JP2000004459A - フォーカス測定装置 - Google Patents
フォーカス測定装置Info
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- Television Signal Processing For Recording (AREA)
- Video Image Reproduction Devices For Color Tv Systems (AREA)
- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
- Studio Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単に且つ確実にカラーＴＶ等のフォーカス
調整特性の定量化を図ること。 【解決手段】 パターンジェネレータ２は検査査対象物
のカラーＴＶ１に相対色の２色が縦横方向に一定の所定
周期で格子状に配置してなる形状のフォーカス測定用パ
ターン信号を供給する。光電変換手段としてのＣＣＤカ
メラ３は画面上に表示されたパターン画像の所定範囲を
撮像し、撮像信号はディジタル化された後、イメージメ
モリ５に画像位置に応じたアドレスで記憶される。ＦＦ
Ｔ変換器６は読み出された画像データから各画像位置毎
の周波数成分を算出する。フォーカス値算出手段７は周
波数成分の内、奇数画像周期の周波数成分を抽出しフォ
ーカス値を算出する。ＣＰＵ８はこのフォーカス算出値
を表示手段の画面上に表示させる。フォーカス調整時、
作業者は表示手段の画面上に表示されたフォーカス値が
最大となるようにカラーＴＶ１のフォーカスボリューム
を調整する。これにより、作業者の調整技能に拘わら
ず、フォーカスを常に一定に調整することができ、フォ
ーカス検査特性を定量化することが可能となる。
調整特性の定量化を図ること。 【解決手段】 パターンジェネレータ２は検査査対象物
のカラーＴＶ１に相対色の２色が縦横方向に一定の所定
周期で格子状に配置してなる形状のフォーカス測定用パ
ターン信号を供給する。光電変換手段としてのＣＣＤカ
メラ３は画面上に表示されたパターン画像の所定範囲を
撮像し、撮像信号はディジタル化された後、イメージメ
モリ５に画像位置に応じたアドレスで記憶される。ＦＦ
Ｔ変換器６は読み出された画像データから各画像位置毎
の周波数成分を算出する。フォーカス値算出手段７は周
波数成分の内、奇数画像周期の周波数成分を抽出しフォ
ーカス値を算出する。ＣＰＵ８はこのフォーカス算出値
を表示手段の画面上に表示させる。フォーカス調整時、
作業者は表示手段の画面上に表示されたフォーカス値が
最大となるようにカラーＴＶ１のフォーカスボリューム
を調整する。これにより、作業者の調整技能に拘わら
ず、フォーカスを常に一定に調整することができ、フォ
ーカス検査特性を定量化することが可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プロジェクション
ＴＶ等のカラーテレビジョン受像機（以下、カラーＴＶ
と称す）の表示画面をＣＣＤカメラ等で撮像表示してこ
れを表示し、カラーＴＶの画面表示のフォーカスの状態
を測定して、これを調整するためのフォーカス測定装置
に関し、特にフォーカスの調整状態を定量化してフォー
カス調整を容易に且つ確実に行うことができるようにし
たフォーカス測定装置に関する。
ＴＶ等のカラーテレビジョン受像機（以下、カラーＴＶ
と称す）の表示画面をＣＣＤカメラ等で撮像表示してこ
れを表示し、カラーＴＶの画面表示のフォーカスの状態
を測定して、これを調整するためのフォーカス測定装置
に関し、特にフォーカスの調整状態を定量化してフォー
カス調整を容易に且つ確実に行うことができるようにし
たフォーカス測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、プロジェクションＴＶ等のカラ
ーＴＶの製造工程では、出荷される製品の品質を確保す
るために種々の検査が行われている。
ーＴＶの製造工程では、出荷される製品の品質を確保す
るために種々の検査が行われている。
【０００３】画像を表示する手段のフォーカスの調整状
況も検査項目の一つであり、通常、フォーカス測定装置
を用いた検査が行なわれる。
況も検査項目の一つであり、通常、フォーカス測定装置
を用いた検査が行なわれる。
【０００４】この、フォーカス測定装置として、例え
ば、カラーＴＶの表示画面を撮像するＣＣＤ等の撮像素
子を有する撮像手段（ＣＣＤカメラ等）と、この撮像手
段により撮像された撮像信号の輝度レベルの最大値をサ
ンプリングホールドして出力するサンプリングホールド
回路と、このサンプリングホールド回路の出力を表示す
る電圧計で構成されているものがある（特開平６ー２７
６５５３号公報参照）。
ば、カラーＴＶの表示画面を撮像するＣＣＤ等の撮像素
子を有する撮像手段（ＣＣＤカメラ等）と、この撮像手
段により撮像された撮像信号の輝度レベルの最大値をサ
ンプリングホールドして出力するサンプリングホールド
回路と、このサンプリングホールド回路の出力を表示す
る電圧計で構成されているものがある（特開平６ー２７
６５５３号公報参照）。
【０００５】上記構成によるフォーカス測定装置では、
検査するカラーＴＶの画面に対向させてＣＣＤカメラを
配置し、ＴＶには例えば全白等のように高輝度で絵柄の
変化しないパターンを映出させる。ＣＣＤカメラの撮像
信号の輝度成分のレベルは、ＴＶのフォーカスの調整に
よって変動し、フォーカスが合致したとこで最も輝度が
高くなる。したがって、フォーカス調整を行いながら、
その時々の撮像信号の輝度レベルの最大値をサンプリン
グして、その値を電圧計で表示するようにすれば、電圧
計が最大値を示したところがフォーカスが合致した位置
ということになる。
検査するカラーＴＶの画面に対向させてＣＣＤカメラを
配置し、ＴＶには例えば全白等のように高輝度で絵柄の
変化しないパターンを映出させる。ＣＣＤカメラの撮像
信号の輝度成分のレベルは、ＴＶのフォーカスの調整に
よって変動し、フォーカスが合致したとこで最も輝度が
高くなる。したがって、フォーカス調整を行いながら、
その時々の撮像信号の輝度レベルの最大値をサンプリン
グして、その値を電圧計で表示するようにすれば、電圧
計が最大値を示したところがフォーカスが合致した位置
ということになる。
【０００６】しかしながら、このような装置では、フォ
ーカスが合っている状態と僅かにずれている状態とでＴ
Ｖ画面の輝度にさほど差が現れず、フォーカスの合致を
特定することが難しく、電圧計を見ながらの調整に熟練
を要するという問題があった。
ーカスが合っている状態と僅かにずれている状態とでＴ
Ｖ画面の輝度にさほど差が現れず、フォーカスの合致を
特定することが難しく、電圧計を見ながらの調整に熟練
を要するという問題があった。
【０００７】このように従来技術では、フォーカス測定
装置によるフォーカス調整を定量化させることが事質的
に不可能であるため、検査精度に悪影響を及ぼして市場
に出荷する製品の品質を低下させてしまうという虞れが
あった。
装置によるフォーカス調整を定量化させることが事質的
に不可能であるため、検査精度に悪影響を及ぼして市場
に出荷する製品の品質を低下させてしまうという虞れが
あった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記の如く、従来のフ
ォーカス測定装置では、全白のパターンの映像信号が表
示された表示画面を撮像し、撮像した撮像信号の輝度成
分レベルに基づいてフォーカス調整状況をモニタ表示
し、作業者がこのモニタを見ながらフォーカス調整を行
っていたため、常に一定の状態に調整することができ
ず、検査精度に悪影響を及ぼしてしまうという問題点が
あった。
ォーカス測定装置では、全白のパターンの映像信号が表
示された表示画面を撮像し、撮像した撮像信号の輝度成
分レベルに基づいてフォーカス調整状況をモニタ表示
し、作業者がこのモニタを見ながらフォーカス調整を行
っていたため、常に一定の状態に調整することができ
ず、検査精度に悪影響を及ぼしてしまうという問題点が
あった。
【０００９】そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなさ
れたもので、フォーカス測定装置におけるフォーカス調
整特性を定量化することのできるフォーカス測定装置の
提供を目的とする。
れたもので、フォーカス測定装置におけるフォーカス調
整特性を定量化することのできるフォーカス測定装置の
提供を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明によるフォーカス
測定装置は、表示画面を有する表示手段とこの表示手段
のフォーカスを調整するフォーカス調整手段を備えた検
査対象物に、ある規則に基づく形状のフォーカス測定用
パターンを前記表示画面に表示すべくパターン信号を供
給するパターン信号発生手段と、前記表示手段の画面上
に表示された前記フォーカス測定用パターン信号に基づ
く画像の所定の範囲を撮像して、撮像信号を出力する光
電変換手段と、前記光電変換手段からの撮像信号をディ
ジタル化し輝度データとして前記画面の表示位置に対応
したアドレスで記憶する記憶手段と、前記記憶手段から
読み出した輝度データの周波数成分を、その輝度データ
の前記アドレス情報に基づいて算出し、算出結果を出力
する周波数成分算出手段と、前記周波数成分算出手段の
算出結果からフォーカス値を算出し、算出結果を出力す
るフォーカス値算出手段と、前記記憶手段の前記輝度デ
ータの書き込み及び読み出しの制御を行うとともに、前
記フォーカス値算出手段からの算出結果を表示手段の画
面上に表示させるための表示制御を行う制御手段と、を
具備して構成されたものである。
測定装置は、表示画面を有する表示手段とこの表示手段
のフォーカスを調整するフォーカス調整手段を備えた検
査対象物に、ある規則に基づく形状のフォーカス測定用
パターンを前記表示画面に表示すべくパターン信号を供
給するパターン信号発生手段と、前記表示手段の画面上
に表示された前記フォーカス測定用パターン信号に基づ
く画像の所定の範囲を撮像して、撮像信号を出力する光
電変換手段と、前記光電変換手段からの撮像信号をディ
ジタル化し輝度データとして前記画面の表示位置に対応
したアドレスで記憶する記憶手段と、前記記憶手段から
読み出した輝度データの周波数成分を、その輝度データ
の前記アドレス情報に基づいて算出し、算出結果を出力
する周波数成分算出手段と、前記周波数成分算出手段の
算出結果からフォーカス値を算出し、算出結果を出力す
るフォーカス値算出手段と、前記記憶手段の前記輝度デ
ータの書き込み及び読み出しの制御を行うとともに、前
記フォーカス値算出手段からの算出結果を表示手段の画
面上に表示させるための表示制御を行う制御手段と、を
具備して構成されたものである。
【００１１】本発明においては、パターン信号発生手段
は、フォーカス調整手段を備えた検査対象物の表示機器
に、ある規則に基づく形状のフォーカス測定用パターン
を表示させるべく、フォーカス測定用パターン信号を供
給する。このフォーカス測定用パターン信号としては、
例えば、白、黒の相対色の２色が縦横方向に一定の所定
周期で格子状に配置してなる形状のクロスハッチパター
ン信号である。光電変換手段は、前記表示機器の画面上
に表示された前記フォーカス測定用パターン信号に基づ
く画像の所定の範囲を撮像して、撮像信号を出力する。
記憶手段は、前記光電変換手段からの撮像信号をディジ
タル化し輝度データとして前記画面の表示位置に対応し
たアドレスで記憶する。その後、周波数成分算出手段
は、前記記憶手段から読み出した輝度データの周波数成
分を、その輝度データの前記アドレス情報に基づいて算
出し、算出結果を出力し、フォーカス値算出手段は、前
記周波数成分算出手段からの算出結果からフォーカス値
を算出し、算出結果を出力する。制御手段は、前記記憶
手段の前記画像データの書き込み及び読み出しの制御を
行うとともに、前記フォーカス値算出手段からの算出結
果を表示手段の画面上に表示させるための表示制御を行
う。フォーカス調整時、作業者は表示手段の画面上に表
示された前記フォーカス値が最大となるように前記表示
機器のフォーカス調整手段を調整する。これにより、作
業者の調整技能に拘わらず、表示機器のフォーカスを常
に一定に調整することができ、フォーカス検査特性を定
量化することが可能となる。
は、フォーカス調整手段を備えた検査対象物の表示機器
に、ある規則に基づく形状のフォーカス測定用パターン
を表示させるべく、フォーカス測定用パターン信号を供
給する。このフォーカス測定用パターン信号としては、
例えば、白、黒の相対色の２色が縦横方向に一定の所定
周期で格子状に配置してなる形状のクロスハッチパター
ン信号である。光電変換手段は、前記表示機器の画面上
に表示された前記フォーカス測定用パターン信号に基づ
く画像の所定の範囲を撮像して、撮像信号を出力する。
記憶手段は、前記光電変換手段からの撮像信号をディジ
タル化し輝度データとして前記画面の表示位置に対応し
たアドレスで記憶する。その後、周波数成分算出手段
は、前記記憶手段から読み出した輝度データの周波数成
分を、その輝度データの前記アドレス情報に基づいて算
出し、算出結果を出力し、フォーカス値算出手段は、前
記周波数成分算出手段からの算出結果からフォーカス値
を算出し、算出結果を出力する。制御手段は、前記記憶
手段の前記画像データの書き込み及び読み出しの制御を
行うとともに、前記フォーカス値算出手段からの算出結
果を表示手段の画面上に表示させるための表示制御を行
う。フォーカス調整時、作業者は表示手段の画面上に表
示された前記フォーカス値が最大となるように前記表示
機器のフォーカス調整手段を調整する。これにより、作
業者の調整技能に拘わらず、表示機器のフォーカスを常
に一定に調整することができ、フォーカス検査特性を定
量化することが可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】発明の実施の形態について図面を
参照して説明する。
参照して説明する。
【００１３】図１は本発明に係るフォーカス測定装置の
一実施の形態を示し、フォーカス検査する撮像対象物と
してのカラーテレビジョン受像機に取り付けた場合の装
置全体の概略構成を示すブロック図である。
一実施の形態を示し、フォーカス検査する撮像対象物と
してのカラーテレビジョン受像機に取り付けた場合の装
置全体の概略構成を示すブロック図である。
【００１４】本実施の形態のフォーカス測定装置は、図
１に示すように、フォーカス検査する撮像対象物として
のカラーＴＶ１の所定位置に配置されるようになってい
る。
１に示すように、フォーカス検査する撮像対象物として
のカラーＴＶ１の所定位置に配置されるようになってい
る。
【００１５】フォーカス測定装置は、パターンジェネレ
ータ２を備え、該パターンジェネレータ２はカラーＴＶ
に着脱可能に接続されるようになっている。つまり、フ
ォーカス測定装置を用いて検査する毎に、該パターンジ
ェネレータ２を検査するカラーＴＶ１に接続するように
している。
ータ２を備え、該パターンジェネレータ２はカラーＴＶ
に着脱可能に接続されるようになっている。つまり、フ
ォーカス測定装置を用いて検査する毎に、該パターンジ
ェネレータ２を検査するカラーＴＶ１に接続するように
している。
【００１６】パターンジェネレータ２は、フォーカス検
査するのに必要な所定形状のパターン信号をカラーＴＶ
１に供給する。このパターン信号としては、従来技術で
ある全白又は全黒のパターン映像信号とは異なり、より
精度良くフォーカス測定検査を行うために、例えば白と
黒とを縦横方向にクロスして形成してなるクロスハッチ
パターンの映像信号が採用されている。
査するのに必要な所定形状のパターン信号をカラーＴＶ
１に供給する。このパターン信号としては、従来技術で
ある全白又は全黒のパターン映像信号とは異なり、より
精度良くフォーカス測定検査を行うために、例えば白と
黒とを縦横方向にクロスして形成してなるクロスハッチ
パターンの映像信号が採用されている。
【００１７】例えば、上記パターンジェネレータ２から
のフォーカス測定用のクロスハッチパターン映像信号を
カラーＴＶ１に供給し、ビデオチャンネルに合わせて画
面表示したとすると、その画面２ａ上には、図２に示す
ように該クロスハッチパターン映像信号に基づく画像が
表示される。すると、この画像は、図に示すように輝度
の明るい部分（白塗り部分）が格子状形状となり、クロ
スされる領域については輝度の暗い部分（黒塗り部分）
となるように表示されたものとなる。また、その縦横の
表示周期は、常に一定した所定の周期となり、全て同じ
周期間隔で表示が成されたものとなる。
のフォーカス測定用のクロスハッチパターン映像信号を
カラーＴＶ１に供給し、ビデオチャンネルに合わせて画
面表示したとすると、その画面２ａ上には、図２に示す
ように該クロスハッチパターン映像信号に基づく画像が
表示される。すると、この画像は、図に示すように輝度
の明るい部分（白塗り部分）が格子状形状となり、クロ
スされる領域については輝度の暗い部分（黒塗り部分）
となるように表示されたものとなる。また、その縦横の
表示周期は、常に一定した所定の周期となり、全て同じ
周期間隔で表示が成されたものとなる。
【００１８】尚、クロスハッチパターンとしては、図２
に示すようなパターンの他に、黒と白を逆に構成したク
ロスハッチパターンを採用しても良い。
に示すようなパターンの他に、黒と白を逆に構成したク
ロスハッチパターンを採用しても良い。
【００１９】本実施の形態では、フォーカス測定装置の
有する光電変換手段３によって、図２に示すクロスハッ
チパターン映像信号に基づく表示画面２ａを撮像する。
光電変換手段３は、例えばラインセンサ及び撮像素子で
あるＣＣＤ３ａを備えたＣＣＤカメラ等を備えて構成さ
れており、被写体像としてのカラーＴＶ１の表示画像を
撮像して被写体像の光を電気的な信号（撮像信号ともい
う）に変換し、撮像信号をＡ／Ｄ変換器４に与える。つ
まりＡ／Ｄ変換器４には、撮像信号が示す輝度情報が供
給されることになる。
有する光電変換手段３によって、図２に示すクロスハッ
チパターン映像信号に基づく表示画面２ａを撮像する。
光電変換手段３は、例えばラインセンサ及び撮像素子で
あるＣＣＤ３ａを備えたＣＣＤカメラ等を備えて構成さ
れており、被写体像としてのカラーＴＶ１の表示画像を
撮像して被写体像の光を電気的な信号（撮像信号ともい
う）に変換し、撮像信号をＡ／Ｄ変換器４に与える。つ
まりＡ／Ｄ変換器４には、撮像信号が示す輝度情報が供
給されることになる。
【００２０】例えば、図２に示すフォーカス測定用パタ
ーン画像を光電変換手段３により撮像し、得られた輝度
情報を各位置（例えば水平位置）に応じてプロファイル
表示すると、図３に示すものとなる。つまり、クロス形
状となる輝度の明るい部分が始まる開始位置と次の輝度
の明るい部分が始まる開始位置までの水平周期を周期Ｔ
ｘとすると、格子形状の輝度の明るい部分と輝度が暗い
部分とのそれぞれの周期は１／２Ｔｘとなり、位置（ア
ドレス）に応じた輝度レベルは、図３に示すように水平
周期Ｔにおいて、１／２Ｔｘ周期毎に交互に高低が変化
したものとなる。このように画像位置に応じて輝度レベ
ルの高低が同じような周期で変化する輝度情報が検出さ
れてＡ／ｄ変換器４に与えられる。尚、垂直方向におけ
る輝度レベルの高低周期についても水平方向と同様であ
る。
ーン画像を光電変換手段３により撮像し、得られた輝度
情報を各位置（例えば水平位置）に応じてプロファイル
表示すると、図３に示すものとなる。つまり、クロス形
状となる輝度の明るい部分が始まる開始位置と次の輝度
の明るい部分が始まる開始位置までの水平周期を周期Ｔ
ｘとすると、格子形状の輝度の明るい部分と輝度が暗い
部分とのそれぞれの周期は１／２Ｔｘとなり、位置（ア
ドレス）に応じた輝度レベルは、図３に示すように水平
周期Ｔにおいて、１／２Ｔｘ周期毎に交互に高低が変化
したものとなる。このように画像位置に応じて輝度レベ
ルの高低が同じような周期で変化する輝度情報が検出さ
れてＡ／ｄ変換器４に与えられる。尚、垂直方向におけ
る輝度レベルの高低周期についても水平方向と同様であ
る。
【００２１】Ａ／Ｄ変換器４は、アナログ方式である輝
度情報をディジタル変換し、ディジタル化された輝度デ
ータをイメージメモリ５に与える。イメージメモリ５
は、後述する制御手段としてのＣＰＵ８により、上記輝
度データの書き込み制御される。このとき、イメージメ
モリ５は、画像位置に対応する水平アドレスＨａと垂直
アドレスＶａで特定されるアドレス領域を有し、供給さ
れた輝度データを画像位置に対応するアドレス領域に書
き込むようになっている。
度情報をディジタル変換し、ディジタル化された輝度デ
ータをイメージメモリ５に与える。イメージメモリ５
は、後述する制御手段としてのＣＰＵ８により、上記輝
度データの書き込み制御される。このとき、イメージメ
モリ５は、画像位置に対応する水平アドレスＨａと垂直
アドレスＶａで特定されるアドレス領域を有し、供給さ
れた輝度データを画像位置に対応するアドレス領域に書
き込むようになっている。
【００２２】イメージメモリ６はＣＰＵ８によりその格
納している輝度データが読み出されるようになってお
り、読み出された輝度データは、周波数成分算出手段と
しての高速フーリエ変換器（Fast Fourie Transform：
以下、ＦＦＴ変換器と略記）６に与える。
納している輝度データが読み出されるようになってお
り、読み出された輝度データは、周波数成分算出手段と
しての高速フーリエ変換器（Fast Fourie Transform：
以下、ＦＦＴ変換器と略記）６に与える。
【００２３】このＦＦＴ変換器６は、高速アルゴリズム
可能に構成されたもので、入力データに対し高速フーリ
エ変換処理を施す。具体的には、ＦＦＴ変換器６は、イ
メージメモリ６からの輝度データＹと画像位置Ｘとの関
係を、関数Ｆ（Ｘ）＝Ｙとした場合の周波数成分を算出
し、算出結果をフォーカス値算出手段７に与える。
可能に構成されたもので、入力データに対し高速フーリ
エ変換処理を施す。具体的には、ＦＦＴ変換器６は、イ
メージメモリ６からの輝度データＹと画像位置Ｘとの関
係を、関数Ｆ（Ｘ）＝Ｙとした場合の周波数成分を算出
し、算出結果をフォーカス値算出手段７に与える。
【００２４】図４は上記ＦＦＴ変換器６の周波数変換処
理により得られた周波数成分のベクトル表示を示してい
る。つまり、ＦＦｔ変換器６による演算処理により、図
４に示すように、撮像した画像の水平位置または垂直位
置に応じた周波数成分のベクトル値を得ることが可能と
なる。
理により得られた周波数成分のベクトル表示を示してい
る。つまり、ＦＦｔ変換器６による演算処理により、図
４に示すように、撮像した画像の水平位置または垂直位
置に応じた周波数成分のベクトル値を得ることが可能と
なる。
【００２５】ここで例えば、カラーＴＶ１のフォーカス
がずれている場合と正常な場合における、光電変換部３
の出力（イメージメモリ６に記憶された輝度データの画
像位置に応じた輝度レベル特性）とＦＦＴ変換器６の出
力との関係を図に示すと、図５及び図６に示すものとな
る。
がずれている場合と正常な場合における、光電変換部３
の出力（イメージメモリ６に記憶された輝度データの画
像位置に応じた輝度レベル特性）とＦＦＴ変換器６の出
力との関係を図に示すと、図５及び図６に示すものとな
る。
【００２６】図５はカラーＴＶ１のフォーカスがずれて
いる場合を示すもので、図５（ａ）は光電変換部３の出
力であるイメージメモリ６に記憶された輝度データのプ
ロファイル表示を示し、図５（ｂ）はＦＦＴ変換器６の
出力結果を示す周波数成分のベクトル表示を示してい
る。また、図６はカラーＴＶ１のフォーカスが正常な場
合を示すもので、図６（ａ）は光電変換部３の出力であ
るイメージメモリ６に記憶された輝度データのプロファ
イル表示を示し、図６（ｂ）はＦＦＴ変換器６の出力結
果を示す周波数成分のベクトル表示を示している。
いる場合を示すもので、図５（ａ）は光電変換部３の出
力であるイメージメモリ６に記憶された輝度データのプ
ロファイル表示を示し、図５（ｂ）はＦＦＴ変換器６の
出力結果を示す周波数成分のベクトル表示を示してい
る。また、図６はカラーＴＶ１のフォーカスが正常な場
合を示すもので、図６（ａ）は光電変換部３の出力であ
るイメージメモリ６に記憶された輝度データのプロファ
イル表示を示し、図６（ｂ）はＦＦＴ変換器６の出力結
果を示す周波数成分のベクトル表示を示している。
【００２７】図５（ａ）に示すように、図２に示すフォ
ーカス測定用パターン画像を撮像することによって得ら
れた光電変換部３の出力（画像位置に応じた輝度レベル
特性）は、例えばカラーＴＶ１のフォーカスがずれてい
る場合には、方形波状にはならず、また、ＦＦＴ変換部
６の周波数成分のベクトルもそれに応じて低くなる。
ーカス測定用パターン画像を撮像することによって得ら
れた光電変換部３の出力（画像位置に応じた輝度レベル
特性）は、例えばカラーＴＶ１のフォーカスがずれてい
る場合には、方形波状にはならず、また、ＦＦＴ変換部
６の周波数成分のベクトルもそれに応じて低くなる。
【００２８】一方、カラーＴＶ１のフォーカスが正常で
ある場合には、図６（ａ）に示すように、図２に示すフ
ォーカス測定用パターン画像を撮像することによって得
られた光電変換部３の出力（画像位置に応じた輝度レベ
ル特性）は方形波状となり、さらに、ＦＦＴ変換部６の
周波数成分のベクトルについては、該ＦＦＴ変換部６に
よる算出（関数Ｆ（Ｘ）＝Ｙとした場合の周波数成分を
算出）により、奇数倍の周波数成分が大きくなるという
特徴がある。
ある場合には、図６（ａ）に示すように、図２に示すフ
ォーカス測定用パターン画像を撮像することによって得
られた光電変換部３の出力（画像位置に応じた輝度レベ
ル特性）は方形波状となり、さらに、ＦＦＴ変換部６の
周波数成分のベクトルについては、該ＦＦＴ変換部６に
よる算出（関数Ｆ（Ｘ）＝Ｙとした場合の周波数成分を
算出）により、奇数倍の周波数成分が大きくなるという
特徴がある。
【００２９】つまり、同じパターン画像を用いているの
で、フォーカスがずれている場合を示す図５（ｂ）と、
フォーカスが正常な場合を示す図６（ｂ）との奇数倍の
周波数成分の違いを検出すれば、フォーカスがずれてい
るか否かを判断することが可能である。
で、フォーカスがずれている場合を示す図５（ｂ）と、
フォーカスが正常な場合を示す図６（ｂ）との奇数倍の
周波数成分の違いを検出すれば、フォーカスがずれてい
るか否かを判断することが可能である。
【００３０】本実施の形態では、このような性質を利用
したもので、したがって、ＦＦＴ変換部６の出力結果を
フォーカス算出部７に与え、該フォーカス算出部７で該
ＦＦＴ変換部６により得られた奇数倍の周波数成分（奇
数周波数成分ともいう）のみを抽出し、これに応じたフ
ォーカス値を求め、得られたフォーカス値を制御手段と
してのＣＰＵ８に供給する。
したもので、したがって、ＦＦＴ変換部６の出力結果を
フォーカス算出部７に与え、該フォーカス算出部７で該
ＦＦＴ変換部６により得られた奇数倍の周波数成分（奇
数周波数成分ともいう）のみを抽出し、これに応じたフ
ォーカス値を求め、得られたフォーカス値を制御手段と
してのＣＰＵ８に供給する。
【００３１】ＣＰＵ８は、供給されたフォーカス値を基
に表示手段としてのモニタ９に例えばメータ表示するた
めの表示データを作成し、該モニター９に供給すること
でフォーカス値に基づく表示の制御を行う。このメータ
表示の一例が図７に示されている。
に表示手段としてのモニタ９に例えばメータ表示するた
めの表示データを作成し、該モニター９に供給すること
でフォーカス値に基づく表示の制御を行う。このメータ
表示の一例が図７に示されている。
【００３２】例えば、図７に示すメータ表示例のよう
に、その表示画面９ａでは、メータ表示のようにフォー
カスレベルを示す針表示部９ｂが表示され、該針表示部
９ｂは、算出結果のフォーカス値に基づくフォーカスレ
ベルを示すようになっている。また、表示画面９ａで
は、予めＣＰＵ８による演算処理または格納されていた
フォーカス正常値を示すチェックレベル表示部９ｃが表
示されるようになっており、フォーカス検査時に、上記
針表示部９ｂが該チェックレベル表示部９ｃを指すこと
によって、フォーカスが一致していることを、作業者に
認識させることが可能である。この場合、針表示部９ｂ
がチェックレベル表示部９ｂ以外を指している場合に
は、フォーカスはずれているものとして判断する。
に、その表示画面９ａでは、メータ表示のようにフォー
カスレベルを示す針表示部９ｂが表示され、該針表示部
９ｂは、算出結果のフォーカス値に基づくフォーカスレ
ベルを示すようになっている。また、表示画面９ａで
は、予めＣＰＵ８による演算処理または格納されていた
フォーカス正常値を示すチェックレベル表示部９ｃが表
示されるようになっており、フォーカス検査時に、上記
針表示部９ｂが該チェックレベル表示部９ｃを指すこと
によって、フォーカスが一致していることを、作業者に
認識させることが可能である。この場合、針表示部９ｂ
がチェックレベル表示部９ｂ以外を指している場合に
は、フォーカスはずれているものとして判断する。
【００３３】実際のフォーカス検査時には、作業者は上
記メータ表示（図７参照）を見ながら、カラーＴＶ１の
フォーカスボリューム等の調整ボタンを調整し、この調
整は針表示部９ｂがチェックレベル表示部９ｃを指すま
で行う。これにより、カラーＴＶ１のフォーカスを一致
させて設定することができる。
記メータ表示（図７参照）を見ながら、カラーＴＶ１の
フォーカスボリューム等の調整ボタンを調整し、この調
整は針表示部９ｂがチェックレベル表示部９ｃを指すま
で行う。これにより、カラーＴＶ１のフォーカスを一致
させて設定することができる。
【００３４】尚、本実施の形態では、フォーカス調整が
合っている正常な状態を示すものとして、チェックレベ
ル表示９ｂを表示した場合について説明したが、これに
限定されることはなく、針表示部９ａが最も大きくふれ
たときをフォーカスが合っている正常な状態としても良
い。
合っている正常な状態を示すものとして、チェックレベ
ル表示９ｂを表示した場合について説明したが、これに
限定されることはなく、針表示部９ａが最も大きくふれ
たときをフォーカスが合っている正常な状態としても良
い。
【００３５】次に、フォーカス検査方法を説明する。
【００３６】いま、検査対象物であるカラーＴＶ１のフ
ォーカス検査を行うものとする。この場合、図１に示す
パターンジェネレータ２によってカラーＴＶ１にフォー
カス測定用クロスハッチパターン信号を供給することに
よって、該カラーＴＶ１のビデオチャンネルにて図２に
示すようにフォーカス測定用パターン画像２ａを画面上
に表示させる。
ォーカス検査を行うものとする。この場合、図１に示す
パターンジェネレータ２によってカラーＴＶ１にフォー
カス測定用クロスハッチパターン信号を供給することに
よって、該カラーＴＶ１のビデオチャンネルにて図２に
示すようにフォーカス測定用パターン画像２ａを画面上
に表示させる。
【００３７】その後、光電変換手段としてのＣＣＤカメ
ラ３は、その画面上に表示されるフォーカス測定用パタ
ーン画像２ａの、例えばパターン周期Ｔの整数倍のとな
る所定領域を撮像し、撮像信号をＡ／Ｄ変換器４に与え
てディジタルデータに変換する。つまり、ディジタル化
された輝度データを得る。
ラ３は、その画面上に表示されるフォーカス測定用パタ
ーン画像２ａの、例えばパターン周期Ｔの整数倍のとな
る所定領域を撮像し、撮像信号をＡ／Ｄ変換器４に与え
てディジタルデータに変換する。つまり、ディジタル化
された輝度データを得る。
【００３８】そして、輝度データはイメージメモリ６に
供給して一度格納され、ＣＰＵ８による読み出し制御
で、画像位置のアドレスに応じた輝度データがＦＦＴ変
換器６に供給される。
供給して一度格納され、ＣＰＵ８による読み出し制御
で、画像位置のアドレスに応じた輝度データがＦＦＴ変
換器６に供給される。
【００３９】ＦＦＴ変換器６では、イメージメモリ６か
らの輝度データＹと画像位置Ｘとの関係を、関数Ｆ
（Ｘ）＝Ｙとした場合の周波数成分を算出し、算出結果
をフォーカス値算出手段７に与える。その後、フォーカ
ス値算出手段７では、該ＦＦＴ変換部６により得られた
奇数倍の周波数成分（奇数周波数成分ともいう）のみを
抽出し、これに応じたフォーカス値を求め、得られたフ
ォーカス値を制御手段としてのＣＰＵ８に供給する。
らの輝度データＹと画像位置Ｘとの関係を、関数Ｆ
（Ｘ）＝Ｙとした場合の周波数成分を算出し、算出結果
をフォーカス値算出手段７に与える。その後、フォーカ
ス値算出手段７では、該ＦＦＴ変換部６により得られた
奇数倍の周波数成分（奇数周波数成分ともいう）のみを
抽出し、これに応じたフォーカス値を求め、得られたフ
ォーカス値を制御手段としてのＣＰＵ８に供給する。
【００４０】そして、ＣＰＵ８は、供給されたフォーカ
ス値を基に表示手段としてのモニタ９に例えばメータ表
示するための表示データを作成し、該モニター９に供給
することでフォーカス値に基づく表示、即ち図７に示す
メータ表示を表示させる。
ス値を基に表示手段としてのモニタ９に例えばメータ表
示するための表示データを作成し、該モニター９に供給
することでフォーカス値に基づく表示、即ち図７に示す
メータ表示を表示させる。
【００４１】すると、作業者は該メータ表示（図７参
照）を見ながら、カラーＴＶ１のフォーカスボリューム
等の調整ボタンを調整し、針表示部９ｂがチェックレベ
ル表示部９ｃを指すまで、あるいは針表示部９ａが最も
大きくふれるまで行うことで、カラーＴＶ１のフォーカ
スを一致させる。
照）を見ながら、カラーＴＶ１のフォーカスボリューム
等の調整ボタンを調整し、針表示部９ｂがチェックレベ
ル表示部９ｃを指すまで、あるいは針表示部９ａが最も
大きくふれるまで行うことで、カラーＴＶ１のフォーカ
スを一致させる。
【００４２】こうして、カラーＴＶ１のフォーカス調整
を完了する。
を完了する。
【００４３】その後は、パターンジェネレータ２と検査
を完了したカラーＴＶ１との接続を外し、新たに検査を
行うカラーＴＶに対して接続を行い、上述した手順で同
様のフォーカス検査を行う。尚、フォーカス測定装置の
ＣＣＤカメラ３は常に固定し状態なのでカラーＴＶのみ
を所定位置に配置すれば良く、容易にできる。
を完了したカラーＴＶ１との接続を外し、新たに検査を
行うカラーＴＶに対して接続を行い、上述した手順で同
様のフォーカス検査を行う。尚、フォーカス測定装置の
ＣＣＤカメラ３は常に固定し状態なのでカラーＴＶのみ
を所定位置に配置すれば良く、容易にできる。
【００４４】したがって、本実施の形態によれば、フォ
ーカスが合っている場合に奇数周波数成分が大きく成る
特性を利用し、且つこの奇数週数成分に基づくフォーカ
ス値を算出し、メータ表示することにより、容易にフォ
ーカスが合っているか否かを作業者に認識させることが
できるとともに、このメータ表示見ながらフォーカス調
整を容易に行うことが可能となる。このため、作業者の
調整技能に頼らず、容易で且つ確実にフォーカス調整す
ることができるため、フォーカス検査精度の向上を図る
ことができ、また同じパターンでの検査が可能であるた
め、フォーカス検査の効率も向上させることができる。
ーカスが合っている場合に奇数周波数成分が大きく成る
特性を利用し、且つこの奇数週数成分に基づくフォーカ
ス値を算出し、メータ表示することにより、容易にフォ
ーカスが合っているか否かを作業者に認識させることが
できるとともに、このメータ表示見ながらフォーカス調
整を容易に行うことが可能となる。このため、作業者の
調整技能に頼らず、容易で且つ確実にフォーカス調整す
ることができるため、フォーカス検査精度の向上を図る
ことができ、また同じパターンでの検査が可能であるた
め、フォーカス検査の効率も向上させることができる。
【００４５】尚、本実施の形態においては、フォーカス
値算出手段によるフォーカス値算出処理にて算出する奇
数倍の周波数成分は、画像の水平方向または垂直方向、
あるいは水平方向と垂直方向との双方向のものを所定の
比率で抽出したものであっても良い。また、フォーカス
が合ったときのジャストフォーカス点は、水平、垂直方
向で異なる場合があるため、それぞれの算出値の合計値
を最終的なフォーカス値としてＣＰＵ８に供給しても良
い。
値算出手段によるフォーカス値算出処理にて算出する奇
数倍の周波数成分は、画像の水平方向または垂直方向、
あるいは水平方向と垂直方向との双方向のものを所定の
比率で抽出したものであっても良い。また、フォーカス
が合ったときのジャストフォーカス点は、水平、垂直方
向で異なる場合があるため、それぞれの算出値の合計値
を最終的なフォーカス値としてＣＰＵ８に供給しても良
い。
【００４６】また、本実施の形態においては、さらに検
査精度の向上を図るために、メータ表示した際に、針表
示部９ｂがフォーカス合致状態となるチャックレベル表
示部９ｃを指したときに、この合致したことを作業者に
音声で知らしめる音声手段を設けることにより、作業者
に認識させるように構成しても良い、これにより、作業
者は検査するカラーＴＶ側で調整することも可能であ
り、フォーカス調整の簡略化に寄与するとともに、誤操
作も防止可能である。
査精度の向上を図るために、メータ表示した際に、針表
示部９ｂがフォーカス合致状態となるチャックレベル表
示部９ｃを指したときに、この合致したことを作業者に
音声で知らしめる音声手段を設けることにより、作業者
に認識させるように構成しても良い、これにより、作業
者は検査するカラーＴＶ側で調整することも可能であ
り、フォーカス調整の簡略化に寄与するとともに、誤操
作も防止可能である。
【００４７】また、本実施の形態においては、パターン
ジェネレータ２については、例えばフォーカス測定装置
をモニタと接続されるパソコンとして構成した場合に、
該パソコンの外付け機器として設けて構成するようにし
ても良く、あるいはパソコン内に搭載するように設けて
も良い。
ジェネレータ２については、例えばフォーカス測定装置
をモニタと接続されるパソコンとして構成した場合に、
該パソコンの外付け機器として設けて構成するようにし
ても良く、あるいはパソコン内に搭載するように設けて
も良い。
【００４８】さらに、本実施の形態においては、フォー
カス調整を作業者自身で行わず、自動的に自動調整でき
るように構成しても良い。例えば、カラーＴＶのフォー
カスボリューム等の調整ボタンを機械的に操作せずに電
気的に調整可能な調整手段を設け、ＣＰＵは前記フォー
カス算出手段７による算出結果が最大となるように該調
整手段を制御するように構成すれば可能である。これに
より、今後、ディジタル処理化が進むあらゆる表示機器
に対しても対応させることが可能となり、またフォーカ
ス検査の簡略化及び効率向上に寄与する。
カス調整を作業者自身で行わず、自動的に自動調整でき
るように構成しても良い。例えば、カラーＴＶのフォー
カスボリューム等の調整ボタンを機械的に操作せずに電
気的に調整可能な調整手段を設け、ＣＰＵは前記フォー
カス算出手段７による算出結果が最大となるように該調
整手段を制御するように構成すれば可能である。これに
より、今後、ディジタル処理化が進むあらゆる表示機器
に対しても対応させることが可能となり、またフォーカ
ス検査の簡略化及び効率向上に寄与する。
【００４９】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
フォーカス検査するカラーＴＶに共通のパターン信号を
表示させ、これを撮像した画像データに基づきフォーカ
ス値を算出し測定しているので、この測定結果に基づく
表示に応じてカラーＴＶのフォーカス調整が可能とな
る。これにより、ずれが生じることもなく容易で且つ確
実にフォーカス調整を行うことができるため、常に一定
した検査精度を得ることが可能となり、フォーカス測定
特性の定量化を図ることが可能となる。
フォーカス検査するカラーＴＶに共通のパターン信号を
表示させ、これを撮像した画像データに基づきフォーカ
ス値を算出し測定しているので、この測定結果に基づく
表示に応じてカラーＴＶのフォーカス調整が可能とな
る。これにより、ずれが生じることもなく容易で且つ確
実にフォーカス調整を行うことができるため、常に一定
した検査精度を得ることが可能となり、フォーカス測定
特性の定量化を図ることが可能となる。
【図１】本発明のフォーカス測定装置の一実施形態例を
示し、システム全体の概略構成を示すブロック図。
示し、システム全体の概略構成を示すブロック図。
【図２】図１で用いられるフォーカス測定用パターン信
号の表示画像を示す説明図。
号の表示画像を示す説明図。
【図３】図２のパターン画像を撮像した場合の光電変換
手段により得られた画像位置毎の輝度レベルを示す特性
図。
手段により得られた画像位置毎の輝度レベルを示す特性
図。
【図４】図３の輝度データをＦＦＴ変換器により周波数
変換した場合の周波数成分のベクトル特性図。
変換した場合の周波数成分のベクトル特性図。
【図５】フォーカスがずれている場合の輝度レベル及び
周波数成分を示す特性図。
周波数成分を示す特性図。
【図６】フォーカスが合致している場合の輝度レベル及
び周波数成分を示す特性図。
び周波数成分を示す特性図。
【図７】フォーカス算出処理結果を基にメータ表示した
場合の表示例を示す表示図。
場合の表示例を示す表示図。
１…カラーＴＶ、２…パターンジェネレータ、２ａ…測
定用パターン、３…光電変換手段、３ａ…ＣＣＤ（撮像
素子）、４…Ａ／Ｄ変換器、５…イメージメモリ、６…
ＦＦＴ変換器、７…フォーカス値算出手段、８…ＣＰ
Ｕ、９…表示手段。
定用パターン、３…光電変換手段、３ａ…ＣＣＤ（撮像
素子）、４…Ａ／Ｄ変換器、５…イメージメモリ、６…
ＦＦＴ変換器、７…フォーカス値算出手段、８…ＣＰ
Ｕ、９…表示手段。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０４Ｎ 7/30 Ｈ０４Ｎ 5/92 Ｈ ５Ｃ０６１ 9/31 7/133 Ｚ Ｆターム(参考） 5C022 AA01 AB21 AB29 AB68 AC01 AC42 AC69 5C052 GA03 GB01 GE04 5C053 FA27 KA03 KA24 KA25 LA01 LA06 5C059 KK47 LA01 MA21 UA02 UA05 5C060 CB00 HB24 HB26 HB27 5C061 BB01 BB15 CC05 EE13
Claims (11)
- 【請求項１】 表示画面を有する表示手段とこの表示手
段のフォーカスを調整するフォーカス調整手段を備えた
検査対象物に、ある規則に基づく形状のフォーカス測定
用パターンを前記表示画面に表示すべくパターン信号を
供給するパターン信号発生手段と、 前記表示手段の画面上に表示された前記フォーカス測定
用パターン信号に基づく画像の所定の範囲を撮像して、
撮像信号を出力する光電変換手段と、 前記光電変換手段からの撮像信号をディジタル化し輝度
データとして前記画面の表示位置に対応したアドレスで
記憶する記憶手段と、 前記記憶手段から読み出した輝度データの周波数成分
を、その輝度データの前記アドレス情報に基づいて算出
し、算出結果を出力する周波数成分算出手段と、 前記周波数成分算出手段の算出結果からフォーカス値を
算出し、算出結果を出力するフォーカス値算出手段と、 前記記憶手段の前記輝度データの書き込み及び読み出し
の制御を行うとともに、前記フォーカス値算出手段から
の算出結果を表示手段の画面上に表示させるための表示
制御を行う制御手段と、 を具備して構成されたフォーカス測定装置。 - 【請求項２】 表示画面を有する表示手段とこの表示手
段のフォーカスを調整するフォーカス調整手段を備えた
検査対象物に、前記表示画面に格子状のフォーカス測定
用パターンを表示すべくフォーカス測定用信号を供給す
るパターン信号発生手段と、 前記表示手段の画面上に表示された前記フォーカス測定
用パターンの所定の範囲を撮像して、撮像信号を出力す
る光電変換手段と、 前記光電変換手段から出力される撮像信号から前記格子
状パターンに対応する輝度信号の信号波形を抽出する波
形抽出手段と、 前記波形抽出手段で抽出された波形の周波数成分を検出
し、その周波数成分のうち前記格子状パターンの繰返し
周波数の奇数倍の周波数成分を抽出してフォーカス値と
して導出するフォーカス値検出手段と、 前記フォーカス値検出手段からのフォーカス値を前記表
示手段の画面上に表示させるため制御手段と、 を具備して構成されたフォーカス測定装置。 - 【請求項３】 表示画面を有する表示手段とこの表示手
段のフォーカスを調整するフォーカス調整手段を備えた
検査対象物に、ある規則に基づく形状のフォーカス測定
用パターンを前記表示画面に表示すべくパターン信号を
供給するパターン信号発生手段と、 前記表示手段の画面上に表示された前記フォーカス測定
用パターン信号に基づく画像の所定の範囲を撮像して、
撮像信号を出力する光電変換手段と、 前記光電変換手段からの撮像信号をディジタル化し輝度
データとして前記画面の表示位置に対応したアドレスで
記憶する記憶手段と、 前記記憶手段から読み出した輝度データの周波数成分
を、その輝度データの前記アドレス情報に基づいて算出
し、算出結果を出力する周波数成分算出手段と、 前記周波数成分算出手段の算出結果からフォーカス値を
算出し、算出結果を出力するフォーカス値算出手段と、 前記記憶手段の前記輝度データの書き込み及び読み出し
の制御を行うとともに、前記フォーカス値算出手段から
の算出結果に基づき前記検査対象物のフォーカス調整手
段を制御してフォーカスの調整を行う制御手段と、 を具備して構成されたフォーカス測定装置。 - 【請求項４】 表示画面を有する表示手段とこの表示手
段のフォーカスを調整するフォーカス調整手段を備えた
検査対象物に、前記表示画面に格子状のフォーカス測定
用パターンを表示すべくフォーカス測定用信号を供給す
るパターン信号発生手段と、 前記表示手段の画面上に表示された前記フォーカス測定
用パターンの所定の範囲を撮像して、撮像信号を出力す
る光電変換手段と、 前記光電変換手段から出力される撮像信号から前記格子
状パターンに対応する輝度信号の信号波形を抽出する波
形抽出手段と、 前記波形抽出手段で抽出された波形の周波数成分を検出
し、その周波数成分のうち前記格子状パターンの繰返し
周波数の奇数倍の周波数成分を抽出してフォーカス値と
して導出するフォーカス値検出手段と、 前記フォーカス値掲出手段からのフォーカス値に基づき
前記検査対象物のフォーカス調整手段を制御してフォー
カスの調整を行う制御手段と、 を具備して構成されたフォーカス測定装置。 - 【請求項５】 前記画面表示される測定用パターンは、
相対色の２色が縦横方向に一定の所定周期で配置された
格子状であり、前記フォーカス値算出手段は、前記周波
数成分算出手段の算出出力から前記格子状パターンの繰
返し周波数の奇数倍の周波数成分を算出するものである
請求項１または３のいずれかに記載のフォーカス測定用
装置。 - 【請求項６】 前記フォーカス値算出手段は、前記周波
数成分算出手段の算出出力から高周波数成分を抽出して
フォーカス値を算出するものであることを特徴とする請
求項１，３または５のいずれかに記載のフォーカス測定
装置。 - 【請求項７】 前記フォーカス値算出手段は、前記周波
数成分算出手段の算出出力から抽出された奇数倍周波数
成分を加算してフォーカス値とするものであることを特
徴とする請求項５に記載のフォーカス測定装置。 - 【請求項８】 前記フォーカス値算出手段は、前記周波
数成分算出手段の算出出力から前記格子状パターンの水
平方向及び垂直方向のそれぞれの繰返し周波数の奇数倍
の周波数成分を算出して、それらを加算してフォーカス
値とするものであることを特徴とする請求項５に記載の
フォーカス測定装置。 - 【請求項９】 前記フォーカス値検出手段は、前記波形
抽出手段から抽出された奇数倍周波数成分を加算してフ
ォーカス値とするものであることを特徴とする請求項
２，４のいずれかに記載のフォーカス測定装置。 - 【請求項１０】 前記フォーカス値検出手段は、前記波
形抽出手段の出力から前記格子状パターンの水平方向及
び垂直方向のそれぞれの繰返し周波数の奇数倍の周波数
成分を算出して、それらを加算してフォーカス値とする
ものであることを特徴とする請求項２，４のいずれかに
記載のフォーカス測定装置。 - 【請求項１１】 前記制御手段は、前記フォーカス値が
最大となるように前記フォーカス調整手段を調整するも
のであることを特徴とする請求項３乃至１０のいずれか
に記載のフォーカス測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17016698A JP2000004459A (ja) | 1998-06-17 | 1998-06-17 | フォーカス測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17016698A JP2000004459A (ja) | 1998-06-17 | 1998-06-17 | フォーカス測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000004459A true JP2000004459A (ja) | 2000-01-07 |
Family
ID=15899917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17016698A Pending JP2000004459A (ja) | 1998-06-17 | 1998-06-17 | フォーカス測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000004459A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010181234A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Hitachi High-Technologies Corp | 自動分析装置 |
| EP2602090B1 (en) * | 2008-12-31 | 2018-05-30 | Rolls-Royce Corporation | System and method for imaging apparatus calibration |
-
1998
- 1998-06-17 JP JP17016698A patent/JP2000004459A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2602090B1 (en) * | 2008-12-31 | 2018-05-30 | Rolls-Royce Corporation | System and method for imaging apparatus calibration |
| JP2010181234A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Hitachi High-Technologies Corp | 自動分析装置 |
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