HU192077B - Process for preparing evaporation agent in order to form silicon monoxide layers by evaporation in vacuum - Google Patents
Process for preparing evaporation agent in order to form silicon monoxide layers by evaporation in vacuum Download PDFInfo
- Publication number
- HU192077B HU192077B HU339981A HU339981A HU192077B HU 192077 B HU192077 B HU 192077B HU 339981 A HU339981 A HU 339981A HU 339981 A HU339981 A HU 339981A HU 192077 B HU192077 B HU 192077B
- Authority
- HU
- Hungary
- Prior art keywords
- evaporation
- silicon
- silicon monoxide
- layers
- silica
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
A találmány tárgya eljárás rápárologtatásra alkalmas anyag előállítására, szilícium-monoxid-rétegek vákuumban való elpárologtatás útján történő kiképzése céljából. A szilícium-monoxid-rétegeket például elektronikus építőelemekben, vagy interferencia- illetve védőrétegekként hősugárzást visszaverő vagy hőszigetelés szempontjából tökéletesített hőlapokon alkalmazzák.
Szilícium-monoxid-rétegeket a szokásos módon úgy állítanak elő, hogy darabos szilícium-monoxidot vákuumban, illetve igen nagy vákuumban elpárologtatnak. A darabos szilícium-monoxidot minden esetben egy, a szilícium-monoxid-réteg előállítási eljárásától különálló vákuumeljárással állítják elő, amelynek során egy laza vagy zsugorított, szilíciumból és szilícium-dioxidból álló keveréket elpárologtatnak, egy kondenzáló felületre lecsapják, és a kondenzátumot az alkalmazás céljábank megfelelően feldarabolják (aprítják). Ennek a darabos szilícium-monoxidnak, - amelyet a szilícium-monoxid-rétegek vákuumeljárással való előállítására használnak — hátránya abban áll, hogy energia- és munkaigényes, különálló vákuum eljárással készítik.
Megkísérelték továbbá, hogy a különálló vákuumeljárást elkerüljék egy szilíciumból és szilícium-dioxidból álló olyan keverék alkalmazásával, amely szervetlen kötőanyagokat — így vízüveget — vagy szerves kötőanyagokat — például ftálsav- vagy tereftálsav-észtereket vagy nitro-cellulóz-alapú lakkot - tartalmaz. Az ilyen típusú keverékek hátránya, hogy elpárologtatásuk során szekunder (másodlagos) reakciók lépnek fel amelyek a vákuumeljárás — többek között — a párolgási maradékok pirofóros viselkedése, illetve reakcióképes gyökök lehasadása következtében negatív irányban befolyásolják, így ipari méretben való alkalmazásuk nem lehetséges, és reprodukálható szilícium-monoxid-rétegek képzésére nem alkalmasak.
A találmány célja rápárologtatásra alkalmas, olyan anyag kidolgozása szilícium-monoxid-rétegek képzése céljából, vákuumeljárás útján, amely különálló vákuumfolyamat nélkül, csekély energia- és munkaráfordítással előállítható, szekunder reakciók nélkül ellenállásmentes párolgást tesz lehetővé, és a darabos sziiícium-monoxiddal összehasonlítva a rápárologtatott szilícium-monoxid-réteg azonos vagy kedvezőbb tulajdonságait biztosítja.
A találmány alapját az a feladat képezte, hogy szilícium-monoxid-rétegeknek vákuumeljárással való képzése céljából olyan, rápárologtatásra alkalmas anyagot dolgozzunk ki, amely egyszerű, különálló vákuumeljárást nem igényel, ellenállásmentes párolgást tesz lehetővé szekunder reakciók — például a párolgási maradékok pirofóros viselkedése vagy reakcióképes gyökök lehasadása — nélkül, és a darabos sziiícium-monoxiddal összehasonlítva a rápárologtatott szilícium-monoxid-rétegek azonos vagy kedvezőbb sajátságait biztosítja.
E feladatot a találmány szerint úgy oldjuk meg, hogy szilíciumból és nagy tisztaságú, feleslegben vett szincium-dioxidból álló, homogenizált keveréket valamilyen szerves reagenssel vizes oldatban összekeverünk. Ennek során szerves reagensként különösen előnyös egy 10-12 %-os vizes poli(vinil-alkohol)-ol· dat alkalmazása, amely a szilíciumból és szilíciumdioxidból álló keverékre vonatkoztatva körülbelül 9 tömeg% poli(vinil alkohol)-t tartalmaz. A vizes oldatban lévő szerves reagens nyilvánvalóan azzal a képességgel rendelkezik, hogy a szilícium- és szilicium-dioxid-részecskéket igen kedvezően bevonja, s így biztosítja a benső kapcsolatot a részecskék között, amelyek nagyságát előnyösen 40 millimikronnak vagy ennél kisebbnek választjuk. Előnyösnek bizonyult továbbá az is, hogy a szilíciumból és szilicium-dioxidból állé keverékre vonatkoztatva a szilícium-dioxidot körülbelül 10 tömeg% feleslegben alkalmazzuk.
A szerves reagenssel a vizes oldatban szilíciumból és izilícium-dioxidból készült keveréket levegőn, szobahőmérsékleten előszárításnak vetjük alá, ezt követően körülbelül 180-200 °C hőmérsékleten levegőn további szárítási eljárásnak vetjük alá; ekkor eléri legnagyobb szüárdságát, s ezután a kívánt méretre vagy alakra darabolható (aprítható).
Λ találmány szerinti, rápárologtatásra alkalmas anyagnak az előállítása során, szilícium-monoxid-rétegek vákuumeljárással való előállítása céljából a szerves reagens nyilvánvalóan katalizátorként szerepel, mivel olyan elpárologtatási hőmérsékleteket érhetünk el, ímelyek jóval a szilícium és szilícium-dioxid forráspontja alatt vannak, és — egyébként azonos körülmények között — lényegesen alacsonyabbak a darabos szilícium-monoxid forráspontjánál.
Kiviteli példák
400 g szilíciumport (szilíciurrilemezhulladékot) és 920 g kémiai úton kicsapott szilícium-dioxidot különkülön 40 pm vagy ennél kisebb részecskeméretre őrölünk. Az őrlési folyamat után a két komponenst homogén keverékké alakítjuk, és 1056 ml 11 %-os vizes poli(vinil-alkohol)-oldattal péppé keverjük. A pépet egy 14 mm magasságú, 50 mm átmérőjű, üreges teflonhengerbe visszük. EZután levegőn, szombahőmérsékleten az elegyet 8-10 órás előszárításnak vetjük alá, majd 1 órán át 190 °C hőmérsékleten levegőn alaposan kiszárítjuk, ekkor a kötési folyamat is lejátszódik, Az elpárologtatósra alkalmas, száraz anyagot a formából kivesszük, aprítjuk, és folyamatosan működő berendezésben táblaüvegre rétegezve hősugárzást visszaverő hőlapok előállítására alkalmazzuk. A rápárologtatásra alkalmazott anyag ellenállásmentesen párolog, szekunder reakciókat nem idéz elő, és így a darabos sziiícium-monoxiddal azonos, vagy annál kedvezőbb sajátságokat biztosít.
\ találmány szerinti, rápárologtatásra alkalmas anyag párolgási hőmérséklete mintegy 100 K-val alacsonyabb a darabos szilícium-monoxid párolgási hőmérsékleténél.
Claims (1)
1. Eljárás rápárologtatásra alkalmas anyag előállítására, szilícium-monoxid-rétegek, vákuumban való elpárologtatás útján történő képzése céljából, aminek során nagy tisztaságú és kis részecskeméretű szilíciumot és szilícium-dioxidot valamilyen kötőanyaggal keverünk, a keveréket levegőn előszárításnak vetjük alá. s utána magasabb hőmérsékleten tovább szárítjuk, azzal jellemezve, hogy kötőanyagként vizes poli(vínil-alkohol>oldatot alkalmazunk, mind a szilícium, mind a szilícium-dioxid részecskeméretét 40 millimikronnak vagy annál kisebbnek választjuk, a szillcium-dioxidot feleslegben alkalmazzuk, és az utószárítást 180-200 °C hőmérséklettartományban végezzük.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD22759181A DD159003A3 (de) | 1981-02-12 | 1981-02-12 | Verfahren zur herstellung von aufdampfmaterial zur erzeugung von siliziummonoxidschichten durch vakuumverdampfung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| HU192077B true HU192077B (en) | 1987-05-28 |
Family
ID=5529078
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| HU339981A HU192077B (en) | 1981-02-12 | 1981-11-13 | Process for preparing evaporation agent in order to form silicon monoxide layers by evaporation in vacuum |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| BG (1) | BG40863A1 (hu) |
| CS (1) | CS815681A1 (hu) |
| DD (1) | DD159003A3 (hu) |
| HU (1) | HU192077B (hu) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2900759B2 (ja) * | 1993-07-20 | 1999-06-02 | 信越化学工業株式会社 | 珪素酸化物蒸着用材料及び蒸着フィルム |
| FR2803289B1 (fr) * | 1999-12-30 | 2002-06-14 | Norbert Couget | Procede de preparation d'un revetement optique sur un substrat par evaporation sous vide d'une poudre |
-
1981
- 1981-02-12 DD DD22759181A patent/DD159003A3/de not_active IP Right Cessation
- 1981-11-04 BG BG5405181A patent/BG40863A1/xx unknown
- 1981-11-05 CS CS818156A patent/CS815681A1/cs unknown
- 1981-11-13 HU HU339981A patent/HU192077B/hu unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| BG40863A1 (en) | 1987-03-14 |
| CS815681A1 (en) | 1985-04-16 |
| DD159003A3 (de) | 1983-02-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69403054T2 (de) | Gesinterter keramischer Körper, der hauptsächlich Alumina enthält | |
| JP2004506584A (ja) | リン酸アルミニウム系高温用非晶質組成物 | |
| DE10035679A1 (de) | Nanoskalige Korundpulver, daraus gefertigte Sinterkörper und Verfahren zu deren Herstellung | |
| US4352856A (en) | Shaped rigid articles containing fly ash and resin | |
| EP0431165A1 (de) | Verfahren zur herstellung keramischen kompositmaterials | |
| US3940516A (en) | Fireproof inorganic protective coating and the method of its production | |
| JPS5832070A (ja) | 高密度炭化けい素焼結体の製造方法 | |
| HU192077B (en) | Process for preparing evaporation agent in order to form silicon monoxide layers by evaporation in vacuum | |
| JPH0233663B2 (hu) | ||
| JPS62187139A (ja) | リチウム−アルミニウム−珪酸塩ガラス、ガラスセラミツク粉末およびそれらの製造方法 | |
| US4180410A (en) | Method for producing a silicon nitride base sintered body | |
| US5320989A (en) | Boron nitride-containing bodies and method of making the same | |
| JPS62130801A (ja) | パ−テイクルボ−ドの製造方法 | |
| JPS6341865B2 (hu) | ||
| RU2136623C1 (ru) | Магнезиальное вяжущее | |
| DE68905135T2 (de) | Zirkoniumoxidsol und verfahren zu dessen herstellung. | |
| KR101990464B1 (ko) | 고온 내화단열재용 무기바인더, 고온 내화단열재 및 이의 제조방법 | |
| US663820A (en) | Process of producing solid igniting bodies for automatic gas-igniters. | |
| RU2146192C1 (ru) | Способ изготовления высокопористого абразивного инструмента | |
| DD152120A1 (de) | Verfahren zur herstellung von siliziumoxid als aufdampfmaterial | |
| US1954596A (en) | Material for high emission cathodes | |
| JPS62246859A (ja) | マイカ複合無機材料の製法 | |
| US3287190A (en) | Exothermic coated nitrated cellulose tape | |
| JPS6025386B2 (ja) | β−スポヂュメン製品の製造法 | |
| SU1477715A1 (ru) | Сырьева смесь дл изготовлени керамических строительных изделий |