JP2000002676A - 有機溶剤中の純水濃度管理方法及び乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 容器内に貯留されている有機溶剤中の純水濃
度を効率的に管理することができるようにする。 【解決手段】 容器内に貯留されている有機溶剤の沸点
を計測するステップと、予め求めた有機溶剤の沸点と当
該有機溶剤中の純水濃度との対応関係に基づき前記計測
した沸点から有機溶剤中の純水濃度を求めるステップ
と、求めた純水濃度と判定基準値とを比較するステップ
と、比較結果に関連する情報を報知するステップとを備
える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、有機溶剤中の純水
濃度管理方法、及び有機溶剤中の純水濃度を管理できる
ようにした乾燥装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体ウエハ、プラズマディスプ
レイ用ガラス基板、液晶表示装置用ガラス基板、プリン
ト基板等の各種基板の製造プロセスにおいて、底部に有
機溶剤を貯留する処理槽と、この処理槽内の有機溶剤を
沸騰させて処理槽内に有機溶剤蒸気を充満させる加熱手
段とを備えた乾燥装置が汎用されている。

【０００３】この乾燥装置は、純水でリンス処理された
基板を有機溶剤蒸気の充満している処理槽内に搬入し、
その基板表面に有機溶剤蒸気を凝縮させて基板表面に付
着している純水と共に液滴として処理槽内で落下させる
ようにしたものである。なお、処理槽内の有機溶剤液面
上方には、基板から液滴として落下してくる有機溶剤と
純水とを回収し、外部に排出するための回収皿が配設さ
れており、液滴として落下してくる有機溶剤と純水とが
処理槽底部に貯留されている有機溶剤中に混入するのを
抑制するようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
乾燥装置では、処理槽内に液滴として落下してくる有機
溶剤と純水とを外部に排出する回収皿が配設されてはい
るが、基板から落下した純水が回収皿ではねたり、基板
に付着した純水が蒸発し凝結して処理槽内壁面を伝って
降下したりすることにより、処理槽底部に貯留されてい
る有機溶剤に純水が混入する。また、処理槽内には基板
を搬入するとき等に大気成分の酸素が混入する。このた
め、基板表面に酸化物が生じ、いわゆるウオータマーク
が発生する。ウオータマークは汚染物質であり、基板の
処理品質を低下させる。このウオータマークは、有機溶
剤中の純水濃度がある一定値以下のときにはほとんど発
生することはないが、有機溶剤中の純水濃度が高くなる
とその発生率が高くなる。

【０００５】ところが、従来は有機溶剤中の純水濃度を
効率的に管理する方法がなかったため、有機溶剤中の実
際の純水濃度とは無関係に一定個数の基板を処理し終え
ると処理槽内の有機溶剤を交換してウオータマークの発
生を防止するようにしていることから、安全を見込んで
早めに交換することになって有機溶剤の使用量が必然的
に増加してしまうという問題があった。

【０００６】従って、本発明は、処理槽等の容器内に貯
留されている有機溶剤中の純水濃度を効率的に管理する
ことができ、それにより有機溶剤の使用量を効果的に抑
制することができる有機溶剤中の純水濃度管理方法及び
乾燥装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１に係る有機溶剤中の純水濃度管理方法は、
容器内に貯留されている有機溶剤中に混入した純水の濃
度を管理する方法であって、前記容器内に貯留されてい
る有機溶剤の沸点を計測するステップと、予め求めた有
機溶剤の沸点と当該有機溶剤中の純水濃度との対応関係
に基づき前記計測した沸点から有機溶剤中の純水濃度を
求めるステップと、求めた純水濃度と判定基準値とを比
較するステップと、比較結果に関連する情報を報知する
ステップとを備えたことを特徴としている。

【０００８】この方法によれば、容器内に貯留されてい
る有機溶剤の沸点が計測され、予め求めた有機溶剤の沸
点と当該有機溶剤中の純水濃度との対応関係に基づき有
機溶剤中の純水濃度が求められる。そして、この求めた
純水濃度と判定基準値とが比較され、比較結果に関連す
る情報が報知される。この結果、有機溶剤の的確な交換
タイミングが明確となり、有機溶剤の不必要な交換を阻
止することができる。

【０００９】また、請求項２に係る有機溶剤中の純水濃
度管理方法は、請求項１に係る方法において、前記有機
溶剤の沸点を計測するステップの前に、前記容器内に貯
留されている有機溶剤のレベルを検出するステップと、
前記有機溶剤のレベルが所定値に達しているか否かを判
別するステップとをさらに備えたことを特徴としてい
る。

【００１０】この方法によれば、有機溶剤の沸点を計測
する前に容器内に貯留されている有機溶剤のレベルが検
出され、そのレベルが所定値に達しているか否かが判別
される。有機溶剤のレベルが所定値に達しているとき
は、続けて後の動作が実行され、所定値に達していない
ときは、例えば、モニタ等の報知手段によりその旨が報
知される。

【００１１】また、請求項３に係る有機溶剤中の純水濃
度管理方法は、請求項１又は２に係る方法において、前
記有機溶剤中の純水濃度が、有機溶剤の沸点から純水濃
度を算出する計算式により求められることを特徴として
いる。

【００１２】この方法によれば、例えば、有機溶剤の沸
点から純水濃度を算出する計算式を記憶手段に記憶させ
ておき、この計算式に基づいて計算が実行されて純水濃
度が求められる。

【００１３】また、請求項４に係る乾燥装置は、有機溶
剤を貯留し、純水が付着した被処理物を収容する処理槽
と、この処理槽内の有機溶剤を沸騰させる加熱手段と、
処理槽内の有機溶剤中の純水濃度を求める濃度検出手段
と、求めた純水濃度と予め設定された判定基準濃度とを
比較する比較手段と、比較結果に関連する情報を報知す
る報知手段とを備えたことを特徴としている。

【００１４】この構成によれば、処理槽内に貯留されて
いる有機溶剤が加熱手段により加熱されて沸騰される。
そして、濃度検出手段により、処理槽内の有機溶剤中の
純水濃度が求められ、求められた純水濃度が比較手段に
より判定基準濃度と比較される。そして、その比較結果
に関連する情報がモニタ等の報知手段により報知され
る。この結果、有機溶剤の的確な交換タイミングが明確
となり、有機溶剤の不必要な交換を阻止することができ
る。

【００１５】また、請求項５に係る乾燥装置は、請求項
４に係るものにおいて、前記濃度検出手段が、処理槽内
の有機溶剤の沸点を計測する計測手段と、予め求めた有
機溶剤の沸点と当該有機溶剤中の純水濃度との対応関係
に基づき前記計測手段によって計測された沸点から有機
溶剤中の純水濃度を求める導出手段とを有することを特
徴としている。

【００１６】この構成によれば、処理槽内に貯留されて
いる有機溶剤が加熱手段により加熱されて沸騰される。
そして、この沸騰している有機溶剤の沸点が計測される
一方、予め求めた有機溶剤の沸点と当該有機溶剤中の純
水濃度との対応関係に基づき有機溶剤中の純水濃度が求
められる。そして、この求められた純水濃度と判定基準
濃度とが比較され、比較結果に関連する情報がモニタ等
の報知手段により報知される。この結果、有機溶剤の的
確な交換タイミングが明確となり、有機溶剤の不必要な
交換を阻止することができる。

【００１７】また、請求項６に係る乾燥装置は、請求項
５に係るものにおいて、前記処理槽内に貯留されている
有機溶剤のレベルを検出する検出手段と、有機溶剤のレ
ベルが所定値に達しているか否かを判別する判別手段と
をさらに備えたことを特徴としている。

【００１８】この構成によれば、処理槽内に貯留されて
いる有機溶剤のレベルが検出手段により検出され、有機
溶剤のレベルが所定値に達しているか否かが判別手段に
より判別される。有機溶剤のレベルが所定値に達してい
るときは、続けて後の動作が実行され、所定値に達して
いないときは、例えば、モニタ等の報知手段によりその
旨が報知される。

【００１９】また、請求項７に係る乾燥装置は、請求項
５又は６に係るものにおいて、前記導出手段が、有機溶
剤の沸点から純水濃度を算出する計算式により純水濃度
を求めるものであることを特徴としている。

【００２０】この構成によれば、例えば、有機溶剤の沸
点から純水濃度を算出する計算式を記憶手段に記憶させ
ておき、この計算式に基づいて計算が実行されて純水濃
度が求められる。

【００２１】

【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る有機溶剤中
の純水濃度管理方法が適用される乾燥装置の概略構成を
示す断面図である。この図において、乾燥装置は、有機
溶剤蒸気中にリンス処理した半導体ウエハ等の基板Ｗを
搬入することにより基板表面に付着している純水を除去
するようにしたもので、密閉ハウジング１０と、密閉ハ
ウジング１０内に配設された処理槽２０と、処理槽２０
の外底面に配設された加熱手段３０と、処理槽２０内の
上部に配設された冷却手段４０とを備えている。

【００２２】密閉ハウジング１０は、その上部に開口部
１１が形成される一方、この開口部１１を密閉状に覆う
開閉自在の蓋部１２が配設されて構成され、この蓋部１
２を開放することによりその開口部１１を介して基板Ｗ
が搬出入されるようになっている。

【００２３】処理槽２０は、その底部にイソプロピルア
ルコール等の有機溶剤Ｓが貯留されるようになってお
り、その上部に開口部２１を有し、複数の基板Ｗを収納
したキャリア２２が処理槽２０内を上下動する搬送手段
２３により挟持されて有機溶剤Ｓ上部の有機溶剤蒸気の
充満している空間内に搬入されるようになっている。

【００２４】また、処理槽２０内の有機溶剤Ｓの上部に
は、回収皿２４が配設されている。この回収皿２４は、
処理槽２０内に搬入された基板Ｗの表面で蒸気が凝縮し
て液体となった有機溶剤と、この有機溶剤中に混入した
基板Ｗの表面に付着していた純水とが液滴として落下し
たものを排液パイプ２５を介して外部に排出するもので
ある。

【００２５】また、処理槽２０内には、有機溶剤Ｓの液
面に対応する位置に光学式のレベルセンサ２６が配設さ
れており、規定量の有機溶剤Ｓが貯留されているか否か
が検出されるようになっている。さらに、処理槽２０内
には、温度計２７がその検出端部を有機溶剤Ｓ内に浸漬
するようにして配設されている。なお、温度計２７は、
有機溶剤Ｓの温度を精密に計測する必要があるため、例
えば、Ｐｔ１００Ω等の測温抵抗体からなるものが使用
される。

【００２６】加熱手段３０は、板状の電気ヒータで構成
され、処理槽２０内の底部に貯留される有機溶剤Ｓを加
熱して沸騰させることにより処理槽２０内における有機
溶剤Ｓの上方空間に有機溶剤蒸気を充満させるものであ
る。

【００２７】冷却手段４０は、冷却パイプ４１がパイプ
固定フレーム４２に取り付けられる一方、冷却パイプ４
１の内部に冷却水が流通されるようになっており、これ
により処理槽２０内に充満する有機溶剤蒸気を冷却して
有機溶剤蒸気が冷却手段４０よりも上方に上昇しないよ
うにするものである。また、この冷却手段４０は、表面
に付着していた純水の除去された基板Ｗを処理槽２０内
から装置外部に搬出するとき、有機溶剤蒸気で加熱され
た基板Ｗを冷却する機能も併せ持っている。

【００２８】図２は、図１に示す乾燥装置の制御系の概
略構成を示す図である。この図において、制御部５０
は、所定の演算処理を行うＣＰＵ５１と、所定の処理プ
ログラムが記憶されているＲＯＭ５２と、データが一時
的に記憶されるＲＡＭ５３とを備えている。

【００２９】また、ＣＰＵ５１には、処理槽２０内の有
機溶剤Ｓが所定のレベルにまで貯留されているか否かを
判別するレベル判別手段５１ａ、処理槽２０内に貯留さ
れている有機溶剤Ｓ中の純水濃度を求める純水濃度導出
手段５１ｂ、及び求めた純水濃度を判定基準値と比較す
る比較手段５１ｃの各機能を備えている。また、ＣＰＵ
５１には、スタートスイッチＳＷ、レベルセンサ２６及
び温度計２７が接続されて所定の出力信号が入力され、
搬送手段２３、加熱手段３０、冷却手段４０及びモニタ
６０が接続されて各動作が制御されるようになってい
る。

【００３０】すなわち、スタートスイッチＳＷがＯＮさ
れると、加熱手段３０に通電されて処理槽２０内の有機
溶剤Ｓが加熱され、これにより有機溶剤Ｓが沸騰して処
理槽２０内に有機溶剤蒸気が充満される。一方、冷却手
段４０は、その冷却パイプ４１内に冷却水が供給され、
冷却パイプ４１で囲まれた空間内の有機溶剤蒸気を冷却
する。

【００３１】この状態で、密閉ハウジング１０の開口部
１１が開放され、密閉ハウジング１０の外部上方に搬送
されてきている複数の基板Ｗの収納されたキャリア２２
が移載機構により処理槽２０内の搬送手段２３に引き渡
された後、開口部１１が閉じられて基板Ｗに対する乾燥
処理が行われる。すなわち、基板Ｗが有機溶剤蒸気の充
満している処理槽２０内に搬入されると、基板Ｗの表面
に有機溶剤蒸気が凝縮して液体となり、基板Ｗの表面に
付着している純水と混ざり合う。そして、この有機溶剤
と純水は、液滴となって回収皿２４上に落下し、排液パ
イプ２５を介して外部に排出される。

【００３２】一定時間が経過し、基板Ｗの表面に付着し
ている純水がすべて有機溶剤と置換されて乾燥処理が終
了すると、密閉ハウジング１０の開口部１１が開放さ
れ、基板Ｗの収納されたキャリア２２が搬送手段２３か
ら密閉ハウジング１０の外部上方の移載機構により引き
渡される一方、次の新しい基板Ｗが収納されたキャリア
２２が密閉ハウジング１０内に搬入されて上記動作を繰
り返すことにより順に乾燥処理が行われる。

【００３３】なお、上記のように基板Ｗの表面に付着し
ている純水の大部分は回収皿２４により外部に排出され
るが、一部分は不可避的に処理槽２０内の有機溶剤Ｓ中
に混入する。このため、乾燥処理回数が増えるに従って
有機溶剤Ｓ中の純水濃度が高くなることになる。

【００３４】図３は、図１に示す乾燥装置の有機溶剤中
の純水濃度管理動作を説明するためのフローチャートで
ある。以下、このフローチャートに基づき有機溶剤中の
純水濃度管理動作を説明する。

【００３５】まず、処理槽２０内に貯留されている有機
溶剤Ｓのレベルがレベルセンサ２６により検出され（ス
テップＳ１）、そのレベルセンサ２６からの出力信号に
基づき有機溶剤Ｓのレベルが所定値に達しているか否か
（すなわち、処理槽２０内に所定量の有機溶剤Ｓが貯留
されているか否か）がレベル判別手段５１ａにより判別
される（ステップＳ２）。そして、判定が肯定される
と、温度計２７により沸騰状態にある有機溶剤Ｓの温
度、すなわち、沸点が計測され（ステップＳ３）、この
沸点から有機溶剤Ｓ中の純水濃度が純水濃度導出手段５
１ｂにより算出される（ステップＳ４）。

【００３６】このステップＳ４における有機溶剤Ｓ中の
純水濃度の算出は、次のようにして行われる。すなわ
ち、使用する有機溶剤Ｓがイソプロピルアルコール（以
下、ＩＰＡと呼ぶ。）の場合、ＩＰＡと純水との２成分
系における常圧下での温度（沸点）とＩＰＡの濃度（液
相領域及び気相領域の濃度）とは、表１に示すような対
応関係を有していることが実験的に確認されている（丸
善株式会社発行「化学便覧」）。この表１の値を図４に
グラフ化して示しており、図中の実線はＩＰＡの液相領
域における値を、点線はＩＰＡの気相領域における値を
それぞれ示している。

【００３７】

【表１】

【００３８】なお、本実施形態では、液相領域における
ＩＰＡ中の純水濃度により有機溶剤の交換タイミングを
決めるようにしており、このＩＰＡ中の純水濃度は数値
１００から表１に示す液相領域のＩＰＡ濃度を差し引い
た値（ｍｏｌ％）として示されることになる。また、純
水の混入したＩＰＡの使用限界は、ウオータマークの発
生状況から必然的に決まることになり、使用可能範囲内
の所定の純水濃度値が処理槽２０内の有機溶剤Ｓの交換
タイミングを決める判定基準値（判定基準濃度）として
設定される。

【００３９】従って、その使用可能範囲内のＩＰＡ中の
純水濃度を有機溶剤の沸点から算出する計算式を予め表
１に基づいて求めておき、この計算式を制御部５０のＲ
ＯＭ５２に記憶させておけばよい。これにより、純水濃
度導出手段５１ｂにより、計測した沸騰状態にあるＩＰ
Ａの温度（沸点）を上記計算式に代入してＩＰＡ中の純
水濃度を算出することができることになる。

【００４０】なお、有機溶剤Ｓとしては、ＩＰＡに限ら
ず、種々の有機溶剤を使用することが可能であるので、
使用する有機溶剤と純水との２成分系について上記表１
と同様の温度（沸点）と有機溶剤の濃度との関係を調
べ、ＩＰＡの場合と同様にその有機溶剤中の純水濃度を
算出する計算式を求めてＲＯＭ５２に記憶させておけば
よい。また、上記判定基準値も計算式と同様にＲＯＭ５
２に記憶させておく。

【００４１】上記のようにして純水濃度が算出される
と、その算出された純水濃度とＲＯＭ５２に記憶されて
いる判定基準値とが比較手段５１ｃにより比較されて純
水濃度が許容濃度以上か否かが判定され（ステップＳ
５）、判定が肯定されるとモニタ６０に処理槽２０内の
有機溶剤Ｓを交換する必要がある旨が表示されてオペレ
ータに報知される（ステップＳ６）。オペレータはこの
報知により処理槽２０内の有機溶剤Ｓの交換操作を行
う。なお、ステップＳ２において、判定が否定されたと
き、処理槽２０内に有機溶剤Ｓを補給する必要がある旨
がモニタ６０に表示されてオペレータに報知される（ス
テップＳ７）。オペレータは、この報知により処理槽２
０内の有機溶剤Ｓの補充操作を行う。また、ステップＳ
５において、判定が否定されたとき（すなわち、純水濃
度が許容範囲内のとき）、ステップＳ２に戻ってそれ以
降の動作を繰り返す。

【００４２】本発明に係る有機溶剤中の純水濃度管理方
法、及びその管理方法が適用される乾燥装置は上記のよ
うに構成されるので、処理槽内に貯留されている有機溶
剤中の純水濃度が効率的に管理されて有機溶剤の交換タ
イミングを的確に把握することができるようになる。こ
の結果、不必要な有機溶剤の交換が阻止され、有機溶剤
の使用量を効果的に抑制することができる。

【００４３】また、有機溶剤中の純水濃度が常に一定値
以下に管理されることにより、基板Ｗが密閉ハウジング
１０内に搬入されるときに大気中の酸素が混入しても基
板Ｗの表面におけるウオータマークの発生が抑制され、
基板Ｗの歩留まりを悪化させることがない。

【００４４】また、有機溶剤中の純水濃度が突発的に上
昇するような事態が生じた場合でも有機溶剤Ｓを交換す
る必要がある旨の報知が必ずなされるので、オペレータ
が有機溶剤Ｓを交換することによりウオータマークの発
生を確実に阻止することができ、常に一定の品質を保証
することができるようになる。

【００４５】また、処理槽２０内の有機溶剤Ｓのレベル
を検出するレベルセンサ２６を配設することにより、有
機溶剤Ｓが所定のレベルに達していない場合に有機溶剤
Ｓの温度（沸点）を誤って計測することによる誤判定を
なくすことができ、信頼性の高い管理が可能となる。

【００４６】なお、本発明の有機溶剤中の純水濃度管理
方法及び乾燥装置は、以下のような種々の変形が可能で
ある。

【００４７】（１）上記実施形態では、処理槽２０内に
貯留されている沸騰状態にある有機溶剤Ｓ中に温度計２
７の検出端部を浸漬することにより有機溶剤Ｓの沸点を
直接的に計測するようにしているが、温度計２７の検出
端部を有機溶剤Ｓの液面直上に位置させ、その液面直上
の有機溶剤蒸気の温度を計測することにより有機溶剤Ｓ
の沸点を間接的に計測することもできる。

【００４８】（２）上記実施形態では、有機溶剤Ｓ中の
純水濃度をＲＯＭ５２に記憶させている計算式から算出
して求めるようにしているが、有機溶剤の沸点と当該有
機溶剤中の純水濃度との対応関係をテーブル形式でＲＯ
Ｍ５２に記憶させておき、純水濃度導出手段５１ｂによ
り、計測した沸点に対応する純水濃度をそのテーブルか
ら読み出すことにより求めるようにしてもよい。

【００４９】（３）上記実施形態では、処理槽２０内の
有機溶剤Ｓのレベルを検出するレベルセンサ２６を配設
するようにしているが、処理槽２０内に常に一定量の有
機溶剤Ｓを供給する自動供給手段が設けられているよう
な場合には、有機溶剤中の純水濃度を管理するためのレ
ベルセンサ２６をなくすことも可能である。

【００５０】（４）上記実施形態では、判定に関連する
情報を報知する報知手段としてモニタ６０を採用してい
るが、ベルやブザー等で判定に関連する情報を報知する
ようにすることもできる。

【００５１】（５）上記実施形態では、有機溶剤Ｓ中の
純水濃度が許容濃度以上となったときにオペレータが所
定のバルブ操作を行って処理槽２０内の有機溶剤Ｓを交
換することになるが、許容濃度以上となったことを示す
制御部５０からの出力信号により自動的にバルブ操作を
行わせ、処理槽２０内の有機溶剤Ｓが自動的に交換され
るようにすることも可能である。

【００５２】（６）上記実施形態では、有機溶剤Ｓ中の
純水濃度を管理することにより処理槽２０内に貯留され
ている有機溶剤Ｓの交換タイミングを管理しているが、
有機溶剤Ｓ中の純水濃度ではなく、全く同様の方法で有
機溶剤Ｓの濃度そのもので有機溶剤Ｓの交換タイミング
を管理することもできる。この場合、有機溶剤がＩＰＡ
であるときは上記表１に示す値をそのまま使用すればよ
い。従って、本発明では、「有機溶剤中の純水濃度」と
いう表現は、「有機溶剤濃度」と同義のものとして扱う
ものとする。すなわち、例えば、「有機溶剤中の純水濃
度管理方法」とは、「有機溶剤濃度管理方法」と同義で
あり、「有機溶剤の沸点と当該有機溶剤中の純水濃度と
の対応関係」とは、「有機溶剤の沸点と当該有機溶剤濃
度との対応関係」と同義である。

【００５３】（７）上記実施形態（変形例も含め）で
は、有機溶剤中の純水濃度管理方法が乾燥装置に適用さ
れたものとして説明されているが、有機溶剤中の純水濃
度管理方法は乾燥装置以外の他の装置にも適用が可能で
ある。従って、有機溶剤が貯留されるのは乾燥装置に使
用されているような処理槽のみに限らず、処理槽を含む
広義の容器であればよい。

【００５４】

【発明の効果】以上のように請求項１の有機溶剤中の純
水濃度管理方法によれば、容器内に貯留されている有機
溶剤の沸点を計測するステップと、予め求めた有機溶剤
の沸点と当該有機溶剤中の純水濃度との対応関係に基づ
き前記計測した沸点から有機溶剤中の純水濃度を求める
ステップと、求めた純水濃度と判定基準値とを比較する
ステップと、比較結果に関連する情報を報知するステッ
プとを備えているので、容器内に貯留されている有機溶
剤中の純水濃度を効率的に管理することができ、それに
より有機溶剤の使用量を効果的に抑制することができ
る。

【００５５】また、請求項２の有機溶剤中の純水濃度管
理方法によれば、前記有機溶剤の沸点を計測するステッ
プの前に、前記容器内に貯留されている有機溶剤のレベ
ルを検出するステップと、前記有機溶剤のレベルが所定
値に達しているか否かを判別するステップとをさらに備
えているので、容器内に貯留されている有機溶剤が所定
レベルにに達していない場合に有機溶剤の沸点を誤って
計測することによる誤判定をなくすことができ、信頼性
の高い純水濃度管理を行うことができる。

【００５６】また、請求項３の有機溶剤中の純水濃度管
理方法によれば、前記有機溶剤中の純水濃度は、有機溶
剤の沸点から当該有機溶剤中の純水濃度を算出する計算
式により求められるので、正確な純水濃度値が得られて
信頼性の高い純水濃度管理を行うことができる。

【００５７】また、請求項４の乾燥装置によれば、有機
溶剤を貯留し、純水が付着した被処理物を収容する処理
槽と、処理槽内の有機溶剤を沸騰させる加熱手段と、処
理槽内の有機溶剤中の純水濃度を求める濃度検出手段
と、求めた純水濃度と予め設定された判定基準濃度とを
比較する比較手段と、比較結果に関連する情報を報知す
る報知手段とを備えているので、処理槽内に貯留されて
いる有機溶剤中の純水濃度を効率的に管理することがで
き、それにより有機溶剤の使用量が効果的に抑制できる
装置を実現することができる。

【００５８】また、請求項５の乾燥装置によれば、濃度
検出手段が、処理槽内の有機溶剤の沸点を計測する計測
手段と、予め求めた有機溶剤の沸点と当該有機溶剤中の
純水濃度との対応関係に基づき計測手段によって計測さ
れた沸点から有機溶剤中の純水濃度を求める導出手段と
を有しているので、処理槽内に貯留されている有機溶剤
中の純水濃度を正確に求めることができ、それにより有
機溶剤の使用量が効果的に抑制できる装置を実現するこ
とができる。

【００５９】また、請求項６の乾燥装置によれば、前記
処理槽内に貯留されている有機溶剤のレベルを検出する
検出手段と、有機溶剤のレベルが所定値に達しているか
否かを判別する判別手段とをさらに備えているので、処
理槽内に貯留されている有機溶剤が所定レベルに達して
いない場合に有機溶剤の沸点を誤って計測することによ
る誤判定をなくすことができ、信頼性の高い純水濃度管
理が行える装置を実現することができる。

【００６０】また、請求項７の乾燥装置によれば、前記
導出手段が、有機溶剤の沸点から純水濃度を算出する計
算式により純水濃度を求めるものであるので、正確な純
水濃度値が得られて信頼性の高い純水濃度管理が行える
装置を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る有機溶剤中の純水濃度管理方法が
適用される乾燥装置の概略構成を示す断面図である。

【図２】図１に示す乾燥装置の制御系の概略構成を示す
図である。

【図３】図１に示す乾燥装置の有機溶剤中の純水濃度管
理動作を説明するためのフローチャートである。

【図４】ＩＰＡの沸点と濃度との関係を示す図で、実線
はＩＰＡの液相領域における関係を示し、点線はＩＰＡ
の気相領域における関係を示すものである。

【符号の説明】

１０ 密閉ハウジング ２０ 処理槽（容器） ２６ レベルセンサ（検出手段） ２７ 温度計（計測手段） ３０ 加熱手段 ４０ 冷却手段 ５０ 制御部 ５１ ＣＰＵ ５２ ＲＯＭ ５３ ＲＡＭ ５１ａ レベル判別手段 ５１ｂ 純水濃度導出手段 ５１ｃ 比較手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G040 AA02 AA03 AB11 BA02 BA24 BB04 CA02 CB03 DA02 DA14 EA02 EA08 EB02 FA01 FA10 HA01 HA03 HA10 HA16 ZA05 ZA08 3B201 AA03 AB03 AB08 AB44 BB12 BB13 BB14 BB82 BB95 CB01 CD22 CD41 CD42 CD43 3L113 AA01 AB05 AC08 AC16 AC21 AC45 AC46 AC57 AC67 AC72 AC73 AC75 AC78 AC79 AC82 AC90 BA34 CA06 CA08 CA12 DA24 DA25

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 容器内に貯留されている有機溶剤中に混
   入した純水の濃度を管理する有機溶剤中の純水濃度管理
   方法であって、 前記容器内に貯留されている有機溶剤の沸点を計測する
   ステップと、 予め求めた有機溶剤の沸点と当該有機溶剤中の純水濃度
   との対応関係に基づき前記計測した沸点から有機溶剤中
   の純水濃度を求めるステップと、 求めた純水濃度と判定基準値とを比較するステップと、 比較結果に関連する情報を報知するステップと、を備え
   たことを特徴とする有機溶剤中の純水濃度管理方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の有機溶剤中の純水濃度管
   理方法において、前記有機溶剤の沸点を計測するステッ
   プの前に、 前記容器内に貯留されている有機溶剤のレベルを検出す
   るステップと、 前記有機溶剤のレベルが所定値に達しているか否かを判
   別するステップと、をさらに備えたことを特徴とする有
   機溶剤中の純水濃度管理方法。
3. 【請求項３】 前記有機溶剤中の純水濃度は、有機溶剤
   の沸点から当該有機溶剤中の純水濃度を算出する計算式
   により求めることを特徴とする請求項１又は２記載の有
   機溶剤中の純水濃度管理方法。
4. 【請求項４】 有機溶剤を貯留し、純水が付着した被処
   理物を収容する処理槽と、 前記処理槽内の有機溶剤を沸騰させる加熱手段と、 前記処理槽内の有機溶剤中の純水濃度を求める濃度検出
   手段と、 求めた純水濃度と予め設定された判定基準濃度とを比較
   する比較手段と、 比較結果に関連する情報を報知する報知手段と、を備え
   たことを特徴とする乾燥装置。
5. 【請求項５】 請求項４記載の乾燥装置において、前記
   濃度検出手段が、 前記処理槽内の有機溶剤の沸点を計測する計測手段と、 予め求めた有機溶剤の沸点と当該有機溶剤中の純水濃度
   との対応関係に基づき前記計測手段によって計測された
   沸点から有機溶剤中の純水濃度を求める導出手段と、を
   有することを特徴とする乾燥装置。
6. 【請求項６】 請求項５記載の乾燥装置において、 前記処理槽内に貯留されている有機溶剤のレベルを検出
   する検出手段と、 有機溶剤のレベルが所定値に達しているか否かを判別す
   る判別手段と、をさらに備えたことを特徴とする乾燥装
   置。
7. 【請求項７】 前記導出手段は、有機溶剤の沸点から純
   水濃度を算出する計算式により純水濃度を求めるもので
   あることを特徴とする請求項５又は６記載の乾燥装置。