JP1745925S - サセプタカバー - Google Patents
サセプタカバーInfo
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Abstract
本物品は、半導体製造装置等においてウェハを保持するために用いるサセプタユニットを構成するカバー部品であり、基台となるサセプタ部品上に、その一部がカバーベース部品を介して載置される部品である。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022022681F JP1745925S (ja) | 2022-10-20 | 2022-10-20 | サセプタカバー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022022681F JP1745925S (ja) | 2022-10-20 | 2022-10-20 | サセプタカバー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP1745925S true JP1745925S (ja) | 2023-06-08 |
Family
ID=86610900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022022681F Active JP1745925S (ja) | 2022-10-20 | 2022-10-20 | サセプタカバー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP1745925S (ja) |
-
2022
- 2022-10-20 JP JP2022022681F patent/JP1745925S/ja active Active
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