JP2000009825A - 異方性空中超音波センサ - Google Patents

異方性空中超音波センサ

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JP2000009825A JP10181162A JP18116298A JP2000009825A JP 2000009825 A JP2000009825 A JP 2000009825A JP 10181162 A JP10181162 A JP 10181162A JP 18116298 A JP18116298 A JP 18116298A JP 2000009825 A JP2000009825 A JP 2000009825A
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ultrasonic sensor
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ホーンを使用することなく、A−A’方向と
B−B’方向の指向特性を偏らせる。 【解決手段】 有底円筒状のケース2−1の底面2−1
Aを屈曲振動面とし、この屈曲振動面2−1Aのケース
内面側2−1Bに形成された段差部2−1C,2−1D
に圧電素子2−2,2−3を接着する。段差部2−1
C,2−1Dを仕切る隔壁(凸部)2−1Eは、屈曲振
動面2−1A上で、その中央部の剛性および質量に適当
な密度差(変化)を与える。圧電素子2−2,2−3を
同時に駆動すると、見掛け上の2つの屈曲振動面2−1
1 と2−1A2 から合成された屈曲振動波が発生し、
B−B’方向では鋭い指向特性、A−A’方向では広い
指向特性が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、車載用のソナー
として用いて好適な異方性空中超音波センサに関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】基本的な従来の空中超音波センサの概略
を図13(a)および(b)に示す。図13(a)は平
面図、図13(b)は側面図である。この空中超音波セ
ンサ1は、金属製の有底円筒状のケース1−1の底面1
−2を屈曲振動面とし、この屈曲振動面1−2のケース
内面側に圧電素子1−3が接着されている。この空中超
音波センサ1では、圧電素子1−3を駆動することによ
って屈曲振動面1−2を図13(b)における上下方向
に放物線状に屈曲振動させ、屈曲振動面1−2から超音
波を放射する。この屈曲振動面1−2からの超音波はA
−A’方向およびB−B’方向へ同心円状で拡散する。
図13(c)にA−A’方向およびB−B’方向への指
向特性を示す。なお、図13(c)において、P0は正
面方向(0゜方向)を示す。
【0003】この空中超音波センサ1を車載用のソナー
(自動車前方/後方/側面の障害物検出)として用いよ
うとすると、A−A’方向を水平方向、B−B’方向を
垂直方向として取り付けた場合、B−B’方向において
路面を検知してしまう。車載用のソナーとして用いるた
めには、路面に平行な方向に対しては広い検知範囲、路
面に対して垂直な方向(特に路面方向)では狭い検知範
囲とすることが必要とされる。
【0004】そこで、従来においては、A−A’方向の
指向特性とB−B’方向の指向特性を偏らせるために、
図14(a)および(b)に示すように、屈曲振動面1
−2にホーン(音響ホーン)1−4を一体的に取り付け
ていた。このような空中超音波センサ1’とすることに
より、図14(c)に示されるように指向特性が異方化
され、A−A’方向では広い指向特性が得られ、B−
B’方向では鋭い指向特性が得られるものとなる。これ
により、A−A’方向を水平方向、B−B’方向を垂直
方向として自動車に取り付ければ、路面に平行な方向に
対しては広い検知範囲、路面に対して垂直な方向では狭
い検知範囲とすることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の空中超音波センサ1’によると、特に車載用
を主体に考えた場合、 取り付け時にバンパーに取り付け用の深い加工を必要
とする. ホーンの開口部の穴が目立つ. 水平方向と垂直方向の指向特性を偏らせるためにホー
ンを必要とすることからセンサ自体の大型化が避けられ
ない. ホーンと圧電素子の組み合わせにより総合的な特性を
得ており、指向特性を微妙に調整し、安定した指向特性
を実現するにはホーン内部の形状が複雑化する. ホーンに異物,小物,虫などが混入してしまい動作不
良の原因となる. 環境温度変化により検出特性が変化してしまう. などの問題があり、ホーン構造の複雑化、高コスト化、
製造工程の複雑化とそれに伴う品質維持の不安定要素、
検出動作変化といった色々な問題が生まれてしまう。
【0006】本発明はこのような課題を解決するために
なされたもので、その目的とするところは、ホーンを使
用することなく、A−A’方向とB−B’方向の指向特
性を偏らせることのできる異方性空中超音波センサを提
供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、第1発明(請求項1に係る発明)は、有底筒
状のケースの底面を屈曲振動面とし、この屈曲振動面の
ケース内面側に第1および第2の圧電素子を接着し、こ
の第1の圧電素子と第2の圧電素子との間に屈曲振動面
の剛性に変化を与える剛性変化手段を設けたものであ
る。第2発明(請求項2に係る発明)は、第1発明にお
いて、剛性変化手段を屈曲振動面に一体的に形成した凸
部としたものである。第3発明(請求項3に係る発明)
は、第1発明において、剛性変化手段を屈曲振動面に一
体的に形成した凹部としたものである。第4発明(請求
項4に係る発明)は、第1発明において、剛性変化手段
を屈曲振動面に別体として接着した凸部としたものであ
る。第1〜第4発明によれば、剛性変化手段によって、
屈曲振動面の剛性に変化が与えられ、第1および第2の
圧電素子を同時に駆動することによって、屈曲振動面の
所定の方向の屈曲変位をピストン波状に近づける(振動
面から発生する波を平面波に近づける)ことが可能とな
る。
【0008】第5発明(請求項5に係る発明)は、有底
筒状のケースの底面を屈曲振動面とし、この屈曲振動面
のケース内面側に圧電素子を接着し、この圧電素子に第
1,第2および第3の電極を形成したものである。この
発明によれば、第1,第2および第3の電極に与える入
力電圧の位相を制御することによって、屈曲振動面の所
定の方向の屈曲変位をピストン波状に近づけることが可
能となる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施の形態に基づ
き詳細に説明する。 〔実施の形態1〕図1は第1の実施の形態(実施の形態
1)を示す異方性空中超音波センサのセンサ構造を示す
図である。図1(a)は平面図、図1(b)は図1
(a)におけるB−B’断面図、図1(c)は図1
(a)におけるA−A’断面図である。
【0010】この異方性空中超音波センサ2では、金属
製の有底円筒状のケース2−1の底面2−1Aを屈曲振
動面とし、この屈曲振動面2−1Aのケース内面側2−
1Bに円板状の圧電素子2−2と2−3を接着してい
る。
【0011】図2はケース2−1における圧電素子2−
2,2−3の取り付け状況を示す図である。ケース2−
1の屈曲振動面2−1Aのケース内面側2−1Bには段
差部2−1Cおよび2−1Dが形成されている。この段
差部2−1C,2−1Dに圧電素子2−2,2−3が接
着されている。この場合、段差部2−1Cおよび2−1
Dは、隔壁2−1Eによって仕切られている。
【0012】すなわち、圧電素子2−2と2−3との間
(屈曲振動面2−1Aのケース内面側2−1Bの中央
部)に、屈曲振動面2−1Aの一部として肉厚t1,幅
w1の隔壁(凸部)2−1Eが位置している。この隔壁
2−1Eは、屈曲振動面2−1A上で、その中央部の剛
性および質量に適当な密度差(変化)を与える。圧電素
子2−2,2−3は隔壁2−1Eに対して対称な位置関
係となるように、すなわち隔壁2−1Eとのギャップw
2,w3がw2=w3となるように、屈曲振動面2−1
Aのケース内面側2−1Bに接着されている。
【0013】ケース2−1の内壁側面には肩部2−1
F,2−1Gが形成されており、この肩部2−1F,2
−1Gにその深さ方向の位置が規制されて吸音材2−4
(図1(c))が取り付けられている。また、吸音材2
−4のケース外面側には端子板2−5が設けられ、この
端子板2−5から引き出し端子2−6,2−7が外部へ
導出されている。吸音材2−4と屈曲振動面2−1Aの
ケース内面側2−1Bとの間には吸音材2−8が挿入さ
れている。
【0014】また、端子板2−5のケース外面側はシー
ル材2−9で覆われており、圧電素子2−2,2−3と
引き出し端子2−7とが端子板2−5上でリード2−1
0,2−11によって電気的に接続されている。なお、
引き出し端子2−6は、リード2−12によってケース
2−1の内面に半田づけされている。また、ケース2−
1の外壁には、カット面2−1Hおよび2−1Iが形成
されている。このカット面2−1Hおよび2−1Iを位
置決めとして、自動車のバンパー等に、A−A’方向を
水平方向、B−B’方向を垂直方向として取り付ける。
【0015】この異方性空中超音波センサ2において、
屈曲振動面2−1Aは隔壁2−1Eによって、2つに分
割された見掛け上2つの屈曲振動面2−1A1 と2−1
2とされる。圧電素子2−2,2−3を同時に駆動す
ると、2つの屈曲振動面2−1A1 と2−1A2 から合
成された屈曲振動波が発生し、A−A’方向とB−B’
方向へ伝搬する。
【0016】この時、圧電素子2−2,2−3がケース
2−1の側面へ及ぼす応力と、中央部で合成される応力
との力関係により、B−B’上のケース側面近傍の振動
節部からは屈曲変位の傾斜が鋭く中央部では平坦なピス
トン状の屈曲波が発生する。すなわち、屈曲振動面2−
1AのB−B’方向の屈曲変位がピストン波状となり、
図3に示されるように指向特性が異方化され、B−B’
方向(垂直方向)では鋭い指向特性が得られ、A−A’
方向(水平方向)では広い指向特性が得られるものとな
る。また、この2方向の指向特性の比率rは、ある程度
自由に変化(r→1<r<3.5)させることができ
る。
【0017】ここで、指向特性の比率rは、次の(1)
式によって定義している。 r=θ1 1/2/θ2 1/2 ・・・・(1) なお、(1)式において、θ1 1/2はB−B’方向におい
て音圧が中心部P0の1/2となる角度を示し、θ2 1/2
はA−A’方向において音圧が中心部P0の1/2とな
る角度を示し、音圧半減角の比が指向特性の比率rとな
る。
【0018】この異方性空中超音波センサ2では次のよ
うな効果が期待できる。 (1)音響ホーンを取り付けることなく、A−A’方向
およびB−B’方向の指向特性を制御でき、小型化、軽
量化に加えて、取り付け性、取り付け時に目立たないセ
ンサが実現できる。また、製造性、コスト面でも大幅な
効果が期待できる。 (2)1部品として、共振点周波数30〜70kHzの範
囲に渡ってA−A’方向とB−B’方向の指向特性の比
率を自由に変化できるセンサを実現できる。 (3)非対称な空間であっても、この空間に合わせて指
向特性を偏らせ、制約された空間内で対象物を誤動作な
く検出できるため、指向特性の設計自由度が大幅に向上
する。 (4)圧電素子2−2,2−3の厚み寸法に対し、隔壁
2−1Eの厚みt1と見掛け上の2つの屈曲振動面2−
1A1 ,2−1A2 の厚みt2との比を適当に調整して
やることだけで、センサの機械的品質係数Qの制御に加
えて、期待する方向での音圧量を制御できるため、セン
サ設計時の自由度が向上する。
【0019】(5)隔壁2−1Eの幅w1および厚みt
1と圧電素子2−2,2−3とのギャップw2,w3を
調整してやることで、各方向での指向特性の比を変化さ
せられると共に、特にセンサの放射面における法線
(0)に対して、B−B’方向における0〜40゜方向
までの音圧量を充分に減衰でき、この方向での大幅な指
向特性の狭鋭化が期待できる。 (6)圧電素子2−2,2−3の接着位置に対して、軸
対称な関係となるように隔壁2−1Eの密度差を設けて
いることと、圧電素子2−2,2−3に合わせて隔壁2
−1Eの形状をこの圧電素子2−2,2−3の位置に対
して対称形状に設計することにより、センサとしての機
械的な不要振動を抑圧でき、サイドローブも抑圧できる
ため、近距離からの物体検知が可能であると共に、回路
設計マージンが高い。
【0020】なお、この実施の形態1では、圧電素子2
−2,2−3の形状を円板状としたが、角型としてもよ
い。また、2つの圧電素子2−2,2−3を設けた例で
説明したが、さらに多くの圧電素子を設けて同様に構成
してもよい。例えば、図4に示すように、十字型の隔壁
(凸部)2−1E’を設け、この隔壁2−1E’で仕切
られる4つの領域に圧電素子2−13,2−14,2−
15,2−16を配置するようにしてもよい。
【0021】〔実施の形態2〕図5は第2の実施の形態
(実施の形態2)を示す異方性空中超音波センサのセン
サ構造を示す図である。図5(a)は平面図、図5
(b)は図5(a)におけるB−B’断面図、図5
(c)は図5(a)におけるA−A’断面図である。同
図において、図1と同一符号は同一あるいは同等構成要
素を示し、その説明は省略する。
【0022】この異方性空中超音波センサ3では、ケー
ス2−1の屈曲振動面2−1Aのケース内面側2−1B
は平坦とされており、この平坦とされたケース内面側2
−1Bに角型の圧電素子3−1,3−2が接着されてお
り(図6参照)、この圧電素子3−1と3−2との間
(屈曲振動面2−1Aのケース内面側2−1Bの中央
部)のケース内面側2−1Bに、屈曲振動面2−1Aと
別体として肉厚t1,幅w1のダミー素子3−3が接着
され、3素子分離型のセンサ構造とされている。このダ
ミー素子3−3は、屈曲振動面2−1A上で、その中央
部の剛性および質量に適当な密度差(変化)を与える。
圧電素子3−1,3−2はダミー素子3−3に対して対
称な位置関係となるように、すなわちダミー素子3−3
とのギャップw2,w3がw2=w3となるように、屈
曲振動面2−1Aのケース内面側2−1Bに接着されて
いる。
【0023】この異方性空中超音波センサ3において、
屈曲振動面2−1Aはダミー素子3−3によって、2つ
に分割された見掛け上2つの屈曲振動面2−1A1 と2
−1A2 とされる。圧電素子3−1,3−2を同時に駆
動すると、2つの屈曲振動面2−1A1 と2−1A2
ら合成された屈曲振動波が発生し、A−A’方向とB−
B’方向へ伝搬する。
【0024】この時、圧電素子3−1,3−2がケース
2−1の側面へ及ぼす応力と、中央部で合成される応力
との力関係により、B−B’上のケース側面近傍の振動
節部からは屈曲変位の傾斜が鋭く中央部では平坦なピス
トン状の屈曲波が発生する。すなわち、屈曲振動面2−
1AのB−B’方向の屈曲変位がピストン波状となり、
図3に示されるように指向特性が異方化され、B−B’
方向(垂直方向)では鋭い指向特性が得られ、A−A’
方向(水平方向)では広い指向特性が得られるものとな
る。また、この2方向の指向特性の比率rは、ある程度
自由に変化(r→1<r<3.5)させることができ
る。
【0025】この異方性空中超音波センサ3では、実施
の形態1で説明した(1)〜(6)と同様の効果に加
え、次のような効果が期待できる。 (1)ダミー素子3−3を変更するだけで、指向特性の
設計自由度を高めることができる。 (2)ダミー素子3−3として減衰効果の期待できる素
子を接着することで、センサの残響波を削減できる効果
が期待できるため、近距離検知のマージンが上がる。 (3)ケース一体加工でないため、ダミー素子3−3の
形状を任意に調整できるため、指向特性の設計自由度が
高められると共に、指向特性の微妙な調整が計れる。 (4)ダミー素子3−3の質量効果により同一周波数の
センサの実現に対する自由度と小型化が計れる。
【0026】なお、この実施の形態2では、圧電素子3
−1,3−2の形状を角形としたが、円板状としてもよ
い。また、2つの圧電素子3−1,3−2を設けた例で
説明したが、さらに多くの圧電素子を設けて同様に構成
してもよい。例えば、図7に示すように、十字型のダミ
ー素子3−3’を設け、このダミー素子3−3’で仕切
られる4つの領域に圧電素子3−4,3−5,3−6,
3−7を配置するようにしてもよい。
【0027】また、図8に示すように、中央部のダミー
素子3−3を取り除き、圧電素子3−1と3−2との距
離Lを調整することにより、中心部の音圧を高め、中心
部近傍の減衰量を少なくするようにしてもよい。屈曲振
動面2−1Aの面積に対して、圧電素子3−1と3−2
の寸法や素子間距離Lを変化させることにより、指向特
性を変化させることができる。
【0028】また、図9に示すように、中央部のダミー
素子3−3を取り除き、屈曲振動面2−1Aのケース内
面側2−1Bの中央部に凹部2−1Jを形成するように
してもよい。凹部2−1Jを形成することによって、屈
曲振動面2−1Aの中心部の剛性が小さくなり、中心部
近傍の変位が強く、変位状態が三角形となるため、正面
方向での減衰量の少ないセンサを実現することが可能と
なる。
【0029】〔実施の形態3〕図10は第3の実施の形
態(実施の形態3)を示す異方性空中超音波センサのセ
ンサ構造を示す図である。図10(a)は平面図、図1
0(b)は図10(a)におけるB−B’断面図、図1
0(c)は図10(a)におけるA−A’断面図であ
る。同図において、図1と同一符号は同一あるいは同等
構成要素を示し、その説明は省略する。
【0030】この異方性空中超音波センサ4では、ケー
ス2−1の屈曲振動面2−1Aのケース内面側2−1B
は平坦とされており、平坦とされたケース内面側2−1
Bに1素子3電極型の圧電素子4−1が接着されてい
る。圧電素子4−1には、図11に示されるように、深
さh1,幅w4のスリット4−1A,4−1Bが形成さ
れており、このスリット4−1A,4−1Bによって3
分割された圧電素子4−1上の領域に面積S1の第1の
電極4−2,面積S2の第2の電極4−3および面積S
3の第3の電極4−4が形成されている。
【0031】端子板2−5からは引き出し端子4−5,
4−6,4−7が外部へ導出されており、電極4−2お
よび4−4と引き出し端子4−7とが端子板2−5上で
リード4−8,4−9によって電気的に接続されてお
り、電極4−3と引き出し端子4−6とが端子板2−5
上でリード4−10によって電気的に接続されている。
なお、引き出し端子4−5は、リード4−11によって
ケース2−1の内面に半田づけされている。
【0032】この異方性空中超音波センサ4では、電極
4−2,4−3,4−4の電極面積S1,S2,S3の
比およびスリット幅w4を適当に調整し、電極4−2,
4−3,4−4に与える入力電圧の位相を制御すること
で、センサの共振周波数を圧電素子4−1を貼り合わせ
た状態で決定される固有周波数とし、かつ屈曲振動面2
−1AのB−B’方向の屈曲変位をピストン波状に近づ
けることができる。この結果、図3に示されるように指
向特性が異方化され、B−B’方向(垂直方向)では鋭
い指向特性が得られ、A−A’方向(水平方向)では広
い指向特性が得られるものとなる。また、この2方向の
指向特性の比率rは、電極4−2,4−3,4−4の励
振強度や位相を個々に変化させることにより、自由に変
化させることができる。
【0033】この異方性空中超音波センサ4では、実施
の形態1で説明した(1)〜(3)と同様の効果に加
え、次のような効果が期待できる。 (1)電極4−2,4−3,4−4の面積比とスリット
幅w4を適当な値に調整するだけで、電極4−2,4−
3,4−4に入力される電圧の位相を固定にしても期待
する指向特性が実現できる。 (2)圧電素子4−1の1枚の接着で期待する指向特性
が実現できるため、量産性がよい。 (3)スリットw4無しで、電極4−2,4−3,4−
4の面積に対して電極4−2,4−3,4−4で仕切ら
れた各々の素子部の厚み比を適当に調整することによっ
て、センサの機械的品質係数Qの制御を計ると共に指向
特性の制御が実現できる。
【0034】(4)電極4−2,4−3,4−4の面積
比とスリット幅w4を調整し、電極4−2,4−3,4
−4に入力する電圧の位相制御だけで指向特性の設計自
由度を大幅に向上できる。 (5)電極4−2,4−3,4−4の形状と配列状態、
更に電極4−2,4−3,4−4に入力する電圧の位相
条件を組み合わせることにより、指向特性の自由度を向
上できる。 (6)センサに供給された強制振動により、駆動終了
後、更に継続される自由振動によってケース全体に伝わ
る振動エネルギーを、隣り合う電極に現状の振動状態を
打ち消す逆位相のパルスを入力することにより、電極間
での自由振動を強制的に制御できる位相制御型のセンサ
構造とすることが可能である。
【0035】なお、この実施の形態3では、圧電素子4
−1を1素子3電極型としたが、さらに電極を増やした
構成としてもよい。また、実施の形態3では、電極4−
2および4−4に同相の駆動信号を与えるようにしてい
るが、電極4−1,4−2,4−3に個々に位相の異な
る駆動信号を与えるようにしてもよい。
【0036】また、上述した実施の形態1〜3では、図
3に示されるようにA−A’方向およびB−B’方向の
各々でP0を中心として対称の指向特性が得られるもの
としたが、すなわち図12(a)に示されるようにA−
A’方向およびB−B’方向の各検出範囲を対称とした
が、図12(b)に示されるようにA−A’方向で非対
称、図12(c)に示されるようにB−B’方向で非対
称、図12(d)に示されるようにA−A’方向,B−
B’方向共に非対称とするようにしてもよい。
【0037】また、上述した実施の形態では、車載用の
ソナーとして用いる場合を想定しているが、近接センサ
として用いることもでき、車載に限らず一般的な物体検
出に利用することができる。検出距離は20(30)〜
150(200)センチで、伝搬環境であれば、大気中
でも水中でも使用することができる。また、ケースは、
円筒状に限るものではなく、角形としてもよい。
【0038】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように本
発明によれば、第1〜第4発明では、剛性変化手段によ
って、屈曲振動面の剛性に変化が与えられ、第1および
第2の圧電素子を同時に駆動することによって、屈曲振
動面の所定の方向の屈曲変位をピストン波状に近づける
ことが可能となり、第5発明では、第1,第2および第
3の電極に与える入力電圧の位相を制御することによっ
て、屈曲振動面の所定の方向の屈曲変位をピストン波状
に近づけることが可能となり、ホーンを使用することな
く、A−A’方向とB−B’方向の指向特性を偏らせる
ことができるようになる。これによって、小型化、軽量
化、実装面(実装時とその状態)の向上を促進すること
ができ、センサの構成部品を簡略化できることから、製
造工程の簡略化と製造コストの低減を実現することがで
きるようになる。また、センサ単体で指向特性を決定で
き、大幅な設計の簡略化を実現することができ、ホーン
ではその構造が複雑となるために実現することのできな
いA−A’方向、B−B’方向での非対称検出範囲を実
現することが可能となる等、各種の優れた効果を奏す
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1の実施の形態(実施の形態1)を示す異
方性空中超音波センサのセンサ構造を示す図である。
【図2】 この異方性空中超音波センサのケースにおけ
る圧電素子の取り付け状況を示す図である。
【図3】 この異方性空中超音波センサにおけるA−
A’方向およびB−B’方向の指向特性を比較して示す
図である。
【図4】 この異方性空中超音波センサにおいてさらに
多くの圧電素子を配置した例を説明する図である。
【図5】 第2の実施の形態(実施の形態2)を示す異
方性空中超音波センサのセンサ構造を示す図である。
【図6】 この異方性空中超音波センサのケースにおけ
る圧電素子の取り付け状況を示す図である。
【図7】 この異方性空中超音波センサにおいてさらに
多くのに圧電素子を配置した例を説明する図である。
【図8】 2つの圧電素子間の距離を調整することによ
って中心部付近の減衰量を少なくするようにした例を説
明する図である。
【図9】 屈曲振動面のケース内面側の中央部に凹部を
形成するようにした例を説明する図である。
【図10】 第3の実施の形態(実施の形態3)を示す
異方性空中超音波センサのセンサ構造を示す図である。
【図11】 この異方性空中超音波センサのケースにお
ける圧電素子の取り付け状況を示す図である。
【図12】 A−A’方向やB−B’方向の検出範囲を
非対称とした例を説明する図である。
【図13】 従来の空中超音波センサ(音響ホーンを使
用しない場合)の概略を説明する図である。
【図14】 従来の空中超音波センサ(音響ホーンを使
用した場合)の概略を説明する図である。
【符号の説明】
2,3,4…異方性空中超音波センサ、2−1…ケー
ス、2−1A…屈曲振動面、2−1A1 ,2−1A2
見掛け上の屈曲振動面、2−1B…ケース内面側、2−
1C,2−1D…段差部、2−1E…隔壁(凸部)、2
−2,2−3,3−1,3−2,4−1…圧電素子、3
−3…ダミー素子、2−1J…凹部、4−2,4−3,
4−4…電極。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 有底筒状のケースと、 このケースの底面を屈曲振動面としこの屈曲振動面のケ
    ース内面側に接着された第1および第2の圧電素子と、 この第1の圧電素子と第2の圧電素子との間に位置し前
    記屈曲振動面の剛性に変化を与える剛性変化手段とを備
    えたことを特徴とする異方性空中超音波センサ。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記剛性変化手段
    は、前記屈曲振動面に一体的に形成された凸部であるこ
    とを特徴とする異方性空中超音波センサ。
  3. 【請求項3】 請求項1において、前記剛性変化手段
    は、前記屈曲振動面に一体的に形成された凹部であるこ
    とを特徴とする異方性空中超音波センサ。
  4. 【請求項4】 請求項1において、前記剛性変化手段
    は、前記屈曲振動面に別体として接着された凸部である
    ことを特徴とする異方性空中超音波センサ。
  5. 【請求項5】 有底筒状のケースと、 このケースの底面を屈曲振動面としこの屈曲振動面のケ
    ース内面側に接着された圧電素子と、 この圧電素子に形成された第1,第2および第3の電極
    とを備えたことを特徴とする異方性空中超音波センサ。
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