JPH0986948A - Production of porous glass base material for optical fiber - Google Patents

Production of porous glass base material for optical fiber

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JPH0986948A
JPH0986948A JP26901995A JP26901995A JPH0986948A JP H0986948 A JPH0986948 A JP H0986948A JP 26901995 A JP26901995 A JP 26901995A JP 26901995 A JP26901995 A JP 26901995A JP H0986948 A JPH0986948 A JP H0986948A
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JP
Japan
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burner
clad
glass
ratio
optical fiber
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Manabu Kudo
学 工藤
Koichi Takahashi
浩一 高橋
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Fujikura Ltd
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Fujikura Ltd
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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413Reactant delivery systems
    • C03B37/0142Reactant deposition burners
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/36Fuel or oxidant details, e.g. flow rate, flow rate ratio, fuel additives
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    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/50Multiple burner arrangements
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/70Control measures

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a producing condition stably producing a porous glass base material in a short time at newly starting a VAD(vapor-phase axial deposition) device without cracking a clad layer by specifying a ratio of hydrogen supplying to a burner for cladding to a gas for a raw material of glass. SOLUTION: In a producing device of a porous glass base material for an optical fiber by a VAD method, an H2 /SiCl4 ratio supplying to a burner B2 forming a clad layer 2 is decided to, e.g. 8-10 and the surface maximum temperature of the formed clad layer 2 is adjusted to 650-900 deg.C. An H2 /SiCl4 ratio of a burner B3 forming a clad layer 3 is set to e.g. 1.2-2.0 times of the ratio of H2 /SiCl4 for the clad burner B2 and the surface maximum temperature of the formed clad layer 3 is made to 650-900 deg.C. As a burner 4 forming a clad layer 4 is set to the same condition. Thus, glass fine granules to be a core are accumulated at the top end of a starting material in a rod-like.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、いわゆるVAD
法による光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法に関
するもので、大型母材の作製および新規にVAD装置を
導入した場合の早期立ちあげに好適な方法を提供する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a so-called VAD.
The present invention relates to a method for producing a porous glass preform for an optical fiber by a method, and provides a method suitable for producing a large preform and early starting when a VAD device is newly introduced.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ファイバ用の多孔質ガラス母材の作製
方法としてVAD法は良く知られている。この方法は、
例えば、図1に示すようにコア用バーナB1と複数のク
ラッド用バーナB2、B3、B4を用いて、その軸の周
りに回転、かつ軸方向に移動可能な出発部材Sの先端に
円柱状のコア1とクラッド層(2、3、4)とからなる
2層構造の多孔質の光ファイバ母材10を形成する方法
である。なお、コア用バーナB1には、例えばSiCl
4 とGeCl4 とO2 、H2 が供給されて、火炎加水分
解および熱酸化反応によって生成されたGeO2 −Si
2 ガラス微粒子が出発部材Sの先端に堆積されてコア
1を形成する。また、クラッド用バーナB2、B3、B
4には、例えばSiCl4 とO2 、H2 が供給されて同
様に生成されたSiO2 ガラス微粒子がコア1の周りに
順次クラッド層2、3、4として堆積されるが、各クラ
ッド用バーナB2、B3、B4に供給される各ガス量は
等しくなされている。
2. Description of the Related Art The VAD method is well known as a method for producing a porous glass preform for optical fibers. This method
For example, as shown in FIG. 1, a core burner B1 and a plurality of cladding burners B2, B3, B4 are used, and a cylindrical columnar shape is formed at the tip of a starting member S which is rotatable about its axis and is movable in the axial direction. This is a method of forming a porous optical fiber preform 10 having a two-layer structure composed of a core 1 and clad layers (2, 3, 4). The core burner B1 may have, for example, SiCl
4 and GeCl 4 and O 2, H 2 is supplied, GeO 2 -Si produced by flame hydrolysis and thermal oxidation reactions
O 2 glass fine particles are deposited on the tip of the starting member S to form the core 1. Also, clad burners B2, B3, B
4, for example, SiCl 4 and O 2 and H 2 are supplied to deposit similarly produced SiO 2 glass fine particles as clad layers 2, 3 and 4 around the core 1 in sequence. The respective gas amounts supplied to B2, B3 and B4 are made equal.

【0003】得られた多孔質の光ファイバ母材10は、
塩素系ガスとHe雰囲気で脱水、透明ガラス化されて光
ファイバ母材とされる。このとき、得られた光ファイバ
母材のコアとクラッド径比が所定の値の場合には、その
まま線引きされてファイバ化されるが、コアとクラッド
径比が所定の値に達していない場合、この母材を延伸
し、その外側にSiO2 ガラス微粒子層を堆積させて透
明ガラス化し、この工程をコアとクラッド径比が所定の
値に達するまで繰返して光ファイバ母材とし、線引きし
てファイバとする。
The obtained porous optical fiber preform 10 is
It is dehydrated in a chlorine-based gas and He atmosphere and made into vitrified glass to form an optical fiber preform. At this time, when the core-clad diameter ratio of the obtained optical fiber preform has a predetermined value, the fiber is drawn as it is to be made into a fiber, but when the core-clad diameter ratio does not reach the predetermined value, This preform is stretched, a SiO 2 glass fine particle layer is deposited on the outside thereof to form a transparent glass, and this process is repeated until the core-clad diameter ratio reaches a predetermined value to form an optical fiber preform, which is drawn into a fiber. And

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年の
光通信、マルチメディアの普及に向けた光ファイバの需
要はめざましく、その導入にあたってはさらに一層光フ
ァイバの低コスト化が要求され、それに伴なって光ファ
イバの製造には光ファイバ母材の大型化、高速化が計ら
れ、また、その際、新装置が導入される場合にはその早
期立ちあげが望まれている。上記従来の光ファイバ母材
の作製方法では、複数のバーナを用いており、従来の条
件で大型の多孔質の光ファイバ母材を作製しようとする
と、ときとして母材が割れることがあった。特に、この
現象はクラッド層に生じることが多く、これはバーナ本
数が多いほど各ガラス微粒子層の硬さのバランスをとる
のが難しく割れやすい。多孔質の光ファイバ母材の作製
には長時間かかることから、これが途中で破損したので
は装置の稼働率が著しく低下する。また、VAD装置を
新たに立ちあげるときには、このガラス微粒子層の割れ
が生じないような条件を決定するまでに多大の時間を要
するというのが実状であった。
However, the demand for optical fibers for the spread of optical communication and multimedia in recent years is remarkable, and the introduction of such optical fibers requires further cost reduction of optical fibers. In the manufacture of optical fibers, the size and speed of the optical fiber preform have been increased, and at the time, when new equipment is introduced, it is desired to start it up early. In the above-mentioned conventional method for producing an optical fiber preform, a plurality of burners are used, and when an attempt is made to produce a large-sized porous optical fiber preform under conventional conditions, the preform sometimes breaks. In particular, this phenomenon often occurs in the clad layer, and the greater the number of burners, the more difficult it is to balance the hardness of each glass fine particle layer and the more easily it breaks. Since it takes a long time to manufacture a porous optical fiber preform, if it breaks on the way, the operating rate of the device will significantly decrease. Moreover, when the VAD device is newly started up, it takes a great deal of time to determine the conditions under which the glass fine particle layer is not cracked.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】この発明は、以上の問題
の解決を図ったもので、その特徴とする請求項1記載の
発明は、コア用と複数のクラッド用バーナを用いて、出
発部材の先端にガラス微粒子を積層させてコアとクラッ
ドとからなる多孔質の光ファイバ母材を作製するに際し
て、前記クラッド用バーナに供給する水素とガラス原料
ガスとの比を、クラッドの最内層を形成するバーナから
外側バーナに向かって順次大きくする光ファイバ用多孔
質ガラス母材の製造方法にある。また、その特徴とする
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、
外側クラッドバーナに供給される水素とガラス原料ガス
との比/内側クラッドバーナに供給される水素とガラス
原料との比=1.2〜2.0であることにある。さら
に、その特徴とする請求項3記載の発明は、請求項2記
載の発明において、各クラッド用バーナによって積層さ
れる各ガラス微粒子層の表面最高温度が650〜900
℃であることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is intended to solve the above problems, and the invention according to claim 1 is characterized in that a starting member using a burner for a core and a plurality of burners for a clad is used. When a glass optical particle is laminated at the tip of the to prepare a porous optical fiber preform composed of a core and a clad, the ratio of hydrogen to be supplied to the clad burner and the glass raw material gas is set to the innermost layer of the clad. The method for producing a porous glass preform for optical fibers is sequentially increased from the burner to the outer burner. The invention according to claim 2 is characterized in that in the invention according to claim 1,
The ratio of hydrogen supplied to the outer cladding burner to the glass raw material gas / the ratio of hydrogen supplied to the inner cladding burner to the glass raw material is 1.2 to 2.0. Further, the invention according to claim 3 is characterized in that, in the invention according to claim 2, the maximum surface temperature of each glass particle layer laminated by each cladding burner is 650 to 900.
℃.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】この発明においては、装置の構成
は典型的なVAD装置である図1と同じであるが、クラ
ッド用バーナB2、B3、B4に供給されるガス量に調
整がなされている。すなわち、まずクラッド層2を形成
するバーナB2には、H2 /SiCl4 を例えば、8〜
10に設定し、形成されるクラッド層2の表面最高温度
が650〜900℃になるようにバーナの位置、角度等
を調整する。温度が上記範囲に入らないときはSiCl
4 の供給量を増減させて再調整する。SiCl4 の供給
量を変えずに温度の調整を図るときはH2 とともにO2
の増減を行う。次に、クラッド層3を形成するバーナB
3には、H2 /SiCl4 を例えば、クラッドバーナB
2のH2 /SiCl4 の1.2〜2.0に設定し、同様
に形成されるクラッド層3の表面最高温度が650〜9
00℃になるようにする。そして、クラッド層4を形成
するバーナB4も同様にする。なお、クラッドバーナの
本数は2本以上であり、特に本数は限定されない。
In the present invention, the structure of the apparatus is the same as that of a typical VAD apparatus shown in FIG. 1, but the amount of gas supplied to the cladding burners B2, B3, B4 is adjusted. There is. That is, first, H 2 / SiCl 4 is applied to the burner B2 that forms the cladding layer 2, for example, from 8 to 8
The burner position, angle, etc. are set so that the maximum surface temperature of the clad layer 2 to be formed is 650 to 900 ° C. If the temperature does not fall within the above range, SiCl
Readjust by increasing or decreasing the supply amount of 4 . O 2 with H 2 when without changing the supply amount of SiCl 4 achieving adjustment of temperature
Increase or decrease. Next, the burner B for forming the clad layer 3
3 is H 2 / SiCl 4, for example, clad burner B
2 H 2 / SiCl 4 of 1.2 to 2.0, and the maximum surface temperature of the cladding layer 3 formed in the same manner is 650 to 9
Set to 00 ° C. The same applies to the burner B4 forming the clad layer 4. The number of clad burners is two or more, and the number is not particularly limited.

【0007】このように調整して光ファイバ用多孔質ガ
ラス母材を作製したところ、クラッド層に割れが生じる
ことがなかった。また、H2 /SiCl4 を指定するよ
うにしたので製造条件の絞り込み、例えば、バーナ位
置、バーナ角度などの調整を容易に行うことができた。
2 /SiCl4 をクラッド層の外側にゆくほど大きく
とるのは、外側ほど母材径が太く表面積が大になるため
多くの熱量を必要とするからであり、さらに、その外側
と内側との比を1.2〜2.0の範囲とすることで、各
クラッドガラス微粒子層の硬さのバランスを図ることが
でき割れをほとんどなくすことができる。なお、各クラ
ッド層の表面最高温度を650〜900℃の範囲から外
すと、各層の硬さのバランスや隣の層との硬さのバラン
スが悪いため、ときとして割れが生じることがあり上記
温度範囲での作製が好ましい。
When a porous glass preform for optical fibers was produced by making the above adjustments, cracks did not occur in the cladding layer. Further, since H 2 / SiCl 4 is specified, the manufacturing conditions can be narrowed down and, for example, the burner position, the burner angle and the like can be easily adjusted.
The reason why H 2 / SiCl 4 is made larger toward the outside of the cladding layer is because the base material diameter is larger and the surface area is larger toward the outside, so a large amount of heat is required. By setting the ratio in the range of 1.2 to 2.0, the hardness of each clad glass fine particle layer can be balanced and cracks can be almost eliminated. If the maximum surface temperature of each clad layer is out of the range of 650 to 900 ° C., the hardness of each layer and the hardness of the adjacent layer are not well balanced, and sometimes cracks may occur. Production in the range is preferable.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

実施例1 図1に示す構成でバーナへのガス供給条件を表1のよう
に設定して母材を作製した。得られた光ファイバ用多孔
質ガラス母材は、コア径30mmφ、クラッド径150
mmφ、長さ800mmでクラッド層はどこにも割れは
生じなかった。なお、各クラッド層の表面最高温度は放
射温度計で測定したところ、内側から700、750、
800℃であった。
Example 1 A base material was produced by setting the gas supply conditions to the burner as shown in Table 1 with the configuration shown in FIG. The obtained porous glass preform for optical fibers has a core diameter of 30 mmφ and a cladding diameter of 150.
With a diameter of mmφ and a length of 800 mm, the clad layer did not crack anywhere. In addition, the maximum surface temperature of each clad layer was measured with a radiation thermometer.
It was 800 ° C.

【0009】[0009]

【表1】 [Table 1]

【0010】実施例2 表2の条件で母材を作製した。得られた光ファイバ用多
孔質ガラス母材は、コア径30mmφ、クラッド径17
0mmφ、長さ900mmでクラッド層に割れは生じな
かった。なお、各クラッド層の表面最高温度は放射温度
計で測定したところ、内側から650、690、740
℃であった。
Example 2 A base material was prepared under the conditions shown in Table 2. The obtained porous glass preform for optical fibers had a core diameter of 30 mmφ and a cladding diameter of 17
No crack was generated in the cladding layer at 0 mmφ and a length of 900 mm. The maximum surface temperature of each clad layer was measured with a radiation thermometer and found to be 650, 690, 740 from the inside.
° C.

【0011】[0011]

【表2】 [Table 2]

【0012】実施例3 表3の条件で母材を作製した。得られた光ファイバ用多
孔質ガラス母材は、コア径30mmφ、クラッド径14
0mmφ、長さ800mmでクラッド層に割れは生じな
かった。なお、各クラッド層の表面最高温度は放射温度
計で測定したところ、内側から800、840、880
℃であった。
Example 3 A base material was prepared under the conditions shown in Table 3. The obtained porous glass preform for optical fibers had a core diameter of 30 mmφ and a cladding diameter of 14
No crack was generated in the clad layer at 0 mmφ and a length of 800 mm. The maximum surface temperature of each clad layer was measured with a radiation thermometer, and it was 800, 840, 880 from the inside.
° C.

【0013】[0013]

【表3】 [Table 3]

【0014】比較例1 表4の条件で母材を作製した。母材を長さ400mmま
で作製したところでクラッド3に割れが生じた。各クラ
ッド層の表面最高温度は内側から700、720、62
0℃であった。
Comparative Example 1 A base material was prepared under the conditions shown in Table 4. When the base material was manufactured to a length of 400 mm, the clad 3 cracked. The maximum surface temperature of each clad layer is 700, 720, 62 from the inside.
It was 0 ° C.

【0015】[0015]

【表4】 [Table 4]

【0016】比較例2 表5の条件で母材を作製した。母材を長さ200mmま
で作製したところでクラッド3と4との間で割れが生じ
た。各クラッド層の表面最高温度は内側から700、7
20、620℃であった。
Comparative Example 2 A base material was prepared under the conditions shown in Table 5. When the base material was manufactured to a length of 200 mm, cracks occurred between the clads 3 and 4. The maximum surface temperature of each clad layer is 700, 7 from the inside.
It was 20,620 degreeC.

【0017】[0017]

【表5】 [Table 5]

【0018】[0018]

【発明の効果】この発明の方法は、VAD法で大型のコ
ア/クラッド型の光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造
するに際して、クラッド層を複数のバーナを用い、かつ
クラッド用バーナに供給する水素とガラス原料ガスとの
比を、クラッドの最内層を形成するバーナから外側バー
ナに向かって順次大きくするようにしたので、クラッド
層が割れることなく製造できるという効果を奏する。ま
た、この方法によれば、クラッド層の割れが抑制できる
ので新規にVAD装置を立ちあげる場合に、短時間で安
定した製造条件を見つけることができるという派生した
効果を奏する。
According to the method of the present invention, when a large-sized core / clad type porous glass preform for an optical fiber is manufactured by the VAD method, the clad layer uses a plurality of burners and is supplied to the clad burner. Since the ratio of hydrogen to the glass raw material gas is gradually increased from the burner forming the innermost layer of the clad toward the outer burner, the clad layer can be manufactured without cracking. Further, according to this method, cracking of the cladding layer can be suppressed, so that a stable production condition can be found in a short time when a new VAD device is started up.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は典型的なVAD法概略説明図。FIG. 1 is a schematic explanatory view of a typical VAD method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

B1 コア用バーナ B2、B3、B4 クラッド用バーナ 1 コア 2、3、4 クラッド層 10 光ファイバ用多孔質ガラス母材 B1 burner for core B2, B3, B4 burner for clad 1 core 2, 3, 4 clad layer 10 porous glass preform for optical fiber

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 コア用と複数のクラッド用バーナを用い
て、出発部材の先端にガラス微粒子を積層させてコアと
クラッドとからなる多孔質の光ファイバ母材を作製する
に際して、前記クラッド用バーナに供給する水素とガラ
ス原料ガスとの比を、クラッドの最内層を形成するバー
ナから外側バーナに向かって順次大きくすることを特徴
とする光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
1. A clad burner for producing a porous optical fiber preform composed of a core and a clad by laminating glass particles on the tip of a starting member using a core burner and a plurality of clad burners. A method for producing a porous glass preform for optical fibers, characterized in that the ratio of hydrogen to glass raw material gas supplied to the glass is gradually increased from the burner forming the innermost layer of the clad toward the outer burner.
【請求項2】 外側クラッドバーナに供給される水素と
ガラス原料ガスとの比/内側クラッドバーナに供給され
る水素とガラス原料ガスとの比=1.2〜2.0である
ことを特徴とする請求項1記載の光ファイバ用多孔質ガ
ラス母材の製造方法。
2. The ratio of hydrogen to the glass raw material gas supplied to the outer cladding burner / the ratio of hydrogen to the glass raw material gas supplied to the inner cladding burner = 1.2 to 2.0. The method for producing a porous glass preform for an optical fiber according to claim 1.
【請求項3】 各クラッド用バーナによって積層される
各ガラス微粒子層の表面最高温度が650〜900℃で
あることを特徴とする請求項2記載の光ファイバ用多孔
質ガラス母材の製造方法。
3. The method for producing a porous glass preform for an optical fiber according to claim 2, wherein the maximum surface temperature of each glass fine particle layer laminated by each clad burner is 650 to 900 ° C.
JP26901995A 1995-09-25 1995-09-25 Production of porous glass base material for optical fiber Pending JPH0986948A (en)

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