JP2000042918A - 研削装置及び研削方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 工具の摩耗や加工機の位置誤差などに左右さ
れることなく、被加工物を精度良く加工する。 【解決手段】 金属材料を含む工具１と研削される被加
工物２を挟むと共に工具１と対向した位置に渦電流式変
位センサー４を配置する。センサー４が工具１の加工先
端部の距離変位を測定し、この測定値に基づいて制御装
置１２が工具１を制御することにより、高精度に研削す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス、セラミッ
クス、プラスチック等の非金属材料を研削加工により所
望の形状に創成する研削装置及び研削方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】中心厚、外形、平面度、曲率などの被加
工物の形状情報は加工後に適宜の測定機を用いることに
より得ている。例えば、中心厚や外径についてはリニア
スケール等の測長計を用いており、平面度や曲率につい
ては球面計等を用いている。また、これらの測定機を加
工装置に搭載することにより、測定された形状情報を加
工装置にフィードバックする装置や加工方法も多く用い
られている。

【０００３】図６は特開平７−６０６４２号公報に記載
された加工装置であり、渦電流式変位センサーが組み込
まれている。この加工装置は、電解ドレッシング加工を
行うものであり、被加工物１２０がトランスデューサな
どの変換器１６０に搭載されている。又、回転する工具
１１０により被加工物１２０を加工する際に、工具１１
０と対向する位置に渦電流式変位センサー１３０を配置
し、工具１１０と渦電流式変位センサー１３０間の距離
を測定することにより工具摩耗量の情報を得る。そし
て、その摩耗量に従って制御機構１５０が電解ドレッシ
ング用の電極１４０と工具１１０との距離を制御してい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】加工後に被加工物を測
定する方法では、測定した形状情報を加工にフィードバ
ックしても、この形状情報が次段の被加工物に適用され
るだけであると共に、所望の形状が得られなかった場合
には、次段の被加工物が不良となる。又、加工中に工具
の摩耗がある場合、測定した形状情報を次段の被加工物
の加工にフィードバックしても、工具の摩耗の影響で所
望の形状を得ることができない。さらに、加工→測定→
フィードバック→加工を繰り返し行うため、１サイクル
の加工時間が長くなる問題を有している。

【０００５】一方、図６に示すように、渦電流式変位セ
ンサー１３０を工具と対向させた装置は、工具１１０の
摩耗量を測定することができるため、工具摩耗に伴う形
状の変化に対しては摩耗量をフィードバックすることに
より防止できる。しかしながら、形状の変化は工具の摩
耗のみに起因するものではなく、加工機の位置制御誤差
や、工具を保持する工具軸１１０ａの熱による収縮、膨
張などによっても発生するため、工具１１０の摩耗のみ
測定しても、他の形状変化要因を取り除くことはできな
い。

【０００６】本発明は以上のような問題点を考慮してな
されたものであり、工具摩耗や加工機の位置制御誤差等
に起因する形状変化要因の影響を受けずに加工すること
により精度を向上させることができ、しかも被加工物の
形状を加工中に確認することにより加工サイクルタイム
の短縮を可能とした研削装置及び研削方法を提供するこ
とを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明の研削装置は、金属材料を含む工具
と、研削される被加工物を挟んで前記工具と対向した位
置に配置された渦電流式変位センサーとを具備している
ことを特徴とする。

【０００８】この発明では、予め所望の形状が得られる
工具位置を設定し、研削する工具と被加工物を挟んで対
向する位置に配置された渦電流式変位センサーにより工
具の加工先端部を検出し、工具の加工先端部が所望の工
具位置まで達したとき、研削加工を停止させる。

【０００９】渦電流式変位センサーは金属を含む物体の
位置変位を正確に検出することができるところから金属
を含む工具の加工先端部を正確に検出できる。従って、
工具の加工先端部を正確に検出し、所望の工具位置で研
削加工を停止することにより工具の摩耗のみならず、工
具が組み込まれる加工機の位置制御の誤差や、工具を保
持する軸の熱による収縮または膨張による影響を受ける
ことなく、被加工物の形状変化を防止でき、正確な形状
を得ることができる。

【００１０】請求項２の発明の研削装置は、金属材料を
含む工具と、研削される被加工物を挟んで前記工具と対
向した位置に配置された渦電流式変位センサーと、工具
と被加工物との界面に砥粒を含む加工液を供給するノズ
ルとを具備していることを特徴とする。

【００１１】この発明では、請求項１と同様に作用する
のに加えて、研削時に工具と被加工物との界面に砥粒を
含んだ加工液を供給するため、効率の良い研削を行うこ
とができる。

【００１２】請求項３の発明の研削方法は、金属材料を
含む工具と研削される被加工物を挟むと共に前記工具と
対向した位置に渦電流式変位センサーを配置し、前記セ
ンサーによりセンサーと工具の加工先端部の距離変位を
測定しながら工具によって被加工物を研削することを特
徴とする。

【００１３】この発明では、工具先端部の位置変位を渦
電流式変位センサーによって測定しながら研削加工を行
うので、従来のように、加工後に被加工物を測定して測
定結果をフィードバックする必要がなくなると共に、不
良物の発生がなく、１サイクルの時間を短縮できる。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態１の研
削装置を示す。この研削装置は平板状の被加工物２を平
面研削するものであり、工具側とワーク側とを備えてい
る。

【００１５】工具側は、ブロンズ系メタルボンドダイヤ
モンド工具１と、この工具１を回転させるモータ１１と
を備えている。メタルボンドダイヤモンド工具は（銅と
錫を主成分としたブロンズ）からなる金属粉末とダイヤ
モンド粉末とをボンドによって結着したものであり、加
工面側がカップ状に形成されている。又、モータ１１は
ガイド部材１３に取り付けられることにより、上下方向
に駆動される。ガイド部材１３はモータ１１が取り付け
られて上下動するスライダ部１３ａと、このスライダ部
１３ａの上下動を案内するガイド部１３ｂとからなり、
スライダ部１３ａは制御装置１２によって上下方向に位
置決めされる。

【００１６】ワーク側は被加工物２が上面に接着された
テーブル３と、テーブル３が載置されると共にテーブル
３の水平方向の往復移動を案内するガイド板１４とを備
えている。テーブル３の水平方向移動はガイド板１４に
設けられた往復動機構（図示省略）によって行われる。
このテーブル３上面における被加工物２に臨む部分には
凹み部３ａが形成されており、この凹み部３ａ内に渦電
流式変位センサー４が設置されている。

【００１７】渦電流式変位センサー４はテーブル３の上
面よりも沈んだ状態となっており、そのセンサー面４ａ
を上方に向けた状態で凹み部３ａ内に設置されており、
これにより被加工物２を挟んだ位置でメタルボンドダイ
ヤモンド工具１と対向している。かかる渦電流式変位セ
ンサー４はメタルボンドダイヤモンド工具１の上下方向
の位置を測定し、その測定値を制御装置１２に出力す
る。これにより制御装置１２はガイド部材１３に制御信
号を送出してメタルボンドダイヤモンド工具１の上下方
向の位置を制御する。この実施の形態において、渦電流
式変位センサー４としては、商品名「ＥＸ−５００シリ
ーズ」（（株）キーエンス製）のセンサーを使用してい
る。又、平板状の被加工物２としては、非金属材料とし
ての脆性材料であるセラミックス板を用いている。

【００１８】さらに、この実施の形態では、メタルボン
ドダイヤモンド工具１とセラミックス板２との界面に砥
粒を含む加工液を供給するノズル５が配置されている。

【００１９】この実施の形態の加工は、テーブル３がガ
イド板１４に沿って往復移動している状態で、モータ１
１により回転駆動されているメタルボンドダイヤモンド
工具１が下方に切り込むことにより行われる。このメタ
ルボンドダイヤモンド工具１の切り込みは制御装置１２
の制御によって行われる。又、加工時には、メタルボン
ドダイヤモンド工具１と被加工物２との界面に砥粒を含
む加工液としての研削液がノズル５から供給される。

【００２０】加工前の条件設定として、被加工物２を所
望の厚さまで加工したときのメタルボンドダイヤモンド
工具１の工具先端部の位置を明らかにし、その位置に工
具１を配置させたときの渦電流式変位センサー４の測定
値を求めておく。従って、渦電流式変位センサー４の測
定値によって制御装置１２がメタルボンドダイヤモンド
工具１の位置を位置決めするため、加工が進行して変位
測定値があらかじめ測定されている値と合致た時点で工
具１の下方への移動が停止する。

【００２１】この実施の形態によれば、工具１の先端部
位置を渦電流式変位センサー４によって測定しながら加
工が行われ、被加工物２を所望の厚みに加工できる位置
に工具１の先端部が配置されたときに工具１の切り込み
が停止してゼロ切削状態となる。

【００２２】このように、被加工物２の厚み寸法を支配
する工具先端部の位置をモニターしながら加工を行うた
め、工具１の摩耗や加工設備の熱膨張・収縮の影響を受
けずに常に一定の厚み寸法に加工することができる。ま
た、加工終了後に被加工物の厚み寸法を測定し、加工設
備に測定値をフィードバックさせる必要がないため、測
定時間の短縮や加工の手間の軽減できる。

【００２３】又、研削にあっては、ノズル５から砥粒を
含んだ加工液を供給するため、研削効率が向上し、迅速
に研削加工することができる。

【００２４】（実施の形態２）図２は実施の形態２の研
削装置を示す。この研削装置は被加工物２７の外径研削
加工を行うものである。

【００２５】この実施の形態の工具側は、電着ダイヤモ
ンド工具２２と、この工具２２を回転駆動させるモータ
２１と、モータ２１を上下動させるガイド部材２３とを
有している。電着ダイヤモンド工具２２は（精密加工さ
れた鋼材）などの金属からなる円盤基板２２ａの外径部
分に砥粒層２２ｂが電着されている。この電着ダイヤモ
ンド工具２２は工具回転軸２２Ｓを中心に回転する。ガ
イド部材２３はスライダ部２３ａがガイド部２３ｂに上
下動自在に取り付けられることにより構成されている。
そして、スライダ部２３ａにモータ２１が取り付けられ
ることにより、電着ダイヤモンド工具２２が工具回転軸
２２Ｓと直交する上下方向に移動する。この移動の位置
決めは、ガイド部材２３に対して制御装置２４から指令
信号が出力されることにより行われる。

【００２６】ワーク側はワーク用モータ２５と、このモ
ータ２５によって回転するスピンドル２６と、スピンド
ル２６の先端に取り付けられた被加工物２７とを有して
いる。被加工物２７はスピンドル２６の先端に取り付け
られた円筒状の貼付ヤトイ２８に接着剤を介して貼り付
けられている。この被加工物２７は非金属材料としての
脆性材料であるガラス板が用いられている。

【００２７】又、ワーク用モータ２５はワーク側ガイド
部材２９に取り付けられている。ワーク側ガイド部材２
９はワーク用モータ２５が取り付けられるスライダ部２
９ａと、このスライダ部２９ａの水平方向の移動を案内
するガイド部２９ｂとを備えており、スライド部２９ａ
が水平方向に移動することにより、ワーク用モータ２
５、スピンドル２６、被加工物２７がワーク回転軸２７
Ｓに沿って往復移動する。

【００２８】さらに、被加工物２７を挟んだ電着ダイヤ
モンド工具２２の外径面との対向位置には、渦電流式変
位センサー３０が配置されている。渦電流式変位センサ
ー３０はそのセンサー面３０ａが電着ダイヤモンド工具
２２の外径面と対向している。この渦電流式変位センサ
ー３０は電着ダイヤモンド工具２２の外周面の位置を測
定し、その測定値を制御装置２４に送出する。

【００２９】なお、被加工物２７と電着ダイヤモンド工
具２２との界面に対しては、研削液がノズル５から供給
される。

【００３０】この実施の形態による加工は、貼付ヤトイ
２８に固定された被加工物２７がスビンドル２８を介し
てワーク用モータ２５によって回転しながらワーク側ガ
イド部材２９に沿って移動している状態において、モー
タ２１の駆動によって回転している電着ダイヤモンド工
具２２が制御装置２４の指令によりガイド部材２３に沿
ってワーク回転軸２７Ｓ方向に切り込むことによって行
われる。この加工時には、電着ダイヤモンド工具２２と
被加工物２７との界面に対してノズル５により研削液が
供給される。

【００３１】加工前の条件設定として、被加工物２７を
所望の外径まで加工したときの電着ダイヤモンド工具２
２の工具外周面の位置を明らかにし、その位置に電着ダ
イヤモンド工具２２を配置させたときの渦電流式変位セ
ンサー３０の測定値を求めておく。そして、渦電流変位
センサー３０の測定によって、制御装置２４が電着ダイ
ヤモンド工具２２の位置を位置決めするため、加工が進
行して変位測定値があらかじめ測定されている測定値と
合致すると、電着ダイヤモンド工具２２の切り込みが停
止する。

【００３２】この実施の形態によれば、工具２２の外周
面位置を渦電流式変位センサー３０で感知しながら加工
が行われ、被加工物２７を所望の外径寸法に加工できる
位置に工具２２の外周面が配置されたときに工具２２の
切り込みが停止してゼロ切削状態となる。このように被
加工物２７の外径寸法を支配する工具外周面位置をモニ
ターしながら加工を行うため、工具２２の摩耗や加工設
備の熱膨張、収縮の影響を受けずに常に一定の外径寸法
に加工することができる。また、加工終了後に外径寸法
を測定し、加工設備に測定値をフィードバックさせる必
要がないため、測定時間の短縮や加工の手間を軽減でき
る。

【００３３】（実施の形態３）図３は実施の形態３の研
削装置を示す。この実施の形態では、被加工物３２に球
面を創成するものである。

【００３４】工具側はレジンボンドダイヤモンド工具３
１と、この工具３１が先端部に螺合することにより取り
付けられたスピンドル３３と、スピンドル３２と共に工
具３１を回転させるモータ３４とを備えている。レジン
ボンドダイヤモンド工具３１は（銅）などの金属粉末及
びダイヤモンド砥粒をボンドによって結着することによ
り加工面側がカップ型に成形されている。又、レジンボ
ンドダイヤモンド工具３１は旋回中心３１Ａを支点とし
て矢印方向に旋回可能となっている。この工具側の部材
は工具回転軸３１Ｓと直交する矢印Ｙの方向に一体的に
移動することができる。

【００３５】ワーク側はワーク用モータ３５と、このモ
ータ３５により取り付けられて回転するスピンドル３６
と、スピンドル３６の先端に取り付けられたチャック３
７とを有している。チャック３７は挟持片３７ａを有
し、この挟持片３７ａによって被加工物３２が挟持され
ている。被加工物３２は非金属材料としての脆性材料で
あるガラスレンズが用いられている。又、ワーク回転軸
３２Ｓは工具回転軸３１Ｓと同一平面上に配置される。

【００３６】この実施の形態において、スピンドル３６
はガイド部材３８によってワーク回転軸３２Ｓの方向に
移動可能となっている。この移動を行うため、ガイド部
材３８は直線方向に移動してスピンドル３６を移動させ
るスライダ部３８ａと、このスライダ部３８ａの移動を
案内するガイド部３８ｂとを備えている。かかるガイド
部材３８は制御装置４１の制御によって、その位置決め
が行われる。

【００３７】チャック３７の内部には、センサー面３９
ａを被加工物３２の方向に向けると共に、レジンボンド
ダイヤモンド工具３１に対向する位置に渦電流式変位セ
ンサー３９が配置される。渦電流式変位センサー３９は
チャック３７内部のばね４０によって被加工物３２の方
向に付勢されており、そのセンサー面３９ａが被加工物
３２の非加工面に密着している。又、渦電流式変位セン
サー３９はワーク回転軸３２Ｓとセンサー面３９ａの中
心軸が合致するように配置されている。この渦電流式変
位センサー３９は制御装置４１と接続されており、その
測定値を制御装置４１に出力する。これにより制御装置
４１はガイド部材３８を制御してガイド部材３８を介し
て被加工物３２の位置を制御する。

【００３８】この実施の形態による加工は、レジンボン
ドダイヤモンド工具３１が旋回方向及び回転軸３１Ｓと
の直交方向に位置決めされた状態でモータ３４により回
転駆動している状態において、チャック３７に保持され
た被加工物３２がワーク用モータ３５により回転駆動し
ながら、制御装置４１の指令によりガイド部材３８に沿
ってワーク回転軸３２Ｓ方向に切り込むことによって行
われる。この加工時には、レジンボンドダイヤモンド工
具３１と被加工物３２との界面に対し、ノズル５により
研削液が供給される。

【００３９】加工前の条件設定として、被加工物３２を
所望の中心厚に加工したときのレジンボンドダイヤモン
ド工具３１の先端部に対するチャック３７の位置を明ら
かにし、その位置にチャック３７を配置させたときの渦
電流式変位センサー３９の測定値を求めておく。従って
渦電流式変位センサー３９の測定値によって、制御装置
４１が被加工物３２の位置を位置決めするため、加工が
進行して変位測定値があらかじめ測定されている値と合
致すると、被加工物３２の工具３１方向への切り込みが
停止する。

【００４０】この実施の形態によれば、工具３１の先端
部位置を渦電流式変位センサー３９で感知しながら加工
が行われ、被加工物３２を所望の中心厚に加工できる位
置に工具先端部が配置されたときに被加工物３２の切り
込みが停止してゼロ切削状態となる。このように被加工
物３２の中心厚寸法を支配する工具先端部位置をモニタ
ーしながら加工を行うため、工具の摩耗や加工設備の熱
膨張・収縮の影響を受けずに常に一定の中心厚寸法に加
工することができる。

【００４１】また、渦電流式変位センサー３９のセンサ
ー面３９ａが被加工物３２の非加工面と密着しているた
め、被加工物の保持時に回転軸方向のズレを生じてもス
パークアウト時における被加工物３２の非加工面と工具
先端部の距離を一定に保つことができ、これにより中心
厚に狂いは生じない。さらに、加工終了後に中心厚寸法
を測定し、加工にフィードバックさせる必要がないた
め、測定時間の短縮や加工の手間の軽減が可能となる。

【００４２】（実施の形態４）図４は実施の形態４の研
削装置であり、被加工物５２を球面研削及び研磨加工す
るために用いられる。

【００４３】工具側は球面形状に形成されたメタルボン
ドダイヤモンド砥石５１と、この砥石５１を回転させる
モータ５３と、砥石５１の球面部の曲率中心を揺動中心
として砥石５１及びモータ５３を揺動させる揺動機構
（図示省略）とを有している。モータ５３及び揺動機構
は制御装置５４に接続されることにより、その位置が制
御される。

【００４４】ワーク側は被加工物５２をメタルボンドダ
イヤモンド砥石５１に向けて保持するホルダ５５と、こ
のホルダ５５の軸部５５ａが挿通されることにより、ホ
ルダ５５を回転自在に保持するベアリング５６と、軸部
５５ａを介してホルダ５５に対して荷重を与えるシリン
ダ５７とを備えている。

【００４５】ホルダ５５は砥石５１に向けた開放部を有
したカップ状となっており、このホルダ５５の開放部に
被加工物５２が保持される。被加工物は、脆性材料であ
るガラスレンズが使用されている。

【００４６】ホルダ５５には渦電流式変位センサー５８
が取り付けられている。渦電流式変位センサー５８は、
そのセンサー面５８ａが被加工物５２の裏面に対向する
ようにホルダ５５の略中央部分に取り付けられている。
これにより渦電流式変位センサー５８は被加工物５２を
挟んでメタルボンドダイヤモンド砥石５１と対向してい
る。この渦電流式変位センサー５８は制御装置５４と接
続されており、その測定値を制御装置５４に送出する。
これにより制御装置５４はモータ５３の回転及び揺動機
構の揺動を制御する。

【００４７】この実施の形態による加工は、ホルダー５
５に被加工物５２を保持させた状態でシリンダー５７に
より被加工物５２に下方向への荷重を与えて被加工物５
２の加工面をメタルボンドダイヤモンド砥石５１に当接
させる。この状態で、モータ５３によりメタルボンドダ
イヤモンド砥石５１を回転させながら図示せぬ揺動機構
により揺動を与えることにより加工が開始される。

【００４８】この加工時には、メタルボンドダイヤモン
ド工具５１と被加工物５２との界面に対してノズル５よ
り研削液が供給される。

【００４９】加工前の条件設定として、被加工物５２を
所望の中心厚まで加工したときの工具５１の位置を明ら
かにし、その位置に工具５１を配置したときの渦電流式
変位センサー５８の測定値を求めておく。渦電流式変位
センサー５８の測定値によって制御装置５４がモーター
５３および揺動機構の動作を制御するため、加工が進行
して変位測定値があらかじめ測定されている値と合致す
ると、モーター５３の回転および揺動機構の動作が停止
する。

【００５０】この実施の形態によれば、渦電流式変位セ
ンサー５８で感知しながら加工が行われ、被加工物５２
を所望の中心厚に加工できる位置に工具５１表面が配置
されたときに加工が停止する。通常の加工では加工時間
を一定として加工を行い、工具５１や被加工物５２の表
面状態によって発生する取り代のバラツキに起因した中
心厚のバラツキ発生がある。これに対し、この実施の形
態では加工時間に関わらず、被加工物５２の中心厚が所
望の寸法になった時点で加工が終了するため、中心厚を
常に一定に保つことができる。さらに、加工終了後に中
心厚寸法を測定し、加工設備に測定値をフィードバック
させて加工時間・荷重・工具回転数等の条件を変更させ
る必要がないため、測定時間の短縮や加工の手間の軽減
ができる。

【００５１】（実施の形態５）図５は実施の形態５を示
し、超音波によって被加工物６２を研削するものであ
る。

【００５２】工具側は、超音波発振器６３により発振す
る振動子６５と、振動子６５に固着されるコーン６６及
びホーン６７と、ホーン６７に取り付けられる鉄製の円
柱状の加工工具６１とからなる。超音波発振器６３によ
る高い周波数によって励振された振動子６５の振動は、
コーン６６とホーン６７により増幅されて加工工具６１
に伝えられる。超音波発振器６３は制御装置６４と接続
され、周波数発振の制御が行われる。

【００５３】ワーク側は、被加工物６２が載置されるテ
ーブル６８と、テーブル６８を加工工具６１の方向に付
勢して荷重を与えるシリンダ６９とを有している。テー
ブル６８の略中央部分には凹み部６８ａが形成され、こ
の凹み部６８ａ内に渦電流式変位センサー７０が配置さ
れている。

【００５４】この渦電流式変位センサー７０は被加工物
６２を挟んだ位置で加工工具６１と対向している。又、
渦電流式変位センサー７０は制御装置６４と接続され、
その測定値を制御装置６４に送出する。これにより制御
装置６４は、超音波発振器６３の発振を制御する。な
お、被加工物６２は非金属材料としての脆性材料である
セラミック板が使用されている。

【００５５】この実施の形態による加工は、加工工具６
１と被加工物６２をシリンダ６９によって荷重を加えて
当接させ、その界面にノズル５から加工液を供給する。
加工液に含まれる砥粒としては研磨砂が使用されてい
る。研磨砂を含む加工液では、加工工具１が超音波振動
することにより削り加工を行うことができ、これにより
一種の研削加工となる。この加工により、円柱形状の座
グリが創成される。なお、テーブル２６を上方に持ち上
げる付勢手段は、シリンダー２７に限らず、たとえばバ
ネなどの弾性手段で常に上方に付勢するようにしても良
い。

【００５６】加工前の条件設定として、被加工物６２に
所望の板厚を残した座グリが創成されたときの加工工具
６１先端面の位置を明らかにし、その位置に加工工具６
１の先端面を配置したときの渦電流式変位センサー７０
の測定値を求めておく。従って、渦電流式変位センサー
７０の測定値によって超音波発振器６３の発振が制御装
置６４により制御されるため、加工が進行して変位測定
値があらかじめ測定されている値と合致すると、超音波
発振器６３の発振が停止して加工が終了するようになっ
ている。

【００５７】この実施の形態によれば、工具６１の先端
面位置を渦電流式変位センサー７０で感知しながら加工
が行われ、被加工物６２に所望の厚み寸法を残した座グ
リが加工できる位置に工具先端面が配置されたときに加
工が停止する。このように、寸法を支配するテーブル６
８に対する工具先端間の距離をモニターしながら加工を
行うため、工具の磨耗や加工設備の熱膨張・収縮の影響
を受けずに常に一定の寸法の座グリを創成することがで
きる。また、加工終了後に寸法を測定し、加工設備に測
定値をフィードバックさせる必要がないため、測定時間
の短縮・手間の軽減を実現できる。

【００５８】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、予め所望の形状が得られる工具位置を設定し、
研削する工具と被加工物を挟んで対向する位置に配置さ
れた渦電流式変位センサーにより工具の加工先端部を検
出し、工具の加工先端部が所望の工具位置まで達したと
き、研削加工を停止させるため、工具の摩耗のみなら
ず、工具が組み込まれる加工機の位置制御の誤差や、工
具を保持する軸の熱による収縮または膨張による影響を
受けることなく、被加工物の形状変化を防止でき、正確
な形状を得ることができる。

【００５９】請求項２の発明によれば、研削時に工具と
被加工物との界面に砥粒を含んだ加工液を供給するた
め、研削を推進することができる。

【００６０】請求項３の発明によれば、工具先端部の位
置変位を渦電流式変位センサーによって測定しながら研
削加工を行うので、加工後に被加工物を測定して測定結
果をフィードバックする必要がなくなると共に、不良物
の発生がなく、１サイクルの時間を短縮できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１の研削装置の断面図であ
る。

【図２】本発明の実施の形態２の研削装置の断面図であ
る。

【図３】本発明の実施の形態３の研削装置の断面図であ
る。

【図４】本発明の実施の形態４の研削装置の断面図であ
る。

【図５】本発明の実施の形態５の研削装置の断面図であ
る。

【図６】従来の研削装置の断面図である。

【符号の説明】

１ ２１ ３１ ５１ ６１ 工具 ２ ２７ ３２ ５２ ６２ 被加工物 ４ ３０ ３７ ５８ ７０ 渦電流式変位センサー

【手続補正書】

【提出日】平成１０年７月２９日（１９９８．７．２
９）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１５】工具側は、ブロンズ系メタルボンドダイヤ
モンド工具１と、この工具１を回転させるモータ１１と
を備えている。メタルボンドダイヤモンド工具は、銅と
錫を主成分としたブロンズからなる金属粉末とダイヤモ
ンド粉末とをボンドによって結着したものであり、加工
面側がカップ状に形成されている。又、モータ１１はガ
イド部材１３に取り付けられることにより、上下方向に
駆動される。ガイド部材１３はモータ１１が取り付けら
れて上下動するスライダ部１３ａと、このスライダ部１
３ａの上下動を案内するガイド部１３ｂとからなり、ス
ライダ部１３ａは制御装置１２によって上下方向に位置
決めされる。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２５】この実施の形態の工具側は、電着ダイヤモ
ンド工具２２と、この工具２２を回転駆動させるモータ
２１と、モータ２１を上下動させるガイド部材２３とを
有している。電着ダイヤモンド工具２２は、精密加工さ
れた鋼材などの金属からなる円盤基板２２ａの外径部分
に砥粒層２２ｂが電着されている。この電着ダイヤモン
ド工具２２は工具回転軸２２Ｓを中心に回転する。ガイ
ド部材２３はスライダ部２３ａがガイド部２３ｂに上下
動自在に取り付けられることにより構成されている。そ
して、スライダ部２３ａにモータ２１が取り付けられる
ことにより、電着ダイヤモンド工具２２が工具回転軸２
２Ｓと直交する上下方向に移動する。この移動の位置決
めは、ガイド部材２３に対して制御装置２４から指令信
号が出力されることにより行われる。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３４】工具側はレジンボンドダイヤモンド工具３
１と、この工具３１が先端部に螺合することにより取り
付けられたスピンドル３３と、スピンドル３２と共に工
具３１を回転させるモータ３４とを備えている。レジン
ボンドダイヤモンド工具３１は、銅などの金属粉末及び
ダイヤモンド砥粒をボンドによって結着することにより
加工面側がカップ型に成形されている。又、レジンボン
ドダイヤモンド工具３１は旋回中心３１Ａを支点として
矢印方向に旋回可能となっている。この工具側の部材は
工具回転軸３１Ｓと直交する矢印Ｙの方向に一体的に移
動することができる。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属材料を含む工具と、研削される被加
   工物を挟んで前記工具と対向した位置に配置された渦電
   流式変位センサーとを具備していることを特徴とする研
   削装置。
2. 【請求項２】 金属材料を含む工具と、研削される被加
   工物を挟んで前記工具と対向した位置に配置された渦電
   流式変位センサーと、工具と被加工物との界面に砥粒を
   含む加工液を供給するノズルとを具備していることを特
   徴とする研削装置。
3. 【請求項３】 金属材料を含む工具と研削される被加工
   物を挟むと共に前記工具と対向した位置に渦電流式変位
   センサーを配置し、前記センサーによりセンサーと工具
   の加工先端部の距離変位を測定しながら工具によって被
   加工物を研削することを特徴とする研削方法。