JP2000016648A - 積層型の物体浮揚装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大型のものでも安価に、且つ、簡便に製作で
きる積層型の物体浮揚装置を提供する。 【解決手段】 供給管からの圧縮エアが、積層された薄
板２の貫通孔７で形成された通路に充填されると、通路
内は、速やかに所定の高圧力状態に達する。しかるに、
各薄板２の一方の側面の貫通孔８や１０及び貫通孔９の
周りに薄く塗布された接着剤１１による隙間には、貫通
孔７からフィルム状物６に向かう上記エアの流路Ｐが当
該薄板２の側面に形成される。この隙間によって形成さ
れる流路Ｐは極めて狭く、当該流路Ｐでの流速は大きい
が、搬送面積が当該流路Ｐの断面積に比べ極めて大きい
ので、搬送面に流出した途端に流速が微速になる一方、
積層面Ｈの極近傍は上記通路内の圧力とほぼ等しく、し
たがって、積層面Ｈに沿って浮揚高さを極めて小さく、
しかし、積層面Ｈの近傍に位置する搬送面に沿ってフィ
ルム状物６の浮揚力を十分大きくできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物体を流体によっ
て浮揚させつつ搬送できる物体浮揚装置に関し、特に、
浮揚高さを小さく、しかし、浮揚力を大きくできる積層
型の物体浮揚装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、物体、例えばフィルム状物等
をエアなどの流体によって浮揚させつつ搬送できる物体
浮揚装置は種々ある。この種の装置で、例えば、本出願
人に係る特開平８−２４５０２８において開示されてい
るフィルム浮揚方向転換装置の一つには、「フィルム等
を搬送するフィルム搬送面に多数の気体噴出孔を有し、
横長の中空体を形成してなり、両軸端を装置本体に固着
し、少なくとも一方の軸端の中空体内に圧縮流体を供給
する供給管を接続し、前記フィルム搬送面の気体噴出孔
からエアを吹き出し、非接触状態でフィルムを搬送する
装置で、前記フィルム搬送面の、前記フィルムの搬送方
向を変更する方向転換部分に配置される方向転換部材
は、その断面形状が半楕円、楕円弧または半円、円弧面
の隅角状で、かつ搬送方向の上流部側表面と下流部側表
面がフィルム搬送方向と略平行な直線面で形成され、前
記両軸端に固定されたフランジ間に多数の気体噴出孔を
有した薄板を張設してなる」ものがある。かかる方向転
換部材の製作に使用される薄板には種々の材質のものが
あり、そのうち金属板を使用する場合は、気体噴出孔が
パンチングされた、例えば隅角状を形成する半円形の鋼
板と直線面を形成する平面状の鋼板とを溶接などして製
作される。また、金属板に代えて多孔質焼結金属や多孔
質プラスチックを使用して製作される場合もある。

【０００３】更に、他のフィルム浮揚方向転換装置に
は、「フィルム等を搬送するフィルム搬送面に多数の気
体噴出孔を有し、横長の中空体を形成してなり、両軸端
を装置本体に固着し、少なくとも一方の軸端の中空体内
に圧縮流体を供給する供給管を接続し、前記フィルム搬
送面の気体噴出孔からエアを吹き出し、非接触状態でフ
ィルムを搬送する装置で、前記フィルム搬送面の、前記
フィルムの搬送方向を変更する方向転換部分に配置され
る方向転換部材は、その断面形状が半楕円、楕円弧また
は半円、円弧面の隅角状で、かつ搬送方向の上流部側表
面と下流部側表面がフィルム搬送方向と略平行な直線面
で形成され、前記搬送フィルムの幅方向に延設した前記
中空体の中心軸に平行な通気スリットで、押出し成形加
工によるもので形成されてなる」ものがある。かかる方
向転換部材の製作は、押出し成形による一体成形加工で
なされ、上述したような溶接など使用することなく所望
の形状の方向転換部材を得ることができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来装
置において、金属板にパンチングして気体噴出孔を穿設
する場合、最小となる当該孔径はその板厚にほぼ等しい
大きさが限度で、これ以上小さい孔径であると、パンチ
ングの際パンチ工具が折損してしまうために、極めて小
さな孔径を得ることが困難であった。したがって、この
ような孔径に相当する気体噴出孔を得るためには、即
ち、所要の開孔率を得るためには、方向転換部材に紐状
物を巻回して孔径を絞ることで対応していた。更に、方
向転換部材の製作の際に上述した溶接などを使用する
と、その溶接箇所の継ぎ目からは、気体を噴出させるこ
とができなくなるという不具合がある。また、金属板に
代えて多孔質焼結金属や多孔質プラスチックを使用する
場合、小型の方向転換部材は容易に製作できるが、大型
のものは製作が困難であり、これに加えて、多孔質焼結
金属の場合には、製作コストが高価で、上述した溶接な
どに伴う不具合があり、多孔質プラスチックの場合に
は、強度不足で限られた用途にしか使用できないという
不具合がある。更に、方向転換部材を一体成形加工で製
作する場合、成形加工のための金型にコストを要し、と
りわけ、大型のものは高価になることに加え、所要の製
作精度を得ることが困難になるという不具合がある。

【０００５】本発明の目的は、大型のものでも安価に、
且つ、簡便に製作できる積層型の物体浮揚装置を提供す
ることにある。また、本発明の目的は、上記目的に加
え、気体噴出孔の開孔率を自在に、且つ簡単に調整する
ことができる積層型の物体浮揚装置を提供することにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の請求項１に係る積層型の物体浮揚装置は、
物体をエアなどの流体によって浮揚させつつ搬送するも
ので、外部から供給される流体の通路である第１流体孔
を備えた複数の薄板で積層面を形成し、その積層面の近
傍に流体による搬送面が形成され、これら薄板間には第
１流体孔から搬送面に向かう流体の流路が形成されるよ
うにしたものである。本装置は、プレス加工や押出し成
形、鍛造等で加工された薄板を積層するだけで簡便に製
作でき、しかも、大型化しても安価に製作できる。ま
た、これら薄板間に形成される流路、換言すれば隙間の
選定によって、開孔率を３％以下にすることができ、好
ましくは１％以下にするのがよい。このような開孔率の
下では、積層面からの物体の浮揚高さを極めて小さくで
きる一方、浮揚力を十分大きくすることができること
は、基本的な流体力学則から容易に導ける。したがっ
て、上記開孔率を得るために、従来のような紐状物を巻
回する必要はない。ここで、開孔率とは、 開孔率＝（全流路断面積／搬送面積）×１００ を言う。ここで、搬送面積＝全流路断面積＋全積層薄板
の板厚、であるから、流路の選定のみならず、薄板の厚
さの選定にも考慮する必要があることは言うまでもな
い。

【０００７】また、本発明の請求項２に係る積層型の物
体浮揚装置は、物体を流体によって浮揚させつつ搬送す
るもので、外部から供給される流体の通路である第１流
体孔と、外部から吸引される流体の通路である第２流体
孔とを備えた複数の薄板で積層面を形成し、その積層面
の近傍に流体による搬送面が形成され、それら薄板の互
いに隣接する薄板の一方には、当該薄板の第１流体孔か
ら吐出して物体に当接し、当該薄板に隣接する薄板の第
２流体孔に吸引される流体の流路が形成されるととも
に、他方の薄板には、当該薄板に隣接する薄板の第１流
体孔から吐出して物体に当接し、当該薄板の第２流体孔
に吸引される流体の流路が形成されるようにしたもの
で、これにより、一方の薄板に形成される、搬送面上の
物体に向かう流路が、他方の薄板に形成される、当該物
体に当接して戻る流路と交叉することなく、また、一方
の薄板に形成される、当該物体に当接して戻る流路が、
他方の薄板に形成される、搬送面上の物体に向かう流路
と交叉することなく、各薄板にそれぞれ所定の流路が形
成される。そして、これら流路、即ち隙間の選定によ
り、および／または、第１流体孔への供給圧力或いは第
２流体孔からの吸引圧力の調節により、積層面からの物
体の浮揚高さを小さくする一方、その浮揚力を大きくす
ることができる。したがって、上記選定及び調節如何に
よっては、搬送面が積層面より下方にある場合も物体を
吸引しつつ逆さまにして搬送することが可能である。本
装置は、プレス加工や押出し成形、鍛造等で、第１流体
孔や第２流体孔を同時加工された薄板を積層するだけで
簡便に製作でき、しかも、大型化しても安価に製作でき
ることはもちろんである。

【０００８】また、本発明の請求項３に係る積層型の物
体浮揚装置は、外部から供給される流体の通路である第
１流体孔を備えた複数の薄板で積層面を形成し、その積
層面の近傍に流体による搬送面を形成する一方、これら
薄板間には第１流体孔から搬送面に向かう流体の流路を
形成することは、請求項１に係る装置と同様であるが、
これに加え、これら薄板が一体となって回転可能に所定
回転軸に取り付けられるものである。粘着テープのよう
な物体を搬送する場合、これら薄板に回転を与えて物体
の搬送速度に同期させると、物体が積層面に付着した際
に、これを容易に離隔させることができ、物体の品質劣
化を防止できる。

【０００９】また、本発明の請求項４及び５に係る積層
型の物体浮揚装置は、上述した流体の流路が、薄板間に
スペーサを介装する場合には、スペーサの厚みによって
形成される薄板間の隙間であり、薄板に所要接着剤が塗
布される場合には、接着剤の厚みで形成される薄板間の
隙間であり、したがって、金属やプラスチック製のシム
などのスペーサ、又はエポキシやシリコンなどの接着剤
の厚みを調整することで、上記の最適な開孔率を極めて
容易に得ることができる。接着剤で調整する場合にも、
所謂シルク印刷等を用いるので、正確な厚み調整をする
ことができる。ところで、このような開孔率に対応する
上記厚みとしては、およそ０．０１〜０．０３ｍｍが好
ましい。但し、請求項２に係る装置での上記厚みは、
０，０１〜１．０のように広範囲にできる。

【００１０】また、本発明の請求項６に係る積層型の物
体浮揚装置は、流体の流路が薄板自体にプレス加工やエ
ッチング加工等で形成されている場合に、このような薄
板を積層するだけで形成される薄板間の隙間であり、薄
板に施される溝形状によって任意の流路を得ることがで
きる。したがって、溝形状を調整することで、上記の最
適な開孔率を極めて容易に得ることができる。

【００１１】また、本発明の請求項７に係る積層型の物
体浮揚装置は、薄板の適宜なところに、前記流体の圧縮
供給によって生ずる温度上昇を抑えるための冷媒通路を
配設しているもので、これにより、当該装置、とりわ
け、薄板や上記シム等の温度上昇による熱変形のために
流体の漏れが生じて、上記最適な開孔率で運転できなく
なるのを防止できるのは言うに及ばず、搬送される物体
がその熱影響で品質劣化するのを防止でき、また、当該
装置で作業する者が火傷するのを防止できる。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態に係る
積層型の物体浮揚装置を図１〜３を参照して説明する。
本装置１は、物体浮揚装置のうち搬送方向転換装置であ
り、図１に示すように、複数の薄板２をそれら両側に配
設されたフランジ３で挟持するとともに、これらを締付
用長ネジ４ａ，４ｂによって固着させ、薄板２を積層し
て形成される積層面（これら薄板２の半円外周部及びそ
れに連設する直線部）Ｈの近傍に位置する流体搬送面に
沿って、例えばフィルム状物（物体）６を浮揚させて、
図３のように矢印Ａ１からＡ２方向に搬送することがで
きるものである。そして、これらフランジ３の中心部に
穿設された貫通孔３ａには、圧縮エア（流体）の供給管
５がそれぞれ連結されており、また、その下底に設けら
れたテーパネジ孔３ｂには、冷媒の供給管または排出管
（図示せず）が連結されるようになっており、このテー
パネジ孔３ｂの下部側方から積層薄板２の下記貫通孔１
０に向かって通路３ｃがそれぞれ穿設されている。尚、
場合によっては当該連結管５の一方を盲蓋して使用しな
いようにしてもよい。

【００１３】ところで、薄板２は、図２のような形状を
した鋼板で、プレス打ち抜きや押し出し成形等によって
製作されるものであり、その中央部には上記供給管５に
連通する圧縮エアの通路としての貫通孔（第１流体孔）
７が、また、その上部及び左右下部には上記長ネジ４
ａ，４ｂが挿入される貫通孔８及び９が、更に、左右の
貫通孔８の間に上記通路３ｃに連通する冷媒の通路とし
ての貫通孔１０がそれぞれ穿設されている。そして、こ
の薄板２の一方の側面（場合により、両側面でも可）に
エポキシやシリコンなどの接着剤１１を、図３のよう
に、シルク印刷の技法を用いて塗布する。即ち、当該側
面の貫通孔８や１０の周り及び貫通孔９の周りに、およ
そ０．０１〜０．０３ｍｍの厚さで接着剤１１を塗布す
る。しかる後、このような薄板２を積層すると、その積
層面Ｈの各薄板２の間には貫通孔７から搬送面に向か
う、即ちフィルム状物６に向かう上記エアの流路（同図
３の矢印Ｐで表す）が当該薄板２の側面に形成されるこ
とになる。したがって、本装置は、プレス加工等された
薄板２に接着剤１１を塗布して積層するだけで所望の流
路Ｐが形成されるので、簡便に製作でき、しかも、大型
化しても安価に製作できる。また、接着剤１１の厚みを
正確に調整できるので、所望の上記開孔率に対応した通
路Ｐを得ることができる。本実施の形態では接着剤１１
を塗布して流路Ｐを形成する場合について説明したが、
シムを用いてもよいことはもちろんである。

【００１４】ところで、流路Ｐは、薄板２自体にプレス
加工やエッチング加工等で形成されているものであって
もよい。この種の例としては、図４の薄板１２は、貫通
孔７から放射状に溝１２ａを設けたもので、プレス加工
やエッチング加工等で容易に製作できる。このような薄
板１２を積層すると、その積層面Ｊの各薄板１２の間に
は貫通孔７からフィルム状物６に向かう上記エアの流路
Ｐａが形成され、したがって、当該溝形状の選定によ
り、上記薄板２の場合と同様に、所望の上記開孔率に対
応した流路Ｐａを得ることができる。また、図５の薄板
１３は、その側面の部位１３ａ（図中の斜線部）の厚さ
を他の部位１３ｂより薄く成形したもので、上述した図
３の流路Ｐと類似の流路Ｐｂが形成される。このような
薄板１３は、上記プレス加工やエッチング加工等で容易
に製作できる。また、斜線部位の選定により、その積層
面Ｋの各薄板１３の間に所望の上記開孔率に対応した流
路Ｐｂを得ることができる。尚、図４及び５において、
図２の構成要素と同一のものには同一番号を付すととも
に、その説明は割愛する。

【００１５】本装置１によるフィルム状物６の搬送動作
を説明する。両方の供給管５から圧縮エアが供給され、
上記貫通孔７で形成される通路に当該エアが充填される
と、通路内は、速やかにほぼ所定の高圧力状態に達す
る。しかるに、流路Ｐは極めて狭く、したがって、当該
流路Ｐでの流速は大きいが、搬送面積が当該流路Ｐの断
面積に比べ極めて大きいので、搬送面に流出した途端に
流速が微速になる一方、積層面Ｈの極近傍は上記通路内
の圧力にほぼ等しく、したがって、積層面Ｈに沿って浮
揚高さを極めて小さく、しかし、積層面Ｈの近傍に位置
する搬送面に沿ってフィルム状物６を浮揚させる圧力
を、十分大きくできる。しかも、かかる浮揚力は、圧縮
エアの供給圧力に従って大きくできるので、フィルム状
物６に限らずある程度の重量物をも搬送できる。更に、
本装置１のように、冷媒が供給される構造であると、薄
板２や接着剤１１の劣化のみならず、フィルム状物６の
熱による品質劣化を防止でき、また、当該装置１で作業
する者が火傷するのを防止できる。

【００１６】次に、本発明の第２の実施の形態に係る積
層型の物体浮揚装置を図面６〜１０を参照して説明す
る。本装置２０は、フィルム状物６を水平を保持しつつ
一定方向に搬送する装置であり、図６に示すように、複
数の薄板２１をそれら両側に配設されたフランジ２２
ａ，２２ｂで挟持するとともに、これらを締付用長ネジ
２３によって固着させ、薄板２１を積層して形成される
積層面（これら薄板２１の端部２１ａ）Ｍの近傍に位置
する流体搬送面に沿って、フィルム状物６を浮揚させて
矢印Ｂ方向（図１０）に搬送することができるものであ
る。そして、フランジ２２ａの一方に穿設された貫通孔
（図示せず）には、圧縮エア（流体）の供給管２４及び
圧縮エアの吸引管２５がそれぞれ連結されている。尚、
場合によっては他方のフランジ２２ｂにも上記供給管２
４及び吸引管２５を連結して上記エアの供給・吸引を行
うようにしてもよい。

【００１７】ところで、薄板２１は、図７のような長方
形状をした鋼板で、プレス打ち抜きや押し出し成形等に
よって製作され、その長手方向には上記供給管２４及び
吸引管２５に連通する圧縮エアの供給通路及び吸引通路
としての貫通孔（第１流体孔）２６及び貫通孔（第２流
体孔）２７が、また、この貫通孔２６及び２７をそれぞ
れ隔てて上記長ネジ２３が挿入される貫通孔２８が穿設
されている。そして、このような薄板２１には、図８の
ような態様にエポキシやシリコンなどの接着剤１１が塗
布され、また、図９のような態様に同種の接着剤１１が
塗布されている。即ち、図８の薄板２１に対しは、その
一方の側面に接着剤１１をシルク印刷の技法を用いて、
貫通孔２６の円周を取り囲むようにおよそ０．０１〜
１．０ｍｍの厚さで塗布する一方、貫通孔２７について
は、その円周の一部位に接着剤１１が塗布されないよう
に、また、この部位に連続し、長手方向に延びる端部２
１ａに接着剤１１が塗布されないようにする。これに対
して図９の薄板２１では、その一方の側面に接着剤１１
を貫通孔２７の円周を取り囲むように上記厚さで塗布す
る一方、貫通孔２６については、その円周の一部位に接
着剤１１が塗布されないように、また、この部位に連続
し、長手方向に延びる端部２１ａに接着剤１１が塗布さ
れないようにする。

【００１８】このような図８の薄板２１と図９の薄板２
１とを交互に積層すると、これらで形成される積層面Ｍ
の各薄板２１の間には、後述する図１０に示すような、
物体６を浮揚する流れｖと物体６を吸引する流れｗに基
づく流路Ｑ及びＲが形成され、しかも、一方の薄板２１
に形成される流路Ｑと、他方の薄板２１に形成される流
路Ｒとは、交叉しないように形成される。このように接
着剤１１を塗り分けた薄板２１を用いて本装置２０を製
作する場合もまた、プレス加工等された薄板２１につき
図８及び図９の態様で接着剤１１を塗布し積層するだけ
で簡便に製作でき、しかも、大型化しても安価に製作で
きる。また、接着剤１１の厚みを正確に調整できるの
で、所望の上記開孔率に対応した流路Ｑ，Ｒを得ること
ができる。本実施の形態では接着剤１１を塗布して流路
Ｑ，Ｒを形成する場合について説明したが、シムを用い
てもよいことはもちろん、薄板２１自体にプレス加工や
エッチング加工等で形成されているものであってもよ
い。

【００１９】本装置２０によるフィルム状物６の搬送動
作を図８〜１０を参照しつつ説明する。尚、図１０は、
積層薄板２１の拡大正面図で、図８及び図９の薄板２１
による浮揚動作の説明をするために、この薄板２１に形
成される流路を示すものである。供給管２４から圧縮エ
アを供給するとともに、吸引管２５から圧縮エアを吸引
し、上記貫通孔２６で形成される供給通路及び上記貫通
孔２７で形成される吸引通路に当該エアの流れを生ぜし
めると、このエアの、図８の薄板２１の流路Ｑにおける
フィルム状物６を浮揚する流れｖとフィルム状物６を吸
引する流れｗでは、エアは、当該薄板２１の貫通孔２６
から吐出しフィルム状物６に当接して反転した後、当該
薄板２１に隣接する、供給管４側に位置した薄板２１の
貫通孔２７に吸引され、また、図９の薄板２１の流路Ｒ
におけるフィルム状物６を浮揚する流れｖとフィルム状
物６を吸引する流れｗでは、エアは、当該薄板２１に隣
接する薄板２１の貫通孔２６から吐出しフィルム状物６
に当接して反転した後、当該薄板２１の貫通孔２７に吸
引される。即ち、搬送面に対し垂直に流路ＱとＲが交互
に形成されるので、フィルム状物６を浮揚させて搬送で
きる。しかも、薄板２１の厚さ及び流路Ｑ，Ｒで形成さ
れる隙間を適宜選定し、供給圧力及び吸引圧力を調節す
ることにより、積層面Ｍからの物体の浮揚高さを極めて
小さくする一方、積層面Ｍの近傍に位置する搬送面に沿
って浮揚力を大きくできる。ところで、本実施の形態で
は、積層面Ｍ上にフィルム状物６を浮揚させて搬送する
装置２０について説明したが、搬送面が積層面Ｍより下
方にある場合にフィルム状物６を吸引しつつ逆さまにし
て搬送することができる装置、或いは、上記第１の実施
の形態で説明した搬送方向を転換するような装置にも使
用できることは言うまでもない。

【００２０】次に、本発明の第３の実施の形態に係る積
層型の物体浮揚装置を図面１１〜１３を参照して説明す
る。本装置３０は、第１の実施の形態に係る装置と同様
だが、回転可能な搬送方向転換装置であり、図１１に示
すように、複数の薄板３１をそれら両側に配設されたフ
ランジ３２で挟持するとともに、これらを締付用長ネジ
３３によって固着させ、円形薄板３１を積層して形成さ
れる積層面（これら薄板３１の外周部）Ｎの近傍に位置
する流体搬送面に沿ってフィルム状物６を浮揚させて、
図１３のように矢印Ｃ１からＣ２方向に搬送することが
できるものである。そして、このフランジ３２の中心部
に穿設された貫通孔３２ａには、圧縮エア（流体）の供
給管３４がそれぞれ連結されており、この供給管３４は
軸受によって回転可能に支持されている。尚、本実施の
形態では、供給管３４の一方を盲蓋して使用しないよう
にしているが、両方の供給管３４から圧縮エアが供給さ
れるようにしてもよい。

【００２１】ところで、薄板３１は、上述のように円形
状をした鋼板で、プレス打ち抜きや押し出し成形等によ
って製作されるものであり、その中央部には上記供給管
３４に連通する圧縮エアの通路としての貫通孔（第１流
体孔）３５が、また、この貫通孔３５の円周に上記長ネ
ジ３３が挿入される貫通孔３６がそれぞれ穿設されてい
る。そして、この薄板３１の一方の側面（場合により両
側面も可）にエポキシやシリコンなどの接着剤１１を、
図１３のように、シルク印刷の技法を用いて、貫通孔３
６の周りに、およそ０．０１〜０．０３ｍｍの厚さで塗
布する。しかる後、このような薄板３１を積層すると、
その積層面Ｎの各薄板３１の間には貫通孔３５から搬送
面に向かう、即ち、フィルム状物６に向かう上記エアの
流路（図１３に矢印Ｓで表す）が当該薄板３１の両側面
３１ａに沿って放射状に形成されることになる。したが
って、本装置もまた、プレス加工等された薄板に接着剤
１１を塗布して積層するだけで簡便に製作でき、しか
も、大型化しても安価に製作できる。また、接着剤１１
の厚みを正確に調整できるので、所望の上記開孔率に対
応した通路Ｓを得ることができる。本実施の形態では接
着剤１１を塗布して流路Ｓを形成する場合について説明
したが、シムを用いてもよいことはもちろん、薄板３１
自体にプレス加工やエッチング加工等で形成されている
ものであってもよい。

【００２２】本装置３０によるフィルム状物６の搬送動
作を説明する。供給管３４から圧縮エアが供給され、上
記貫通孔３５で形成される通路に当該エアが充填される
と、通路内は、速やかにほぼ一定の高圧力状態に達す
る。しかるに、流路Ｓは極めて狭く、したがって、当該
流路Ｓでの流速は大きいが、搬送面積が当該流路Ｓの断
面積に比べ極めて大きいので、搬送面に流出した途端に
流速が微速になる一方、積層面Ｎの極近傍は上記通路内
の圧力にほぼ等しく、したがって、積層面Ｎに沿って浮
揚高さを極めて小さくする一方、積層面Ｎの近傍に位置
する搬送面に沿って浮揚力を十分大きくできる。一方、
薄板３１は、圧縮エアが供給されている間は回転してお
り、粘着テープのようなフィルム状物６を搬送する際、
この回転速度をフィルム状物６の搬送速度に同期させる
と、フィルム状物６が搬送面に付着したようなときに
は、容易にフィルム状物６を離隔させることができるの
で、フィルム状物６の品質劣化を防止できる。

【００２３】

【発明の効果】本発明の積層型の物体浮揚装置によれ
ば、大型のものでも安価に、且つ、簡便に製作できる。
また、本発明の積層型の物体浮揚装置によれば、上記効
果に加え、気体噴出孔の開孔率を自在に、且つ簡単に調
整することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１の実施の形態に係る積層型の物体浮揚装
置の正面図である。

【図２】 図１の薄板の側面図である。

【図３】 接着剤が塗布された図２の薄板による浮揚動
作の説明図である。

【図４】 他の薄板の側面図である。

【図５】 他の薄板の側面図である。

【図６】 第２の実施の形態に係る積層型の物体浮揚装
置の平面図である。

【図７】 図６の薄板の側面図である。

【図８】 接着剤が塗布された図７の薄板の側面図であ
る。

【図９】 図８とは異なる態様で塗布された図７の薄板
の側面図である。

【図１０】図８及び図９の薄板による浮揚動作の説明図
である。

【図１１】第３の実施の形態に係る積層型の物体浮揚装
置の正面図である。

【図１２】図１１の薄板の側面図である。

【図１３】接着剤が塗布された図１２の薄板による浮揚
動作の説明図である。

【符号の説明】

１，２０，３０ 物体浮揚装
置 ２，１２，１３，２１，３１ 薄板 ６ フィルム状
物（物体） ７，２６，３５ 貫通孔（第
１流体孔） １０ 貫通孔（冷
媒通路） １１ 接着剤又は
シム ２７ 貫通孔（第
２流体孔） ３４ 供給管（回
転軸） Ｈ，Ｊ，Ｋ，Ｍ，Ｎ 積層面 Ｐ，Ｑ，Ｒ，Ｓ，Ｐａ，Ｐｂ エア（流
体）の流路

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物体を流体によって浮揚させつつ搬送す
   る物体浮揚装置であって、外部から供給される前記流体
   の通路である第１流体孔を備えた複数の薄板によって積
   層面を形成し、該積層面の近傍に前記流体の搬送面が形
   成されるとともに、前記薄板間には前記第１流体孔から
   前記搬送面に向かう前記流体の流路が形成されてなるこ
   とを特徴とする積層型の物体浮揚装置。
2. 【請求項２】 物体を流体によって浮揚させつつ搬送す
   る物体浮揚装置であって、外部から供給される前記流体
   の通路である第１流体孔と、外部から吸引される前記流
   体の通路である第２流体孔とを備えた複数の薄板によっ
   て積層面を形成し、該積層面の近傍に前記流体の搬送面
   が形成され、それら薄板の互いに隣接する薄板の一方に
   は、当該薄板の第１流体孔から吐出し前記物体に当接し
   て当該薄板に隣接する薄板の第２流体孔に吸引される前
   記流体の流路が形成されるとともに、他方の薄板には、
   当該薄板に隣接する薄板の第１流体孔から吐出し前記物
   体に当接して当該薄板の第２流体孔に吸引される前記流
   体の流路が形成されてなることを特徴とする積層型の物
   体浮揚装置。
3. 【請求項３】 前記薄板は、一体となって回転可能に所
   定回転軸に取り付けられてなることを特徴とする請求項
   １に記載の積層型の物体浮揚装置。
4. 【請求項４】 前記流体の流路は、前記薄板間にスペー
   サを介装する場合に、これら薄板と前記スペーサによっ
   て形成される隙間であることを特徴とする請求項１〜３
   のいずれかに記載の積層型の物体浮揚装置。
5. 【請求項５】 前記流体の流路は、前記薄板に所要接着
   剤が塗布される場合に、前記接着剤の厚みで形成される
   前記薄板間の隙間であることを特徴とする請求項１〜３
   のいずれかに記載の積層型の物体浮揚装置。
6. 【請求項６】 前記流体の流路は、該流路が前記薄板自
   体に予め形成されている場合に、当該薄板を積層するだ
   けで形成される前記薄板間の隙間であることを特徴とす
   る請求項１〜３のいずれかに記載の積層型の物体浮揚装
   置。
7. 【請求項７】 前記薄板には、前記流体の圧縮供給によ
   って生ずる温度上昇を抑えるための冷媒通路が配設され
   てなることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載
   の積層型の物体浮揚装置。