IT8224630A1 - Dispositivo di rivelazione degli errori di focalizzazione ottica - Google Patents
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Description
DESCRIZIONE
La presente invenzione riguarda un dispositivo ottico di rivelazione degli errori di focalizzazione per determinare deviazioni fra il piamo di formazione della immagine ed un sistema di obiettivo in una apparecchiatura ottica ed una superficie riflettente le radiazioni in detta apparecchiatura su cui deve essere formata un 'immagine, il quale dispositivo di rivelazione,o rivelatore degli errori di focalizzazione comprende una sorgente di radiazioni, il sistema di obiettivo, un sistema astigmatico comprendente due lenti cilindriche gli assi dei cui cilindri sono trasversali l'uno all'altro e disposti nel percorso di un fascio riflesso dalla superficie riflettente, ed un rivelatore sensibile alle radiazioni comprendente quattro subrivelatori.
Un dispositivo di rivelazione degli errori di focalizzazione di questo tipo pu? essere impiegato in un'apparecchiatura per leggere un supporto di registrazione avente una struttura di informazione riflettente le radiazioni leggibile otticamente al fine di mantenere il fascio di lettura focalizzato sulla struttura d'informazione
Un 'apparecchiatura di lettura di questo tipo ? nota, fra l'altro, dal brev tto statunitense n. 4.025.249? Questa ? ad esempio impiegata per leggere un supporto di registrazione su cui ? memorizzato un programma video. La struttura di informazione comprende in tal caso una pluralit? di aree di informazione le quali, nella direzione delle piste, si alternano con aree intermedie. Dette aree possono ad esempio essere disposte lungo una pista a spirale. Le aree di informazione hanno sul fascio di lettura un 'influenza diverga da quella delle aree intermedie. L 'informazione pu? essere codificata nella frequenza delle aree di informazione e/o nel rapporto della lunghezza di dette aree rispetto a quella delle aree intermedie. Alternativamente, l'informazione pu? essere codificata in forma digitale. A parte 1'infomazione video ed audio, il supporto di registrazione pu? contenere informazioni digitali, ad esempio alimentate da un elaboratore e ad un elaboratore.
Per avere un tempo di riproduzione sufficientemente lungo del supporto di registrazione, quando il supporto di registrazione ha dimensioni limitate, i particolari della struttura di informazione devono essere molto piccoli. Ad esempio, se un programma video di 30 minuti ? memorizzato su una facciata di un supporto di registrazione a forma di disco rotondo in un 'area angolare averto un raggio esterno di approssimativamente 1 cm ed un raggio interno di approssimativamente 6 cm, allora le larghezze delle piste saranno approssimativamente di 0,6 micron e la lunghezza media delle aree di informazione sar? dell'ordine di un micron.
Al fine di consentire di leggere tali piccoli particolari, deve essere impiegato un sistema di obiettivo avente una apertura numerica relativamente grande. Tuttavia, la profondit? focale di tale sistema di obiettivo ? piccola. Poich? nell'appare'? chiatura di lettura la distanza fra il piano della struttura d'informazione ed il sistema di obiettivo pu? variare oltre l'intervallo della profondit? focale, devono essere presi provvedimenti per rivelare tali variazioni e per correggere la fecalizzazione in risposta ad esse.
A tal fine, il fascio di lettura ricevuto dal supporto di registrazione pu? essere reso astigmatico ad esempio tramite una lente cilindrica. Fra le linee focali del sistema astigmatico comprendente il sistema di obiettivo e la lente cilindrica pu? essere disposto un rivelatore sensibile alle radiazioni comprendente quattro sub-rivelatori .
Se la posizione del piano della struttura di informazione rispetto al sistema d'obiettivo varia, allora la forma dello spot o "macchia" di immagine formata sul rivelatore composito varier? anch'essa. Tale variazione di forma pu? essere rivelata combinando in maniera appropriata i segnali di uscita dei sub-rivelatori .
Un simile dispositivo rivelatore degli errori di focalizzazione non solo ? adatto per l'impiego in apparecchiature per leggere un supporto di registrazione riflettente le radiazioni ma,in generale, pu? essere impiegato in apparecchiature ottiche in cui ? richiesto di rivelare deviazioni fra la posizione desiderata e quella effettiva della superficie riflettente le radiazioni su cui deve essere formata un'immagine. Esempi di ci? sono i microscopi,le apparec? chiature impiegate nella fabbricazione di circuiti integrati per proiettare una maschera su un substrato e cos? via.
Il dispositivo di rivelazionedegli errori di focalizzazione impiegante una lente cilindrica, fornisce un segnale che non ? ideale per scopi di controllo. La caratteristica rappresentante la variazione del segnale dell'errore di focalizzazione in funzione della deviazione fra il piano desiderato ed effettivo di fecalizzazione ? curva e, in aggiunta.
essa ? asimmetrica attorn o al punto di zero. Tale variazione non-lineare ? provocata dalla diversa convergenza del fascio in due direzioni mutuamente nerpendicolari. La forma asimmetrica delia caratteristica ? provocata dalla posizione non- simmetrica delle immagini della pupilla del sistema d'obiettivo rispetto al piano dei sub-rivelatori . Questa asimmetria ? particolarmente grave se il rivelatore sensibile alle radiazioni ? disposto ad una distanza relativamente grande dal sistema di obiettivo, la quale situazione pu? verificarsi in un'apparecchiatura di scrittura, o lettura in cui solo il sistema di obiettivo ? mobile mentre gli altri elementi ottici della apparecchiatura sono stazionari.
Nel brevetto statunitense n. 4.025.949 ? proposto di migliorare la caratteristica del segnale d'errore di focalizzazione tramite due lenti cilindriche di uguale potenza, gli assi dei cui cilindri sono trasversali l'uno rispetto all'altro, le quali lenti sono disposte in un - - - - - fascio parallelo. Ci? fornisce un fascio avente la medesima convergenza in due piani mutuamente perpendicolari, per cui il segnale dell'errore di focalizzazione varia linearmente attorno al punto di zero. Tuttavia, ora le immagini della pupilla dell'obiettivo sono ancora non simmetrica rispetto al piano del rivelatore per cui il segnale rimane asimmetrico.
Uno scopo della presente invenzione ? quello di fornire un dispositivo di rivelazione degli errori di focalizzazione il quale sia in grado di fornire un segnale il quale sia lineare attorno al punto di zero e che sia simmetrico non solo attorno al punto di zero ma anche oltre tale punto. Il dispositivo secondo la presente invenzione ? caratterizzato dal fatto che le due lenti cilindriche sono disposte in un - - - - fascio non collimato ed hanno poteri diversi, o potenze diverse, in modo tale che le immagini della pupilla del sistema d'obiettivo formato tramite dette lenti sono disposte simmetricamente rispetto al piano del rivelatore, ed ? inoltre caratterizzato dal fatto che il fascio emergente da detti lenti ha la medesima convergenza in due piani mutuamente perpendicolari.
Una prima forma di realizzazione preferita del dispositivo di rivelazione degli errori di focalizzazione ? inoltre caratterizzata dal fatto che le due lenti cilindriche sono disposte in un fascio convergente e sono entrambe lenti negative.
Una seconda forma di realizzazione del dispositivo di rivelazione degli errori di localizzazione ? inoltre caratterizzata dal fatto che le due lenti cilindriche cono disposte in un fascio divergente e sono entrambe lenti positive.
Il dispositivo di rivelazione degli errori di focalizzazione pu? vantaggiosamente essere, impiegato in un'apparecchiatura di lettura oppure in un'apparecchiatura di scrittura/lettura combinata, in cui il rivelatore del dispositivo di rivelazione degli errori di focalizzazione ? disposto ad una grande distanza dal sistema di obiettivo.
L'invenzione sar? ora descritta pi? dettagliatamente, a titolo esemplificativo, tramite la descrizione del suo impiego in un'apparecchiatura di lettura ed in una apparecchiatura di scrittura/ lettura combinata. A tal fine viene fatto riferimento ai disegni nei quali:
la figura 1 illustra un'apparecchiatura di lettura dotata del dispositivo rivelatore degli errori di focalizzazione;
la figura 2 illustra il rivelatore sensibile alle radiazioni impiegato in tale apparecchiatura,
le figure 3a e 3b illustrano la variazione di un fascio di radiazione in un dispositivo rivelatore di errori di focalizzazione noto,comprendente una sola lento cilindrica;
la figura A rappresenta le caratteristiche del segnale dell'errore di focalizzazione di un dispositivo di rivelazione comprendente una sola lente cilindrica;
le figure 5a e 5b rappresentano la variazione di un fascio di radiazione in un dispositivo rivelatore di errori di focalizzazione secondo la invenzione, comprendente due lenti cilindriche,
la figura 6 rappresenta le caratteristiche del segnale dell?errore di focalizzazione alimentato dal presente dispositivo di rivelazione degli errori di focalizzazione e
la figura 7 rappresenta una apparecchiatura di scrittura/lettura combinata comprendente due dispositivi di rivelazione degli errori di focalizzazione, secondo la presente invenzione.
La figura 1 illustra un supporto di registrazione sagomato a disco rotondo 1, in sezione trasversale radiale. La struttura di informazione ? rappresentata dalle piste di informazione 2. Il supporto di registrazione ? illuminato tramite un - fascio di lettura 6 emesso da una sorgente di radiazione 5 che pu? ad esempio comprendere un laser a s, come ad esempio un laser a He-Ne oppure un laser a diodo semiconduttore, come ad esempio un laser di AlGaAs. Un sistema di obiettivo, che, per semplicit?, ? rappresentato da un'unica lente 11, focalizza il raggio di lettura in modo da formare uno "spot o macchia di lettura 12 nel piano delle piste di informazione 2. La lunghezza focale di una lente ausiliare opzionale 9 viene selezionata in modo tale che la pupilla del sistema di obiettivo sia adeguatamente riempita, in conseguenza della qual cosa lo spot di lettura ha le dimensioni limitate dalla diffrazione corrispondenti alla apertura numerica del sistema di obiettivo. Il fascio di lettura viene riflesso dal supporto di registrazione, e, quando il supporto di registrazione ? fatto ruotare tramite il piatto girevole 3 azionato dal motore 4, esso viene modulato in conformit? con l'informazione contenuta in una porzione di pista che deve essere letta.
Un elemento 13 divisoredel fascio riflette il fascio modulato su un rivelatore 15 sensibile alle radiazioni il quale converte questo fascio in un segnale elettrico; l'elemento divisore del fascio pu? comprendere uno specchio semitrasparente ma, alternativamente, pu? essere impiegato un prisma divisore sensibile alle radiazioni. Nel caso citato per ultimo, una piastra 14 a ?/4r ? essendo la lunghezza d'onda del fascio di lettura, ? disposta nel percorso della radiazione.
Al fine di rivelare deviazioni fra il piano di focalizzazione del sistema ai obiettivo ed il piano della struttura di informazione, cio? errori di focalizzazione, un sistema astigmatico 16 ? disposto nel percorso della radiazione dietro il divisore del fascio,ed il rivelatore comprende quattro sub-rivelatori. Questo rivelatore ? rappresentato nella figura 2. Il sistema ottico astigmatico comprendente il sistema di obiettivo 11 ed il sistema 16 forma l'immagine dello spot di Lettura 12 sotto forma di due linee focali astigmatiche 19 e 20, una delle quali, la linea 20, ? disposta nel piano del disegno, mentre la seconda, o linea 19, ? disposta trasversalmente rispetto a tale piano.
Il rivelatore 15 ? disposto in un piano il quale, visto lungo l'asse ottico, ? disposto fra le linee focali 19 e 20. Le linee di separazione 21, 22 fra i subrivelatori A, B, C e D sono disposte con un angolo di 45? rispetto alle linee focali astigmatiche 19 e 20 e le linee 21, 22 sono preferibilmente parallele e perpendicolari rispettivamente alla direzione delle piste in corrispondenza della posizione dello spot di lettura.
La forma dello spot di radiazione 12? formato su rivelatore 15 dipende dal grado di focalizzazione del fascio 6 sulla superficie di informazione. Nel caso di una focalizzazione corretta, lo spot di radiazione e circolare, come ? rappresentato dal cerchio in figura 2. Nel caso di un errore di focalizzazione , lo spot di radiazione 12' avr?,una forma allungata, come ? rappresentato dalle linee tratt eggiate, la direzione longitudinale dello spot dipendendo dal segno dell'errore di focalizzazione. Se i segnali dai subrivelatori sono rappresentati da SA, SB, SC e SD, allora il segnale Sf dell'errore di focalizzazione sar? dato da:
Secondo la presente invenzione, il sistema astigmatico 16 comprende due lenti cilindriche 17 e 18 di potenzediverse ed aventi assi dei cilindri mutuamente perpendicolari. Nella situazione illustrata in figura 1, nella quale le lenti 17 e 18 sono disposte in un fascio convergente, dette lenti sono lenti negative. Se le lenti sono disposte in un fascio divergente, allora devono essere impiegate lenti positive. Nel caso citato per ultimo, in cui un raggio divergente deve essere convertito in un raggio convergente , allora le lenti 17 e 18 dovranno avere una potenza maggiore che non nel caso in cui il fascio ? gi? convergente. Perci?, ? preferita la forma di realizzazione con un fascio convergente 6' e due lenti divergenti di 17 e 18. le lenti cilindriche 17 e 18 hanno potenze tali che le immagini della pupilla del sistema di obiettivo, formato tramite queste lenti, sono simmetriche rispetto al piano del rivelatore 15.
Il vantaggio dell'impiego di due lenti cilindriche pu? essere meglio compreso descrivendo dapprima un dispositivo di rivelazione degli errori di fecalizzazione che comprende solo una lente cilindrica positiva 23, ad esempio, in corrispondenza nella posizione della lente 17 di figura 1. Nelle figure 3a e 3b, ? illustrata la parte del percorso della radiazione dopo la lente 23, la figura 3&, essendo una vista in sezione nel piano del disegno in figura 1 e la figura 3? essendo una vista in sezione in un piano trasversale rispetto al piano del disegno di figura .1. le linee focali astigmatiche sono indicate da 24 a 25 e la posizione del rivelatore ? indicata da P15.
Poich? la lente 23 ha un'azione di lente solo in un piano, che ? il piano del disegno della figura 3b, 1? convergenza del fascio nelle due sezioni trasversali non ? la medesima. In conseguenza di ci?, il segnale dell'errore di focalizzazione varier? in modo non lineare attorno al punto zero. La figura 4 illustra la variazione di questo segnale S^.in funzione dell'errore di focalizzazione ?f Oltre ad essere curvo attorno al punt? di zero, il segnale Sf ? asimmetrico. E* cos? poich? le immagini della pupilla del sistema di obiettivo nei due piani di sezione rappresentati nelle figure e 3b non sono simmetriche rispetto al piano P15 del rivelatore. Dette immagini della pupilla sono situate in corrispondenza delle oosizioni PV e PH Un segnale Sf avente la caratteristica rappresentata in figura 4 non ? molto vantaggioso per il servosistema tramite il quale deve essere corretta la focalizzazione. La focalizzazione pu? essere ad esempio corretta spostando il sistema di obiettivo.
Il disporre due lenti cilindriche in un fascio convergente o divergente, secondo l'invenzione, fornisce un primo parametro variabile, ossia la posizione di queste lenti rispetto al sistema di obiettivo. Un secondo parametro variabile ? quindi la potenza delle lenti cilindriche. Una scelta adatta di questi due parametri d? luogo a convergenze uguali nelle lue sezioni trasversali del fascio e nelle immagini della pupilla che sono disposte simmetricamente rispetto al piano del rivelatore. In conseguenza di ci?, il segnalo Sf varier? linearmente attorno al punto di zero ed il segnale sar? simmetrico non solo attorno al punto di zero ma anche oltre il punto di zero, come ? rappresentato nella figura 6.
Se le due lenti cilindriche sono disposte in un fascio parallelo, come ? proposto nel "brevetto statunitense n; 4?.025.949, allora le posizioni di queste lenti non influenzano il percorso della radiazione. Ci? consente di ottenere solo convergenze uguali nelle due sezioni trasversali del raggio, ossia tramite l?impiego di lenti cilindriche di potenza uguale.
Le figure 5a e 5b rappresentano il percorso radiazione in un dispositivo di rivelazione di errori di focalizzazione secondo la presente invenzione. Le due lenti cilindriche, negative , sono indicate da 17 e 18. In assenza di queste lenti, il fascio 6 * sar? focalizzato nel punto 121 e la pupilla del sistema d ? obiettivo former? immagine in corrispondenza della posizione P . Quando le lenti cilindriche 17 e 18 sono presenti, vengono formate due linee focali astigmatiche 19 e 20. La lente cilindrica 1? forma 1 ? immagine della pupilla del sistema. d 'obiettivo nel piano P , che ? disposto ad una distanza relativamente grande dal piano P15 del rivelatore. La lente cilind rica 18 , che ? pi? negativa della lente 17 forma l ' immagine della pupilla in un piano P il quale ? disposto a sinistra del piano
P15 del rivelatore , ossia ad una distanza da questo oiano uguale a P ? Il numero 27 indica una lente convergente che ? disposta nel percorso della radiazione, se il raggio emergente dal sistema di obiettivo ? un raggio collimato.
In una forma di realizzazione pratica
del dispositivo rivelatore errori di focalizzazione rappresentato nelle figure 5a e 5b, usato
in un'apparecchiatura per leggere un supporto di registrazione ottica, la lunghezza focale dell'obiettivo 17 era di approssimativamente -80 mm, quella della lente 18 era di approssimativamente -25mm, e quella della lente 27 era di approssimativamente 100 mm. La distanza fra le lenti 27 e 17 era di approssimativamente 51 mm e quella fra le lenti 17 e 18 era di approssimativamente 33 mm. La distanza fra P15 e la lente 18 era di approssimativamente 64 mm.
L'invenzione non solo pu? essere impiegata in un?apparecchiatura per leggere un supporto di registrazione scritto ma anche in un 'appar cchiatura per scrivere su un supporto di registrazione, ed in una apparecchiatura di scrittura e
lettura combinata. La figura 7 rappresenta schematicamente una forma di realizzazione dell'apparecchiatura citata per ultimo. In questa apparecchiatura due spot di radiazione sono formati sulla superficie di informazione che, visti nella direzione delle piste 2 sono disposti ad una breve distanza l'uno dall'altro, ad esempio di 10 micron. L'apparecchiatura comprende una prima sorgente di radiazione 5 sotto forma di un laser a diodo, il quale produce un fascio di lettura 6, Il laser a diodo forma parte di una.cosiddetta penna luminosa 30, la quale comprende inoltre un obiettivo collimatore 31 che rende il fascio parallelo, ed una lente cilindrica 32 per correggere l'astigmatismo del fascio del laser a diodo. Nel percorso del fascio parallelo 6, ? disposto un prisma composito 33? il quale prisma comprende un primo divisore neutro 34 del fascio ed un secondo divisore 36 del fascio sensibile alla polarizzazione.
Il prisma 34 riflette una parte del fascio 6 verso un prisma riflettente 37 che riflette il fascio verso il sistema di obiettivo 11 che focalizza il fascio in modo da formare uno spot di lettura nel piano di inforazione, La direzione di polarizzazione del fascio 6 viene scelta in modo tale che il fascio venga trasmesso tramite il prisma 36 sensibile alla polarizzazione. Vantaggiosamente, il sistema di obiettivo 11 ed il prisma 37 sono disposti su un elemento a slitta, mobile radialmente 3??, mentre gli altri elementi sono stazionari. Gli elementi citati per ultimi possono essere disposti ad una distanza relativamente grande dal sistema di obiettivo.
Una seconda penna luminosa 30?, che comprende un laser a diodo 5?, un obiettivo collimatore 31? ed una lente cilindrica 32", produce un raggio di scrittura collimato 6?. La direzione di polarizzazione di questo raggio ? tale che esso viene pressoch? completamente riflesso dal prisma 36. Detto raggio segue quindi il medesimo percorso del raggio di lettura 6. Oltre ad essere impiegato per l'effettivo processo di scrittura, il fascio di scrittura 61 pu? essere impiegato per leggere servoinformazioni contenute in servopiste preregistrate, al fine di consentire la correzione della posizione dello spot di radiazione nella direzione radiale e tangenziale.
Il fascio di scrittura ed il fascio di lettura riflessi dal supporto di registrazione dovranno essere incidenti su rivelatori separati
15' e 15 in molo tale che la radiazione del fascio di scrittura e del fascio di lettura, rispettivamente, non abbia a raggiungere il rivelatore
35 ed il rivelatore 15'? rispettivamente. Per questo scopo,vengono impiegati fasci di direzioni di polarizzazione diveree ed elementi sensibili alla polarizzazione nel percorso della radiazione. Al fine di ridurre qualsiasi ''diafonia" residua viene fatto impiego di laser a diodi aventi lunghezze d'onda diverse, ad esempio 840 mm per il laser di scrittura e 780 nm per il laser di lettura, mentre i filtri 46 e 46' selettivi nei confronti delle lunghezze d'onda, sono disposti prima dei rivelatori 15 e 15'.
Nel percorso della radiazione ? disposta una lamina 39 a X/4 molto sensibile, la quale
lamina fa ruotare la direzione di polarizzazione
del solo fascio di scrittura 6'. Questa lamina ? attraversata due volte, in modo tale che la direzione di polarizzazione del fascio 6'venga fatta ruotare di 90? in totale in conseguenza della qual cosa
il fascio di scritturar?flesso dal supporto di registrazione viene trasmesso mediante il prima 36.
Dopo aver oltrepassato il prisma composito 33, i
fasci 6 e 6' che hanno la medesima direzione di polarizzazione , incidono cu un secondo prisma composito 41 il quale comprende un divisore del fascio 44 ? sensibile alla polarizzazione od un prisma riflettente 4P. Una lamina 40 a ?/2 molto selettiva ? disposta prima del prisma composito 41? tale lamina facendo solo ruotare la direzione di polarizzazione del fascio di scrittura 6', di 90?. Il prisma 44 riflette questo fascio verso il rivelatore 15*. Il fascio, di lettura b viene trasmesso tramite il prisma 44 ed ? successivamente riflesso verso il rivelatore mediante il prisma 42.
Nel percorso del fascio 6 ? disposta una lente convergente 45? la quale lente converte il fascio parallelo in un fascio convergente. Al fine di ottenere un segnale dell'errore di focalizzazione ? ? previsto , secondo la presente invenzione, un sistema di lenti astigmatico 16 comprendente due lenti cilindriche piano-concave 17 e 18 di potenza diversa ed aventi assi dei cilindri mutuamente perpendicolari, il rivelatore 15 comprende quattro sub-rivelatori, come ? rappresentato nella figura 2. Questi rivelatori, oltre ad essere impiegati per la rivelazione dell'errore di focalizzazione sono pure impiegati per leggere l'informazione registrata e per rivelare errori di "tracciatura".
Vantaggiosamente , una lente convergente 45' e due lenti cilindriche piano-concave 17' e lf? 1 sono disposte nel percorso del fascio di scrittura b' riflesso dal prisma 44, ed il rivelatore 15' comprende quattro subrivelatori. Questi rivelatori sono impiegati per leggere un segnale di orologio contenuto in servopiste preregistrate, per rivelare errori di tracciatura dello spot di scrittura e per rivelare errori di focalizzazione del raggio di scrittura? Ci? consente di correggere una differenza nei fuochi del fascio di scrittura e del fascio di lettura.
Come risulter? evidente da quanto precede, il dispositivo rivelatore degli errori di focalizzazione non utilizza propriet? speciali della struttura di informazione, del supporto di registrazione o della apparecchiatura di scrittura e/o lettura. L'unico requisito ? che la superficie di informazione sia riflettente. Perci?, l'invenzione pu? essere impiegata in varie apparecchiature in cui su una superficie riflettente deve essere formulato uno spot di radiazione. Esempi di ci? sono un microscopio a scansione ed un ?apparecchiatura per proiettare configurazioni a maschera su un substrato, per la fabbricazione di circuiti integrati e cos? via
Claims (5)
1. Disponitivo ottico rivelatore di errori di focalizzazione per determinare deviazioni fra il piano di formazione dell'im agine di un sistema di obiettivo in un 'apparecchiatura ottica od una superficie riflettente la radiazione in detta apparecchiatura, sulla quale superficie deve essere formata un 'immagine, detto dispositivo rivelatore di errori di focalizzazione comprendendo una sorgente di radiazioni, il sistema di obiettivo, un sistema astigmatico comprendente due lenti cilindriche gli assi dei cui cilindri sono trasversali l'uno all'altro e disposti nel percorso di un raggio riflesso dalla superficie riflettente, ed un rivelatore sensibile alle radiazioni comprendente quattro sub?rivelatori, caratterizzato dal fatto che le due lenti cilindriche sono disposte in un fascio non collimato ed hanno poteri di lenti diversi, in modo tale che le immagini della pupilla del sistema di obiettivo formato da dette lentisiano disposte simmetricamente rispetto al piano del rivelatore e dal fatto che il fascio emergente da dette lenti ha la medesima convergenza in due piani mutuamente perpendicolari .
2. Complesso ottico di rivelazione di errori di focalizzazione secondo la rivendicazione 1 caratterizzato dal fatto che le due lenti cilindriche sono disposte in un raggio convergente e sono entrambe lenti negative.
3. Complesso ottico di rivelazione di errori di focalizzazione secondo la rivendicazione 1, caratterizzato dal fatto che le due lenti cilindriche sono disposte in un fascio divergente e sono entrambe lenti positive.
4. Apparecchiatura per leggere un supporto di registrazione avente una struttura di informazione riflettente la radiazione leggibile otticamente, la quale apparecchiatura comprende una sorgente di radiazione producente un fascio di lettura, un sistema di obiettivo di lettura ed un rivelatore di informazioni sensibile alla radiazione, caratterizzata dal fatto che l'apparecchiatura comprende un dispositivo di rivelazione di errori di focalizzazione secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti e dal fatto che il rivelatore sensibile alle radiazioni di detto dispositivo costituisce pure il rivelatore di informazioni.
5. Apparecchiatura per registrare e leggere informazioni in un supporto di registrazione, detta apparecchiatura comprendendo una prima sorgente di radiazione ed una seconda sorgente di radiazione, che producono un fascio di scrittura
ed un fascio di lettura, rispettivamente , caratterizzata dal fatto che in ciascuno dei percorsi
del fascio di scrittura e del fascio di lettura u? scente dal supporto di registrazione, detti fasci essendo separati l?uno dall' altro, ? disposto un dispositivo ottico rivelatore di errori di focalizzazione secondo le rivendicazioni ?, 2 oppure 3.
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