ITMI20071956A1 - Utensile per manipolare un suscettore e macchina per il trattamento di substrati e-o fette che lo utilizza - Google Patents

Utensile per manipolare un suscettore e macchina per il trattamento di substrati e-o fette che lo utilizza Download PDF

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ITMI20071956A1
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IT
Italy
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susceptor
tool
suction
chamber
contact
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Danilo Crippa
Ingemar Karlsson
Vincenzo Ogliari
Franco Preti
Gianluca Valente
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Lpe Spa
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Description

DESCRIZIONE
annessa alia domanda di brevetto per invenzione dal titolo UTENSILE PER MANIPOLARE UN SUSCETTORE E MACCHINA PER IL TRATTAMENTO DI SUBSTRATI E/O FETTE CHE LO UTILIZZA
La presente invenzione si riferisce ad un utensile per manipolare un suscettore e ad una macchina per il trattamento di substrati e/o fette che lo utilizza.
La presente invenzione si inserisce nel settore della microelettronica e, più in particolare, delle macchine per la produzione di componenti microelettronici.
Le macchine per il trattamento di substrati e/o fette comprendono un elemento atto a supportare substrati e/o fette durante il trattamento; tale elemento viene chiamato suscettore soprattutto in quei casi in cui contribuisce al riscaldamento dei substrati e/o fette.
In alcune macchine il suscettore ha forma di disco e viene introdotto nella ed estratto dalla camera di trattamento assieme ai substrati e/o fette che supporta; è quindi necessario un utensile per compiere queste operazioni.
Scopo generale della presente invenzione è quindi di fornire un utensile che sia in grado di manipolare un suscettore a forma di disco in modo efficace in particolare al fine di introdurlo nella ed estrarlo dalla camera di trattamento.
In particolare, l’utensile ed il relativo metodo di manipolazione devono possibilmente tenere conto delle limitate dimensioni della camera di trattamento, delle limitate dimensioni delia apertura della camera di trattamento, delle temperature piuttosto elevate (ad esempio 200°C-350°C) del suscettore quando viene estratto dalla camera di trattamento nonché della irregolarità e/o rugosità della superficie del suscettore.
Inoltre, l’utensile ed il relativo metodo di manipolazione devono possibilmente evitare la formazione di particelle solide all’interno della camera di trattamento che potrebbero pregiudicare o comunque ridurre la qualità del trattamento.
Infine, l’utensile ed il relativo metodo di manipolazione devono possibilmente essere tali da non implicare irregolarità e/o complicazioni nella forma del suscettore e/o delle pareti della camera di trattamento; ciò è legato anche al fatto che i trattamenti dei substrati e/o fette sono critici ed influenzati dalle geometrie.
Naturalmente, l’utensile ed il relativo metodo di manipolazione devono consentire una manipolazione sicura del suscettore e senza rischi di perdite dì substrati e/o fette durante il movimento.
Tale scopo è raggiunto dall’utensile avente le caratteristiche esposte nelle annesse rivendicazioni da 1 a 21.
Secondo un ulteriore aspetto, la presente invenzione riguarda anche una macchina per il trattamento di substrati e/o fette comprendente un tale utensile ed avente le caratteristiche esposte nelle annesse rivendicazioni da 22 a 30.
Tutte le rivendicazioni qui annesse formano parte integrante della presente descrizione.
L’idea alla base della presente invenzione è quella di utilizzare il risucchio per afferrare e trattenere il suscettore.
Tutte le ulteriori caratteristiche ed i vantaggi della presente invenzione risulteranno chiari dalla descrizione che segue da considerare congiuntamente ai disegni qui annessi in cui:
Fig.1 mostra in modo schematico parte di un utensile secondo un primo esempio di realizzazione della presente invenzione (sezione secondo un piano verticale),
Fig.2 mostra in modo schematico parte di un utensile secondo un secondo esempio di realizzazione della presente invenzione (sezione secondo un piano verticale),
Fig.3 mostra in modo schematico parte di un utensile secondo un terzo esempio di realizzazione della presente invenzione (Fig.3A è una vista dall’alto e Fig.3B è una sezione secondo un piano verticale),
Fig.4 mostra in modo schematico parte di un utensile secondo un quarto esempio di realizzazione della presente invenzione (vista dall’alto),
Fig.5 mostra in modo schematico parte di un utensile secondo un quinto esempio di realizzazione della presente invenzione (vista dall’alto),
Fig.ó mostra in modo schematico due varianti dell’utensile di Fig.3 (viste dall’alto),
Fig. 7 mostra in modo schematico un suscettore adatto ad essere manipolato dagli utensili secondo la presente invenzione (vista dall’alto),
Fig.8 mostra in modo schematico tutto un utensile secondo l’esempio di realizzazione di Fig.1 o Fig.2 (vista laterale), Fìg.9 mostra in modo schematico una camera di reazione di un macchina di trattamento secondo la presente invenzione (vista frontale), e
Fig. 10 mostra in modo schematico parte della macchina di trattamento di Fig. 9 (sezione secondo un piano verticale).
Sia questa descrizione sia questi disegni sono da considerare solo a fini esemplificativi e quindi non limitativi.
Come già detto, l’utensile secondo la presente invenzione serve per manipolare un suscettore di una macchina per il trattamento di substrati e/o fette; tale suscettore ha forma di disco ed è atto a supportare substrati e/o fette.
in Fig. 10 è mostrata, a titolo di esempio, parte di una camera di reazione 7 di un reattore per la deposizione epitassiale di carburo di silicio su substrati. La camera 7 è dotata di pareti 72 (atte ad essere riscaldate per induzione) circondate da un involucro 73 isolante termico; sia le pareti 72 sia l' involucro 73 sono costituite da più pezzi; la parete inferiore della camera e la parete superiore della camera sono cave. La camera 7 è dotata di una cavità 70 all' interno della quale viene posto un suscettore (ad esempio il suscettore 9) con dei substrati appoggiati ed all' interno della quale avviene la deposizione epitassiale; la camera 7 è dotata di una apertura 71 di accesso per introdurre ed estrarre un suscettore (ad esempio il suscettore 9) nella e dalla camera 7, in particolare nella e dalla cavità 70. La camera 7 è infilata in un tubo di quarzo piuttosto lungo (mostrato solo in parte in Fig.10) in modo tale che le due estremità (davanti e dietro) della camera siano piuttosto lontane dalle rispettive due estremità del tubo.
Il suscettore 9 a forma di disco in Fig.10 è mostrato in maggior dettaglio e dall’alto in Fig.7; tale figura mostra quindi solo la faccia superiore 91 del suscettore 9 mentre la faccia inferiore 92 è indicata in Fig.8; la faccia superiore 91 presenta una zona centrale 91 A (circolare) sostanzialmente piana e liscia, una zona periferica 91 B (anulare) sostanzialmente piana e liscia ed una zona intermedia in cui si trovano una pluralità di (in particolare cinque) sedi 93 poco profonde per ricevere rispettivi substrati (prima, durante e dopo il trattamento). Il suscettore 9 si trova all’interno della camera 7 con dei substrati appoggiati durante i cicli di crescita epitassiale. Le zone 91 A e 91B del suscettore 9 sono assai piane e lisce prima che il suscettore venga usato e diventano sempre meno piane e lisce con il susseguirsi dei cicli di crescita epitassiale.
L’utensile secondo la presente invenzione deve comprendere almeno un dispositivo di risucchio; inoltre, può comprende tìpicamente anche uno o più dei seguenti componenti: un dispositivo di stabilizzazione, un’asta di sostegno, un condotto di aspirazione, un meccanismo di traslazione, un meccanismo di rotazione; altri componenti non sono da escludere.
Molte delle caratteristiche dell’utensile che verranno descritte nel seguito sono presenti in più di uno degli esempi di realizzazione delle figure da Fig.1 a Fig.6.
Come già anticipato, l’utensile (indicato nel suo complesso con 1 in Fig.8) comprende un dispositivo di risucchio 2; il dispositivo 2 è atto a venire in contatto con la faccia superiore 91 del suscettore 9 in modo da afferrarlo e trattenerlo per risucchio, come mostrato in Fig.8.
Il dispositivo di risucchio 2 comprende vantaggiosamente e tipicamente un corpo rigido 21 ed un corpo elastico 22, come mostrato in Fig.1 e Fig.2 e Fig.3; il corpo elastico 22 è montato direttamente o indirettamente sul corpo rigido 21, in particolare sotto al corpo rigido 21 , ed è atto a venire in contatto con la faccia superiore 91 del suscettore 9 in modo da afferrarlo e trattenerlo per risucchio, come mostrato in Fig.1 e Fig.2. In particolare, il corpo elastico 22 di tutti gli esempi di realizzazione è atto a venire in contatto con la zona centrale 91 A della faccia superiore 91 del suscettore 9.
Per semplicità reaììzzativa, l’utensile secondo la presente invenzione comprende un solo dispositivo di risucchio 2 (come è il caso di tutti gli esempi delle figure); tuttavia, non si deve escludere che l’utensile possa prevedere anche più di un dispositivo di risucchio.
Il corpo rigido può essere ad esempio un corpo cilindrico cavo fatto di materiale metallico, come l’acciaio inossidabile (si veda Fig.1 e Fig.2).
Fondamentalmente, vi sono due realizzazioni del corpo elastico: la prima (Fig.1 ) secondo cui il corpo elastico (22A) si deforma molto quando l’utensile afferra il suscettore e la seconda (Fig.2) secondo cui il corpo elastico (22B) si deforma poco quando l’utensile afferra il suscettore.
Secondo la prima realizzazione (Fig.1 e Fig.3), il corpo elastico 22 è una ventosa 22A fatta di materiale elastomerico attraverso la quale avviene il risucchio; la ventosa 22A è inserita parzialmente nel corpo rigido 21 , in particolare attraverso il suo gambo, in modo tale da ridurre gli ingombri in direzione verticale ma mantenere la possibilità di grande deformazione.
Secondo la seconda realizzazione (Fig,2), il corpo elastico 22 è una guarnizione 22 B fatta di materiale elastomerico attraverso la quale avviene il risucchio.
Come verrà meglio chiarito nel seguito, la prima realizzazione ha il vantaggio di riuscire a compensare più facilmente eventuali irregolarità e/o rugosità della superficie del suscettore e soprattutto lievi inclinazioni del suscettore rispetto ad un piano orizzontale. Il corpo rigido 21 presenta tipicamente un percorso aeraulico (ossia un percorso atto al passaggio di gas) attraverso il quale avviene il risucchio; questo è costituito, nel caso degli esempi di Fig.1 e Fig.2, da una camera di risucchio 21 1 (in particolare cilindrica) e da un condotto di risucchio 212 (in particolare tubiforme che sbocca da un primo lato sul fianco interno della camera 211 e da un secondo lato sul fianco esterno del corpo 21 in modo tale da ridurre gli ingombri in direzione verticale). Nel caso dell’esempio di Fig.1 , il percorso aeraulico sbocca all’interno della ventosa 22A, in particolare all’interno del suo gambo. Nei caso dell’esempio di Fìg.2, il percorso aeraulico ha uno sbocco circondato dalla guarnizione 22B.
Un altro componente molto importante dell’utensile secondo la presente invenzione è il dispositivo di stabilizzazione, indicato con il riferimento numerico 3 nella varie figure (da Fig.3 a Fig.6). In Fig.3 e Fig.6, il dispositivo di risucchio 2 è ad esempio del tipo mostrato in Fig.1 ; in Fig.4 e Fig.5, il dispositivo di risucchio 2 è ad esempio del tipo mostrato in Fig.2; altre combinazioni sono naturalmente possibili. Scopo del dispositivo di stabilizzazione è quello di cercare di mantenere la posizione del suscettore rispetto al dispositivo di risucchio il più possibile stabile e quindi, in particolare, limitare o evitare vibrazioni e inclinazione del suscettore mentre l’utensile si muove dopo averlo afferrato.
Il dispositivo di stabilizzazione può essere montato direttamente o indirettamente sul dispositivo di risucchio (conte in tutti gli esempi delle figure) oppure direttamente o indirettamente sull’asta di sostegno oppure su entrambi; vantaggiosamente, il dispositivo di stabilizzazione è montato in modo tale da estendersi lateralmente rispetto al dispositivo di risucchio in modo tale da ridurre gli ingombri in direzione verticale.
In particolare, il dispositivo dì stabilizzazione 3 è atto a venire in contatto con la faccia superiore 91 del suscettore 9 in modo tale da limitare l' inclinazione e/o le vibrazioni del suscettore 9 quando questo viene manipolato attraverso l' utensile 1.
Vantaggiosamente, il dispositivo di risucchio 2 ed il dispositivo di stabilizzazione 3 sono conformati e disposti in modo tale che, in fase di presa del suscettore 9, il suscettore viene in contatto prima con il dispositivo di risucchio 2 e poi con il dispositivo di stabilizzazione 3 (ciò si nota bene in Fig.3B); tale contatto differenziale si ottiene grazie alla deformazione del corpo elastico 22 per effetto del risucchio.
La elasticità del corpo elastico 22 permette di ottenere un buon contatto con il suscettore 9 anche in presenza di irregolarità e/o rugosità della faccia superiore 91 dei suscettore 9 e/o di lievi inclinazioni del suscettore 9 rispetto ad un piano orizzontale. In condizione di buon contatto tra corpo elastico 22 e suscettore 9, il risucchio agisce sul suscettore 9, il suscettore 9 si alza e la deformazione del corpo elastico 22 aumenta; infine, si viene a creare un discreto contatto anche tra dispositivo di stabilizzazione 3 e la faccia superiore 91 del suscettore 9 con correzioni di eventuali lievi inclinazioni iniziali; tale discreto contatto evita vibrazioni e inclinazioni del suscettore 9 quando l' utensile 1 si muove assieme al suscettore 9.
Il dispositivo di stabilizzazione 3 può comprendere una pluralità di bracci 32 atti a venire in contatto con una zona centrale 91 A o con zone periferiche 91B del suscettore 9, come mostrato in Fig.5.
Il dispositivo di stabilizzazione 3 può comprendere un anello 31 atto a venire in contatto con una zona centrale 91 A o con zone periferiche 91 B del suscettore 9, come mostrato in Fig.3 e Fig.4.
Vantaggiosamente, i bracci 32 o l’anello 31 sono fatti di quarzo almeno in corrispondenza delle zone di contatto con il suscettore; ad esempio in corrispondenza delle estremità dei bracci 32 potrebbero essere posti dispositivi di risucchio addizionali.
Negli esempi di Fig.3 e di Fig.4, il dispositivo di stabilizzazione 3 è costituito da una disco 30 forato al centro ed avente il bordo rialzato verso il basso in modo tale da formare l’anello 31.
Nell’esempio di Fig.5, il dispositivo di stabilizzazione 3 è costituito da una disco 30 forato al centro ed unito a tre bracci 32; le estremità dei bracci 32 sono rialzate verso il basso per contattare il suscettore. Tali rialzi alle estremità dei bracci 32 potrebbero anche essere regolabili in altezza e realizzati ad esempio mediante bulloni.
L’utensile secondo la presente invenzione comprende tipicamente anche una asta 4 di sostegno del dispositivo di risucchio 2 (si consideri Fig.6A e Fig.6B); il dispositivo di risucchio 2 è montato direttamente o indirettamente sull’asta 4, in particolare ad un suo estremo; in corrispondenza di tale estremo può anche essere previsto uno snodo; lasta 4 è vantaggiosamente disposta lateralmente al dispositivo di risucchio 2 in modo tale da ridurre gli ingombri in direzione verticale. Nella variante di Fig.6A, lasse dell’asta 4 è complanare e perpendicolare rispetto lasse del dispositivo 2; nella variante di Fig.6B, lasse dell’asta 4 è sghembo e perpendicolare rispetto l’asse del dispositivo 2.
L’asta 4 può essere rigida oppure pieghevole oppure telescopica e sarà tipicamente metallica, ad esempio d’acciaio inossidabile.
L’asta 4 è preferibilmente atta a rimanere orizzontale in condizione di manipolazione del suscettore 9 (si consideri Fig.8), così come il suscettore stesso, e quindi anche durante i movimenti dell’utensile 1. Al fine di realizzare il risucchio, l’utensile secondo la presente invenzione può comprendere un condotto di aspirazione 5 accoppiato da un primo lato a al dispositivo di risucchio 2, in particolare ad un estremo del condotto di risucchio 212, e da un secondo lato ad un sistema di aspirazione, in particolare ad un sistema di aspirazione della macchina per il trattamento di substrati e/o fette.
Il condotto di aspirazione 5 può essere integrato nell’asta 4, come nella variante di Fig.6A, oppure non-integrato come nella variante di Fig.6B.
Il condotto di aspirazione 5 può essere rigido oppure flessibile.
Come è evidente da quanto detto in precedenza, l’utensile secondo la presente invenzione deve consentire movimenti del suscettore.
A tal fine, esso può comprendere un meccanismo 6 (si veda Fig.8) atto a fare effettuare traslazioni verticali ed orizzontali al dispositivo di risucchio 2, in particolare mediante due carrelli, uno solo dei quali è visibile in Fig.8.
Tipicamente, il meccanismo 6 sarà atto a fare effettuare traslazioni verticali ed orizzontali all’asta 4 e quindi al dispositivo di risucchio 2 che è montato direttamente o indirettamente sull’asta 4.
Nell’esempio di Fig.8, un primo carrello (visibile) permette traslazioni orizzontali dell’asta 4 rispetto al corpo del meccanismo 6 ed un secondo carrello (non visibile) permette traslazioni verticali del corpo dei meccanismo 6 rispetto ad un palo verticale.
Il meccanismo 6 o altro meccanismo dell' utensile 1 potrebbe consentire ulteriormente rotazioni del dispositivo 2 e/o dell’asta 4. Il meccanismo 6 può essere azionato manualmente, automaticamente o semi-automaticamente.
Un utensile come quello descritto sopra, serve specificamente in alcuni tipi di macchine per il trattamento di substrati e/o fette e, pertanto, questo è un altro aspetto della presente invenzione; a tal riguardo, si considerino Fig.8, Fig.9 e Fig. 10.
Una tale macchina comprende una camera di trattamento 7 dotata di una apertura 71 di accesso per introdurre ed estrarre un suscettore 9 nella e dalla camera 7; il suscettore 9 ha forma di disco ed è atto a supportare substrati e/o fette; è previsto un utensile 1 secondo la presente invenzione per introdurre ed estrarre il suscettore 9 nella e dalla camera 7.
La soluzione di utensile secondo la presente invenzione è particolarmente vantaggiosa quando l’apertura 71 ha forma rettangolare e presenta una larghezza compresa tra 100mm e 400mm ed una altezza compresa tra 15mm e 40mm; infatti, l’ingombro verticale della testa (dispositivo di risucchio 2 ed eventualmente dispositivo di stabilizzazione 3) dell’utensile è particolarmente ridotto grazie alla sua conformazione ed al suo montaggio sull’asta di sostegno.
La soluzione di utensile secondo la presente invenzione è particolarmente vantaggiosa per le macchine atte alla deposizione epitassiale, in particolare di carburo di silicio su substrati, con camere del tipo a pareti calde e con sistema di riscaldamento della camera di tipo ad induzione.
La soluzione di utensile secondo la presente invenzione è particolarmente vantaggiosa per le macchine in cui il suscettore è atto a rimanere in posizione orizzontale sia quando è fermo all’interno della camera (ad esempio nella cavità 70) sia quando è fermo all’esterno della camera (ad esempio sul tavolo 8) sia quando è in movimento (ad esempio dal tavolo 8 alla camera 7 e dalla camera 7 al tavolo 8).
La alternativa più semplice e che si è dimostrata comunque assai efficace consiste nel prevedere che il suscettore 9 della macchina abbia forma di disco, che la faccia superiore 91 del suscettore 9 presenti una zona centrale 91 A piana, e che il dispositivo di risucchio 2 dell’utensile 1 contatti il suscettore solo in tale zona centrale 91A.
Tipicamente, il suscettore avrà almeno due posizioni fisse nella macchina secondo la presente invenzione: una all’interno della camera di reazione 7 ed una all’esterno della camera di reazione 7 ad esempio su un tavolo 8; in Fig.10, il tavolo 8 comprende un elemento di supporto 80, un basamento 81 ed un dispositivo di risucchio il cui componente chiave è un condotto di risucchio 82 che sbocca al centro dell’elemento dì supporto 80.
Preferibilmente, la posizione del suscettore 9 sul tavolo 8 è fissa (ma registrabile) rispetto alla camera 7; in tal modo, si può programmare che l’utensile 1 compia sempre il medesimo movimento e si è certi che l’utensile 1 afferri per risucchio il suscettore 9 sostanzialmente sempre nel medesimo punto centrale sia quando è all’interno della camera sia quando è all’esterno delia camera.
Vantaggiosamente, il tavolo 8 è dotato di un dispositivo di risucchio 82 atto a mantenere il suscettore 9 fisso sul tavolo 8 quando viene rilasciato dall’utensile 1.

Claims (30)

  1. RIVENDICAZIONI 1. Utensile (1) per manipolare un suscettore (9) di una macchina per il trattamento di substrati e/o fette, detto suscettore (9) essendo a forma di disco ed atto a supportare substrati e/o fette, caratterizzato dal fatto di comprendere un dispositivo di risucchio (2), detto dispositivo di risucchio (2) essendo atto a venire in contatto con la faccia superiore (91) di detto suscettore (9) in modo da afferrarlo e trattenerlo per risucchio.
  2. 2. Utensile (1 ) secondo la rivendicazione 1 , in cui detto dispositivo di risucchio (2) comprende un corpo rigido (21 ) ed un corpo elastico (22), detto corpo elastico (22) essendo montato su detto corpo rigido (21 ) ed essendo atto a venire in contatto con la faccia superiore (91 ) di detto suscettore (9) in modo da afferrarlo e trattenerlo per risucchio.
  3. 3. Utensile (1) secondo la rivendicazione 2, in cui detto corpo elastico (22) è atto a venire in contatto con una zona centrale (91 A) di detto suscettore (9).
  4. 4. Utensile ( 1) secondo la rivendicazione 3, caratterizzato dal fatto di comprendere un solo dispositivo di risucchio (2).
  5. 5. Utensile (1) secondo la rivendicazione 2 o 3 o 4, in detto corpo elastico (22) è una ventosa (22A) fatta di materiale elastomerico attraverso la quale avviene il risucchio.
  6. 6. Utensile (1 ) secondo la rivendicazione 2 o 3 o 4, in detto corpo elastico (22) è una guarnizione (22B) fatta di materiale elastomerico attraverso la quale avviene il risucchio.
  7. 7. Utensile ( 1 ) secondo la rivendicazione 6, in cui detto corpo rigido (21) presenta un percorso aeraulico (21 1, 212) attraverso il quale avviene il risucchio, detto percorso aeraulico (21 1 , 212) avendo uno sbocco circondato da detta guarnizione (22B).
  8. 8. Utensile (1 ) secondo la rivendicazione 1, caratterizzato dal fatto di comprendere un dispositivo di stabilizzazione (3) atto a venire in contatto con la faccia superiore (91 ) di detto suscettore (9) in modo tale da limitare l’inclinazione e/o le vibrazioni di detto suscettore (9) quando detto suscettore (9) viene manipolato attraverso l' utensile (1).
  9. 9. Utensile (1) secondo la rivendicazione 8, in cui detto dispositivo di risucchio (2) e detto dispositivo di stabilizzazione (3) sono conformati e disposti in modo tale che, in fase di presa di detto suscettore (9), detto suscettore viene in contatto prima con detto dispositivo di risucchio (2) e poi con detto dispositivo di stabilizzazione (3).
  10. 10. Utensile (1) secondo la rivendicazione 8 o 9, in cui detto dispositivo di stabilizzazione (3) comprende una pluralità di bracci (32) atti a venire in contatto con una zona centrale (91 A) o con zone periferiche (91B) di detto suscettore (9).
  11. 1 1. Utensile (1) secondo la rivendicazione 8 o 9, in cui detto dispositivo di stabilizzazione (3) comprende un anello (31 ) atto a venire in contatto con una zona centrale (91 A) o con zone periferiche (91 B) di detto suscettore (9).
  12. 12. Utensile (1) secondo la rivendicazione 10 o 11 , in cui detti bracci (32) o detto anello (31 ) sono fatti di quarzo almeno in corrispondenza delle zone di contatto con detto suscettore (9),
  13. 13. Utensile ( 1) secondo la rivendicazione 1 , caratterizzato dal fatto di comprendere una asta (4), in cui detto dispositivo di risucchio (2) è montato direttamente o indirettamente su detta asta (4), in particolare ad un suo estremo, detta asta (4) essendo disposta lateralmente a detto dispositivo dì risucchio (2),
  14. 14. Utensile (1) secondo la rivendicazione 13, in cui detta asta (4) è rigida oppure pieghevole oppure telescopica,
  15. 15. Utensile ( 1) secondo la rivendicazione 13 o 14, in cui detta asta (4) è atta a rimanere orizzontale in condizione di manipolazione di detto suscettore (9).
  16. 16. Utensile (1 ) secondo la rivendicazione 1 , caratterizzato dal fatto di comprendere un condotto di aspirazione (5) accoppiato da un primo lato a detto dispositivo di risucchio (2) e da un secondo lato ad un sistema di aspirazione.
  17. 17. Utensile (1) secondo la rivendicazione 13 e 16, in cui detto condotto di aspirazione (5) è integrato in detta asta (4).
  18. 18. Utensile (1) secondo la rivendicazione 16 o 17, in cui detto condotto di aspirazione (5) è flessibile.
  19. 19. Utensile (1) secondo la rivendicazione 1, caratterizzato dal fatto di comprendere un meccanismo (6) atto a fare effettuare traslazioni verticali ed orizzontali a detto dispositivo di risucchio (2), in particolare mediante due carrelli.
  20. 20. Utensile (1 ) secondo la rivendicazione 13 e 19, in cui detto meccanismo (6) è atto a fare effettuare traslazioni verticali ed orizzontali a detta asta (4).
  21. 21. Utensile ( 1 ) secondo la rivendicazione 19 o 20, in cui detto meccanismo (6) è azionato manualmente, automaticamente o semiautomaticamente.
  22. 22. Macchina per il trattamento dì substrati e/o fette comprendente una camera di trattamento (7) dotata di una apertura (71) di accesso per introdurre e/o estrarre un suscettore (9) in e/o da detta camera (7), detto suscettore (9) avente forma di disco ed essendo atto a supportare substrati e/o fette, caratterizzata dal fatto di comprendere un utensile (1 ) secondo una o più delle rivendicazioni precedenti.
  23. 23. Macchina secondo la rivendicazione 2, in cui detta apertura (71 ) ha forma rettangolare e presenta una larghezza compresa tra 100mm e 400mm ed una altezza compresa tra 15mm e 40mm .
  24. 24. Macchina secondo la rivendicazione 22 o 23, caratterizzata dal fatto di essere atta alla deposizione epitassiale in particolare di carburo di silìcio su substrati.
  25. 25. Macchina secondo la rivendicazione 22 o 23 o 24, in cui detta camera (7) è del tipo a pareti calde (72).
  26. 26. Macchina secondo una delle rivendicazioni da 22 a 25, caratterizzata dal fatto di comprendere un sistema di riscaldamento di detta camera (7) di tipo ad induzione.
  27. 27. Macchina secondo una delle rivendicazioni da 22 a 26, caratterizzata dal fatto che detto suscettore (9) è atto a rimanere in posizione orizzontale sia quando è fermo all’interno (70) di detta camera (7) sia quando è fermo all’esterno di detta camera (7) sia quando è in movimento.
  28. 28. Macchina secondo una delle rivendicazioni da 22 a 27, in cui la faccia superiore (91) di detto suscettore (9) presenta una zona centrale (91 A) piana ed atta cooperare con il dispositivo di risucchio (2) di detto utensile (1 ) ed in cui vi è contatto con il dispositivo di risucchio (2) di detto utensile (1 ).
  29. 29. Macchina secondo una delle rivendicazioni da 22 a 28, caratterizzata dal fatto di comprendere un tavolo (8) atto a supportare detto suscettore (9) quando è fermo all’esterno di detta camera (7), la posizione di detto suscettore (9) su detto tavolo (8) essendo fissa rispetto a detta camera (7) ma registrabile,
  30. 30. Macchina secondo una delle rivendicazioni da 22 a 29, caratterizzata dal fatto di comprendere un tavolo (8) atto a supportare detto suscettore (9) quando è ferino all’esterno di detta camera (7), detto tavolo (8) essendo dotato di un dispositivo di risucchio (82) atto a mantenere detto suscettore (9) fisso su detto tavolo (8).
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