FR3093803B1 - Capteur de motif thermique dont la couche de protection surfacique presente une resistance aux rayures amelioree - Google Patents

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Abstract

Capteur (100) de motif thermique, tel qu’un capteur d’empreinte digital, comportant plusieurs pixels (102) disposés sur un substrat (104), chaque pixel (102) comprenant successivement :- une capacité pyroélectrique formée par une couche de matériau pyroélectrique (106) disposée entre une électrode inférieure (108) et une électrode supérieure (110),- une couche diélectrique (112),- un élément chauffant (114),- une couche de protection (116), comprenant une première couche (116a) en un premier matériau polymère, le capteur (100) comprenant, en outre, entre la couche diélectrique (112) et la couche de protection (116), une couche d’alcoxydes de silicium (401). Le capteur peut également comprendre une couche de composé thiol (402) entre l’élément chauffant (114) et la couche de protection (116). La couche de protection (116) peut également comprendre une couche de renfort (500), la dureté de la couche de renfort (500) étant supérieure à la dureté de la première couche (116a). Figure pour l’abrégé : figure 2.
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