JP2000063141A - Production of porous glass preform for optical fiber - Google Patents

Production of porous glass preform for optical fiber

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JP2000063141A
JP2000063141A JP10241103A JP24110398A JP2000063141A JP 2000063141 A JP2000063141 A JP 2000063141A JP 10241103 A JP10241103 A JP 10241103A JP 24110398 A JP24110398 A JP 24110398A JP 2000063141 A JP2000063141 A JP 2000063141A
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    • Y02P40/50Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing a porous glass preform for optical fiber, for example, in a vapor phase axial deposition (VAD method), etc., capable of reducing an excessive soot floating in a chamber without being deposited on a starting preform without greatly changing a conventional apparatus, consequently preventing the occurrence of a bad condition of qualities of the porous glass preform for an optical fiber, such as generation of foam, etc., and improving a yield. SOLUTION: In this method for producing a porous glass preform for an optical fiber by spraying an oxyhydrogen flame together with a raw material gas from plural burners for depositing a raw material so as to deposit a soot on a starting preform in the axial direction, the longitudinal sectional shape at the tip of the soot deposition layer deposited by two adjoining burners for depositing the raw material in the plural burners for depositing the raw material is adjusted so that the angle between tangents at inflection points which hold the boundary of the two soot deposition layers between the points and are closest to the boundary is made >=30 deg. but <=100 deg..

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば気相軸付け
法(VAD法)による光ファイバ用多孔質ガラス母材の
製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a porous glass preform for an optical fiber, for example, by a vapor phase axial attachment method (VAD method).

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、光ファイバの製造工程において、
直接、極細の光ファイバを作ろうとすると、最適の屈折
率分布を持たせる制御が困難である等の理由から、まず
同じ屈折率分布を有する径の太い光ファイバプリフォー
ムを作製し、このプリフォームを加熱して外径を一定に
制御しながら細く長く引き伸ばす(線引きする)ことに
より、極細の光ファイバを製造する方法が採られてい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, in an optical fiber manufacturing process,
If you try to make an ultra-fine optical fiber directly, it is difficult to control it so that it has an optimal refractive index distribution. For this reason, first make a large-diameter optical fiber preform with the same refractive index distribution and then use this preform. A method of manufacturing an ultra-fine optical fiber is adopted by heating (heating) and controlling the outer diameter to be constant and stretching (drawing) a long thin fiber.

【0003】このような光ファイバプリフォームの製造
方法としては、例えば、気相軸付け法等により光ファイ
バ用多孔質ガラス母材を製造し、これを脱水・焼結する
方法等を挙げることができる。この気相軸付け法(VA
D法)による光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造法
は、石英棒等の出発母材を回転させつつ、下方から光フ
ァイバ原料としての四塩化ケイ素(SiCl4 )、及び
屈折率制御に必要な四塩化ゲルマニウム(GeCl4
等のドーパントをコア部堆積用バーナからH2 、O2
スとともに吹付け、石英棒の軸方向にコア部用のスート
堆積層を形成させるとともに、この周囲に向けてクラッ
ド部堆積用バーナから光ファイバ原料としての四塩化ケ
イ素(SiCl4 )等をH2 、O2 ガスとともに吹付け
てクラッド部用のスート堆積層を形成するといった方法
である。
As a method for producing such an optical fiber preform, for example, a method of producing a porous glass preform for an optical fiber by a vapor phase axis attaching method, etc., and dehydrating and sintering it can be mentioned. it can. This vapor axis method (VA
The method of producing a porous glass preform for optical fibers by the D method) is necessary for controlling the refractive index of silicon tetrachloride (SiCl 4 ) as an optical fiber raw material from below while rotating a starting preform such as a quartz rod. Germanium tetrachloride (GeCl 4 )
And other dopants are blown from the core deposition burner together with H 2 and O 2 gas to form a soot deposition layer for the core in the axial direction of the quartz rod, and a light is emitted from the cladding deposition burner toward this periphery. This is a method in which silicon tetrachloride (SiCl 4 ) or the like as a fiber raw material is sprayed together with H 2 and O 2 gas to form a soot deposition layer for the clad portion.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、出発母
材に堆積されるスートの全てが、出発母材に堆積され光
ファイバ用多孔質ガラス母材となるものではなく、スー
トの一部は堆積されずにチャンバー内を浮遊し、その後
排出口から排出されるか、排出されなかったスートはチ
ャンバーの壁面に付着することになる。この壁面に付着
したスートはやがて落下し、堆積中の光ファイバ用多孔
質ガラス母材を傷つけたり、また落下の際にスート微小
片を飛散させ、この飛散したスート微小片が堆積中の光
ファイバ用多孔質ガラス母材に付着して気泡の原因とな
るという問題がある。さらに、このようにスート微小片
が飛散すると、堆積中の光ファイバ用多孔質ガラス母材
の先端認識システムに支障を与え制御不能とする可能性
もある。
However, not all of the soot deposited on the starting base material is deposited on the starting base material to be the porous glass base material for optical fiber, and a part of the soot is deposited. Instead, it floats in the chamber and then is discharged from the discharge port, or the soot not discharged is attached to the wall surface of the chamber. The soot that adheres to this wall will eventually drop, damage the porous glass base material for optical fiber that is being deposited, or scatter soot particles when falling, and the scattered soot particles can be deposited on the optical fiber. There is a problem that it adheres to the porous glass base material for use and causes bubbles. Further, the scattering of soot particles in this manner may interfere with the tip recognition system of the porous glass preform for optical fiber being deposited and may make it uncontrollable.

【0005】さらに、出発母材に堆積されなかったスー
トは、排出口から排出される前、もしくは壁面に付着す
る前にチャンバー内を浮遊するが、このこと自体光ファ
イバ用多孔質ガラス母材の気泡発生の要因となるもので
ある。このように、出発母材に付着しなかった余剰のス
ートの存在は、従来より光ファイバ用多孔質ガラス母材
の製造にあたって大きな問題であった。
Further, the soot not deposited on the starting base material floats in the chamber before being discharged from the discharge port or before adhering to the wall surface. This means that the soot of the porous glass base material for optical fibers is itself. This is a factor in generating bubbles. Thus, the presence of excess soot that did not adhere to the starting preform has been a major problem in the manufacture of porous glass preforms for optical fibers.

【0006】さらに、近年光ファイバ用多孔質ガラス母
材の大型化が要求されるようになってきたが、この大型
化に伴い、例えば生産速度が2倍になれば光ファイバ用
多孔質ガラス母材として堆積しない余剰のスートも2倍
に増えることになり、上述した問題がより生じやすくな
る。例えば、図1に示すように光ファイバ用多孔質ガラ
ス母材の径を増加させていくにしたがって、気泡数も増
加する傾向にあり、さらに径が145mmを越えるあた
りからチャンバ壁面に付着した余剰スートの落下が観察
され、品質面に悪影響を及ぼしていることがわかる。
Further, in recent years, it has been required to increase the size of the porous glass preform for optical fibers. With the increase in size, for example, if the production rate is doubled, the porous glass preform for optical fibers will be increased. The surplus soot that does not accumulate as a material is also doubled, and the above-mentioned problem is more likely to occur. For example, as shown in FIG. 1, the number of bubbles tends to increase as the diameter of the porous glass preform for optical fibers increases, and the excess soot attached to the chamber wall surface when the diameter exceeds 145 mm. Is observed, which shows that the quality is adversely affected.

【0007】さらにまた、光ファイバ用多孔質ガラス母
材の大型化が要求されるにつれ収率の向上も要求される
ようになってきた。この点からもこの余剰のスートを低
減させることが急務となってきた。
Furthermore, as the size of the porous glass preform for optical fibers is required to be larger, the yield is also required to be improved. From this point as well, there is an urgent need to reduce this excess soot.

【0008】本発明は上記問題点に鑑みなされたもので
あり、例えば気相軸付け法(VAD法)等において、従
来の装置を大幅に変更することなく、出発母材に堆積さ
れずにチャンバ内を浮遊する余剰のスートを低減させ、
これにより気泡の発生等の光ファイバ用多孔質ガラス母
材の品質上の不具合が発生するのを防止し、かつ収率を
向上させることができる光ファイバ用多孔質ガラス母材
の製造方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems. For example, in the vapor phase axial attachment method (VAD method) or the like, the chamber is not deposited on the starting base metal without largely changing the conventional apparatus. Reduce the excess soot floating inside,
This provides a method for producing a porous glass preform for optical fibers, which can prevent the occurrence of defects in the quality of the porous glass preform for optical fibers such as the generation of bubbles and improve the yield. The purpose is to do.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、請求項1において、複数の原料堆積用バーナ
から原料ガスとともに酸水素炎を吹き付けて出発母材の
軸方向にスートを堆積するようにした光ファイバ用多孔
質ガラス母材の製造方法において、前記複数の原料堆積
用バーナの内の隣接する二つの原料堆積用バーナにより
堆積するスート堆積層先端の縦断面形状を、二つのスー
ト堆積層の境界を挟みかつこの境界に最も近い二つの変
曲点における各接線の互いになす角が30°以上100
°以下となるようにして光ファイバ用多孔質ガラス母材
を製造するようにした。
In order to achieve the above object, the present invention according to claim 1 is characterized in that an oxyhydrogen flame is blown together with a raw material gas from a plurality of raw material deposition burners to deposit soot in an axial direction of a starting base material. In the method for producing a porous glass preform for an optical fiber, the longitudinal cross-sectional shape of the tip of the soot deposition layer deposited by two adjacent raw material deposition burners of the plurality of raw material deposition burners is set to two. The angle between the tangents at the two inflection points that sandwich the boundary of the soot sedimentary layer and are closest to this boundary is 30 ° or more and 100 or more.
The porous glass preform for optical fibers was manufactured at a temperature of not more than °.

【0010】このように、二つのスート堆積層の境界に
最も近い二つの変曲点における各接線の互いになす角が
30°以上100°以下となるようにスートを堆積する
ことにより、原料堆積用バーナにより生成したスートが
効率良くスート堆積層として堆積し、チャンバ内に浮遊
する余剰のスートを減らすことができ、かつ収率を向上
させることができる。
As described above, the soot is deposited so that the angle formed by the tangents at the two inflection points closest to the boundary between the two soot deposition layers is 30 ° or more and 100 ° or less, so that the raw material is deposited. The soot generated by the burner is efficiently deposited as a soot deposition layer, the surplus soot floating in the chamber can be reduced, and the yield can be improved.

【0011】この場合、請求項2に記載するように、上
述した二つの原料堆積用バーナが、いずれもクラッド部
堆積用バーナであることが好ましい。クラッド部堆積用
バーナの方が、コア部堆積用バーナと比較して、通常本
数が多くかつ堆積するスート量も多いことから、これら
を制御することにより効率的にチャンバ内を浮遊するス
ート量を減らすことができるからである。
In this case, as described in claim 2, it is preferable that both of the above-mentioned two raw material deposition burners are cladding portion deposition burners. The burner for clad part deposition usually has a larger number of soots and a larger amount of soot as compared to the burner for core part deposition. Therefore, by controlling these burners, the amount of soot floating in the chamber can be increased efficiently. This is because it can be reduced.

【0012】さらに、この場合請求項3に記載するよう
に、二つの原料堆積用バーナの内の一つが、コア部に隣
接する第1クラッド部を堆積させる第1クラッド部堆積
用バーナであり、他の一つがこの第1クラッド部の外側
に隣接する第2クラッド部を堆積させる第2クラッド部
堆積用バーナであることが好ましい。後述するように、
第1クラッド部堆積用バーナは、第1クラッド部を堆積
させると共に、コア部の側面を加熱することによる屈折
率分布の調整を行う必要があることから、他の原料堆積
用バーナと比較して収率が低い。したがって、この第1
クラッド部堆積用バーナの収率を向上させることにより
全体の収率を向上させることができ、チャンバ内を浮遊
する余剰のスートを低減させることができる。
Further, in this case, as described in claim 3, one of the two raw material deposition burners is a first cladding portion deposition burner for depositing the first cladding portion adjacent to the core portion, It is preferable that the other one is a burner for depositing a second cladding portion, which deposits a second cladding portion adjacent to the outside of the first cladding portion. As described below,
The burner for depositing the first clad portion needs to adjust the refractive index distribution by heating the side surface of the core portion while depositing the first clad portion. The yield is low. Therefore, this first
The overall yield can be improved by improving the yield of the burner for depositing the clad portion, and the excess soot floating in the chamber can be reduced.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明するが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。図2は、光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法
を説明するための図であって、原料堆積用バーナとし
て、コア部(a)を堆積するためのコア部堆積用バーナ
1、第1クラッド部(b)を堆積するための第1クラッ
ド部堆積用バーナ2、および第2クラッド部(c)を堆
積するための第2クラッド部堆積用バーナ3を用いた例
を示す説明図である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The embodiments of the present invention will be described below, but the present invention is not limited thereto. FIG. 2 is a diagram for explaining a method for manufacturing a porous glass preform for optical fibers, which is a burner for depositing a raw material, a burner 1 for depositing a core portion for depositing a core portion (a), a first burner for depositing a core portion. It is explanatory drawing which shows the example which used the 1st clad part deposition burner 2 for depositing a clad part (b), and the 2nd clad part deposition burner 3 for depositing a 2nd clad part (c). .

【0014】ここで、この2本のクラッド部堆積用バー
ナのうち、コア部(a)に隣接する第1クラッド部
(b)を堆積する第1クラッド部堆積用バーナ2は、第
1クラッド部(b)を堆積するのみならず、コア部
(a)の側面を加熱しコア部(a)の屈折率分布の調整
を行う役割をも有するものである。
Of the two clad part deposition burners, the first clad part deposition burner 2 for depositing the first clad part (b) adjacent to the core part (a) is the first clad part deposition burner 2. In addition to depositing (b), it also has a role of heating the side surface of the core portion (a) to adjust the refractive index distribution of the core portion (a).

【0015】このようにコア部(a)の屈折率分布の調
節という重要な役割を有するため、従来よりこの第1ク
ラッド部堆積用バーナ2のバーナの位置やガス流量等の
種々の条件については、第1クラッド部(b)を堆積さ
せる点に重点をおいて定められているものでなく、むし
ろコア部(a)の屈折率分布の調整することに重点をお
いて条件が定められていた。したがって、このような従
来の製造条件で製造した結果を検討すると、第1クラッ
ド部堆積用バーナ2と第2クラッド部堆積用バーナ3と
を比較した場合、第1クラッド部堆積用バーナ2の収率
が低いことが見いだされた。
As described above, since it has an important role of adjusting the refractive index distribution of the core portion (a), various conditions such as the burner position and the gas flow rate of the burner 2 for depositing the first clad portion have been conventionally known. , The condition was not focused on the point of depositing the first cladding part (b), but rather on the adjustment of the refractive index distribution of the core part (a). . Therefore, considering the results of manufacturing under such conventional manufacturing conditions, when comparing the burner 2 for depositing the first cladding portion and the burner 3 for depositing the second cladding portion, the yield of the burner 2 for depositing the first cladding portion is compared. It was found that the rate was low.

【0016】また、従来の製造条件で製造した結果を検
討すると、大型化を試みている条件ほど余剰のスートの
落下などの障害が多い点、さらには大型化されたものと
そうでないものとの収率を検討すると収率自体は大きく
違わない点が見いだされた。このことから、大型化した
場合でも収率自体は大きく変化しないが、全体量が増加
していることから、余剰のスート自体は増加することと
なり、このため大型化を試みると図1に示すように気泡
の増加やチャンバ壁に付着した余剰のスートの落下等の
不具合が生じることがわかる。したがって、気泡等の不
具合を低減するためには、収率自体を向上させることが
必要であり、そのためには、収率の低い第1クラッド部
堆積用バーナ2の収率向上を行う必要があることがわか
った。本発明者等は、これらの点を検討した結果、光フ
ァイバ用多孔質ガラス母材のスート堆積層の先端の縦断
面の形状と収率とに一定の関係があることを見いだし、
本発明を完成させるに至ったものである。
Further, when the results of manufacturing under the conventional manufacturing conditions are examined, it is found that there are more obstacles such as excessive soot falling under the condition of attempting to increase the size, and further, that the size is increased or not. When the yield was examined, it was found that the yield itself was not significantly different. From this, the yield itself does not change significantly even when the size is increased, but the total soot is increasing, so the surplus soot itself is increased. Therefore, when attempting to increase the size, as shown in FIG. It can be seen that problems such as an increase in bubbles and a drop of excess soot adhering to the chamber wall occur. Therefore, in order to reduce defects such as bubbles, it is necessary to improve the yield itself, and for that purpose, it is necessary to improve the yield of the first cladding portion deposition burner 2 having a low yield. I understood it. The present inventors, as a result of studying these points, found that there is a certain relationship between the shape and the yield of the longitudinal section of the tip of the soot deposition layer of the optical glass porous glass preform,
The present invention has been completed.

【0017】すなわち本発明は、複数の原料堆積用バー
ナから原料ガスとともに酸水素炎を吹き付けて出発母材
の軸方向にスートを堆積するようにした光ファイバ用多
孔質ガラス母材の製造方法において、前記複数の原料堆
積用バーナの内の隣接する二つの原料堆積用バーナによ
り堆積するスート堆積層先端の縦断面形状を、二つのス
ート堆積層の境界を挟みかつこの境界に最も近い二つの
変曲点における各接線の互いになす角が30°以上10
0°以下となるようにすることにより、収率を向上さ
せ、かつチャンバ内に浮遊する余剰のスートを低減さ
せ、光ファイバ用多孔質ガラス母材の品質を向上させる
ようにしたものである。
That is, the present invention provides a method for producing a porous glass preform for optical fibers, in which an oxyhydrogen flame is blown together with the raw material gas from a plurality of raw material deposition burners to deposit soot in the axial direction of the starting preform. , The vertical cross-sectional shape of the tip of the soot deposition layer deposited by two adjacent source deposition burners of the plurality of source deposition burners is defined by the two variations that sandwich the boundary between the two soot deposition layers and are closest to this boundary. The angle between each tangent at the bending point is 30 ° or more 10
By setting the angle to 0 ° or less, the yield is improved, the excess soot floating in the chamber is reduced, and the quality of the porous glass preform for optical fibers is improved.

【0018】本発明は、このように複数の原料堆積用バ
ーナから原料ガスとともに酸水素炎を吹き付けて出発母
材の軸方向にスートを堆積するようにした光ファイバ用
多孔質ガラス母材の製造方法に適用される。このような
製造方法としては、例えば気相軸付け法(VAD法)等
を挙げることができる。
According to the present invention, as described above, a porous glass preform for an optical fiber is manufactured by spraying an oxyhydrogen flame together with a raw material gas from a plurality of raw material deposition burners to deposit soot in the axial direction of the starting preform. Applied to the method. As such a manufacturing method, for example, a vapor phase axial attachment method (VAD method) and the like can be mentioned.

【0019】本発明は、このような製造方法において、
複数の原料堆積用バーナの内の隣接する二つの原料堆積
用バーナにより堆積するスート堆積層先端の形状を制御
するものである。ここで隣接する二つの原料堆積用バー
ナとしては、特に限定されるものではないが、両者共に
クラッド部堆積用バーナであることが好ましい。クラッ
ド部はコア部と比較して体積が大きく、この部分の収率
を向上させることがチャンバ内を浮遊するスート量を低
減させることになり、かつ全体として見た場合の収率向
上につながるからである。
According to the present invention, in such a manufacturing method,
The shape of the tip of the soot deposition layer deposited by two adjacent raw material deposition burners of the plurality of raw material deposition burners is controlled. The two adjacent raw material deposition burners are not particularly limited, but both are preferably cladding portion deposition burners. The clad part has a larger volume than the core part, and improving the yield of this part reduces the amount of soot floating in the chamber, and also improves the yield when viewed as a whole. Is.

【0020】さらに、二つの原料堆積用バーナの内の一
つが、コア部に隣接する第1クラッド部を堆積させる第
1クラッド部堆積用バーナであり、他の一つがこの第1
クラッド部の外側に隣接する第2クラッド部を堆積させ
る第2クラッド部堆積用バーナであることが特に好まし
い。上述したように、従来の条件では第1クラッド部堆
積用バーナの収率は他のバーナと比較して低い。したが
って、第1クラッド部堆積用バーナの収率を向上させる
ことにより全体として見た場合の収率を大きく向上させ
ることができ、かつこれによりチャンバ内を浮遊する余
剰のスートを大きく低減させることができるからであ
る。
Further, one of the two raw material deposition burners is a first cladding portion deposition burner for depositing the first cladding portion adjacent to the core portion, and the other one is the first cladding portion burner.
It is particularly preferable that the burner for depositing the second clad portion deposits the second clad portion adjacent to the outside of the clad portion. As described above, under the conventional conditions, the yield of the burner for depositing the first cladding portion is lower than that of other burners. Therefore, by improving the yield of the burner for depositing the first clad portion, the overall yield can be greatly improved, and the excess soot floating in the chamber can be greatly reduced. Because you can.

【0021】なお、ここでいう隣接する二つの原料堆積
用バーナとは、光ファイバ用多孔質ガラス母材において
径方向に隣接するスート堆積層を堆積する原料堆積用バ
ーナを意味し、例えば図2においては、コア部堆積用バ
ーナ1および第1クラッド部堆積用バーナ2、もしくは
第1クラッド部堆積用バーナ2および第2クラッド部堆
積用バーナ3の関係を意味するものである。また、縦断
面形状とは、光ファイバ用多孔質ガラス母材の回転軸を
含む面で切断した際の形状を意味するものである。
The term "two adjacent raw material deposition burners" as used herein means a raw material deposition burner for depositing soot deposition layers that are radially adjacent to each other in the porous glass preform for optical fibers. Indicates the relationship between the core portion deposition burner 1 and the first cladding portion deposition burner 2, or the relationship between the first cladding portion deposition burner 2 and the second cladding portion deposition burner 3. In addition, the vertical cross-sectional shape means a shape when the porous glass base material for an optical fiber is cut along a surface including a rotation axis.

【0022】本発明は、このスート堆積層先端の縦断面
形状を、二つのスート堆積層の境界を挟みかつこの境界
に最も近い二つの変曲点における各接線の互いになす角
が30°以上100°以下となるようにしたところに特
徴を有するものである。以下、この点について図3を用
いて説明する。
According to the present invention, the vertical cross-sectional shape of the tip of the soot accumulation layer is such that the angle between the tangents at the two inflection points that sandwich the boundary between the two soot accumulation layers and are closest to the boundary is 30 ° or more and 100 or more. It has a feature in that it is set to be less than or equal to °. Hereinafter, this point will be described with reference to FIG.

【0023】図3において実線で示されているのは、光
ファイバ用多孔質ガラス母材のスート堆積層先端の縦断
面形状を示すものであり、スート堆積層である第1クラ
ッド部および第2クラッド部の先端の縦断面形状を示す
ものである。また、破線は実線で示された曲線における
2回微分値を示すものである。本発明は、変曲点、すな
わち2回微分値が0となる点であって、第1クラッド部
および第2クラッド部のそれぞれにおいて最も第1クラ
ッド部と第2クラッド部との境界線に近い二つの変曲点
における二つの接線のなす角が30°以上100°以下
となるようにしたところに特徴を有する。ここで接線の
なす角とは、図3からも明らかなように、実際に形状を
示す曲線が形成する凸部(肩部)のなす角の補角を指す
ものとし、曲線が凹部を形成する場合も、同様にその凹
部のなす角の補角を指すものとする。
The solid line in FIG. 3 shows the vertical cross-sectional shape of the tip of the soot deposition layer of the porous glass preform for optical fibers, which is the first cladding portion and the second soot deposition layer. It shows a vertical cross-sectional shape of the tip of the clad portion. Also, the broken line indicates the second derivative value in the curve shown by the solid line. The present invention is an inflection point, that is, a point where the second-order differential value becomes 0, and is closest to the boundary line between the first cladding portion and the second cladding portion in each of the first cladding portion and the second cladding portion. The feature is that the angle formed by two tangent lines at two inflection points is set to be 30 ° or more and 100 ° or less. Here, as is clear from FIG. 3, the angle formed by the tangent lines refers to the complementary angle of the angle formed by the convex portion (shoulder portion) formed by the curve that actually indicates the shape, and the curved line forms the concave portion. Also in the case, the complementary angle of the angle formed by the concave portion is similarly referred to.

【0024】このように、二つの接線がなす角度が30
°以上100°以下となるようにスートを堆積させるこ
とにより、収率を向上させることができ、かつ余剰のス
ートを低減することができる。ここで、30°以上10
0°以下としたのは、30°未満では必要な収率を得る
ことができないからであり、100°を越えるとスート
堆積層が割れたり変形したりすることから製造ができな
くなるためである。
Thus, the angle formed by the two tangents is 30
By depositing soot so as to be not less than 100 ° and not more than 100 °, the yield can be improved and the excess soot can be reduced. Here, 30 ° or more 10
The reason why it is set to 0 ° or less is that the required yield cannot be obtained when the angle is less than 30 °, and when the angle exceeds 100 °, the soot deposition layer is cracked or deformed, so that the production cannot be performed.

【0025】例えば、第1クラッド部堆積用バーナと第
2クラッド部堆積用バーナとを用い、堆積条件を変更す
ることにより第1クラッド部および第2クラッド部の形
状を変化させ、上述した各接線のなす角度を変化させる
実験を行った。この際の角度と第1クラッド部の収率と
を測定した結果を図4に示す。図4から明らかなよう
に、30°未満では収率が50%を割り好ましくなく、
また100°を越えた場合は、割れや変形が起こり光フ
ァイバ用多孔質ガラス母材の製造ができなかった。この
ように本発明においては、二つの接線がなす角が30°
以上100°以下となる形状とすることが好ましい。
For example, by using the first clad part deposition burner and the second clad part deposition burner, the shapes of the first clad part and the second clad part are changed by changing the deposition conditions, and the above-mentioned tangent lines are used. An experiment was conducted to change the angle formed by. FIG. 4 shows the result of measuring the angle and the yield of the first cladding portion at this time. As is clear from FIG. 4, the yield is less than 50% below 30 °, which is not preferable,
On the other hand, when the angle exceeds 100 °, cracking and deformation occur and the porous glass preform for optical fibers cannot be manufactured. As described above, in the present invention, the angle formed by the two tangents is 30 °.
It is preferable that the shape is 100 ° or less.

【0026】なお、第1クラッド部堆積用バーナは上述
したように、第1クラッド部を堆積させる役割と共にコ
ア部の側面を焼き(加熱し)屈折率分布を調整する役割
をも有するものであるが、以下のように第1クラッド部
の形状、すなわち二つの接線のなす角度を変化させつつ
屈折率分布の調整を行うことも可能である。すなわち、
クラッド部の形状は、燃料ガスの流量を主とするガス条
件で決定される。一方、屈折率分布の調整、つまりコア
部の側面の加熱の仕方は、 燃焼ガスの流量、 第1クラッド部堆積用バーナの火炎絞り用カバーの
バーナからの突き出し量、 第1クラッド部堆積用バーナの火炎とコア部との位
置関係、すなわち第1クラッド部堆積用バーナの位置、 の3つのファクターにより決定される。
As described above, the burner for depositing the first cladding portion has the role of depositing the first cladding portion and also the role of burning (heating) the side surface of the core portion to adjust the refractive index distribution. However, it is also possible to adjust the refractive index distribution while changing the shape of the first cladding portion, that is, the angle formed by the two tangent lines, as described below. That is,
The shape of the clad portion is determined by the gas conditions mainly including the flow rate of the fuel gas. On the other hand, the adjustment of the refractive index distribution, that is, the method of heating the side surface of the core part, depends on the flow rate of the combustion gas, the amount of protrusion of the flame throttle cover of the first cladding deposition burner from the burner, and the first cladding deposition burner. The positional relationship between the flame and the core portion, that is, the position of the burner for depositing the first cladding portion, is determined by three factors.

【0027】したがって、ガス条件によりクラッド部の
形状を調整した後、バーナのセッティングにより屈折率
分布の調整を行うようにすることにより、本発明が必要
とする要件を満たした形状を有しつつ、整った屈折率分
布を有する光ファイバ用多孔質ガラス母材を得ることが
できる。このようにすることにより、収率が高く、かつ
気泡等の不具合の少ない光ファイバ用多孔質ガラス母材
であって整った屈折率分布を有する光ファイバ用多孔質
ガラス母材を製造することができる。
Therefore, by adjusting the shape of the cladding portion according to the gas conditions and then adjusting the refractive index distribution by setting the burner, the shape satisfying the requirements of the present invention can be obtained. It is possible to obtain a porous glass preform for optical fibers having a uniform refractive index distribution. By doing so, it is possible to produce a porous glass preform for optical fibers which has a high yield and has few defects such as bubbles and which has an ordered refractive index distribution. it can.

【0028】[0028]

【実施例】次に本発明の実施例と比較例について説明す
る。 (実施例)コア部堆積用バーナに、酸素6.5L/mi
n、水素3.2L/min、アルゴン1.5L/mi
n、四塩化ゲルマニウム11cc/min、四塩化珪素
0.12L/minを流し、第1クラッド部堆積用バー
ナに、酸素13L/min、水素13L/min、アル
ゴン2.0L/min、四塩化珪素0.4L/minを
流し、さらに第2クラッド部堆積用バーナに、酸素23
L/min、水素40L/min、アルゴン6.0L/
min、四塩化珪素1.1L/minを流して、シング
ルモード光ファイバ用の多孔質ガラス母材を製造した。
EXAMPLES Next, examples of the present invention and comparative examples will be described. (Example) Oxygen 6.5 L / mi was added to the burner for core deposition.
n, hydrogen 3.2 L / min, argon 1.5 L / mi
n, germanium tetrachloride 11 cc / min, silicon tetrachloride 0.12 L / min, and oxygen 13 L / min, hydrogen 13 L / min, argon 2.0 L / min, silicon tetrachloride 0 in the burner for depositing the first cladding. Flow rate of 4 L / min, and oxygen of 23 is added to the burner for depositing the second cladding portion.
L / min, hydrogen 40 L / min, argon 6.0 L /
min., 1.1 L / min of silicon tetrachloride was flown to manufacture a porous glass preform for a single mode optical fiber.

【0029】その結果、第1クラッド部の収率が70
%、第2クラッド部の収率が75%であった。10本製
造を行ったところ、壁面に付着した余剰のスートの落下
は見られず、また平均気泡数は0.7個であった。この
ときの第1クラッド部と第2クラッド部の境界に最も近
い変曲点における接線が互いになす角は85°、得られ
た光ファイバ用多孔質ガラス母材の外径は152mmφ
であった。
As a result, the yield of the first cladding is 70.
%, And the yield of the second clad portion was 75%. When 10 pieces were manufactured, no excess soot adhering to the wall surface was observed, and the average number of bubbles was 0.7. At this time, the angle formed by the tangents at the inflection point closest to the boundary between the first cladding portion and the second cladding portion is 85 °, and the outer diameter of the obtained porous glass preform for optical fiber is 152 mmφ.
Met.

【0030】(比較例)コア部堆積用バーナに酸素6.
5L/min、水素3.2L/min、アルゴン1.5
L/min、四塩化ゲルマニウム11cc/min、四
塩化珪素0.12L/minを流し、第1クラッド部堆
積用バーナに、酸素14L/min、水素14.5L/
min、アルゴン2.0L/min、四塩化珪素0.4
L/minを流し、さらに第2クラッド部堆積用バーナ
に、酸素23L/min、水素40L/min、アルゴ
ン6.0L/min、四塩化珪素1.1L/minを流
して、シングルモード光ファイバ用の多孔質ガラス母材
を製造した。
(Comparative Example) Oxygen was added to the burner for core deposition.
5 L / min, hydrogen 3.2 L / min, argon 1.5
L / min, germanium tetrachloride 11 cc / min, and silicon tetrachloride 0.12 L / min were flown, and oxygen 14 L / min and hydrogen 14.5 L / min were supplied to the first cladding deposition burner.
min, argon 2.0 L / min, silicon tetrachloride 0.4
L / min, oxygen 23 L / min, hydrogen 40 L / min, argon 6.0 L / min, and silicon tetrachloride 1.1 L / min were further passed through the second cladding deposition burner for single mode optical fiber. The porous glass base material of was manufactured.

【0031】その結果、第1クラッド部の収率が55
%、第2クラッド部の収率が75%であった。10本製
造を行ったところ、壁面に付着した余剰のスートの落下
は4回発生し、またそのような落下が発生しなかったも
のについての平均気泡数は5.3個であった。このとき
の第1クラッド部と第2クラッド部の境界に最も近い変
曲点における接線が互いになす角は20°、得られた光
ファイバ用多孔質ガラス母材の外径は146mmφであ
った。
As a result, the yield of the first cladding portion is 55.
%, And the yield of the second clad portion was 75%. When 10 pieces were manufactured, the excess soot adhering to the wall surface was dropped four times, and the average number of bubbles in the case where such drop did not occur was 5.3. At this time, the angle formed by the tangents at the inflection point closest to the boundary between the first cladding portion and the second cladding portion was 20 °, and the outer diameter of the obtained porous glass preform for optical fiber was 146 mmφ.

【0032】なお、バーナのセッティングを最適化した
結果、実施例および比較例のいずれにおいてもコア部の
屈折率分布は同様であった。上記実施例および比較例に
おけるスート堆積層先端縦断面の概略形状を図5に示
す。図中(A)が実施例の形状を、図中(B)が比較例
の形状を示す。また(a)はコア部を、(b)は第1ク
ラッド部を、(c)は第2クラッド部をそれぞれ示すも
のである。
As a result of optimizing the setting of the burner, the refractive index distribution of the core portion was the same in both the examples and the comparative examples. FIG. 5 shows a schematic shape of a vertical cross section of the tip of the soot deposition layer in the above-mentioned Examples and Comparative Examples. In the figure, (A) shows the shape of the example, and (B) shows the shape of the comparative example. Further, (a) shows a core portion, (b) shows a first cladding portion, and (c) shows a second cladding portion.

【0033】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の
特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一
な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかな
るものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, has substantially the same configuration as the technical idea described in the scope of the claims of the present invention, and has any similar effect to the present invention. It is included in the technical scope of the invention.

【0034】例えば、上述した実施形態においては、第
1クラッド部および第2クラッド部における先端形状を
用いて説明したが、本発明はこれに限定されるものでは
なく、例えばコア部と第1クラッド部との間の関係、お
よび第1クラッド部よりも外側の隣接する二つのクラッ
ド部間の関係にも本発明は適用される。
For example, in the above-described embodiment, the tip shape of the first clad portion and the second clad portion is used for explanation, but the present invention is not limited to this, and for example, the core portion and the first clad are used. The present invention also applies to the relationship between the two cladding parts and the relationship between two adjacent cladding parts outside the first cladding part.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上のように本発明に係る光ファイバ用
多孔質ガラス母材の製造方法は、複数の原料堆積用バー
ナから原料ガスとともに酸水素炎を吹き付けて出発母材
の軸方向にスートを堆積するようにした光ファイバ用多
孔質ガラス母材の製造方法において、前記複数の原料堆
積用バーナの内の隣接する二つの原料堆積用バーナによ
り堆積するスート堆積層先端の縦断面形状を、二つのス
ート堆積層の境界を挟みかつこの境界に最も近い二つの
変曲点における各接線の互いになす角が30°以上10
0°以下となるようにしたものである。
As described above, according to the method for producing a porous glass preform for optical fibers according to the present invention, an oxyhydrogen flame is blown together with the raw material gas from a plurality of raw material deposition burners soot in the axial direction of the starting preform. In the method for producing a porous glass preform for optical fiber to be deposited, the vertical cross-sectional shape of the soot deposition layer tip deposited by two adjacent raw material deposition burners of the plurality of raw material deposition burners, The angle formed by the tangents at the two inflection points that sandwich the boundary between two soot sedimentary layers and are closest to this boundary is 30 ° or more 10
The angle is set to 0 ° or less.

【0036】本発明は、このように二つのスート堆積層
の境界に最も近い二つの変曲点における各接線の互いに
なす角が30°以上100°以下となるようにスートを
堆積することにより、原料堆積用バーナにより生成した
スートが効率良く光ファイバ用多孔質ガラス母材として
堆積し、チャンバ内に浮遊する余剰のスートを減らすこ
とができ、かつ収率を向上させることができる。
According to the present invention, the soot is deposited such that the angles formed by the respective tangents at the two inflection points closest to the boundary between the two soot deposition layers are 30 ° or more and 100 ° or less. The soot generated by the raw material deposition burner is efficiently deposited as the porous glass preform for optical fibers, the excess soot floating in the chamber can be reduced, and the yield can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】光ファイバ用多孔質ガラス母材の径と気泡数と
の関係を示すグラフである。
FIG. 1 is a graph showing the relationship between the diameter of a porous glass preform for optical fibers and the number of bubbles.

【図2】光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法の一
例を説明する説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating an example of a method for manufacturing a porous glass preform for optical fibers.

【図3】光ファイバ用多孔質ガラス母材の先端の縦断面
形状と2回微分値を示すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing a vertical cross-sectional shape of a tip of a porous glass preform for an optical fiber and a second derivative value.

【図4】第1クラッド部の収率と二つの接線のなす角と
の関係を示すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing the relationship between the yield of the first cladding portion and the angle formed by two tangent lines.

【図5】光ファイバ用多孔質ガラス母材の先端縦断面形
状を示す概略断面図であり、(A)は実施例、(B)は
比較例を示す。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a vertical cross-sectional shape of the tip of a porous glass preform for optical fibers, (A) showing an example and (B) showing a comparative example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 … コア部堆積用バーナ、 2 … 第1クラッド
部堆積用バーナ、3 … 第2クラッド部堆積用バー
ナ、4 … 光ファイバ用多孔質ガラス母材、(a)
… コア部、 (b) … 第1クラッド部、(c)
… 第2クラッド部。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Core part deposition burner, 2 ... 1st clad part deposition burner, 3 ... 2nd clad part deposition burner, 4 ... Optical fiber porous glass base material, (a)
... Core part, (b) ... 1st clad part, (c)
... The second clad portion.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 Fターム(参考) 4G021 EA01 EB14    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Hideo Hirasawa             2-13-1, Isobe, Annaka-shi, Gunma Shin-Etsu             Gaku Kogyo Co., Ltd. Precision Materials Research Laboratory F-term (reference) 4G021 EA01 EB14

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の原料堆積用バーナから原料ガスと
ともに酸水素炎を吹き付けて出発母材の軸方向にスート
を堆積するようにした光ファイバ用多孔質ガラス母材の
製造方法において、前記複数の原料堆積用バーナの内の
隣接する二つの原料堆積用バーナにより堆積するスート
堆積層先端の縦断面形状を、二つのスート堆積層の境界
を挟みかつこの境界に最も近い二つの変曲点における各
接線の互いになす角が30°以上100°以下となるよ
うにすることを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラス母
材の製造方法。
1. A method for producing a porous glass preform for an optical fiber, wherein an oxyhydrogen flame is blown together with a raw material gas from a plurality of raw material deposition burners to deposit soot in the axial direction of the starting preform. Of the two adjacent raw material deposition burners, the vertical cross-sectional shape of the tip of the soot deposited layer at the two inflection points that sandwich the boundary between the two soot deposited layers and are closest to this boundary A method for producing a porous glass preform for an optical fiber, characterized in that an angle between each tangent line is 30 ° or more and 100 ° or less.
【請求項2】 前記二つの原料堆積用バーナが、いずれ
もクラッド部堆積用バーナであることを特徴とする請求
項1記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
2. The method for producing a porous glass preform for an optical fiber according to claim 1, wherein each of the two raw material deposition burners is a cladding portion deposition burner.
【請求項3】 前記二つの原料堆積用バーナの内の一つ
が、コア部に隣接する第1クラッド部を堆積させる第1
クラッド部堆積用バーナであり、他の一つが前記第1ク
ラッド部の外側に隣接する第2クラッド部を堆積させる
第2クラッド部堆積用バーナであることを特徴とする請
求項2記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方
法。
3. One of the two raw material depositing burners comprises a first cladding portion for depositing a first cladding portion adjacent to a core portion.
The optical fiber according to claim 2, wherein the optical fiber is a burner for depositing a cladding portion, and the other one is a burner for depositing a second cladding portion that deposits a second cladding portion adjacent to the outside of the first cladding portion. For manufacturing porous glass preform for use in manufacturing.
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