FR3102609B1 - Capteur de motif thermique comportant des portions dielectriques de renfort mecanique - Google Patents

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Abstract

Capteur (100) de motif thermique comportant : - une matrice de pixels disposée sur une face (105) d’un substrat (104), chaque pixel comprenant une capacité pyroélectrique formée par une portion de matériau pyroélectrique disposée entre une électrode inférieure (108) et une électrode supérieure (110), l’électrode inférieure étant disposée entre le substrat et la portion de matériau pyroélectrique, - une couche de protection (114) comprenant un matériau diélectrique et recouvrant les pixels, et telle que, dans chaque pixel, l’électrode supérieure soit disposée entre la couche de protection et la portion de matériau pyroélectrique, - des portions diélectriques (112) disposées entre les pixels, s’étendant entre la face du substrat et la couche de protection et qui comportent un matériau diélectrique dont la dureté est supérieure à celle du matériau pyroélectrique. Figure pour l’abrégé : Figure 1.
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