JP2000012931A - 固体レーザー装置 - Google Patents
固体レーザー装置Info
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 19
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 74
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- 238000005086 pumping Methods 0.000 abstract description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 14
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
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- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 1
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- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
- H01S3/0941—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode
- H01S3/09415—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode the pumping beam being parallel to the lasing mode of the pumped medium, e.g. end-pumping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】簡潔な構成であるにもかかわらず、単一横モー
ドのレーザー光を発振することができる。 【解決手段】半導体レーザー素子１１から発振された励
起光としてのレーザー光が、光学系１２の第１レンズ１
２ａによって広がり角度を押さえられた後に、第２レン
ズ１２ｂによって収束されて、共振器１３内に配置され
た固体レーザー媒質１３ａに照射される。固体レーザー
媒質１３ａに照射されるレーザー光の励起モードは、固
体レーザー媒質１３ａの共振器モードからはみ出した状
態になっており、固体レーザー媒質１３ａに照射される
レーザー光は、共振器モードの内部のみならず、共振器
モードの外部も励起する。
ドのレーザー光を発振することができる。 【解決手段】半導体レーザー素子１１から発振された励
起光としてのレーザー光が、光学系１２の第１レンズ１
２ａによって広がり角度を押さえられた後に、第２レン
ズ１２ｂによって収束されて、共振器１３内に配置され
た固体レーザー媒質１３ａに照射される。固体レーザー
媒質１３ａに照射されるレーザー光の励起モードは、固
体レーザー媒質１３ａの共振器モードからはみ出した状
態になっており、固体レーザー媒質１３ａに照射される
レーザー光は、共振器モードの内部のみならず、共振器
モードの外部も励起する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、励起光源から発せ
られる励起光によって、共振器内に配置された固体レー
ザー媒質が励起されることにより、共振器からレーザー
光が発振される固体レーザー装置に関する。
られる励起光によって、共振器内に配置された固体レー
ザー媒質が励起されることにより、共振器からレーザー
光が発振される固体レーザー装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】固体レーザー装置では、共振器内に配置
された固体レーザー媒質に励起光が照射されることによ
り、固体レーザー媒質が励起され、共振器による共振現
象によって共振器からレーザー光が発振されるようにな
っている。このような固体レーザー装置では、共振器か
ら発振されるレーザー光の横モードを単一モード（ＴＥ
Ｍ００）にするために、通常、固体レーザー媒質に照射
される励起光の横モード（励起モード）が、固体レーザ
ー媒質中の共振器モード内に照射されるように、固体レ
ーザー媒質の端面において、励起光の光スポットの全て
が、共振器モードの内部に照射されるようにされてい
る。
された固体レーザー媒質に励起光が照射されることによ
り、固体レーザー媒質が励起され、共振器による共振現
象によって共振器からレーザー光が発振されるようにな
っている。このような固体レーザー装置では、共振器か
ら発振されるレーザー光の横モードを単一モード（ＴＥ
Ｍ００）にするために、通常、固体レーザー媒質に照射
される励起光の横モード（励起モード）が、固体レーザ
ー媒質中の共振器モード内に照射されるように、固体レ
ーザー媒質の端面において、励起光の光スポットの全て
が、共振器モードの内部に照射されるようにされてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、固体レ
ーザー媒質に照射される励起光の励起モードの全てを、
固体レーザー媒質中の共振器モード内に照射されるよう
に絞り込むことは容易ではなく、複雑な光学系が必要に
なるという問題がある。特に、固体レーザー装置の励起
光源として半導体レーザー素子を使用する場合には、一
層、複雑な光学系が必要になる。すなわち、半導体レー
ザー素子は、レーザー光が発振される活性層のストライ
プが、幅が１００μｍ程度になっているのに対して厚さ
１μｍ程度になっていることによって、あるいは、非点
収差等によって、半導体レーザー素子から発振されるレ
ーザー光の横モードが縦長の楕円形状になるために、そ
のレーザー光を真円形状に成形して、共振器モード径よ
りも小さな径に絞り込むためには、アナモルフィックプ
リズムペア、シリンドリカルレンズ等の複雑なレンズや
多数のレンズを使用した複雑な光学系が必要になる。ま
た、高出力の半導体レーザー光が発振されるように、半
導体レーザー素子における活性層のストライプの幅を、
ストライプの厚さに対して一層大きくすれば、発振され
るレーザー光の横モードが大きく偏平化されることにな
り、より一層複雑な光学系が必要になる。このように、
複雑な光学系を使用した固体レーザー装置は、大型化し
て経済性が損なわれるという問題がある。
ーザー媒質に照射される励起光の励起モードの全てを、
固体レーザー媒質中の共振器モード内に照射されるよう
に絞り込むことは容易ではなく、複雑な光学系が必要に
なるという問題がある。特に、固体レーザー装置の励起
光源として半導体レーザー素子を使用する場合には、一
層、複雑な光学系が必要になる。すなわち、半導体レー
ザー素子は、レーザー光が発振される活性層のストライ
プが、幅が１００μｍ程度になっているのに対して厚さ
１μｍ程度になっていることによって、あるいは、非点
収差等によって、半導体レーザー素子から発振されるレ
ーザー光の横モードが縦長の楕円形状になるために、そ
のレーザー光を真円形状に成形して、共振器モード径よ
りも小さな径に絞り込むためには、アナモルフィックプ
リズムペア、シリンドリカルレンズ等の複雑なレンズや
多数のレンズを使用した複雑な光学系が必要になる。ま
た、高出力の半導体レーザー光が発振されるように、半
導体レーザー素子における活性層のストライプの幅を、
ストライプの厚さに対して一層大きくすれば、発振され
るレーザー光の横モードが大きく偏平化されることにな
り、より一層複雑な光学系が必要になる。このように、
複雑な光学系を使用した固体レーザー装置は、大型化し
て経済性が損なわれるという問題がある。
【０００４】さらに、例えば、レーザー発振が準三準位
の固体レーザー媒質等の場合には、固体レーザー媒質内
にて光の再吸収が生じるために、固体レーザー媒質に照
射される励起光の励起モードが固体レーザー媒質中の共
振器モードと完全に一致していなければ、固体レーザー
媒質内でのエネルギー損失が増加してしまう。このため
に、固体レーザー媒質の端面において、励起光の励起モ
ードと共振器モードとを完全に一致させる必要がある
が、励起光の励起モードと共振器モードとを完全に一致
させることはきわめて困難であり、実際には、レーザー
発振が準三準位の固体レーザー媒質等では、レーザー発
振に要する励起強度を高くしなければ、単一横モードの
レーザー光が発振されないという問題もある。
の固体レーザー媒質等の場合には、固体レーザー媒質内
にて光の再吸収が生じるために、固体レーザー媒質に照
射される励起光の励起モードが固体レーザー媒質中の共
振器モードと完全に一致していなければ、固体レーザー
媒質内でのエネルギー損失が増加してしまう。このため
に、固体レーザー媒質の端面において、励起光の励起モ
ードと共振器モードとを完全に一致させる必要がある
が、励起光の励起モードと共振器モードとを完全に一致
させることはきわめて困難であり、実際には、レーザー
発振が準三準位の固体レーザー媒質等では、レーザー発
振に要する励起強度を高くしなければ、単一横モードの
レーザー光が発振されないという問題もある。
【０００５】本発明は、このような問題を解決するもの
であり、その目的は、単一横モードのレーザー光を発振
することができる簡潔な構成の固体レーザー装置を提供
することにある。
であり、その目的は、単一横モードのレーザー光を発振
することができる簡潔な構成の固体レーザー装置を提供
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の固体レーザー装
置は、共振器内に配置された固体レーザー媒質に、励起
光源から発せられる励起光が照射されることにより、共
振器からレーザー光が発振される固体レーザー装置であ
って、励起光源から発せられる励起光の励起モードは、
固体レーザー媒質中の共振器モードの内部のみならず、
少なくとも一部が固体レーザー媒質中の共振器モードの
外部も照射することを特徴とする。
置は、共振器内に配置された固体レーザー媒質に、励起
光源から発せられる励起光が照射されることにより、共
振器からレーザー光が発振される固体レーザー装置であ
って、励起光源から発せられる励起光の励起モードは、
固体レーザー媒質中の共振器モードの内部のみならず、
少なくとも一部が固体レーザー媒質中の共振器モードの
外部も照射することを特徴とする。
【０００７】前記励起光源から発せられる励起光は、光
学系を介して固体レーザー媒質に照射されるようになっ
ており、この光学系が、励起光源から発せられる励起光
の広がり角度を抑制する第１レンズと、第１レンズによ
って広がり角度が抑制された光を固体レーザー媒質に収
束する第２レンズとによって構成されている。
学系を介して固体レーザー媒質に照射されるようになっ
ており、この光学系が、励起光源から発せられる励起光
の広がり角度を抑制する第１レンズと、第１レンズによ
って広がり角度が抑制された光を固体レーザー媒質に収
束する第２レンズとによって構成されている。
【０００８】前記励起光源は半導体レーザー素子であ
る。前記励起光は、固体レーザー媒質の全体の長さの50
％以上にわたって、固体レーザー媒質の共振器モードの
外部を励起する。
る。前記励起光は、固体レーザー媒質の全体の長さの50
％以上にわたって、固体レーザー媒質の共振器モードの
外部を励起する。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて詳細に説明する。
面に基づいて詳細に説明する。
【００１０】図１（ａ）は、本発明の固体レーザー装置
の実施の形態の一例を示す概略側面図、図１は、その概
略平面図である。この固体レーザー装置は、励起光源と
して使用される半導体レーザー素子１１と、この半導体
レーザー素子１１から発振される励起光としてのレーザ
ー光を収束する光学系１２と、光学系１２によって収束
された励起光によって固体レーザー媒質１３ａが励起さ
れてレーザー光が発振される共振器１３とを有してい
る。
の実施の形態の一例を示す概略側面図、図１は、その概
略平面図である。この固体レーザー装置は、励起光源と
して使用される半導体レーザー素子１１と、この半導体
レーザー素子１１から発振される励起光としてのレーザ
ー光を収束する光学系１２と、光学系１２によって収束
された励起光によって固体レーザー媒質１３ａが励起さ
れてレーザー光が発振される共振器１３とを有してい
る。
【００１１】共振器１３は、光学系１２によって収束さ
れた励起光が円柱状の固体レーザー媒質１３ａに照射さ
れるように、固体レーザー媒質１３ａが光学系１２の光
軸上に配置されており、この固体レーザー媒質１３ａに
対して所定の間隔をあけて同様に光軸上に出力用ミラー
１３ｂが配置されている。この共振器１３は、励起光が
照射される固体レーザー媒質１３ａの端面と、出力用ミ
ラー１３ｂの反射面との間にて、固体レーザー媒質にて
励起光が励起された光が共振されるようになったファブ
リペロー型共振器であり、従って、励起光が照射される
固体レーザー媒質１３ａの端面１４と、出力用ミラー１
３ｂの反射面との距離が共振器長になっている。共振器
１３の共振器モード（共振横モード）は、共振器長と固
体レーザー媒質１３ａの特性とによって決定される。
れた励起光が円柱状の固体レーザー媒質１３ａに照射さ
れるように、固体レーザー媒質１３ａが光学系１２の光
軸上に配置されており、この固体レーザー媒質１３ａに
対して所定の間隔をあけて同様に光軸上に出力用ミラー
１３ｂが配置されている。この共振器１３は、励起光が
照射される固体レーザー媒質１３ａの端面と、出力用ミ
ラー１３ｂの反射面との間にて、固体レーザー媒質にて
励起光が励起された光が共振されるようになったファブ
リペロー型共振器であり、従って、励起光が照射される
固体レーザー媒質１３ａの端面１４と、出力用ミラー１
３ｂの反射面との距離が共振器長になっている。共振器
１３の共振器モード（共振横モード）は、共振器長と固
体レーザー媒質１３ａの特性とによって決定される。
【００１２】半導体レーザー素子１１から発振された励
起光であるレーザー光は、光学系１２を介して、共振器
１３における固体レーザー媒質１３ａに照射される。光
学系１２は、半導体レーザー素子１１から発せられるレ
ーザー光の光軸上に配置された第１レンズ１２ａおよび
第２レンズ１２ｂによって構成されている。半導体レー
ザー素子１１からは、横モードが縦長の楕円形状になっ
たレーザー光が発振されており、第１レンズ１２ａは、
そのレーザー光の広がり角度を抑制して第２レンズ１２
ｂに集光するようになっている。第２レンズ１２ｂは、
第１レンズ１２ａによって集光される横モードが楕円形
状のレーザー光を、共振器１３内に設けられた固体レー
ザー媒質１３ａに、横モードが楕円形状の状態で収束す
るようになっている。
起光であるレーザー光は、光学系１２を介して、共振器
１３における固体レーザー媒質１３ａに照射される。光
学系１２は、半導体レーザー素子１１から発せられるレ
ーザー光の光軸上に配置された第１レンズ１２ａおよび
第２レンズ１２ｂによって構成されている。半導体レー
ザー素子１１からは、横モードが縦長の楕円形状になっ
たレーザー光が発振されており、第１レンズ１２ａは、
そのレーザー光の広がり角度を抑制して第２レンズ１２
ｂに集光するようになっている。第２レンズ１２ｂは、
第１レンズ１２ａによって集光される横モードが楕円形
状のレーザー光を、共振器１３内に設けられた固体レー
ザー媒質１３ａに、横モードが楕円形状の状態で収束す
るようになっている。
【００１３】光学系１２は、図２（ａ）に示すように、
共振器１３における固体レーザー媒質１３ａの入射側の
端面１４において、励起モードが楕円形状になったレー
ザー光の励起モードＳは、固体レーザー媒質１３ａ中の
共振器モードＭの内部のみならず、少なくとも一部が、
固体レーザー媒質１３ａ中の共振器モードＭの外部に照
射されるように、レーザー光を収束している。従って、
固体レーザー媒質１３ａに照射された励起光としてのレ
ーザー光は、図２（ｂ）に示すように、固体レーザー媒
質１３ａ中の共振器モードＭの内部のみならず、共振器
モードＭの外側部分も励起することになる。
共振器１３における固体レーザー媒質１３ａの入射側の
端面１４において、励起モードが楕円形状になったレー
ザー光の励起モードＳは、固体レーザー媒質１３ａ中の
共振器モードＭの内部のみならず、少なくとも一部が、
固体レーザー媒質１３ａ中の共振器モードＭの外部に照
射されるように、レーザー光を収束している。従って、
固体レーザー媒質１３ａに照射された励起光としてのレ
ーザー光は、図２（ｂ）に示すように、固体レーザー媒
質１３ａ中の共振器モードＭの内部のみならず、共振器
モードＭの外側部分も励起することになる。
【００１４】固体レーザー媒質１３ａは、通常、励起光
が照射される端面側の前半部分において、励起光の大部
分が吸収され、後半部分での励起光の吸収は、ごくわず
かである。例えば、吸収係数が５cm-1、結晶長が10mmの
固体レーザー媒質１３ａの場合、励起光が照射される端
面１４から５mmの前半部分において、励起光の約92％が
吸収されており、後半部分においては、残りの８％程度
が吸収されているにすぎない。
が照射される端面側の前半部分において、励起光の大部
分が吸収され、後半部分での励起光の吸収は、ごくわず
かである。例えば、吸収係数が５cm-1、結晶長が10mmの
固体レーザー媒質１３ａの場合、励起光が照射される端
面１４から５mmの前半部分において、励起光の約92％が
吸収されており、後半部分においては、残りの８％程度
が吸収されているにすぎない。
【００１５】また、半導体レーザー素子１１から発振さ
れるレーザー光の横モードにおける強度のファーフィー
ルドパターンは、ほぼガウシア分布になっている。この
ために、図３に示すように、固体レーザー媒質１３ａの
端面１４において、レーザー光の励起モードＳの直径Ｄ
S が、固体レーザー媒質１３ａ中の共振器モードＭの直
径ＤM の80％になっていることにより、固体レーザー媒
質１３ａの端面１４において励起に利用されるエネルギ
ーＥM は、全エネルギーＥの約74％となる。
れるレーザー光の横モードにおける強度のファーフィー
ルドパターンは、ほぼガウシア分布になっている。この
ために、図３に示すように、固体レーザー媒質１３ａの
端面１４において、レーザー光の励起モードＳの直径Ｄ
S が、固体レーザー媒質１３ａ中の共振器モードＭの直
径ＤM の80％になっていることにより、固体レーザー媒
質１３ａの端面１４において励起に利用されるエネルギ
ーＥM は、全エネルギーＥの約74％となる。
【００１６】その結果、固体レーザー媒質１３ａにおけ
る入射側の端面１４において、励起光の励起モードＳが
共振器モードＭよりも大きくなっていても、共振器モー
ドＭの外部に照射する励起光による励起は、共振器から
発振されるレーザー光の横モードの発振にはほとんど関
与せず、従って、共振器１３からは、高次モード発振が
抑制された単一横モードのレーザー光が発振されること
になる。
る入射側の端面１４において、励起光の励起モードＳが
共振器モードＭよりも大きくなっていても、共振器モー
ドＭの外部に照射する励起光による励起は、共振器から
発振されるレーザー光の横モードの発振にはほとんど関
与せず、従って、共振器１３からは、高次モード発振が
抑制された単一横モードのレーザー光が発振されること
になる。
【００１７】また、固体レーザー媒質１３ａの端面に照
射される励起光であるレーザー光の励起モードＳは、共
振器モードＭの内部内に絞り込まれていないために、励
起光による固体レーザー媒質１３ａの熱による熱レンズ
効果、複屈折効果等を抑制することができる。
射される励起光であるレーザー光の励起モードＳは、共
振器モードＭの内部内に絞り込まれていないために、励
起光による固体レーザー媒質１３ａの熱による熱レンズ
効果、複屈折効果等を抑制することができる。
【００１８】なお、固体レーザー媒質１３ａの吸収係数
が小さく、固体レーザー媒質１３ａの結晶長が短くなっ
ている場合には、励起強度、励起モードを調整して最適
化することによって、共振器モードＭの外部が励起され
ても、高次モード発振を抑制することができる。
が小さく、固体レーザー媒質１３ａの結晶長が短くなっ
ている場合には、励起強度、励起モードを調整して最適
化することによって、共振器モードＭの外部が励起され
ても、高次モード発振を抑制することができる。
【００１９】また、固体レーザー媒質１３ａ中の励起光
の励起モードＳは、少なくとも固体レーザー媒質１３ａ
の長さの５０％以上にわたって、固体レーザー媒質１３
ａ中の共振器モードＭの外部を励起し得るような大きさ
になっていればよい。
の励起モードＳは、少なくとも固体レーザー媒質１３ａ
の長さの５０％以上にわたって、固体レーザー媒質１３
ａ中の共振器モードＭの外部を励起し得るような大きさ
になっていればよい。
【００２０】このように、第１レンズ１２ａおよび第２
レンズ１２ｂの２枚のレンズによって構成された簡潔な
構成の光学系１２にもかかわらず、励起光は、固体レー
ザー媒質１３ａにおける共振器モードＭのほぼ全体にわ
たって励起することができ、共振器１３から単一横モー
ドのレーザー光を発振することができる。光学系１２と
しては、半導体レーザー素子１１から発振される横モー
ドが楕円形状のレーザー光を、真円形状に成形すること
なく、また、固体レーザー媒質１３ａ中の共振器モード
Ｍ内に絞り込む必要がないために、その構成が著しく簡
略化される。このような光学系１２としては、第１レン
ズ１２ａおよび第２レンズ１２ｂの２枚のレンズによる
構成に限らず、１枚の光学レンズによって構成してもよ
い。また、光学レンズとしては、非球面レンズ、球面レ
ンズ、ロッドレンズ等を使用することができる。
レンズ１２ｂの２枚のレンズによって構成された簡潔な
構成の光学系１２にもかかわらず、励起光は、固体レー
ザー媒質１３ａにおける共振器モードＭのほぼ全体にわ
たって励起することができ、共振器１３から単一横モー
ドのレーザー光を発振することができる。光学系１２と
しては、半導体レーザー素子１１から発振される横モー
ドが楕円形状のレーザー光を、真円形状に成形すること
なく、また、固体レーザー媒質１３ａ中の共振器モード
Ｍ内に絞り込む必要がないために、その構成が著しく簡
略化される。このような光学系１２としては、第１レン
ズ１２ａおよび第２レンズ１２ｂの２枚のレンズによる
構成に限らず、１枚の光学レンズによって構成してもよ
い。また、光学レンズとしては、非球面レンズ、球面レ
ンズ、ロッドレンズ等を使用することができる。
【００２１】なお、上記実施の形態では、励起光源とし
て、１つの半導体レーザー素子１１を使用する構成であ
ったが、複数の半導体レーザー素子から発振されるレー
ザー光を、偏光ビームスプリッター等によって固体レー
ザー媒質１３ａに照射するようにしてもよい。また、励
起光源は、半導体レーザー素子１１に限らず、ガスレー
ザー装置であってもよい。さらに、固体レーザー媒質１
３ａは、特に限定されるものではなく、あらゆる固体レ
ーザー媒質を使用することができる。共振器１３も、フ
ァブリペロー型に限らず、リング共振器、Ｚ型共振器等
も使用することができる。
て、１つの半導体レーザー素子１１を使用する構成であ
ったが、複数の半導体レーザー素子から発振されるレー
ザー光を、偏光ビームスプリッター等によって固体レー
ザー媒質１３ａに照射するようにしてもよい。また、励
起光源は、半導体レーザー素子１１に限らず、ガスレー
ザー装置であってもよい。さらに、固体レーザー媒質１
３ａは、特に限定されるものではなく、あらゆる固体レ
ーザー媒質を使用することができる。共振器１３も、フ
ァブリペロー型に限らず、リング共振器、Ｚ型共振器等
も使用することができる。
【００２２】
【発明の効果】本発明の固体レーザー装置は、このよう
に、固体レーザー媒質に照射される励起光の励起モード
が、固体レーザー媒質中の共振器モード内部のみならず
外部も励起するようにしたことにより、簡潔な構成であ
るにもかかわらず、単一横モードのレーザ光を共振器か
ら発振することができる。
に、固体レーザー媒質に照射される励起光の励起モード
が、固体レーザー媒質中の共振器モード内部のみならず
外部も励起するようにしたことにより、簡潔な構成であ
るにもかかわらず、単一横モードのレーザ光を共振器か
ら発振することができる。
【図１】（ａ）は、本発明の固体レーザー装置の実施の
形態の一例を示す概略側面図、（ｂ）は、その概略平面
図である。
形態の一例を示す概略側面図、（ｂ）は、その概略平面
図である。
【図２】（ａ）は、その固体レーザー装置における固体
レーザー媒質を説明するための正面概略図、（ｂ）は、
その断面概略図である。
レーザー媒質を説明するための正面概略図、（ｂ）は、
その断面概略図である。
【図３】その固体レーザー媒質における励起光入射側の
端面における励起光の強度分布を示すグラフである。
端面における励起光の強度分布を示すグラフである。
１１ 半導体レーザー素子 １２ 光学系 １２ａ 第１レンズ １２ｂ 第２レンズ １３ 共振器 １３ａ 固体レーザー媒質 １３ｂ 出力ミラー
Claims (4)
- 【請求項１】 共振器内に配置された固体レーザー媒質
に、励起光源から発せられる励起光が照射されることに
より、共振器からレーザー光が発振される固体レーザー
装置であって、 励起光源から発せられる励起光の励起モードは、固体レ
ーザー媒質中の共振器モードの内部のみならず、少なく
とも一部が固体レーザー媒質中の共振器モードの外部も
照射することを特徴とする固体レーザー装置。 - 【請求項２】 前記励起光源から発せられる励起光は、
光学系を介して固体レーザー媒質に照射されるようにな
っており、この光学系が、励起光源から発せられる励起
光の広がり角度を抑制する第１レンズと、第１レンズに
よって広がり角度が抑制された光を固体レーザー媒質に
収束する第２レンズとによって構成されている請求項１
に記載の固体レーザー装置。 - 【請求項３】 前記励起光源は半導体レーザー素子であ
る請求項１に記載の固体レーザー装置。 - 【請求項４】 前記励起光は、固体レーザー媒質の全体
の長さの50％以上にわたって、固体レーザー媒質の共振
器モードの外部を励起する請求項１に記載の固体レーザ
ー装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10177457A JP2000012931A (ja) | 1998-06-24 | 1998-06-24 | 固体レーザー装置 |
| US09/327,887 US6188713B1 (en) | 1998-06-24 | 1999-06-08 | Solid-state laser apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10177457A JP2000012931A (ja) | 1998-06-24 | 1998-06-24 | 固体レーザー装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000012931A true JP2000012931A (ja) | 2000-01-14 |
Family
ID=16031286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10177457A Pending JP2000012931A (ja) | 1998-06-24 | 1998-06-24 | 固体レーザー装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6188713B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000012931A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007288166A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-11-01 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 高ビーム品質レーザー |
| JP2018074017A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 株式会社島津製作所 | レーザ装置 |
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|---|---|---|---|---|
| US11465900B2 (en) * | 2019-04-12 | 2022-10-11 | Fluid Management, Inc. | Methods and systems for colorant dispenser alignment |
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|---|---|---|---|---|
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| JPH06104515A (ja) * | 1992-09-21 | 1994-04-15 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | 固体レーザ |
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| US6061382A (en) * | 1998-05-04 | 2000-05-09 | Lambda Physik Gmbh | Laser system and method for narrow spectral linewidth through wavefront curvature compensation |
-
1998
- 1998-06-24 JP JP10177457A patent/JP2000012931A/ja active Pending
-
1999
- 1999-06-08 US US09/327,887 patent/US6188713B1/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2018074017A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 株式会社島津製作所 | レーザ装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6188713B1 (en) | 2001-02-13 |
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