JP2000018914A - Optical system round hole measuring method - Google Patents

Optical system round hole measuring method

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JP2000018914A
JP2000018914A JP10183614A JP18361498A JP2000018914A JP 2000018914 A JP2000018914 A JP 2000018914A JP 10183614 A JP10183614 A JP 10183614A JP 18361498 A JP18361498 A JP 18361498A JP 2000018914 A JP2000018914 A JP 2000018914A
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JP
Japan
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round hole
hole
coordinates
measurement
laser spot
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JP10183614A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsunori Ishiguro
克則 石黒
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Aisin Takaoka Co Ltd
Original Assignee
Aisin Takaoka Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a method of measuring the center position and the diameter of a round hole, in a short time. SOLUTION: A round hole 3 formed in a flange surface 5 and the flange surface except the round hole 3 are scanned with a laser spot 9. A first measurement line 22 set on the flange surface 5 is scanned with the laser spot 9. From the information of a reflected light which is detected, coordinates 28, 29 of both the first ends of the round hole 3 on the first measurement line 22 are obtained. A second measurement line 30 which is set so as to intersect the first measurement line 22 is scanned with the laser spot 9. From the information of a reflected light which is detected, coordinates 36, 37 of both the second ends of the round hole 3 are obtained. On the basis of the coordinates 28, 29 of both the first ends and coordinates 36, 37 of both the second ends, the center position and the diameter of the round hole 3 are obtained.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、丸孔の孔中心位置
及び孔径を測定する方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for measuring a hole center position and a hole diameter of a round hole.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、レーザスポットを丸孔と該丸
孔以外の測定面とに走査し、該測定面で反射した該レー
ザスポットの反射光を用いて該丸孔の孔中心位置と孔径
とを測定する方法が知られており、例えば、測定面に半
導体レーザ光を照射して、その反射光を再び半導体レー
ザの光放射部分に戻しながら半導体レーザの放射光強度
を連続的に調べることにより、自動的に丸孔の孔径及び
孔中心位置を測定する方法がある(特開昭57−171
205号公報)。
2. Description of the Related Art Conventionally, a laser spot is scanned over a round hole and a measurement surface other than the round hole, and the hole center position and the hole diameter of the round hole are determined by using the reflected light of the laser spot reflected by the measurement surface. It is known to irradiate a measuring surface with a semiconductor laser beam, and continuously examine the intensity of the radiated light of the semiconductor laser while returning the reflected light to the light emitting portion of the semiconductor laser. Automatically measures the hole diameter and hole center position of a round hole (Japanese Patent Laid-Open No. 57-171).
No. 205).

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の測
定方法は、丸孔全面を一方向に所定間隔で多数回走査し
て該走査毎の丸孔の両端間距離を検出し、それら検出し
た多数の両端間距離の最大値を該丸孔の孔径とし、次い
で該方向と直交する他方向の孔径を同様にして決定し、
該一方向において孔径を決定する丸孔両端部の座標位置
と該他方向において孔径を決定する丸孔両端部の座標位
置とから孔中心位置を知るため、孔径及び孔中心位置の
測定に長時間を要するという問題点がある。そこで、本
発明は係る問題点を解決するためになされたものであ
り、短時間で丸孔の孔径及び孔中心位置を測定すること
のできる光学式丸孔測定方法を提供することを課題とす
る。
However, in the above-mentioned conventional measuring method, the entire surface of the round hole is scanned a plurality of times at predetermined intervals in one direction, and the distance between both ends of the round hole for each scan is detected. The maximum value of the distance between both ends is the hole diameter of the round hole, and then the hole diameter in the other direction orthogonal to the direction is similarly determined,
In order to know the hole center position from the coordinate positions of both ends of the round hole that determines the hole diameter in the one direction and the coordinate positions of both ends of the round hole that determine the hole diameter in the other direction, it takes a long time to measure the hole diameter and the hole center position. Is required. Then, this invention is made in order to solve such a problem, and makes it a subject to provide the optical round hole measuring method which can measure the hole diameter and hole center position of a round hole in a short time. .

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は、被測定物に形
成した丸孔と該丸孔以外の測定面とにレーザスポットを
走査し、該測定面で反射した該レーザスポットの反射光
を用いて該丸孔の孔中心位置及び孔径を測定する光学式
丸孔測定方法において、該丸穴と該丸穴以外の測定面と
を通る第1測定線上に該レーザスポットを走査して検出
した反射光の情報から該第1測定線上における該丸孔の
両端の座標である第1両端座標を取得し、該丸穴と該丸
穴以外の測定面とを通り、かつ該第1測定線と交差する
第2測定線上に該レーザスポットを走査して検出した反
射光の情報から該第2測定線上における該丸孔の両端の
座標である第2両端座標を取得し、該第1両端座標と該
第2両端座標とに基づいて該丸孔の孔中心位置及び孔径
を取得する。
According to the present invention, a laser spot is scanned over a circular hole formed in an object to be measured and a measuring surface other than the circular hole, and reflected light of the laser spot reflected by the measuring surface is reflected. In the optical round hole measuring method of measuring the hole center position and the hole diameter of the round hole by using, the laser spot was detected by scanning the laser spot on a first measurement line passing through the round hole and a measurement surface other than the round hole. First coordinates of both ends of the round hole on the first measurement line are acquired from information of the reflected light, and the first measurement line passes through the round hole and a measurement surface other than the round hole, and From the information of the reflected light detected by scanning the laser spot on the intersecting second measurement line, second end coordinates which are coordinates of both ends of the round hole on the second measurement line are obtained, and the first end coordinates are obtained. A hole center position and a hole diameter of the round hole are obtained based on the second end coordinates.

【0005】上記方法で取得した第1両端座標と第2両
端座標とから該第1〜2両端座標が同時に存在する平面
を決定し、該平面上で、該第1両端座標を互いに結ぶ線
分の垂直2等分線と該第2両端座標を互いに結ぶ線分の
垂直2等分線とを求め、これら2つの垂直2等分線の交
点座標を求めることにより丸孔の孔中心位置を取得す
る。孔中心座標と第1両端座標又は第2両端座標のうち
のいずれか一つの座標との距離を求め2倍することによ
り、孔径を取得することができる。
[0005] From the first end coordinates and the second end coordinates obtained by the above method, a plane on which the first and second end coordinates are simultaneously located is determined, and a line segment connecting the first end coordinates to each other is determined on the plane. And the vertical bisector of the line connecting the second end coordinates to each other, and obtaining the coordinates of the intersection of these two vertical bisectors to obtain the hole center position of the round hole I do. The hole diameter can be obtained by obtaining and doubling the distance between the hole center coordinates and any one of the first and second end coordinates.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】第1測定線と第2測定線とは、丸
孔の内部で交差してもよく、丸孔の外部で交差してもよ
い。両測定線は、実際に走査した線上で交差してもよ
く、走査範囲の外で交差してもよい。第1測定線と第2
測定線との交差角度は特に問題とされないが、孔中心位
置及び孔径の測定精度を向上させる観点から交差角度は
10〜170°であることが望ましく、30〜150°
であることがさらに望ましく、60〜120°であるこ
とが一層望ましい。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The first measurement line and the second measurement line may intersect inside the round hole or may cross outside the round hole. Both measurement lines may intersect on the line actually scanned, or may intersect outside the scanning range. First measurement line and second measurement line
Although the intersection angle with the measurement line is not particularly problematic, the intersection angle is desirably 10 to 170 °, and preferably 30 to 150 °, from the viewpoint of improving the measurement accuracy of the hole center position and the hole diameter.
Is more preferable, and more preferably 60 to 120 °.

【0007】[0007]

【実施例】以下、本発明の実施例について図1〜5に基
づいて説明する。図1は、排気マニホルド1の出口フラ
ンジ2に形成された丸孔3の孔中心位置と孔径とを、レ
ーザ式距離センサ4を用いて測定する際の、丸孔3とレ
ーザ式距離センサ4との位置関係を示す図である。出口
フランジ2のフランジ面5は、図1中矢印で示すY軸方
向と平行に配設され、Y軸方向と垂直なZ軸方向に対し
ては僅かに傾きをもって配設されている。レーザ式距離
センサ4の測定面8は、フランジ面5に対向し、かつZ
軸と平行に配設されている。測定面8の上部には投光部
6が設けられ、投光部6から投光されたレーザスポット
9がフランジ面5上で反射し、反射光が測定面8下部に
設けられた受光部7で受光される。レーザ式距離センサ
4は、固定板10及び連結ロッド11を介してロボット
アーム12(図2)に接続されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 is a diagram showing the relationship between the center of the hole 3 and the diameter of the hole 3 formed in the outlet flange 2 of the exhaust manifold 1 using the laser distance sensor 4. It is a figure which shows the positional relationship of. The flange surface 5 of the outlet flange 2 is provided in parallel with the Y-axis direction indicated by the arrow in FIG. 1 and is provided with a slight inclination with respect to the Z-axis direction perpendicular to the Y-axis direction. The measurement surface 8 of the laser type distance sensor 4 faces the flange surface 5 and
It is arranged parallel to the axis. A light projecting unit 6 is provided above the measurement surface 8, a laser spot 9 projected from the light projecting unit 6 is reflected on the flange surface 5, and the reflected light is received by a light receiving unit 7 provided below the measurement surface 8. Is received at. The laser type distance sensor 4 is connected to a robot arm 12 (FIG. 2) via a fixed plate 10 and a connecting rod 11.

【0008】図2は、図1に記載したレーザ式距離セン
サ4から出力される出力信号の処理系を示すブロック図
である。レーザ式距離センサ4で受光した反射光の信号
が反射信号線13を経て信号処理装置14に入力され
る。信号処理装置14は、入力された情報をレーザ式距
離センサ4とフランジ面5との間の距離情報に変換し、
その距離情報を距離信号線15を介してコンピュータ1
6に出力する。レーザ式距離センサ4が連結されたロボ
ットアーム12は、第1制御信号線17を介してロボッ
トアーム制御装置18に接続されている。ロボットアー
ム制御装置18は、ロボットアーム12の動きを制御す
ると共に、ロボットアーム12の制御信号を第2制御信
号線19を介してコンピュータ16に出力する。コンピ
ュータ16は、信号処理装置14から入力された距離情
報と、ロボットアーム制御装置18から入力されたロボ
ットアーム12の制御情報とに基づいてフランジ面5上
におけるレーザスポット投光部位の座標位置を演算し、
演算結果に基づいて丸孔の孔中心位置及び孔径を取得す
る。コンピュータ16はモニタ信号線20を介してモニ
タ装置21と接続されている。モニタ装置21は、コン
ピュータ16に入力された距離情報、レーザスポット投
光部位の座標、孔中心位置、孔径等の各種情報を必要に
応じて表示する。
FIG. 2 is a block diagram showing a processing system for an output signal output from the laser distance sensor 4 shown in FIG. The signal of the reflected light received by the laser distance sensor 4 is input to the signal processing device 14 via the reflected signal line 13. The signal processing device 14 converts the input information into distance information between the laser distance sensor 4 and the flange surface 5,
The distance information is transmitted to the computer 1 via the distance signal line 15.
6 is output. The robot arm 12 to which the laser type distance sensor 4 is connected is connected to a robot arm control device 18 via a first control signal line 17. The robot arm controller 18 controls the movement of the robot arm 12 and outputs a control signal of the robot arm 12 to the computer 16 via a second control signal line 19. The computer 16 calculates the coordinate position of the laser spot projection part on the flange surface 5 based on the distance information input from the signal processing device 14 and the control information of the robot arm 12 input from the robot arm control device 18. And
The hole center position and the hole diameter of the round hole are acquired based on the calculation result. The computer 16 is connected to a monitor device 21 via a monitor signal line 20. The monitor device 21 displays various information such as the distance information, the coordinates of the laser spot projection area, the hole center position, the hole diameter, and the like input to the computer 16 as necessary.

【0009】次に、本発明の光学式丸孔測定方法につい
て説明する。排気マニホルド1を固定装置(図示せず)
により固定した後、レーザ式距離センサ4の投光部6か
らレーザスポット9をフランジ面5上に投光し、レーザ
式距離センサ4をY軸方向に移動させた際にレーザスポ
ット9が丸孔3上を通過するようにレーザ式距離センサ
4の初期位置を設定する。レーザ式距離センサ4の初期
位置におけるロボットアーム12の制御情報をロボット
アーム制御装置18からコンピュータ16に出力すると
共に、初期位置におけるフランジ面5上のレーザスポッ
ト投光部位とレーザ式距離センサ4との間の距離情報を
信号処理装置14からコンピュータ16に出力し、該制
御情報及び該距離情報に基づいてレーザ式距離センサ4
の初期位置におけるフランジ面5上レーザスポット9投
光部位の位置を求め、その位置を座標原点に設定する。
Next, the optical round hole measuring method of the present invention will be described. Fixing device for exhaust manifold 1 (not shown)
Then, the laser spot 9 is projected onto the flange surface 5 from the light projecting portion 6 of the laser type distance sensor 4, and when the laser type distance sensor 4 is moved in the Y-axis direction, the laser spot 9 is rounded. The initial position of the laser type distance sensor 4 is set so as to pass over the area 3. The control information of the robot arm 12 at the initial position of the laser distance sensor 4 is output from the robot arm control device 18 to the computer 16, and the laser spot projection portion on the flange surface 5 at the initial position and the laser distance sensor 4 The distance information between the two is output from the signal processing device 14 to the computer 16 and the laser type distance sensor 4 is output based on the control information and the distance information.
At the initial position of the laser spot 9 on the flange surface 5 is determined, and the position is set as the coordinate origin.

【0010】次に、ロボットアーム制御装置18により
ロボットアーム12を制御し、図1中のY軸に沿ってレ
ーザ式距離センサ4を移動させる。図3に示すように、
Y軸と平行な第1測定線22上でレーザスポット9を走
査し、フランジ面5で反射したレーザスポット9の反射
光をレーザ式距離センサ4の受光部7で受光し、該反射
光の情報を信号処理装置14を介してコンピュータ16
に出力する。
Next, the robot arm 12 is controlled by the robot arm controller 18 to move the laser type distance sensor 4 along the Y axis in FIG. As shown in FIG.
The laser spot 9 is scanned on the first measurement line 22 parallel to the Y axis, and the light reflected by the laser spot 9 reflected by the flange surface 5 is received by the light receiving section 7 of the laser type distance sensor 4, and information on the reflected light is obtained. To the computer 16 via the signal processing device 14.
Output to

【0011】信号処理装置14からコンピュータ16に
入力される情報を図4に示す。図4の横軸は、レーザス
ポット9を第1測定線上で走査する際の経過時間であ
り、縦軸は、レーザスポット9投光部位におけるフラン
ジ面5とレーザ式距離センサ4との間の距離である。図
4中、凹部23はレーザ式距離センサ4の受光部7にお
いて反射光を受光できなかった部分であり、丸孔3部分
を走査する際に形成される。凹部23上端の一対のエッ
ジ部24、25が第1測定線上22における丸孔3の両
端部26、27を示す。コンピュータ16では、ロボッ
トアーム制御装置18から入力されるロボットアーム1
2の移動速度に関する情報と、信号処理装置14から入
力されるフランジ面5とレーザ式距離センサ4との間の
距離の経時変化に関する情報とから、予め設定された座
標原点に対するレーザスポット投光部位の位置座標を演
算し、第1測定線22上における丸孔3の両端部26、
27の位置座標である第1両端座標28、29を取得す
る。
FIG. 4 shows information input from the signal processing device 14 to the computer 16. The horizontal axis of FIG. 4 is the elapsed time when the laser spot 9 is scanned on the first measurement line, and the vertical axis is the distance between the flange surface 5 and the laser distance sensor 4 at the spot where the laser spot 9 is projected. It is. In FIG. 4, a concave portion 23 is a portion where the light receiving portion 7 of the laser type distance sensor 4 cannot receive the reflected light, and is formed when scanning the round hole 3 portion. A pair of edge portions 24 and 25 at the upper end of the concave portion 23 indicate both end portions 26 and 27 of the round hole 3 on the first measurement line 22. In the computer 16, the robot arm 1 input from the robot arm control device 18
2 based on the information on the moving speed of the laser spot 2 and the information on the temporal change of the distance between the flange surface 5 and the laser distance sensor 4 input from the signal processing device 14, Are calculated, and both ends 26 of the round hole 3 on the first measurement line 22 are calculated.
First end coordinates 28 and 29, which are position coordinates of 27, are acquired.

【0012】第1測定線22上でのレーザスポット9の
走査が終了した後、Z軸と平行な第2測定線30上でレ
ーザスポット9を走査し、フランジ面5で反射したレー
ザスポット9の反射光をレーザ式距離センサ4の受光部
7で受光し、該反射光の情報を信号処理装置14を介し
てコンピュータ16に出力する。
After the scanning of the laser spot 9 on the first measurement line 22 is completed, the laser spot 9 is scanned on a second measurement line 30 parallel to the Z axis, and the laser spot 9 reflected on the flange surface 5 is scanned. The reflected light is received by the light receiving section 7 of the laser type distance sensor 4, and information on the reflected light is output to the computer 16 via the signal processing device 14.

【0013】信号処理装置14からコンピュータ16に
入力される情報を図5に示す。図5の横軸は、レーザス
ポット9をフランジ面5の第2測定線30上で走査する
際の経過時間であり、縦軸は、レーザスポット9投光部
位におけるフランジ面5とレーザ式距離センサ4との間
の距離である。図5中、凹部31はレーザ式距離センサ
4の受光部7において反射光を受光できなかった部分で
あり、丸孔3部分を走査する際に形成される。凹部31
上端の一対のエッジ部32、33が第2測定線30上に
おける丸孔3の両端部34、35を示す。コンピュータ
16では、ロボットアーム制御装置18から入力される
ロボットアーム12の移動速度に関する情報と、信号処
理装置14から入力されるフランジ面5とレーザ式距離
センサ4との間の距離の経時変化に関する情報とから、
予め設定された座標原点に対する投光部位の位置座標を
演算し、第2測定線30上における丸孔3の両端部3
4、35の位置座標である第2両端座標36、37を取
得する。
FIG. 5 shows information input from the signal processing device 14 to the computer 16. The horizontal axis in FIG. 5 is the elapsed time when the laser spot 9 is scanned on the second measurement line 30 of the flange surface 5, and the vertical axis is the distance between the flange surface 5 and the laser type distance sensor at the spot where the laser spot 9 is projected. 4. In FIG. 5, a concave portion 31 is a portion where the light receiving portion 7 of the laser type distance sensor 4 cannot receive the reflected light, and is formed when scanning the round hole 3 portion. Recess 31
A pair of edge portions 32 and 33 at the upper end indicate both end portions 34 and 35 of the round hole 3 on the second measurement line 30. In the computer 16, information on the moving speed of the robot arm 12 input from the robot arm control device 18 and information on the temporal change in the distance between the flange surface 5 and the laser distance sensor 4 input from the signal processing device 14. And from
The position coordinates of the light projecting part with respect to a preset coordinate origin are calculated, and both ends 3 of the round hole 3 on the second measurement line 30 are calculated.
The second end coordinates 36 and 37 which are the position coordinates of 4 and 35 are acquired.

【0014】コンピュータ16では、第1両端座標2
8、29と第2両端座標36、37とに基づき、第1〜
2両端座標28、29、36、37を含む平面が決定さ
れ、該平面上において、第1両端座標28、29を互い
に結ぶ線分の垂直2等分線38と第2両端座標36、3
7を互いに結ぶ線分の垂直2等分線39とを求め、これ
ら2つの垂直2等分線38、39の交点を求めることに
より丸孔3の孔中心座標40を孔中心位置として取得す
る。孔中心座標40と第1両端座標28、29又は第2
両端座標36、37のうちのいずれか一つの座標(図3
中では座標37)との距離を求め2倍することにより、
孔径を取得することができる。
In the computer 16, the first end coordinate 2
8, 29 and the second end coordinates 36, 37,
A plane including the two end coordinates 28, 29, 36, and 37 is determined. On this plane, a vertical bisector 38 of a line connecting the first end coordinates 28 and 29 and the second end coordinates 36, 3
7 is obtained, and the intersection of these two perpendicular bisectors 38 and 39 is obtained to obtain the hole center coordinates 40 of the round hole 3 as the hole center position. Hole center coordinates 40 and first end coordinates 28, 29 or second
One of the coordinates 36, 37 at both ends (FIG. 3
By calculating the distance to the coordinates 37) and doubling it,
The pore size can be obtained.

【0015】[0015]

【発明の効果】本発明によれば、被測定物に形成した丸
孔と該丸孔以外の測定面とにレーザスポットを走査し、
該測定面で反射した該レーザスポットの反射光を用いて
該丸孔の孔中心位置及び孔径を測定する光学式丸孔測定
方法において、該丸穴と該丸穴以外の測定面とを通る第
1測定線上に該レーザスポットを走査して検出した反射
光の情報から該第1測定線上における該丸孔の両端の座
標である第1両端座標を取得し、該丸穴と該丸穴以外の
測定面とを通り、かつ該第1測定線と交差する第2測定
線上に該レーザスポットを走査して検出した反射光の情
報から該第2測定線上における該丸孔の両端の座標であ
る第2両端座標を取得し、該第1両端座標と該第2両端
座標とに基づいて該丸孔の孔中心位置及び孔径を取得す
るので、孔中心位置及び孔径を短時間で測定することが
できるため、孔中心位置及び孔径の自動測定を実用化す
ることができる。
According to the present invention, a laser spot is scanned over a circular hole formed in an object to be measured and a measurement surface other than the circular hole,
In the optical round hole measuring method for measuring the hole center position and the hole diameter of the round hole using the reflected light of the laser spot reflected on the measurement surface, a method of passing the round hole and a measurement surface other than the round hole through the measurement surface. A first end coordinate which is a coordinate of both ends of the round hole on the first measurement line is obtained from information of the reflected light detected by scanning the laser spot on one measurement line, and a first end coordinate other than the round hole is obtained. From the information on the reflected light detected by scanning the laser spot on a second measurement line passing through the measurement surface and intersecting with the first measurement line, the coordinates of both ends of the round hole on the second measurement line are obtained. (2) The coordinates of both ends are obtained, and the hole center position and the hole diameter of the round hole are obtained based on the first end coordinates and the second end coordinates, so that the hole center position and the hole diameter can be measured in a short time. Therefore, automatic measurement of the hole center position and the hole diameter can be put to practical use.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例の測定方法を説明するのに用い
る測定装置と被測定物とを示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a measuring apparatus and an object to be measured used for explaining a measuring method according to an embodiment of the present invention.

【図2】上記実施例の測定方法に使用される信号処理系
のブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram of a signal processing system used in the measurement method of the embodiment.

【図3】上記実施例の測定方法で用いる幾何学的解析手
法を説明する図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating a geometric analysis method used in the measurement method of the embodiment.

【図4】図1の測定装置におけるレーザ式距離センサを
Y軸方向に移動させた際の出力特性を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing output characteristics when a laser distance sensor in the measuring device of FIG. 1 is moved in the Y-axis direction.

【図5】図1の測定装置におけるレーザ式距離センサを
Z軸方向に移動させた際の出力特性を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing output characteristics when a laser distance sensor in the measuring device of FIG. 1 is moved in the Z-axis direction.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3 丸孔 5 フランジ面 9 レーザスポット 22 第1測定線 28、29 第1両端座標 36、37 第2両端座標 3 Round Hole 5 Flange Surface 9 Laser Spot 22 First Measurement Line 28, 29 First End Coordinates 36, 37 Second End Coordinates

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】被測定物に形成した丸孔と該丸孔以外の測
定面とにレーザスポットを走査し、該測定面で反射した
該レーザスポットの反射光を用いて該丸孔の孔中心位置
及び孔径を測定する光学式丸孔測定方法において、 該丸穴と該丸穴以外の測定面とを通る第1測定線上に該
レーザスポットを走査して検出した反射光の情報から該
第1測定線上における該丸孔の両端の座標である第1両
端座標を取得し、該丸穴と該丸穴以外の測定面とを通
り、かつ該第1測定線と交差する第2測定線上に該レー
ザスポットを走査して検出した反射光の情報から該第2
測定線上における該丸孔の両端の座標である第2両端座
標を取得し、該第1両端座標と該第2両端座標とに基づ
いて該丸孔の孔中心位置及び孔径を取得すること特徴と
する光学式丸孔測定方法。
1. A laser spot is scanned over a round hole formed on an object to be measured and a measurement surface other than the round hole, and the center of the hole of the round hole is determined using reflected light of the laser spot reflected by the measurement surface. An optical round hole measuring method for measuring a position and a hole diameter, wherein the first spot is scanned from the information of reflected light detected by scanning the laser spot on a first measurement line passing through the round hole and a measurement surface other than the round hole. A first end coordinate, which is a coordinate of both ends of the round hole on the measurement line, is obtained, and the coordinates are obtained on a second measurement line passing through the round hole and a measurement surface other than the round hole and intersecting with the first measurement line. From the information of the reflected light detected by scanning the laser spot, the second
Acquiring second end coordinates which are coordinates of both ends of the round hole on a measurement line, and obtaining a hole center position and a hole diameter of the round hole based on the first end coordinates and the second end coordinates. Optical round hole measurement method.
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