La présente invention concerne le domaine technique des dépôts multiples de couches minces et en particulier mais non exclusivement celui des têtes de sublimation d'un élément filaire pour effectuer de tels dépôts.The present invention relates to the technical field of multiple deposition of thin layers and in particular but not exclusively that of sublimation heads of a wire element to perform such deposition.
Il est connu que les termes « couches minces » désignent un revêtement de matériau déposé sur un substrat, et dont l'épaisseur peut varier de quelques dixièmes de nanomètres à une dizaine de microns. Un tel revêtement modifie les propriétés du substrat sur lequel il est déposé, par exemple : - pour la fabrication de composants électroniques plus ou moins isolants ou conducteurs ; - pour la protection contre l'oxydation des surfaces ; - pour la protection de surfaces de substrats, en en faisant varier les propriétés mécaniques de surface, comme par exemple la résistance à l'usure ; ou - pour modifier les propriétés optiques du substrat, qui peut, par exemple, être visualisé à l'aide d'un microscope électronique à balayage. Il existe aujourd'hui plusieurs procédés pour effectuer les dépôts de 20 couches minces, comme par exemple le revêtement galvanique, les procédés sol-gel, l'enduction centrifuge et les dépôts sous vide en phase vapeur. Les dépôts sous vide sont, notamment, effectués dans des réacteurs prévus à cet effet, qui comprennent une enceinte étanche délimitant un volume fermé, au moins une pompe à vide pour l'évacuation de gaz contenu 25 dans l'enceinte, au moins un instrument de contrôle de niveau de vide de l'enceinte maintenue à pression faible, un poste de sublimation du matériau destiné au revêtement et un suscepteur de fixation du substrat sur lequel le dépôt est destiné à être effectué. Le poste de sublimation comporte notamment une tête de sublimation d'un élément filaire maintenu entre deux 30 tiges assurant le raccordement électrique avec une source d'alimentation électrique. La source d'alimentation est pilotée pour délivrer un courant de 3006 3 3 3 2 forte intensité au travers de l'élément filaire de manière à obtenir sa sublimation au moins partielle. Pour renouveler cette opération de sublimation, il est nécessaire de mettre l'enceinte à la pression atmosphérique afin de sortir la tête de 5 sublimation pour remplacer l'élément filaire usagé par un élément filaire neuf. Une telle opération est longue et couteuse en raison, notamment, de la dépressurisation à réaliser. Il est connu de disposer plusieurs filaments en parallèle entre deux tiges conductrices, comme décrit par exemple par la demande de brevet GB 10 1 321 486, l'ensemble comprenant les tiges conductrices et les filaments tournant autour d'un axe pour uniformiser le dépôt. Cette solution ne permet pas de garantir une uniformité des dépôts, car deux filaments parallèles sont nécessairement à des positions différentes dans l'espace par rapport au substrat sur lequel le dépôt doit être effectué. 15 Un premier but de l'invention est donc de fournir une tête de sublimation d'éléments filaires qui remédie aux inconvénients présentés ci-dessus et qui permet de sublimer plusieurs éléments filaires tout en garantissant répétitivité et homogénéité des différents dépôts. Bien entendu, cette tête de sublimation doit être facile à mettre en oeuvre et facile à entretenir, notamment en nécessitant le moins d'intervention possible d'un utilisateur. A cet effet, l'objet de la présente invention est donc une tête de sublimation d'un élément filaire conducteur électrique maintenu entre au moins deux organes de préhension, ledit élément filaire étant sublimable au moins partiellement lors de la connexion électrique des organes de préhension avec un poste de sublimation, qui comporte un châssis présentant un poste de prélèvement de l'élément filaire acheminé jusqu'au dit poste à partir d'une réserve, un équipage mobile en rotation autour de son axe, équipé des au moins deux organes de préhension dudit élément filaire, lesdits organes de préhension étant positionnés sur l'équipage pour prélever l'élément filaire au niveau du poste de prélèvement, lors de la rotation de l'équipage, un système de commande par incrémentation de la rotation de l'équipage selon un sens donné de rotation pour amener de manière répétée, les organes de préhension au poste de sublimation, en passant à chaque fois au poste de prélèvement et un système d'activation ou de désactivation en préhension des organes de préhension pour activer la préhension de l'élément filaire par l'organe de préhension, en aval du poste de prélèvement jusqu'au poste de sublimation de l'élément filaire, et désactiver la préhension de l'élément filaire par l'organe de préhension, en sortie du poste de sublimation et en amont du poste de prélèvement. Avantageusement, la tête de sublimation objet de l'invention permet d'améliorer la répétitivité des dépôts de par le fait qu'elle comporte une réserve de l'élément filaire à sublimer en un seul poste de sublimation. Selon une forme préférée de réalisation, le système d'activation en préhension comprend une came, et en ce que chaque organe de préhension comporte un mors fixe monté sur l'équipage et un mors mobile par rapport à l'équipage et formant pince avec le mors fixe, le mors mobile étant prolongé par un bras de levier pour coopérer avec la came pour activer ou désactiver la préhension de l'élément filaire. Selon un exemple préféré de réalisation, le mors mobile et le mors fixe sont en liaison pivot, le pivotement des mors l'un par rapport à l'autre réalisant l'activation de la préhension lorsque les mors sont serrés et la désactivation lorsque les mors sont séparés. Selon une forme préférée de réalisation, chaque organe de préhension comporte un organe de rappel élastique qui maintient le contact entre le bras de levier et la came pour commander l'activation et la désactivation en préhension dudit organe. Selon un exemple préféré de réalisation, la came comporte un chanfrein s'étendant de part et d'autre de l'axe de l'équipage. Selon une forme particulière de réalisation, le poste de sublimation comprend deux bornes de conduction électrique avec lesquelles sont destinés à venir en contact les deux organes de préhension réalisés en un matériau conducteur électrique, les deux bornes de conduction électrique étant reliées à une source électrique pilotée pour assurer le passage d'un courant électrique dans l'élément filaire maintenu par les organes de préhension en vue d'obtenir sa sublimation au moins partielle. Selon une forme préférée de réalisation, le poste de sublimation est relié électriquement à un système de mesure électrique pour mesurer les caractéristiques conductrices de l'élément filaire maintenu entre les organes de préhension. Ceci permet avantageusement, de vérifier la présence de l'élément filaire ou d'en mesurer l'état ou le stade de sa sublimation. Selon un exemple particulier de réalisation, l'élément filaire est choisi parmi le groupe de matériaux comprenant l'or, le carbone, l'argent et l'aluminium ou un de leurs alliages. Selon un exemple avantageux de réalisation, l'élément filaire est enroulé sur une bobine formant la réserve dudit élément filaire. Selon un autre exemple particulier de réalisation, le châssis comporte une platine de fixation du type d'une porte étanche pour chambre à vide ultra élevé, le système de commande de la rotation de l'équipage comprenant un arbre, traversant ladite platine par un joint d'étanchéité du vide ultra élevé. Un deuxième but de l'invention est de fournir un réacteur pour le dépôt 20 de couches minces, ce qui permet d'économiser de l'énergie tout en limitant l'intervention d'un utilisateur. A cet effet, l'objet de la présente invention est donc un réacteur pour le dépôt de couches minces d'un matériau sur un substrat par croissance en phase vapeur comprenant une enceinte étanche délimitant un volume fermé, 25 au moins une pompe à vide pour l'évacuation de gaz contenu dans ladite enceinte, au moins un instrument de contrôle du niveau du vide de l'enceinte, un poste de sublimation dudit matériau choisi, un suscepteur qui porte le substrat sur lequel le dépôt est destiné à être effectué, qui comprend une tête de sublimation objet de l'invention montée à l'intérieur de 30 l'enceinte étanche. Un troisième but de l'invention est de mettre en oeuvre un procédé de sublimation d'un élément filaire conducteur électrique, qui soit facile à mettre en oeuvre tout en garantissant une plus grande répétitivité des dépôts que dans ce qui est connu. A cet effet, l'objet de la présente invention est donc un procédé de sublimation d'un élément filaire conducteur électrique maintenu entre au moins deux organes de préhension, ledit élément filaire étant sublimable au moins partiellement lors de la connexion électrique des organes de préhension avec un poste de sublimation, qui consiste à placer une réserve de l'élément filaire de manière à acheminer ledit élément jusqu'à un poste de prélèvement, à amener de manière répétée, les organes de préhension au poste de sublimation en passant à chaque fois au poste de prélèvement, à activer la préhension de l'élément filaire par l'organe de préhension qui passe devant le poste de prélèvement, à réaliser la sublimation dudit élément filaire lorsque les deux organes de préhension maintenant l'élément filaire sont au poste de sublimation et à désactiver la préhension de l'élément filaire par l'organe de préhension qui sort du poste de sublimation et jusqu'au poste de prélèvement. Selon un mode préféré de réalisation du procédé objet de l'invention, l'activation et la désactivation des organes de préhension sont commandées lors de la mise en rotation desdits organes autour d'un axe de rotation.It is known that the terms "thin layers" denote a coating of material deposited on a substrate, and whose thickness may vary from a few tenths of nanometers to about ten microns. Such a coating modifies the properties of the substrate on which it is deposited, for example: for the manufacture of more or less insulating or conductive electronic components; - for protection against oxidation of surfaces; for the protection of substrate surfaces, by varying the mechanical properties of the surface, for example the resistance to wear; or - to modify the optical properties of the substrate, which can, for example, be visualized using a scanning electron microscope. There are now several methods for performing thin film deposition, such as, for example, galvanic coating, sol-gel processes, spin coating and vacuum vapor deposition. The vacuum deposits are, in particular, carried out in reactors provided for this purpose, which comprise a sealed enclosure delimiting a closed volume, at least one vacuum pump for discharging gas contained in the chamber, at least one instrument vacuum level control of the chamber maintained at low pressure, a sublimation station of the material for the coating and a susceptor for fixing the substrate on which the deposit is to be made. The sublimation station comprises in particular a sublimation head of a wire element held between two rods ensuring the electrical connection with a power source. The power source is driven to deliver a high current 3006 3 3 3 2 through the wire element so as to obtain its sublimation at least partial. To renew this sublimation operation, it is necessary to put the chamber at atmospheric pressure in order to remove the sublimation head to replace the used wire element with a new wire element. Such an operation is long and expensive because, in particular, the depressurization to achieve. It is known to arrange several filaments in parallel between two conducting rods, as described, for example, in GB patent application 1 321 486, the assembly comprising the conductive rods and the filaments rotating about an axis in order to standardize the deposit. This solution does not guarantee uniformity of deposits, because two parallel filaments are necessarily at different positions in space relative to the substrate on which the deposit must be made. A first object of the invention is therefore to provide a wire element sublimation head which overcomes the disadvantages presented above and which allows to sublimate several wire elements while ensuring repetitiveness and homogeneity of the different deposits. Of course, this sublimation head must be easy to implement and easy to maintain, including requiring the least possible intervention of a user. For this purpose, the object of the present invention is therefore a sublimation head of an electrically conductive wire element held between at least two gripping members, said wire element being sublimable at least partially during the electrical connection of the gripping members. with a sublimation station, which comprises a frame having a wireline pick-up station routed to said station from a reserve, a movable element rotating about its axis, equipped with at least two gripping said wire element, said gripping members being positioned on the crew to withdraw the wire element at the sampling station, during the rotation of the crew, a control system by incrementing the rotation of the crew according to a given direction of rotation to bring repeatedly, the gripping members to the sublimation station, by passing each time to sampling station and an activation or deactivation system gripping the gripping members to activate gripping of the wire element by the gripping member, downstream of the sampling station to the sublimation station of the element wired, and disable the gripping of the wired element by the gripping member at the output of the sublimation station and upstream of the sampling station. Advantageously, the sublimation head which is the subject of the invention makes it possible to improve the repetitiveness of the deposits by the fact that it comprises a reserve of the wire element to be sublimated in a single sublimation station. According to a preferred embodiment, the gripping activation system comprises a cam, and in that each gripping member comprises a fixed jaw mounted on the crew and a movable jaw with respect to the crew and forming a gripper with the fixed jaw, the movable jaw being extended by a lever arm to cooperate with the cam to activate or deactivate the gripping of the wire element. According to a preferred embodiment, the movable jaw and the fixed jaw are pivotally connected, the pivoting of the jaws relative to each other realizing the activation of the grip when the jaws are tight and the deactivation when the jaws are separated. According to a preferred embodiment, each gripping member comprises an elastic return member which maintains contact between the lever arm and the cam to control the activation and deactivation gripping said member. According to a preferred embodiment, the cam comprises a chamfer extending on either side of the axis of the crew. According to a particular embodiment, the sublimation station comprises two electrical conduction terminals with which are intended to come into contact with the two gripping members made of an electrically conductive material, the two electrical conduction terminals being connected to a controlled electrical source to ensure the passage of an electric current in the wired element maintained by the gripping members to obtain its sublimation at least partial. According to a preferred embodiment, the sublimation station is electrically connected to an electrical measurement system for measuring the conductive characteristics of the wire element held between the gripping members. This advantageously makes it possible to check the presence of the wire element or to measure the state or stage of its sublimation. According to a particular embodiment, the wire element is chosen from the group of materials comprising gold, carbon, silver and aluminum or one of their alloys. According to an advantageous embodiment, the wire element is wound on a coil forming the reserve of said wire element. According to another particular embodiment, the chassis comprises a mounting plate of the type of a sealed door for ultra high vacuum chamber, the control system of the rotation of the crew comprising a shaft, passing through said plate by a joint ultra high vacuum sealing. A second object of the invention is to provide a reactor for the deposition of thin layers, which saves energy while limiting the intervention of a user. For this purpose, the object of the present invention is therefore a reactor for the deposition of thin layers of a material on a substrate by vapor phase growth comprising a sealed enclosure delimiting a closed volume, at least one vacuum pump for the evacuation of gas contained in said enclosure, at least one vacuum control instrument of the enclosure, a sublimation station of said selected material, a susceptor which carries the substrate on which the deposit is to be made, which comprises a sublimation head object of the invention mounted inside the sealed enclosure. A third object of the invention is to implement a method of sublimation of a wired element electrically conductive, which is easy to implement while ensuring a greater repetitiveness of deposits than in what is known. For this purpose, the object of the present invention is therefore a method of sublimation of an electrically conductive wire element held between at least two gripping members, said wire element being sublimable at least partially during the electrical connection of the gripping members. with a sublimation station, which consists in placing a reserve of the wire element so as to convey said element to a sampling station, in order to repeatedly bring the gripping members to the sublimation station by passing each time at the sampling station, to activate the gripping of the wire element by the gripping member which passes in front of the sampling station, to perform the sublimation of said wire element when the two gripping members holding the wire element are at the position of sublimation and to disable the gripping of the wire element by the gripping member coming out of the sublimation station n and to the sampling station. According to a preferred embodiment of the method which is the subject of the invention, the activation and deactivation of the gripping members are controlled during the rotation of said members around an axis of rotation.
Selon un mode préféré de réalisation du procédé objet de l'invention, la sublimation de l'élément filaire est mise en oeuvre lorsque les organes de préhension le maintenant sont arrêtés en une position de sublimation. Diverses autres caractéristiques ressortent de la description faite ci-dessous en référence aux dessins annexés qui montrent, à titre d'exemples non limitatifs, des formes de réalisation de l'objet de l'invention : - la __.e 1 est une représentation schématique d'un réacteur pour le dépôt de couches minces d'un matériau sur un substrat par croissance en phase vapeur ; - la r_gure 2 est une vue en perspective montrant un exemple de réalisation d'une tête de sublimation objet de l'invention ; et - les figures 3 à 10 sont des vues de dessus de la tête de sublimation conformément à l'invention lors de la mise en oeuvre du procédé objet de l'invention. En se référant à la ligure 1, le réacteur A pour le dépôt de couches minces d'un matériau sur un substrat par croissance en phase vapeur, comprend : une enceinte B étanche délimitant un volume fermé, au moins une pompe à vide C pour l'évacuation de gaz contenus dans ladite enceinte B, au moins un instrument D de contrôle de niveau du vide de l'enceinte B, un suscepteur E qui porte le substrat sur lequel le dépôt est destiné à être effectué, et une tête de sublimation F, objet de l'invention. La fig.. 2 représente la tête de sublimation F, qui comporte notamment un châssis 1 comprenant une platine 2, au moyen de laquelle ladite tête de sublimation F est fixée sur l'enceinte B du réacteur A. La platine de fixation 2 est du type d'une porte étanche. Dans l'exemple illustré à la figure 2, les éléments dans la partie supérieure à la platine sont destinés, lorsque la platine est montée sur l'enceinte B, à être positionnés à l'intérieur du volume délimité par ladite enceinte B, les éléments dans la partie inférieure à la platine en figure 2 étant alors, de fait, positionnés, à l'extérieur de ladite enceinte B.According to a preferred embodiment of the method which is the subject of the invention, the sublimation of the wire element is implemented when the gripping members holding it are stopped in a sublimation position. Various other characteristics are apparent from the description given below with reference to the accompanying drawings which show, by way of non-limiting examples, embodiments of the subject of the invention: - the e 1 is a schematic representation a reactor for depositing thin layers of a material on a substrate by vapor phase growth; - Figure 2 is a perspective view showing an embodiment of a sublimation head object of the invention; and - Figures 3 to 10 are top views of the sublimation head according to the invention during the implementation of the method of the invention. Referring to FIG. 1, the reactor A for the deposition of thin layers of a material on a substrate by vapor phase growth comprises: a sealed enclosure B delimiting a closed volume, at least one vacuum pump C for evacuation of gas contained in said enclosure B, at least one vacuum control instrument D of the enclosure B, a susceptor E which carries the substrate on which the deposit is to be made, and a sublimation head F object of the invention. FIG. 2 represents the sublimation head F, which notably comprises a frame 1 comprising a plate 2, by means of which said sublimation head F is fixed on the enclosure B of the reactor A. The fixing plate 2 is type of a waterproof door. In the example illustrated in FIG. 2, the elements in the upper part of the plate are intended, when the plate is mounted on the enclosure B, to be positioned inside the volume delimited by said enclosure B, the elements in the lower part to the plate in FIG. 2 being then, in fact, positioned outside said enclosure B.
En outre, la tête de sublimation F est destinée à la sublimation d'un élément filaire 4, typiquement choisi parmi le groupe de matériaux comprenant l'or, le carbone et l'aluminium ou un de leurs alliages, par exemple une tresse de fibres de carbone. L'élément filaire 4 est acheminé depuis une réserve 16 via un poste de prélèvement 14 par deux organes de 25 préhension 6 et 8 jusqu'à un poste de sublimation. Typiquement, la réserve de l'élément filaire est du type d'une bobine, fixée sur le châssis 1, qui se dévide au fur et à mesure que ledit élément filaire 4 est prélevé au niveau du poste de prélèvement 14. Tel qu'illustré à la figurn 2, le poste de prélèvement 14 comporte notamment un plot dont une extrémité est fixée 30 sur le châssis 1, alors que l'autre extrémité 15 positionne l'élément filaire dans l'espace. Pour ce faire, l'extrémité 15 est pourvue d'un alésage traversant prolongé d'un côté par un cylindre 17. L'élément filaire 4 est destiné être acheminé au travers de l'alésage de l'extrémité 15 puis au travers du cylindre 17 afin d'être prélevé par les organes de préhension 6 et 8 au niveau de la sortie libre du cylindre 17. Le poste de sublimation est constitué de deux bornes de conduction électrique 10 et 12. Ces deux bornes 10 et 12 sont fixées sur le châssis 1, en une position déterminée dite « position de sublimation » qui sera définie plus précisément dans la suite de la description. Les deux bornes de conduction électrique 10 et 12 sont reliées à une source électrique (non représentée), notamment par des moyens de conduction électrique 11 et 13 au travers de la platine 2, et de plots 9 et ; conducteurs électriques. La source électrique est pilotée pour assurer le passage d'un courant électrique entre lesdites deux bornes de conduction électrique 10 et 12. C'est la mise en contact électrique de l'élément filaire 4 entre les bornes de conduction électrique 10 et 12 du poste de sublimation, qui permet la mise en oeuvre de la sublimation. Les organes de préhension 6 et 8 sont positionnés sur un équipage 18, monté mobile en rotation sur lui-même par rapport au châssis 1 autour d'un axe de rotation. Lors de la rotation de l'équipage 18 autour de son axe, les organes de préhension 6 et 8 décrivent ainsi, chacun, une trajectoire 3 circulaire (en trait mixte fin à deux tirés sur les figures 3 à 10). Tout au long de la trajectoire qu'il décrit, chaque organe de préhension 6 ou 8 passe au niveau de chacune des bornes de conduction électrique 10 et 12, ainsi qu'au niveau du poste de prélèvement 14. C'est ainsi que chaque organe de préhension 6 ou 8 peut ainsi prélever l'élément filaire 4 au niveau de la sortie du cylindre 17 du poste de prélèvement 14. Notamment, les organes de préhension 6 ou C sont positionnés diamétralement opposés sur l'équipage 18. Dans l'exemple illustré à la t. _, l'équipage 18 est pourvu d'un arbre 7,4 en liaison pivot avec le châssis 1, qui traverse la platine 2 du châssis 1, par un joint d'étanchéité au vide ultra élevé (non représenté). Dans l'exemple illustré, l'équipage 18 comporte deux organes de préhension 6 et 8 positionnés diamétralement opposés, mais pourrait en comporter davantage, répartis autour de l'équipage 18.In addition, the sublimation head F is intended for the sublimation of a wire element 4, typically selected from the group of materials comprising gold, carbon and aluminum or one of their alloys, for example a fiber braid of carbon. The wire element 4 is routed from a reserve 16 via a sampling station 14 by two gripping members 6 and 8 to a sublimation station. Typically, the reserve of the wired element is of the type of a coil, fixed on the frame 1, which is unwound as said wire element 4 is taken at the sampling station 14. As illustrated in Figurn 2, the sampling station 14 comprises in particular a stud whose one end is fixed to the frame 1, while the other end 15 positions the wire element in space. To do this, the end 15 is provided with a through bore extended on one side by a cylinder 17. The wire element 4 is intended to be routed through the bore of the end 15 and then through the cylinder 17 to be picked up by the grippers 6 and 8 at the free exit of the cylinder 17. The sublimation station consists of two electrical conduction terminals 10 and 12. These two terminals 10 and 12 are fixed on the chassis 1, in a determined position called "sublimation position" which will be defined more precisely in the following description. The two electrical conduction terminals 10 and 12 are connected to an electrical source (not shown), in particular by means of electrical conduction 11 and 13 through the plate 2, and pads 9 and; electrical conductors. The electrical source is controlled to ensure the passage of an electric current between said two electrical conduction terminals 10 and 12. It is the electrical contact of the wire element 4 between the electrical conduction terminals 10 and 12 of the station of sublimation, which allows the implementation of sublimation. The gripping members 6 and 8 are positioned on a crew 18, rotatably mounted on itself relative to the frame 1 about an axis of rotation. During the rotation of the crew 18 around its axis, the gripping members 6 and 8 thus each describe a circular path 3 (in double dotted line drawn in FIGS. 3 to 10). Throughout the trajectory that it describes, each gripping member 6 or 8 passes at each of the electrical conduction terminals 10 and 12, and at the sampling station 14. Thus, each organ 6 or 8 can thus take the wire element 4 at the outlet of the cylinder 17 of the sampling station 14. In particular, the gripping members 6 or C are positioned diametrically opposite on the crew 18. In the example illustrated at t. _, the crew 18 is provided with a shaft 7,4 pivotally connected to the frame 1, which passes through the plate 2 of the frame 1, by an ultra high vacuum seal (not shown). In the illustrated example, the crew 18 comprises two gripping members 6 and 8 positioned diametrically opposed, but could comprise more, distributed around the crew 18.
La tête de sublimation F comporte, de surcroit, un système de commande 19 par incrémentation de la rotation de l'équipage 8. Ce système de commande 1 permet la rotation de l'équipage 18 selon un sens de rotation donné R pour amener de manière répétée les organes de préhension 6 et 8 au poste de sublimation, notamment en position de sublimation de l'élément filaire 4, en passant à chaque fois au niveau du poste de prélèvement dT. Dans l'exemple illustré à la figu-i 7, le système de commande 19 vient en prolongement de l'arbre 24 au travers de la platine 2 du châssis 1, à l'extérieur de l'enceinte D. Ainsi, la commande en rotation de l'équipage 1 ' est commandée depuis l'extérieur de l'enceinte B soit manuellement soit à l'aide d'un moteur 30. La position du moteur 30 à l'extérieur de l'enceinte, a pour but d'optimiser la place occupée par la tête de sublimation F au sein de l'enceinte. Les deux organes de préhension 6 et 8 sont réalisés en un matériau conducteur électrique alors que l'équipage 18 est réalisé en un matériau soit isolant électriquement soit moins conducteur que le matériau constitutif des organes de préhension. De plus, tel qu'illustré aux t-Jgures 2 à 10, les organes de préhension 6 et 8 comportent chacun un contacteur électrique 61 ou 81, réalisé sous la forme d'un tenon s'étendant radialement. Ainsi, outre le passage des organes de préhension 6 et 8 au niveau du poste de prélèvement 14, la mise en rotation de l'équipage 18 permet le passage des organes en position de sublimation. En effet, en position de sublimation les tenons 61 ou 81 sont mis en contact avec les bornes de conduction électrique 10 et 12. De plus, le poste de prélèvement 14 est agencé au moyen du cylindre 17, de manière à permettre le passage des tenons 61 et 81 tout en permettant la préhension de l'élément filaire 4 par les organes de préhension 6 et 8. Dans un mode préféré de réalisation de l'invention, les bornes de conduction électrique 10 et 12 sont constituées chacune d'une lamelle conducteur électrique. Chaque lamelle comporte deux extrémités. Une première extrémité 101 ou 121 est fixée au châssis 1 par le plot 9 ou 7 respectivement, alors que l'autre extrémité 102 ou 122, extrémité libre de la lamelle forme butée de contact électrique sur la trajectoire des tenons 61 ou 81. Ainsi, lorsque le contact électrique entre les deux bornes de conduction électrique 10 et 12 et les tenons 61 ou 81 est établi, alors un circuit électrique fermé est formé. En effet, ce circuit électrique fermé est composé par la source électrique (non représentée), un moyen de conduction électrique 11 ou T au travers de la platine 2, le plot 9 ou 7 respectif, la lamelle 10 ou 12, l'élément filaire 4, l'autre lamelle 12 ou 10 respectivement, l'autre plot 7 ou 9 respectif, et l'autre moyen de conduction électrique 13 ou 11 respectivement au travers de la platine 2. Ainsi, le passage d'un courant électrique dans le circuit électrique ainsi formé permet le passage du courant dans l'élément filaire k conducteur électrique qui peut alors être sublimé. La sublimation, dont il est ici question est au moins partielle, à savoir qu'en pratique elle consiste en une rupture de l'élément filaire z . Un avantage de la liaison électrique au travers l'élément filaire conducteur électrique 4, formant le circuit électrique fermé, réside dans le fait, qu'il est possible de mesurer les caractéristiques conductrices dudit élément filaire 4. En particulier, si la mesure électrique montre une résistance infinie ou très grande par rapport à celle du circuit fermé lorsque l'élément filaire 4 est positionné entre les organes de préhension 6 et 8, alors, le circuit est ouvert, et donc, le fil est rompu, notamment suite à sa sublimation. De plus, tel qu'illustré à la figure 2, les lamelles 12 et 10 étant métalliques, elles présentent des caractéristiques mécaniques particulièrement élastiques et sont donc adaptées pour s'escamoter en se courbant lorsque les organes de préhension C et 7., continuent leur trajectoire au-delà de la position de sublimation. Dans un autre mode de réalisation, les lamelles 12 et 10 sont remplacées par un pion commandé pour former butée de contact électrique ou pour s'escamoter ou s'effacer de manière à laisser passer le tenon. Les plots et J permettent, notamment, de régler la hauteur des lamelles 12 et 10 et donc le couple nécessaire pour faire pivoter l'extrémité libre de la lamelle 122 et 102.The sublimation head F further comprises a control system 19 by incrementing the rotation of the crew 8. This control system 1 allows the rotation of the crew 18 in a given direction of rotation R to bring about the gripping members 6 and 8 are repeated at the sublimation station, in particular in the sublimation position of the wire element 4, passing in each case at the sampling station dT. In the example illustrated in FIG. 7, the control system 19 comes into prolongation of the shaft 24 through the plate 2 of the frame 1, outside the enclosure D. Thus, the control in FIG. rotation of the crew 1 'is controlled from outside the enclosure B either manually or with the aid of a motor 30. The position of the motor 30 outside the enclosure, is intended to optimize the position occupied by the sublimation head F within the enclosure. The two gripping members 6 and 8 are made of an electrically conductive material while the crew 18 is made of a material that is electrically insulating or less conductive than the material constituting the gripping members. In addition, as illustrated in FIGS. 2 to 10, the gripping members 6 and 8 each comprise an electric contactor 61 or 81, in the form of a radially extending pin. Thus, in addition to the passage of the grippers 6 and 8 at the sampling station 14, the rotation of the crew 18 allows the passage of the bodies in the sublimation position. In fact, in the sublimation position the studs 61 or 81 are brought into contact with the electrical conduction terminals 10 and 12. In addition, the sampling station 14 is arranged by means of the cylinder 17, so as to allow the passage of the tenons. 61 and 81 while allowing gripping of the wire element 4 by the gripping members 6 and 8. In a preferred embodiment of the invention, the electrical conduction terminals 10 and 12 each consist of a conductive strip electric. Each leaf has two ends. A first end 101 or 121 is fixed to the frame 1 by the stud 9 or 7 respectively, while the other end 102 or 122, the free end of the lamella form an electrical contact stop on the trajectory of the studs 61 or 81. Thus, when the electrical contact between the two electrical conduction terminals 10 and 12 and the pins 61 or 81 is established, then a closed electrical circuit is formed. Indeed, this closed electrical circuit is composed by the electrical source (not shown), an electrical conduction means 11 or T through the plate 2, the pad 9 or 7 respectively, the strip 10 or 12, the wire element 4, the other blade 12 or 10 respectively, the other pad 7 or 9 respectively, and the other electrical conduction means 13 or 11 respectively through the plate 2. Thus, the passage of an electric current in the electrical circuit thus formed allows the passage of the current in the wire element k electrical conductor which can then be sublimated. Sublimation, of which we are speaking here, is at least partial, namely that in practice it consists of a rupture of the wire element z. An advantage of the electrical connection through the electrically conductive wire element 4 forming the closed electrical circuit lies in the fact that it is possible to measure the conductive characteristics of said wire element 4. In particular, if the electrical measurement shows an infinite or very large resistance compared to that of the closed circuit when the wire element 4 is positioned between the gripping members 6 and 8, then the circuit is open, and therefore, the wire is broken, in particular following its sublimation . In addition, as illustrated in FIG. 2, the lamellae 12 and 10 being metallic, they have particularly elastic mechanical characteristics and are therefore adapted to retract by bending when the gripping members C and 7., continue their trajectory beyond the position of sublimation. In another embodiment, the lamellae 12 and 10 are replaced by a pin controlled to form an electrical contact stop or to retract or erase so as to let the pin. The pads and J make it possible, in particular, to adjust the height of the lamellae 12 and 10 and thus the necessary torque to pivot the free end of the lamella 122 and 102.
De plus, la tête de sublimation F comporte un système 20 d'activation ou de désactivation en préhension des organes de préhension 6 et 8. Dans l'exemple illustré à la figure 2, chaque organe de préhension ou 8 comporte un mors fixe 26 respectivement 26, monté fixe sur l'équipage 18 5 et un mors mobile 6 ou 38, monté mobile par rapport à l'équipage 18 formant pince avec le mors fixe respectif. De plus, chaque mors mobile 36 ou 3_D est prolongé par un bras de levier (celui de l'organe de préhension 6 n'est pas représenté sur la figur.J 2) ou respectivement destiné à coopérer avec le système 20 d'activation ou de désactivation. Chaque 10 organe de préhension 6 ou 8 comporte, en outre, un organe de rappel élastique 58 (celui de l'organe de préhension 6 n'est pas représenté sur la figure 2), tel qu'un ressort. Une extrémité du ressort est liée au bras de levier 41_, et l'autre extrémité est liée au mors fixe 28. L'organe de rappel élastique Fe- permet ainsi de maintenir les mors serrés, lorsque le bras de 15 levier 8 n'est pas soumis à une autre force. En effet, aux1 ires 2 à 10, le système 20 d'activation ou désactivation comprend une came 22. Cette came 27 est fixée sur le châssis 1 de telle sorte à rencontrer les bras de levier 46 ou 48 au cours du déplacement de chaque organe de préhension 6 ou 8. 20 La came 22 comporte une forme générale d'une pastille positionnée autour de l'équipage mobile et comprend une marche 23 qui se trouve située sur la trajectoire J du bras de levier 46 ou 48 des organes de préhension 6 ou 8. Avant qu'il y ait contact entre la marche et le bras de levier, le ressort permet de maintenir les mors, de chaque organe de 25 préhension, serrés. Ainsi, lorsque le bras de levier 46 ou J vient en contact avec la marche 23, le mors mobile 36 ou 38, par effet de levier, s'écarte du mors fixe 26 ou 28. Ladite marche 23 se trouve, selon le sens R de rotation des organes de préhension, positionnée en amont du poste de prélèvement . En conséquence, puisque le bras de levier vient en contact avec la 30 marche 23, les deux mors sont séparés en amont du poste de prélèvement 14. Lorsque les deux mors 26 ou 28, et, 36 ou 38 respectivement sont ainsi séparés, ils ne maintiennent pas l'élément filaire : la préhension de l'élément filaire par l'organe de préhension est donc désactivée. A partir du poste de prélèvement 14, dans le sens de rotation des organes de préhension, la came 22 est interrompue pour permettre de libérer le bras de levier 46 ou 48. Alors le bras de levier, sous l'effet de de rappel élastique, rapproche les deux mors jusqu'à ce qu'ils soient serrés. C'est l'activation de la préhension de l'élément filaire : par un organe de préhension. La tête de sublimation F, décrite ci-dessus, permet de mettre en oeuvre un procédé nouveau et original de sublimation de l'élément filaire 4. Un tel procédé consiste à effectuer la sublimation de l'élément filaire 4 en un seul poste de sublimation, tout en remplaçant automatiquement l'élément filaire 4 dans le poste de sublimation après chaque sublimation. Les fil pur ...s :d à 10 représentent des vues de dessus de la tête de sublimation, 15 sur laquelle sont, notamment, représentés : la came 22, les organes de préhension 6 et 8 sur l'équipage 18, ainsi que les tenons 61 et 81, leur trajectoire 3 ainsi que le sens de rotation R, les bornes de conduction électrique 10 et 12 du poste de sublimation et le poste de prélèvement 14 de l'élément filaire 4 (représenté en trait mixte). 20 Préalablement à l'initialisation du procédé à proprement parlé, il convient d'installer ou positionner la réserve 16 de l'élément filaire 4 sur le châssis 1, et de mettre en place l'élément filaire 4 dans le poste de prélèvement 14. L'élément filaire 4 traverse alors le cylindre 17 de telle sorte à être positionné sur la trajectoire 3 des organes de préhension 6 ou 8. 25 La partie de la trajectoire des organes de préhension comprise, dans le sens R de rotation de l'équipage 12,, entre le poste de sublimation et le poste de prélèvement est mentionnée ci-dessous « en amont du poste de prélèvement ». La partie de la trajectoire des organes de préhension comprise, dans le sens R de rotation de l'équipage 18, entre le poste de 30 prélèvement 14 et le poste de sublimation est mentionnée ci-dessous « en aval du poste de prélèvement ». Tel qu'illustré aux F7---u; 3 à 10, la marche 23 la came 22 est positionnée en amont du poste de prélèvement et la came 22 s'interpose au niveau de du poste de prélèvement 14. De cette manière, la pince des organes de préhension 6 ou 8 est ouverte en amont du poste de prélèvement 14, et se ferme au passage devant ledit poste de prélèvement 14.In addition, the sublimation head F comprises a system 20 for activation or deactivation gripping grippers 6 and 8. In the example illustrated in Figure 2, each gripping member or 8 comprises a fixed jaw 26 respectively 26, fixedly mounted on the crew 18 5 and a movable jaw 6 or 38, mounted movably relative to the crew 18 forming a clamp with the respective fixed jaw. In addition, each movable jaw 36 or 3_D is extended by a lever arm (that of the gripping member 6 is not shown in Fig. J 2) or respectively intended to cooperate with the activation system 20 or of deactivation. Each gripping member 6 or 8 further comprises an elastic return member 58 (that of the gripping member 6 is not shown in Figure 2), such as a spring. One end of the spring is connected to the lever arm 41_, and the other end is connected to the fixed jaw 28. The elastic return member Fe- thus makes it possible to keep the jaws tight when the lever arm 8 is not subject to another force. In fact, between 2 and 10, the activation or deactivation system 20 comprises a cam 22. This cam 27 is fixed on the frame 1 so as to meet the lever arms 46 or 48 during the movement of each member. 6 or 8. The cam 22 has a general shape of a pellet positioned around the moving element and comprises a step 23 which is located on the path J of the lever arm 46 or 48 of the gripping members 6 or 8. Before there is contact between the step and the lever arm, the spring makes it possible to hold the jaws of each gripping member tight. Thus, when the lever arm 46 or J comes into contact with the step 23, the movable jaw 36 or 38, by leverage, deviates from the fixed jaw 26 or 28. Said step 23 is located in the direction R rotation of the gripping members, positioned upstream of the sampling station. Consequently, since the lever arm comes into contact with the step 23, the two jaws are separated upstream of the sampling station 14. When the two jaws 26 or 28, and, respectively, 36 or 38 are separated, they are not separated. do not maintain the wired element: the gripping of the wired element by the gripping member is thus deactivated. From the sampling station 14, in the direction of rotation of the gripping members, the cam 22 is interrupted so as to release the lever arm 46 or 48. Then the lever arm, under the effect of elastic return, bring the two jaws closer together until they are tight. It is the activation of the grip of the wire element: by a gripping member. The sublimation head F, described above, makes it possible to implement a new and original method of sublimation of the wire element 4. Such a method consists in carrying out the sublimation of the wire element 4 in a single sublimation station. , while automatically replacing the wire element 4 in the sublimation station after each sublimation. The pure threads s: d to 10 represent top views of the sublimation head, 15 on which are represented in particular: the cam 22, the gripping members 6 and 8 on the crew 18, and the lugs 61 and 81, their trajectory 3 and the direction of rotation R, the electrical conduction terminals 10 and 12 of the sublimation station and the sampling station 14 of the wire element 4 (shown in phantom). Prior to the initialization of the actual process, it is appropriate to install or position the reserve 16 of the wire element 4 on the frame 1, and to set up the wire element 4 in the sampling station 14. The wire element 4 then passes through the cylinder 17 so as to be positioned on the path 3 of the gripping members 6 or 8. The portion of the trajectory of the gripping members included, in the R direction of rotation of the crew 12, between the sublimation station and the sampling station is mentioned below "upstream of the sampling station". The part of the trajectory of the gripping members included, in the R direction of rotation of the crew 18, between the sampling station 14 and the sublimation station is mentioned below "downstream of the sampling station". As illustrated in F7 --- u; 3 to 10, the step 23 the cam 22 is positioned upstream of the sampling station and the cam 22 is interposed at the sampling station 14. In this way, the gripper of the gripping members 6 or 8 is opened in upstream of the sampling station 14, and closes the passage in front of said sampling station 14.
L'équipage mobile 18 est commandé en rotation dans le sens de rotation R. Dans la position illustrée à la Figur_J le bras de levier du premier organe de préhension 6 est en contact avec la marche 23 de la came 22, la pince du premier organe de préhension 6 est alors ouverte. L'élément filaire 4 est positionné sur la trajectoire de la pince du premier organe de préhension 6. De plus, le tenon 61 du premier organe de préhension passe sous le cylindre 17. Tel qu'illustré à la Fire ", dès que l'organe de préhension 6 se trouve en aval du poste de prélèvement 7, notamment dès que le bras de levier du premier organe de préhension 6 n'est plus contraint par la marche 2? de la came 22 alors la pince se ferme sur l'élément filaire 4 : c'est la préhension de l'élément filaire 4 par le premier organe de préhension 6. Tel qu'illustré aux Egurzs r. et 6, une fois que l'élément filaire 4 a été saisi par l'organe de préhension 6 alors celui-ci l'entraine en le déroulant de la bobine 16, compte tenu de la rotation de l'équipage mobile 18. De plus, pendant que l'organe de préhension 6 déroule l'élément filaire 4 le bras de levier 48 du deuxième organe de préhension 8 entre en contact avec la marche 23 de telle sorte que la pince du deuxième organe de préhension 8 s'ouvre. A la figure f, nonobstant le fait que les tenons 61 et 81 sont en contact avec les bornes de conduction électrique 10 et 1'1, il n'y pas de sublimation, car l'élément filaire 4 n'est pas maintenu entre les deux pinces. Tel qu'illustré à la ire 7, au fur et à mesure que l'équipage 18 tourne autour de son axe, l'élément filaire 4 maintenu par la pince du premier organe de préhension 6 se déroule de la bobine au travers du cylindre 17. Ainsi, l'élément filaire se positionne automatiquement sur la trajectoire 3 de la pince du deuxième organe de préhension 8.The moving element 18 is rotated in the direction of rotation R. In the position illustrated in FIG. 1, the lever arm of the first gripping member 6 is in contact with the step 23 of the cam 22, the clamp of the first member gripping 6 is then open. The wire element 4 is positioned on the path of the gripper of the first gripping member 6. In addition, the pin 61 of the first gripping member passes under the cylinder 17. As illustrated in the Fire ", as soon as the gripping member 6 is located downstream of the sampling station 7, in particular as soon as the lever arm of the first gripping member 6 is no longer constrained by the step 2 of the cam 22, then the gripper closes on the element wire 4: this is the gripping of the wire element 4 by the first gripping member 6. As illustrated in Egurzs r and 6, once the wire element 4 has been gripped by the gripping member 6 then it drives it in the unwinding of the coil 16, taking into account the rotation of the moving assembly 18. In addition, while the gripping member 6 unwinds the wire element 4 the lever arm 48 the second gripping member 8 comes into contact with the step 23 so that the gripper of the second In FIGURE f, notwithstanding the fact that the lugs 61 and 81 are in contact with the electrical conduction terminals 10 and 1'1, there is no sublimation, since the element wired 4 is not maintained between the two clamps. As illustrated in FIG. 7, as the crew 18 rotates about its axis, the wire element 4 held by the clamp of the first gripping member 6 unwinds from the reel through the cylinder 17 Thus, the wire element is automatically positioned on the path 3 of the gripper of the second gripping member 8.
Tel que représenté à la fT,e L, après que le bras de levier 48 du deuxième organe de préhension 8 a perdu contact avec la marche 23 de la came 77, les mors de sa pince se sont resserrés sur l'élément filaire 4. Ensuite, les tenons 61 et 8i viennent en contact avec les bornes de conduction électriques 10 et 12. Dans cette position, la rotation de l'équipage 1.7., est de préférence arrêtée, de telle sorte que la sublimation de l'élément filaire 4 peut avoir lieu par le passage du courant dans le circuit électrique fermé ainsi formé. Une fois que la sublimation a eu lieu, alors l'élément filaire 4 est rompu en deux parties : l'une étant un brin d'élément filaire résiduel ou chute et l'autre étant formé de l'élément filaire 4 restant dans la bobine 16. Suite à la sublimation, tel qu'illustré à la 1 ure 9, lorsque l'équipage 18 continue de tourner dans le sens de rotation R, comme le deuxième organe de préhension 8 maintient l'élément filaire 4, ce dernier se déroule 15 de la bobine 16. De plus, dès que le bras de levier 46 du premier organe de préhension 6 vient en contact de la marche 23 alors sa pince s'ouvre, libérant ainsi le brin d'élément filaire résiduel : c'est la désactivation de la préhension de l'élément filaire 4 par le premier organe de préhension 6. Ainsi, en poursuivant la rotation de l'équipage 18 sur son axe de 20 rotation, le premier organe 6 saisit à nouveau l'élément filaire 4 en aval du poste de prélèvement 14. Dès lors que le premier organe de préhension 6 et le deuxième organe de préhension 8 sont en position de sublimation, alors la sublimation de l'élément filaire 4 peut être effectuée (figure 10). Selon le procédé, il suffit ensuite de manière répétée, d'amener les 25 premier et deuxième organes de préhension 6 et 8 au poste de sublimation en passant à chaque fois au poste de prélèvement 14, en activant à chaque fois la préhension de l'élément filaire 4, de réaliser la sublimation lorsque les deux organes de préhension maintiennent l'élément filaire et sont en position de sublimation, et enfin de désactiver la préhension de l'élément filaire 30 résiduel par l'organe de préhension 6 ou 8 lorsque ce dernier sort du poste de sublimation.As shown at fT, e L, after the lever arm 48 of the second gripper 8 has lost contact with the step 23 of the cam 77, the jaws of its gripper have tightened on the wire element 4. Then, the pins 61 and 8i come into contact with the electrical conduction terminals 10 and 12. In this position, the rotation of the crew 1.7., Is preferably stopped, so that the sublimation of the wire element 4 can take place by the passage of the current in the closed electrical circuit thus formed. Once the sublimation has taken place, then the wire element 4 is broken in two parts: one being a strand of residual wire element or falling and the other being formed of the wire element 4 remaining in the coil 16. Following the sublimation, as illustrated in 1 ure 9, when the crew 18 continues to rotate in the direction of rotation R, as the second gripping member 8 maintains the wire element 4, the latter takes place 15 of the coil 16. Moreover, as soon as the lever arm 46 of the first gripping member 6 comes into contact with the step 23, its gripper opens, thus releasing the residual wire element strand: this is the deactivation of the gripping of the wire element 4 by the first gripping member 6. Thus, by continuing the rotation of the crew 18 on its axis of rotation, the first member 6 again grasps the wire element 4 downstream from the sampling station 14. As soon as the first gripping member 6 and the second gripping member 8 are in the sublimation position, then the sublimation of the wire element 4 can be performed (Figure 10). According to the method, it is then sufficient repeatedly to bring the first and second gripping members 6 and 8 to the sublimation station by passing each time to the sampling station 14, each time activating the gripping of the wire element 4, to perform the sublimation when the two gripping members hold the wire element and are in sublimation position, and finally to disable the gripping of the residual wire element 30 by the gripping member 6 or 8 when last fate of the sublimation post.