FR3093802B1 - Capteur de motif thermique - Google Patents
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Abstract
Capteur (100) de motif thermique comportant plusieurs pixels (102) disposés sur un substrat (104), chaque pixel (102) comprenant successivement :-une capacité pyroélectrique formée par une portion (106) de matériau pyroélectrique disposée entre une électrode inférieure (108) et une électrode supérieure (110), l’électrode inférieure (108) étant disposée entre le substrat (104) et la couche de matériau pyroélectrique (106),-une couche diélectrique (112),-un élément chauffant (114),-une couche de protection (116), le capteur (100) comprenant, en outre, une première couche additionnelle (401) disposée entre la couche diélectrique (112) et l’élément chauffant (114) et une deuxième couche additionnelle (402) disposée entre l’électrode supérieure (110) et la couche diélectrique (112), la première couche additionnelle (401) et la deuxième couche additionnelle (402) ayant respectivement une première dureté et une deuxième dureté, la première dureté et la deuxième dureté étant supérieure à la dureté de l’électrode supérieure (110). Figure de l’abrégé : figure 2.
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