IT201600118584A1

IT201600118584A1 - Dispositivo microfluidico per la spruzzatura di gocce di liquidi di piccole dimensioni

Info

Publication number: IT201600118584A1
Application number: IT102016000118584A
Authority: IT
Inventors: Domenico Giusti; Andrea Nicola Colecchia; Claudio Crippa
Original assignee: St Microelectronics Srl
Priority date: 2016-11-23
Filing date: 2016-11-23
Publication date: 2018-05-23
Also published as: CN108081756A; CN108081756B; US20180141074A1; US20210346906A1; CN207388630U; US11117156B2

Description

“DISPOSITIVO MICROFLUIDICO PER LA SPRUZZATURA DI GOCCE DI LIQUIDI DI PICCOLE DIMENSIONI”

La presente invenzione è relativa ad un dispositivo microfluidico per la spruzzatura di gocce di liquidi di piccole dimensioni. In particolare, l'invenzione si applica alla spruzzatura di liquidi di composizione non ben nota tramite nebulizzatore per la generazione di goccioline di dimensioni molto piccole.

Come noto, per la spruzzatura di inchiostri e/o aromi, per esempio profumi, è stato proposto l'uso di dispositivi microfluidici di piccole dimensioni, realizzabili con le tecniche di fabbricazione microelettronica.

Ad esempio, il brevetto statunitense US 9.174.445 descrive un dispositivo microfluidico adatto per la spruzzatura termica di inchiostro su carta.

La Fig. 1 mostra una cella 11 di un dispositivo microfluidico 10 per la spruzzatura termica di inchiostri e aromi, analogo a quanto descritto nel brevetto succitato.

La cella 11 mostrata in figura 1 comprende una camera di contenimento fluido 19 realizzata all’interno di uno strato di camere 12 ed delimitata inferiormente da uno strato sottile 13, di materiale dielettrico, e superiormente da una piastra per ugelli 14.

Un ugello 15 è realizzato attraverso la piastra per ugelli 14 e ha una prima porzione 15A, rivolta verso la camera di contenimento fluido 19, e una seconda porzione 15B, rivolta in direzione opposta (verso l'esterno del dispositivo microfluidico 10). La prima porzione 15A è significativamente più ampia della seconda porzione 15B. Un riscaldatore 20 è realizzato all’interno dello strato sottile 13, in posizione adiacente alla camera di contenimento fluido 19 e allineato verticalmente all’ugello 15. Il riscaldatore 20 può avere un'area di approssimativamente 40×40 µm<2>e generare ad esempio 3,5 µJ di energia, ed è in grado di raggiungere una temperatura massima di 450°C in 2 µs.

La camera di contenimento fluido 19 è dotata inoltre di un accesso fluidico 21 che permette l'ingresso e il trasporto del liquido all’interno della camera di contenimento fluido 19, come indicato da una freccia L. Nell’accesso fluidico 21 può essere formata una pluralità di colonne, non visibili in figura 1, aventi la funzione di impedire a particelle voluminose di bloccare l’accesso fluidico 21.

Il dispositivo microfluidico 10 può comprendere una pluralità di celle 11 collegate, tramite gli accessi fluidici 21, ad un sistema di alimentazione liquido non mostrato.

Nelle Fig. 2A-2E è illustrato schematicamente il funzionamento della cella 11. Il liquido L giunge nella camera di contenimento fluido 19 passando attraverso l’accesso fluidico 21, Fig. 2A, formando uno strato di liquido 16 di ad esempio 0,3 µm di spessore. Il riscaldatore 20 scalda lo strato di liquido 16 fino ad una temperatura prefissata, Fig. 2B. Tale temperatura viene scelta, in base al liquido utilizzato, in modo esso raggiunga istantaneamente l’ebollizione, ad esempio ad una temperatura prossima a 300°C. In questa situazione, la pressione cresce ad un livello elevato, ad esempio circa 5 atmosfere, formando una bolla di vapore 17, che scompare dopo qualche microsecondo, ad esempio 10-15 µs. La pressione così generata spinge una goccia di liquido 18 attraverso l’ugello 15, come mostrato nelle Figg. 2C-2D, dopo di che lo strato di liquido 16 torna nella condizione iniziale, Fig. 2E.

Un altro tipo di dispositivo microfluidico adatto per la spruzzatura termica di fluidi si basa sul principio piezoelettrico. Un esempio di realizzazione di un dispositivo microfluidico 30 di questo tipo è descritto ad esempio in US 2014/0313264 ed è mostrato in figura 3.

Il dispositivo microfluidico 30 di figura 3 comprende una porzione inferiore, una porzione intermedia ed una porzione superiore, reciprocamente sovrapposte e incollate "bonded") reciprocamente.

La porzione inferiore è costituita da una prima regione 32, di materiale semiconduttore, presentante un canale di ingresso 40.

La porzione intermedia è formata da una seconda regione 33, di materiale semiconduttore, che delimita lateralmente una camera di contenimento fluido 31. La camera di contenimento fluido 31 è inoltre delimitata inferiormente dalla prima regione 32 e superiormente da uno strato di membrana 34, ad esempio di ossido di silicio. La zona dello strato di membrana 34 al di sopra della camera di contenimento fluido 31 forma una membrana 37. Lo strato di membrana 34 è realizzato di spessore tale da potersi deflettere, ad esempio di circa a 2,5 µm.

La porzione superiore è formata da una terza regione 38, di materiale semiconduttore, che delimita una camera attuatore 35, sovrapposta alla camera di contenimento fluido 31. La terza regione 38 presenta un canale passante 41, in comunicazione con la camera di contenimento fluido 31 attraverso una corrispondente apertura 42 nello strato di membrana 34.

Un attuatore piezoelettrico 39 è disposto al di sopra della membrana 37, nella camera attuatore 35. L'attuatore piezoelettrico 39 è costituito da una coppia di elettrodi 43, 44, reciprocamente sovrapposti, fra i quali si estende uno strato di materiale piezoelettrico 29, ad esempio PZT (Pb, Zr, TiO3).

Una piastra ugelli 36 è disposta al di sopra della terza regione 38, incollata ("bonded") a questa tramite uno strato di incollaggio 47. La piastra ugelli 36 è dotata di un foro 48, disposto al di sopra e collegato fluidicamente con il canale 41 attraverso un'apertura 46 nello strato di incollaggio 47. Il foro 48 costituisce un ugello di un canale di emissione goccia, indicato complessivamente con 49 e comprendente anche il canale passante 41 e le aperture 42, 46.

In uso, la camera di contenimento fluido 31 viene riempita di un fluido o liquido da eiettare attraverso il canale di ingresso 40. Quindi, in una prima fase, l'attuatore piezoelettrico 39 viene comandato in modo tale da provocare una deflessione della membrana 37 verso l’interno della camera di contenimento fluido 31. Tale deflessione causa un movimento del fluido presente nella camera di contenimento fluido 31 verso il canale di emissione goccia 49, e genera l’espulsione controllata di una goccia, come rappresentato dalla freccia 45. In una seconda fase, l'attuatore piezoelettrico 39 viene comandato in direzione opposta, in modo da aumentare il volume della camera di contenimento fluido 31, richiamando ulteriore fluido attraverso il canale di ingresso di ingresso 40.

In entrambi i casi (attuazione di tipo termico e piezoelettrico), i dispositivi microfluidici attuali riescono a generare gocce di dimensioni medio-grandi, che superano di molto le dimensioni desiderate per l'uso come nebulizzatori.

Ad esempio, le testine di stampa attuali ad elevata densità (fino a 1200 dpi) producono gocce di dimensione minima 2 picolitri (2·10<-15>m<3>), che corrispondono ad gocce sferiche di diametro di circa 7,8 µm. Attualmente, con le attuali tecnologie, è possibile realizzare ugelli con dimensioni minime di circa 6 µm. Per i nebulizzatori, d'altra parte, è desiderato generare gocce di diametro inferiore, fino a 1 µm, corrispondenti ad un volume di circa 0,0045 picolitri (4,5 10<-18>m<3>). Per fare ciò, sarebbe necessario avere ugelli di diametro sublitografico, ovvero di dimensioni molto inferiori rispetto a quanto ottenibili con l'attuale tecnologia di fotolitografica utilizzata nella lavorazione dei semiconduttori.

Scopo della presente invenzione è realizzare un dispositivo microfluidico in grado di emettere gocce di dimensioni molto piccole.

Secondo la presente invenzione vengono realizzati un dispositivo microfluidico, come definito nelle rivendicazioni allegate.

Per una migliore comprensione della presente invenzione ne vengono ora descritte forme di realizzazione preferite, a puro titolo di esempio non limitativo, con riferimento ai disegni allegati, nei quali:

- la figura 1 è una sezione trasversale prospettica di una camera di un dispositivo microfluidico di tipo termico noto;

- le figure 2A-2E illustrano il funzionamento di della camera di Fig. 1;

- la figura 3 è una sezione trasversale di una camera di un dispositivo microfluidico di tipo piezoelettrico noto;

- la figura 4 è una vista dall'alto semplificata, con parti in trasparenza, della camera del dispositivo microfluidico di tipo termico di figura 1;

- la figura 5 è una vista dall'alto semplificata, con parti in trasparenza, di una forma di realizzazione del presente dispositivo microfluidico di tipo termico;

- la figura 6 è una sezione trasversale prospettica, presa lungo il piano di traccia VI-VI di figura 5, di una cella del dispositivo microfluidico di figura 5;

- la figura 7 è una sezione trasversale della camera di figura 5, presa lungo il piano di traccia VII-VII; - la figura 8 è una sezione trasversale della camera di figura 5, presa lungo il piano di traccia VIII-VIII;

- la figura 9 mostra schematicamente in prospettiva la generazione di una goccia nella cella nota di figura 1;

- la figura 10 mostra schematicamente in prospettiva la generazione di una goccia nella cella di figura 5;

- la figura 11 è una vista dall'alto semplificata di una porzione di una forma di realizzazione del presente dispositivo, comprendente una pluralità di celle;

- le figure 12A-12D sono viste dall'alto semplificate di varianti della camera di figura 5; e

- le figure 13A e 13B sono sezioni trasversali, analoghe alla figura 3, di una parte di cella di una diversa forma di realizzazione del presente dispositivo microfluidico, con attuazione di tipo piezoelettrico.

Il presente dispositivo si basa sul principio di realizzare una porzione del canale di emissione di gocce avente sezione efficace di area minore rispetto alla sezione del resto del canale di emissione goccia. Ciò viene ottenuto realizzando una parte del canale di emissione goccia (ad esempio l'ugello) in posizione parzialmente sfalsata rispetto al resto del canale di emissione goccia, sopra- o sottostante. In pratica, nel presente dispositivo, l'area dell'ugello e l'area del resto del canale di emissione goccia presentano una intersezione non nulla di area minore rispetto all'area dell'intero ugello. In questo modo è possibile ottenere una strozzatura nel canale di emissione goccia, ovvero un'area utile di emissione gocce inferiore rispetto alle dimensioni raggiungibili con le tecniche di fabbricazione esistenti o future.

Tale principio è evidenziato confrontando le figure 4 e 5, mostrati rispettivamente, in modo semplificato, la posizione dell'ugello rispetto alla camera di contenimento fluido nel caso di dispositivo microfluidico con generazione termica noto e secondo una forma di realizzazione del presente dispositivo.

Nella figura 4, rappresentante in modo semplificato la cella 11 di figura 1, e quindi utilizzante gli stessi numeri di riferimento, l'ugello 15 è disposto in posizione sostanzialmente centrata al di sopra della camera di contenimento fluido 19 e del riscaldatore 20.

La figura 5 mostra in modo semplificato una cella 51 di un dispositivo microfluidico 50. La cella 51 è formata in un corpo 100 di dimensioni micrometriche e comprende una camera di contenimento fluido 52, un ingresso fluidico 66 collegato ad un canale di alimentazione fluido 67, un riscaldatore 53 e un canale di emissione goccia, qui formato da un ugello 54. L'ugello 54 è disposto sfalsato rispetto alla camera di contenimento fluido 52 e precisamente la sua sezione (area di base) non è più compresa all'interno dell'area della camera di contenimento fluido 52, ma esiste una zona di intersezione fra le due aree, indicata con 57 e tratteggiata in figura 5, di dimensioni inferiori rispetto all'area dell'ugello 54.

La cella 51 può essere realizzata come mostrato nelle figure 6-8. Qui, il dispositivo 50 è formato da un substrato 60, ad esempio di materiale semiconduttore, coperto da uno strato isolante 61, ad esempio di ossido di silicio. Al di sopra dello strato isolante 61 si estende uno strato camere 63, ad esempio di materiale polimerico quale dry film.

Nella cella 51, un riscaldatore 53 è formato all'interno dello strato isolante 61 e forma un attuatore; la camera di contenimento fluido 52 è formata all'interno dello strato camere 63, al di sopra del riscaldatore 62, affacciata allo strato isolante 61. La camera di contenimento fluido 52 ha qui forma parallelepipeda a base approssimativamente rettangolare, parallela ad un piano XY di un sistema di assi cartesiano XYZ, con altezza (in direzione Z) inferiore rispetto allo spessore dello strato camere 63. La camera di contenimento fluido 52 è delimitata lateralmente da pareti 65 definenti una superficie laterale della camera di contenimento fluido 52. L'accesso fluidico 66, formato nello strato camere 63, collega la camera di contenimento fluido 52 con un canale di alimentazione fluido 67, rappresentato schematicamente in figura 5 e visibile nella sezione di figura 7. L'accesso fluidico 66 può avere la forma mostrata schematicamente in figura 5, con una prima porzione 66A, più larga, contigua al canale di alimentazione fluido 67, ed una seconda porzione 66B, più stretta, contigua alla camera di contenimento fluido 52. Nella prima porzione 66A possono essere presenti colonne non mostrate, per impedire a particelle voluminose di bloccare l’accesso fluidico 66.

L'ugello 54, qui di forma cilindrica a base circolare, è formato nella parte superiore dello strato camere 63 ed è disposto in corrispondenza di uno spigolo della camera di contenimento fluido 52, in modo che una porzione della superficie delle pareti 65 si estenda attraverso la sua area di base. In particolare, l'intersezione 54 ha qui area pari a circa un quarto dell'area di base dell'ugello 54.

La cella 51 può essere fabbricata formando inizialmente, sul substrato 60, una struttura sacrificale di forma corrispondente a quella della camera di contenimento fluido 52, dell'accesso fluidico 66 e del canale di alimentazione fluido 67, poi depositando del materiale polimerico che va a costituire lo strato camere 63. In particolare, lo strato camere 63 può essere realizzato usando tecniche di laminazione e di reflow, in modo noto nella tecnica dei microiniettori. In seguito, lo strato camere 63 viene forato, tramite attacco selettivo e usando comuni tecniche fotolitografiche, per realizzare l'ugello 54.

In alternativa, lo strato camere 63 può essere stampato separatamente e incollato sopra allo strato isolante 61, oppure realizzato in una struttura di silicio scavato, incollata allo strato isolante 61. Secondo una diversa forma di realizzazione, lo strato camere 63 può essere formato da due strati o regioni separate, reciprocamente incollati.

L'intersezione 54 fa sì che l'area utile dell'ugello 54 si riduca rispetto alle sue dimensioni fisiche, ottenibili con gli attuali processi di definizione litografica, e consente di ottenere gocce di dimensioni inferiori rispetto a dispositivi microfabbricati usando la stesse tecnologia, come mostrato anche nelle simulazioni delle figure 9 e 10, mostranti rispettivamente la generazione di una goccia di uno stesso fluido con la cella 11 di figura 4 e con la cella 51 di figura 5.

La camera di contenimento fluido 52 può fare parte di una schiera di camere di generazione gocce 52 disposte affiancate e collegate ad uno stesso canale di alimentazione fluido 67, come mostrato in figura 11, formando un nebulizzatore 70.

L'ugello 54 e la camera di contenimento fluido 52 possono avere diverse forme e disposizioni reciproche. Ad esempio, la camera di contenimento fluido 52 può avere forma cilindrica o poliedrica a piacere, di forma regolare o irregolare, con l'ugello disposto in modo da intersecare (in vista dall'alto) la circonferenza o perimetro della base. Inoltre, possono essere previsti più ugelli per ogni camera di contenimento fluido.

Ad esempio, la figura 12A mostra una cella 51A formata in un corpo 150 di dimensioni micrometriche ed avente una camera di contenimento fluido 52A a base quadrata, su ciascuno spigolo della quale è disposto un ugello 54<1>-54<4>. In questo modo, l'intersezione 57 fra ciascun ugello 54<1>-54<4>e la camera di contenimento fluido 52A ha area inferiore rispetto al rispettivo ugello 54<1>-54<4>, che quindi emette una goccia di dimensioni ridotte, ma complessivamente le quattro intersezioni presentano area all'incirca pari a quella di una cella 11 nota, migliorando così la densità delle gocce emesse da ciascuna camera di contenimento fluido 52A.

La figura 12B mostra una cella 51B avente una camera di contenimento fluido 52B a base anche qui quadrata, con protuberanze 80 estendentisi da ciascuno spigolo del quadrato in direzione delle diagonali. Nella cella 51B di figura 12B sono presenti quattro ugelli 54<1>-54<4>, sovrapposti parzialmente alle protuberanze 80. Gli ugelli 54<1>-54<4>possono avere diametro maggiore rispetto alla larghezza delle protuberanze 80, dato che queste possono essere realizzate di dimensioni inferiori rispetto a quelle degli ugelli, in considerazione delle diverse tecniche di fabbricazione.

La figura 12C mostra una cella 51C avente una camera di contenimento fluido 52C a forma a stella dotata di cinque punte al di sopra di ciascuna delle quali è formato un rispettivo ugello 54<1>-54<5>.

La figura 12D mostra una cella 51D avente una camera di contenimento fluido 52D di forma triangolare dotata di tre vertici al di sopra dei quali sono formati ugelli 54<1>-54<3>.

Anche nelle celle 51B-51D quindi si ottiene una riduzione del volume delle gocce emesse, senza penalizzare eccessivamente la densità di liquido emesso.

La figura 13A mostra una porzione di una cella 99 di un dispositivo microfluidico 90 di tipo piezoelettrico. Il dispositivo microfluidico 90 ha la struttura di base del dispositivo microfluidico 30 di figura 3 e quindi è stato rappresentato solo in parte, usando gli stessi numeri di riferimento, e si differenzia da quest'ultimo di figura 3 per la configurazione del canale di emissione goccia, qui indicato con 91. In dettaglio, nel dispositivo microfluidico 90, il canale di emissione goccia 91 comprende, oltre al canale passante 41, alle aperture 42, 46 e al foro 48 nella piastra ugelli 36 (questi ultimi, in seguito indicati come primo foro 48 e prima piastra 36), un secondo foro 92. Il secondo foro 92 è disposto parzialmente sfalsato rispetto al primo foro 48 in modo da definire una intersezione di area inferiore a quella dei fori 48, 92 stessi, analogamente a quanto discusso per l'intersezione 57 di figura 5. Il secondo foro 92 è qui formato in una seconda piastra ugelli 93 incollata alla piastra ugelli 36 (in seguito indicata come prima piastra ugelli 36) e l'ugello di emissione goccia, qui indicato con 95, è formato dai due fori 48, 92. In questo modo, l'ugello di emissione goccia 95 è formato da due porzioni di canale parzialmente disallineate, riducendo la sezione di uscita della goccia di liquido espulso dalla camera 31 per effetto della deflessione della membrana 37, analogamente alla cella di generazione gocce 52 di figura 5.

La figura 13B mostra un dispositivo microfluidico 96 di tipo piezoelettrico simile al dispositivo microfluidico 90 di figura 13A. Diversamente da questo, il dispositivo microfluidico 96 ha una singola piastra ugelli (qui indicata con 43'). Il canale di emissione goccia, qui indicato con 91', ha un ugello 97 costituito da un foro 48' nella piastra ugelli 43' e sfalsato rispetto al canale passante 41 nella terza regione 38. In questo modo, l'ugello 97 ha sezione effettiva di dimensioni ridotte, analogamente al dispositivo microfluidico 90 di figura 13A.

Risulta infine chiaro che al dispositivo microfluidico qui descritto ed illustrato possono essere apportate modifiche e varianti senza per questo uscire dall’ambito protettivo della presente invenzione, come definito nelle rivendicazioni allegate. Ad esempio, le diverse forme di realizzazione descritte possono essere combinate in modo da fornire ulteriori soluzioni.

Inoltre, la forma della base dell'ugello può essere differente rispetto a quanto mostrato, ad esempio essere ovale o poligonale.

Nel dispositivo microfluidico con attuazione piezoelettrica, la riduzione della sezione utile potrebbe essere realizzata a livello della imboccatura di ingresso del canale passante 41, sfalsando opportunamente l'imbocco del canale 41 rispetto alla camera di contenimento fluido 31.

Inoltre, anche nel dispositivo microfluidico con attuazione piezoelettrica la camera di contenimento fluido 35 può avere forma qualsiasi, ad esempio forma poliedrica avente base presentante vertici, punte o porzioni sporgenti. Anche in questo caso, il percorso fluidico può comprendere una pluralità di ugelli che si sovrappongono parzialmente a tali vertici, punte o porzioni sporgenti, in modo da formare intersezioni di area ridotta.

Anche per il dispositivo microfluidico con attuazione piezoelettrica, è possibile disporre fra loro affiancate una pluralità di celle del tipo mostrato nelle figure 13A e 13B, aventi canali di ingresso 40 collegati ad un canale di alimentazione comune, per la realizzazione di un nebulizzatore.

Inoltre, in tutti i dispositivi microfluidici, la camera di contenimento fluido può avere forma cilindrica con base circolare o ovale, e l'ugello o gli ugelli essere disposti a cavallo della circonferenza della base circolare o ovale.

Claims

RIVENDICAZIONI 1. Dispositivo microfluidico (50; 90; 95) comprendente: un corpo (100; 150), il corpo alloggiando: una camera di contenimento fluido (52; 31); un canale di accesso fluidico (66; 40), in collegamento fluidico con la camera di contenimento fluido; un canale di emissione gocce (54; 95; 97), configurato per realizzare un percorso fluidico fra la camera di contenimento fluido (52; 31) e l'esterno del corpo (100; 150), il canale di emissione gocce comprendendo un ugello (54; 48, 92; 48') formante una sezione di uscita avente una prima area; un attuatore (53; 37), operativamente accoppiato alla camera di contenimento fluido (52; 31) e configurato per causare una eiezione di gocce di fluido attraverso il canale di emissione gocce (54; 95; 97) in una condizione operativa del dispositivo microfluidico; in cui il canale di emissione gocce comprende una porzione di sezione ridotta avente area minore rispetto alla prima area.
2. Dispositivo microfluidico secondo la rivendicazione 1, in cui il canale di emissione gocce (54; 95; 97) comprende una porzione sfalsata lateralmente rispetto ad una porzione rimanente del percorso fluidico e un'intersezione (57) fra la porzione sfalsata e la porzione rimanente del percorso fluidico forma la porzione di sezione ridotta.
3. Dispositivo microfluidico secondo la rivendicazione 1 o 2, in cui l'ugello (54) ha forma cilindrica con una base intersecante parzialmente la camera di contenimento fluido (52).
4. Dispositivo microfluidico la rivendicazione 3, in cui la camera di contenimento fluido (52) è delimitata lateralmente da una superficie laterale (65) intersecante la base dell'ugello (54).
5. Dispositivo microfluidico secondo la rivendicazione 3 o 4, in cui la camera di contenimento fluido (52) è a forma di poliedro avente una base dotata di vertici o spigoli e l'ugello (54) è disposto parzialmente sovrapposto ad uno dei vertici o spigoli.
6. Dispositivo microfluidico secondo la rivendicazione 1 o 2, in cui il canale di emissione gocce (91') comprende un canale passante (41) formato in una prima regione di corpo (38) alloggiante la camera di contenimento fluido (31) e l'ugello (97) è formato in una seconda regione di corpo (43') sovrastante la prima regione di corpo (38), in cui l'ugello (97) è disposto parzialmente disallineato rispetto al canale passante (41).
7. Dispositivo microfluidico secondo la rivendicazione 1 o 2, in cui il canale di emissione gocce (91) comprende un canale passante (41) formato in una regione di corpo (38) alloggiante la camera di contenimento fluido (31) e l'ugello (95) è formato in una coppia di strati (43, 93) sovrastanti la regione di corpo (38) e dotati di fori (48, 92) parzialmente disallineati fra loro.
8. Dispositivo microfluidico secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, in cui il percorso fluidico comprende una pluralità di canali di emissione gocce (54; 91; 91'), ciascun canale di emissione gocce avendo una propria porzione di sezione ridotta.
9. Dispositivo microfluidico secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, in cui l'attuatore è di tipo termico e comprende un riscaldatore (53) formato all'interno del corpo (100) in posizione adiacente la camera di contenimento fluido (52).
10. Dispositivo microfluidico secondo una qualsiasi delle rivendicazioni 1-8, in cui l'attuatore (39) è di tipo piezoelettrico ed è disposto su una membrana (37) delimitante una superficie maggiore della camera di contenimento fluido (31).
11. Dispositivo microfluidico secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, comprendente una pluralità di celle (51; 99) includenti ciascuna una propria camera di contenimento fluido (52; 31), un proprio un canale di emissione gocce (54; 91; 91'), un proprio attuatore (53; 39) ed un proprio canale di accesso fluidico (66; 40), i canali di accesso fluidico della pluralità di celle essendo collegate ad un canale di alimentazione (67).
12. Dispositivo microfluidico secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, formante un nebulizzatore.