JP2000021612A - Manufacture of current protecting chip element - Google Patents

Manufacture of current protecting chip element

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JP2000021612A
JP2000021612A JP18954798A JP18954798A JP2000021612A JP 2000021612 A JP2000021612 A JP 2000021612A JP 18954798 A JP18954798 A JP 18954798A JP 18954798 A JP18954798 A JP 18954798A JP 2000021612 A JP2000021612 A JP 2000021612A
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JP
Japan
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insulating layer
current protection
metal foil
thickness
holes
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JP18954798A
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Japanese (ja)
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Masashi Isono
雅司 磯野
Fumio Suzuki
文夫 鈴木
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Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve insulation resistance after fusing and reliability, by forming connection wirings with electrodes positioning current protecting elements, on the parts of holes for gap formation where unnecessary parts of a metal foil thinned to be a specified thickness are eliminated, and performing cutting at the parts of holes between adjacent current protecting elements. SOLUTION: A very thin copper foil or a very thin copper foil with aluminum carrier is used for a metal foil of 3-9 μm in thickness. Two insulating plates 11, 12 formed by etching and eliminating copper foils of both surfaces of a laminated plate stuck on both surfaces of the metal foil are made first and second insulating layers. Two insulating plates 101, 102 with resin films are formed, and holes 4 for gap formation are made. A board on which current protecting elements 8 and connection wirings 71 are formed, the insulating plate 102 with resin film, a resin film 3 where holes are made in parts of the holes 4 for gap formation and a copper foil 72 of 18 μm in thickness are stuck on the single surface. Thus laminated plates 111, 112 are formed. The laminated plates 111, 112 where two copper foils 72 are arranged on the upper sides and the lower sides are so laminated in order while the holes 4 are aligned with parts of the elements 8.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、チップ型電流保護
素子の製造法に関する。
[0001] The present invention relates to a method for manufacturing a chip-type current protection device.

【0002】[0002]

【従来の技術】電流保護素子は、電子機器の過電流保護
に使用されるものである。本発明でいう電流保護素子
は、電気回路と直列につなぎ、過電流が流れた時に、保
護素子内の配線が切断され、それ以降の電流を遮断する
ことによって、機器の保護を行うものである。
2. Description of the Related Art A current protection element is used for overcurrent protection of electronic equipment. The current protection element according to the present invention is connected to an electric circuit in series, and when an overcurrent flows, the wiring in the protection element is cut, and the current after that is cut off, thereby protecting the device. .

【0003】このような素子は、一般的な名称として、
ヒューズと言われているが、ヒューズと言うためには、
各種規格に定められた特性を満たす必要がある。しか
し、電子機器の多様化に伴い、従来のヒューズ規格と異
なる特性の電流保護素子も現れてきている。本発明は、
ヒューズを含め、上に述べたような動作機構を行う電流
保護素子(英名:カレントプロテクタ)に関するもので
ある。
[0003] Such elements are commonly referred to as:
It is called a fuse, but to say a fuse,
It is necessary to satisfy the characteristics specified in various standards. However, with the diversification of electronic devices, current protection elements having characteristics different from those of conventional fuse standards have appeared. The present invention
The present invention relates to a current protection element (current protector) performing the above-described operation mechanism including a fuse.

【0004】過電流保護装置には、上記のような電流保
護素子の他、サイリスタやトランジスタを用いた電子ス
イッチを使用することもできる。しかし、そのような場
合、回路部品が増加すること、また、その保護回路によ
って消費される電力も増加することから、電池動作の携
帯型機器等のように、小型化、低消費電力を要求される
用途には、必ずしも適していなかった。
In the overcurrent protection device, an electronic switch using a thyristor or a transistor can be used in addition to the above current protection element. However, in such a case, since the number of circuit components increases and the power consumed by the protection circuit also increases, miniaturization and low power consumption are required as in a portable device operated by a battery. It was not necessarily suitable for certain applications.

【0005】そこで、特開昭60−143544号公報
に開示されているように、セラミック基体に、第1層に
銀または銀−パラジウム、第2層にニッケル層、第3層
にはんだまたは錫の3層の導電層を形成し、はんだ付け
時の溶断特性を向上したものが知られ、また、導電層表
面をシリコーン樹脂等の不燃(難燃)性樹脂で被覆する
ことも開示されている。
Therefore, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-143544, silver or silver-palladium is formed on a ceramic substrate as a first layer, a nickel layer is formed on a second layer, and solder or tin is formed on a third layer. It is known that three conductive layers are formed to improve the fusing characteristics at the time of soldering, and that the surface of the conductive layer is coated with a nonflammable (flame retardant) resin such as a silicone resin is also disclosed.

【0006】また、実公昭55−2565号公報には、
セラミック基体上にヒューズ素子を設け、その上部に凹
部を設けるという、チップ型抵抗素子の電極を構成する
方法が開示されている。
In Japanese Utility Model Publication No. 55-2565,
There is disclosed a method of forming an electrode of a chip-type resistance element, in which a fuse element is provided on a ceramic base and a recess is provided on the fuse element.

【0007】特開平8−96694号公報には、金属細
線からなるヒューズ素子の上下に凹部を有するアルミナ
等のセラミック基体を配置する例が開示されている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-96694 discloses an example in which a ceramic base such as alumina having concave portions above and below a fuse element made of a thin metal wire is arranged.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、セラミック基
体に、電流保護素子(ヒューズ)を設けたものは、セラ
ミック基体の熱抵抗が小さく、たとえ、前記特開昭60
−143544号公報に開示されているように、不燃
(難燃)性の樹脂で、電流保護素子を覆ったとしても、
放熱性が高く、周囲の温度によって、溶断する電流値が
ばらつくことが多いという課題があった。
However, when a ceramic substrate is provided with a current protection element (fuse), the thermal resistance of the ceramic substrate is small.
As disclosed in JP-A-143544, even if the current protection element is covered with a nonflammable (flame retardant) resin,
There is a problem that the heat dissipation is high and the current value to be melted varies depending on the ambient temperature.

【0009】実公昭55−2565号公報に開示され
た、チップ型抵抗素子の電極を構成する方法では、セラ
ミック基体上にヒューズ素子を設け、その上部に凹部を
設けるが、ヒューズ素子底面部に位置したセラミック基
体の熱抵抗が低く、溶断時の発熱によりヒューズ素子外
表面の温度が過剰に上昇すること、溶断時に溶断残査が
セラミック基体上に残り、絶縁劣化を起こす等の課題が
ある。また、抵抗値が一定なら溶断する電流値が高くな
り、溶断電流が一定ならヒューズ抵抗が高くなるという
課題がある。
In the method of forming electrodes of a chip-type resistor element disclosed in Japanese Utility Model Publication No. 55-2565, a fuse element is provided on a ceramic base and a concave portion is provided on the fuse element. The thermal resistance of the ceramic substrate thus formed is low, and the temperature of the outer surface of the fuse element excessively rises due to the heat generated at the time of fusing, and the fusing residue remains on the ceramic substrate at the time of fusing. Further, there is a problem that the current value to be blown increases when the resistance value is constant, and the fuse resistance increases when the fusing current is constant.

【0010】特開平8−96694号公報に開示され
た、金属細線からなるヒューズ素子の上下に凹部を有す
るアルミナ等のセラミック基体を配置する場合でも、同
様に溶断時の発熱によりヒューズ素子外表面の温度が過
剰に上昇する、あるいは抵抗値が一定なら溶断する電流
値が高くなり、溶断電流が一定ならヒューズ抵抗が高く
なるという課題がある。
[0010] Even when a ceramic base made of alumina or the like having concave portions above and below a fuse element made of a thin metal wire, which is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-96694, heat generated during fusing similarly causes the outer surface of the fuse element to be heated. There is a problem that if the temperature rises excessively or the resistance value is constant, the current value for fusing increases, and if the fusing current is constant, the fuse resistance increases.

【0011】このセラミック基体のチップヒューズの課
題を解決するために、有機樹脂製絶縁基板を用いること
が考えられるが、基板の樹脂が、エポキシ樹脂、フェノ
ール樹脂、ポリイミド樹脂等の場合、発煙や燃焼の問題
があった。
In order to solve the problem of the chip fuse of the ceramic base, it is conceivable to use an insulating substrate made of an organic resin. However, when the resin of the substrate is an epoxy resin, a phenol resin, a polyimide resin, or the like, smoke or combustion occurs. There was a problem.

【0012】本発明は、電流保護素子の形成精度(配線
の厚さ、幅)に優れ、放熱の抑制、および発煙、発火の
抑制に優れ、さらに、溶断後の絶縁抵抗が高く信頼性の
高いチップ型電流保護素子とその製造法を提供すること
を目的とするものである。
The present invention is excellent in forming accuracy (thickness and width of wiring) of a current protection element, is excellent in suppressing heat radiation, suppressing smoke and ignition, and has high insulation resistance after fusing and high reliability. It is an object of the present invention to provide a chip-type current protection element and a method of manufacturing the same.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明のチップ型電流保
護素子の製造法は、 a.2枚の空隙形成用の穴の開いた第1の絶縁層と第2
の絶縁層を製作する工程、 b.金属箔を、第1の絶縁層と積層接着する工程、 c.金属箔を3〜9μmの厚さになるように薄くする工
程、 d.金属箔の不要な箇所をエッチング除去することによ
って、空隙形成用の穴の箇所に電流保護素子が位置する
ように、複数の電流保護素子と電極と電流保護素子の接
続配線を形成する工程、 e.電流保護素子の位置に空隙形成用の穴を合わせた第
2の絶縁層と、第1の絶縁層と第2の絶縁層の外側に、
2枚の片面にのみ金属箔を貼り合わせた第3の絶縁層
を、接着層を介して、金属層が外側となるように重ね
て、積層接着する工程、 f.積層接着した物の接続配線の箇所に電極用の穴をあ
ける工程、 g.めっきを行い、接続配線と金属箔とを電気的に接続
する工程、 h.電極以外の箇所をエッチング除去して電極を形成す
る工程、 i.隣接する電流保護素子との間、および穴の箇所で切
断することによって、両端の電極を形成した個々のチッ
プ型電流保護素子に切り分ける工程、からなることを特
徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION A method of manufacturing a chip-type current protection device according to the present invention comprises the steps of: a. A first insulating layer having two holes for forming voids and a second insulating layer;
Fabricating the insulating layer of b., B. Laminating and bonding the metal foil to the first insulating layer; c. Thinning the metal foil to a thickness of 3-9 μm, d. Forming a plurality of current protection elements, electrodes, and connection wiring between the electrodes and the current protection element such that the unnecessary parts of the metal foil are removed by etching so that the current protection elements are located at the positions of the holes for forming voids; e. . A second insulating layer in which a hole for forming a gap is aligned with the position of the current protection element, and a first insulating layer and an outer side of the second insulating layer,
A step of laminating a third insulating layer having a metal foil bonded to only one side thereof with an adhesive layer so that the metal layer is on the outside, and laminating and bonding; f. Making a hole for an electrode at a location of the connection wiring of the laminated and bonded object; g. Plating and electrically connecting the connection wiring and the metal foil; h. Forming an electrode by etching away portions other than the electrode, i. A step of cutting into individual chip-type current protection elements in which electrodes at both ends are formed by cutting between adjacent current protection elements and at holes.

【0014】また、 a.2枚の空隙形成用の穴の開いた第1の絶縁層と第2
の絶縁層を製作する工程、 b.金属箔を、第1の絶縁層と積層接着する工程、 c1.金属箔の接続配線となる箇所以外の箇所を3〜9
μmの厚さになるように薄くする工程、 d.金属箔の不要な箇所をエッチング除去することによ
って、空隙形成用の穴の箇所に電流保護素子が位置する
ように、複数の電流保護素子と電極と電流保護素子の接
続配線を形成する工程、 e.電流保護素子の位置に空隙形成用の穴を合わせた第
2の絶縁層と、第1の絶縁層と第2の絶縁層の外側に、
2枚の片面にのみ金属箔を貼り合わせた第3の絶縁層
を、接着層を介して、金属層が外側となるように重ね
て、積層接着する工程、 f.積層接着した物の接続配線の箇所に電極用の穴をあ
ける工程、 g.めっきを行い、接続配線と金属箔とを電気的に接続
する工程、 h.電極以外の箇所をエッチング除去して電極を形成す
る工程、 i.隣接する電流保護素子との間、および穴の箇所で切
断することによって、両端の電極を形成した個々のチッ
プ型電流保護素子に切り分ける工程、からなることであ
ってもよい。
Also, a. A first insulating layer having two holes for forming voids and a second insulating layer;
Fabricating the insulating layer of b., B. Laminating and bonding the metal foil to the first insulating layer; c1. 3 to 9 places other than the place to be the connection wiring of the metal foil
thinning to a thickness of μm, d. Forming a plurality of current protection elements, electrodes, and connection wiring between the electrodes and the current protection element such that the unnecessary parts of the metal foil are removed by etching so that the current protection elements are located at the positions of the holes for forming voids; e. . A second insulating layer in which a hole for forming a gap is aligned with a position of the current protection element, and a first insulating layer and an outer side of the second insulating layer,
A step of stacking and laminating a third insulating layer in which a metal foil is stuck on only one side of the two sheets via an adhesive layer such that the metal layer is on the outside, f. Making a hole for an electrode at a location of the connection wiring of the laminated and bonded object; g. Plating and electrically connecting the connection wiring and the metal foil; h. Forming an electrode by etching away portions other than the electrode, i. A step of cutting into individual chip-type current protection elements having electrodes formed at both ends by cutting between adjacent current protection elements and at holes.

【0015】金属箔に、キャリア付き金属箔であって、
10〜50μmの範囲の厚さの第1の銅層と、3〜9μ
mの範囲の厚さの第2の銅層と、その2つの銅層の中間
層として厚さが1μm以下のニッケルあるいはその合金
層を有する複合金属箔を用いることができる。
[0015] The metal foil is a metal foil with a carrier,
A first copper layer having a thickness in the range of 10 to 50 μm;
A composite metal foil having a second copper layer having a thickness of m and a nickel or alloy layer thereof having a thickness of 1 μm or less as an intermediate layer between the two copper layers can be used.

【0016】キャリアを除去した後、厚さ3〜9μmの
金属箔に、接続配線の厚さが、10〜50μmの厚さと
なるように、予めめっきを行う工程を有することもでき
る。
After the carrier is removed, a step of pre-plating the metal foil having a thickness of 3 to 9 μm so that the thickness of the connection wiring is 10 to 50 μm may be provided.

【0017】第1の絶縁層と第2の絶縁層に第3の絶縁
層を接着する接着層に、樹脂フローが200μm以下で
ある樹脂を用いることができる。
A resin having a resin flow of 200 μm or less can be used for the adhesive layer for bonding the third insulating layer to the first insulating layer and the second insulating layer.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】本発明において、電流保護素子の
厚さを3〜9μmとするのは、3μm未満では、厚さ精
度の管理が難しく、また、ピンホールの発生も避けがた
く、9μmを超えると、過電流通電時の溶断を精度よく
行うための電流保護素子配線の形成が困難になるからで
ある。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the present invention, the thickness of the current protection element is set to 3 to 9 .mu.m if it is less than 3 .mu.m, it is difficult to control the thickness accuracy, and it is difficult to avoid pinholes. This is because, if it exceeds, it becomes difficult to form a current protection element wiring for accurately performing fusing when overcurrent is applied.

【0019】また、電流保護素子と電極との接続部の接
続配線の厚さが、10〜50μmの範囲が好ましいの
は、電流保護素子の設置される場所の環境温度変化や、
素子自身を流れる電流のオン、オフによる温度変化に伴
う熱ストレスが、電流保護素子と電極を接続する箇所に
集中し易いので、その厚さは、厚いほど効果があるが、
あまり厚いと製造上の負担(作業時間の増加、材料の増
加、樹脂材料による埋め込み性低下に伴う積層接着条件
の変更等)が増加するとともに、ある程度以上の厚さに
なると、それ以上厚くしても、その効果の改善の程度が
小さくなるからである。
The thickness of the connection wiring at the connection between the current protection element and the electrode is preferably in the range of 10 to 50 μm because of the environmental temperature change at the place where the current protection element is installed,
Thermal stress due to temperature change due to on / off of the current flowing through the element itself tends to concentrate on the point where the current protection element and the electrode are connected.
If the thickness is too thick, the burden on the production (increase of working time, increase of materials, change of lamination bonding conditions due to deterioration of embedding by resin material, etc.) increases, and if the thickness exceeds a certain level, the thickness increases. This is because the degree of improvement of the effect is reduced.

【0020】(工程a)本発明の第1の絶縁層と第2の
絶縁層には、樹脂と強化材とからなる基材を用いること
が望ましく、樹脂には、エポキシ樹脂、フェノール樹
脂、ポリイミド樹脂等を用いることができ、強化材に
は、ガラス布、ガラス紙から選択されたものを用いるこ
とができる。
(Step a) It is desirable to use a substrate made of a resin and a reinforcing material for the first insulating layer and the second insulating layer of the present invention, and the resin may be an epoxy resin, a phenol resin, or a polyimide. A resin or the like can be used, and a reinforcing material selected from glass cloth and glass paper can be used.

【0021】この第1の絶縁層と第2の絶縁層に空隙形
成用の穴を開けるには、一般的に配線板のスルーホール
などの穴あけに使用されているドリルマシンを用いるこ
とができる。
To form a hole for forming a gap in the first insulating layer and the second insulating layer, a drill machine generally used for drilling a through hole or the like in a wiring board can be used.

【0022】(工程b)金属箔を3〜9μmの厚さに薄
くするには、厚めの金属箔を貼り合わせてからエッチン
グ除去して薄くする方法と、薄い金属箔とキャリアを貼
り合わせたものを貼り合わせてからキャリアを除去する
方法とがある。このようにする理由は、厚めの金属箔や
キャリアと貼り合わせた薄い金属箔が作業性が高く、折
れたりしわの発生がないので、回路の形成を精度よく行
えるものである。
(Step b) In order to thin the metal foil to a thickness of 3 to 9 μm, a method in which a thicker metal foil is attached and then removed by etching, and a method in which a thin metal foil is bonded to a carrier are used. And then removing the carrier. The reason for this is that a thick metal foil or a thin metal foil bonded to a carrier has high workability and does not cause breakage or wrinkles, so that a circuit can be formed accurately.

【0023】厚めの金属箔を用いる場合、積層時の取り
扱い性及び配線形成性の点から金属箔の厚さは、15μ
m〜70μmの範囲であることが好ましく、さらには1
8μm〜35μmの範囲であることが好ましい。金属箔
の厚さが15μm未満であると、前期の第1の絶縁層と
積層接着するときに、空隙形成用の穴の部分の金属箔表
面に凹凸が発生するおそれがあり、70μmを越える
と、その後の金属箔を薄くする工程で、厚さを均一に薄
くすることが困難になる。金属箔の種類は、回路形成等
を行う上で、銅箔であることが好ましい。
When a thick metal foil is used, the thickness of the metal foil is 15 μm from the viewpoint of handleability during lamination and wiring formability.
m to 70 μm, more preferably 1 to 70 μm.
It is preferably in the range of 8 μm to 35 μm. When the thickness of the metal foil is less than 15 μm, when laminating and adhering to the first insulating layer in the previous period, irregularities may be generated on the surface of the metal foil in the portion of the hole for forming the void, and when it exceeds 70 μm. In the subsequent step of thinning the metal foil, it becomes difficult to uniformly reduce the thickness. The type of the metal foil is preferably a copper foil for forming a circuit or the like.

【0024】キャリア付き銅箔を用いる場合には、キャ
リアに、Cu、Al等の汎用的で剥離可能な金属箔や弗
素系の剥離しやすいフィルム材料やガラス板、鏡面仕上
げされたステンレス等の金属板を用いることができ、キ
ャリアが剥離可能な金属箔の例としては、ピーラブル銅
箔とよばれるキャリア銅70μm/極薄銅9μmのDO
UBLETHIN9/70(古河サーキットフォイル株
式会社製、商品名)等があり、また、アルミキャリアの
ピーラブル銅箔も使用でき、あるいは、またエッチング
等で除去可能な2種類以上の金属層からなる複合箔も使
用することができ、キャリア銅/ニッケル層/極薄銅5
μmからなるCCT−FOIL(日本電解株式会社製、
商品名)等がある。
When a copper foil with a carrier is used, a general-purpose peelable metal foil such as Cu or Al, a fluorine-based easily peelable film material, a glass plate, or a metal such as a mirror-finished stainless steel is used for the carrier. An example of a metal foil from which a carrier can be peeled is a peelable copper foil, a carrier copper 70 μm / ultra-thin copper 9 μm DO
UBLETHIN9 / 70 (Furukawa Circuit Foil Co., Ltd., trade name), etc., peelable copper foil of aluminum carrier can be used, or composite foil consisting of two or more metal layers that can be removed by etching etc. Can be used, carrier copper / nickel layer / ultra-thin copper 5
μm CCT-FOIL (manufactured by Nippon Electrolysis Co., Ltd.
Product name).

【0025】厚さ3〜9μmの金属箔には、市販のもの
では、極薄銅箔やアルミニウムキャリア付きの極薄銅
箔、あるいはピーラブル銅箔とよばれるキャリア銅70
μm/極薄銅9μmのDOUBLETHIN9/70
(古河サーキットフォイル株式会社製、商品名)等があ
り、また、銅(キャリア)/ニッケル合金(ストッパ)
/銅(極薄銅)の複合箔を用いる方法等があり、市販品
の複合箔としては、CCT−FOIL(日本電解株式会
社製、商品名)が使用できる。
In the case of a metal foil having a thickness of 3 to 9 μm, commercially available ultra-thin copper foil, ultra-thin copper foil with an aluminum carrier, or carrier copper 70
DOUBLETHIN 9/70 of μm / ultra-thin copper 9 μm
(Made by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd.) and copper (carrier) / nickel alloy (stopper)
/ Copper (ultra-thin copper) composite foil, and CCT-FOIL (trade name, manufactured by Nippon Electrolysis Co., Ltd.) can be used as a commercially available composite foil.

【0026】本発明の目的から、金属箔の厚さの精度
は、極めて重要であり、本発明者らが鋭意行った実験結
果から、電流保護素子の抵抗のばらつきを15%以下に
抑えるためには、金属箔の厚さの精度を±5%程度以内
にする必要があり、抵抗のばらつきを12%以下に抑え
るためには、金属箔の厚さの精度を±3%程度以内にす
る必要があるという知見を得ており、上記の極薄銅箔や
複合箔は、電解法や圧延法で製造され、その厚さ精度
は、一般的に入手できるものでも極めて良好であること
が、重量測定(複合箔では、極薄銅層を溶解して測定)
の結果、平均値に対して、同一ロット品では、±1%程
度であり、抵抗のばらつきを12%以下に抑えることは
十分に可能である。
For the purpose of the present invention, the accuracy of the thickness of the metal foil is extremely important. From the results of experiments conducted by the present inventors, it is necessary to reduce the variation in the resistance of the current protection element to 15% or less. Requires that the accuracy of the thickness of the metal foil be within ± 5%, and that the accuracy of the thickness of the metal foil be within ± 3% in order to suppress the variation in resistance to 12% or less. It has been found that the above-mentioned ultra-thin copper foil and composite foil are manufactured by an electrolytic method or a rolling method, and the thickness accuracy thereof is extremely good even if it is generally available. Measurement (for composite foil, measure by dissolving ultra-thin copper layer)
As a result, the average value is about ± 1% for the same lot product, and it is sufficiently possible to suppress the resistance variation to 12% or less.

【0027】このキャリア付き金属箔と第1の絶縁層と
を積層接着するには、空隙形成用の穴の開いた第1の絶
縁層とキャリア付き金属箔との間に、空隙形成用の穴を
開けた接着層を介挿し、この接着層により積層接着する
ことができ、このときに、第1の絶縁層と接着層の空隙
形成用の穴のズレを防ぐ意味からも、空隙形成用の穴を
開ける予定の第1の絶縁層の表面に接着層を形成し、同
時に空隙形成用の穴を開けた後、キャリア付き金属箔と
積層接着することが好ましい。この場合、第1の絶縁層
の表面に接着層を形成するには、半硬化状の接着層をプ
レスあるいはロールラミネーターを使用するか、あるい
は、第1の絶縁層の表面に接着層のワニスを塗工乾燥し
形成してもよい。
In order to laminate and bond the metal foil with carrier and the first insulating layer, a hole for forming a gap is provided between the first insulating layer having a hole for forming a gap and the metal foil with a carrier. Can be laminated and bonded by this adhesive layer. At this time, from the viewpoint of preventing the gap between the first insulating layer and the adhesive layer from forming the hole for forming the void, the gap for forming the void is also required. It is preferable to form an adhesive layer on the surface of the first insulating layer in which a hole is to be formed, and at the same time, after forming a hole for forming a void, to laminate and bond with a metal foil with a carrier. In this case, to form an adhesive layer on the surface of the first insulating layer, the semi-cured adhesive layer is pressed or roll-laminated, or a varnish of the adhesive layer is applied to the surface of the first insulating layer. It may be formed by coating and drying.

【0028】キャリア付き金属箔と、空隙形成用の穴の
開いた第1の絶縁層および第2の絶縁層と積層接着した
後、回路形成を効率よく行うためには、この空隙形成用
の穴を除去可能な樹脂で埋め込むことが好ましく、穴埋
め用の市販の樹脂として、SER−410CL(山栄化
学株式会社製、商品名)やSER−491B(山栄化学
株式会社製、商品名)などが使用でき、これらは、40
〜60℃の3〜5重量%NaOH水溶液で容易に除去で
き、回路形成後に除去することができる。
After laminating and bonding the metal foil with carrier and the first insulating layer and the second insulating layer each having a hole for forming a gap, in order to efficiently form a circuit, the holes for forming the gap are required. Is preferably embedded with a resin that can be removed. Examples of commercially available resin for filling holes include SER-410CL (trade name, manufactured by Yamaei Chemical Co., Ltd.) and SER-391B (trade name, manufactured by Yamaei Chemical Co., Ltd.). Can be used, these are 40
It can be easily removed with a 3 to 5% by weight aqueous NaOH solution at 6060 ° C., and can be removed after circuit formation.

【0029】(工程c)積層接着した金属箔を薄くする
には、厚めの金属箔を用いた場合、エッチング液によっ
て厚さ方向にエッチング除去して薄くすることが好まし
く、厚さ15μm以上の銅箔を3〜9μmまで、均一に
薄くするためのエッチング液としては、たとえば、金属
箔が好ましい銅箔であるときには、塩化銅、塩化鉄、ア
ルカリ性エッチング液、硫酸−過酸化水素系エッチング
液等の市販品が使用でき、膜厚の均一性に優れた硫酸−
過酸化水素系エッチング液が良く、市販品としては、パ
ーマエッチ(株式会社荏原電産製、商品名)、SE−0
7(三菱瓦斯化学株式会社製、商品名)等が好ましい。
(Step c) In order to reduce the thickness of the laminated and bonded metal foil, when a thicker metal foil is used, it is preferable to remove the metal foil by etching away in the thickness direction with an etchant, and to reduce the thickness of the copper foil to a thickness of 15 μm or more. Examples of the etchant for uniformly thinning the foil to 3 to 9 μm include copper chloride, iron chloride, an alkaline etchant, and a sulfuric acid-hydrogen peroxide etchant when a metal foil is a preferable copper foil. Commercially available sulfuric acid with excellent film thickness uniformity
Hydrogen peroxide-based etchants are good, and commercially available products include Permaetch (trade name, manufactured by Ebara Densan Co., Ltd.), SE-0
7 (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., trade name) and the like.

【0030】キャリア付き金属箔を用いる場合、薄くす
るには、キャリアを除去すればよく、積層接着した第1
の絶縁層からキャリアを除去するには、アルミニウムキ
ャリア付極薄銅箔やピーラブル銅箔の場合には、側面に
露出しているキャリアと3〜9μmの金属箔の境界に、
ナイフのような鋭利な刃先を食い込ませ、その断片を指
でつまんで引き剥がすようにして剥離することができ、
キャリア/ストッパ/極薄銅の複合箔の場合には、キャ
リアとストッパをそれぞれ化学エッチング液に浸漬した
り化学エッチング液をスプレー噴霧したりして、エッチ
ング除去することができる。
When a metal foil with a carrier is used, the carrier can be removed by removing the carrier, and the first laminated and adhered metal foil is used.
In order to remove the carrier from the insulating layer, in the case of an ultra-thin copper foil with an aluminum carrier or a peelable copper foil, at the boundary between the carrier exposed on the side and the metal foil of 3 to 9 μm,
You can cut off a sharp edge like a knife, pinch the fragment with your finger and peel it off,
In the case of a composite foil of carrier / stopper / ultra-thin copper, the carrier and the stopper can be etched and removed by immersing the carrier and the stopper in a chemical etching solution or spraying a chemical etching solution.

【0031】(工程c1)このときに、接続配線を厚く
するために、接続配線の箇所のみ残すようにすることが
でき、厚めの金属箔を用いる場合には、薄くエッチング
除去するときに、接続配線の形状にエッチングレジスト
を形成しておけばよく、キャリア付き金属箔を用いる場
合には、キャリアに金属を使用し、その金属をエッチン
グ除去するときに、同様に、エッチングレジストを接続
配線の形状に形成しておけば、キャリアを接続配線の形
状に形成できる。
(Step c1) At this time, in order to increase the thickness of the connection wiring, it is possible to leave only the portion of the connection wiring. It is sufficient to form an etching resist in the shape of the wiring, and when using a metal foil with a carrier, use a metal for the carrier and, when removing the metal by etching, similarly apply the etching resist to the shape of the connection wiring. In this case, the carrier can be formed in the shape of the connection wiring.

【0032】(工程d)金属箔の不要な箇所をエッチン
グ除去するには、エッチングレジスト用のインクをシル
クスクリーン印刷したり、エッチングレジスト用ドライ
フィルムをラミネートし、形成するレジストの形状に合
わせたフォトマスクを介して紫外線を露光・現像したり
して、エッチング除去しないで残す形状に形成し、化学
エッチング液に浸漬したり化学エッチング液をスプレー
噴霧したりして、エッチング除去することができ、複数
の電流保護素子と電極と電流保護素子の接続配線を形成
することができる。
(Step d) In order to remove unnecessary portions of the metal foil by etching, an ink for an etching resist is silk-screen printed, or a dry film for an etching resist is laminated, and the photo-resist is adjusted to the shape of the resist to be formed. By exposing and developing ultraviolet rays through a mask to form a shape that remains without being etched away, it can be etched and removed by dipping in a chemical etching solution or spraying a chemical etching solution. And the connection wiring between the electrode and the current protection element can be formed.

【0033】前工程で接続配線の箇所を厚く残さなかっ
た場合には、厚さを3〜9μmとした金属箔に、接続配
線の厚さが、10〜50μmの厚さとなるように、予め
めっきを行うこともでき、電極と電流保護素子との接続
信頼性が向上し好ましい。このようなめっきは、めっき
用レジストパターンを形成し、その後絶縁基板に貼り付
けられた厚さ3〜9μmの金属箔に、電極となる部分の
厚さが、10〜50μmの厚さとなるように、電気銅め
っきを行なうことによって可能である。
If the connection wiring is not thickly left in the previous step, a metal foil having a thickness of 3 to 9 μm is plated in advance so that the connection wiring has a thickness of 10 to 50 μm. Can be performed, and the connection reliability between the electrode and the current protection element is improved, which is preferable. Such plating is performed by forming a resist pattern for plating, and then forming a metal foil having a thickness of 3 to 9 μm attached to an insulating substrate so that the thickness of a portion serving as an electrode is 10 to 50 μm. This is possible by performing electrolytic copper plating.

【0034】(工程e)電流保護素子の位置に空隙を合
わせた第2の絶縁層と、第1の絶縁層と第2の絶縁層の
外側に重ねる、片面にのみ金属箔を貼り合わせた第3の
絶縁層には、プリプレグや樹脂フィルム等を用いること
ができ、使用できる市販のプリプレグとしては、GEA
−E−679N(日立化成工業株式会社製、商品名)等
が、また市販の樹脂フィルムとしては、GF3500
(日立化成工業株式会社製、商品名)等がある。空隙形
成用の穴の開いた第1の絶縁層および第2の絶縁層と第
3の絶縁層との接着には、空隙形成用の穴の開いた接着
層を用いて行うこともでき、それらの接着層の厚さは2
0〜200μmの範囲が好ましく、40〜100μmの
範囲がより好ましい。この層間接着層の厚さが20μm
未満であると、接続配線の埋め込みが不十分で、その後
の工程ではがれたりすることもあり、200μmを越え
ると、樹脂フローが大きくなり、空隙形成用の穴の箇所
にまで流れ込み、空隙がつぶれるおそれがある。層間接
着層の樹脂フローは、200μm以下であることが好ま
しく、この樹脂フローとは、厚さ50μmで直径5mm
の穴をあけた試料を、実際に使用する積層条件で加熱・
加圧したときに、穴の縁から穴内部に流れ出した樹脂の
距離のことをいう。
(Step e) A second insulating layer having a gap aligned with the position of the current protection element, and a second insulating layer having a metal foil bonded to only one surface, which is superimposed on the outside of the first insulating layer and the second insulating layer. For the insulating layer of No. 3, a prepreg, a resin film, or the like can be used. Commercially available prepregs include GEA
-E-679N (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), and GF3500 as a commercially available resin film.
(Trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.). The bonding between the first insulating layer and the second insulating layer having holes for forming voids and the third insulating layer may be performed using an adhesive layer having holes for forming voids. The thickness of the adhesive layer is 2
The range is preferably from 0 to 200 µm, more preferably from 40 to 100 µm. The thickness of this interlayer adhesive layer is 20 μm
If the thickness is less than 200, the connection wiring is insufficiently buried and may be peeled off in the subsequent steps. If the thickness exceeds 200 μm, the resin flow becomes large, flows into the hole for forming the void, and the void is crushed. There is a risk. The resin flow of the interlayer adhesive layer is preferably 200 μm or less, and this resin flow is 50 μm thick and 5 mm in diameter.
Heat the sample with the holes
When pressurized, it refers to the distance of the resin that has flowed into the hole from the edge of the hole.

【0035】その片面にのみ金属箔を貼り合わせた第3
の絶縁層を、金属層が外側となるように重ねて、積層接
着するには、その空隙形成用の穴のあいた接着層を挟ん
で重ね加圧・加熱することによって行うことができ、あ
るいは、第3の絶縁層にその空隙形成用の穴のあいた接
着層をラミネートしてから、加圧・加熱することによっ
て行うこともできる。
A third metal foil is adhered to only one side of the metal foil.
The insulating layer of the above, so that the metal layer is on the outside, can be performed by laminating and pressurizing and heating sandwiching the adhesive layer with holes for forming the gap, or It can also be performed by laminating an adhesive layer having holes for forming voids on the third insulating layer, and then applying pressure and heat.

【0036】(工程f)積層接着した物の接続配線の箇
所に電極用の穴をあけるには、通常の、数値制御のドリ
ルマシンによって行うことができる。
(Step f) A hole for an electrode can be made at a location of the connection wiring of the laminated and bonded object by a usual numerically controlled drill machine.

【0037】(工程g)めっきを行い、接続配線と金属
箔とを電気的に接続するには、通常の配線板のスルーホ
ールめっきを行う要領で行うことができ、スルーホール
内のスミアを除去するデスミア処理を行い、薄く無電解
めっきを行って電気めっきを行うか、あるいは、厚付け
無電解めっきを行うことによって達成でき、めっきの厚
さは、5〜50μm、より好ましくは10〜30μmの
範囲である。
(Step g) The plating and the electrical connection between the connection wiring and the metal foil can be carried out in the same manner as in a normal through-hole plating of a wiring board, and the smear in the through-hole is removed. Performing desmearing, or performing electroless plating by performing thin electroless plating, or can be achieved by performing thick electroless plating, and the plating thickness is 5 to 50 μm, more preferably 10 to 30 μm. Range.

【0038】(工程h)電極以外の箇所をエッチング除
去して電極を形成するには、電極の形状にエッチングレ
ジストを形成し、エッチングレジストに覆われていない
箇所を、化学エッチング液に浸漬するか、あるいは化学
エッチング液をスプレー噴霧して、エッチング除去する
ことによって行うことができる。
(Step h) In order to form an electrode by removing portions other than the electrode by etching, an etching resist is formed in the shape of the electrode, and a portion not covered with the etching resist is immersed in a chemical etching solution. Alternatively, the etching can be carried out by spraying a chemical etching solution to remove by etching.

【0039】(工程i)隣接する電流保護素子との間、
および穴の箇所で切断することによって、両端の電極を
形成した個々のチップ型電流保護素子に切り分けるに
は、回転刃を有するダイシングマシンによって行うこと
ができる。
(Step i) Between adjacent current protection elements:
In order to cut each chip-type current protection element in which electrodes at both ends are formed by cutting at the locations of the holes and holes, a dicing machine having a rotary blade can be used.

【0040】[0040]

【実施例】実施例1 (工程a)図1(a)に示すように、厚さ18μmの銅
箔を両面に貼り合わせた、厚さ0.2mmの両面銅張り
積層板であるMCL−E−679(日立化成工業株式会
社製、商品名)の両面の銅箔をエッチング除去した2枚
の絶縁板11、12を、それぞれ、第1の絶縁層と第2
の絶縁層とし、その片面に、樹脂フィルム3であるGF
3500(日立化成工業株式会社製、商品名)を、温度
80℃、時間10分、圧力30kgf/cm2のプレス
条件で、加熱・加圧して仮接着し、2枚の樹脂フィルム
付き絶縁板101、102を作製し、それぞれに、直径
0.8mmの空隙形成用の穴4をドリルマシンで開け
た。
EXAMPLE 1 (Step a) As shown in FIG. 1 (a), MCL-E is a 0.2 mm thick double-sided copper-clad laminate in which copper foil having a thickness of 18 μm is bonded to both sides. -679 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), the two insulating plates 11 and 12 obtained by etching and removing the copper foils on both surfaces of the first insulating layer and the second insulating layer, respectively.
GF, which is a resin film 3 on one side.
3500 (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name) was heated and pressed under a pressing condition of a temperature of 80 ° C., a time of 10 minutes, and a pressure of 30 kgf / cm 2 , and was temporarily bonded, and two insulating plates 101 with a resin film were used. , 102 were prepared, and a hole 4 having a diameter of 0.8 mm for forming a void was formed in each of the holes by a drill machine.

【0041】(工程b)図1(b)に示すように、厚さ
18μmの銅箔6であるNDGR−18(日本電解株式
会社製、商品名)と、樹脂フィルム付き絶縁板101と
を重ね合わせ、温度170℃、時間60分、圧力20k
gf/cm2の条件で、加熱・加圧し、積層一体化し、
さらに、穴埋め樹脂42であるSER−410CL(山
栄化学株式会社製、商品名)を、積層した基板の空隙形
成用の穴4に、シルクスクリーン印刷によって埋め込
み、更に埋め込んだ面に耐薬品性の保護フィルム41と
して、厚さ80μmのフィルムであるL1240H(日
立化成工業株式会社製、商品名)を貼り付けた。
(Step b) As shown in FIG. 1B, NDGR-18 (trade name, manufactured by Nippon Electrolysis Co., Ltd.), which is a copper foil 6 having a thickness of 18 μm, and an insulating plate 101 with a resin film are overlapped. Combined, temperature 170 ° C, time 60 minutes, pressure 20k
Under the condition of gf / cm 2 , heating and pressurizing, laminating and integrating,
Further, SER-410CL (trade name, manufactured by Yamaei Chemical Co., Ltd.), which is a filling resin 42, is embedded in the holes 4 for forming the gaps of the laminated substrate by silk-screen printing, and the embedded surface is chemically resistant. As the protective film 41, L1240H (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), a film having a thickness of 80 μm, was attached.

【0042】(工程c1)次に、図1(c1)に示すよ
うに、厚さ50μmのドライフィルムであるH−K45
0(日立化成工業株式会社製、商品名)を、銅箔6の表
面にラミネートし、接続配線71の箇所以外をマスクし
たフォトマスクを介して紫外線を照射し、現像して、接
続配線71の形状にエッチングレジストを形成し、エッ
チング液であるSE−07(三菱瓦斯化学株式会社製、
商品名)で、銅箔6を厚さ方向にエッチング除去し、接
続配線71の箇所が18μmで、それ以外の箇所が5μ
mになるように形成した。
(Step c1) Next, as shown in FIG. 1 (c1), H-K45 which is a dry film having a thickness of 50 μm is used.
No. 0 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) is laminated on the surface of the copper foil 6, irradiated with ultraviolet rays through a photomask masking portions other than the connection wiring 71, developed, and developed. An etching resist is formed in a shape, and an etching solution SE-07 (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
(Trade name), the copper foil 6 was etched away in the thickness direction, the connection wiring 71 was 18 μm, and the other portions were 5 μm.
m.

【0043】(工程d)続いて、図1(d)に示すよう
に、エッチングレジストを剥離した後、ドライフィルム
H−K450(日立化成工業株式会社製、商品名)を、
銅箔6の表面にラミネートし、電流保護素子8と接続配
線71の箇所以外をマスクしたフォトマスクを介して紫
外線を照射し、現像して、電流保護素子8と接続配線7
1の箇所を覆うように、エッチングレジストを形成し、
塩化銅エッチング液を用い、エッチングレジストに覆わ
れていない箇所をエッチング除去して、電流保護素子8
と接続配線71を形成した。このときに、図1(D)に
示すように、複数の電流保護素子8が接続配線71を挟
んで縦方向に直列となるように配列し、横方向にその配
列を平行に並ぶように整列した後、裏面の保護フィルム
41を剥がし、次いで60℃の4重量%NaOH水溶液
に浸漬し、空隙形成用の穴4内の穴埋め樹脂を溶解・除
去した。
(Step d) Subsequently, as shown in FIG. 1D, after the etching resist is removed, a dry film H-K450 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) is used.
It is laminated on the surface of the copper foil 6, irradiated with ultraviolet rays through a photomask masking portions other than the current protection element 8 and the connection wiring 71, developed, and developed.
An etching resist is formed so as to cover the first location,
Using a copper chloride etching solution, the portions not covered with the etching resist are removed by etching, and the current protection element 8 is removed.
And the connection wiring 71 were formed. At this time, as shown in FIG. 1 (D), the plurality of current protection elements 8 are arranged in series in the vertical direction with the connection wiring 71 interposed therebetween, and are arranged in the horizontal direction so as to be arranged in parallel. After that, the protective film 41 on the back surface was peeled off, and then immersed in a 4% by weight NaOH aqueous solution at 60 ° C. to dissolve and remove the filling resin in the holes 4 for forming the voids.

【0044】(工程e)図1(e)に示すように、電流
保護素子8と接続配線71を形成した基板と、樹脂フィ
ルム付き絶縁板102と、隙形成用の穴4の箇所に穴を
開けた樹脂フィルム3であるGF3500(日立化成工
業株式会社製、商品名)と、厚さ18μmの銅箔72を
片面に貼り合わせた厚さ0.2mmの片面銅張り積層板
111、112であるMCL−E−679(日立化成工
業株式会社製、商品名)2枚を、銅箔72を下にして片
面銅張り積層板111を置き、その上に、樹脂フィルム
3、絶縁板11を下にした電流保護素子8と接続配線7
1を形成した基板、樹脂フィルム3を下にした樹脂フィ
ルム付き絶縁板102、樹脂フィルム3、銅箔72を上
にした片面銅張り積層板112の順に、空隙形成用の穴
4が電流保護素子8の箇所になるように位置合わせして
重ね、温度180℃、時間60分、圧力50kgf/c
2の条件で加熱・加圧して積層一体化した。
(Step e) As shown in FIG. 1 (e), holes are formed at the positions of the substrate on which the current protection element 8 and the connection wiring 71 are formed, the insulating plate 102 with the resin film, and the holes 4 for forming the gaps. GF3500 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), which is an opened resin film 3, and single-sided copper-clad laminates 111 and 112 each having a thickness of 0.2 mm and a copper foil 72 having a thickness of 18 μm bonded to one side. Two pieces of MCL-E-679 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) are placed on a single-sided copper-clad laminate 111 with the copper foil 72 facing down, and the resin film 3 and the insulating plate 11 are placed thereon. Current protection element 8 and connection wiring 7
The hole 4 for forming a gap is formed by a current protection element in the order of the substrate on which the substrate 1 is formed, the insulating plate 102 with the resin film with the resin film 3 down, the resin film 3 and the single-sided copper-clad laminate 112 with the copper foil 72 up. 8 position, piled up, temperature 180 ° C, time 60 minutes, pressure 50kgf / c
The layers were integrated by heating and pressing under the conditions of m 2 .

【0045】(工程f)図1(f)に示すように、この
積層接着した基板の端部に設けた穴あけガイドの箇所
に、X線透視スコープ付き穴あけ機で、直径0.35m
mの穴をあけ、それを基準にして配置設計した電流保護
素子8の間を接続する接続配線71の箇所に直径0.7
mmの穴801をあけた。
(Step f) As shown in FIG. 1 (f), a hole having a diameter of 0.35 m was formed at the position of a drilling guide provided at the end of the laminated substrate by using a drilling machine with an X-ray fluoroscope.
and a hole 0.7 mm in diameter at the connection wiring 71 connecting between the current protection elements 8 arranged and designed based on the hole.
A hole 801 of mm was made.

【0046】(工程g)図1(g)に示すように、穴を
あけた基板に、無電解めっきの前処理を行い、無電解銅
めっき液であるL−59めっき液(日立化成工業株式会
社製、商品名)に、温度70℃で、12時間、浸漬し、
厚さ24μmの銅めっき73を形成した。
(Step g) As shown in FIG. 1 (g), a pre-process of electroless plating was performed on the holed substrate, and an L-59 plating solution as an electroless copper plating solution (Hitachi Chemical Industry Co., Ltd.) (Manufactured by the company, trade name) at 70 ° C for 12 hours,
Copper plating 73 having a thickness of 24 μm was formed.

【0047】(工程h)続いて、図1(h)に示すよう
に、ドライフィルムH−K450(日立化成工業株式会
社製、商品名)を、めっきした銅箔の表面にラミネート
し、穴801の箇所に形成する電極7の箇所以外をマス
クしたフォトマスクを介して紫外線を照射し、現像し
て、電極7の箇所を覆うように、エッチングレジストを
形成し、塩化銅エッチング液を用い、エッチングレジス
トに覆われていない箇所をエッチング除去して、複数の
電極7を形成した。このときの電極7の配列は、図1
(i)に示すように、縦・横方向に配列した。
(Step h) Subsequently, as shown in FIG. 1H, a dry film H-K450 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) was laminated on the surface of the plated copper foil, and holes 801 were formed. UV light is irradiated through a photomask that masks other than the location of the electrode 7 to be formed at the location of the electrode 7 and developed, an etching resist is formed so as to cover the location of the electrode 7, and etching is performed using a copper chloride etching solution. A plurality of electrodes 7 were formed by etching away portions not covered with the resist. The arrangement of the electrodes 7 at this time is shown in FIG.
As shown in (i), they were arranged vertically and horizontally.

【0048】(工程i)図1(i)に示すように、電流
保護素子8と接続配線71とが接続されるように配列さ
れた方向においては、穴801を分割するように切断
し、それと直行する方向においては、隣接する電流保護
素子8の間を切断し、電極7をその両端に形成した個々
のチップ型電流保護素子に切り分けた。
(Step i) As shown in FIG. 1 (i), in the direction in which the current protection element 8 and the connection wiring 71 are arranged so as to be connected, the hole 801 is cut so as to be divided. In the perpendicular direction, the space between the adjacent current protection elements 8 was cut, and the electrodes 7 were cut into individual chip-type current protection elements formed at both ends thereof.

【0049】比較例1 樹脂フィルム付き絶縁板101、102に空隙形成用の
穴4を形成しない以外には実施例1と同様にして、チッ
プ型電流保護素子を作製した。
Comparative Example 1 A chip-type current protection element was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the holes 4 for forming voids were not formed in the insulating plates 101 and 102 with a resin film.

【0050】比較例2 銅箔6を薄くしない以外は実施例1と同様にして、チッ
プ型電流保護素子を作製した。
Comparative Example 2 A chip-type current protection device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the copper foil 6 was not thinned.

【0051】実施例及び比較例で作製したチップ型電流
保護素子は、抵抗値が約100mΩになるようにそれぞ
れ回路形成を行った。 (抵抗値)100個づつ無作為に抽出し、抵抗値を測定
し、抵抗値が範囲内(±10%以内)のチップ型電流保
護素子の数を数えた。 (溶断時間)抵抗値が上記の範囲内のもの100個につ
いてのみ溶断時間を測定した。なお、溶断電流値は1.
6Aであり、オシロスコープによりラッシュカレントが
発生しないように電圧値を調整し、溶断試験を行った。 (残留抵抗値)溶断した後の抵抗値を測定し、1MΩ以
上の数を数えた。 (発火・発煙)溶断試験中、発火・発煙の有無を目視で
チェックし、発火・発煙のないものの数を数えた。結果
を表1に示す。
Circuits were formed on the chip-type current protection elements manufactured in the examples and comparative examples so that the resistance value was about 100 mΩ. (Resistance value) 100 resistances were extracted at random, the resistance value was measured, and the number of chip-type current protection elements having a resistance value within a range (within ± 10%) was counted. (Fusing time) Fusing time was measured only for 100 pieces having a resistance value within the above range. The fusing current value is 1.
6A, and the fusing test was performed by adjusting the voltage value so that no rush current was generated by the oscilloscope. (Residual resistance value) The resistance value after fusing was measured, and the number of 1 MΩ or more was counted. (Ignition / smoke) During the fusing test, the presence or absence of ignition / smoke was visually checked, and the number of those without ignition / smoke was counted. Table 1 shows the results.

【0052】[0052]

【表1】 [Table 1]

【0053】この結果を見ると、実施例では、ヒューズ
素子の抵抗値のばらつきが少なく、溶断特性に優れてい
るのに対し、比較例1の空隙形成用の穴が存在しない場
合は、残留抵抗が数KΩのものがあり、また発煙するも
のも認められ、また、比較例2の厚めの銅箔を用いた場
合には、実施例と同じ抵抗値にするには電流保護素子8
の回路幅を25μm程度に形成する必要があるが、エッ
チング加工による精度が追いつかず、抵抗値が大きくば
らつき、また、選別しても溶断時間のばらつきが大きか
った。
From these results, it can be seen that, in the example, the variation in the resistance value of the fuse element was small and the fusing characteristics were excellent. Of several kilohms, and smoke was also observed. When the thick copper foil of Comparative Example 2 was used, the current protection element 8 was used to obtain the same resistance value as in the example.
It was necessary to form the circuit width of about 25 μm, but the precision by the etching process could not catch up, the resistance value largely fluctuated, and the fusing time fluctuated greatly even after sorting.

【0054】[0054]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によっ
て、電流保護素子の形成精度(配線の厚さ、幅)に優
れ、放熱の抑制、および発煙、発火の抑制に優れ、さら
に、溶断後の絶縁抵抗が高く信頼性の高いチップ型電流
保護素子とその製造法を提供することができる。
As described above, according to the present invention, the current protection element is excellent in forming accuracy (thickness and width of wiring), is excellent in suppressing heat radiation, and suppressing smoke and ignition, and further, after fusing. And a highly reliable chip-type current protection element having high insulation resistance and a method of manufacturing the same.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a),(b),(c1),(d)〜(h)
は、それぞれ本発明の一実施例を示す各工程における断
面図であり、(D)は(d)の上面図であり、(i)は
上面図である。
FIG. 1 (a), (b), (c1), (d) to (h)
FIGS. 3A and 3B are cross-sectional views in respective steps showing one embodiment of the present invention, FIG. 4D is a top view of FIG. 4D, and FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11.12.絶縁板 101、102.樹脂フィルム付き絶縁板 111、112.片面銅張り積層板 3.樹脂フィルム 4.空隙形成用の穴 41.保護フィルム 42.穴埋め樹脂 6.銅箔 7.電極 71.接続配線 72.銅箔 73.銅めっき 8.電流保護素子 801.穴 11.12. Insulating plate 101, 102. Insulating plate with resin film 111, 112. 2. Single-sided copper-clad laminate Resin film 4. Hole for forming void 41. Protective film 42. Filling resin 6. Copper foil 7. Electrode 71. Connection wiring 72. Copper foil 73. Copper plating 8. Current protection element 801. hole

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】a.2枚の空隙形成用の穴の開いた第1の
絶縁層と第2の絶縁層を製作する工程、 b.金属箔を、第1の絶縁層と積層接着する工程、 c.金属箔を3〜9μmの厚さになるように薄くする工
程、 d.金属箔の不要な箇所をエッチング除去することによ
って、空隙形成用の穴の箇所に電流保護素子が位置する
ように、複数の電流保護素子と電極と電流保護素子の接
続配線を形成する工程、 e.電流保護素子の位置に空隙形成用の穴を合わせた第
2の絶縁層と、第1の絶縁層と第2の絶縁層の外側に、
2枚の片面にのみ金属箔を貼り合わせた第3の絶縁層
を、接着層を介して、金属層が外側となるように重ね
て、積層接着する工程、 f.積層接着した物の接続配線の箇所に電極用の穴をあ
ける工程、 g.めっきを行い、接続配線と金属箔とを電気的に接続
する工程、 h.電極以外の箇所をエッチング除去して電極を形成す
る工程、 i.隣接する電流保護素子との間、および穴の箇所で切
断することによって、両端の電極を形成した個々のチッ
プ型電流保護素子に切り分ける工程、からなることを特
徴とするチップ型電流保護素子の製造法。
1. A method comprising: a. Manufacturing a first insulating layer and a second insulating layer having two holes for forming gaps, b. Laminating and bonding the metal foil to the first insulating layer; c. Thinning the metal foil to a thickness of 3-9 μm, d. Forming a plurality of current protection elements, electrodes, and connection wiring between the electrodes and the current protection element such that the unnecessary parts of the metal foil are removed by etching so that the current protection elements are located at the positions of the holes for forming voids; e. . A second insulating layer in which a hole for forming a gap is aligned with the position of the current protection element, and a first insulating layer and an outer side of the second insulating layer,
A step of laminating a third insulating layer having a metal foil bonded to only one side thereof with an adhesive layer so that the metal layer is on the outside, and laminating and bonding; f. Making a hole for an electrode at a location of the connection wiring of the laminated and bonded object; g. Plating and electrically connecting the connection wiring and the metal foil; h. Forming an electrode by etching away portions other than the electrode, i. Manufacturing a chip-type current protection element characterized by comprising a step of cutting into individual chip-type current protection elements in which electrodes at both ends are formed by cutting between adjacent current protection elements and at locations of holes. Law.
【請求項2】a.2枚の空隙形成用の穴の開いた第1の
絶縁層と第2の絶縁層を製作する工程、 b.金属箔を、第1の絶縁層と積層接着する工程、 c1.金属箔の接続配線となる箇所以外の箇所を3〜9
μmの厚さになるように薄くする工程、 d.金属箔の不要な箇所をエッチング除去することによ
って、空隙形成要の穴のの箇所に電流保護素子が位置す
るように、複数の電流保護素子と電極と電流保護素子の
接続配線を形成する工程、 e.電流保護素子の位置に空隙形成用の穴を合わせた第
2の絶縁層と、第1の絶縁層と第2の絶縁層の外側に、
2枚の片面にのみ金属箔を貼り合わせた第3の絶縁層
を、接着層を介して、金属層が外側となるように重ね
て、積層接着する工程、 f.積層接着した物の接続配線の箇所に電極用の穴をあ
ける工程、 g.めっきを行い、接続配線と金属箔とを電気的に接続
する工程、 h.電極以外の箇所をエッチング除去して電極を形成す
る工程、 i.隣接する電流保護素子との間、および穴の箇所で切
断することによって、両端の電極を形成した個々のチッ
プ型電流保護素子に切り分ける工程、からなることを特
徴とするチップ型電流保護素子の製造法。
2. a. Manufacturing a first insulating layer and a second insulating layer having two holes for forming gaps, b. Laminating and bonding the metal foil to the first insulating layer; c1. 3 to 9 places other than the place to be the connection wiring of the metal foil
thinning to a thickness of μm, d. Forming a plurality of current protection elements, electrodes, and connection wiring of the current protection element by etching and removing unnecessary portions of the metal foil so that the current protection elements are located at the locations of the holes where the voids are required; e. A second insulating layer in which a hole for forming a gap is aligned with a position of the current protection element, and a first insulating layer and an outer side of the second insulating layer,
A step of stacking and laminating a third insulating layer in which a metal foil is stuck on only one side of the two sheets via an adhesive layer such that the metal layer is on the outside, f. Making a hole for an electrode at a location of the connection wiring of the laminated and bonded object; g. Plating and electrically connecting the connection wiring and the metal foil; h. Forming an electrode by etching away portions other than the electrode, i. Manufacturing a chip-type current protection element characterized by comprising a step of cutting into individual chip-type current protection elements in which electrodes at both ends are formed by cutting between adjacent current protection elements and at locations of holes. Law.
【請求項3】金属箔が、キャリア付き金属箔であって、
10〜50μmの範囲の厚さの第1の銅層と、3〜9μ
mの範囲の厚さの第2の銅層と、その2つの銅層の中間
層として厚さが1μm以下のニッケルあるいはその合金
層を有する複合金属箔を用いることを特徴とする請求項
1または2に記載のチップ型電流保護素子の製造法。
3. The metal foil is a metal foil with a carrier,
A first copper layer having a thickness in the range of 10 to 50 μm;
2. A composite metal foil comprising a second copper layer having a thickness in the range of m and a nickel or alloy layer thereof having a thickness of 1 μm or less as an intermediate layer between the two copper layers. 3. The method for manufacturing a chip-type current protection device according to item 2.
【請求項4】キャリアを除去した後、厚さ3〜9μmの
金属箔に、接続配線の厚さが、10〜50μmの厚さと
なるように、予めめっきを行う工程を有することを特徴
とする請求項1に記載のチップ型電流保護素子の製造
法。
4. The method according to claim 1, further comprising a step of plating the metal foil having a thickness of 3 to 9 μm after the carrier is removed so that the thickness of the connection wiring is 10 to 50 μm. A method for manufacturing the chip-type current protection device according to claim 1.
【請求項5】第1の絶縁層と第2の絶縁層に第3の絶縁
層を接着する接着層に、樹脂フローが200μm以下で
ある樹脂を用いることを特徴とする請求項1〜4のうち
いずれかに記載のチップ型電流保護素子の製造法。
5. The method according to claim 1, wherein a resin having a resin flow of 200 μm or less is used as an adhesive layer for bonding the third insulating layer to the first insulating layer and the second insulating layer. A method for manufacturing the chip-type current protection device according to any one of the above.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008244342A (en) * 2007-03-28 2008-10-09 Mitsubishi Materials Corp Thin-film thermistor and method of manufacturing thin-film thermistor

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