JP2000035309A - 光波干渉計における寸法測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ２種の波長により２分の１波長以上の寸法測
定を行う光波干渉計において、簡易な方法で２種の波長
による測定結果が一致する干渉次数を求める。 【解決手段】 ２種の波長により干渉縞端数（Ｓ１０
４，Ｓ１１０）と、±７次以内の寸法を算出する（Ｓ１
０８，Ｓ１１４）。一方の波長により算出された寸法
と、この寸法に最も近い他方の波長により算出された寸
法との組を作る（Ｓ１１６）。この組の差の絶対値を求
め（Ｓ１１８）、さらに干渉次数に対する前記差の絶対
値の関数の極小値を求め（Ｓ１２６）、この極小値を合
致次数として、寸法を決定する（Ｓ１３２）。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光波干渉計を用い
た寸法測定に関し、特に複数の波長に基づき干渉次数を
算出する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ブロックゲージは、様々な測定機器の校
正にも使用されており、それ自体の寸法精度は、非常に
高いものを要求される。現実には、ブロックゲージの寸
法をその呼び寸法どおりに作成するのは困難なため、現
実のブロックゲージの寸法と呼び寸法との差である中央
寸法誤差を測定し、この中央寸法誤差をブロックゲージ
ごとに前記呼び寸法と合わせて表記し、そのゲージの寸
法を示している。なお、中央寸法誤差の「中央」とは、
ブロックゲージ測定面の中央の寸法誤差であることを示
すものである。

【０００３】中央寸法誤差の測定方法の一つとして、中
央寸法誤差が既知である基準ブロックゲージと、測定対
象物（この場合はブロックゲージ）との差を光の干渉縞
から求める方法が知られている。この方法においては、
基準ブロックゲージからの反射波と、測定対象ブロック
ゲージからの反射波により干渉縞を形成し、この干渉縞
を目盛りとして利用して測定を行う。この目盛りは、一
様に繰り返されるのみであるから、ある干渉縞（目盛
り）が何番目の目盛りかは、このままでは判断できな
い。すなわち、干渉縞の間隔は光の波長の半分に相当す
るから、原理的には、光の波長の半分以内の測定しか行
うことができない。光の波長は非常に短く、このままで
は測定可能範囲が狭いので、これ以上の長さを測定する
場合には、あらかじめ他の方法により２分の１波長以下
の精度で、予備測定を行っておく。予備測定により得ら
れた値を２分の１波長の長さで除算したときの商が、前
記干渉縞（目盛り）の数を表すことになる。この商は、
干渉次数と呼ばれている。この干渉次数と、光波干渉測
定による１目盛り以下の寸法値を加算すれば、長い寸法
を精密に測定することができる。

【０００４】しかし、前述の方法において、予備測定に
要求される精度は、２分の１波長以下という厳しいもの
であり、また温度など環境条件にも左右されるので、目
盛りの数え違い、すなわち干渉次数が誤って算出される
場合があった。そこで、前記の測定を複数の波長の光ご
とに行い、各波長に基づき測定、算出された中央寸法誤
差が等しくなる値を真の測定値とする方法が知られてい
る。真の中央寸法誤差は一つしか存在しないはずであ
り、それは波長に依存することはない、というのが前述
の方法の基本的な考え方である。このようにすれば、波
長を選択することによって、予備測定に要求される精度
は波長の数倍程度に緩和することができる。なお、以降
の説明において、複数の波長ごとに算出された中央寸法
誤差が一致することを合致、合致する干渉次数を求める
をこと合致を求めるまたは合致次数を求めると記載す
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、複数の
波長から合致を求めることは、一般的には手作業でなさ
れており、多くの時間を要していた。また、各波長ごと
の測定データを入力し、合致に関しては、計算機により
計算する測定方法が、例えば特開平１０−９８０９号に
て提案されているが、計算負荷が大きく、処理時間が長
くなるという問題があった。

【０００６】本発明は、前述の問題点を解決するために
なされたものであり、合致次数をより短時間で算出し、
測定対象物の寸法を短時間で測定することができる方法
を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに、本発明にかかる光干渉計による寸法測定方法は、
波長の異なる複数の光源の、参照鏡または基準ゲージか
らの反射波と測定対象物からの反射波との波長ごとの干
渉縞に基づき、測定対象物の寸法を測定する方法におい
て、前記各波長ごとに、干渉縞端数および仮干渉次数を
求め、仮干渉次数ごとの測定対象物の寸法を算出する手
順と、前記複数波長のうち基準となる基準波長により測
定された仮干渉次数ごとの測定対象物の寸法のそれぞれ
に対し、これにもっとも近い、基準波長以外の波長によ
り測定された測定対象物の寸法との差の絶対値を算出す
る手順と、前記仮干渉次数に対する前記寸法差の絶対値
の関数が極小となる仮干渉次数を真の干渉次数として算
出する手順と、前記真の干渉次数と、前記基準波長にお
ける干渉縞端数に基づき測定対象物の寸法を算出する手
順と、を有している。

【０００８】前述のように、測定対象物の寸法および中
央寸法誤差は、測定に用いた波長に依存しないので、他
の誤差を考慮しなければ波長によらず同一となる。ただ
し、各波長ごとの測定における干渉次数は、仮のもので
あって真のものと異なる場合がある。そこで、一つの波
長を基準波長と定め、この波長により測定、算出された
各干渉次数ごとの個々の測定対象物の寸法に対して、基
準波長以外の波長により測定、算出された各干渉次数ご
との寸法とを比較し、一番近いものを選出する。選出さ
れた寸法と基準波長の寸法との組ごとに、これらの差の
絶対値を求める。そして、仮の干渉次数に対する前記差
の絶対値の関数が極小となる仮干渉次数を真の干渉次数
に定める。極小となる干渉次数を求める場合、前記関数
の１階微分が０で、２階微分が正の干渉次数を真の干渉
次数と定めることができる。

【０００９】以上の手順は、プログラムとして記録媒体
に記録し、このプログラムに従って装置各部を制御する
ようにコンピュータを機能させることができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態（以下
実施形態という）を、図面に従って説明する。

【００１１】［光波干渉計の概要］図１には、本実施形
態の光波干渉計の概略構成が示されている。以下、ブロ
ックゲージの中央寸法誤差を測定する場合に関して説明
するが、本光波干渉計は他の測定対象についても対応可
能である。

【００１２】本装置の本体、すなわち光源からの光を基
準ゲージと測定対象ゲージに照射し、それらの反射光に
より干渉縞を形成し、この干渉縞の観察を行う部分は、
防振台上に設置されている。本装置は、光源として、波
長６３３ｎｍの赤色Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源１０と、波長
５４３ｎｍの緑色Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源１２を備えてい
る。二つのレーザ光源１０，１２の正面には、シャッタ
１４，１６が設けられ、これらのシャッタの開閉により
光源の選択をすることができる。赤色レーザ光源１０
は、縦偏光の光を出射し、この出射光は、これが横偏光
となるように調整設置された２分の１波長板１８を通過
し、偏光ビームスプリッタ２０に入射する。一方、緑色
レーザ光源１２は、同じく縦偏光の光を出射し、この出
射光は、これが縦偏光となるように調整設置された２分
の１波長板２２を通過する。さらに、反射鏡２４に反射
されて偏光ビームスプリッタ２０に入射する。このよう
な構成によって、横偏光で入射した赤色レーザ光は高透
過率で偏光ビームスプリッタ２０を透過して出射すると
共に、縦偏光で入射した緑色レーザ光は高反射率で偏光
ビームスプリッタ２０を反射して出射する。このため、
両レーザ光は大幅に減衰することなく、同一光軸に合成
されて明るい干渉縞を得ることができる。

【００１３】偏光ビームスプリッタ２０を通過した光
は、４分の１波長板２６を通過し、円偏光に変換され
る。円偏光に変換することにより、干渉部からの戻り光
を効果的に遮断し、光源１０，１２への悪影響が防止さ
れる。円偏光となった出射光は、対物レンズ２８、ピン
ホール３０、コリメータレンズ３２を通過し、平行光と
なる。さらに、平行光は反射鏡３４で反射されて、ビー
ムスプリッタ３６に入射し、分割される。分割された一
方の光は参照鏡３８で反射し、他方の光は光学くさび４
０を通過した後、ブロックゲージ４２とブロックゲージ
４２が密着設置されているベースプレート４４に到達
し、反射する。二つの反射光は、再びビームスプリッタ
３６により合成されるが、ここで二つの反射光の光路差
に基づき干渉縞が形成される。干渉縞は、望遠レンズ４
６、ピンホール４８および接眼レンズ５０を通過してＣ
ＣＤカメラ５２により観察することができる。また、干
渉縞は光路切替鏡５４により図中上方に示された光セン
サ５６で受光することもできる。光センサ５６は、ブロ
ックゲージ４２の中央点からの反射光と、ベースプレー
ト４４上の２点からの反射光の合計３点について検出す
るよう配置されている。実際は、上記３点に光ファイバ
の一端を配置し、外部に設けられた光センサ５６まで導
くようになっている。そして、上記３点が、現在干渉縞
の暗部にあるのか、明部にあるのかが光センサ５６によ
って判定される。光学くさび４０は、光路に対し直交す
る方向に図示しない駆動モータにより駆動され、これに
より実質的な光路長が変更される。この光学くさび４０
の移動量は、リニアエンコーダ５８により検出される。

【００１４】さらに本装置には、温度等による補正を行
うために、温度等を測定し、測定値をコンピュータ等に
記憶し、演算処理し、処理結果を出力するための構成が
設けられている。ブロックゲージ４２には、これの温度
を検出するための温度センサ５９が設けられ、また空気
の温度を検出するための気温センサ６０が光路の空気温
度を検出するのに適切な位置に配置されている。これら
のセンサ５９，６０は、センサ切替器６２を介して温度
計６４に接続され、検出された温度がコンピュータ６６
に出力される。また、気圧センサを内蔵した気圧計６８
が設けられ、検出された気圧がコンピュータ６６に出力
される。さらに、空気中の湿度を検出する湿度センサ７
０および湿度計７２が設けられ、この検出値もコンピュ
ータ６６に出力される。さらに、リニアエンコーダ５８
の出力を計数するカウンタ７４が備えられ、計数値はコ
ンピュータ６６に出力される。また、光センサ５６の出
力も光検出器７６に送出され、さらにコンピュータ６６
に出力される。

【００１５】前記コンピュータ６６には、プリンタ８０
が接続され、測定結果等を印刷して出力できるようにな
っている。また、前記シャッタ１４，１６、切替鏡５
４、光学くさび４０の駆動モータなどは、コンピュータ
６６の指令に基づき動作するよう構成されている。コン
ピュータ６６は、あらかじめ記録されたプログラムによ
って、装置各部を制御し測定を実行する。プログラム
は、コンピュータ読み取り可能な外部記録媒体、例えば
フレキシブルディスク（ＦＤ）、ＣＤ−ＲＯＭなどに記
録しておき、測定に先立ってコンピュータで読み取るこ
とができる。

【００１６】図２には、干渉縞の観測例が示されてい
る。図においては、干渉縞は明暗の２領域からなるもの
と描かれているが、実際には、その明るさの変化は２値
的なものではなく、連続的に変化するものである。中央
の長方形の領域Ａは、ブロックゲージ４２からの反射光
により形成された干渉縞で、その周囲の領域Ｂはベース
プレート４４からの反射光により形成された干渉縞であ
る。ベースプレート４４は、ブロックゲージ４２の底面
と同一の平面に存在し、この平面からブロックゲージ４
２の寸法を測定することによって、ブロックゲージ４２
の寸法が測定される。この意味で、ベースプレート４４
も測定対象物である。図示するように、中央領域Ａと周
囲領域Ｂの干渉縞は位相がずれている。このずれは、各
々の反射光の光路差を反映したものである。ブロックゲ
ージ４２からの反射波の光路とベースプレート４４から
の反射波の光路との差が光の波長の２分の１の整数倍で
あれば、前記のようなずれは生じない。前述のように位
相がずれているのは、前記の光路差が前記２分の１波長
より短い端数を有していることを表している。言い換え
れば、この場合、ブロックゲージ４２の寸法は、２分の
１波長をある整数倍した長さと、前記端数が示すある長
さの和となっていることを示している。

【００１７】この端数を、２分の１波長の何分の１であ
るかによって示すとすれば、端数は図２に示す寸法ｂ，
ａの比ｂ／ａで表される。すなわち、干渉縞の１波長ａ
と、中央領域Ａと周囲領域Ｂの位相差ｂの比が、２分の
１波長に対する端数の比と等しくなる。寸法の比ｂ／ａ
の実際の測定および算出は次のように行われる。図２に
は示していないが、本装置の光学系には、図２の視野の
中央で十字に交差するレクチル線目盛りが設けられてい
る。この水平方向の目盛りに、図２の周囲領域Ｂの干渉
縞のもっとも明るい部分であるｘ線を合わせる。これ
は、前記光学くさび４０を移動させることにより行う。
光学くさび４０は、その進退によって光路長さを変更す
ることができ、よってその進退により図２に示す干渉縞
は上下に平行移動し、ｘ線をレクチル線目盛りに合わせ
ることができる。そして、このときのエンコーダの読み
（ｘ位置）を記憶する。同様に、光学くさび４０を進退
させて、中央領域Ａの干渉縞のもっとも明るい部分であ
るｙ線、および周囲領域において、前記ｘ線にかかる明
部分の隣の明部分の軸線であるｚ線をレクチル線目盛り
に合わせ、これらのエンコーダの読み（ｙ位置、ｚ位
置）に基づき前記端数、すなわち干渉縞端数を算出す
る。すなわち、干渉縞端数ｂ／ａは、

【数１】 ｂ／ａ＝（ｘ位置−ｙ位置）／（ｘ位置−ｚ位置） ・・・（１） と表される。

【００１８】次に、干渉次数の決定を行う。干渉次数
は、予備測定により求められたブロックゲージの寸法に
基づき、

【数２】 より算出する。ここで、 Ｌｏ：ブロックゲージの呼び寸法 Ｌ’：予備測定値 ΔＬｒ：光学位相差補正値 ｔ：ブロックゲージの温度 λｖ：真空中における波長 ｎ：空気屈折率 Ｎｏ：干渉次数＋干渉縞端数 α：ブロックゲージの熱膨張係数 である。

【００１９】［測定対象物の寸法の決定］予備測定に基
づき算出された干渉次数は、前述のように予備測定の精
度が高くない場合、真の干渉次数とは異なる場合があ
る。以下、予備測定の精度が真の干渉次数を定めるほど
には高くない場合における真の干渉次数を求める方法を
説明する。以降、予備測定から求められた干渉次数を仮
干渉次数と記して、真の干渉次数と区別する。

【００２０】図３には、２種の波長を用いて真の干渉次
数を求める方法のフローチャートが示されている。本方
法は、２種の波長により別個に算出された測定対象物の
寸法が最も近くなる干渉次数（合致次数）を真の干渉次
数と定めることを基本としている。特に、２種の波長に
より算出された測定対象物の寸法がどの次数で合致する
のかは、仮干渉次数に対する２種の波長により測定され
た寸法の差の関数が、極小となる次数を合致次数として
いる。

【００２１】シャッタ１４，１６の開閉により、赤色
（Ｒｅｄ）レーザ光源１０と緑色（Ｇｒｅｅｎ）レーザ
光線１２の切換えを行い、各々について、前述の測定を
行い（Ｓ１００，Ｓ１０２）、前述の方法により干渉縞
端数を求める（Ｓ１０４，Ｓ１１０）。また、式（２）
から干渉次数を求める。式（２）のＮｏの整数部分が干
渉次数であるが、以後の説明においては、これを干渉次
数０次とする（Ｓ１０６，Ｓ１１２）。言い換えれば、
本来の干渉次数からＮｏの整数部分を引き、干渉次数全
体をシフトさせる。さらに、仮干渉次数０次の他、±７
次までの次数に対し、ブロックゲージの呼び寸法との差
である中央寸法誤差を算出する（Ｓ１０８，Ｓ１１
４）。各次数の中央寸法誤差は、

【数３】 （中央寸法誤差）＝（λ／２）×（次数）＋ｂ／ａ ・・・（３） より算出される。±７次までに対応する中央寸法誤差の
一例を図４に示す。

【００２２】次に、赤色レーザ光源１０を用いて算出さ
れた中央寸法誤差に、これと最も近い緑色レーザ光源１
２を用いて算出された中央寸法誤差を組み合わせて測定
値の組を作る。例えば、図４において、赤色レーザの−
６次の値−１．８３３に最も近い緑色レーザの測定値は
−７次の−１．８８９であり、これらにより組を作る
（Ｓ１１６）。この選択を赤色レーザの測定値の全てに
ついて行った結果が図５に示されている。なお、この時
点で緑色レーザについての次数は、意味をなさなくな
る。

【００２３】前記の測定値の組について、測定値の差の
絶対値を算出する（Ｓ１１８）。この結果が図６に示さ
れている。図６において＋７次，−７次の値が突出して
大きくなっているが、これは±７次の間のデータで計算
したためである。すなわち、赤色レーザの＋７次，−７
次の値に最も近い緑色レーザの値は、＋８次，−８次で
あるが、データの範囲にないので、前述のような突出し
た値が算出されてしまう。したがって、以降の処理につ
いては±６次の範囲で行う（Ｓ１２０）。±６次の範囲
の寸法差の絶対値を図７に示す。図７に示す関係を、す
なわち干渉次数に対する寸法差の絶対値の関係を関数と
みて、この関数の１階微分、２階微分を求める（Ｓ１２
２，Ｓ１２４，Ｓ１２６）。関数が定義された範囲の両
端では微分不能となるので、１回の微分ごとに関数の定
義範囲が狭まり、２階微分した後は関数の定義範囲は±
４次となる（Ｓ１２８）。

【００２４】本実施形態において用いているレーザ光源
の波長は、６３３ｎｍと５４３ｎｍであるので、双方の
測定結果の差が小さくなる測定値が約２μｍごとに現れ
る。これは、干渉次数で±３次に相当し、この範囲の演
算結果を図８に示す。１階微分が０で、２階微分が正、
すなわち関数が極小となるのは、仮干渉次数が０次のと
きであることが分かる。このほかに極小値はないので
（Ｓ１３０）、この仮干渉次数が真の干渉次数であるこ
とが分かり、０．０１５が中央寸法誤差として算出され
る（Ｓ１３２）。このように、真の干渉次数が０次とな
る場合は、予備測定の値が真の値に近かったことを示し
ている。なお、前述のように、前記の２波長を用いた測
定においては、干渉次数が±３次の範囲で極小値を探せ
ば良いので、２階微分および２波長測定データの差演算
を考慮して最初の計算次数は、±６次が少なくとも必要
である。本実施形態においては、余裕をみて、±７次を
最初の計算次数としている。

【００２５】予備測定の値が真の値と比較的離れていた
場合、図９に示すように極小値が０次以外のところに表
れる。図９の場合には、−２次が極小値となり、これが
合致次数である。

【００２６】また、干渉縞端数の精度が悪い場合には、
極小値（合致点）が二つ並ぶ場合がある。例えば、図１
０において、０次と−１次の関数値がほとんど等しい。
このような場合には、１階微分値が小さい方、すなわち
０に近い方を合致点として採用する。１階微分値が等し
い場合は、予備測定値に近い方を採用する。

【００２７】さらに、予備測定の精度が±１μｍを超え
ると極小値（合致点）が二つ現れる。横軸のフルスケー
ルは、１．６μｍであり、この場合、予備測定値は±１
μｍなければならないので、予備測定値に近い値を選択
する（Ｓ１３４）。選択された値に基づき、真の中央寸
法誤差が算出される（Ｓ１３２）。なお、この場合に
は、合致点が二つ存在したことを操作者に報知し、測定
結果の信頼性について警告する。以上の処理により、よ
り短時間で測定を行うことが可能となった。

【００２８】［光源波長の校正］図１に示すように、本
実施形態の装置は光源を二つ備えており、それぞれの光
源について高精度に校正を行うことは、光源の取り外
し、校正機関への輸送、校正後の再設置、光軸調整など
経済的、時間的負担が大きくなる。そこで、本装置にお
いては、一方の光源について校正機関などによる高精度
な校正をし、他方については干渉計上に設置したまま、
校正済みの光源の波長を用いて校正を行うことを可能と
している。以下、他方の光源の波長の校正について説明
する。

【００２９】ブロックゲージの寸法Ｌは、本装置の二つ
のレーザの波長（５４３ｎｍ，６３３ｎｍ）から、

【数４】 と表せる。ただし、λは波長、Ｎは干渉次数、εは干渉
縞端数であり、添え字ｒは、赤色レーザに関する値およ
び赤色レーザによる測定時の値であることを示し、添え
字ｇは、緑色レーザに関する値および緑色レーザによる
測定時の値であることを示す。

【００３０】空気の屈折率とブロックゲージの熱膨張を
考慮して、式（４．１），（４．２）を補正すると、

【数５】 を得る。このとき、Ｌｏはブロックゲージの呼び寸法、
αはブロックゲージの熱膨張係数、ｔはブロックゲージ
の温度、ｎは空気の屈折率である。同一のブロックゲー
ジについて測定を行えば、式（５．１），（５．２）の
Ｌは消去でき、

【数６】 を得る。これを変形し、

【数７】 を得る。式（７）において、ＮｒとＮｇは、干渉測定か
らは容易に得ることはできないが、００級のブロックゲ
ージ（寸法許容差０．０６μｍ）であれば、呼び寸法か
ら干渉次数を求めることも十分可能である。すなわち、
呼び寸法を波長で除算したときの商が干渉次数である。
また、赤色レーザの波長が校正されていれば、その他の
値は、既知の値を用いることにより、緑色レーザの波長
を算出することができる。

【００３１】なお、上記の例においては、二つの光源を
有する装置について説明したが、三つ以上の光源を有す
る場合においても、同様に校正することが可能である。

【００３２】本実施形態によれば、一つの光源（一つの
波長）についてのみ高精度な校正を行うことで、他の光
源は干渉計上で設置状態のまま波長校正を行うことがで
きる。したがって、波長校正の費用と時間の節減が可能
となる。また、一方の光源が取り外されず、干渉計上に
設置されたままであるので、光軸が保存される。したが
って、外部に校正を委託した光源を再設置する場合にお
いて、すでに定まっている光軸に合わせればよいので、
光軸調整が容易となる。このことは、干渉計の測定信頼
性の維持を容易にする。

【００３３】以上、本実施形態において、基準ブロック
ゲージを用いない装置に関して説明したが、参照鏡上に
ベースプレートを密着した基準ブロックゲージを配置し
て、基準ブロックゲージに対する測定対象のブロックゲ
ージの誤差を測定する場合にも、同様に前述の干渉次数
の決定方法が適用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本実施形態の光波干渉計の概略構成を示す図
である。

【図２】 光波干渉計によって観測される干渉縞の例を
示す図である。

【図３】 本実施形態の測定手順をしめすフローチャー
トである。

【図４】 図３のステップＳ１０８，Ｓ１１４の計算結
果を示す図である。

【図５】 図３のステップＳ１１６の結果を示す図であ
る。

【図６】 図３のステップＳ１１８の結果を示す図であ
る。

【図７】 図３のステップＳ１２０の結果を示す図であ
る。

【図８】 図３のステップＳ１２８の結果を示す図であ
る。

【図９】 図３のステップＳ１２８の結果を示す図であ
り、特に予備測定の精度が低い場合に起こり得る例であ
る。

【図１０】 図３のステップＳ１２８の結果を示す図で
あり、特に干渉縞端数の測定精度が低い場合に起こり得
る例である。

【図１１】 図３のステップＳ１２８の結果を示す図で
あり、極小値が２個ある場合の例である。

【符号の説明】

１０ 赤色レーザ光源、１２ 緑色レーザ光源、２０
偏光ビームスプリッタ、２６ ４分の１波長板、４２
ブロックゲージ（測定対象物）、４４ ベースプレート
（測定対象物）、５２ ＣＣＤカメラ、５６ 光セン
サ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 波長の異なる複数の光源の、参照鏡また
   は基準ゲージからの反射波と測定対象物からの反射波と
   の波長ごとの干渉縞に基づき、測定対象物の寸法を測定
   する方法において、 前記各波長ごとに、干渉縞端数および仮干渉次数を求
   め、仮干渉次数ごとの測定対象物の寸法を算出する手順
   と、 前記複数波長のうち基準となる基準波長により測定され
   た仮干渉次数ごとの測定対象物の寸法のそれぞれに対
   し、これにもっとも近い、基準波長以外の波長より測定
   された測定対象物の寸法との差の絶対値を算出する手順
   と、 前記仮干渉次数に対する前記寸法差の絶対値の関数が極
   小となる仮干渉次数を真の干渉次数として算出する手順
   と、 前記真の干渉次数と、前記基準波長における干渉縞端数
   に基づき測定対象物の寸法を算出する手順と、を有する
   光波干渉計における寸法測定方法。
2. 【請求項２】 波長の異なる複数の光源の、参照鏡また
   は基準ゲージからの反射波と測定対象物からの反射波と
   の波長ごとの干渉縞に基づき、測定対象物の寸法を測定
   する手順の少なくとも一部をコンピュータおよびこれに
   接続される装置に実行させるためのプログラムを記録し
   たコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、 前記各波長ごとに、干渉縞端数および仮干渉次数を求
   め、仮干渉次数ごとの測定対象物の寸法を算出する手順
   と、 前記複数波長のうち基準となる基準波長により測定され
   た仮干渉次数ごとの測定対象物の寸法のそれぞれに対
   し、これにもっとも近い、基準波長以外の波長より測定
   された測定対象物の寸法との差の絶対値を算出する手順
   と、 前記仮干渉次数に対する前記寸法差の絶対値の関数が極
   小となる仮干渉次数を真の干渉次数として算出する手順
   と、 前記真の干渉次数と、前記基準波長における干渉縞端数
   に基づき測定対象物の寸法を算出する手順と、を実行さ
   せるためのプログラムを記録した記録媒体。