FR3025737A1

FR3025737A1 - Appareil de traitement de surface, et procede de traitement de surface

Info

Publication number: FR3025737A1
Application number: FR1558250A
Authority: FR
Inventors: Ko Miyauchi; Yukihiro Ikeya; Sadayuki Sasaki; Yoshihide Nakamura
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2014-09-12
Filing date: 2015-09-07
Publication date: 2016-03-18
Anticipated expiration: 2035-09-07
Also published as: JP2016055413A; JP6251144B2; US9937600B2; US20160074984A1; FR3025737B1

Abstract

Selon une forme de réalisation, un appareil de traitement de surface comprend une partie de traitement de surface (30), un dispositif de support (21), et une partie de déplacement (22). La partie de traitement de surface (30) a une surface de traitement (31a). Le dispositif de support (21) a une surface de support (21a) faire face à une deuxième surface (11b) opposée à la première surface (11a) de la pièce (10). Un coefficient de friction de la deuxième surface (11b) et de la surface de support (21a) est plus grand qu'un coefficient de friction de la première surface (11a) et de la surface de traitement (31a). La partie de déplacement (22) applique une force dans une direction dans laquelle la surface de support (21a) est appuyée de manière relative sur la surface de traitement (31a), déplace la surface de support (21a) dans une direction de déplacement différente de la direction de la force, et déplace ainsi la pièce (10) dans la direction de déplacement.

Description

1 Les formes de réalisation de la présente invention se rapportent à un appareil de traitement de surface et un procédé de traitement de surface pour traiter la surface, par exemple, d'une pièce.

Comme procédé de traitement de la surface, par exemple, d'une pièce, on connaît un procédé qui conduit un traitement de polissage en déposant un élément de polissage en forme de courroie et la pièce l'un au-dessus de l'autre et en déplaçant l'élément de polissage en forme de courroie dans une direction opposée à la direction de déplacement de la pièce. On connaît un autre procédé qui conduit un traitement de polissage en appuyant un élément de polissage en forme de rouleau rotatif dans la direction longitudinale de la pièce ayant les deux extrémités qui sont étendues. Selon ces procédés, la pièce est envoyée vers ou enroulée autour d'un rouleau de transport ou de déplacement ou d'une bobine de transport ou de déplacement situé en amont ou en aval dans une direction de déplacement, et est ainsi déplacée. Pour déplacer la pièce, il est nécessaire de tirer la pièce grâce à une force plUs grande que la force de friction entre la pièce et l'élément de polissage. La pièce peut casser du fait de la force de tension générée dans la pièce à ce moment-là.

Afin de traiter le problème exposé ci-dessus, la présente invention prévoit, dans un premier aspect, un appareil de traitement de surface qui comporte une partie de traitement de surface ayant une surface de traitement qui est configurée pour faire face à une première surface d'une pièce et pour traiter la première surface ; un dispositif de support ayant une surface de support, la surface de support étant configurée pour faire face à une deuxième surface opposée à la première surface de la 3025737 2 pièce ; et une partie de déplacement qui est configurée pour appliquer une force dans une direction dans laquelle la surface de support est appuyée de manière relative sur la surface de traitement, déplacer la surface de support 5 dans une direction de déplacement de la pièce différente de la direction de la force, et déplacer ainsi la pièce dans la direction de déplacement. De préférence, lorsque l'appareil de traitement de surface est mis en oeuvre, un coefficient de friction de 10 la deuxième surface et de la surface de support est plus grand qu'un coefficient de friction de la première surface et de la surface de traitement. L'appareil de traitement de surface peut être configuré pour appliquer une force à la pièce à partir de 15 la partie de traitement de surface dans une direction qui croise la direction de déplacement de la pièce. La pièce peut être en forme de feuille. La surface de traitement peut être une surface de polissage qui agit dans une direction différente de la 20 direction de déplacement quand elle est en contact avec la première surface et polit la première surface. L'appareil de traitement de surface peut comprendre en outre un dispositif de commande qui commande le fonctionnement de la partie de déplacement, et le 25 dispositif de commande est apte à actionner la partie de déplacement de manière à appliquer une première force, à faire tourner la surface de polissage après l'application de la première force, à augmenter une force pour produire une deuxième force plus grande que la première force et 30 déplacer alors la surface de support dans la direction de déplacement une fois que la vitesse de rotation de la surface de polissage a atteint une vitesse de rotation prédéterminée, à réduire la force après le déplacement, à 3025737 3 arrêter la rotation de la surface de polissage, et à relâcher la force (ou cesser d'appliquer la force). Enfin, la pièce peut être en forme de feuille ou en forme de courroie.

5 Par ailleurs, la présente invention prévoit, dans un deuxième aspect, un procédé de traitement de surface qui comporte le fait d'appliquer une force dans une direction dans laquelle une surface de support est appuyée de manière relative sur une surface de traitement ; et de déplacer la 10 surface de support dans une direction de déplacement d'une pièce différente de la direction de la force, et de déplacer ainsi la pièce dans la direction de déplacement, la pièce étant disposée entre la surface de traitement et la surface de support, la surface de traitement traitant 15 une première surface de la pièce, la surface de support faisant face à une deuxième surface opposée à la première surface de la pièce, un coefficient de friction de la deuxième surface et de la surface de support étant plus grand qu'un coefficient de friction de la première surface 20 de la pièce et de la surface de traitement. Le procédé de traitement de surface peut comprendre en outre le fait d'appliquer une première force dans la direction dans laquelle la surface de support est appuyée de manière relative sur la surface de traitement ; 25 de faire tourner la surface de polissage ; d'augmenter une force pour produire une deuxième force plus grande que la première force une fois que la vitesse de rotation de la surface de polissage a atteint une vitesse de rotation prédéterminée ; de déplacer la surface de .support dans la 30 direction de déplacement pour déplacer la pièce ; de réduire la force après le déplacement ; d'arrêter la rotation de la surface de polissage ; et de libérer ou relâcher la force une fois que la rotation s'est arrêtée.

3025737 4 La figure 1 est une vue en plan d'un appareil de polissage selon une première forme de réalisation ; La figure 2 est une vue de côté du même appareil de polissage ; 5 La figure 3 est une vue en perspective du même appareil de polissage ; La figure 4 est un schéma explicatif montrant le fonctionnement du même appareil de polissage ; La figure 5 est une vue en perspective d'un 10 appareil de polissage selon une autre forme de réalisation ; et La figure 6 est une vue en perspective d'un appareil de polissage selon une autre forme de réalisation.

15 Selon une forme de réalisation, un appareil de traitement de surface comprend une partie de traitement de surface, un dispositif de support, une partie de déplacement. La partie de traitement de surface a une surface de traitement qui fait face à une première surface 20 d'une pièce et qui traite la première surface. Le dispositif de support a une surface de support, la surface de support faisant face à une deuxième surface opposée à la première surface de la pièce, un coefficient de friction de la deuxième surface et de la surface de support étant plus 25 grand qu'un coefficient de friction de la première surface et de la surface de traitement. La partie de déplacement applique une force dans une direction dans laquelle la surface de support est appuyée de manière relative sur la surface de traitement, déplace la surface de support dans 30 une direction de déplacement de la pièce différente de la direction de la force, et déplace ainsi la pièce dans la direction de déplacement. [Première forme de réalisation] 3025737 5 Un appareil de polissage 1 selon une première forme de réalisation de la présente invention va être décrit ci-après en se référant aux figures 1 à figure 4. La figure 1 est une vue en plan de l'appareil de polissage 1 5 selon la première forme de réalisation. La figure 2 est une vue de côté. La figure 3 est une vue en perspective. Les flèches x, y, et z dans les dessins indiquent trois directions qui se coupent à angle droit l'une par rapport à l'autre. x s'étend le long d'une direction de déplacement, 10 et z s'étend le long d'une direction de pression. Des composants représentés dans chacun des dessins sont agrandis, réduits, ou omis comme cela s'avère approprié pour l'explication. Dans la présente forme de réalisation, une pièce 10 en forme de bande est choisie à titre 15 d'exemple. Plus spécialement, un élément en forme de courroie est choisi comme pièce 10 pour faire l'objet d'un traitement. De plus, dans la présente forme de réalisation, l'appareil de polissage 1 (appareil de traitement de surface) et un procédé de polissage (procédé de traitement 20 de surface) pour conduire un traitement de polissage afin de polir la surface de la pièce 10 à l'aide d'une surface de polissage 31a sont décrits comme un exemple d'un traitement de surface. Comme cela est représenté dans la figure 1 et la 25 figure 2, l'appareil de polissage 1 comporte une partie de polissage 30 ayant la surface de polissage 31a qui soumet une première surface lia de la pièce 10 à un traitement, de polissage, une partie de mécanisme de déplacement de support 20 qui comprend une table de maintien 21 en tant 30 que dispositif de support ayant une surface de support 21a destinée à supporter la pièce 10 et qui comprend une partie de déplacement 22 destinée à déplacer la pièce 10 en déplaçant la table de maintien 21, et un dispositif de commande 40 qui commande les fonctionnements de la partie 3025737 6 de polissage 30 et de la partie de déplacement 22. Dans la figure 1 et la figure 3, la partie de déplacement 22 et un appareil post-traitement 2 ne sont pas représentés. La pièce 10 est un élément en forme de courroie 5 mince plus long dans la direction de déplacement qui est la direction X. La pièce 10 est fabriquée, par exemple, en cuivre, en aluminium, en acier inoxydable, ou un stratifié de ces matériaux. La pièce 10 est formée, par exemple, avec une épaisseur de 0,1 mm à 1,0 mm qui est une dimension dans 10 la direction Z, et une largeur de 10 mm à 200 mm qui est une dimension dans la direction Y. La pièce 10, par exemple, est enroulée et protégée avant l'étape du traitement de polissage. La première surface 11a, une deuxième surface 11b, la surface de support 21a, et la 15 surface de polissage 31a sont disposées suivant un plan XY, et un axe de rotation Cl est situé le long d'un axe Z. La partie de polissage 30 qui est une partie de traitement de surface comporte un tissu abrasif 31 qui est en forme de disque et qui constitue la surface de polissage 20 31a sur sa surface extérieure. Le tissu abrasif 31 se compose, par exemple, d'alumine ou de carbure de silicium fondus. La partie de polissage 30 est reliée au dispositif de commande 40, et tourne autour du centre axial Cl sous la commande du dispositif de commande 40. Le tissu abrasif 31 25 qui constitue la surface de polissage 31a reçoit la surface inférieure qui est la première surface lia de la pièce 10. Le tissu abrasif 31 fonctionne dans une direction circonférentielle différente de la direction de déplacement lorsqu'elle est en contact avec la première surface lia en 30 réponse à la rotation de la partie de polissage 30, et polit ainsi la première surface 11a. Dans le même temps, une force dans une direction (par exemple, une direction latérale) qui croise la direction de déplacement est 3025737 7 appliquée sur la pièce 10 et la surface de support 21a du fait du mouvement dans la direction circonférentielle. La surface de polissage 31a est plus grande que la largeur de la pièce 10 ou de la table de maintien 21, et 5 est d'une forme circulaire ayant un diamètre plus grand qu'un pas de déplacement Pl. La pièce 10 se trouve dans une position plus proche d'un côté que le centre axial Cl de la partie de polissage 30. La table de maintien 21 se trouve à l'opposé à travers la pièce 10. Ainsi, en réponse à la 10 rotation de la partie de polissage 30, la surface de polissage 31a se déplace dans la direction circonférentielle, et une force dans la direction latérale (direction Y) différente de la direction de déplacement est appliquée sur la pièce 10 et la table de maintien 21 qui 15 sont en contact avec la surface de polissage 31a. La partie de mécanisme de déplacement de support 20 comporte la table de maintien 21 qui reçoit la surface supérieure qui est la surface extérieure llb de la pièce 10, et la partie de déplacement 22 qui déplace la table de 20 maintien 21 pour déplacer la pièce 10. La table de maintien 21 est, par exemple, en une forme de plaque rectangulaire longue plus longue dans la direction de déplacement, et a la surface de support 21a qui fait face à la surface de polissage 31a à travers la 25 pièce 10. Dans la présente forme de réalisation, la surface inférieure de la table de maintien 21 est la surface de support plate 21a, et cette surface de support 21a reçoit la surface supérieure qui est la surface extérieure llb de la pièce 10. Ici, une surface latérale de la table de 30 maintien 21 est placée dans une position dans laquelle elle est traversée par l'axe central Cl. En d'autres termes, le centre de la table de maintien 21 se trouve plus près d'un côté que le centre axial Cl. La surface de support 21a fait face à la deuxième surface llb opposée à la première 3025737 8 surface lia de la pièce 10. La table de maintien 21 est fabriquée, par exemple, en acier inoxydable ou en céramique. Sa surface de support 21a, c'est-à-dire la surface qui vient en contact avec la pièce en forme de 5 courroie 10 est revêtue de caoutchouc tel que du silicone comme traitement pour augmenter le coefficient de friction. Un coefficient de friction it 1 de la deuxième surface llb et de la surface de support 21a est prévu pour être plus grand qu'un coefficient de friction p. 2 de la première 10 surface lia de la pièce 10 et de la surface de polissage 31a. La partie de déplacement 22 est reliée au dispositif de commande 40, et est capable de déplacer la table de maintien 21 vers le haut et vers le bas le long de 15 la direction z et de faire coulisser la table de maintien 21 en arrière et en avant le long de la direction x sous la commande du dispositif de commande 40. La table de maintien 21 vient dans et hors de la surface de polissage 31a en réponse aux mouvements vers le 20 haut et vers le bas. En d'autres termes, la partie de déplacement 22 applique une force dans une direction dans laquelle la table de maintien 21 est déplacée vers le bas et la surface de support 21a est appuyée de manière relative sur la surface de polissage 31a. La partie de 25 déplacement 22 réduit ou libère cette force de pression en déplaçant la table de maintien 21 vers le haut. Par conséquent, la force de pression peut être ajustée sous la commande du dispositif de commande 40. Puisque le coefficient de friction pt 1 de la 30 deuxième surface llb et de la surface de support 21a est prévue pour être plus grande que le coefficient de friction 2 de la première surface lia de la pièce 10 et de la surface de polissage 31a, il est possible de déplacer la pièce 10 en combinant le mouvement de coulissement de la 3025737 9 table de maintien 21 le long de l'axe x avec la commande de la force dans la direction d'axe z. En d'autres termes, la partie de déplacement 22 déplace la table de maintien 21 vers le bas pour appuyer la 5 table de maintien 21 sur la surface de polissage 31a, et fait coulisser la table de maintien 21 vers l'avant dans la direction de déplacement tout en appliquant une force vers le bas, en déplaçant ainsi la pièce 10 faisant face à la surface de support 21a avec une force de friction plus 10 grande dans la direction de déplacement avec le mouvement de la surface de support 21a dans la direction x. Comme cela est représenté dans la figure 2, l'appareil post-traitement 2 qui conduit un traitement après le traitement de polissage est prévu de façon 15 adjacente au côté en aval de l'appareil de polissage 1 selon la présente forme de réalisation dans la direction de déplacement. L'appareil post-traitement 2 est, par exemple, un appareil de formation de film mince utilisant une pulvérisation ou un dépôt en phase vapeur.

20 Le fonctionnement de l'appareil de polissage 1 ayant la configuration ci-dessus est décrit en se référant à la figure 4. La figure 4 est un schéma explicatif montrant le fonctionnement de l'appareil de polissage 1, et montre un diagramme de temps des opérations : les 25 mouvements vers le haut et vers le bas (opération haut-bas) de la table de maintien 21, l'opération de rotation de la partie de polissage 30, la force appliquée sur la table de maintien 21, et l'opération de déplacement de la table de maintien 21.

30 Lorsqu'il reçoit l'instruction de commencer un traitement de polissage, le dispositif de commande 40 entraîne tout d'abord la partie de déplacement 22 pour déplacer la table de maintien 21 vers le bas, amène la table de maintien 21 en contact avec la surface de 3025737 10 polissage 31a, et maintient une première force préétablie (force faible). La partie de polissage 30 est alors entraînée, et la surface de polissage 31a est amenée à tourner. La surface de polissage 31a tourne à une vitesse 5 de rotation prédéterminée, de telle sorte que la première surface lia de la pièce 10 est polie. Le dispositif de commande 40 augmente en outre la force vers le bas pour appuyer la table de maintien 21 sur la surface de polissage 31a même après le début de la rotation. Quand la force a 10 atteint une deuxième force (force de polissage) plus grande que la première force et quand la vitesse de rotation de la partie de polissage 30 a atteint une valeur prédéterminée, le dispositif de commande 40 entraîne la partie de déplacement 22, et fait coulisser la table de maintien 21 15 au pas de déplacement prédéterminé Pl vers l'avant dans la direction de déplacement. Le pas de déplacement Pl est établi à une dimension prédéterminée plus petite que la dimension de la surface de polissage 31a dans la direction de déplacement. A ce stade, le coefficient de friction µl > 20 i12, de telle sorte que la pièce 10 se déplace dans la direction de déplacement au même pas de déplacement P1 en réponse au mouvement de la table de maintien 21. Par conséquent, alors que le traitement de polissage est réalisé, la pièce 10 se déplace dans la direction de 25 déplacement avec la table de maintien 21, et la pièce 10 est déplacée vers l'avant sur une distance du pas de déplacement prédéterminé Pl dans la direction de déplacement. Après la fin du déplacement au pas de déplacement 30 prédéterminé Pl, le dispositif de 'commande 40 réduit la force sur la table de maintien 21, et arrête la rotation de la partie de polissage 30. Une fois que la rotation de la partie de polissage 30 est arrêtée, la table de maintien 21 est soulevée, et amenée à l'écart de la pièce 10. Alors que 3025737 11 la table de maintien 21 est à l'écart, la table de maintien 21 est déplacée vers l'arrière du pas de déplacement prédéterminé P1 dans la direction de déplacement, et la position de la table de maintien 21 dans la direction x est 5 rétablie. En ce qui concerne l'opération de rétablissement de la table de maintien 21, il est également possible de remettre la table de maintien 21 sans arrêter la rotation du tissu abrasif 31. Dans ce cas, il est nécessaire 10 d'appliquer une force de tension des deux côtés de la pièce 10 dans la direction de déplacement de telle sorte que la pièce 10 ne peut pas être déformée quand la pression pour appuyer la première surface lia de la pièce 10 sur le tissu abrasif 31 par la table de maintien 21 est 0.

15 En répétant les opérations décrites ci-dessus, c'est-à-dire une série d'opérations comportant les étapes du mouvement vers le bas, du début de rotation, de l'augmentation de la force, du déplacement, de la diminution de la force, de l'arrêt de la rotation, du 20 mouvement vers le haut, et du rétablissement, il est possible de polir de manière séquentielle la pièce en forme de courroie 10 tout en déplaçant la pièce 10 du pas de déplacement prédéterminé Pl. Les effets avantageux suivants sont obtenus par 25 grâce à l'appareil de polissage 1 et au procédé de polissage selon la forme de réalisation. C'est-à-dire qu'il n'y a pas de rouleaux et de bobines utilisés pour appliquer la force de tension afin de déplacer la pièce 10, de telle sorte que même si la force de polissage augmente, la pièce 30 en forme de courroie 10 peut être polie sans rupture. Puisqu'un mécanisme destiné à tirer la pièce 10 n'est pas nécessaire, il est possible de passer au processus suivant sans toucher la surface polie, et d'empêcher des corps étrangers d'adhérer à la première surface lia de la pièce à 3025737 12 partir de, par exemple, un rouleau de déplacement. Par exemple, dans la présente forme de réalisation, l'appareil de formation de film mince pour la pulvérisation ou le dépôt en phase vapeur est prévu à la suite, et la pièce 10 5 peut se déplacer vers un processus de formation de film mince sans entrer en contact avec les éléments de déplacement pour le traitement de polissage. Par conséquent, les effets néfastes des corps étrangers dans le processus suivant peuvent être empêchés par la prévention 10 de l'adhésion des corps étrangers. De plus, il n'est pas nécessaire de prévoir une marge de saisie pour le déplacement, et les restrictions de la forme de la pièce 10 peuvent être réduites. La force générée latéralement par rapport à la 15 direction longitudinale de la pièce en forme de courroie 10 par le tissu abrasif en rotation 31 peut être reçue par la table de maintien 21, de telle sorte que la déformation de la pièce 10 peut être empêchée. La forme de réalisation décrite ci-dessus est 20 illustrative seulement, et ne limite pas la portée de l'invention. Par exemple, un tissu abrasif 31 n'est pas disposé de manière exclusive, et plus d'un tissu abrasif 31 peut être disposé. Par exemple, dans un appareil de polissage lA représenté dans la figure 5 en tant qu'autre 25 forme de réalisation, deux tissus abrasifs 31 sont prévus en parallèle le long de la direction de déplacement. L'appareil de polissage lA est semblable à d'autres égards à l'appareil de polissage 1 selon la première forme de réalisation décrite ci-dessus.

30 Des effets avantageux similaires à ceux dans la première forme de réalisation peuvent également être obtenus par le matériel de polissage lA et un procédé de polissage selon la présente forme de réalisation. Selon la présente forme de réalisation, plus d'un tissu abrasif 31a 3025737 13 est disposé en parallèle le long de la direction longitudinale de la pièce en forme de courroie 10, de telle sorte que la plage de polissage de la pièce 10 dans la direction longitudinale peut être étendue, et le pas de 5 déplacement peut également être augmenté. Selon la longueur de la pièce en forme de courroie 10, une bobine d'alimentation destinée à délivrer la pièce en forme de courroie 10 et une bobine d'enroulement destinée à enrouler la pièce en forme de 10 courroie 10 une fois qu'elle est polie peuvent être disposées. Dans un appareil de polissage 1B représenté dans la figure 6 en tant qu'autre forme de réalisation, une bobine d'alimentation 41 est prévue sur le côté amont dans la direction de déplacement de la pièce 10, et une bobine 15 d'enroulement 42 est prévue sur le côté en aval dans la direction de déplacement de la pièce 10. La bobine d'alimentation 41 et la bobine d'enroulement 42 peuvent également être un mécanisme destiné à appliquer une force de tension afin d'éliminer le jeu de la pièce en forme de 20 courroie 10 sur la pièce en forme de courroie 10. Dans ce cas également, ni un mécanisme pour le déplacement ni une force de tension pour le déplacement n'est nécessaire, et le maintien avec une faible force de tension est suffisant. Par conséquent, dans la présente forme de réalisation 25 également, des effets avantageux semblables à ceux de la première forme de réalisation peuvent également être obtenus. C'est-à-dire qu'il n'y a pas de rouleaux et de bobines utilisés pour appliquer une force de tension pour déplacer la pièce 10, de telle sorte que, même si la force 30 de polissage augmente, la pièce en forme de courroie 10 peut être polie sans rupture. Puisque la force générée latéralement par rapport à la direction longitudinale de la pièce en forme de courroie 10 par le tissu abrasif en rotation 31 peut être reçue par la table de maintien 21, la 3025737 14 déformation de la pièce 10 peut être empêchée. Une feuille d'insertion peut être insérée pour empêcher le tissu abrasif 31a d'être souillé et endommagé quand la pièce en forme de courroie 10 est enroulée autour de la bobine d'enroulement. Bien que l'appareil de polissage 1 ayant le tissu abrasif 31a ait été représenté comme appareil de traitement de surface à titre d'exemple, l'appareil de traitement de surface n'est pas limité aux appareils ci-dessus. Par 10 exemple, la présente invention s'applique également à une machine de polissage ou à un dispositif de nettoyage par essuyage comme appareil de traitement de surface. Dans ce cas également, des effets avantageux semblables à ceux dans les formes de réalisation décrites ci-dessus peuvent 15 également être obtenus. Bien que certaines formes de réalisation aient été décrites, ces formes de réalisation ont été présentées à titre d'exemple seulement, et ne sont pas prévues pour limiter la portée des inventions. En effet, les formes de 20 réalisation nouvelles décrites ci-dessus peuvent être mises en oeuvre dans une variété d'autres formes ; en outre, des omissions, des substitutions et des changements divers dans la forme des formes de réalisation décrites ici peuvent être réalisés sans s'écarter de l'esprit des inventions. 25

Claims

REVENDICATIONS1. Appareil de traitement de surface (1) caractérisé en ce qu'il comporte : une partie de traitement de surface (30) ayant 5 une surface de traitement (31a) qui est configurée pour faire face à une première surface (11a) d'une pièce (10) et pour traiter la première surface (11a) ; un dispositif de support (21) ayant une surface de support (21a), la surface de support (21a) étant 10 configurée pour faire face à une deuxième surface (11b) opposée à la première surface (11a) de la pièce (10), un coefficient de friction de la deuxième surface (11b) et de la surface de support (21a) étant plus grand qu'un coefficient de friction de la première surface (11a) et de 15 la surface de traitement (31a) ; et une partie de déplacement (22) qui est configurée pour appliquer une force dans une direction dans laquelle la surface de support (21a) est appuyée de manière relative sur la surface de traitement (31a), déplacer la surface de 20 support (21a) dans une direction de déplacement de la pièce (10) différente de la direction de la force, et déplacer ainsi la pièce (10) dans la direction de déplacement.
2. Appareil de traitement de surface (1) selon la 25 revendication 1, configuré pour appliquer une force à la pièce (10) à partir de la partie de traitement de surface (30) dans une direction qui croise la direction de déplacement de la pièce (10). 3025737 16
3. Appareil de traitement de surface (1) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la pièce (10) est en forme de feuille, et la surface de traitement (31a) est une surface de 5 polissage qui agit dans une direction différente de la direction de déplacement quand elle est en contact avec la première surface (lia) et polit la première surface (11a).
4. Appareil de traitement de surface (1) selon l'une 10 quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un dispositif de commande (40) qui commande le fonctionnement de la partie de déplacement (22), et en ce que le dispositif de commande (40) est 15 apte à actionner la partie de déplacement (22) de manière à appliquer une première force, à faire tourner la surface de polissage (31a) après l'application de la première force, à augmenter une force pour produire une deuxième force plus grande que la première force et à déplacer alors la surface 20 de support (21a) dans la direction de déplacement une fois que la vitesse de rotation de la surface de polissage (31a) a atteint une vitesse de rotation prédéterminée, à réduire la force après le déplacement, à arrêter la rotation de la surface de polissage (31a), et à relâcher la force. 25
5. Appareil de traitement de surface (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la pièce (10) est en forme de courroie. 30
6. Procédé de traitement de surface caractérisé en ce qu'il comporte le fait de : appliquer une force dans une direction dans laquelle une surface de support (21a) est appuyée de manière relative sur une surface de traitement (31a) ; et 3025737 17 déplacer la surface de support (21a) dans une direction de déplacement d'une pièce (10) différente de la direction de la force, et déplacer ainsi la pièce (10) dans la direction de déplacement, la pièce (10) étant disposée entre la surface de traitement (31a) et la surface de support (21a), la surface de traitement (31a) traitant une première surface (11a) de la pièce (10), la surface de support (21a) faisant face à une deuxième surface (11b) opposée à la première surface (11a) de la pièce (10), un coefficient de friction de la deuxième surface (11b) et de la surface de support (21a) étant plus grand qu'un coefficient de friction de la première surface (11a) de la pièce (10) et de la surface de traitement (31a).
7. Procédé de traitement de surface selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'une force est appliquée sur la pièce (10) dans une direction qui croise la direction de déplacement de la pièce (10).
8. Procédé de traitement de surface selon la revendication 6 ou 7, caractérisé en ce que la surface de traitement (31a) est une surface de polissage qui agit dans une direction différente de la direction de déplacement quand elle est en contact avec la première surface (11a) et polit la première surface (11a).
9. Procédé de traitement de surface selon l'une quelconque des revendications 6 à 8, caractérisé en ce qu'il comporte en outre le fait de : appliquer une première force dans la direction dans laquelle la surface de support (21a) est appuyée de manière relative sur la surface de traitement (31a) ; faire tourner la surface de polissage (31a) ; 3025737 18 augmenter une force pour produire une deuxième force plus grande que la première force une fois que la vitesse de rotation de la surface de polissage (31a) a atteint une vitesse de rotation prédéterminée ; 5 déplacer la surface de support (21a) dans la direction de déplacement pour déplacer la pièce (10) ; réduire la force après le déplacement ; arrêter la rotation de la surface de polissage (31a) ; et 10 relâcher la force une fois que la rotation s'est arrêtée.
10. Procédé de traitement de surface selon l'une quelconque des revendications 6 à 9, caractérisé en ce que 15 la pièce (10) est en forme de feuille.
11. Procédé de traitement de surface selon l'une quelconque des revendications 6 à 10, caractérisé en ce que la pièce (10) est en forme de courroie. 20