した微粒子に対して２種類の異な
る移動距離Ｌ1，Ｌ2を与えることができるので、測定で
きる微粒子の粒径の範囲（ダイナミックレンジ）を容易
に拡げることができる。
【００５０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、正
に帯電した微粒子および負に帯電した微粒子の粒径の分
布を同時に測定することができる。また、測定できる微
粒子の粒径の範囲（ダイナミックレンジ）を容易に拡げ
ることができる。
に帯電した微粒子および負に帯電した微粒子の粒径の分
布を同時に測定することができる。また、測定できる微
粒子の粒径の範囲（ダイナミックレンジ）を容易に拡げ
ることができる。
【図１】本発明による微分型電気移動度測定器の第１お
よび第２の実施の形態を示す縦断面図。
よび第２の実施の形態を示す縦断面図。
【図２】図１に示す微分型電気移動度測定器の原理を説
明するための図。
明するための図。
【図３】図１に示す微粒子供給部の形状を説明するため
の縦断面図。
の縦断面図。
【図４】従来の微分型電気移動度測定器の原理を説明す
るための図。
るための図。
１ 微分型電気移動度測定器 ２ 囲み体 ３ 中心ロッド ４ 微粒子供給部 ４ａ 内管 ４ｂ 外管 ４ｃ 蓋部 ５ 導管 ６ 供給口 １１ 網部材（流体抵抗手段） ２１ 第１のスリット ２２ 第２のスリット
Claims (9)
- 【請求項１】微粒子を外部に取り出すための第１のスリ
ットを有する囲み体と、 前記囲み体の内部に延びるとともに微粒子を外部に取り
出すための第２のスリットを有するロッドと、 正に帯電した微粒子および負に帯電した微粒子を前記囲
み体と前記ロッドとの間に供給する微粒子供給部とを備
え、 前記囲み体と前記ロッドとの間には所定電圧が印加さ
れ、前記微粒子供給部と前記囲み体との間または前記微
粒子供給部と前記ロッドとの間の電位差により、正また
は負のいずれかに帯電した微粒子を前記微粒子供給部側
から前記囲み体側へ移動させるとともに、負または正の
いずれかに帯電した微粒子を前記微粒子供給部側から前
記ロッド側へ移動させることを特徴とする微分型電気移
動度測定器。 - 【請求項２】前記第１のスリットから取り出される微粒
子の電気移動度と、前記第２のスリットから取り出され
る微粒子の電気移動度とが、印加電圧によらず一致して
いることを特徴とする請求項１記載の微分型電気移動度
測定器。 - 【請求項３】微粒子を外部に取り出すための第１のスリ
ットを有する囲み体と、 前記囲み体の内部に延びるとともに微粒子を外部に取り
出すための第２のスリットを有するロッドと、 帯電した微粒子を前記囲み体と前記ロッドとの間に供給
する微粒子供給部とを備え、 前記微粒子供給部と前記囲み体との間または前記微粒子
供給部と前記ロッドとの間には帯電した微粒子を前記微
粒子供給部側から前記囲み体側または前記ロッド側へ移
動させるよう所定電圧が選択的に印加され、前記第１の
スリットから取り出される微粒子の電気移動度と、前記
第２のスリットから取り出される微粒子の電気移動度と
が互いに異なることを特徴とする微分型電気移動度測定
器。 - 【請求項４】前記微粒子供給部は前記ロッドが延びる方
向に沿って延びる円筒状の内管および外管と、前記内管
および前記外管の上端に設けられた環状の蓋部とを有
し、前記内管と前記外管との間に帯電した微粒子が導か
れることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載の
微分型電気移動度測定器。 - 【請求項５】前記内管と前記外管との間には帯電した微
粒子の流れを整えるよう微粒子の流れに流体抵抗を与え
る流体抵抗手段が設けられていることを特徴とする請求
項４記載の微分型電気移動度測定器。 - 【請求項６】前記囲み体内には前記微粒子供給部の上方
からシースガスが供給され、前記微粒子供給部の前記蓋
部は前記微粒子供給部のまわりにおけるシースガスの流
れを層流に保つような形状をなしていることを特徴とす
る請求項４記載の微分型電気移動度測定器。 - 【請求項７】前記蓋部の外面は縦断面が半円形をなして
いることを特徴とする請求項６記載の微分型電気移動度
測定器。 - 【請求項８】前記囲み体内には前記微粒子供給部の上方
からシースガスが供給され、前記微粒子供給部の前記蓋
部、前記内管および前記外管は前記微粒子供給部のまわ
りにおけるシースガスの流れを層流に保つような形状を
なしていることを特徴とする請求項４記載の微分型電気
移動度測定器。 - 【請求項９】前記蓋部、前記内管および前記外管の外面
は縦断面が流線形をなしていることを特徴とする請求項
８記載の微分型電気移動度測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21306198A JP3459359B2 (ja) | 1998-07-28 | 1998-07-28 | 微分型電気移動度測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21306198A JP3459359B2 (ja) | 1998-07-28 | 1998-07-28 | 微分型電気移動度測定器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000046720A true JP2000046720A (ja) | 2000-02-18 |
| JP3459359B2 JP3459359B2 (ja) | 2003-10-20 |
Family
ID=16632891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21306198A Expired - Fee Related JP3459359B2 (ja) | 1998-07-28 | 1998-07-28 | 微分型電気移動度測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3459359B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100366717B1 (ko) * | 2000-03-04 | 2003-01-09 | 주식회사 엔엠씨텍 | 콴텀홀과 전계를 이용한 초미립자 분리장치 및 분리방법 |
| ES2206019A1 (es) * | 2002-04-11 | 2004-05-01 | Consejo Sup. Investig. Cientificas | Procedimiento para la mejora de la resolucion del analizador diferencial de movilidad electrica mediante el intercambio de los flujos de entrada. |
| US6892142B2 (en) | 2001-11-15 | 2005-05-10 | Riken | Method of analyzing particles suspended in liquid and liquid-suspended particle analyzer for carrying out the method |
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| WO2007072942A1 (ja) * | 2005-12-22 | 2007-06-28 | Shimadzu Corporation | 分級装置及び微粒子測定装置 |
| JP2007525666A (ja) * | 2004-02-13 | 2007-09-06 | ヒュンダイ カリブレーション アンド サーティフィケーション テクノロジーズ カンパニー リミテッド | 粒子測定器及び粒子測定方法 |
| JP2007315817A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Univ Chuo | 微粒子分級装置 |
| KR100905992B1 (ko) | 2007-08-09 | 2009-07-02 | 한국원자력연구원 | 에너지 측정을 위한 파라데이컵 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4905040B2 (ja) * | 2006-10-06 | 2012-03-28 | 株式会社島津製作所 | 粒子分級装置 |
-
1998
- 1998-07-28 JP JP21306198A patent/JP3459359B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| KR100366717B1 (ko) * | 2000-03-04 | 2003-01-09 | 주식회사 엔엠씨텍 | 콴텀홀과 전계를 이용한 초미립자 분리장치 및 분리방법 |
| US6892142B2 (en) | 2001-11-15 | 2005-05-10 | Riken | Method of analyzing particles suspended in liquid and liquid-suspended particle analyzer for carrying out the method |
| ES2206019A1 (es) * | 2002-04-11 | 2004-05-01 | Consejo Sup. Investig. Cientificas | Procedimiento para la mejora de la resolucion del analizador diferencial de movilidad electrica mediante el intercambio de los flujos de entrada. |
| JP2007525666A (ja) * | 2004-02-13 | 2007-09-06 | ヒュンダイ カリブレーション アンド サーティフィケーション テクノロジーズ カンパニー リミテッド | 粒子測定器及び粒子測定方法 |
| JP2007064893A (ja) * | 2005-09-01 | 2007-03-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 電気移動度分級装置及び微粒子成分の計測システム |
| JP4611155B2 (ja) * | 2005-09-01 | 2011-01-12 | 三菱重工業株式会社 | 電気移動度分級装置及び微粒子成分の計測システム |
| JP2007132867A (ja) * | 2005-11-11 | 2007-05-31 | Shimadzu Corp | ガスイオンモニタ装置及びそれを用いたエアロゾル測定装置 |
| JP4655896B2 (ja) * | 2005-11-11 | 2011-03-23 | 株式会社島津製作所 | ガスイオンモニタ装置を用いたエアロゾル測定装置 |
| WO2007072942A1 (ja) * | 2005-12-22 | 2007-06-28 | Shimadzu Corporation | 分級装置及び微粒子測定装置 |
| JPWO2007072942A1 (ja) * | 2005-12-22 | 2009-06-04 | 株式会社島津製作所 | 分級装置及び微粒子測定装置 |
| JP4561835B2 (ja) * | 2005-12-22 | 2010-10-13 | 株式会社島津製作所 | 分級装置及び微粒子測定装置 |
| US7880109B2 (en) | 2005-12-22 | 2011-02-01 | Shimadzu Corporation | Classification apparatus and fine particle measuring apparatus |
| JP2007315817A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Univ Chuo | 微粒子分級装置 |
| KR100905992B1 (ko) | 2007-08-09 | 2009-07-02 | 한국원자력연구원 | 에너지 측정을 위한 파라데이컵 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3459359B2 (ja) | 2003-10-20 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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