JP2000031782A - 圧電デバイスの構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基台に載置した状態で洗浄する圧電デバイス
の両面を容易に奇麗にすることができるようにする。 【解決手段】 基台の形状を上下面が開口した環状枠と
し、その枠を上蓋と下蓋とにより挟み込むように気密封
止するパッケージ構成とする。圧電デバイスが基台に載
置された状態で洗浄しても、デバイスの両面のスペース
が開放されているので効率よく洗浄することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、水晶振動子等の圧
電共振子を気密封止した電子部品のパッケージ構造に関
し、詳しくは、封止前の水晶振動子を洗浄する過程にお
いて、水晶振動子の表面及び裏面共、容易に効率良く洗
浄することができるパッケージ構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】各種電子機器、通信機器に用いられる電
子部品としての圧電デバイス（振動子、フィルタ）は、
水晶振動子等の圧電共振子をパッケージ内に気密封止し
た構成を備えている。この種のデバイス構成として、例
えば図４に示すように上面が開口した凹陥部内に段差を
有した箱型のセラミックベース１の前記段差上面に水晶
素板２を片持ち支持にて配置するものがある。このとき
水晶素板２の電極は導電性接着剤３を介して段差部上面
の導電パッド４に固定されており、該導電パッド４はセ
ラミックベース１を貫通する導体５によってセラミック
ベース１の外部電極６との導通が確保されている。更
に、開口部上面とセラミックキャップ７との間をガラ
ス、或いは樹脂等の封止材料８を用いて封止している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４に
示したような従来の箱型セラミックベースの内底面に水
晶素板を配置した構成をとる水晶振動子であっては、製
造過程において、水晶素板をセラミックベースに配置し
た後に水晶素板に付着した異物を洗浄する際に、水晶素
板の表面は洗浄液がかかりやすく、また、洗い流し時の
水流により容易に異物を洗い落とすことができるのに対
して、水晶素板の裏面は近接するセラミックベースに囲
まれた小さなスペースになっており、洗浄液が入り込み
にくく、水晶素板の裏面の異物を奇麗に洗い流すことが
困難であった。また、水晶素板の裏面は、洗い流し時の
水流も阻まれてしまうので異物が残留してしまい、これ
により水晶振動子としての特性を劣化させる原因となる
ことがあった。例えば、ベース内の段差を高くしてベー
ス底面と水晶素板との間隔を広くすることも考えられる
が、水晶デバイスに対する小型化、低背化に対する要求
に応えることができなくなるという問題があった。

【０００４】本発明はこのような問題点を解決するため
になされたものであり、ベースに配置された水晶素板の
洗浄の際に、表面、裏面とも奇麗に洗浄することができ
る水晶振動子を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を解決すべく本
発明に係る水晶振動子のパッケージ構造は、上下面が開
口した環状の枠と、該枠に設けられた電極に固定接続さ
れた圧電素板と、前記枠の開口上面を密閉する上蓋と、
前記枠の開口下面を密閉する下蓋とから構成されること
を特徴とする。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、図示した実施例に基づいて
本発明を詳細に説明する。図１は本発明に基づく水晶振
動子の構成例を示す断面図であり、環状枠の形態をした
セラミックベース９は、水晶素板２が固定接続される導
電パッド４を具備しており、水晶素板２は半田又は導電
性接着剤によりセラミックベース９に固定される。水晶
素板２がセラミックベース９に固定された状態で洗浄を
行った後、箱型の上蓋であるセラミックキャップ１０
と、同じく箱型の下蓋であるセラミックキャップ１１と
を、例えばガラスの封止材料８により気密封止する。更
に、パッケージの側面から裏側にわたって導電パターン
１２をメッキ等の手段により形成したものである。この
ような構成としたことにより、水晶素板をベースに固定
した状態で両面を奇麗に洗浄することが可能となる。

【０００７】図２は本発明に基づく水晶振動子の他の構
成例を示す断面図であり、図１で示した例と異なる点
は、環状枠１３の内縁に段差を設けて、その段差の上面
に水晶素板２を配置すると共に、上蓋１４及び下蓋１５
を簡素な平板としたものである。このように構成するこ
とにより、デバイスとしての低背化が実現できる。

【０００８】また、図３は本発明に基づく水晶振動子の
更に他の構成例を示す断面図であり、図２で示した実施
例にあっては、電極を下蓋１５の下面に配線するために
パッケージ外周に導電パターン１２を形成することが必
要となり、工程が煩雑となるが、この例では環状枠１７
の下面に導電パターン１８を設けておき、下蓋１６の上
面に導電パターン１８と対面するよう導電パターン１９
を設け、下蓋１６の下面の導電パターン２０と導通させ
ておく。そして、環状枠１７と下蓋１６との間を半田、
或いは導電性接着剤２１にて接合したものである。これ
により配線の工程が大幅に軽減されることになる。

【０００９】尚、ここでは本発明の主旨に直接関係ない
ためシールド構造に関しての記載は省略しているが当然
高周波対策として金属シールドで覆って接地する等の構
成のものに本発明を適用可能なことは言うまでもない。
また、水晶素板を収納するものを例に説明したが、他の
圧電素板を収納したものであっても良い。

【００１０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は水晶素板
を搭載するセラミックベースの形状を上下面が開口した
環状の枠としたので、水晶素板を洗浄する際に問題とな
っていた裏面の洗浄であっても洗浄液が容易に付着する
ことができ、洗い流し時の水流も表面と同等に充分あた
ることになり異物が残留することがなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に基づく水晶振動子の一構成例を示した
断面図である。

【図２】本発明に基づく水晶振動子の他の一構成例を示
した断面図である。

【図３】本発明に基づく水晶振動子の更に他の一構成例
を示した断面図である。

【図４】従来の水晶振動子の一構成例を示した断面図で
ある。

【符合の説明】

１・・・セラミックベース ９，１３，１７・・・セラミックベース（環状枠） ２・・・水晶素板 ３，２１・・・導電性接着剤 ４・・・導電パッド ５・・・導体 ６・・・外部電極 ７，１０，１４・・・セラミックキャップ又は金属キャ
ップ（上蓋） ８・・・封止材料 １１，１５，１６・・・セラミックキャップ（下蓋） １２，１８，１９，２０・・・導電パターン

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】上下面が開口した環状の枠と、該枠に設け
   られた電極に固定接続された圧電素板と、前記枠の開口
   上面を密閉する上蓋と、前記枠の開口下面を密閉する下
   蓋とから構成されることを特徴とする圧電デバイスの構
   造。