HU222607B1 - Miniatűr szelep, készülék tárolóeszköz megtöltésére, berendezés gyógyhatású szerek bőrön keresztül történő bejuttatására, valamint eljárás a miniatűr szelep előállítására - Google Patents
Miniatűr szelep, készülék tárolóeszköz megtöltésére, berendezés gyógyhatású szerek bőrön keresztül történő bejuttatására, valamint eljárás a miniatűr szelep előállítására Download PDFInfo
- Publication number
- HU222607B1 HU222607B1 HU0001065A HUP0001065A HU222607B1 HU 222607 B1 HU222607 B1 HU 222607B1 HU 0001065 A HU0001065 A HU 0001065A HU P0001065 A HUP0001065 A HU P0001065A HU 222607 B1 HU222607 B1 HU 222607B1
- Authority
- HU
- Hungary
- Prior art keywords
- layer
- valve
- container
- charge
- resistor
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 239000003814 drug Substances 0.000 title abstract description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000037317 transdermal delivery Effects 0.000 claims abstract description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 42
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 21
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 19
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 claims description 14
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 claims description 13
- 239000013543 active substance Substances 0.000 claims description 12
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 12
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims description 8
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 6
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 4
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000008177 pharmaceutical agent Substances 0.000 claims description 3
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 2
- MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N dichlorosilane Chemical group Cl[SiH2]Cl MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052990 silicon hydride Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 65
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 7
- 230000036571 hydration Effects 0.000 description 6
- 238000006703 hydration reaction Methods 0.000 description 6
- 239000000017 hydrogel Substances 0.000 description 6
- 229940124597 therapeutic agent Drugs 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 4
- 238000012377 drug delivery Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000002154 ionophoretic effect Effects 0.000 description 3
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 3
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 230000009172 bursting Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 2
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 210000004204 blood vessel Anatomy 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 230000002500 effect on skin Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000000572 ellipsometry Methods 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 229920002457 flexible plastic Polymers 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000887 hydrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 210000003205 muscle Anatomy 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- LCCNCVORNKJIRZ-UHFFFAOYSA-N parathion Chemical compound CCOP(=S)(OCC)OC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 LCCNCVORNKJIRZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000001225 therapeutic effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- BJAARRARQJZURR-UHFFFAOYSA-N trimethylazanium;hydroxide Chemical compound O.CN(C)C BJAARRARQJZURR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
- A61M37/00—Other apparatus for introducing media into the body; Percutany, i.e. introducing medicines into the body by diffusion through the skin
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
- A61M5/00—Devices for bringing media into the body in a subcutaneous, intra-vascular or intramuscular way; Accessories therefor, e.g. filling or cleaning devices, arm-rests
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15C—FLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
- F15C5/00—Manufacture of fluid circuit elements; Manufacture of assemblages of such elements integrated circuits
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0003—Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
- F16K99/003—Valves for single use only
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0034—Operating means specially adapted for microvalves
- F16K99/0065—Operating means specially adapted for microvalves using chemical activation
- F16K99/0067—Operating means specially adapted for microvalves using chemical activation actuated by a pyrotechnical charge
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
- A61M2205/00—General characteristics of the apparatus
- A61M2205/02—General characteristics of the apparatus characterised by a particular materials
- A61M2205/0244—Micromachined materials, e.g. made from silicon wafers, microelectromechanical systems [MEMS] or comprising nanotechnology
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0073—Fabrication methods specifically adapted for microvalves
- F16K2099/0074—Fabrication methods specifically adapted for microvalves using photolithography, e.g. etching
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0073—Fabrication methods specifically adapted for microvalves
- F16K2099/008—Multi-layer fabrications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0082—Microvalves adapted for a particular use
- F16K2099/0086—Medical applications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/1624—Destructible or deformable element controlled
- Y10T137/1632—Destructible element
- Y10T137/1647—Explosive actuation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Public Health (AREA)
- Anesthesiology (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Hematology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Dermatology (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Vascular Medicine (AREA)
- Media Introduction/Drainage Providing Device (AREA)
- Infusion, Injection, And Reservoir Apparatuses (AREA)
- Medical Preparation Storing Or Oral Administration Devices (AREA)
- Pharmaceuticals Containing Other Organic And Inorganic Compounds (AREA)
- Portable Nailing Machines And Staplers (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Closures For Containers (AREA)
- Thermotherapy And Cooling Therapy Devices (AREA)
Abstract
A találmány egyrészt miniatűr szelep, amely tartalmaz hordozóelemet(1) és éghető anyagból lévő töltetet (5), amely a hordozóelemen (1)egy, a töltettel (5) kinyitandó járat felé nézően van elrendezve,továbbá tartalmaz betáplált villamos energia hatására a töltet (5)elégését, és az elégéssel keletkező gázok nyomásával a hordozóelem (1)helyi összetörése révén a járat nyitását biztosító villamosellenállást (2), amely villamos ellenállás (2) az éghető töltettel (5)érintkezően van elrendezve. A találmány másrészt készülék tárolóeszközmegtöltésére a tárolóeszköz mellett lévő tartályban tároltfolyadékkal, amely tartalmaz legalább egy találmány szerinti miniatűrszelepet, illetve berendezés gyógyhatású szerek bőrön keresztültörténő bejuttatására, amely a találmány szerinti készülékettartalmazza. A találmány továbbá eljárás a miniatűr szelepelőállítására, amelynek során a félvezető anyagú hordozóelem (1) egyiklényegében sík felületét bevonják a félvezető anyagot maró oldatnakellenálló maratást megállító réteggel, a maratást megállító rétegetbevonják legalább egy villamosan szigetelő réteggel, ha a maratástmegállító réteg nem villamosan szigetelő, a villamosan szigetelőrétegen villamos ellenállást (2) alakítanak ki, a hordozóelemnek (1)az ellenállást (2) hordozó felülettel ellentétes felületén a maratástmegállító rétegig nyúló krátert (6) maratnak, valamint a villamosellenállás (2) tetején az éghető töltetet (5) elhelyezik. ŕ
Description
A találmány miniatűr szelepre, ilyen típusú szelepet tartalmazó, tárolóeszköz megtöltésére szolgáló készülékre, és a szelep előállításának eljárására vonatkozik. A találmány vonatkozik továbbá ilyen típusú készüléket tartalmazó berendezésre, ahol a berendezés gyógyhatású szer bőrön keresztül történő bejuttatására, a készülék pedig egy tárolóeszköznek a bejuttatandó, fiziológiailag aktív hatóanyag oldatával való megtöltésére szolgál.
Gyógyhatású szemek bőrön keresztül történő bejuttatására általánosan fiziológiailag aktív hatóanyagot tartalmazó tárolóeszközt alkalmaznak a páciens bőrére, amely tárolóeszköz rutinszerűen tartalmaz hidrofil termékből lévő réteget, például hidrogélt, amelyet megfelelő hordozóelem hordoz. Amikor a gyógyhatású szer bejuttatását ionoforézissel segítik, a fiziológiailag aktív hatóanyag ionos oldat. Az ionos oldatot egy tartályban tárolják, amelyet közvetlenül a bejuttatás előtt a tárolóeszközbe ürítenek. Ez a folyamat azért szükséges, mert az oldat a tárolóeszközt képező hidrogélben elveszti stabilitását, és ezért abba nem tölthető bele már a kezdeteknél.
Ekkor felmerül az a probléma, hogy a fiziológiailag aktív hatóanyag ionos oldatát tartalmazó tartályt bele kell üríteni a tárolóeszközbe. Erre a célra különböző mechanikai eszközöket alakítottak ki, például fecskendő típusú eszközt, amelyben egy dugattyú működtetésével a fecskendőből az ionos oldatot a tárolóeszközbe injektálják. Kialakítottak továbbá flexibilis tartályokat is, amelyeket átlyukasztással vagy szakítással nyitnak meg, és a tartályra alkalmazott nyomással a tárolóeszközbe ürítenek.
Ezért látható, hogy akármilyen eszközt is alkalmaznak az ionos oldatot tartalmazó tartálynak a tárolóeszközbe történő kiürítésére, emberi beavatkozás szükséges, ami nem praktikus és nem végezhető automatikusan közvetlenül a kezelés megkezdése előtt. Ezen túlmenően a fent hivatkozott mechanikai eszközök hiányosságokkal rendelkeznek a tömítés terén, és nem minden esetben biztosítják a tartály teljes kiürítését a tárolóeszközbe.
A gyógyhatású szerek ionoforézissel segített, bőrön keresztül történő bejuttatására gyakran karperec alakú berendezést alkalmaznak, amelyet a páciens hord, ahol a páciens önállóságának biztosítására a karperec hordozza a bejuttatáshoz szükséges összes egységet. A karperec ezért a páciens bőrére alkalmazott tárolóeszközön túlmenően hordoz elektródákat, az elektródákhoz való elektronikus vezérlőeszközt és ezen eszközhöz való telepegységet, amely szükségszerűen korlátozott mennyiségű villamos energiát tartalmaz. Kívánatos lenne, hogy a fent említett tárolóeszközbe az ionos oldat kiürítése, amely a tárolóeszköz hidratálásaként is ismert, a karperecben lévő elektronikus eszközzel vezérlődjék, hogy automatizáljuk a kezelés előtti kiürítést anélkül, hogy az eszköz ezen járulékos funkciója nagyobb villamos energiát fogyasztana annál, mint amit a telep szolgáltatni képes.
Az US 3 184 097 szabadalmi leírásban nyomás alatt lévő gáz tárolótartályához való szelepet ismertetnek, amely szelep tartalmaz két felrobbantható diafragmát, amelyek a nyomás alatti gázt aerodinamikai formák vizsgálatához nagy sebességgel kiengedik. Ez az ismert megoldás nem alkalmas arra, hogy a találmány tárgykörében alkalmazható miniatűr szelepet állítsunk elő.
A találmány egyik célja olyan miniatűr szelep kialakítása, amely biztosítja a tárolóeszköz automatikus hidratálását az elektronikus eszköz vezérlésével olyan minimális villamosenergia-felhasználás mellett, amely nem valószínű, hogy károsan befolyásolná az ionoforézissel segített bőrön keresztül történő bejuttatásra szolgáló hordozható készülék működését.
A találmány egy másik célja olyan szelep kialakítása, amely eliminálja a tartály tömítésének és nem teljes mértékben történő kiürítésének problémáit, amelyek néha előfordulnak a tárolóeszköz hidratálására szolgáló, technika állása szerinti mechanikai eszközöknél.
A találmány egy további célja olyan szelep kialakítása, amely az iparban nagyon alacsony vagy nulla selejt mellett gyártható.
A találmány céljait olyan miniatűr szeleppel éljük el, amely tartalmaz hordozóelemet és éghető anyagból lévő töltetet, amely a hordozóelemen egy a töltettel kinyitandó járat felé nézőén van elrendezve. A találmány szerint a szelep tartalmaz betáplált villamos energia hatására a töltet elégését, és az elégéssel keletkező gázok nyomásával a hordozóelem helyi összetörése révén a járat nyitását biztosító villamos ellenállást, amely villamos ellenállás az éghető töltettel érintkezőén van elrendezve.
Amint azt az alábbiakban kifejtjük, nagyszámú ilyen szelepnek a fiziológiailag aktív hatóanyagoldatát tartalmazó tartály és az oldattal megtöltendő tárolóeszköz közé történő elhelyezésével eszközt szolgáltatunk a tárolóeszköz hidratálásának közvetlenül a kezelés előtti, emberi beavatkozás nélküli automatikus megkezdésére azáltal, hogy elektronikusan parancsot adunk ezen szelepek kinyitására.
A találmány további jellemzői szerint az ellenállás szálszerűen van kialakítva, és a töltet az ellenálláson és azon túlnyúlóan helyezkedik el, ahol az előre meghatározott mennyiségű villamos energia betáplálásakor az ellenálláson keletkező hő kezdetben a töltetnek az ellenállást körülvevő részében koncentrálódik. Ez az előre meghatározott villamos energia kisebb, mint 10 joule. Ilyen mennyiségű energia felhasználása nem fogyasztja le jelentősen a telepes tápegységet a gyógyhatású szerek ionoforézissel segített, bőrön keresztül történő bejuttatására szolgáló hordozható berendezésben, és ezért kompatibilis a telepről jövő energia más felhasználóival.
A találmány egy további jellemzője szerint a töltet és az ellenállás a hordozóelem egy vékonyabb tartományának ugyanazon oldalán vannak elhelyezve, ahol ezen tartomány vastagsága úgy van kialakítva, hogy a töltet elégéséből származó gázok nyomása összetöri ezt a tartományt, és azt a járattá kinyitja a gázok és adott esetben más folyadékok számára.
A találmány másrészt készülék tárolóeszköz megtöltésére a tárolóeszköz mellett lévő tartályban tárolt folyadékkal, azzal jellemezve, hogy tartalmaz legalább egy találmány szerinti miniatűr szelepet, amely a tartály és
HU 222 607 Bl a tárolóeszköz közötti folyadékáramlási kapcsolatot meggátlóan van elrendezve, valamint a szelep villamos ellenállása energiaellátását szelektíven vezérlő, a töltet elégetésével a szelep hordozóelemében nyitott járaton keresztül a tartályban lévő folyadékhoz a folyadékáramlási kapcsolatot megnyitó eszközt.
Ezen készülék egy másik jellemzője szerint tartalmaz továbbá legalább egy flexibilis borítást, amely körülzárja a találmány szerinti miniatűr szelepet, ahol a vezérlőeszköz szelektív módon indítja a szelep által hordozott éghető töltet elégetését, és a borításnak az égési gázokkal való felfújásával a tartálynak a szelepeken keresztül történő kiürítését segíti, amely szelepek a tartály és a tárolóeszköz közötti folyadékáramlási kapcsolatoknál vannak elhelyezve.
A találmány továbbá berendezés gyógyhatású szerek bőrön keresztül történő bejuttatására, amelyben fiziológiailag aktív hatóanyagoldata kezdetben egy tartályban van elhelyezve, és kezelés megkezdése előtt tárolóeszközbe van továbbítva, amely tárolóeszköz páciens bőrével való érintkezésbe hozásra van kialakítva, azzal jellemezve, hogy a tárolóeszköz és a tartály a találmány szerinti készülék részeit képezik.
A találmánnyal eljárást is szolgáltatunk a találmány szerinti szelep előállítására, amelynek során hordozóelemet és azon a szelep nyitására alkalmas éghető töltetet alakítunk ki. A találmány szerint a félvezető anyagú hordozóelem egyik lényegében sík felületét bevonjuk a félvezető anyagot maró oldatnak ellenálló maratást megállító réteggel, a maratást megállító réteget bevonjuk legalább egy villamosán szigetelő réteggel, ha a maratást megállító réteg nem villamosán szigetelő, a villamosán szigetelő rétegen villamos ellenállást alakítunk ki, a hordozóelemnek az ellenállást hordozó felülettel ellentétes felületén a maratást megállító rétegig nyúló krátert maratunk, valamint a villamos ellenállás tetején éghető töltetet helyezünk el.
A találmány példaképpeni előnyös kiviteli alakjait a továbbiakban rajzokkal ismertetjük, ahol az
1. ábra egy találmány szerinti miniatűr szelep vázlatos térbeli rajza, a
2. és 3. ábrák az 1. ábra szerinti szelep működését magyarázó vázlatos metszeti rajzok, a
4. és 5. ábra a találmány szerinti miniatűr szelep egy különösen előnyös kiviteli alakja felfújható borításban, a
6. és 7. ábrák fiziológiailag aktív hatóanyag oldatával egy tárolóeszköz megtöltésére szolgáló készülék szerkezetét és működését ábrázoló vázlatos rajzok, amely készülék ezen fiziológiailag aktív hatóanyag bőrön keresztül történő bejuttatására szolgál, és tartalmaz találmány szerinti miniatűr szelepeket, a
8A-8E. ábrák a találmány szerinti miniatűr szelep előállításának egymás után következő műveleti lépéseit ábrázoló rajzok, és a
9A-9E. ábrák a 8A-8E. ábrák szerinti eljárás egy módosításának egymás után következő műveleti lépéseit szemléltető rajzok.
Az 1. ábra egy találmány szerinti miniatűr szelepet ábrázol, amelynek ebben a nem korlátozó ábrázolt kiviteli alakban paralelepipedon alakja van. A miniatűr szelep tartalmaz 1 hordozóelemet, amely villamos 2 ellenállást hordoz fém- 3 és 4 kontaktusokhoz csatlakoztatott végekkel, amely 2 ellenállás a 3 és 4 kontaktusok között éghető anyagból lévő, vékony filmrétegként kialakított 5 töltettel van bevonva, amely az egyszerűség kedvéért átlátszóan van ábrázolva.
Amikor az éghető anyag elég, az anyag égési gázokat képez, amelyeket az alábbiakban ismertetett módon a szelep működtetésére használunk. Ebben a nem korlátozó kiviteli példában erre a célra például nitro-cellulóz vagy propergol típusú pirotechnikai anyag alkalmazható. Sikeres eredményeket kaptunk GB nitro-cellulózzal, különösen GBPA nitro-cellulózzal, valamint glicidil poliazid bázisú propergollal, amelyet a Société Nationale des Poudres et Explosifs (S. N. P. E.) nevű francia cég forgalmaz. Ezek a nitro-cellulózok és propergolok minimális hőenergiával begyújthatok, ami ezeket különösen alkalmassá teszi a találmány alábbiakban kifejtett céljaira.
Az 1. ábra szerinti szelep 1 hordozóeleme egyszerű vezető anyagból, például szilíciumból lehet, amelyet rutinszerűen alkalmaznak integrált áramkörök előállításához. A találmány szerinti szelepet ezekkel a technikákkal lehet kialakítani, amint azt a 8A-8E. ábrák kapcsán ismertetjük, és így azt nagymértékben miniatürizálhatjuk, például egy elektronikus mikrocsip méreteire, ami lehetővé teszi, hogy azt kompakt berendezésbe integráljuk, például gyógyhatású szerek ionoforézissel segített, bőrön keresztül történő bejuttatására szolgáló hordozható berendezéshez, amint azt az alábbiakban a 6. és 7. ábrák kapcsán ismertetjük.
Az 1. ábra azt is mutatja, hogy a szelep 1 hordozóeleme az 1 hordozóelem 1 ’ felületébe bevájt csonka piramis alakú 6 kráterrel rendelkezik, ahol az 1’ felület párhuzamos és átellenes azon 1” felülettel, amely a ellenállást hordozza, és ahol a 6 kráter fenékrészét az 1 hordozóelemnek a 2 ellenállás környezetében lévő vékonyabb 8 tartománya képezi. Amint az az alábbiakban kiderül, ezen vékonyabb 8 tartomány vastagsága elegendően kicsi kell hogy legyen ahhoz, hogy ez a tartomány az 5 töltet elégésekor keletkező gázok nyomásának hatására eltörjön, amit a 2 ellenállás fűtésével indítunk a vékonyabb 8 tartomány azon részén, ahol az 5 töltet van.
A 2. és 3. ábrák az 1. ábra szerinti szelepet vagy csipet 7 nyomtatott áramkörre szerelve ábrázolják, amely 7 nyomtatott áramkör úgy van kialakítva, hogy villamos áramot továbbítson a 2 ellenálláson keresztül a és 4 kontaktus között, amelyek ezen áramkör vezetőpályáira vannak forrasztva hasonló módon, mint ahogy hagyományos villamos komponensek vannak ilyen áramkörökre szerelve. A hordozóelem vékonyabb 8 tartományának helyén a 7 áramkörön keresztül 9 nyílás
HU 222 607 Bl van kialakítva, amely olyan termékből lévő 10 réteggel van lezárva, amely gyógyhatású szerek bőrön keresztül történő bejuttatásának alkalmazásánál olyan hidrogél lehet, amelyet meg kell tölteni fiziológiailag aktív hatóanyag azon oldatával, amelyet a hordozóelem 6 kráterével összekötött tartály tartalmaz. Ily módon az éghető anyagból lévő 5 töltet ezen 10 réteg és a hordozóelem vékonyabb tartománya között van elhelyezve. Az 1 hordozóelemet 11 tömítés veszi körül, hogy a hordozóelemet a 7 áramkörhöz rögzítse, és tömítse az 5 töltetet tartalmazó teret.
Megjegyezzük, hogy a 2 ellenállás (1. ábra) hosszúkásán vagy szálszerűen van kialakítva, és ezért az azt fedő 5 töltetnek csak egy részével szomszédos.
A 7 nyomtatott áramkör segítségével automatikusan villamos áram indítható a 2 ellenállásba például azon mikroprocesszor irányítása alatt, amelyet hagyományosan a gyógyhatású szerek bejuttatásának végrehajtására alkalmaznak.
Az ellenálláson átfolyó áram hőt generál az úgynevezett joule-effektus által, amely az 5 töltetet alkotó nitrocellulóz alacsony hővezetése miatt a töltetben az ellenállás környékén koncentrálódik. Ez a nitro-cellulóz erőteljes lokalizált fűtését okozza, amely begyullad. Megjegyezzük, hogy ezért a nitro-cellulóz egy részének begyújtása csak egy nagyon kis mennyiségű villamos energiát tesz szükségessé, ami előnyös, hogyha ezt az energiát azon telepes tápegységből kapjuk, amely a gyógyhatású szerek ionoforézissel segített, bőrön keresztül történő bejuttatására szolgáló hordozható berendezés teljes egészének tápellátását biztosítja. Ez nagymértékben csökkenti a nitro-cellulóz begyújtásához szükséges energiaelvonást a tápegységből, és ez a termék jól illeszkedik a találmány szándékolt alkalmazásához, mivel az alacsony hőmérsékleteknél lokálisan begyújtható, és az égés azonnal továbbterjed a töltet teljes mennyiségére.
Az elégetett nitro-cellulóz mennyisége úgy állítható be, hogy amikor a nitro-cellulóz elégése lényeges mennyiségű gázt generál egy kis térfogatban (a 9 nyílásban), a nyomás a nyílásban eléri azon értéket, amely elegendő a hordozóelem vékonyabb 8 tartományának eltűrésére és eltávolítására a 9 nyílás szomszédságában (lásd 3. ábra), amely vékonyabb 8 tartományt ezután 8’ járat váltja fel, amely lehetővé teszi a kialakult gázok eltávozását, amint azt vázlatosan a szaggatott vonalú nyíl jelzi. Ez lehetővé teszi továbbá a 6 kráterrel kapcsolatban álló folyadék számára, hogy a 9 nyílásnál átfolyjon a 8’ járaton, amint azt a folytonos vonalú nyíl mutatja, hogy impregnálja a hidrogélből lévő 10 réteget, amely a gyógyhatású szerek bőrön keresztül történő bejuttatására szolgáló berendezés tárolóeszközét képezi.
A 7 áramkörben kialakított nagy 9 nyílás helyettesíthető nagyszámú kisebb, nem központi elhelyezésű 91, 92 stb. nyílásokkal, amint azt a 2. ábrán szaggatott vonalakkal ábrázoltuk, amelynek összes tartománya kisebb, mint a 9 nyílásé. Ezáltal elkerülhetjük azt, hogy a 10 réteg törés nélkül váljék le, és bezárja az 5 töltet elégéséből származó gázokat.
Egy találmány szerinti miniatűr szelepet készítettünk egy 3x3 mm nagyságú hordozóelemen, amely kb.
10~4 g mennyiségű nitro-cellulózt hordozott, s az elégéskor 8 ml gázt képezett olyan nyomással, amely elegendő volt a vékonyabb 8 tartomány összetörésére, amely megközelítőleg 3-5 pm vastag volt azáltal, hogy 1 s-ig az ellenálláson 1 W mennyiségű villamos teljesítményt vezettünk át.
Ezért nyilvánvaló, hogy a találmány eléri a kitűzött célokat, ugyanis olyan miniatűr szelepet szolgáltat elektronikus csip formájában, amely kis teljesítményű villamos jellel automatikusan indítható, ahol a kis teljesítményű villamos jel kompatibilis azzal, ami egy hordozható elektronikus készülékben, például gyógyhatású szerek ionoforézissel segített bőrön keresztül történő bejuttatására szolgáló berendezésben lévő telepes tápegységéből kinyerhető.
A 4. és 5. ábrák a szelep egy találmány szerinti különösen előnyös elrendezését mutatják, ahol a szelep olyan gázgenerátorként szolgál, amely a tartályból a folyadékot kinyomja. Ez a kiviteli alak különösen a 6. és
7. ábrákon ábrázolt, tárolóeszközt megtöltő készülékben való használatra alkalmas, amint az az alábbiakból kiderül.
A 4. ábra a 2. és 3. ábrák szerinti szelepet hasonlóképpen 7 nyomtatott áramkörbe szerelve ábrázolja. Ekkor azonban az 5 töltet nem az áramkörben lévő nyílás felé néző részben van elhelyezve, hanem az a hordozóelem vékonyabb 8 tartománya és a 7 áramkör szomszédos felülete közé van bezárva, amely felülethez a szelep alkalmas eszközzel, például hegesztéssel, ragasztással stb. rögzítve van. A 7 áramkört ahhoz hegesztett felfújható 12 borítás, például flexibilis műanyag film borítja, amely a 7 áramkörhöz annak perifériáján van hegesztve, és a 12 borításon belül szigetelt teret hoz létre.
A 2. és 3. ábrák szerinti szelephez hasonlóan a 2 ellenállásban folyó áram az 5 töltet helyi fűtését okozza az úgynevezett joule-hatás révén, és azt begyújtja, ami olyan nyomású gázmennyiséget generál, amely felfújja a 12 borítást, amint az az 5. ábrán látható. Mivel a 2. és
3. ábrák szerinti szelep 11 tömítése nincs jelen, az égésből keletkező gázok képesek a szelep minden oldalán kijutni. A célunk most az, hogy felfújjuk a tömített 12 borítást, amelynek előnyei a 6. és 7. ábrákon látható készülék leírásából derülnek ki, amely 10 tárolóeszköznek a mellette lévő 14 tartályban lévő folyadékkal való szelektív automatikus töltésére van kialakítva.
Ebben a példaképpeni és nem korlátozó kiviteli alakban a 6. és 7. ábrák szerinti készülék része a gyógyhatású szerek ionoforézissel segített, bőrön keresztül történő bejuttatására szolgáló berendezésnek. Amint azt a leírás bevezetőjében említettük, az ilyen típusú berendezések szokásosan tartalmaznak elektródakészletet és legalább egy tárolóeszközt, például a 10 tárolóeszközt, amely páciens bőrére való alkalmazásra van kialakítva. A 10 tárolóeszköz egy elektródára (nincs ábrázolva) van csatlakoztatva és közreműködik egy másik elektródával (nincs ábrázolva), hogy a 10 tárolóeszközben lévő fiziológiailag aktív hatóanyag ionjait az elektródák között kialakított villamos mező hatására a páciens bőrén való áthaladásra kényszerítse. A berendezés hordozható, és tartalmaz az elektródák között létrejött mező ve4
HU 222 607 Bl zérlésére szolgáló elektronikus eszközt, valamint ezen eszközhöz és az elektródákhoz való telepes tápegységet. Mindez ismert a szakember számára, és nem kíván részletes ismertetést.
A találmány szerinti szelepet alkalmazhatjuk ilyen típusú készülék előállítására, amelyben a 10 tárolóeszköznek, például egy hidrogélrétegnek a 10 tárolóeszköz mellett lévő 14 tartályban lévő fiziológiailag aktív hatóanyag ionos oldatával való töltését vagy hidratálását a berendezés elektronikus vezérlőeszközével automatikusan indíthatjuk a kezelés megkezdése előtt.
Ebből az okból kifolyólag a 14 tartály és a 10 tárolóeszköz egy flexibilis 15 film ellentétes oldalaira vannak erősítve, amely a találmány szerinti szelepek energiaellátására szolgáló áramkör hordozására van kialakítva. A 15 filmre például a 14 tartály belsejében egy középső helyen egy első 16 szelep van rögzítve, amely hasonló a 4. és 5. ábrák szerinti szelephez, és nagyszámú olyan 17j, 172... 17j stb. szelep van szerelve ugyanazon filmre a 16 szelep köré, mint amilyen a 2. és 3. ábrák szerinti szelep. A 15 filmhez és a 14 tartályhoz flexibilis 18 borítás van hegesztve azok közös perifériáján (lásd 6. és 7. ábrák), ahol a 17t szelepek a 18 borítást szintén a 15 filmhez rögzítik, ahol azok ezen 15 filmhez vannak csatlakoztatva.
Az utóbbi hordoz vezetőpályákat (nincs ábrázolva) a 16 és 17; szelepek 3, 4 kontaktusaira csatlakoztatva, amely kontaktusok között áramút van szelektív módon a fent hivatkozott elektronikus eszközzel vezérelve.
Amikor ez az eszköz begyújtja az ezen szelepekben lévő éghető töltetet, a 17; szelepek folyadékáramlási járatot nyitnak meg a 14 tartály és a 10 tárolóeszköz között a szelepek vékonyabb tartományának átszakításával és a 15 filmben átlyukasztott koaxiális nyíláson keresztül, mialatt a 16 szelep töltetének elégésével generált gázok felfújják a 18 borítást (lásd 7. ábra). Ez utóbbi ekkor elfoglalja a 14 tartály belső térfogatának túlnyomó részét (vagy teljes egészét), és kilövelli az abban lévő ionos 19 oldatot, amely oldat ezért a 17; szelepeken és a 10 filmben átlyukasztott koaxiális nyílásokon keresztül a 10 tárolóeszközbe van kényszerítve, amely 17; szelepek előzőlegesen az elektronikus eszköz által kibocsátott villamos paranccsal kinyitódtak.
Ezáltal ez az eszköz, amely a gyógyhatású szer bejuttatás! programjának végrehajtását vezérli a tárolóeszköz hidratálása után, ezt a hidratálást is indítja a kezelés előtt bármiféle emberi beavatkozás, például fecskendő működtetése, felszakítható borítás felszakítása stb. nélkül, amelyek a hidratálás biztosításához voltak szükségesek. Ez ezt a műveleti lépést megbízhatóbbá teszi. Az alkalmazott készülék hatékonyabban van tömítve, mivel a hidratálás elvégzéséhez nem szükséges flexibilis borítás átlyukasztása vagy felszakítása. A 14 tartály kiürítése a 18 borítás precíz felfújásával állítható be, amely a tárolóeszközben lévő hidrogél töltését meghatározott mennyiségű ionos oldattal végzi, biztosítva azt, hogy ez a töltés reprodukálható különféle elektródakészletek esetén.
A találmány szerinti miniatűr szelep előállítására vonatkozó eljárást továbbiakban a 8A-8E. ábrák kapcsán ismertetjük. A találmány előnyösen rétegformálási és mikromaratási technológiákat alkalmaz, amelyek ismertek az integrált áramkörök előállításánál, ami lehetővé teszi, hogy ezeket a szelepeket kis költség és nagyfokú reprodukálhatóság mellett állítsuk elő.
Egy szilíciumlapkát (8A. ábra) erősen szennyeztünk egyik oldalán, hogy azt p+ + típusú vezetővé tegyük, például megközelítőleg 2 pm mélységig. A lapka mindkét felületét ezután villamosán szigeteltük 0,5 pm vastagságú szilícium-dioxid-rétegekkel, amelyeket ezután 0,5 pm vastagságú N-szennyezett polikristályos Si(p) szilíciumréteggel fedtünk le. A polikristályos Si(p) szilíciumréteg a szilícium hordozóelem ugyanazon oldalán van, mint a p + + szennyezett réteg, és ezután plazmamaratással körülhatároltuk a szál alakú 2 ellenállást (a 8B. ábrán keresztmetszetben látható).
Az ellenállást ezután a polikristályos Si(p) szilíciumréteg felületének oxidálásával védjük, hogy SiO2 felületi réteget alakítsunk ki, amely a 2 ellenálláson kívül összeolvad az alatta lévő SiO2-réteggel (lásd 8C. ábra). A 2 ellenállás végeinél aranyból lévő 3,4 kontaktusok vannak kialakítva hagyományos metallizációs eljárással.
Miután a lapka másik felületén kialakított SiO2-rétegekben egy maszkot plazmamaratással kialakítottunk, és az alatta lévő szilíciumban a p + + rétegből álló maratásmegállító rétegig a 6 krátert kialakítottuk, a szilíciumlapkát a 20, 20’ vágási vonalak mentén levágjuk, hogy a 8B. és 8E. ábrákon látható, felülnézetben és a VIII-VIII vonal mentén vett keresztmetszetben ábrázolt csipet különválasszuk. Ezután csak az marad, hogy a 2 ellenállásra a 3, 4 kontaktusok közé nitro-cellulózcseppet helyezünk el, vagy ezen két kontaktus közé nitro-cellulóz-filmdarabot ragasztunk, hogy elkészítsük a találmány szerinti miniatűr szelepet annak éghető töltetével.
Adott esetben a p++ szennyezett réteg és az azt fedő SiO2-réteg (lásd 8A. ábra) helyettesíthető egyetlen kb. 3 pm vastagságú SiO2-réteggel. Ez ekkor maratásmegállító rétegként és a 2 ellenálláshoz való villamosán szigetelő rétegként is szolgál.
Szilícium-dioxid-membránokkal azonban problémákkal találkoztunk. Ilyen membránokban 0,1 GPa mértékű nyomószilárdságot figyeltünk meg. Ilyen nagyságú feszültség a membrán nagymértékű deformációját okozhatja. Példaképpen 1 pm vastagságú membránban 40 pm deformáció volt megfigyelhető. Ilyen mértékű deformáció a membrán törését okozhatja. Ez az ipari tömegtermelés során sok selejthez vezet.
A 9A-9E. ábrákon a fent ismertetett előállítási eljárás egy változatát taglaljuk, amely változat lehetővé teszi a találmány szerinti miniatűr szelepek ipari előállítását nagyon alacsony vagy nulla selejtaránnyal.
Ez az eljárás egy lényegében sík szilíciumcsipből, vagyis az 1 hordozóelemből indul ki. A csip két egymással átellenben álló felületén 22 b 222 szilícium-dioxidrétegek vannak kialakítva, például a szilícium 1150 °Cos oxidációjával nedves közegben. A szilícium-dioxidréteg vastagsága tipikusan 0,5 és 1,5 pm között van.
Amint azt a fentiekben ismertettük, az ilyen típusú szilícium-dioxid-rétegben 0,27 GPa nagyságrendű nyo5
HU 222 607 Β1 mószilárdság volt megfigyelhető, amely szilíciumdioxid-réteg olyan szilícium hordozóelemre van lerakva, amely képes a réteg deformálására és törésére, amikor ez utóbbi elválik szilícium hordozóelemétől, ugyanúgy, mint a vékonyabb 8 tartomány (lásd 2. ábra).
A találmány szerint ezen nyomószilárdság létét lényegében elimináljuk azáltal, hogy a szilícium-dioxidréteget olyan szilícium-nitrid-réteggel fedjük le, amelyben húzófeszültségek vannak. Ezen ellentétes irányú feszültségek hatásainak kombinálásával a vékonyabb 8 tartományban lévő megmaradó feszültségek olyan kicsire csökkenthetők, amelyek nem tudják ezen tartományt deformálni vagy eltörni a miniatűr szelep gyártása alatt, amely szint tipikusan kisebb, mint ±0,1 GPa, ahol a + és a - szimbólumok a húzó- és összenyomó feszültségeket jelentik. Ezt az eredményt megközelítőleg úgy kaphatjuk meg, hogy ezen két réteg vastagságát a következő képlettel állítjuk be:
eox'CTox+enit'CTnit ,1λ
CTr=—- (l) ®οχ“··®ηίί ahol σΓ a vékonyabb 8 tartományban lévő megmaradó feszültségeket, σοχ a szilícium-dioxid-rétegben lévő nyomófeszültségeket, és anit a szilícium-nitrid-rétegben lévő húzófeszültségeket jelöli, valamint eox és enit a szilícium-dioxid-réteg és a szilícium-nitrid-réteg vastagságait jelölik.
A fent említett feszültségeket egy 7,5 x 7,5 cm nagyságú szilíciumlapka deformációiból mértük, az alkalmazott rétegek közül egyet arra felvive.
A találmány szerinti eljárás 9B. ábrán látható műveleti lépésében a 22b 222 szilícium-dioxid-rétegeken 231,232 szilícium-nitrid-rétegeket alakítunk ki.
Ez utóbbi lehet sztöchiometrikus szilícium-nitrid, Si3N4. A Si3N4-réteget alacsony nyomású gőzfázisú lerakással alakíthatjuk ki 750 °C-on diklór-szilánból, SiH2Cl2, és ammóniából. Az ilyen típusú rétegekben azt figyeltük meg, hogy 1,2 GPa nagyságrendű húzófeszültségek képesek kompenzálni a szomszédos szilícium-dioxid-rétegben lévő nyomófeszültségeket. Ezek a nagyfokú feszültségek a felelősek azonban a Si3N4rétegnek a szilícium-dioxid-réteghez való közepes mértékű tapadásáért, amelynek a tömegtermelésben kedvezőtlen hatása van a selejtarányra.
A találmány szerint a selejtarányt jelentősen csökkenthetjük azáltal, hogy a sztöchiometrikus nitridréteget helyettesítjük szilíciummal szennyezett SiNx szilíciumnitrid-réteggel, ahol x<l,33. Az ilyen típusú rétegben megfigyelt húzófeszültségek (0,6 GPa) kisebbek, mint a sztöchiometrikus nitridnél megfigyeltek, ami csökkenti a fent hivatkozott adhéziós problémát, és a selejtarányt nagyon alacsony szintre vagy nullára csökkenti.
A szilíciummal dúsított szilícium-nitrid-réteg 750 °C körüli gőzfázisú lerakással alakítható ki alacsony nyomáson SiH4 szilícium-hidridből és ammóniából. A találmány egy előnyös kiviteli alakjában x«l,2. A SiN12 összetétel a réteg reíraktív indexének mérésével mérhető meg ellipszometriával 830 mn-nél.
Miután a hordozóelem mindkét felületére ily módon szilícium-dioxid-réteget és szilícium-nitrid-réteget vittünk fel, amely hordozóelem előnyösen szilíciummal van adalékolva, ahol a vastagságokat a fent ismertetett megfontolásoknak megfelelően előre meghatároztuk, a találmány szerinti eljárás a hordozóelem egyik felületén szál alakú 24 ellenállás (lásd 9C. ábra) kialakításával folytatódik hagyományos eljárással, polikristályos szilíciumréteg felvitelével és utána ezen réteg maratásával az ellenállás kialakítására. Az ellenállásnak tipikusan 0,5x100 pm méretű keresztmetszete és 1,5 mm vastagsága van. Az ellenállás végénél fémkontaktusok (nincs ábrázolva) vannak kialakítva, hogy lehetővé tegyék annak villamos energiával való ellátását ugyanúgy, mint az 1. ábra szerinti szelep 3, 4 kontaktusainál. Az ily módon kialakított 24 ellenállás a hordozóelemtől jól el van szigetelve a szilícium-nitrid-réteg által, amely dielektromos anyag.
A 222 és 232 rétegekben ezután ablakot alakítunk ki a hordozóelem másik felületén hagyományos maszkolási és CF4 gázplazma-maratási eljárással. Az 1. ábrán ábrázolthoz hasonló 6 krátert maratunk ezután a 25 ablakon keresztül megfelelő anizotropikus maratószer, például trimetil-ammónium-hidroxid (lásd 9B. ábra) alkalmazásával. A maratást a 223 szilícium-dioxid-réteg állítja meg. A 24 ellenállást ekkor kétrétegű vékonyabb tartomány vagy membrán hordozza a találmány szerint (lásd 9E. ábra). A miniatűr szelepet ezután éghető anyagból lévő töltetnek a 24 ellenállásra való elhelyezésével fejezzük be, és utána azt nyomtatott áramkörre szereljük, amint az a 2. ábra szerinti szelep esetében történt. Illusztratív és nem korlátozó példaként a töltet lehet glicidil-poliazid-bázisú propergol.
A találmány szerinti kétrétegű membránszelepeket három különböző konfigurációban készítettük el.
1. 1 pm vastagságú szilícium-dioxid-réteg 0,22 pm vastagságú Si3N4-réteggel társítva,
2. 0,5 pm vastagságú szilícium-dioxid-réteg 0,22 pm vastagságú SiN! 2-réteggel társítva,
3. 1,4 pm vastagságú szilícium-dioxid-réteg 0,6 pm vastagságú SiNj 2-réteggel társítva.
Bár a selejtarány az 1. konfigurációnál jelentős volt, az a 2. és 3. konfigurációknál 5%-ra és 0%-ra csökkent. Ezért nyilvánvaló, hogy szilícium-dioxid-rétegnek és SiNj 2-rétegnek társításával elérjük a találmány alapvető célját, név szerint olyan miniatűr szelep előállítását, amely tartalmaz nagyon vékony (például 0,7-2 pm vastagságú) membrán által hordozott miniatűr ellenállást, és amely nagyon alacsony vagy nulla selejtaránnyal állítható elő.
Ezen túlmenően méréseink azt mutatták, hogy az ily módon szerelt ellenállás hőkarakterisztikája nagyon jó, és az ellenállás képes volt az éghető töltet hőmérsékletét, amely a fent hivatkozott propergolból volt, 300 °C-ra növelni 1 W-nál kisebb villamos energiával, amelyet kevesebb mint 200 ms alatt alkalmaztunk, ami összhangban van a találmány másik céljával.
A találmány természetesen nem korlátozódik az ismertetett és ábrázolt kiviteli alakokra, amelyeket csak példaképpen ismertettünk. Ennek megfelelően más félvezető anyag, például germánium is alkalmazható szilícium helyett a szelep hordozóeleme számára. Az éghe6
HU 222 607 Bl tő töltethez nitro-cellulóztól eltérő éghető anyagok is alkalmazhatók, például más pirotechnikai anyagok. Az integrált áramkörök előállításához használt eljárásoktól különböző előállítási eljárások is alkalmazhatók a találmány szerinti szelep előállítására.
A találmány ezen túlmenően más alkalmazásokra is kiteljed, minthogy azt csupán ionoforézissel segített bőrön keresztül történő alkalmazásnál egy tárolóeszköznek a gyógyhatású szer ionos oldatával való megtöltésére használjuk. A találmány alkalmazható hagyományos passzív bőrön keresztül történő bejuttatáshoz való tárolóeszköz megtöltésére is. Még általánosabban, a találmány kiteljed bármiféle alkalmazásra, amelyben folyadékközlekedést kell megvalósítani a közlekedést inicializáló szelep mechanikai behatása nélkül, például szubkután, véredény vagy izom gyógyszerezésénél bejuttatandó anyagok esetén.
Claims (24)
- SZABADALMI IGÉNYPONTOK1. Miniatűr szelep, amely tartalmaz hordozóelemet és éghető anyagból lévő töltetet, amely a hordozóelemen egy, a töltettel kinyitandó járat felé nézőén van elrendezve, azzal jellemezve, hogy tartalmaz betáplált villamos energia hatására a töltet (5) elégését, és az elégéssel keletkező gázok nyomásával a hordozóelem (1) helyi összetörése révén a járat (8’) nyitását biztosító villamos ellenállást (2), amely villamos ellenállás (2) az éghető töltettel (5) érintkezőén van elrendezve.
- 2. Az 1. igénypont szerinti szelep, azzal jellemezve, hogy az ellenállás (2) szálszerűen van kialakítva, és a töltet (5) az ellenálláson (2) és azon túlnyúlóan helyezkedik el, ahol az előre meghatározott mennyiségű villamos energia betáplálásakor az ellenálláson (2) keletkező hő kezdetben a töltetnek (5) az ellenállást (2) körülvevő részében koncentrálódik.
- 3. A 2. igénypont szerinti szelep, azzal jellemezve, hogy az előre meghatározott villamosenergia-mennyiség kisebb, mint 10 joule.
- 4. Az 1 -3. igénypontok bármelyike szerinti szelep, azzal jellemezve, hogy a töltet (5) és az ellenállás (2) a hordozóelem (1) egy vékonyított tartományának (8) ugyanazon oldalán van elhelyezve.
- 5. A 4. igénypont szerinti szelep, azzal jellemezve, hogy a hordozóelemnek (1) két, lényegében párhuzamos felülete (Γ, 1”) van, ahol az egyik felületnek (Γ) bemélyített központi krátere (60) van, amely a másik felületnél (1”) a vékonyabb tartománnyal (8) van lezárva.
- 6. Az 5. igénypont szerinti szelep, azzal jellemezve, hogy a másik felületen (1”) fémkontaktusok (3,4) vannak kialakítva külső villamos energiaforrásból az ellenálláshoz (2) energia táplálására.
- 7. Az 1-6. igénypontok bármelyike szerinti szelep, azzal jellemezve, hogy a hordozóelem (1) félvezető anyagú csip, és mikromaratással kialakított krátere (6) és ellenállása (2) van.
- 8. Az 1-7. igénypontok bármelyike szerinti szelep, azzal jellemezve, hogy az éghető töltet (5) nitro-cellulózból vagy propergol típusú anyagból van.
- 9. A 7. igénypont szerinti szelep, azzal jellemezve, hogy az éghető töltet (5) tömege 10 3 g nagyságrendű.
- 10. A 4. igénypont szerinti szelep, azzal jellemezve, hogy a hordozóelemnek (1) a villamos ellenállást (2) hordozó vékonyabb tartománya (8) tartalmaz legalább egy első szilícium-dioxid-réteget és az első rétegen egy második szilicium-nitrid-réteget.
- 11. A 10. igénypont szerinti szelep, azzal jellemezve, hogy a második réteg szilíciummal dúsított SiNx szilícium-nitridből van, ahol x<l,33.
- 12. A 11. igénypont szerinti szelep, azzal jellemezve, hogy x~l,2.
- 13. A 10. igénypont szerinti szelep, azzal jellemezve, hogy a SiO2 első réteg kb. 1 pm, a Si3N4 második réteg pedig kb. 0,22 pm vastagságú.
- 14. A 12. igénypont szerinti szelep, azzal jellemezve, hogy a SiO2 első réteg kb. 0,5 pm, a SiN t2 második réteg pedig kb. 0,22 pm vastagságú.
- 15. A 12. igénypont szerinti szelep, azzal jellemezve, hogy a SiO2 első réteg kb. 1,4 pm, a SiN12 második réteg pedig kb. 0,62 pm vastagságú.
- 16. Készülék tárolóeszköz megtöltésére a tárolóeszköz mellett lévő tartályban tárolt folyadékkal, azzal jellemezve, hogy tartalmaz legalább egy, az 1-15. igénypontok bármelyike szerinti miniatűr szelepet (17J, amely a tartály (14) és a tárolóeszköz (10) közötti folyadékáramlási kapcsolatot meggátlóan van elrendezve, valamint a szelep villamos ellenállása (2) energiaellátását szelektíven vezérlő, a töltet (5) elégetésével a szelep hordozóelemében (1) nyitott járaton (8’) keresztül a tartályban (14) lévő folyadékhoz a folyadékáramlási kapcsolatot megnyitó eszközt.
- 17. A 16. igénypont szerinti készülék, azzal jellemezve, hogy a tartály (14) és a tárolóeszköz (10) között egy-egy folyadékáramlási kapcsolatot biztosító több miniatűr szelepet (17;) tartalmaz.
- 18. A 16. vagy 17. igénypont szerinti készülék, azzal jellemezve, hogy a tartály (14) belsejében egy, az 1-15. igénypontok bármelyike szerinti, szelektíven vezérelt miniatűr szelepet (16) körülzáró legalább egy flexibilis borítás (18) van elrendezve, és a borításnak (18) a szelep (16) éghető töltete (5) elégéséből származó égési gázokkal való felfújásával segítetten a tartályt (14) a tartály (14) és a tárolóeszköz (10) közötti folyadékáramlási kapcsolatoknál kiürítő szelepei (17;) vannak.
- 19. Berendezés gyógyhatású szerek bőrön keresztül történő bejuttatására, amelyben fiziológiailag aktív hatóanyag oldata kezdetben egy tartályban van elhelyezve és kezelés megkezdése előtt tárolóeszközbe van továbbítva, amely tárolóeszköz páciens bőrével való érintkezésbe hozásra van kialakítva, azzal jellemezve, hogy a tárolóeszköz (10) és a tartály (14) a 16-18. igénypontok bármelyike szerinti készülék részeit képezik.
- 20. Eljárás az 1-15. igénypontok bármelyike szerinti szelep előállítására, amelynek során hordozóelemet és azon a szelep nyitására alkalmas éghető töltetet alakítunk ki, azzal jellemezve, hogy a félvezető anyagú hordozóelem (1) egyik lényegében sík felületét bevonjuk a félvezető anyagot maró oldatnak ellenálló mara7HU 222 607 Β1 tást megállító réteggel, a maratást megállító réteget bevonjuk legalább egy villamosán szigetelő réteggel, ha a maratást megállító réteg nem villamosán szigetelő, a villamosán szigetelő rétegen villamos ellenállást (2) alakítunk ki, a hordozóelemnek (1) az ellenállást (2) 5 hordozó felülettel ellentétes felületén a maratást megállító rétegig nyúló krátert (6) maratunk, valamint a villamos ellenállás (2) tetején az éghető töltetet (5) elhelyezzük.
- 21. A 20. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemez- 10 ve, hogy a hordozóelemhez (1) szilíciumot alkalmazunk, a vezetőréteghez N-szennyezett poliszilíciumot alkalmazunk, a villamosán szigetelő rétegekhez pedig szilícium-dioxidot alkalmazunk.
- 22. A 20. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a maratást megállító réteg villamosán szigetelő szilícium-dioxid-réteg, amely szilícium-nitrid- (23]) réteggel van borítva, és a villamos ellenállást (24) a szilícium-nitrid-rétegen (23]) alakítjuk ki.
- 23. A 21. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy sztöchiometrikus Si3N4 szilícium-nitrid-réteg (23]) van kialakítva kisnyomású gőzfázisú lerakással diklórszilánból és ammóniából, megközelítőleg 750 °C-on.
- 24. A 22. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy szilíciummal dúsított SiNx szilícium-nitridréteget (23 j) alacsony nyomású gőzfázisú lerakással szilícium-hidridből és ammóniából állítunk elő, megközelítőleg 750 °C-on.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9614230A FR2756032B1 (fr) | 1996-11-21 | 1996-11-21 | Vanne miniature et son procede de fabrication, dispositif de remplissage de reservoir comprenant une telle vanne |
| FR9706613A FR2764034B3 (fr) | 1997-05-29 | 1997-05-29 | Vanne miniature et son procede de fabrication |
| PCT/FR1997/002101 WO1998022719A1 (fr) | 1996-11-21 | 1997-11-20 | Vanne miniature pour le remplissage du reservoir d'un appareil d'administration transdermique de medicament |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| HUP0001065A2 HUP0001065A2 (hu) | 2000-08-28 |
| HUP0001065A3 HUP0001065A3 (en) | 2001-02-28 |
| HU222607B1 true HU222607B1 (hu) | 2003-08-28 |
Family
ID=26233113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| HU0001065A HU222607B1 (hu) | 1996-11-21 | 1997-11-20 | Miniatűr szelep, készülék tárolóeszköz megtöltésére, berendezés gyógyhatású szerek bőrön keresztül történő bejuttatására, valamint eljárás a miniatűr szelep előállítására |
Country Status (18)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6247485B1 (hu) |
| EP (1) | EP0939862B1 (hu) |
| JP (1) | JP4114087B2 (hu) |
| KR (1) | KR100453439B1 (hu) |
| AT (1) | ATE213309T1 (hu) |
| AU (1) | AU725913B2 (hu) |
| BR (1) | BR9713381A (hu) |
| CA (1) | CA2272326C (hu) |
| CZ (1) | CZ294564B6 (hu) |
| DE (2) | DE939862T1 (hu) |
| ES (1) | ES2138575T3 (hu) |
| HU (1) | HU222607B1 (hu) |
| IL (1) | IL130043A0 (hu) |
| NO (1) | NO322934B1 (hu) |
| NZ (1) | NZ336015A (hu) |
| PL (1) | PL185319B1 (hu) |
| SK (1) | SK284825B6 (hu) |
| WO (1) | WO1998022719A1 (hu) |
Families Citing this family (37)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6527716B1 (en) | 1997-12-30 | 2003-03-04 | Altea Technologies, Inc. | Microporation of tissue for delivery of bioactive agents |
| US6131385A (en) * | 1997-08-18 | 2000-10-17 | Trw Inc. | Integrated pulsed propulsion system for microsatellite |
| FR2774684B1 (fr) * | 1998-02-10 | 2000-03-03 | Poudres & Explosifs Ste Nale | Nouveaux materiaux pyrotechniques non detonables pour microsystemes |
| PT1124607E (pt) * | 1998-07-14 | 2008-12-31 | Altea Therapeutics Corp | Remoção controlada de membranas biológicas por carga pirotécnica, para transporte transmembranar |
| US6349740B1 (en) * | 1999-04-08 | 2002-02-26 | Abbott Laboratories | Monolithic high performance miniature flow control unit |
| US20030078499A1 (en) * | 1999-08-12 | 2003-04-24 | Eppstein Jonathan A. | Microporation of tissue for delivery of bioactive agents |
| EP1210064B1 (en) * | 1999-08-18 | 2005-03-09 | Microchips, Inc. | Thermally-activated microchip chemical delivery devices |
| US6378292B1 (en) | 2000-11-10 | 2002-04-30 | Honeywell International Inc. | MEMS microthruster array |
| FR2828245B1 (fr) | 2001-04-27 | 2005-11-11 | Poudres & Explosifs Ste Nale | Microactionneurs pyrotechniques pour microsystemes |
| FR2827377B1 (fr) * | 2001-07-13 | 2003-12-05 | Poudres & Explosifs Ste Nale | Dispositif d'allumage pour microcharges pyrotechniques |
| US8116860B2 (en) | 2002-03-11 | 2012-02-14 | Altea Therapeutics Corporation | Transdermal porator and patch system and method for using same |
| FR2836907B1 (fr) | 2002-03-11 | 2005-03-18 | Commissariat Energie Atomique | Microvanne a actionnement pyrotechnique |
| ES2612779T3 (es) | 2002-03-11 | 2017-05-18 | Nitto Denko Corporation | Sistema de parches transdérmicos de administración de fármacos, método de fabricación del mismo y método de uso del mismo |
| US9918665B2 (en) | 2002-03-11 | 2018-03-20 | Nitto Denko Corporation | Transdermal porator and patch system and method for using same |
| US6953455B2 (en) * | 2002-07-30 | 2005-10-11 | Hospira, Inc. | Medicine delivery system |
| FR2846318B1 (fr) | 2002-10-24 | 2005-01-07 | Commissariat Energie Atomique | Microstructure electromecanique integree comportant des moyens de reglage de la pression dans une cavite scellee et procede de reglage de la pression |
| US6800070B2 (en) * | 2002-11-07 | 2004-10-05 | George Mazidji | Lockable tranquilizer bracelet |
| FR2847246B1 (fr) * | 2002-11-19 | 2005-07-08 | Poudres & Explosifs Ste Nale | Microactionneur pyrotechnique double effet pour microsysteme et microsysteme utilisant un tel microactionneur |
| FR2856046B1 (fr) | 2003-06-16 | 2005-07-29 | Biomerieux Sa | Microvanne fluidique a ouverture par commande electrique |
| FR2857427B1 (fr) | 2003-07-10 | 2005-08-26 | Biomerieux Sa | Vanne a commande electrique comprenant une membrane microporeuse |
| US7470266B2 (en) | 2003-09-16 | 2008-12-30 | I-Flow Corporation | Fluid medication delivery device |
| US8016811B2 (en) | 2003-10-24 | 2011-09-13 | Altea Therapeutics Corporation | Method for transdermal delivery of permeant substances |
| US20070191815A1 (en) | 2004-09-13 | 2007-08-16 | Chrono Therapeutics, Inc. | Biosynchronous transdermal drug delivery |
| FR2865508B1 (fr) * | 2004-01-27 | 2006-03-03 | Snpe Materiaux Energetiques | Microsysteme pyrotechnique et procede de fabrication d'un microsysteme. |
| US7827983B2 (en) * | 2004-12-20 | 2010-11-09 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method for making a pharmaceutically active ingredient abuse-prevention device |
| FR2883860B1 (fr) * | 2005-03-29 | 2007-06-08 | Commissariat Energie Atomique | Procede de fabrication de micro-canaux enterres et micro-dispositif comprenant de tels micro-canaux. |
| US20070075079A1 (en) * | 2005-10-05 | 2007-04-05 | Harlan Stokes | Flavored container lid |
| DE102010051743B4 (de) | 2010-11-19 | 2022-09-01 | C. Miethke Gmbh & Co. Kg | Programmierbares Hydrocephalusventil |
| CN103523738B (zh) * | 2012-07-06 | 2016-07-06 | 无锡华润上华半导体有限公司 | 微机电系统薄片及其制备方法 |
| JP2018511355A (ja) | 2015-01-28 | 2018-04-26 | クロノ セラピューティクス インコーポレイテッドＣｈｒｏｎｏ Ｔｈｅｒａｐｅｕｔｉｃｓ Ｉｎｃ． | 薬剤送達方法及びシステム |
| ES1157758Y (es) * | 2016-04-27 | 2016-08-22 | Descansare Sleep Lab S L | Dispositivo de control de flujo de aire |
| US20180100601A1 (en) * | 2016-10-08 | 2018-04-12 | Zepto Life Technology, LLC | Electrolytic membrane valve |
| US20180135770A1 (en) * | 2016-11-11 | 2018-05-17 | Honeywell International Inc. | Apparatus and methods for thermally activated micro-valve |
| EP3548134A1 (en) * | 2016-12-05 | 2019-10-09 | Chrono Therapeutics Inc. | Transdermal drug delivery devices and methods |
| EP3565617A1 (en) | 2017-01-06 | 2019-11-13 | Chrono Therapeutics Inc. | Transdermal drug delivery devices and methods |
| KR102075594B1 (ko) * | 2017-11-13 | 2020-02-11 | 재단법인대구경북과학기술원 | 약물 전달 장치 및 이의 제조방법 |
| AU2019279884A1 (en) | 2018-05-29 | 2020-12-10 | Morningside Venture Investments Limited | Drug delivery methods and systems |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3184097A (en) | 1962-01-19 | 1965-05-18 | Earl E Kilmer | Valve with exploding diaphragm |
| US4622031A (en) * | 1983-08-18 | 1986-11-11 | Drug Delivery Systems Inc. | Indicator for electrophoretic transcutaneous drug delivery device |
| US5135479A (en) * | 1983-08-18 | 1992-08-04 | Drug Delivery Systems, Inc. | Programmable control and mounting system for transdermal drug applicator |
| US5186001A (en) * | 1991-11-08 | 1993-02-16 | University Of Southern California | Transient energy release microdevices and methods |
| US5310404A (en) * | 1992-06-01 | 1994-05-10 | Alza Corporation | Iontophoretic delivery device and method of hydrating same |
| US5366454A (en) * | 1993-03-17 | 1994-11-22 | La Corporation De L'ecole Polytechnique | Implantable medication dispensing device |
-
1997
- 1997-11-20 PL PL97333628A patent/PL185319B1/pl unknown
- 1997-11-20 SK SK639-99A patent/SK284825B6/sk not_active IP Right Cessation
- 1997-11-20 WO PCT/FR1997/002101 patent/WO1998022719A1/fr active IP Right Grant
- 1997-11-20 HU HU0001065A patent/HU222607B1/hu active IP Right Grant
- 1997-11-20 AT AT97947111T patent/ATE213309T1/de not_active IP Right Cessation
- 1997-11-20 KR KR10-1999-7004475A patent/KR100453439B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-11-20 AU AU52277/98A patent/AU725913B2/en not_active Expired
- 1997-11-20 DE DE0939862T patent/DE939862T1/de active Pending
- 1997-11-20 US US09/285,000 patent/US6247485B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-20 EP EP19970947111 patent/EP0939862B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-20 CA CA 2272326 patent/CA2272326C/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-20 IL IL13004397A patent/IL130043A0/xx not_active IP Right Cessation
- 1997-11-20 DE DE69710486T patent/DE69710486T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-20 BR BR9713381A patent/BR9713381A/pt not_active IP Right Cessation
- 1997-11-20 NZ NZ33601597A patent/NZ336015A/xx not_active IP Right Cessation
- 1997-11-20 CZ CZ19991766A patent/CZ294564B6/cs not_active IP Right Cessation
- 1997-11-20 JP JP52329398A patent/JP4114087B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-20 ES ES97947111T patent/ES2138575T3/es not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-05-21 NO NO19992481A patent/NO322934B1/no not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ATE213309T1 (de) | 2002-02-15 |
| CZ294564B6 (cs) | 2005-02-16 |
| SK284825B6 (sk) | 2005-12-01 |
| DE69710486T2 (de) | 2002-10-31 |
| JP2001505491A (ja) | 2001-04-24 |
| KR100453439B1 (ko) | 2004-10-15 |
| US6247485B1 (en) | 2001-06-19 |
| JP4114087B2 (ja) | 2008-07-09 |
| NO992481L (no) | 1999-05-21 |
| EP0939862B1 (fr) | 2002-02-13 |
| SK63999A3 (en) | 2000-05-16 |
| CA2272326A1 (en) | 1998-05-28 |
| NZ336015A (en) | 2000-11-24 |
| IL130043A0 (en) | 2000-02-29 |
| HUP0001065A3 (en) | 2001-02-28 |
| NO992481D0 (no) | 1999-05-21 |
| DE69710486D1 (de) | 2002-03-21 |
| ES2138575T1 (es) | 2000-01-16 |
| NO322934B1 (no) | 2006-12-18 |
| HUP0001065A2 (hu) | 2000-08-28 |
| AU5227798A (en) | 1998-06-10 |
| AU725913B2 (en) | 2000-10-26 |
| BR9713381A (pt) | 2000-03-21 |
| CZ176699A3 (cs) | 2000-02-16 |
| CA2272326C (en) | 2005-03-29 |
| EP0939862A1 (fr) | 1999-09-08 |
| KR20000069060A (ko) | 2000-11-25 |
| DE939862T1 (de) | 2000-04-06 |
| PL185319B1 (pl) | 2003-04-30 |
| WO1998022719A1 (fr) | 1998-05-28 |
| ES2138575T3 (es) | 2002-10-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| HU222607B1 (hu) | Miniatűr szelep, készülék tárolóeszköz megtöltésére, berendezés gyógyhatású szerek bőrön keresztül történő bejuttatására, valamint eljárás a miniatűr szelep előállítására | |
| US5366454A (en) | Implantable medication dispensing device | |
| US6973718B2 (en) | Methods for conformal coating and sealing microchip reservoir devices | |
| JP4902542B2 (ja) | 半導体ブリッジ、点火具、及びガス発生器 | |
| US6953455B2 (en) | Medicine delivery system | |
| US8788031B2 (en) | Method and device for the iontophoretic delivery of a drug | |
| US11000474B2 (en) | Microchip substance delivery devices | |
| WO2002099457A3 (en) | Microchip devices with improved reservoir opening | |
| US10881788B2 (en) | Delivery device including reactive material for programmable discrete delivery of a substance | |
| CN108431947B (zh) | 在玻璃中的嵌入式金属结构 | |
| CN101511421A (zh) | 用于预定量物品的受控释放的设备 | |
| AU3175001A (en) | Mixing capsule | |
| JP2005061663A (ja) | イニシエータ、イニシエータ用着火薬、イニシエータの起動方法及びガス発生器 | |
| US7328657B2 (en) | Tubular igniter bridge | |
| MXPA99004708A (en) | Miniature valve for filling the reservoir of an apparatus for the transdermal administration of medicine | |
| JPS6111112B2 (hu) | ||
| FR2756032A1 (fr) | Vanne miniature et son procede de fabrication, dispositif de remplissage de reservoir comprenant une telle vanne | |
| JP2000337797A (ja) | イグナイタおよびヘッダ組立体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| HFG4 | Patent granted, date of granting |
Effective date: 20030718 |