JP2000005885A

JP2000005885A - 固体接合方法およびその装置

Info

Publication number: JP2000005885A
Application number: JP17316298A
Authority: JP
Inventors: Koji Aoki; 康次青木; Yoshiaki Mori; 義明森
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1998-06-19
Filing date: 1998-06-19
Publication date: 2000-01-11

Abstract

(57)【要約】【課題】接合材を使用せずに大型の被接合部材を接合
できるようにする。【解決手段】電解処理部３０のクエン酸溶液３８に銅
板からなる一方の被接合部材４２を挿入して陰極とし、
電解処理によって酸化膜を薄くする。その後、電解処理
した被接合部材４２を第１洗浄部のエチルアルコール５
２と第２洗浄部４８のアセトン６０とによって洗浄し、
接合処理部３４のベース板８４上に配置する。錫からな
る他方の被接合部材６２をフッ化処理部３２のフッ化処
理室６４内に配置し、放電ユニット６８において生成し
たフッ化ガスによって接合面をフッ化したのち、被接合
部材４２に重ねて配置する。その後、接合処理室７８を
窒素雰囲気にし、シリンダ８０を作動して被接合部材４
２、６２を加圧するとともに、ラバーヒータ８２によっ
て被接合部材４２、６２をそれぞれの融点より低い温度
に加熱して両者を接合する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、固体同士を相互に
接合する固体接合方法に係り、特に少なくとも一方の被
接合部材が金属である場合の接合に好適な固体接合装置
およびその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、金属同士を接合する場合、一般に
半田やインジウムなどの接合材を溶融し、溶融した接合
材の濡れ性を利用して相互に接合するようにしている。
このような接合材を溶融して接合する方法は、比較的簡
易に行うことができるが、接合材を溶融するために相互
に接合する被接合部材の正確な位置合わせが困難である
とともに、接合部の見栄えも悪い。また、接合材を溶融
するために高温に加熱する必要があるところから、被接
合部材（母材）を保護して酸化を防止するためにフラッ
クスを使用するところから、接合後にスラッジを除去し
なければならないことも多い。そこで、近年、図５に示
したような方法によって金属の表面酸化膜を除去したの
ち、接合する方法が提案されている。

【０００３】図５に示した酸化膜の除去方法は、金属か
らなる被接合部材１０を真空容器１２内に設けた接地電
極１４の上に配置し、真空容器１２を真空ポンプ１６に
よって排気して真空にする。その後、真空容器１２の内
部にアルゴンガス（Ａｒ）を導入するとともに、接地電
極１４と、接地電極１４に対向して設けてある高周波電
極１８との間に、高周波電源２０により高周波電圧を印
加し、真空容器１２内にアルゴンガスによるプラズマを
発生させ、このプラズマを被接合部材１０の接合面に照
射して酸化膜を除去（いわゆる逆スパッタ）する。酸化
膜を除去した被接合部材１０は、真空容器１２から取り
出され、同様にして酸化膜を除去した他の金属と重ね、
加熱、加圧して接合材を用いずに相互に接合する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記した真空中におい
てプラズマを照射して酸化膜を除去して接合する方法
は、接合材を用いないために被接合部材の位置制御が容
易となる。しかし、被接合部材を真空プラズマによって
処理するため、真空容器や真空ポンプなどの高価な機器
を必要としてコストの増大を招くばかりでなく、大型の
被接合部材（ワーク）を真空プラズマによる処理をする
ことができない。また、真空プラズマにより処理した被
接合部材１０は、空気中に取り出すと空気中の酸素によ
って容易に酸化されるため、プラズマ処理から接合処理
までを極めて短時間で行わなければならず、取り扱いや
管理が容易でない。

【０００５】本発明は、前記従来技術の欠点を解消する
ためになされたもので、接合材を使用せずに大型の被接
合部材を接合できるようにすることを目的としている。

【０００６】また、本発明は、処理した被接合部材の取
り扱いや管理を容易にできるようにすることを目的とし
ている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係る固体接合方法は、相互に接合する被
接合部材の少なくとも一方を電解処理して接合面の酸化
膜を薄くしたのち、前記接合面に同種または異種の他方
の被接合部材を接触させて相互に接合することを特徴と
している。

【０００８】このように構成した本発明は、接合の妨げ
となる被接合部材の表層部（接合面）の酸素を少なくす
ることができるため、半田やインジウムなどの接合材を
使用せずに被接合材を接合することができ、真空処理し
たと同等の接合強度を得ることができる。しかも、真空
中における処理と異なり、大気中において電解質溶液に
被接合部材を浸漬して電気分解する方法であるため、装
置の簡素化と低コスト化とを図ることができるととも
に、大きな被接合部材の処理が可能で、接合材を使用せ
ずに容易に接合することができる。

【０００９】電解処理をする電解質溶液は、クエン酸水
溶液を用いることができ、被接合部材を陰極にして電解
処理をすると、被接合部材の表面酸化膜が減少する。こ
のため、電解処理から接合までに多少の時間を要したと
しても接合を容易に行うことができ、処理した被接合部
材の取り扱い、管理が容易となる。また、他方の被接合
部材の接合面をフッ化処理することにより、大きな接合
力を得ることができるとともに、金属とセラミックな
ど、金属と金属以外の部材との接合が可能となる。

【００１０】そして、加圧して各被接合部材の接触圧を
大きくするとともに、接合部を各被接合部材の融点より
低い温度に加熱して接合を行うと、各被接合部材間の接
触面積が大きくなって密接度を高めることができるとと
もに、また加熱により接合面の反応が活発となって接合
時間の短縮が図れ、接合強度を大きくすることができ
る。そして、接合を窒素ガスなどの不活性ガス中で行う
と、接合部に酸素が侵入するのを防止することができ、
接合時間の短縮と接合強度の向上を図ることができる。
さらに、被接合部材に超音波振動を与えつつ接合を行う
ようにすると、摩擦により接合部の温度が上昇するとと
もに、酸化膜が剥離するなどしてより容易、確実に接合
することができる。

【００１１】上記の固体接合方法を実施するための本発
明に係る固体接合装置は、相互に接合する被接合部材の
少なくとも一方の接合面を還元する電解処理部と、この
電解処理した被接合部材の接合面に同種または異種の他
方の被接合部材を接触させて相互に接合する接合処理部
とを有することを特徴としている。

【００１２】さらに、本発明に係る固体接合装置は、相
互に接合する被接合部材の少なくとも一方の接合面を還
元する電解処理部と、前記被接合部材と同種または異種
の他方の被接合部材の接合面をフッ化処理するフッ化処
理部と、前記各被接合部材を前記接合面を介して接触さ
せて相互に接合する接合処理部とを有することを特徴と
している。

【００１３】これらの固体接合装置の接合処理部には、
被接合部材を加圧する加圧手段と、接合部を加熱する加
熱手段とを設け、接合時間の短縮と接合強度の向上を図
ることができる。さらに、接合部処理には、被接合部材
の接合部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段を
設けてよい。これにより、より容易、確実に被接合部材
の接合をすることができる。また、接合処理部には、加
圧した被接合部材に超音波振動を与える振動発生手段を
設けることができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明に係る固体接合方法および
その装置の好ましい実施の形態を、添付図面に従って詳
細に説明する。

【００１５】図１は、本発明の実施の形態に係る固体接
合装置の説明図である。図１において、固体接合装置
は、電解処理部３０とフッ化処理部３２と接合処理部３
４とを備えている。

【００１６】電解処理部３０は、電解槽３６に電解質溶
液であるクエン酸溶液３８が貯溜してある。また、クエ
ン酸溶液３８には、陽極となる白金板４０と、陰極とな
る金属板（この実施形態においては銅板）からなる一方
の被接合部材４２とが挿入してある。そして、白金板４
０は、直流電源４４のプラス側に接続してあり、被接合
部材４２は接地してあって、被接合部材４２の接合面を
電解処理により還元し、接合面の酸化膜を薄くすること
ができるようになっている。

【００１７】電解処理部３０の近くには、第１洗浄部４
６と第２洗浄部４８とが設けてある。第１洗浄部４６
は、洗浄槽５０に洗浄液としてエチルアルコール５２が
貯溜してあって、電解処理を終了した被接合部材４２を
エチルアルコール５２に浸漬し、クエン酸溶液３８を洗
浄できるようになっている。また、洗浄槽５０には、攪
拌機５４が設けてあって、エチルアルコール５２を攪拌
して迅速な洗浄が行えるようにしてある。そして、第２
洗浄部４８は、第１洗浄部４６と同様に形成してあっ
て、攪拌機５６を設けた洗浄槽５８にアセトン６０が洗
浄液として貯溜してある。

【００１８】一方、フッ化処理部３２は、錫からなる他
方の被接合部材６２を配置するフッ化処理室６４が設け
てある。そして、フッ化処理室６４には、処理ガス配管
６６を介してフッ化ガス生成手段となる放電ユニット６
８が接続してある。放電ユニットは、図示しない放電電
極が高周波電源６９に接続してあって、この高周波電源
６９による高周波電圧によって気体放電を発生し、詳細
を後述するフッ化ガスを生成してフッ化処理室６４に供
給する。また、放電ユニット６８には、原料ガス管７０
を介して原料ガス源７２が接続してあり、放電ユニット
６８にフッ化ガスの原料となるＣＦ₄を供給できるよう
にしてある。さらに、原料ガス管７０には、希釈ガス管
７４を介して希釈ガス源７６が接続してあって、希釈ガ
スである窒素ガスを原料ガス管７０に流入させることが
できるようになっている。

【００１９】接合処理部３４は、接合処理室７８を有し
ていて、この接合処理室７８に加圧手段となるシリンダ
８０が配設してある。そして、シリンダ８０のロッドに
は、加熱手段となるラバーヒータ８２を介して被接合部
材４２を配置するベース板８４が取り付けてある。ベー
ス板８４は、アルミニウムなどの熱伝導率のよい金属か
らなっていて、上部に配置された被接合部材４２、６２
にラバーヒータ８２の熱を伝達し、接合部を両者の溶融
点より低い所定の温度に加熱できるようにしてある。ま
た、接合処理室７８の上部には、ベース板８４に対向さ
せて固定板８６が設けてあり、シリンダ８０を作動させ
てロッドを伸長することにより、被接合部材６２の上面
を固定板８６に圧接することにより、被接合部材４２、
６２を加圧できるようになっている。さらに、接合処理
室７８には、配管８８を介して不活性ガス供給手段とな
る不活性ガス源９０が接続してあって、不活性ガス源９
０から不活性ガスである窒素ガス（Ｎ₂）が供給される
ようにしてある。そして、接合処理室７８には、排気ポ
ンプ９２が接続してあって、内部を排気できるようにし
てある。

【００２０】このように構成した実施の形態による接合
は、次のようにして行われる。まず、一方の被接合部材
４２である銅板を電解処理部３０において電解処理し、
接合面の酸化膜を薄くする。すなわち、被接合部材４２
を陰極としてクエン酸溶液３８に挿入し、白金板４０に
プラスの直流電圧を印加してクエン酸溶液３８を介した
電気分解処理を行い、被接合部材４２を還元して接合面
に形成されている自然酸化による酸化膜を薄くする。そ
して、電解処理を終了したならば、被接合部材４２を電
解槽３６から取り出して第１洗浄部４６のエチルアルコ
ール５２に浸漬し、攪拌機５４によってエチルアルコー
ル５２を攪拌して洗浄する。これにより、被接合部材４
２に付着したクエン酸溶液が速やかにエチルアルコール
５２に溶け込む。

【００２１】次に、第１洗浄部４６における洗浄が終了
したならば、被接合部材４２を第２洗浄部４８のアセト
ン６０に浸漬し、第１洗浄部４６における洗浄と同様に
して洗浄を行う。そして、この第２洗浄部４８における
洗浄が終了したならば、アセトン６０から被接合部材４
２を引き上げ、アセトンを蒸発させて接合処理部３４の
ベース板８４上に接合面を上にして配置する。

【００２２】一方、錫からなる他方の被接合部材６２
は、フッ化処理部３２のフッ化処理室６４内に配置す
る。そして、原料ガス源７２から原料ガス管７０を介し
て原料ガスであるＣＦ₄を放電ユニット６８に供給す
る。この際、希釈ガス源７６からの窒素ガスを原料ガス
管７０に流入させ、放電ユニット６８に供給する原料ガ
スを希釈する。

【００２３】放電ユニット６９は、原料ガスが通過する
電極間に高周波電源６９による高周波電圧が印加されて
いて、ＣＦ₄と窒素ガスとの混合ガスを介した気体放電
を発生し、フッ化水素（ＨＦ）などの反応性のフッ素系
ガスを生成し、反応性フッ素系ガスを含むフッ化ガスを
処理ガス配管６６によってフッ化処理室６４に供給す
る。フッ化処理室６４に流入したフッ化ガスは、反応性
フッ素系ガスが被接合部材６２の接合面をフッ化する。
そして、フッ化処理した被接合部材６２は、接合面を下
にして接合処理部３４に搬入した被接合部材４２の上に
配置する。

【００２４】その後、不活性ガス源９０から接合処理室
７８に窒素ガスを供給して接合処理室７８内を窒素雰囲
気にし、接合部への酸素の侵入を防止するとともに、シ
リンダ８０を作動して被接合部材４２、６２を加圧す
る。さらに、ラバーヒータ８２に通電してベース板８４
を介して被接合部材４２、６２の接合部を、それぞれの
溶融温度より低い温度に加熱する。そして、この加熱、
加圧状態を所定時間保持して被接合部材４２、６２を相
互に接合する。

【００２５】このように、実施の形態においては、電解
処理によって被接合部材４２の酸化膜を薄くしているた
め、真空プラズマによる処理より装置の簡素化が図れ、
設備費や処理コストを低減することができる。しかも、
真空中におけるプラズマ処理と異なって大気中における
電解処理であるため、被接合部材４２が大きなものであ
っても容易に酸化膜を薄くする処理を行うことができ
る。また、電解処理によって酸化膜を薄くしているた
め、電解研磨と同様の効果が得られて接合面を平滑にす
ることができ、接合性を向上することができる。さら
に、被接合部材４２は、クエン酸溶液３８による電解処
理で酸化膜が減少しているため、電解処理後に直ちに接
合処理をしなくとも接合することが可能で、取り扱いや
管理が容易となる。

【００２６】そして、被接合部材４２、６２を接合する
際に、被接合部材４２、６２を加圧しているため、両者
の接触面積が大きくなって密接度が向上し、接合時間の
短縮が図れるとともに、接合強度を向上することができ
る。また、接合時に接合部を加熱しているため、接合面
の反応が活発となって接合速度、接合強度を高めること
ができる。さらに、接合処理室７８を窒素雰囲気にして
いるため、接合部に接合の障害となる酸素が侵入せず、
接合を確実に行うことができるとともに、接合強度の向
上が図れる。

【００２７】なお、前記実施の形態においては、電解処
理して酸化膜を薄くする被接合部材４２が銅である場合
について説明したが、電解処理するものは金属であれば
アルミニウムなどの純金属や各種合金であってもよい。
また、前記実施の形態においては、フッ化処理した被接
合部材が錫である場合について説明したが、錫以外の金
属（合金も含む）やガラスやアルミナなどのセラミック
であってもよい。そして、前記実施の形態においては、
電解質溶液がクエン酸溶液３８である場合について説明
したが、電解質溶液はこれに限定されず、酸化膜を減少
できるものであればよい。さらに、前記実施の形態にお
いては、不活性ガスが窒素ガスである場合について説明
したが、不活性ガスはアルゴンガスなどの希ガスであっ
てもよい。

【００２８】図２は、他の実施形態の要部説明図であ
る。図２において、接合処理部３４は、固定板８６に振
動発生手段である超音波振動子９４が設けてあって、シ
リンダ８２によって加圧した被接合部材６２、４２に超
音波振動を与えることができるようにしてある。他の構
成は、前記実施形態と同様である。

【００２９】このように構成した本実施の形態は、シリ
ンダ８０を作動させて被接合部材６２の上面を固定板８
６に圧接して被接合部材６２、４２を加圧するととも
に、ラバーヒータ８２によって両者の接合部を加熱し、
さらに超音波振動子９４を駆動して被接合部材６２、４
２に超音波振動を与える。これにより、被接合部材６
２、４２は、接合部が摩擦により温度が上昇するととも
に、接合面の酸化膜が摩擦によって除去されるなどして
両者の接合時間の短縮と、接合強度の向上とを図ること
ができる。

【００３０】

【実施例】《実施例》従来の真空プラズマによる酸化膜
の除去処理と、上記した実施の形態による電解処理によ
り酸化膜を薄くした場合とにおける接合強度の比較を行
った。使用した試料は、プラズマ処理または電解処理を
する被接合部材が幅５ｍｍ、長さ２０ｍｍ、厚さ０．２
ｍｍの銅板であり、他方の被接合部材が幅２ｍｍ、長さ
７ｍｍ、厚さ１ｍｍの錫である。そして、銅板からなる
一方の被接合部材の何ら処理をしていないものと、図１
に示した電解処理部３０、または図５に示した真空プラ
ズマ処理装置によりプラズマ処理をしたものとを用意す
るとともに、これらの試料と、他方の被接合部材である
錫の何も処理していないもの、フッ化処理をしたものと
を組み合わせた接合試験を行い、それぞれの接合強度を
測定した。

【００３１】電解処理の条件は、次のとおりである。ま
ず、蒸留水にクエン酸を溶解して０．２重量％のクエン
酸濃度を有する電解質溶液を作り、電解質溶液に上記し
た銅板を挿入して接地するとともに、陽極となる白金板
に＋１０Ｖの直流電圧を３分間印加し、銅板を電解処理
による還元を行った。次に、銅板を電解槽３６から取り
出して第１洗浄部４６のエチルアルコール５２に浸漬
し、攪拌しながら１０秒間洗浄したのち、さらに第２洗
浄部４８のアセトン６０に浸漬して攪拌しながら１０秒
間洗浄した。その後、洗浄した銅板をアセトン６０から
取り出してアセトンを蒸発させた。

【００３２】また、銅板のプラズマ処理は、次のように
して行った。真空容器１２の接地電極１４上に処理する
銅板を配置し、真空容器１２内を真空ポンプ１６によっ
て排気して１．５×１０^-2Ｔｏｒｒの真空に保持し
た。そして、真空容器１２内にアルゴンガスを１００Ｓ
ＣＣＭ（気体の標準状態で１００ｃｃ／ｍｉｎ）を導入
するとともに、高周波電極１８と接地電極１４との間に
１３．５６ＭＨｚの高周波電圧を２分間印加し、アルゴ
ンプラズマを発生させて銅板の接合面に照射して酸化膜
を除去した。

【００３３】一方、他方の被接合部材である錫のフッ化
処理は、次のようにして行った。図１に示したフッ化処
理室６４に上記の錫を配置するとともに、放電ユニット
６８にＣＦ₄と窒素ガスとを供給し、これらの混合ガス
を介した放電によってフッ化水素ガスを含むフッ化ガス
を生成してフッ化処理室６４に導入した。導入したフッ
化ガスのフッ化水素ガスの濃度は１．０％であり、相対
湿度は１０％、フッ化ガスの流量は１ＳＬＭ（気体の標
準状態で１ｌ／ｍｉｎ）であって、処理時間は５分間で
ある。

【００３４】接合処理は、次のようにして行った。図１
に示した窒素雰囲気中の接合処理室７８のベース板８４
に銅板を配置し、その上に錫を重ねたのち、シリンダ８
０を作動して両者を１．０ｋｇｆ／ｍｍ²の圧力で加圧
し、ラバーヒータ８２によって銅板と錫とを１５０℃に
加熱した。加熱プロファイルは、２５℃から１５０℃に
１５分間かけて昇温したのち、１５０℃に５分間維持し
た。その後、シリンダ８０のロッドを下降させて加圧圧
力を零にし、接合処理室７８を大気開放して銅板と錫と
を冷却した。

【００３５】なお、上記の電解処理またはプラズマ処理
をしてから接合処理をするまでの放置時間は、いずれも
１０分間である。また、接合強度は、図３に示したよう
な方法によって剪断力（単位：ｋｇｆ）を測定して求め
た。すなわち、ベッド１００の上に設けた試料保持具１
０２に接合体１０４の銅板１０６を固定し、錫１０８を
試料保持具１０２の面から突出させる。そして、ベッド
１００に立設した支柱１１２に保持させた荷重計１１４
の下端に押し具１１６を設け、この押し具１１６を矢印
１１８のように荷重計１１４と一体に銅板１０６の接合
面に沿って下降させて錫１０８を押圧した。そして、銅
板１０６と錫１０８との接合部が剪断破壊するまで荷重
を増大させ、破壊時の荷重を接合強度としている。

【００３６】図４は、その測定結果を示したものであ
る。なお、図４において逆スパッタ処理と記載した試料
は、真空プラズマ処理によって酸化膜を除去した処理を
示している。また、接合強度０は、接合体１０４を試料
保持具１０２に固定したときに、錫１０８が銅板１０６
から脱落しことを示している。

【００３７】図４から明らかなように、銅板１０６を電
解処理した場合、錫１０８がフッ化処理されていない未
処理状態であっても接合することができ、０．８ｋｇｆ
の接合強度を示した。これに対して、銅板１０６を真空
プラズマ処理した場合、錫１０８が未処理であると接合
することができなかった。また、錫１０８をフッ化処理
した場合、何ら処理をしていない銅板でも接合すること
ができ、その接合強度は４．３ｋｇｆであった。そし
て、フッ化処理した錫１０８と真空プラズマ処理をした
銅板１０６との接合強度は４．０ｋｇｆであって、フッ
化処理した錫と何も処理をしていない銅板とを接合した
場合と同程度の接合強度であった。これに対して、銅板
１０６を電解処理してフッ化処理した錫１０８と接合す
ると、接合強度が８．０ｋｇｆとなり、銅板１０６をプ
ラズマ処理した場合の２倍の接合強度を示した。すなわ
ち、電解処理をして接合すると、真空プラズマ処理をし
た場合より大幅に接合強度を向上させることができる。

【００３８】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、電解処理により接合の妨げとなる被接合部材の表層
部の酸素量を少なくすることができるため、半田やイン
ジウムなどの接合材を使用せずに被接合材を接合するこ
とができ、真空処理したと同等の接合強度を得ることが
できる。しかも、真空中におけるプラズマ処理と異な
り、大気中において電解質溶液に被接合部材を浸漬して
電気分解することにより、装置の簡素化と低コスト化と
を図ることができるとともに、大きな被接合部材の処理
が可能で、接合材を使用せずに容易に接合することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る固体接合装置の説明
図である。

【図２】他の実施形態の要部説明図である。

【図３】実施例における接合強度の測定方法の説明図で
ある。

【図４】実施例の接合した被接合部材の組み合わせと接
合強度とを示す図である。

【図５】従来の真空プラズマによって酸化膜を除去する
方法の説明図である。

【符号の説明】

３０電解処理部３２フッ化処理部３４接合処理部３８クエン酸溶液４２被接合部材４６第１洗浄部４８第２洗浄部５２エチルアルコール６０アセトン６２被接合部材６４フッ化処理室６８放電ユニット７２原料ガス源７６希釈ガス源７８接合処理室８０加圧手段（シリンダ）８２加熱手段（ラバーヒータ）９０不活性ガス供給手段（不活性ガス源）９４振動発生手段（超音波振動子）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】相互に接合する被接合部材の少なくとも
一方を電解処理して接合面の酸化膜を薄くしたのち、前
記接合面に同種または異種の他方の被接合部材を接触さ
せて相互に接合することを特徴とする固体接合方法。
【請求項２】前記電解処理をする電解質溶液は、クエ
ン酸水溶液であることを特徴とする請求項１に記載の固
体接合方法。
【請求項３】前記他方の被接合部材は、接合面がフッ
化処理してあることを特徴とする請求項１または２に記
載の固体接合方法。
【請求項４】前記接合は、加圧して前記各被接合部材
の接触圧を大きくするとともに、接合部を各被接合部材
の融点より低い温度に加熱して行うことを特徴とする請
求項１ないし３のいずれかに記載の固体接合方法。
【請求項５】前記接合は、不活性ガス中で行うことを
特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の固体接
合方法。
【請求項６】前記接合は、前記被接合部材に超音波振
動を与えつつ行うことを特徴とする請求項４または５に
記載の固体接合方法。
【請求項７】相互に接合する被接合部材の少なくとも
一方の接合面を還元する電解処理部と、この電解処理し
た被接合部材の接合面に同種または異種の他方の被接合
部材を接触させて相互に接合する接合処理部とを有する
ことを特徴とする固体接合装置。
【請求項８】相互に接合する被接合部材の少なくとも
一方の接合面を還元する電解処理部と、前記被接合部材
と同種または異種の他方の被接合部材の接合面をフッ化
処理するフッ化処理部と、前記各被接合部材を前記接合
面を介して接触させて相互に接合する接合処理部とを有
することを特徴とする固体接合装置。
【請求項９】前記接合処理部は、前記各被接合部材を
加圧する加圧手段と、接合部を加熱する加熱手段とを有
することを特徴とする請求項７または８に記載の固体接
合装置。
【請求項１０】前記接合部処理は、前記被接合部材の
接合部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段を有
していることを特徴とする請求項７ないし９のいずれか
に記載の固体接合装置。
【請求項１１】前記接合処理部は、加圧した前記被接
合部材に超音波振動を与える振動発生手段を有している
ことを特徴とする請求項７ないし１０のいずれかに記載
の固体接合装置。