JP1746409S - サセプタカバー - Google Patents
サセプタカバーInfo
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Abstract
本物品は、半導体製造装置等においてウェハを保持するために用いるサセプタユニットを構成するカバー部品であり、基台となるサセプタ部品上に、その一部がカバーベース部品を介して載置される部品である。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023000288F JP1746409S (ja) | 2023-01-11 | 2023-01-11 | サセプタカバー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023000288F JP1746409S (ja) | 2023-01-11 | 2023-01-11 | サセプタカバー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP1746409S true JP1746409S (ja) | 2023-06-15 |
Family
ID=86720903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023000288F Active JP1746409S (ja) | 2023-01-11 | 2023-01-11 | サセプタカバー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP1746409S (ja) |
-
2023
- 2023-01-11 JP JP2023000288F patent/JP1746409S/ja active Active
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