JP2000002885A - アクティブマトリクス型液晶表示装置 - Google Patents

アクティブマトリクス型液晶表示装置

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JP2000002885A
JP2000002885A JP16566998A JP16566998A JP2000002885A JP 2000002885 A JP2000002885 A JP 2000002885A JP 16566998 A JP16566998 A JP 16566998A JP 16566998 A JP16566998 A JP 16566998A JP 2000002885 A JP2000002885 A JP 2000002885A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構成で、歩留まりが向上し、大幅のコ
ストアップなしに表示品位を向上させ得るアクティブマ
トリクス型液晶表示装置を提供する。 【解決手段】 画素基板には、マトリクス状に画素電極
4が配設されると共に、各画素電極4毎にTFT1が設
けられている。各TFT1の行方向に並ぶ素子列毎にそ
れぞれ走査線2と基準電位線3とが配設されている。対
向基板には、画素電極4の各々に対向する対向電極を兼
ねたデータ線31が、走査線2と直交するように配設さ
れている。そして、基準電位線3の一部が枝状に画素電
極4の下部にまで延設されてなる修正用導電部6が形成
されている。TFT1の不良時、レーザ光を修正用導電
部6の画素電極4と交差する部位に照射することで、介
在するゲート絶縁膜を破壊し、画素電極4と基準電位線
3とを短絡させ、画素欠陥を修正する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に関
するものであり、より詳しくは、フラットパネルディス
プレイの分野に用いて好適な、画素毎にスイッチング素
子が設けられたアクティブマトリクス型液晶表示装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】一対の電極付基板の間にネマティック液
晶等の液晶材料を挟装してなる液晶表示装置は、従来よ
り、時計や電卓等、セグメント型の液晶表示装置に広く
用いられ、近年では、薄型、軽量、低消費電力等の特徴
を活用し、ワードプロセッサ、コンピュータ、ナビゲー
ションシステム等をはじめとするOA(オフィスオート
メーション)機器やAV(オーディオビジュアル)機器
等のディスプレイとして市場を拡大しつつある。
【0003】なかでも特に、薄膜トランジスタ(TF
T:Thin Film Transistor)等の能動素子をスイッチン
グ素子として用い、液晶層に電圧を印加するための画素
電極をマトリクス状に配したアクティブマトリクス型液
晶表示装置が多用されている。
【0004】アクティブマトリクス型液晶表示装置は、
CRT(ブラウン管表示装置)と比較して、厚み(奥行
き)を格段に薄くすることができると共に、消費電力が
小さく、また、フルカラー化が容易であること等から、
パーソナルコンピュータ、各種モニタ、携帯テレビ、カ
メラ等の表示機器として、より広い分野での需要が高ま
っている。
【0005】図17に、従来のアクティブマトリクス型
液晶表示装置における一構成例の等価回路図を示す。該
液晶表示装置では、アクティブマトリクス基板となる透
明基板上に、画素電極51がマトリクス状に形成されて
いる。また、該透明基板上には、各画素電極51毎にス
イッチング素子であるTFT52が設けられている。
【0006】各TFT52において、そのドレイン電極
に画素電極51が接続され、ゲート電極は、表示画面に
おける水平方向(行方向)に並ぶTFT52間で同じ走
査線53に接続され、垂直方向(列方向)に並ぶTFT
52間で同じデータ線54に接続されている。つまり、
各行毎に設けられた走査線53と、各列毎に設けられた
データ線54とは、画素電極51の周囲において互いに
直交するように配置されている。
【0007】該構成においては、走査線53を介してゲ
ート信号が入力されることにより、走査線53に接続さ
れた各TFT52のON/OFFが制御され、TFT5
2のON時、データ線54を介してデータ信号(表示信
号)が画素電極51へと入力される。
【0008】また、各TFT52のドレイン電極には、
画素電極51と共に蓄積容量55を構成する一方側の電
極が個々に接続されている。各蓄積容量55の絶縁層を
介して対向する側の電極は、基準電位(接地)線56に
接続されており、蓄積容量55は液晶層に印加される電
圧を保持する役割を有している。
【0009】このようなアクティブマトリクス型液晶表
示装置では、アクティブマトリクス基板と対向基板との
間に、通常4.3〜4.5μmの厚みで液晶層が挟持さ
れて液晶容量を形成していることになる。上記の蓄積容
量55は、液晶容量と並列接続されている。
【0010】なお、カラー表示を行う場合は、アクティ
ブマトリクス基板或いは対向基板に、各画素電極51に
合わせて、赤、青、緑の各色のカラーフィルタ層が設け
られる。
【0011】ところが、図17に示す構造のアクティブ
マトリクス型液晶表示装置では、同一基板上に走査線5
3とデータ線54とが交差して配設されているため、そ
の交差部において断線不良が生じ易く、その結果、歩留
まりが低下し、コスト高となるといった問題点がある。
【0012】そこで、このような問題を解決するものと
して、データ線を対向基板側に配設した構造(以下、対
向マトリクス構造と称する)が従来より提案されてい
る。図18に、対向マトリクス構造のアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の一構成例を示す。
【0013】該液晶表示装置では、画素基板となる一方
の透明基板70上に、画素電極74がマトリクス状に設
けられると共に、各画素電極74毎にTFT71が形成
されている。各TFT71のドレイン電極(或いはソー
ス電極)は画素電極74に接続され、ゲート電極は表示
画面の水平方向(行方向)に並ぶTFT71間で同じ走
査線72に接続されている。ここまでは、図17の液晶
表示装置と同様である。
【0014】これに対し、各TFT71におけるソース
電極(或いはドレイン電極)は、図17の液晶表示装置
のように、データ信号が供給されるデータ線に接続され
ているのではなく、表示画面の水平方向(行方向)に並
ぶTFT71間で同じ基準電位(接地)線73に接続さ
れている。そして、該透明基板70と液晶層を介して対
向配置される対向基板側の透明基板75に、データ線7
6が透明基板70側の走査線72と直交するように配設
されている。なお、この構造では、各データ線76が、
各画素電極74と対向する部分で対向電極を兼ねてい
る。
【0015】上記のような対向マトリクス構造のアクテ
ィブマトリクス型液晶表示装置では、走査線72とデー
タ線76との交差部が同一基板上に存在しないため、上
述したような断線不良による歩留まりや信頼性の低下の
問題を解消できる。
【0016】また、特開平4−21975号公報におい
ては、上記した対向マトリクス構造のアクティブマトリ
クス型液晶表示装置において、基準電位線とこれに隣り
合う画素電極との間に容量を設け、該容量にて静止画像
の焼き付けを生じさせるDCレベルシフトを防止する構
造が開示されている。
【0017】さらに、特開昭63−68818号公報に
おいては、対向マトリクス構造において、スイッチング
素子であるTFTの不良で発生する表示不良を修正し、
表示品位を改善する方法として、冗長用のTFTを配置
することが開示されている。
【0018】これによれば、TFT不良が発生した場
合、不良を生じたTFTを切り離し、冗長用のTFTを
用いて画素を駆動することで、TFT不良に起因する歩
留まり低下を防止し、表示品位を向上させることができ
る。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記したよ
うな対向マトリクス構造においては、未だスイッチング
素子の不良を起因とする歩留り低下を、簡単な構成で防
止し得る有効な手法は提案されていない。
【0020】即ち、上記の特開昭63−68818号公
報で提案されている冗長用のTFTを配置した構造で
は、基板上に作り込むTFTの個数が増加するため、必
然的に構造が複雑化する。その結果、パターンの欠落に
よる断線欠陥や、絶縁不十分による短絡欠陥などが増加
する。また、修正時には不良となったTFTを検出し、
切り離すという複雑な工程が必要となる。
【0021】一方、特開平4 −21975号公報では、
対向マトリクス構造において、DCレベルシフトを防止
する容量を基準電位線と画素電極との間に配置する構造
を開示しているが、TFT不良時に発生する表示不良を
この構成を用いて修正することなど一切開示も示唆もさ
れていない。
【0022】さらに、DCレベルシフトを防止するだけ
の容量を基準電位線と画素電極との間に配置すると、基
準電位線に負荷する容量が大幅に増加するため基準電位
の供給に遅延が生じ、結果、シャドーイングによる表示
品位低下、さらには点灯不良が発生する虞れがある。つ
まり、基準電位線に負荷する容量は極力小さくする必要
があり、特に大型の液晶表示装置ではこの容量の微少化
は重要な課題となる。
【0023】具体的に説明すると、DCレベルシフトを
防止するだけの容量は、通常の液晶表示装置において、
液晶容量の50%程度の大きさが必要になる。液晶の容
量は200〜400×10-15 (Farad)程度なの
で、DCレベルシフト防止用の容量は100〜200×
10-15 (Farad)ということになる。つまり、D
Cレベルシフト防止用の容量を配置すると、基準電位線
に負荷する容量が大幅に増大する。信号の遅延(電位供
給の遅延)は、該信号を伝える線の抵抗とその線に負荷
する容量との積に比例して悪化するので、負荷する容量
が大きくなると遅延が増大し、所望の重圧がかからなく
なり、シャドーイングの原因となる。
【0024】今の場合、基準電位の遅延が生じるので、
横シャドーの原因となる。また、画素電極と基準電位線
との間の容量が増加することで、垂直方向(列方向)の
電圧変動の影響を受けやすくなり、垂直方向のクロスト
ークが増大し、縦シャドーが発生する。
【0025】このように、基準電位線と画素電極との間
に大きな容量を設けることは、表示品位を低下させる大
きな要因となる。
【0026】本発明は、上記の課題に鑑み成されたもの
であって、簡単な構成でありながら、歩留まりが向上
し、大幅のコストアップなしに表示品位を向上させ得る
アクティブマトリクス型液晶表示装置の提供を目的とし
ている。
【0027】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1記載の
アクティブマトリクス型液晶表示装置は、上記の課題を
解決するために、マトリクス状に配設された画素電極、
各画素電極毎に配設され、第1端子が画素電極に接続さ
れた3端子のスイッチング素子、及び各スイッチング素
子の行方向に並ぶ素子列毎にそれぞれ配設され、各スイ
ッチング素子の第2端子が接続された走査線及び第3端
子が接続された基準電位線を有する画素基板と、該画素
基板に対向配置され、上記画素電極の各々に対向する対
向電極及び該対向電極の列方向に並ぶもの同士を接続す
るデータ線を有する対向基板と、上記画素基板と対向基
板とに挟持される液晶層とを備えたアクティブマトリク
ス型液晶表示装置において、上記画素電極と基準電位線
とを絶縁層が破壊されることで接続する修正用導電部が
設けられていることを特徴としている。
【0028】これによれば、前述の対向マトリクス構造
であるので、断線不良等が起こり難い。つまり、基準電
位線と走査線とは互いに平行をなし、同一基板上で交差
するものではなく、また、データ信号は、走査線や基準
電位線が形成された画素基板とは別の対向基板に形成さ
れるので、断線不良が格段に減り、製造コストも低減さ
れ、信頼性も向上する。
【0029】そしてさらに、修正用導電部が設けられて
いるので、スイッチング素子の不良により、画素電極に
電位を供給できなくなった場合は、この修正用導電部に
レーザ光等を照射して画素電極と基準電位線とを直接接
続することで、画素電極に基準電位を供給できる。
【0030】現在、アクティブマトリクス型液晶表示装
置用の液晶モードにおいては、TN(ツイストネマティ
ック)モードのNW(ノーマリーホワイト)方式が、広
い視角と高いコントラストを有することや、セルギャッ
プむらが目立たない、視角による色相変化が少ないとい
ったメリットから主流になっている。
【0031】NW方式の場合、スイッチング素子の不良
により画素電極に電位を供給できなくなった場合は、そ
の画素は常時輝点表示となる。NW方式の表示画面中、
輝点は黒点より目立つことは知られており、画素欠陥が
強調されることとなるが、上記のように、修正用導電部
を用いて画素電極に基準電位を供給することで、常時輝
点を黒点に修正できるため、画素欠陥を目立ち難くし、
表示品位の改善、良品率の向上が図れることとなる。
【0032】本発明の請求項2記載のアクティブマトリ
クス型液晶表示装置は、請求項1記載の構成において、
絶縁層と修正用導電部とを介して画素電極と基準電位線
との間に生じる容量が、30×10-15 (Farad)
以下に設定されていることを特徴としている。
【0033】本願発明者らが、絶縁層と修正用導電部と
を介して画素電極と基準電位線との間に生じる容量と、
クロストーク及びシャドーイングとの関係について鋭意
検討を行ったところ、解析結果から、該容量を上記の値
以下とすることで、表示品位を良好に保てることを見い
出した。
【0034】該容量を上記のように設定することで、基
準電位線に接続される負荷容量が基準信号の減衰にほと
んど影響することがなくなるため、修正用導電部を設け
たことによって生じるシャドーイングを無くすことがで
きる。
【0035】本発明の請求項3記載のアクティブマトリ
クス型液晶表示装置は、請求項1記載の構成において、
修正用導電部が、修正時に接続される相手側と交差する
ように画素電極及び/又は基準電位線の一部を延設して
形成されていることを特徴としている。
【0036】これによれば、修正用導電部が、修正時に
接続される相手側と交差するように画素電極及び/又は
基準電位線の一部を延設することで形成されているの
で、画素基板側を複雑な構造にすることなく、請求項1
の構成による作用を奏することが可能となる。
【0037】本発明の請求項4記載のアクティブマトリ
クス型液晶表示装置は、請求項1記載の構成において、
修正用導電部が複数の分割導電部からなり、少なくとも
一つの分割導電部が、画素電極及び基準電位線の何れに
も接続されることなく配設されていることを特徴として
いる。
【0038】これによれば、修正用導電部が複数の分割
導電部からなり、少なくとも一つの分割導電部が、画素
電極及び基準電位線の何れにも電気的に接続されること
なく配設されているので、上記絶縁層と修正用導電部と
を介して上記の画素電極と基準電位線との間に生じる容
量を、複数個、直列に配置したことになる。したがっ
て、上記の画素電極と基準電位線との間に生じるトータ
ルの負荷容量を減らすことができ、シャドーイングを低
減する効果がより高まり、表示品位を一層向上させるこ
とができる。
【0039】
【発明の実施の形態】本発明を図1ないし図16に基づ
いて説明すれば、以下のとおりである。ここでは、本発
明の係る実施形態を6通り例示する。
【0040】図1は、実施形態1のアクティブマトリク
ス型液晶表示装置における概略構成を模式的に示す一部
断面分解斜視図である。図2は該液晶表示装置の画素基
板における修正用導電部が形成された要部の平面図であ
る。
【0041】図1、図2に示すように、該液晶表示装置
では、画素基板となる一方の透明基板7上に、画素電極
4がマトリクス状に設けられている。そして、各画素電
極4毎にアモルファスシリコン半導体などを用いた3端
子のスイッチング素子1が配設されている。ここで、ス
イッチング素子1はTFTとする。TFT1も画素電極
4に対応してマトリクス状に配置されている。
【0042】各TFT1において、ゲート電極(第2端
子)は表示画面の水平方向(行方向)に並ぶTFT1間
で同じ走査線2に接続されている。また、そのドレイン
電極(第1端子)に画素電極4(図2においては4a)
が接続され、ソース電極(第3端子)に、表示画面の水
平方向(行方向)に並ぶTFT1間で同じ基準電位(接
地)線3に接続されている。なお、画素電極4と接続さ
れる第1端子がソース電極であり、基準電位線3と接続
される第3端子がドレイン電極である構成も可能であ
る。
【0043】そして、詳細には後述するが、基準電位線
3の一部は、これに隣接する画素電極4(図2において
は4b)と交差するように、画素電極4の下部にまで枝
状に延設されており、その延設された部分が修正用導電
部6となる。
【0044】一方、該透明基板7と液晶層(図示せず)
を介して対向配置される対向基板側の透明基板30に
は、データ信号が供給されるデータ線31が画素基板側
の走査線2と直交するようには配設されている。該構造
では、各データ線31が、各画素電極4と対向する部分
で対向電極を兼ねている。
【0045】次に、図8、図9を用いて、上記画素基板
の構成を詳細に説明する。
【0046】図8は、図2におけるAA−AA’線矢視
断面図である。該図に示すように、TFT1は、透明基
板7上に、ゲート電極2a(走査線2の一部)が形成さ
れ、その上にゲート絶縁膜8、半導体層9、コンタクト
層10が順に積層され、このコンタクト層10上に、ソ
ース電極5aとドレイン電極5bとが形成されている。
ここでドレイン電極5bは、画素電極4(4a,4b)
と同工程で作成される膜からなる。
【0047】また、前述の基準電位線3は、ゲート電極
2aや走査線2と同工程で作成される膜からなり、ゲー
ト絶縁膜8に形成されたコンタクトホール11を介して
ソース電極5aと接続されている。
【0048】さらに、画素基板上には、透明な絶縁性の
保護膜12が形成されている。該保護膜12は、走査線
2及び基準電位線3上を各画素電極4(4a,4b)の
周端部の一部まで含めて覆うように形成されている。
尚、図2においては、簡略化のために保護膜12は記載
していない。
【0049】一方、図9は、図2におけるA−A’線矢
視断面図である。該図に示すように、基準電位線3の一
部が枝状に、ゲート絶縁膜(絶縁層)8を介してその上
層に形成された画素電極4bと交差するように、その下
部にまで延設して形成されている。前述したように、こ
の延設部分が修正用導電部6となる。
【0050】画素電極4bを駆動するTFT1に不良が
発生した場合、この修正用導電部6と画素電極4bとの
交差部(○印付記)にレーザ光を照射する。これによ
り、画素電極4bと修正用導電部6との間に介在するゲ
ート絶縁膜8にコンタクトホールが形成され、レーザ光
の熱により修正用導電部6を構成するメタルが溶融して
該コンタクトホールに流入し、画素電極4bと基準電位
線3とが短絡する。
【0051】その結果、NW方式で駆動される液晶表示
装置において、TFT1の不良による欠陥画素は、輝点
(白点)から黒点へと修正され、目立たなくなる。
【0052】NW方式の場合、TFTに不良が発生する
と、該不良TFTに接続されている画素電極に信号が供
給されないため、その画素は常時白表示の輝点となる。
輝点は黒点よりも認識され易いことが知られており、表
示品位を低下させる。そこで、上記のように修正して輝
点を黒点とすることで画素欠陥を目立ち難くし、表示品
位を改善し、良品率を向上できる。
【0053】このような構成の画素基板の作製は、ま
ず、透明基板7上に、例えばTaをスパッタリングなど
により3000Å程度の厚さに積層し、これをパターニ
ングすることによって走査線2及び基準電位線3を形成
する。次に、ゲート絶縁膜8となるSiNxをプラズマ
CVDにより2000〜4000Å程度の厚さに積層
し、引き続きプラズマCVDで、半導体層9となるa−
Si層を1500Å程度、コンタクト層10となるn+
a−Si層を400Å程度の厚さに積層する。
【0054】次いで、a−Si層に対してチャネル部を
パターニングした後、ゲート絶縁膜8にコンタクトホー
ル11をエッチングによって形成し、その後、ITO(I
ndium Tin Oxide)などの透明導電膜をスパッタリングな
どにより1000〜1500Å程度の厚さに積層し、パ
ターニングを行うことによって、画素電極4(4a,4
b)、及びドレイン電極5bとソース電極5aとを形成
する。その際、基準電位線3とTFT1とが上記のコン
タクトホール11で結線する。その後、さらに、プラズ
マCVDでSiNxを2000Å程度の厚さに積層して
パターニングし、保護膜12を形成する。
【0055】また、上記液晶表示装置において、修正用
導電部6の形成によって生じる画素電極4bと基準電位
線3との間の容量値は、30×10-15 (Farad)
以下に設定されている。これにより、修正用導電部6の
形成によって画素電極4bと基準電位線3との間に生じ
る負荷容量によって、シャドーイングによる表示不良が
発生せず、良好な表示品位を有している。
【0056】ところで、実施形態1の修正用導電部6
は、図2に示すように、基準電位線3を枝状に画素電極
4bの下部にまで延設して形成したが、本発明にかかる
修正用導電部は、形成方法によっていろいろな実施形態
が存在する。続いて、本発明の他の実施形態を説明す
る。但し、修正用導電部の形状や個数、配設位置等は、
これらの実施形態に何ら限定されるものではない。
【0057】図3、図4、図5、図6、図7に、本発明
の実施形態2,3,4,5,6の各アクティブマトリク
ス型液晶表示装置における画素基板における修正用導電
部が形成された要部の平面図を示す。
【0058】図3に示す実施形態2の構成は、図10の
断面図(図3におけるB−B’線矢視断面図)にも示す
ように、画素電極4bの一部が枝状に、ゲート絶縁膜8
を介してその下層に形成された基準電位線3と交差する
ようにその上部にまで延設して形成されており、この延
設部分が修正用導電部13となっている。
【0059】画素電極4bを駆動するTFT1に不良が
発生した場合は、この修正用導電部13と基準電位線3
との交差部(○印付記)にレーザ光を照射し、画素電極
4bと基準電位線3とを短絡させる。
【0060】図4に示す実施形態3の構成は、図11の
断面図(図4におけるC−C’線矢視断面図)にも示す
ように、基準電位線3の一部と画素電極4bの一部とが
互いに相手側と重なり合うように、枝状にゲート絶縁膜
8を介して延設して形成されている。画素電極4bの一
部が延設された延設部分と、基準電位線3の一部が延設
された延設部分とが、修正用導電部14・15となる。
【0061】画素電極4bを駆動するTFT1に不良が
発生した場合、これら修正用導電部14・15の交差部
(○印付記)にレーザ光を照射し、画素電極4bと基準
電位線3とを短絡させる。
【0062】図5に示す実施形態4の構成では、実施形
態3と同様に基準電位線3の一部と画素電極4bの一部
とが互いに相手側と重なり合うように、枝状に、ゲート
絶縁膜8を介して延設して形成されている構成である
が、ここでは、交差部が2カ所になるように構成されて
いる。
【0063】画素電極4bを駆動するTFT1に不良が
発生した場合、これら修正用導電部14・15・15の
交差部(○印付記)にレーザ光を照射し、画素電極4b
と基準電位線3とを短絡させる。もちろん、交差部の一
方側のみにレーザ光を照射するだけでもよい。
【0064】図6に示す実施形態5の構成では、図12
の断面図(図6におけるD−D’線矢視断面図)にも示
すように、修正用導電部が、第1及び第2の分割導電部
16・17とに分割形成されている構成である。第1の
分割導電部16は、ゲート絶縁膜8上に形成され、画素
電極4bと同工程で作成され、コンタクトホール33を
介して基準電位線3に接続されている。第2の分割導電
部17は、基準電位線3や走査線2と同工程で作成さ
れ、第1の分割導電部16及び画素電極4bとゲート絶
縁膜8を介して重なるように形成されている。
【0065】画素電極4bを駆動するTFT1に不良が
発生した場合、第1の分割導電部16及び画素電極4b
と第2の分割導電部17との各交差部(○印付記)にレ
ーザ光をそれぞれ照射し、画素電極4bと基準電位線3
とを短絡させる。
【0066】図7に示す実施形態6の構成では、図13
の断面図(図7におけるE−E’線矢視断面図)にも示
すように、修正用導電部が、第1〜第4の分割導電部1
8〜21に分割形成されている構成である。第1の分割
導電部18及び第3の分割導電部20は、ゲート絶縁膜
8上に形成され、画素電極4bと同工程で作成されてい
る。このうち、第1の分割導電部18は、コンタクトホ
ール33を介して基準電位線3に接続されている。第2
の分割導電部19及び第4の分割導電部21は、基準電
位線3や走査線2と同工程で作成され、第2の分割導電
部19は第1の分割導電部18及び第3の分割導電部2
0と、第4の分割導電部21は、第3の分割導電部20
及び画素電極4bと、それぞれゲート絶縁膜8を介して
重なるように形成されている。
【0067】画素電極4bを駆動するTFT1に不良が
発生した場合、第1の分割導電部18及び第3の分割導
電部20と第2の分割導電部19との各交差部(○印付
記)、及び、第3の分割導電部20及び画素電極4bと
第4の分割導電部21との各交差部(○印付記)の計4
カ所にレーザ光をそれぞれ照射し、画素電極4bと基準
電位線3とを短絡させる。
【0068】ここで、実施形態1〜6の各構成について
考察する。実施形態1〜4の構成においては、修正用導
電部を、修正時に接続される相手側と交差するように画
素電極4b及び/又は基準電位線3の一部を延設して形
成しているので、画素基板を複雑な構成とせず、非常に
簡単な構成で画素欠陥の修正を可能とする。また、レー
ザ光の照射も交差部1カ所ですみ、修正作業が容易であ
る。
【0069】一方、実施形態5,6の構成においては、
修正用導電部が複数の分割導電部からなり、少なくとも
一つの分割導電部(17,19,21)が、画素電極4
b及び基準電位線3の何れにも電気的に接続されること
なく配設されている。したがって、ゲート絶縁膜8と修
正用導電部とを介して画素電極4bと基準電位線3との
間に生じる負荷容量を、複数個、直列に配置したことと
なるので、修正用導電部を設けたことにより画素電極4
bと基準電位線3との間に生じるトータルの負荷容量を
減らすことができる。
【0070】図14に実施形態1〜4の負荷容量、図1
5に実施形態5の負荷容量、図16に実施形態6の負荷
容量を模式的に示す。
【0071】これらの図から分かるように、実施形態5
では、画素電極4bと基準電位線3との間の容量を実施
形態1〜4の半分に、実施形態6では1/4の値にでき
る。
【0072】したがって、実施の形態5,6の構成は、
レーザ光を照射する箇所が増えて、修正作業は実施の形
態1〜4の構成に比べてやや複雑化するが、シャドーイ
ングの原因となる上記の負荷容量を効率よく下げること
ができ、より表示品位を向上し得る構造と言える。
【0073】
【発明の効果】以上のように、本発明の請求項1記載の
アクティブマトリクス型液晶表示装置は、マトリクス状
に配設された画素電極、各画素電極毎に配設され、第1
端子が画素電極に接続された3端子のスイッチング素
子、及び各スイッチング素子の行方向に並ぶ素子列毎に
それぞれ配設され、各スイッチング素子の第2端子が接
続された走査線及び第3端子が接続された基準電位線を
有する画素基板と、該画素基板に対向配置され、上記画
素電極の各々に対向する対向電極及び該対向電極の列方
向に並ぶもの同士を接続するデータ線を有する対向基板
と、上記画素基板と対向基板とに挟持される液晶層とを
備えたアクティブマトリクス型液晶表示装置において、
上記画素電極と基準電位線とを絶縁層が破壊されること
で接続する修正用導電部が設けられている構成である。
【0074】これにより、基準電位線と走査線とが同一
基板上で交差するものではなく、また、データ信号も別
基板に形成されるので、断線不良が格段に減り、製造コ
ストも低減され、信頼性も向上する上、修正用導電部に
より、スイッチング素子の不良により画素欠陥を簡単に
目立たなく修正できる。
【0075】その結果、簡単な構成でありながら、歩留
まりが向上し、大幅のコストアップなしに表示品位を向
上させ得るアクティブマトリクス型液晶表示装置の提供
できるという効果を奏する。
【0076】本発明の請求項2記載のアクティブマトリ
クス型液晶表示装置は、請求項1記載の構成において、
絶縁層と修正用導電部とを介して画素電極と基準電位線
との間に生じる容量が、30×10-15 (Farad)
以下に設定されている構成である。
【0077】これにより、基準電位線に接続される負荷
容量が基準信号の減衰にほとんど影響することがなくな
るため、修正用導電部を設けたことによって生じるシャ
ドーイングを無くすことができる。
【0078】その結果、請求項1に記載の構成よりも、
さらに表示品位の優れたものとできるという効果を奏す
る。
【0079】本発明の請求項3記載のアクティブマトリ
クス型液晶表示装置は、請求項1記載の構成において、
修正用導電部が、修正時に接続される相手側と交差する
ように画素電極及び/又は基準電位線の一部を延設して
形成されている構成である。
【0080】これにより、画素基板側を複雑な構造にす
ることなく修正用導電部を形成でき、請求項1の構成を
より簡単な構成で実現できるという効果を奏する。
【0081】本発明の請求項4記載のアクティブマトリ
クス型液晶表示装置は、請求項1記載の構成において、
修正用導電部が複数の分割導電部からなり、少なくとも
一つの分割導電部が、画素電極及び基準電位線の何れに
も接続されることなく配設されている構成である。
【0082】これにより、修正用導電部を設けたことに
より画素電極と基準電位線との間に生じる負荷容量のト
ータル量を減らすことができ、シャドーイングを低減す
る効果がより高まり、表示品位を一層向上させることが
できる。
【0083】その結果、請求項1に記載の構成よりも、
さらに表示品位の優れたアクティブマトリクス型液晶表
示装置を、容易に実現できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1に係るアクティブマトリク
ス型液晶表示装置の概略構成を示す一部断面分解斜視図
である。
【図2】図1のアクティブマトリクス型液晶表示装置に
おける画素基板の要部を示す平面図である。
【図3】本発明の実施形態2に係るアクティブマトリク
ス型液晶表示装置における画素基板の要部を示す平面図
である。
【図4】本発明の実施形態3に係るアクティブマトリク
ス型液晶表示装置における画素基板の要部を示す平面図
である。
【図5】本発明の実施形態4に係るアクティブマトリク
ス型液晶表示装置における画素基板の要部を示す平面図
である。
【図6】本発明の実施形態5に係るアクティブマトリク
ス型液晶表示装置における画素基板の要部を示す平面図
である。
【図7】本発明の実施形態6に係るアクティブマトリク
ス型液晶表示装置における画素基板の要部を示す平面図
である。
【図8】図2のAA−AA’線矢視断面図である。
【図9】図2のA−A’線矢視断面図である。
【図10】図3のB−B’線矢視断面図である。
【図11】図4のC−C’線矢視断面図である。
【図12】図6のD−D’線矢視断面図である。
【図13】図7のE−E’線矢視断面図である。
【図14】図2〜図5の画素基板における、修正用導電
部とゲート絶縁膜を介して基準電位線と画素電極との間
に形成される負荷容量を模式的に示す説明図である。
【図15】図6の画素基板における、修正用導電部とゲ
ート絶縁膜を介して基準電位線と画素電極との間に形成
される負荷容量を模式的に示す説明図である。
【図16】図7の画素基板における、修正用導電部とゲ
ート絶縁膜を介して基準電位線と画素電極との間に形成
される負荷容量を模式的に示す説明図である。
【図17】従来の、対向基板に共通電極を持つ構造のア
クティブマトリクス型液晶表示装置の等価回路図であ
る。
【図18】従来の、対向基板にデータ線を有する対向マ
トリクス構造のアクティブマトリクス型液晶表示装置の
構成を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
1 TFT(スイッチング素子) 2 走査線 2a ゲート電極(第2端子) 3 基準電位線 4 画素電極 5a ソース電極(第3端子) 5b ドレイン電極(第1端子) 6 修正用導電部 8 ゲート絶縁膜(絶縁層) 13 修正用導電部 14 修正用導電部 15 修正用導電部 16 分割導電部 17 分割導電部 18 分割導電部 19 分割導電部 20 分割導電部 21 分割導電部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 恵一 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 井上 尚人 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 Fターム(参考) 2H092 JA26 JA29 JA38 JA42 JB01 JB13 JB23 JB32 JB72 JB73 JB75 MA47 NA13 NA25 NA27 NA29 PA06 QA07

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】マトリクス状に配設された画素電極、各画
    素電極毎に配設され、第1端子が画素電極に接続された
    3端子のスイッチング素子、及び各スイッチング素子の
    行方向に並ぶ素子列毎にそれぞれ配設され、各スイッチ
    ング素子の第2端子が接続された走査線及び第3端子が
    接続された基準電位線を有する画素基板と、該画素基板
    に対向配置され、上記画素電極の各々に対向する対向電
    極及び該対向電極の列方向に並ぶもの同士を接続するデ
    ータ線を有する対向基板と、上記画素基板と対向基板と
    に挟持される液晶層とを備えたアクティブマトリクス型
    液晶表示装置において、 上記画素電極と基準電位線とを絶縁層が破壊されること
    で接続する修正用導電部が設けられていることを特徴と
    するアクティブマトリクス型液晶表示装置。
  2. 【請求項2】上記絶縁層と修正用導電部とを介して上記
    の画素電極と基準電位線との間に生じる容量が、30×
    10-15 (Farad)以下に設定されていることを特
    徴とする請求項1記載のアクティブマトリクス型液晶表
    示装置。
  3. 【請求項3】上記修正用導電部が、修正時に接続される
    相手側と交差するように画素電極及び/又は基準電位線
    の一部を延設して形成されていることを特徴とする請求
    項1記載のアクティブマトリクス型液晶表示装置。
  4. 【請求項4】上記の修正用導電部が複数の分割導電部か
    らなり、少なくとも一つの分割導電部が、画素電極及び
    基準電位線の何れにも接続されることなく配設されてい
    ることを特徴とする請求項1記載のアクティブマトリク
    ス型液晶表示装置。
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WO2018188160A1 (zh) * 2017-04-10 2018-10-18 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 Tft基板及其制作方法
US10338440B2 (en) 2017-04-10 2019-07-02 Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. TFT substrate and manufacturing method thereof

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