JP2000044276A - Production of optical fiber preform and apparatus for producing optical fiber preform - Google Patents

Production of optical fiber preform and apparatus for producing optical fiber preform

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JP2000044276A JP22357198A JP22357198A JP2000044276A JP 2000044276 A JP2000044276 A JP 2000044276A JP 22357198 A JP22357198 A JP 22357198A JP 22357198 A JP22357198 A JP 22357198A JP 2000044276 A JP2000044276 A JP 2000044276A
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弘行 小出
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忠克 島田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a process for producing an optical fiber preform which obviates the occurrence of an adverse influence in the quality of the optical fiber preform to be produced even if deposition conditions for depositing soot on a base material are changed at the time of producing the optical fiber preform by a shaft deposition method and the apparatus therefor. SOLUTION: The change of the deposition conditions is executed in a turn back position 8 of the reciprocating motion of a burner 3 in the case the deposition conditions for depositing the soot on the base material 1 are changed in the apparatus for producing the optical fiber preform by the shaft deposition method. The apparatus for producing the optical fiber preform by the shaft deposition method has a function to execute the change of the deposition conditions in the turn back position of the reciprocating motion of a burner 3 in the case the deposition conditions for depositing the soot on the base material 1 are changed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ母材
(プリフォーム)の製造方法及び製造装置に関するもの
であり、特に軸付け法により光ファイバ母材を製造する
にあたって、高品質の光ファィバ母材を製造することが
できる方法及び装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing an optical fiber preform, and more particularly to a method for manufacturing an optical fiber preform by a shafting method. The invention relates to a method and an apparatus by which a material can be produced.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、光ファイバの製造工程において、
直接、極細の光ファイバを作ろうとすると、最適の屈折
率分布を持たせる制御が困難である等の理由から、まず
同じ屈折率を有する径の太いガラス母材(プリフォー
ム)を作製し、このガラス母材を加熱して外径を一定に
制御しながら細く長く引き伸ばすことで、極細の光ファ
イバを製造するような方法が採られる。
2. Description of the Related Art Conventionally, in an optical fiber manufacturing process,
When trying to make an ultra-fine optical fiber directly, it is difficult to control it to have an optimum refractive index distribution. For this reason, first, a large-diameter glass preform (preform) having the same refractive index is prepared. A method is employed in which a glass base material is heated and stretched to be thin and long while controlling the outer diameter to be constant, thereby producing an ultrafine optical fiber.

【0003】このような光ファィバ母材の製造方法のひ
とつにいわゆる軸付け法(外付け法)がある。この軸付
け法は、出発基材に対してスート用原料と反応ガスを吹
き付けるバーナを配置し、そのバーナを基材と平行に往
復移動させつつ、基材にスートを堆積して、光ファィバ
母材を製造する方法である。
One of the methods for producing such an optical fiber preform is a so-called shafting method (external method). In this shafting method, a burner that sprays a soot raw material and a reactive gas is arranged on a starting base material, and while the burner is reciprocated in parallel with the base material, soot is deposited on the base material, and an optical fiber motherboard is deposited. It is a method of manufacturing materials.

【0004】この基材にスートを堆積していく過程で、
基材にスートを堆積する堆積条件を変更する場合があ
る。すなわち、ガラス多孔質体(スート体)は出発基材
に対し径方向へ成長していく。その際、堆積効率の維持
やバーナとスート体の接触防止等の理由から、そのスー
ト体の成長に合わせ、基材とバーナ間の距離を調整する
必要が生じる。そのため従来は、スート体の外径がある
程度成長する度に、バーナを大きくなったスート体外径
に合わせ後退させることが行われていた。またスート体
が成長し外径が増加するにつれて、スート体の外周や表
面積も増大するため、バーナが放出するスート用原料の
量や反応ガスの量をそれに合わせ増加させる等の調整を
することも行われていた。また、所望の仕様の光ファィ
バ母材を得るために、堆積条件を変更することもあった
(特開平2−204340号公報参照)。
In the process of depositing soot on this substrate,
There are cases where the deposition conditions for depositing soot on the substrate are changed. That is, the porous glass body (soot body) grows in the radial direction with respect to the starting base material. At this time, it is necessary to adjust the distance between the base material and the burner in accordance with the growth of the soot body for reasons such as maintenance of deposition efficiency and prevention of contact between the burner and the soot body. Therefore, conventionally, every time the outer diameter of the soot body grows to some extent, the burner is retracted in accordance with the increased outer diameter of the soot body. In addition, as the soot body grows and its outer diameter increases, the outer circumference and surface area of the soot body also increase.Therefore, it is also possible to adjust the amount of the soot raw material and the amount of the reaction gas emitted from the burner to increase accordingly. It was done. Further, in order to obtain an optical fiber preform having desired specifications, the deposition conditions may be changed (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-204340).

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】以上の従来の方法で
は、例えば、製造する母材のスート体外径の成長がある
一定値を越えたところで、その外径に合わせて、バーナ
と基材の間の距離やバーナが放出するスート用原料や反
応ガスの量等の諸条件(以下これらを堆積条件と呼ぶこ
とがある)の変更を行い、またスート体の外径を監視し
て、次の成長範囲に達すると、再び堆積条件の変更を実
施し、所望の外径になるまでこの操作が繰り返される。
In the above conventional method, for example, when the growth of the outer diameter of the soot body of the base material to be manufactured exceeds a certain value, the distance between the burner and the base material is adjusted in accordance with the outer diameter. Of the soot material and the amount of reactive gas released from the burner (hereinafter, these may be referred to as deposition conditions), and monitoring the outer diameter of the soot body to monitor the next growth When the range is reached, the deposition conditions are changed again, and this operation is repeated until the desired outer diameter is reached.

【0006】しかし、軸付け法は、出発基材に対し一層
一層均一な層を重ねて成長させていく方法なので、上述
のような方法で堆積条件の変更を行うと、重ねている均
一な層を乱すことにつながる。このため、成長するスー
ト体外径の監視を細かくしたりして、その乱れを小さく
する努力をしてきたが、バーナ後退機構やガス流量調整
器の精度の問題から、ある程度以上は細かくすることが
できない。また、近年の光ファィバの高品質化高精度化
等の要求を満たすために光ファィバ母材のサイズも大き
くなり、その微小な乱れの影響が無視できなくなってき
ている。
However, since the shafting method is a method in which a more uniform layer is grown on a starting base material, if the deposition conditions are changed by the above-described method, the overlapping uniform layer is formed. Leads to disturbing. For this reason, efforts have been made to reduce the turbulence by reducing the monitoring of the outer diameter of the growing soot body, but due to problems with the accuracy of the burner retreat mechanism and gas flow regulator, it is not possible to reduce the diameter to a certain degree or more. . In addition, the size of the optical fiber base material has become larger in order to satisfy the recent demands for higher quality and higher accuracy of the optical fiber, and the influence of the minute disturbance cannot be ignored.

【0007】この微小な乱れは、その後の工程である透
明ガラス化工程で現れ、その堆積条件が変更された場所
で、スート体の熔け残りや、泡等が発生し、最終製品で
ある光ファィバの伝送特性や強度の面で大きなマイナス
要因となる。このため、この微小な乱れにより、光ファ
ィバ製品の収率の悪化が発生しており問題であった。
[0007] The minute turbulence appears in a subsequent vitrification process, which is a subsequent process. In the place where the deposition conditions are changed, unmelted soot and bubbles are generated in the soot body, and the optical fiber as a final product is produced. This is a major negative factor in terms of transmission characteristics and strength. For this reason, the minute disturbance causes a decrease in the yield of the optical fiber product, which is a problem.

【0008】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、軸付け法による光ファィバ母材の製造にあたって、
基材にスートを堆積する堆積条件を変更しても、製造さ
れる光ファィバ母材の品質に悪影響が生じることがな
い、光ファィバ母材の製造方法および光ファィバ母材を
製造する装置を提供することを主たる目的とするもので
ある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has been described in connection with the manufacture of an optical fiber preform by a shafting method.
Provided is a method for manufacturing an optical fiber preform and an apparatus for manufacturing an optical fiber preform, which do not adversely affect the quality of an optical fiber preform to be manufactured even if the deposition conditions for accumulating soot on a substrate are changed. The main purpose is to

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するためになされたもので、本発明の請求項1に記載
した発明は、基材にスート用原料と反応ガスを吹き付け
るバーナを該基材と平行に往復移動させつつ、基材にス
ートを堆積して光ファィバ母材を製造する方法におい
て、前記基材にスートを堆積する堆積条件を変更する場
合に、該堆積条件の変更を前記バーナの往復移動の折り
返し位置において行うことを特徴とする光ファィバ母材
の製造方法である。
Means for Solving the Problems The present invention has been made to solve the above problems, and the invention described in claim 1 of the present invention provides a burner for blowing a soot raw material and a reactive gas onto a substrate. In the method of manufacturing soot base material by depositing soot on a substrate while reciprocating in parallel with the substrate, when changing deposition conditions for depositing soot on the substrate, changing the deposition conditions Is performed at a turn-back position of the reciprocating movement of the burner.

【0010】このように、軸付け法による光ファィバ母
材の製造方法において、基材にスートを堆積する堆積条
件を変更する場合に、堆積条件の変更をバーナの往復移
動の折り返し位置において行えば、元来製品として使用
できない部分で堆積条件の変更を行うことになり、従来
発生していた製品部分での品質の微小な乱れが生じるこ
とがなく、透明ガラス化工程でのスート体の熔け残りや
泡等の発生をなくすことができる。
As described above, in the method of manufacturing the optical fiber preform by the shafting method, when the deposition conditions for depositing soot on the substrate are changed, the deposition conditions should be changed at the turn-back position of the reciprocation of the burner. The deposition conditions will be changed in parts that cannot be used as a product originally, and there will be no minute disturbance of quality in the product part, which occurred in the past. And generation of bubbles and the like can be eliminated.

【0011】この場合、請求項2に記載したように、変
更される堆積条件が、バーナと基材の間の距離とするこ
とができる。このように、折り返し位置でバーナと基材
の間の距離を変更するようにすれば、スートの堆積効率
を維持し、あるいは必要に応じて変更することができ、
またバーナと外径が大きく成長したスート体とが接触す
ることを品質に悪影響を与えることなく簡単に防止する
ことができる。
In this case, the deposition condition to be changed can be a distance between the burner and the base material. In this way, if the distance between the burner and the base material is changed at the turnback position, the soot deposition efficiency can be maintained or can be changed as necessary.
Further, it is possible to easily prevent the burner from coming into contact with the soot body having a large outer diameter without adversely affecting the quality.

【0012】また、請求項3に記載したように、変更さ
れる堆積条件が、スート用原料の量および/または反応
ガスの量とすることができる。このように、折り返し位
置でスート用原料の量や反応ガスの量を変更するように
すれば、スート体の外径の成長に伴う、スート体の外周
や表面積の増大に対応して、所望の品質の光ファィバ母
材を安定して製造することができる。
Further, as described in claim 3, the deposition conditions to be changed can be the amount of the soot raw material and / or the amount of the reaction gas. As described above, if the amount of the soot raw material and the amount of the reaction gas are changed at the turnback position, the desired outer diameter and surface area of the soot body can be increased in accordance with the growth of the outer diameter of the soot body. An optical fiber preform of high quality can be stably manufactured.

【0013】また本発明の請求項4に記載した発明は、
基材にスート用原料と反応ガスを吹き付けるバーナを具
備し、該バーナは基材と平行に往復移動する機構を備
え、バーナが往復移動しつつ基材にスートを堆積するこ
とにより光ファィバ母材を製造する装置において、前記
基材にスートを堆積する堆積条件を変更する場合に、該
堆積条件の変更を前記バーナの往復移動の折り返し位置
において行う機能を有することを特徴とする光ファィバ
母材を製造する装置である。
[0013] The invention described in claim 4 of the present invention provides:
An optical fiber preform is provided by providing a burner for spraying a soot raw material and a reaction gas onto the base material, the burner having a mechanism for reciprocating in parallel with the base material, and depositing soot on the base material while the burner reciprocates. An optical fiber preform having a function of, when changing deposition conditions for depositing soot on the substrate, changing the deposition conditions at a turn-back position of the reciprocating movement of the burner. This is an apparatus for manufacturing.

【0014】このように、軸付け法によって光ファィバ
母材を製造する装置において、基材にスートを堆積する
堆積条件を変更する場合に、堆積条件の変更をバーナの
往復移動の折り返し位置において行う機能を有する装置
であれば、堆積条件の変更が元来製品として使用できな
い部分で行われることになり、従来発生していた製品部
分での微小な品質の乱れがない光ファィバ母材を製造す
ることができ、透明ガラス化工程でのスート体の熔け残
りや泡等の発生を防ぐことができるものとなる。
As described above, in the apparatus for manufacturing the optical fiber preform by the shafting method, when the deposition conditions for depositing the soot on the substrate are changed, the deposition conditions are changed at the turn-back position of the reciprocation of the burner. If the device has a function, the deposition conditions will be changed in a part that cannot be used as a product originally, and an optical fiber preform without minute disturbance of quality in the product part which has occurred conventionally will be manufactured. This makes it possible to prevent the soot body from being left undissolved or generating bubbles in the transparent vitrification step.

【0015】この場合、請求項5に記載したように、変
更される堆積条件が、バーナと基材の間の距離であるよ
うにすることができる。このように、折り返し位置でバ
ーナと基材の間の距離を変更する機能を有する装置であ
れば、スートの堆積効率を維持し、あるいは必要に応じ
て変更することができ、またバーナと外径が大きく成長
したスート体とが接触することを簡単に防止することが
できる。
In this case, it is possible that the deposition condition to be changed is a distance between the burner and the base material. As described above, if the apparatus has a function of changing the distance between the burner and the base material at the turnback position, the soot deposition efficiency can be maintained or can be changed as necessary. Can be easily prevented from coming into contact with the soot body that has grown greatly.

【0016】また、請求項6に記載したように、変更さ
れる堆積条件が、スート用原料の量および/または反応
ガスの量であるものとすることができる。このように、
折り返し位置でスート用原料の量や反応ガスの量を変更
する機能を有する装置であれば、スート体の外径の成長
に伴う、スート体の外周や表面積の増大に対応して、所
望の品質の光ファィバ母材を安定して製造することがで
きるものとなる。
Further, as described in claim 6, the deposition conditions to be changed can be the amount of the soot raw material and / or the amount of the reaction gas. in this way,
If the device has a function to change the amount of the raw material for soot and the amount of the reaction gas at the turnback position, the desired quality can be achieved in accordance with the increase in the outer diameter and surface area of the soot body due to the growth of the outer diameter of the soot body. Can be stably manufactured.

【0017】以下、本発明についてさらに詳細に説明す
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。本発
明の発明者は、光ファィバ母材を軸付け法で製造する場
合において、基材にスートを堆積する堆積条件を変更し
ても、光ファィバ母材の品質に乱れが生じることのない
光ファィバ母材の製造方法と製造装置について種々検討
を重ねた。その結果、発明者は、基材にスートを堆積す
る堆積条件の変更を、バーナの往復移動の折り返し位置
において行うことを発想し、諸条件を改良・検討した結
果、完成したものである。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail, but the present invention is not limited thereto. The inventor of the present invention has proposed a method of manufacturing an optical fiber preform by a shafting method, in which the quality of the optical fiber preform is not disturbed even if the deposition conditions for depositing soot on the substrate are changed. Various investigations were conducted on the manufacturing method and manufacturing apparatus of the fiber base material. As a result, the inventor has conceived of changing the deposition conditions for depositing soot on the base material at the turn-back position of the reciprocating movement of the burner, and has completed and improved the various conditions as a result.

【0018】従来の方法の欠点は、堆積条件の変更がバ
ーナの往復移動の途中で行われる点にあった。つまり、
堆積条件の変更をバーナの往復移動の途中で行っていた
ため、製造される光ファィバ母材の実際に製品となる部
分で、スート体の成長に乱れが生じてしまい、その後の
工程である透明ガラス化工程において、スート体の熔け
残りや泡が発生する原因となっていたのである。
A disadvantage of the conventional method is that the deposition conditions are changed during the reciprocation of the burner. That is,
Since the deposition conditions were changed during the reciprocating movement of the burner, the growth of the soot body was disturbed in the actual product of the optical fiber base material to be manufactured, and the subsequent process, transparent glass In the forming process, unmelted soot and bubbles were generated.

【0019】一方、従来から軸付け法によって製造され
た光ファィバ用母材において、バーナの往復移動の折り
返し位置となる部分は、製品として用いられていなかっ
た。ここで図2は、軸付け法によるバーナの往復移動の
折り返し位置におけるスート体の外形を示す説明図であ
る。図2に示すように、バーナの往復移動の折り返し位
置8では、堆積されるスートがバーナに対して一定の水
平な面に成長しないため、バーナの炎が乱れて、スート
体2は不整な密度分布を持つようになる。この密度の不
整は、堆積条件の変更による微小な乱れ以上に大きいも
のであり、そのため、この部位は製品として使用するこ
とができなかった。これは、複数本の火口をもつバーナ
を用いた場合に特に顕著であった。
On the other hand, in the conventional optical fiber preform manufactured by the shafting method, a portion which is a turning position of the reciprocating movement of the burner has not been used as a product. Here, FIG. 2 is an explanatory diagram showing the outer shape of the soot body at the turnback position of the reciprocating movement of the burner by the shafting method. As shown in FIG. 2, at the turning position 8 of the reciprocation of the burner, the soot to be deposited does not grow on a constant horizontal surface with respect to the burner, so that the burner flame is disturbed and the soot body 2 has an irregular density. Have a distribution. This irregularity of the density is larger than the minute disturbance due to the change of the deposition conditions, and therefore, this portion cannot be used as a product. This was particularly noticeable when using a burner with multiple craters.

【0020】そこで、本発明では、基材にスートを堆積
する堆積条件の変更を、このバーナの往復移動の折り返
し位置において行うこととした。このようにすれば、堆
積条件を変更したことによるスート成長の微小な乱れ
は、元々製品として用いることができなかった部分にと
どまり、製品として利用する部分には影響を与えない。
そのため、堆積条件を自在に変更しても、スート成長に
乱れの生じることなく、所望の品質の光ファィバ母材を
製造することができるのである。本発明は、上記の発想
から諸条件を改良・検討した結果、完成したものであ
る。
Therefore, in the present invention, the deposition conditions for depositing soot on the substrate are changed at the turn-back position of the reciprocating movement of the burner. In this way, a minute disturbance in soot growth due to a change in the deposition conditions remains in a portion that could not be used as a product originally, and does not affect a portion used as a product.
Therefore, even if the deposition conditions are freely changed, an optical fiber preform of desired quality can be manufactured without disturbing the soot growth. The present invention has been completed as a result of improving and examining various conditions from the above idea.

【0021】ここで、本発明でいう、堆積条件の変更を
バーナの往復移動の折り返し位置において行うとは、厳
密に機械的な意味において、バーナが折り返す端点にお
いて変更を行う場合のみを言っているのではなく、例え
ば図2のように、スートが不整に形成される範囲内で条
件変更することを指し示している。すなわち、製品とな
る、スートが平行に均一に堆積される部分に影響を与え
ない範囲で、条件を変更すればよい。
Here, the term "change of the deposition conditions at the turn-back position of the reciprocating movement of the burner" in the present invention means, in a strictly mechanical sense, only a case where the change is made at the end point at which the burner turns. However, as shown in FIG. 2, for example, it indicates that the condition is changed within a range where the soot is irregularly formed. That is, the conditions may be changed within a range that does not affect the part where the soot is deposited in parallel and uniformly as a product.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下具体的に本発明の実施の形態
を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。ここで図1は、本発明の光ファィバ母材の製造装置
の一例を示した説明図である。この装置は、軸付け法に
より光ファィバ母材を製造する装置であり、回転機構7
を具備した基材把持具6を備え、この基材把持具6に把
持された基材1にスート用原料と反応ガスを吹き付ける
バーナ3を具備し、このバーナ3はバーナ3を基材1と
平行に往復移動させることができるバーナ往復移動機構
5を備え、バーナ3が往復移動しつつ基材1にスートを
堆積してスート体2を成長することができるようになっ
ている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be specifically described below, but the present invention is not limited to these embodiments. Here, FIG. 1 is an explanatory view showing an example of an optical fiber preform manufacturing apparatus of the present invention. This apparatus is an apparatus for manufacturing an optical fiber preform by a shafting method.
And a burner 3 for spraying a soot material and a reactive gas onto the base material 1 held by the base material holding tool 6, and the burner 3 is formed by combining the burner 3 with the base material 1. A burner reciprocating mechanism 5 that can reciprocate in parallel is provided, and the soot body 2 can be grown by depositing soot on the substrate 1 while the burner 3 reciprocates.

【0023】また、バーナ3は、バーナ3と基材1の間
の距離を調整することができるバーナ位置調整機4を具
備し、またバーナ3から放出されるスート用原料の量及
び反応ガスの量を調整することができる不図示のガス流
量調整機を具備しており、基材1にスートを堆積する堆
積条件を変更し得るようになっている。
The burner 3 is provided with a burner position adjuster 4 capable of adjusting the distance between the burner 3 and the base material 1. A gas flow controller (not shown) capable of adjusting the amount is provided, and the deposition conditions for depositing soot on the substrate 1 can be changed.

【0024】ここで、上記堆積条件の変更をバーナの往
復移動の折り返し位置8において行う機能を有している
ことが、本発明の光ファィバ母材を製造する装置の特徴
である。すなわち、例えばバーナ往復移動機構5とバー
ナ位置調整機4及びガス流量調整機とは互いに連動して
おり、バーナ3の往復移動の折り返し位置8において、
バーナ位置調整機4とガス流量調整機は、堆積条件を変
更するようになっており、バーナ3の往復移動の途中で
は、堆積条件の変更は行われないようになっている。
Here, a feature of the apparatus for manufacturing an optical fiber preform of the present invention is that it has a function of changing the deposition conditions at the turn-back position 8 of the reciprocation of the burner. That is, for example, the burner reciprocating mechanism 5 and the burner position adjuster 4 and the gas flow rate adjuster are interlocked with each other.
The burner position adjuster 4 and the gas flow rate adjuster change the deposition conditions, and the change of the deposition conditions is not performed during the reciprocation of the burner 3.

【0025】次に、以上のような装置による光ファィバ
母材の製造方法について説明する。まず、基材1の両端
を基材把持具6によって把持する。基材把持具6によっ
て把持された基材1は回転機構7によって回転される。
そして、バーナ往復移動機構5により往復移動するバー
ナ3から、スート用原料と反応ガスが基材1に吹き付け
られる。基材1は回転しており、またバーナ3は往復移
動するので、スートは基材1にムラなく吹き付けられ堆
積し、スート体2を形成する。
Next, a method of manufacturing an optical fiber preform using the above-described apparatus will be described. First, both ends of the substrate 1 are gripped by the substrate gripper 6. The substrate 1 gripped by the substrate gripper 6 is rotated by the rotation mechanism 7.
Then, the soot raw material and the reaction gas are sprayed onto the base material 1 from the burner 3 reciprocating by the burner reciprocating mechanism 5. Since the substrate 1 is rotating and the burner 3 reciprocates, the soot is evenly sprayed and deposited on the substrate 1 to form the soot body 2.

【0026】そして、スートの堆積によりスート体2が
成長し、その外径は増大していく。ここで、例えば外径
の成長がある一定値を越えた時であって、且つバーナ3
の位置が往復移動の折り返し位置8である時に、バーナ
位置調整機4とガス流量調整機は堆積条件を変更するよ
うにする。前述したように、本発明の光ファィバ母材を
製造する装置では、製品として用いられない部分である
バーナ3の往復運動の折り返し位置8の範囲内において
堆積条件を変更するため、光ファィバ母材として実際に
製品として用いる部分に、スート体成長の乱れが生じる
ことがない。
The soot body 2 grows due to the soot deposition, and its outer diameter increases. Here, for example, when the growth of the outer diameter exceeds a certain value and the burner 3
When the position is the turning position 8 of the reciprocating movement, the burner position adjuster 4 and the gas flow adjuster change the deposition conditions. As described above, in the apparatus for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention, since the deposition conditions are changed within the range of the reversing position 8 of the reciprocating motion of the burner 3 which is not used as a product, the optical fiber preform is changed. The soot body growth is not disturbed in a part actually used as a product.

【0027】なお、この折り返し位置8での堆積条件の
変更は、例えばスート体2の外径を直径測定器等で測定
するようにし、折り返し位置8で動作するようにする。
折り返し位置8はパルスカウンター等で位置を判断して
動作すればよい。
It should be noted that the change of the deposition conditions at the turning position 8 is performed, for example, by measuring the outer diameter of the soot body 2 with a diameter measuring device or the like, and operating at the turning position 8.
The return position 8 may be operated by judging the position with a pulse counter or the like.

【0028】また、この堆積条件の変更は、必ずしも一
定均一のスート体2を形成するためにのみ行われるもの
ではなく、スートを堆積中に、任意に堆積条件を変化さ
せることにより、所望の仕様の光ファィバ母材を得るこ
ともできる。例えば、堆積条件を変更することにより、
スート体2の密度分布を径方向で自在に変化させること
も可能である。その場合においても、堆積条件の変更は
バーナ3の往復移動の折り返し位置8において行われる
ため、堆積条件の変更によりスート体2の乱れが生じる
ことがなく、径方向に所望特性を有する光ファィバ母材
を作製することができる。
The change of the deposition conditions is not necessarily performed only to form the soot body 2 having a constant uniformity. The desired conditions can be changed by arbitrarily changing the deposition conditions during the deposition of the soot. Can be obtained. For example, by changing the deposition conditions,
It is also possible to freely change the density distribution of the soot body 2 in the radial direction. Even in such a case, the change of the deposition conditions is performed at the turnback position 8 of the reciprocating movement of the burner 3, so that the change of the deposition conditions does not cause the soot body 2 to be disturbed and the optical fiber mother having desired characteristics in the radial direction. Materials can be made.

【0029】そして、このような装置により製造された
光ファィバ用ガラス母材を、その後の工程で脱水・透明
ガラス化を行えば、スート体の熔け残りや、泡等が発生
することがなく、最終製品として、伝送特性や強度の面
で優れた高品質の光ファィバを得ることができる。
Then, if the glass preform for optical fiber manufactured by such an apparatus is subjected to dehydration and vitrification in a subsequent step, the soot body will not be left unmelted or bubbles will not be generated. As a final product, a high-quality optical fiber having excellent transmission characteristics and strength can be obtained.

【0030】[0030]

【実施例】以下、本発明を実施例および比較例を挙げて
説明する。 (実施例)図1に示す光ファィバ母材の製造装置によ
り、VAD法にて予め作製された外径40mmの基材1
に対し、最終外径が200mmとなるようにスートを堆
積してスート体2を形成し、光ファィバ母材の製造を行
った。堆積条件の変更のタイミングは、外径が前回の条
件変更時から2mm成長し、且つバーナ往復移動の折り
返し位置8で実施するような制御を行った。この場合の
外径の測定は、アンリツ(株)社製の測定器である「光
マイクロ」を中央部に設置して行った。また、堆積条件
の内、スート用原料の量と反応ガスの量については、堆
積成長されるスート体2が、図3に示すような密度分布
になるように制御し、外径200mmにて、バーナ3か
ら四塩化ケイ素30L/min、水素100L/mi
n、酸素50L/minが放出されるように調整を行っ
た。
The present invention will be described below with reference to examples and comparative examples. (Embodiment) A substrate 1 having an outer diameter of 40 mm, which was prepared in advance by the VAD method using the optical fiber preform manufacturing apparatus shown in FIG.
On the other hand, soot was deposited so as to have a final outer diameter of 200 mm to form a soot body 2, and an optical fiber preform was manufactured. The timing for changing the deposition conditions was such that the outer diameter grew by 2 mm from the time when the previous condition was changed, and control was performed at the turnback position 8 of the reciprocation of the burner. The measurement of the outer diameter in this case was performed by installing a “light micro” measuring instrument manufactured by Anritsu Corporation at the center. Further, among the deposition conditions, the amount of the soot raw material and the amount of the reaction gas are controlled so that the soot body 2 to be deposited and grown has a density distribution as shown in FIG. Burner 3 to silicon tetrachloride 30 L / min, hydrogen 100 L / mi
Adjustment was performed so that n and 50 L / min of oxygen were released.

【0031】このようにして製造された光ファィバ母材
を脱水・透明ガラス化したところ、従来の製造装置では
見られていた微小な品質の乱れによる熔け残りや泡は見
られなかった。
When the optical fiber base material thus manufactured was dehydrated and transparently vitrified, no unmelted residue or bubbles due to minute disturbance in quality, which were observed in the conventional manufacturing apparatus, were observed.

【0032】(比較例)堆積条件の変更位置に関する条
件以外の装置その他の条件は、実施例と同様にして堆積
を実施し、光ファィバ母材の製造を行った。堆積条件の
変更はバーナ3の往復移動の折り返し位置8に限定せ
ず、前回の条件変更時から2mm成長したところで実施
するように制御を行った。スート用原料の量と反応ガス
の量については、実施例と同様にした。
(Comparative Example) The deposition was performed in the same manner as in the example except for the apparatus and other conditions other than the condition relating to the change position of the deposition condition, and the optical fiber preform was manufactured. The change of the deposition condition was not limited to the reversing position 8 of the reciprocating movement of the burner 3, but was controlled so as to be performed when the growth was 2 mm from the previous condition change. The amounts of the soot raw material and the reaction gas were the same as in the example.

【0033】そのように製造された光ファィバ母材を脱
水・透明ガラス化したところ、軸付け法により堆積され
た層の5〜70%の厚みの位置に点々と熔け残りや大き
な泡が発生した。これらは、堆積条件の変更が行われた
ところと一致し、堆積条件の変更が原因で発生している
と見られる。
When the optical fiber base material thus manufactured was dehydrated and transparently vitrified, unmelted residue and large bubbles were generated at a position of 5 to 70% of the thickness of the layer deposited by the shafting method. . These coincide with the change in the deposition conditions, and are considered to have occurred due to the change in the deposition conditions.

【0034】本発明は、上記実施形態に限定されるもの
ではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許
請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構
成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるも
のであっても本発明の技術的範囲に包含される。
The present invention is not limited to the above embodiment. The above embodiment is an exemplification, and has substantially the same configuration as the technical idea described in the scope of the claims of the present invention. It is included in the technical scope of the invention.

【0035】例えば、上記実施形態では、基材を水平に
把持し、基材にほぼ垂直にスート用原料と反応ガスを吹
き付けるバーナを配置する場合を中心に説明したが、本
発明の範囲はこれに限定されるものではない。例えば、
基材を垂直に把持してスート体の成長を行うようにして
もよいし、バーナにおいても、基材に垂直に原料等を吹
き付けるものに限定されず、任意の角度から原料等を吹
き付けて、スート体を成長させる場合も、折り返し位置
の範囲で堆積条件を変更するものであれば本発明の範囲
に包含される。
For example, in the above-described embodiment, the case where the base material is gripped horizontally and the burner for spraying the soot raw material and the reactive gas is arranged substantially vertically on the base material has been described, but the scope of the present invention is not limited to this. However, the present invention is not limited to this. For example,
The soot body may be grown by vertically gripping the base material, or even in a burner, the material is not limited to spraying the raw material and the like vertically to the base material, and the raw material and the like are sprayed from any angle, In the case of growing a soot body, any method that changes the deposition conditions within the range of the turning position is included in the scope of the present invention.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、堆積条件
の変更をバーナの往復移動の折り返し位置で行うように
したので、光ファィバ母材の製造において、スートを堆
積する堆積条件を必要に応じて変更したとしても、堆積
条件を変更したことによって発生するスート体の品質等
の乱れの影響を光ファィバ母材の製品部分に与えること
なく、良好な光ファィバ母材を得ることができる。
As described above, according to the present invention, the deposition conditions are changed at the turn-back position of the reciprocating movement of the burner. Therefore, in the production of the optical fiber preform, the deposition conditions for soot deposition are required. Even if it is changed accordingly, it is possible to obtain a good optical fiber preform without affecting the product portion of the optical fiber preform due to disturbances such as the quality of the soot body caused by changing the deposition conditions.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の光ファィバ母材の製造装置の一例を示
した説明図である。
FIG. 1 is an explanatory view showing an example of an optical fiber preform manufacturing apparatus of the present invention.

【図2】軸付け法によるバーナの往復移動の折り返し位
置におけるスート体の外形を示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory view showing an outer shape of a soot body at a turning position of a reciprocating movement of a burner by a shafting method.

【図3】実施例におけるスート体の密度分布を示す。FIG. 3 shows a density distribution of a soot body in an example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…基材、 2…スート体、 3…バーナ、 4…バー
ナ位置調整機、5…バーナ往復移動機構、 6…基材把
持具、 7…回転機構、8…往復移動の折り返し位置。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate, 2 ... Soot body, 3 ... Burner, 4 ... Burner position adjuster, 5 ... Burner reciprocating movement mechanism, 6 ... Substrate gripper, 7 ... Rotation mechanism, 8 ... Reversing position of reciprocating movement.

フロントページの続き (72)発明者 島田 忠克 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 Fターム(参考) 4G021 EA03 EB14 EB26 Continued on the front page (72) Inventor Tadakatsu Shimada 2-3-1-1, Isobe, Annaka-shi, Gunma Shin-Etsu Kagaku Kogyo Co., Ltd. Precision Functional Materials Laboratory (72) Inventor Hideo Hirasawa 2--13 Isobe, Annaka-shi, Gunma No. 1 Shin-Etsu Kagaku Kogyo Co., Ltd. Precision Functional Materials Laboratory F-term (reference) 4G021 EA03 EB14 EB26

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基材にスート用原料と反応ガスを吹き付
けるバーナを該基材と平行に往復移動させつつ、基材に
スートを堆積して光ファィバ母材を製造する方法におい
て、 前記基材にスートを堆積する堆積条件を変更する場合
に、該堆積条件の変更を前記バーナの往復移動の折り返
し位置において行うことを特徴とする光ファィバ母材の
製造方法。
1. A method for producing an optical fiber preform by depositing soot on a substrate while reciprocating a burner for spraying a soot raw material and a reaction gas onto the substrate in parallel with the substrate. Wherein the deposition conditions for depositing soot are changed at the turn-back position of the reciprocating movement of the burner.
【請求項2】 前記変更される堆積条件が、バーナと基
材の間の距離であることを特徴とする請求項1に記載の
光ファィバ母材の製造方法。
2. The method for manufacturing an optical fiber preform according to claim 1, wherein the changed deposition condition is a distance between a burner and a substrate.
【請求項3】 前記変更される堆積条件が、スート用原
料の量および/または反応ガスの量であることを特徴と
する請求項1または請求項2に記載の光ファィバ母材の
製造方法。
3. The method of manufacturing an optical fiber preform according to claim 1, wherein the changed deposition condition is an amount of a soot raw material and / or an amount of a reaction gas.
【請求項4】 基材にスート用原料と反応ガスを吹き付
けるバーナを具備し、該バーナは基材と平行に往復移動
する機構を備え、バーナが往復移動しつつ基材にスート
を堆積することにより光ファィバ母材を製造する装置に
おいて、 前記基材にスートを堆積する堆積条件を変更する場合
に、該堆積条件の変更を前記バーナの往復移動の折り返
し位置において行う機能を有することを特徴とする光フ
ァィバ母材を製造する装置。
4. A burner for spraying a soot material and a reaction gas onto a base material, the burner having a mechanism for reciprocating in parallel with the base material, wherein the burner deposits soot on the base material while reciprocating. An apparatus for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention, characterized in that when changing deposition conditions for depositing soot on the base material, a function is provided for changing the deposition conditions at a turn-back position of the reciprocating movement of the burner. For manufacturing optical fiber preforms.
【請求項5】 前記変更される堆積条件が、バーナと基
材の間の距離であることを特徴とする請求項4に記載の
光ファィバ母材を製造する装置。
5. The apparatus for manufacturing an optical fiber preform according to claim 4, wherein the changed deposition condition is a distance between a burner and a substrate.
【請求項6】 前記変更される堆積条件が、スート用原
料の量および/または反応ガスの量であることを特徴と
する請求項4または請求項5に記載の光ファィバ母材を
製造する装置。
6. The apparatus for manufacturing an optical fiber preform according to claim 4, wherein the deposition condition to be changed is an amount of a soot raw material and / or an amount of a reaction gas. .
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