JP2000009991A - オートフォーカス装置及びオートフォーカス方法 - Google Patents
オートフォーカス装置及びオートフォーカス方法Info
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 あらかじめ記憶された基準画像鮮明度評価情
報曲線を用いて少ない移動・計測回数で効率よく、高速
にフォーカスを合わせることができるオートフォーカス
装置を提供する。 【解決手段】 被加工部材２に光学的に加工処理する装
置１に於て、対物レンズ３を介して照明用光エネルギー
を被加工部材２に照射する照明手段７、被加工部材２か
らの反射光から被加工部材２表面の画像を認識して、当
該被加工部材表面の画像鮮明度評価情報を演算する画像
鮮明度評価情報演算手段１１、画像鮮明度評価情報の現
在の演算値を所定の記憶手段１４に記憶されている基準
画像鮮明度評価情報と比較して、基準画像鮮明度評価情
報の最高値との差分値を求める差分値演算手段１２、差
分値を０とする様に、対物レンズの配置位置を調整する
対物レンズ制御手段１３とから構成されているオートフ
ォーカス装置２０。
報曲線を用いて少ない移動・計測回数で効率よく、高速
にフォーカスを合わせることができるオートフォーカス
装置を提供する。 【解決手段】 被加工部材２に光学的に加工処理する装
置１に於て、対物レンズ３を介して照明用光エネルギー
を被加工部材２に照射する照明手段７、被加工部材２か
らの反射光から被加工部材２表面の画像を認識して、当
該被加工部材表面の画像鮮明度評価情報を演算する画像
鮮明度評価情報演算手段１１、画像鮮明度評価情報の現
在の演算値を所定の記憶手段１４に記憶されている基準
画像鮮明度評価情報と比較して、基準画像鮮明度評価情
報の最高値との差分値を求める差分値演算手段１２、差
分値を０とする様に、対物レンズの配置位置を調整する
対物レンズ制御手段１３とから構成されているオートフ
ォーカス装置２０。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置を主体
とする被加工部材を加工する光学的加工装置に於けるオ
ートフォーカス装置及びオートフォーカス方法に関し、
特に、被加工部材を加工する光学的加工装置に於ける画
像鮮明度評価値を最適な状態にセットする事が可能なオ
ートフォーカス装置及びオートフォーカス方法に関する
ものである。
とする被加工部材を加工する光学的加工装置に於けるオ
ートフォーカス装置及びオートフォーカス方法に関し、
特に、被加工部材を加工する光学的加工装置に於ける画
像鮮明度評価値を最適な状態にセットする事が可能なオ
ートフォーカス装置及びオートフォーカス方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より半導体装置を主体とする光学的
加工装置を利用して被加工部材を加工する方法として
は、多くの公知例が知られている。例えば特開平３−４
４６０８号公報には、被加工部材を光学的に処理する方
法に於て、当該被加工部材表面に所定の画像が最適なコ
ントラスト状態で投影されているかを判断する方法に関
して記載されており、その為に当該画像のコントラスト
を評価する為の評価曲線を使用する例が示されている。
加工装置を利用して被加工部材を加工する方法として
は、多くの公知例が知られている。例えば特開平３−４
４６０８号公報には、被加工部材を光学的に処理する方
法に於て、当該被加工部材表面に所定の画像が最適なコ
ントラスト状態で投影されているかを判断する方法に関
して記載されており、その為に当該画像のコントラスト
を評価する為の評価曲線を使用する例が示されている。
【０００３】係る公知例の当該評価曲線により、当該対
物レンズの位置と画像のコントラストの関係が解析出来
る。又特開平３−２８７１０６号公報には、当該被加工
部材の表面に形成される投影画像のコントラストを評価
する為に互いに隣接する画素間の画像データに於ける二
乗和を算出する方法が記載されている。
物レンズの位置と画像のコントラストの関係が解析出来
る。又特開平３−２８７１０６号公報には、当該被加工
部材の表面に形成される投影画像のコントラストを評価
する為に互いに隣接する画素間の画像データに於ける二
乗和を算出する方法が記載されている。
【０００４】更には、特開平７−１０４１７８号公報に
は、イメージセンサ上に形成される画像の内、前ピン像
と後ピン像との形状を比較する画像形状比較手段を使用
して当該画像を形成する対物レンズの位置を修正する方
法が開示されている。然しながら、何れの公知例におい
ても、ウェハ、ＩＣチップ、プリント基板などのワーク
を対象とした自動化装置のフォーカス機構においては、
一般に対物レンズを動かしながらフォーカス評価値を連
続計測し、フォーカス評価値が得られた位置をもってフ
ォーカス合わせが行われる。
は、イメージセンサ上に形成される画像の内、前ピン像
と後ピン像との形状を比較する画像形状比較手段を使用
して当該画像を形成する対物レンズの位置を修正する方
法が開示されている。然しながら、何れの公知例におい
ても、ウェハ、ＩＣチップ、プリント基板などのワーク
を対象とした自動化装置のフォーカス機構においては、
一般に対物レンズを動かしながらフォーカス評価値を連
続計測し、フォーカス評価値が得られた位置をもってフ
ォーカス合わせが行われる。
【０００５】従って、係る従来の方式では、焦点を合わ
せるには、高さに応じて対物レンズを何度も作動させな
ければならないという問題点があり、調整操作が複雑と
なるばかりでなく、コストの上昇を来す原因でもあっ
た。
せるには、高さに応じて対物レンズを何度も作動させな
ければならないという問題点があり、調整操作が複雑と
なるばかりでなく、コストの上昇を来す原因でもあっ
た。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、上記した従来技術の欠点を改良し、あらかじめ評価
保存しておいた所定の半導体基板に於ける基準となる画
像鮮明度の曲線を用いることにより、少ない移動・計測
回数で効率よく、高速にフォーカスを合わせることがで
きるオートフォーカス装置及びオートフォーカス方法を
提供するものである。
は、上記した従来技術の欠点を改良し、あらかじめ評価
保存しておいた所定の半導体基板に於ける基準となる画
像鮮明度の曲線を用いることにより、少ない移動・計測
回数で効率よく、高速にフォーカスを合わせることがで
きるオートフォーカス装置及びオートフォーカス方法を
提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成する為、以下に示す様な基本的な技術構成を採用す
るものである。即ち、本発明に係る第１の態様として
は、被加工部材に対して、適宜の加工処理用光源から出
力される光エネルギーを対物レンズを介して露光せしめ
て当該被加工部材を光学的に加工処理する装置に於て、
当該対物レンズを介して照明用の光源から出力される光
エネルギーを当該被加工部材に照射する照明手段、当該
被加工部材からの反射光から当該被加工部材表面の画像
を認識して、当該認識された当該被加工部材表面の画像
情報から当該被加工部材表面の画像鮮明度評価情報を演
算する画像鮮明度評価情報演算手段、当該画像鮮明度評
価情報の現在の演算値を予め所定の記憶手段に記憶され
ている当該被加工部材の基準画像鮮明度評価情報と比較
して、当該被加工部材に於ける基準画像鮮明度評価情報
の最高値との差分値を求める差分値演算手段、当該差分
値を０とする様に、当該対物レンズの配置位置を調整す
る対物レンズ制御手段とから構成されている被加工部材
の光学的処理装置に於けるオートフォーカス装置であ
り、又本発明の第２の態様としては、被加工部材に対し
て、適宜の加工処理用光源から出力される光エネルギー
を対物レンズを介して露光せしめて当該被加工部材を光
学的に加工処理する装置に於て、当該対物レンズを介し
て照明用の光源から出力される光エネルギーを当該被加
工部材に照射する工程、当該被加工部材からの反射光か
ら当該被加工部材表面の画像を受光する工程、当該画像
を解析し、当該解析された被加工部材表面の画像情報か
ら当該被加工部材表面の画像鮮明度評価情報を演算する
工程、当該画像鮮明度評価情報の現在の演算値を予め所
定の記憶手段に記憶されている当該被加工部材の基準画
像鮮明度評価情報と比較する工程、当該比較結果に基づ
いて、当該被加工部材に於ける基準画像鮮明度評価情報
の最高値と現在の時点に於ける対物レンズの位置との差
分値を求め、当該差分値を０とする様に、当該対物レン
ズの配置位置を駆動調整する工程、とから構成されてい
る被加工部材の光学的処理装置に於けるオートフォーカ
ス方法である。
達成する為、以下に示す様な基本的な技術構成を採用す
るものである。即ち、本発明に係る第１の態様として
は、被加工部材に対して、適宜の加工処理用光源から出
力される光エネルギーを対物レンズを介して露光せしめ
て当該被加工部材を光学的に加工処理する装置に於て、
当該対物レンズを介して照明用の光源から出力される光
エネルギーを当該被加工部材に照射する照明手段、当該
被加工部材からの反射光から当該被加工部材表面の画像
を認識して、当該認識された当該被加工部材表面の画像
情報から当該被加工部材表面の画像鮮明度評価情報を演
算する画像鮮明度評価情報演算手段、当該画像鮮明度評
価情報の現在の演算値を予め所定の記憶手段に記憶され
ている当該被加工部材の基準画像鮮明度評価情報と比較
して、当該被加工部材に於ける基準画像鮮明度評価情報
の最高値との差分値を求める差分値演算手段、当該差分
値を０とする様に、当該対物レンズの配置位置を調整す
る対物レンズ制御手段とから構成されている被加工部材
の光学的処理装置に於けるオートフォーカス装置であ
り、又本発明の第２の態様としては、被加工部材に対し
て、適宜の加工処理用光源から出力される光エネルギー
を対物レンズを介して露光せしめて当該被加工部材を光
学的に加工処理する装置に於て、当該対物レンズを介し
て照明用の光源から出力される光エネルギーを当該被加
工部材に照射する工程、当該被加工部材からの反射光か
ら当該被加工部材表面の画像を受光する工程、当該画像
を解析し、当該解析された被加工部材表面の画像情報か
ら当該被加工部材表面の画像鮮明度評価情報を演算する
工程、当該画像鮮明度評価情報の現在の演算値を予め所
定の記憶手段に記憶されている当該被加工部材の基準画
像鮮明度評価情報と比較する工程、当該比較結果に基づ
いて、当該被加工部材に於ける基準画像鮮明度評価情報
の最高値と現在の時点に於ける対物レンズの位置との差
分値を求め、当該差分値を０とする様に、当該対物レン
ズの配置位置を駆動調整する工程、とから構成されてい
る被加工部材の光学的処理装置に於けるオートフォーカ
ス方法である。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明に係る半導体装置に於ける
被加工部材に対する光学的処理加工を実行する処理装置
のオートフォーカス装置及びオートフォーカス方法は、
上記した様な技術構成を採用しているので、対物レンズ
を通して、例えば、ＣＣＤカメラによりモニタされるタ
ーゲットマークの画像情報に対し、あらかじめある一定
間隔で対物レンズの高さを変化させ、その時の画像鮮明
度（どのくらい画像のコントラストがはっきりしている
かの評価値）を評価し事前にデータベース化しておく。
被加工部材に対する光学的処理加工を実行する処理装置
のオートフォーカス装置及びオートフォーカス方法は、
上記した様な技術構成を採用しているので、対物レンズ
を通して、例えば、ＣＣＤカメラによりモニタされるタ
ーゲットマークの画像情報に対し、あらかじめある一定
間隔で対物レンズの高さを変化させ、その時の画像鮮明
度（どのくらい画像のコントラストがはっきりしている
かの評価値）を評価し事前にデータベース化しておく。
【０００９】そして、このデータベースは光学的な構成
や、ターゲットマークの形状が同一であれば、再現性の
よい評価曲線（画像鮮明度）で表される。次に、実際オ
ートフォーカスを行う場合、ある高さで得られた画像鮮
明度と事前に評価保存しておいた所定のマークに対応す
る画像鮮明度のデータベースからジャストフォーカス位
置を算出し、一度にその点にアクチュエータを作動させ
焦点を合わせることを特徴とするものである。
や、ターゲットマークの形状が同一であれば、再現性の
よい評価曲線（画像鮮明度）で表される。次に、実際オ
ートフォーカスを行う場合、ある高さで得られた画像鮮
明度と事前に評価保存しておいた所定のマークに対応す
る画像鮮明度のデータベースからジャストフォーカス位
置を算出し、一度にその点にアクチュエータを作動させ
焦点を合わせることを特徴とするものである。
【００１０】
【実施例】以下に、本発明に係る半導体装置に対する光
学的処理加工装置及びその方法に於て使用されるオート
フォーカス装置及びオートフォーカス方法の一具体例の
構成を図面を参照しながら詳細に説明する。即ち、図１
は、本発明に係る半導体装置である被加工部材２を加工
する半導体加工装置１におけるオートフォーカス装置２
０の一具体例の構成を示す図であって、図中、被加工部
材２に対して、適宜の加工処理用光源４から出力される
光エネルギーを対物レンズ３を介して露光せしめて当該
被加工部材２を光学的に加工処理する装置１に於て、当
該対物レンズ３を介して照明用の光源から出力される光
エネルギーを当該被加工部材２に照射する照明手段７、
当該被加工部材２からの反射光から当該被加工部材２表
面の画像を認識して、当該認識された当該被加工部材表
面の画像情報から当該被加工部材表面の画像鮮明度評価
情報を演算する画像鮮明度評価情報演算手段１１、当該
画像鮮明度評価情報の現在の演算値を予め所定の記憶手
段１４に記憶されている当該被加工部材の基準画像鮮明
度評価情報と比較して、当該被加工部材２に於ける基準
画像鮮明度評価情報の最高値との差分値を求める差分値
演算手段１２、当該差分値を０とする様に、当該対物レ
ンズの配置位置を調整する対物レンズ制御手段１３とか
ら構成されている被加工部材２の光学的処理装置１に於
けるオートフォーカス装置２０が示されている。
学的処理加工装置及びその方法に於て使用されるオート
フォーカス装置及びオートフォーカス方法の一具体例の
構成を図面を参照しながら詳細に説明する。即ち、図１
は、本発明に係る半導体装置である被加工部材２を加工
する半導体加工装置１におけるオートフォーカス装置２
０の一具体例の構成を示す図であって、図中、被加工部
材２に対して、適宜の加工処理用光源４から出力される
光エネルギーを対物レンズ３を介して露光せしめて当該
被加工部材２を光学的に加工処理する装置１に於て、当
該対物レンズ３を介して照明用の光源から出力される光
エネルギーを当該被加工部材２に照射する照明手段７、
当該被加工部材２からの反射光から当該被加工部材２表
面の画像を認識して、当該認識された当該被加工部材表
面の画像情報から当該被加工部材表面の画像鮮明度評価
情報を演算する画像鮮明度評価情報演算手段１１、当該
画像鮮明度評価情報の現在の演算値を予め所定の記憶手
段１４に記憶されている当該被加工部材の基準画像鮮明
度評価情報と比較して、当該被加工部材２に於ける基準
画像鮮明度評価情報の最高値との差分値を求める差分値
演算手段１２、当該差分値を０とする様に、当該対物レ
ンズの配置位置を調整する対物レンズ制御手段１３とか
ら構成されている被加工部材２の光学的処理装置１に於
けるオートフォーカス装置２０が示されている。
【００１１】本発明に於いては、上記に開示されたオー
トフォーカス装置２０を更に詳細に説明するならば、当
該被加工部材３を光学的に処理する装置１であって、当
該光学的処理を実行する光源４、当該光源４から出力さ
れる光エネルギーを当該被加工部材２に露光せしめる対
物レンズ３、当該対物レンズの配置位置を変動させ焦点
位置を調整する対物レンズ駆動手段８、当該対物レンズ
３に画像鮮明度評価用光エネルギーを供給する画像鮮明
度評価用照明光源７、当該画像鮮明度評価用照明光源７
からの光が当該被加工部材２で反射して、当該反射光を
適宜の画像認識手段２２、例えば、観察レンズ９とＣＣ
Ｄカメラ１０とから構成された画像認識手段２２により
読み取られた当該被加工部材２の表面画像に関して、画
像鮮明度評価情報を算出する画像鮮明度評価情報演算手
段１１、当該被加工部材２に於ける基準画像鮮明度評価
情報を記憶している基準画像鮮明度評価情報記憶手段１
４、当該基準画像鮮明度評価情報記憶手段１４に予め記
憶されている当該被加工部材２の画像鮮明度評価情報と
現在得られた画像鮮明度評価情報とを比較して、当該画
像に於けるコントラストが最高値を示す状態とに於ける
対物レンズの位置と現在の対物レンズの位置との差分値
を演算する比較演算手段１２、当該比較演算手段１２に
於ける比較演算結果から、現在時点に於ける当該対物レ
ンズ３の配置位置情報を確認し、当該対物レンズ３を最
適画像鮮明度評価が得られる位置に移動調整する対物レ
ンズ位置調整手段８とから構成されている被加工部材の
光学的処理装置１に於けるオートフォーカス装置２０で
ある。
トフォーカス装置２０を更に詳細に説明するならば、当
該被加工部材３を光学的に処理する装置１であって、当
該光学的処理を実行する光源４、当該光源４から出力さ
れる光エネルギーを当該被加工部材２に露光せしめる対
物レンズ３、当該対物レンズの配置位置を変動させ焦点
位置を調整する対物レンズ駆動手段８、当該対物レンズ
３に画像鮮明度評価用光エネルギーを供給する画像鮮明
度評価用照明光源７、当該画像鮮明度評価用照明光源７
からの光が当該被加工部材２で反射して、当該反射光を
適宜の画像認識手段２２、例えば、観察レンズ９とＣＣ
Ｄカメラ１０とから構成された画像認識手段２２により
読み取られた当該被加工部材２の表面画像に関して、画
像鮮明度評価情報を算出する画像鮮明度評価情報演算手
段１１、当該被加工部材２に於ける基準画像鮮明度評価
情報を記憶している基準画像鮮明度評価情報記憶手段１
４、当該基準画像鮮明度評価情報記憶手段１４に予め記
憶されている当該被加工部材２の画像鮮明度評価情報と
現在得られた画像鮮明度評価情報とを比較して、当該画
像に於けるコントラストが最高値を示す状態とに於ける
対物レンズの位置と現在の対物レンズの位置との差分値
を演算する比較演算手段１２、当該比較演算手段１２に
於ける比較演算結果から、現在時点に於ける当該対物レ
ンズ３の配置位置情報を確認し、当該対物レンズ３を最
適画像鮮明度評価が得られる位置に移動調整する対物レ
ンズ位置調整手段８とから構成されている被加工部材の
光学的処理装置１に於けるオートフォーカス装置２０で
ある。
【００１２】本発明に於ける当該対物レンズ３の位置調
整手段８は、当該比較演算手段１２の出力値を入力する
制御手段１３と当該制御手段に接続された適宜のドライ
バ手段１５及び当該ドライバ手段１５の出力により所定
の電流値若しくは電圧値を出力して当該対物レンズの駆
動手段のモーター等を駆動させるアクチェータ２８とか
ら構成されているものである。
整手段８は、当該比較演算手段１２の出力値を入力する
制御手段１３と当該制御手段に接続された適宜のドライ
バ手段１５及び当該ドライバ手段１５の出力により所定
の電流値若しくは電圧値を出力して当該対物レンズの駆
動手段のモーター等を駆動させるアクチェータ２８とか
ら構成されているものである。
【００１３】本発明に於ける当該被加工部材２を光学的
に処理する装置１は、例えばレーザ装置であっても良
く、その場合には、当該光学的処理を実行する光源４は
レーザ光源である事が望ましい。更に、本発明に於いて
は、当該被加工部材２は、ウェハ、チップ、プリント基
板等から選択された一つの部材である事が望ましいが、
本発明に於いては係る具体例に特定されるものではな
い。
に処理する装置１は、例えばレーザ装置であっても良
く、その場合には、当該光学的処理を実行する光源４は
レーザ光源である事が望ましい。更に、本発明に於いて
は、当該被加工部材２は、ウェハ、チップ、プリント基
板等から選択された一つの部材である事が望ましいが、
本発明に於いては係る具体例に特定されるものではな
い。
【００１４】一方、本発明に於て使用される当該被加工
部材２の表面画像に関する画像鮮明度評価情報を算出す
る画像鮮明度評価情報演算手段は、ＣＣＤカメラを含む
ものである事が望ましく、画像の隣接する各画素間の電
気信号を例えば差の二乗和を算出する等の操作を利用し
てコントラスト情報を求め、更に対物レンズの位置を適
宜変更する事によって、例えば、図３に示す様な、画像
鮮明度評価曲線を得る事が出来る。
部材２の表面画像に関する画像鮮明度評価情報を算出す
る画像鮮明度評価情報演算手段は、ＣＣＤカメラを含む
ものである事が望ましく、画像の隣接する各画素間の電
気信号を例えば差の二乗和を算出する等の操作を利用し
てコントラスト情報を求め、更に対物レンズの位置を適
宜変更する事によって、例えば、図３に示す様な、画像
鮮明度評価曲線を得る事が出来る。
【００１５】つまり、本発明に於て使用する当該基準画
像鮮明度評価曲線は、当該被加工部材２の表面に垂直な
方向に対して当該対物レンズ３を所定の距離往復動させ
る事によって得られる、それぞれの対物レンズの位置に
於けるコントラスト情報をプロットして連続化する事に
よって得られるものである。即ち、本発明に係る当該画
像鮮明度評価曲線によって得られる画像鮮明度評価情報
は、最適なコントラストが得られる当該対物レンズ３の
位置を中心に、当該対物レンズ３が、当該最適なコント
ラストが得られる位置から離れる方向、つまり当該被加
工部材２の表面に垂直な方向に平行に移動させた時に、
当該対物レンズの位置とその時点に於けるコントラスト
の値との関係を表示するものである。
像鮮明度評価曲線は、当該被加工部材２の表面に垂直な
方向に対して当該対物レンズ３を所定の距離往復動させ
る事によって得られる、それぞれの対物レンズの位置に
於けるコントラスト情報をプロットして連続化する事に
よって得られるものである。即ち、本発明に係る当該画
像鮮明度評価曲線によって得られる画像鮮明度評価情報
は、最適なコントラストが得られる当該対物レンズ３の
位置を中心に、当該対物レンズ３が、当該最適なコント
ラストが得られる位置から離れる方向、つまり当該被加
工部材２の表面に垂直な方向に平行に移動させた時に、
当該対物レンズの位置とその時点に於けるコントラスト
の値との関係を表示するものである。
【００１６】従って、或る所望の被加工部材２を加工す
る場合には、当該被加工部材２に対して、少なくとも一
回、当該レーザ光源４ではなく、当該照明用の光源７を
使用して当該対物レンズ３を介して照明用の光を当該被
加工部材２の表面に照射せしめ、その反射光を当該ＣＣ
Ｄカメラ等で構成されている画像認識手段２２で受光
し、画像に於ける所定の部分のコントラストに関する解
析を当該画像処理手段１１と演算手段１２によって実行
される。
る場合には、当該被加工部材２に対して、少なくとも一
回、当該レーザ光源４ではなく、当該照明用の光源７を
使用して当該対物レンズ３を介して照明用の光を当該被
加工部材２の表面に照射せしめ、その反射光を当該ＣＣ
Ｄカメラ等で構成されている画像認識手段２２で受光
し、画像に於ける所定の部分のコントラストに関する解
析を当該画像処理手段１１と演算手段１２によって実行
される。
【００１７】具体的には、図２に示す様に、当該所望の
被加工部材２の適宜の表面部分にコントラストを判断す
る為に使用されるマーク１６（フィデュシャルマーク）
の部分に当該対物レンズ３を合わせ、当該対物レンズ３
を一定の微小間隔で当該被加工部材２の表面に垂直な方
向に少なくとも一回、望ましくは複数回移動変位させ
て、その都度当該マーク１６に関するコントラスト、つ
まり画像鮮明度値を各対物レンズ３の変位位置毎に求
め、図３に示す様な画像鮮明度評価情報である曲線を求
め、その結果を記憶手段１４に記憶させておく。
被加工部材２の適宜の表面部分にコントラストを判断す
る為に使用されるマーク１６（フィデュシャルマーク）
の部分に当該対物レンズ３を合わせ、当該対物レンズ３
を一定の微小間隔で当該被加工部材２の表面に垂直な方
向に少なくとも一回、望ましくは複数回移動変位させ
て、その都度当該マーク１６に関するコントラスト、つ
まり画像鮮明度値を各対物レンズ３の変位位置毎に求
め、図３に示す様な画像鮮明度評価情報である曲線を求
め、その結果を記憶手段１４に記憶させておく。
【００１８】係る画像鮮明度評価曲線は、当該被加工部
材２に付いての基準画像鮮明度評価情報となり、当該被
加工部材の加工処理に於ける最初のステップに於て求め
ておき、メモリーに記憶させておくものである。係る基
準画像鮮明度評価情報曲線は、当該被加工部材２の複数
のロットを処理する間、共通に使用されるものである。
材２に付いての基準画像鮮明度評価情報となり、当該被
加工部材の加工処理に於ける最初のステップに於て求め
ておき、メモリーに記憶させておくものである。係る基
準画像鮮明度評価情報曲線は、当該被加工部材２の複数
のロットを処理する間、共通に使用されるものである。
【００１９】より正確には、当該被加工部材２の各ロッ
ト毎に基準画像鮮明度評価情報曲線を求め直すものであ
るが、同一のスペックを有する複数個の被加工部材２に
あっては、ロット間の誤差は少ないと判断出来るので、
同一のスペックを持つ複数個の被加工部材２の処理は、
同一の基準画像鮮明度評価情報曲線を使用する事が可能
である。
ト毎に基準画像鮮明度評価情報曲線を求め直すものであ
るが、同一のスペックを有する複数個の被加工部材２に
あっては、ロット間の誤差は少ないと判断出来るので、
同一のスペックを持つ複数個の被加工部材２の処理は、
同一の基準画像鮮明度評価情報曲線を使用する事が可能
である。
【００２０】本発明に於いては、一旦当該被加工部材２
に対して該基準画像鮮明度評価情報曲線が形成され、所
定の記憶手段１４にその情報が記憶された後に、当該個
々の被加工部材２に対して個別に、所定の光学的加工処
理が行われるものであって、当該処理加工様の光源４か
ら、所定のレーザ光が当該被加工部材２に照射される。
に対して該基準画像鮮明度評価情報曲線が形成され、所
定の記憶手段１４にその情報が記憶された後に、当該個
々の被加工部材２に対して個別に、所定の光学的加工処
理が行われるものであって、当該処理加工様の光源４か
ら、所定のレーザ光が当該被加工部材２に照射される。
【００２１】その直前に、本発明に於いては、上記した
照明用光源７から所定の照明用光を該対物レンズ３を介
して、当該新たに加工すべき被加工部材２の表面に設け
られた当該マーク１６に照射させその際の当該マーク１
６に関するコントラスト情報、つまり画像鮮明度情報を
当該画像認識手段２２と画像処理手段１１及び演算手段
１２で求める。
照明用光源７から所定の照明用光を該対物レンズ３を介
して、当該新たに加工すべき被加工部材２の表面に設け
られた当該マーク１６に照射させその際の当該マーク１
６に関するコントラスト情報、つまり画像鮮明度情報を
当該画像認識手段２２と画像処理手段１１及び演算手段
１２で求める。
【００２２】その結果、今求めた当該新規の被加工部材
２に於ける当該コントラスト情報を当該記憶手段１４に
格納されている当該被加工部材２に関する基準画像鮮明
度評価情報曲線と比較する事によって、当該対物レンズ
による焦点位置の状態が識別する事が可能となる。つま
り、今求めた当該新規の被加工部材２に於ける当該コン
トラスト情報が図４に示す様に、Ｊのレベルであり当該
Ｊのレベルを図３に示す当該基準画像鮮明度評価情報曲
線に当てはめると、例えば位置Ｋに相当する事が判明す
る。
２に於ける当該コントラスト情報を当該記憶手段１４に
格納されている当該被加工部材２に関する基準画像鮮明
度評価情報曲線と比較する事によって、当該対物レンズ
による焦点位置の状態が識別する事が可能となる。つま
り、今求めた当該新規の被加工部材２に於ける当該コン
トラスト情報が図４に示す様に、Ｊのレベルであり当該
Ｊのレベルを図３に示す当該基準画像鮮明度評価情報曲
線に当てはめると、例えば位置Ｋに相当する事が判明す
る。
【００２３】その結果、現在に於ける当該対物レンズ３
の位置Ｋと当該被加工部材２に於ける最良のコントラス
トが得られる対物レンズ３の位置Ｆとの位置誤差Ｚが上
記した差分値演算手段１２により求められるので、その
情報を当該制御手段１３、ドライバ手段１１を介して当
該対物レンズ３の位置を変動させるアクチュエータ２８
を駆動させる事によって、当該対物レンズ３を最適なコ
ントラストが得られる位置Ｆに移動させる事が出来る。
の位置Ｋと当該被加工部材２に於ける最良のコントラス
トが得られる対物レンズ３の位置Ｆとの位置誤差Ｚが上
記した差分値演算手段１２により求められるので、その
情報を当該制御手段１３、ドライバ手段１１を介して当
該対物レンズ３の位置を変動させるアクチュエータ２８
を駆動させる事によって、当該対物レンズ３を最適なコ
ントラストが得られる位置Ｆに移動させる事が出来る。
【００２４】同様に、所定の被加工部材２に於ける当該
画像鮮明度のレベルがＡであった場合には、同様に当該
基準画像鮮明度評価情報曲線上に於て位置Ｂと位置Ｃと
が検出される事になる。その後、当該レーザ光源等から
なる加工処理光源４からの所定の光エネルギーを当該被
加工部材２に照射する事によって、当該被加工部材２の
表面に所定の加工処理を施す事になる。
画像鮮明度のレベルがＡであった場合には、同様に当該
基準画像鮮明度評価情報曲線上に於て位置Ｂと位置Ｃと
が検出される事になる。その後、当該レーザ光源等から
なる加工処理光源４からの所定の光エネルギーを当該被
加工部材２に照射する事によって、当該被加工部材２の
表面に所定の加工処理を施す事になる。
【００２５】次いで、第２枚目の当該被加工部材２を当
該装置１にセットし、上記したと同様の対物レンズ３の
位置調整を実行する。係る操作を所定の枚数の被加工部
材２に対して繰り返し、最終の被加工部材２に対して加
工処理が完了する迄同様の操作が繰り返し実行される。
そして、新たな被加工部材２を加工処理する場合には、
上記した様に、当該新たな被加工部材２に対して、基準
画像鮮明度評価情報曲線を求め、その結果を当該記憶手
段１４に記憶した後、上記と同様の処理操作を繰り返し
実行する事になる。
該装置１にセットし、上記したと同様の対物レンズ３の
位置調整を実行する。係る操作を所定の枚数の被加工部
材２に対して繰り返し、最終の被加工部材２に対して加
工処理が完了する迄同様の操作が繰り返し実行される。
そして、新たな被加工部材２を加工処理する場合には、
上記した様に、当該新たな被加工部材２に対して、基準
画像鮮明度評価情報曲線を求め、その結果を当該記憶手
段１４に記憶した後、上記と同様の処理操作を繰り返し
実行する事になる。
【００２６】本発明に於ける当該基準画像鮮明度評価情
報は、当該被加工部材２の表面に垂直な方向に対して当
該対物レンズ３を所定の距離往復動させる事によって得
られる、最適なコントラストが得られる当該対物レンズ
３の位置を中心に、当該対物レンズ３が、当該最適なコ
ントラストが得られる位置から離れる方向に測定した当
該対物レンズ３の位置とその時点に於けるコントラスト
の値との関係を表示するものである。
報は、当該被加工部材２の表面に垂直な方向に対して当
該対物レンズ３を所定の距離往復動させる事によって得
られる、最適なコントラストが得られる当該対物レンズ
３の位置を中心に、当該対物レンズ３が、当該最適なコ
ントラストが得られる位置から離れる方向に測定した当
該対物レンズ３の位置とその時点に於けるコントラスト
の値との関係を表示するものである。
【００２７】然しながら、当該基準画像鮮明度評価情報
曲線は、図３に示すように、当該被加工部材２に関して
最良のコントラストが得られる当該対物レンズ３の位置
Ｆを中心として山形の曲線を形成するのが一般的である
ので、例えば、或る被加工部材を加工処理する為に当該
対物レンズ３の位置を検出するためにコントラスト評価
を上記画像鮮明度等で検出する場合、図３に於ける位置
Ｋと位置Ｌの２箇所の候補地が検出される事になる。
曲線は、図３に示すように、当該被加工部材２に関して
最良のコントラストが得られる当該対物レンズ３の位置
Ｆを中心として山形の曲線を形成するのが一般的である
ので、例えば、或る被加工部材を加工処理する為に当該
対物レンズ３の位置を検出するためにコントラスト評価
を上記画像鮮明度等で検出する場合、図３に於ける位置
Ｋと位置Ｌの２箇所の候補地が検出される事になる。
【００２８】つまり、当該最良のコントラストが得られ
る当該対物レンズ３の位置Ｆの手前の位置にあるのか、
当該最良のコントラストが得られる当該対物レンズ３の
位置Ｆを越えた位置にあるのかを判断する必要が生ず
る。係る場合には、例えば、当該対物レンズ３の現在の
配置位置を確認するに際して、当該対物レンズ３を当該
被加工部材２の表面に対して直角な方向に、上下に微動
変位させ、当該被加工部材２の当該画像鮮明度評価情報
の変化の方向を判断することによって、識別する事が可
能である。
る当該対物レンズ３の位置Ｆの手前の位置にあるのか、
当該最良のコントラストが得られる当該対物レンズ３の
位置Ｆを越えた位置にあるのかを判断する必要が生ず
る。係る場合には、例えば、当該対物レンズ３の現在の
配置位置を確認するに際して、当該対物レンズ３を当該
被加工部材２の表面に対して直角な方向に、上下に微動
変位させ、当該被加工部材２の当該画像鮮明度評価情報
の変化の方向を判断することによって、識別する事が可
能である。
【００２９】つまり、当該画像鮮明度評価情報が増加の
方向を示す場合には、当該対物レンズ３は、図４のＫの
位置にいる事が判明し、従って、Ｚ１（＝Ｆ−Ｋ）の距
離だけ当該対物レンズ３の位置をＦの方向に移動させる
事になり、又、当該画像鮮明度評価情報が減少の方向を
示す場合には、当該対物レンズ３は、図４のＬの位置に
いる事が判明し、従って、Ｚ２（＝Ｌ−Ｆ）の距離だけ
当該対物レンズ３の位置をＦの方向に移動させる事にな
る。
方向を示す場合には、当該対物レンズ３は、図４のＫの
位置にいる事が判明し、従って、Ｚ１（＝Ｆ−Ｋ）の距
離だけ当該対物レンズ３の位置をＦの方向に移動させる
事になり、又、当該画像鮮明度評価情報が減少の方向を
示す場合には、当該対物レンズ３は、図４のＬの位置に
いる事が判明し、従って、Ｚ２（＝Ｌ−Ｆ）の距離だけ
当該対物レンズ３の位置をＦの方向に移動させる事にな
る。
【００３０】即ち、本発明に係る当該オートフォーカス
方法としては、上記した様に、被加工部材に対して、適
宜の加工処理用光源から出力される光エネルギーを対物
レンズを介して露光せしめて当該被加工部材を光学的に
加工処理する装置に於て、当該対物レンズを介して照明
用の光源から出力される光エネルギーを当該被加工部材
に照射する工程、当該被加工部材からの反射光から当該
被加工部材表面の画像を受光する工程、当該画像を解析
し、当該解析された被加工部材表面の画像情報から当該
被加工部材表面の画像鮮明度評価情報を演算する工程、
当該画像鮮明度評価情報の現在の演算値を予め所定の記
憶手段に記憶されている当該被加工部材の基準画像鮮明
度評価情報と比較する工程、当該比較結果に基づいて、
当該被加工部材に於ける基準画像鮮明度評価情報の最高
値と現在の時点に於ける対物レンズの位置との差分値を
求め、当該差分値を０とする様に、当該対物レンズの配
置位置を駆動調整する工程、とから構成されているオー
トフォーカス方法である。
方法としては、上記した様に、被加工部材に対して、適
宜の加工処理用光源から出力される光エネルギーを対物
レンズを介して露光せしめて当該被加工部材を光学的に
加工処理する装置に於て、当該対物レンズを介して照明
用の光源から出力される光エネルギーを当該被加工部材
に照射する工程、当該被加工部材からの反射光から当該
被加工部材表面の画像を受光する工程、当該画像を解析
し、当該解析された被加工部材表面の画像情報から当該
被加工部材表面の画像鮮明度評価情報を演算する工程、
当該画像鮮明度評価情報の現在の演算値を予め所定の記
憶手段に記憶されている当該被加工部材の基準画像鮮明
度評価情報と比較する工程、当該比較結果に基づいて、
当該被加工部材に於ける基準画像鮮明度評価情報の最高
値と現在の時点に於ける対物レンズの位置との差分値を
求め、当該差分値を０とする様に、当該対物レンズの配
置位置を駆動調整する工程、とから構成されているオー
トフォーカス方法である。
【００３１】本発明に係る当該オートフォーカス方法の
具体例を図５のフローチャートを参照しながら説明する
ならば、スタート後、ステップ（１）に於て、所定の被
加工部材２に関する基準画像鮮明度評価情報から所定の
基準画像鮮明度評価情報曲線を作成するし、ステップ
（２）に於て当該基準画像鮮明度評価情報曲線データを
適宜の記憶手段１４に格納しておく。
具体例を図５のフローチャートを参照しながら説明する
ならば、スタート後、ステップ（１）に於て、所定の被
加工部材２に関する基準画像鮮明度評価情報から所定の
基準画像鮮明度評価情報曲線を作成するし、ステップ
（２）に於て当該基準画像鮮明度評価情報曲線データを
適宜の記憶手段１４に格納しておく。
【００３２】その後、ステップ（３）に於て、第１枚目
の当該被加工部材２を当該光学的処理装置１に載置する
と共に、ステップ（４）に於て、当該照明用光源７から
出力される光エネルギーを使用して当該被加工部材２の
表面を照射して、当該被加工部材の表面の画像情報を認
識する。次いでステップ（５）に於て、当該第１の被加
工部材２の表面の画像情報から画像鮮明度評価情報を求
め、ステップ（６）に進んで、当該被加工部材２の表面
の画像に関する当該画像鮮明度評価情報を当該記憶手段
１４に格納されている当該基準画像鮮明度評価情報曲線
と比較する。
の当該被加工部材２を当該光学的処理装置１に載置する
と共に、ステップ（４）に於て、当該照明用光源７から
出力される光エネルギーを使用して当該被加工部材２の
表面を照射して、当該被加工部材の表面の画像情報を認
識する。次いでステップ（５）に於て、当該第１の被加
工部材２の表面の画像情報から画像鮮明度評価情報を求
め、ステップ（６）に進んで、当該被加工部材２の表面
の画像に関する当該画像鮮明度評価情報を当該記憶手段
１４に格納されている当該基準画像鮮明度評価情報曲線
と比較する。
【００３３】その後ステップ（７）に進んで、当該比較
操作によって、当該対物レンズ３の現在の配置位置を確
認すると共に、ステップ（８）に於て、当該基準画像鮮
明度評価情報曲線の最高のコントラスト状態が得られる
対物レンズの位置情報と当該被加工部材２に関する現在
の対物レンズ３の位置情報との差分値を求める。係る差
分値を使用して、ステップ（９）に於て、当該差分値を
０とする様に、当該対物レンズの駆動手段８を操作して
当該対物レンズを所定の方向に移動させる。
操作によって、当該対物レンズ３の現在の配置位置を確
認すると共に、ステップ（８）に於て、当該基準画像鮮
明度評価情報曲線の最高のコントラスト状態が得られる
対物レンズの位置情報と当該被加工部材２に関する現在
の対物レンズ３の位置情報との差分値を求める。係る差
分値を使用して、ステップ（９）に於て、当該差分値を
０とする様に、当該対物レンズの駆動手段８を操作して
当該対物レンズを所定の方向に移動させる。
【００３４】その後、ステップ（１０）に於て、当該被
加工部材２に対して所定の加工処理が実行され、ステッ
プ（１１）に於て、当該被加工部材２は、最後の被加工
部材であるか否かが判断され、ＮＯであれば、ステップ
（１２）に於て、当該第１の被加工部材２を除去し新た
に第２の被加工部材２を搭載させた後、ステップ（４）
に戻って、上記した各工程が繰り返される。
加工部材２に対して所定の加工処理が実行され、ステッ
プ（１１）に於て、当該被加工部材２は、最後の被加工
部材であるか否かが判断され、ＮＯであれば、ステップ
（１２）に於て、当該第１の被加工部材２を除去し新た
に第２の被加工部材２を搭載させた後、ステップ（４）
に戻って、上記した各工程が繰り返される。
【００３５】ステップ（１１）でＹＥＳであれば、当該
処理操作ルーチンは終了しエンドとなる。又、本発明に
係る他の態様としては、所定の被加工部材に関する基準
画像鮮明度評価情報を作成する第１の工程、当該基準画
像鮮明度評価情報を適宜の記憶手段に格納しておく第２
の工程、１枚目の当該被加工部材を当該光学的処理装置
に載置する第３の工程、当該照明用光源から出力される
光エネルギーを使用して当該被加工部材の表面を照射し
て、当該被加工部材の表面の画像情報を認識する第４の
工程、当該被加工部材の表面の画像情報から画像鮮明度
評価情報を求める第５の工程、当該被加工部材の表面の
画像に関する当該画像鮮明度評価情報を当該記憶手段に
格納されている当該基準画像鮮明度評価情報と比較する
第６の工程、当該比較操作によって、当該対物レンズの
現在の配置位置を確認する第７の工程、当該基準画像鮮
明度評価情報の最高のコントラスト情報が得られる当該
対物レンズ３の位置情報と当該被加工部材３に関する現
在の対物レンズ３の位置情報との差分値を求める第８の
工程、当該差分値を０とする様に、当該対物レンズの駆
動手段を操作して当該対物レンズを所定の方向に移動さ
せる第９の工程、とから構成されているオートフォーカ
ス方法をコンピュータに実行させる為のプログラムを内
蔵した記録媒体である。
処理操作ルーチンは終了しエンドとなる。又、本発明に
係る他の態様としては、所定の被加工部材に関する基準
画像鮮明度評価情報を作成する第１の工程、当該基準画
像鮮明度評価情報を適宜の記憶手段に格納しておく第２
の工程、１枚目の当該被加工部材を当該光学的処理装置
に載置する第３の工程、当該照明用光源から出力される
光エネルギーを使用して当該被加工部材の表面を照射し
て、当該被加工部材の表面の画像情報を認識する第４の
工程、当該被加工部材の表面の画像情報から画像鮮明度
評価情報を求める第５の工程、当該被加工部材の表面の
画像に関する当該画像鮮明度評価情報を当該記憶手段に
格納されている当該基準画像鮮明度評価情報と比較する
第６の工程、当該比較操作によって、当該対物レンズの
現在の配置位置を確認する第７の工程、当該基準画像鮮
明度評価情報の最高のコントラスト情報が得られる当該
対物レンズ３の位置情報と当該被加工部材３に関する現
在の対物レンズ３の位置情報との差分値を求める第８の
工程、当該差分値を０とする様に、当該対物レンズの駆
動手段を操作して当該対物レンズを所定の方向に移動さ
せる第９の工程、とから構成されているオートフォーカ
ス方法をコンピュータに実行させる為のプログラムを内
蔵した記録媒体である。
【００３６】
【発明の効果】本発明に係るオートフォーカス装置及び
オートフォーカス方法は、上記した様な技術構成を採用
しているので、あらかじめ評価保存しておいた基準画像
鮮明度評価情報曲線を用いることにより、従来の方法に
比べて、当該対物レンズ３のキャリブレーションに際し
て、少ない移動・計測回数で効率よく、高速に移動させ
る事が可能となるので、極めて短時間に効率的にフォー
カスを合わせることができる。
オートフォーカス方法は、上記した様な技術構成を採用
しているので、あらかじめ評価保存しておいた基準画像
鮮明度評価情報曲線を用いることにより、従来の方法に
比べて、当該対物レンズ３のキャリブレーションに際し
て、少ない移動・計測回数で効率よく、高速に移動させ
る事が可能となるので、極めて短時間に効率的にフォー
カスを合わせることができる。
【図１】図１（ａ）は、本発明に係る当該オートフォー
カス装置の具体例の構成を説明するブロックダイアグラ
ムである。
カス装置の具体例の構成を説明するブロックダイアグラ
ムである。
【図２】図２は、本発明に於ける当該オートフォーカス
装置で使用される当該被加工部材の画像鮮明度検出方法
の原理を説明する図である。
装置で使用される当該被加工部材の画像鮮明度検出方法
の原理を説明する図である。
【図３】図３は、本発明に係る基準画像鮮明度評価情報
曲線の一例を示すグラフであり、又当該基準画像鮮明度
評価情報曲線に於ける画像鮮明度レベルと対物レンズ位
置との関係を説明する図である。
曲線の一例を示すグラフであり、又当該基準画像鮮明度
評価情報曲線に於ける画像鮮明度レベルと対物レンズ位
置との関係を説明する図である。
【図４】図４は、本発明に係る基準画像鮮明度評価情報
曲線を使用して当該対物レンズの位置を調整する方法の
原理を説明する図である。
曲線を使用して当該対物レンズの位置を調整する方法の
原理を説明する図である。
【図５】図５は、本発明に係るオートフォーカス方法の
一具体例の構成手順を説明するフローチャートである。
一具体例の構成手順を説明するフローチャートである。
１… 光学的処理装置 ２… 被加工部材 ３… 対物レンズ ４… 加工処理用光源 ５… 反射ミラー ６… ビームスプリッタ ７… 照明用光源 ８… 対物レンズ駆動調整手段 ９… 観察レンズ １０… ＣＣＤカメラ １１… 画像処理手段 １２… 演算手段 １３… 制御手段 １４… 記憶手段 １５… ドライバ １６… フィデュシャルマーク ２０… オートフォーカス装置 ２２… 画像認識手段 ２８… アクチュエータ
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｂ２３Ｋ 26/04 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５２６Ａ
Claims (11)
- 【請求項１】 被加工部材に対して、適宜の加工処理用
光源から出力される光エネルギーを対物レンズを介して
露光せしめて当該被加工部材を光学的に加工処理する装
置に於て、当該対物レンズを介して照明用の光源から出
力される光エネルギーを当該被加工部材に照射する照明
手段、当該被加工部材からの反射光から当該被加工部材
表面の画像を認識して、当該認識された当該被加工部材
表面の画像情報から当該被加工部材表面の画像鮮明度評
価情報を演算する画像鮮明度評価情報演算手段、当該画
像鮮明度評価情報の現在の演算値を予め所定の記憶手段
に記憶されている当該被加工部材の基準画像鮮明度評価
情報と比較して、当該被加工部材に於ける基準画像鮮明
度評価情報の最高値との差分値を求める差分値演算手
段、当該差分値を０とする様に、当該対物レンズの配置
位置を調整する対物レンズ制御手段とから構成されてい
る事を特徴とする被加工部材の光学的処理装置に於ける
オートフォーカス装置。 - 【請求項２】 被加工部材を光学的に処理する装置であ
って、当該光学的処理を実行する光源、当該光源から出
力される光エネルギーを当該被加工部材に露光せしめる
対物レンズ、当該対物レンズの配置位置を変動させ焦点
位置を調整する対物レンズ駆動手段、当該対物レンズに
画像鮮明度評価用光エネルギーを供給する画像鮮明度評
価用光源、当該画像鮮明度評価用光源により読み取られ
た当該被加工部材の表面画像に関する画像鮮明度評価情
報を算出する画像鮮明度評価情報演算手段、当該被加工
部材に於ける基準画像鮮明度評価情報を記憶している基
準画像鮮明度評価情報記憶手段、当該基準画像鮮明度評
価情報記憶手段に予め記憶されている当該被加工部材の
画像鮮明度評価情報と現在得られた画像鮮明度評価情報
とを比較する比較手段、当該比較手段に於ける比較結果
から、現在時点に於ける当該対物レンズの配置位置情報
を確認し、当該対物レンズを最適画像鮮明度評価が得ら
れる位置に移動調整する対物レンズ位置調整手段とから
構成されている事を特徴とする被加工部材の光学的処理
装置に於けるオートフォーカス装置。 - 【請求項３】 当該被加工部材を光学的に処理する装置
は、レーザ装置である事を特徴とする請求項１又は２に
記載のオートフォーカス装置。 - 【請求項４】 当該被加工部材は、ウェハ、チップ、プ
リント基板等から選択された一つの部材である事を特徴
とする請求項１乃至３の何れかに記載のオートフォーカ
ス装置。 - 【請求項５】 当該被加工部材の表面画像に関する画像
鮮明度評価情報を算出する画像鮮明度評価情報演算手段
は、ＣＣＤカメラを含むものである事を特徴とする請求
項１乃至４の何れかに記載のオートフォーカス装置。 - 【請求項６】 当該基準画像鮮明度評価情報は、当該被
加工部材の表面に垂直な方向に対して当該対物レンズを
所定の距離往復動させる事によって得られる、最適なコ
ントラストが得られる当該対物レンズの位置を中心に、
当該対物レンズが、当該最適なコントラストが得られる
位置から離れる方向に測定した当該対物レンズの位置と
その時点に於けるコントラストの値との関係を表示する
ものである事を特徴とする請求項１乃至５の何れかに記
載のオートフォーカス装置。 - 【請求項７】 被加工部材に対して、適宜の加工処理用
光源から出力される光エネルギーを対物レンズを介して
露光せしめて当該被加工部材を光学的に加工処理する装
置に於て、当該対物レンズを介して照明用の光源から出
力される光エネルギーを当該被加工部材に照射する工
程、当該被加工部材からの反射光から当該被加工部材表
面の画像を受光する工程、 当該画像を解析し、当該解析された被加工部材表面の画
像情報から当該被加工部材表面の画像鮮明度評価情報を
演算する工程、 当該画像鮮明度評価情報の現在の演算値を予め所定の記
憶手段に記憶されている当該被加工部材の基準画像鮮明
度評価情報と比較する工程、 当該比較結果に基づいて、当該被加工部材に於ける基準
画像鮮明度評価情報の最高値と現在の時点に於ける対物
レンズの位置との差分値を求め、当該差分値を０とする
様に、当該対物レンズの配置位置を駆動調整する工程、
とから構成されている事を特徴とする被加工部材の光学
的処理装置に於けるオートフォーカス方法。 - 【請求項８】 当該被加工部材に於ける基準画像鮮明度
評価情報は、当該被加工部材に関して予め測定してお
き、所定の記憶手段に格納せしめておく事を特徴とする
請求項７記載のオートフォーカス方法。 - 【請求項９】 所定の被加工部材に関する基準画像鮮明
度評価情報を作成する第１の工程、 当該基準画像鮮明度評価情報を適宜の記憶手段に格納し
ておく第２の工程、 １枚目の当該被加工部材を当該光学的処理装置に載置す
る第３の工程、 当該照明用光源から出力される光エネルギーを使用して
当該被加工部材の表面を照射して、当該被加工部材の表
面の画像情報を認識する第４の工程、 当該被加工部材の表面の画像情報から画像鮮明度評価情
報を求める第５の工程、 当該被加工部材の表面の画像に関する当該画像鮮明度評
価情報を当該記憶手段に格納されている当該基準画像鮮
明度評価情報と比較する第６の工程、 当該比較操作によって、当該対物レンズの現在の配置位
置を確認する第７の工程、 当該基準画像鮮明度評価情報の最高のコントラスト情報
が得られる当該対物レンズ３の位置情報と当該被加工部
材３に関する現在の対物レンズ３の位置情報との差分値
を求める第８の工程、 当該差分値を０とする様に、当該対物レンズの駆動手段
を操作して当該対物レンズを所定の方向に移動させる第
９の工程、 から構成されている事を特徴とする請求項７記載のオー
トフォーカス方法。 - 【請求項１０】 当該第５の工程に於て、当該対物レン
ズの現在の配置位置を確認するに際して、当該対物レン
ズを当該被加工部材の表面に対して直角な方向に微動変
位させ、当該被加工部材の当該画像鮮明度評価情報の変
化の方向を判断する工程が付加されている事を特徴とす
る請求項８記載のオートフォーカス方法。 - 【請求項１１】 所定の被加工部材に関する基準画像鮮
明度評価情報を作成する第１の工程、 当該基準画像鮮明度評価情報を適宜の記憶手段に格納し
ておく第２の工程、 １枚目の当該被加工部材を当該光学的処理装置に載置す
る第３の工程、 当該照明用光源から出力される光エネルギーを使用して
当該被加工部材の表面を照射して、当該被加工部材の表
面の画像情報を認識する第４の工程、 当該被加工部材の表面の画像情報から画像鮮明度評価情
報を求める第５の工程、 当該被加工部材の表面の画像に関する当該画像鮮明度評
価情報を当該記憶手段に格納されている当該基準画像鮮
明度評価情報と比較する第６の工程、 当該比較操作によって、当該対物レンズの現在の配置位
置を確認する第７の工程、 当該基準画像鮮明度評価情報の最高のコントラスト情報
が得られる当該対物レンズ３の位置情報と当該被加工部
材３に関する現在の対物レンズ３の位置情報との差分値
を求める第８の工程、 当該差分値を０とする様に、当該対物レンズの駆動手段
を操作して当該対物レンズを所定の方向に移動させる第
９の工程、 から構成されているオートフォーカス方法をコンピュー
タに実行させる為のプログラムを内蔵した記録媒体。
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