FR2931016A1 - Antenne acoustique a circuits imprimes integres - Google Patents

Antenne acoustique a circuits imprimes integres Download PDF

Info

Publication number
FR2931016A1
FR2931016A1 FR0802548A FR0802548A FR2931016A1 FR 2931016 A1 FR2931016 A1 FR 2931016A1 FR 0802548 A FR0802548 A FR 0802548A FR 0802548 A FR0802548 A FR 0802548A FR 2931016 A1 FR2931016 A1 FR 2931016A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
transducers
printed circuit
elementary
ceramic
acoustic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR0802548A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2931016B1 (fr
Inventor
Gilles Grosso
Frederic Mosca
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Exail SAS
Original Assignee
Ixsea SAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ixsea SAS filed Critical Ixsea SAS
Priority to FR0802548A priority Critical patent/FR2931016B1/fr
Priority to EP09750050.8A priority patent/EP2276583B1/fr
Priority to US12/991,033 priority patent/US9114427B2/en
Priority to DK09750050.8T priority patent/DK2276583T3/en
Priority to JP2011507975A priority patent/JP5723765B2/ja
Priority to PCT/FR2009/050842 priority patent/WO2009141569A2/fr
Publication of FR2931016A1 publication Critical patent/FR2931016A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2931016B1 publication Critical patent/FR2931016B1/fr
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0622Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
    • B06B1/0629Square array

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Waveguide Aerials (AREA)
  • Variable-Direction Aerials And Aerial Arrays (AREA)
  • Obtaining Desirable Characteristics In Audible-Bandwidth Transducers (AREA)

Abstract

La présente invention est relative à une antenne acoustique nécessitant le minimum possible d'opérations d'assemblage, ces opérations pouvant être facilement automatisées.L'antenne acoustique conforme à l'invention est caractérisée en ce qu'elle comporte un réseau de transducteurs élémentaires(15), chaque transducteur élémentaire comprenant, entre une contre-masse (10) et un pavillon (9), au moins une céramique (8), tous les transducteurs élémentaires étant montés sur un circuit imprimé (7, 16) commun de liaison électrique entre les transducteurs et de positionnement des transducteurs les uns par rapport aux autres, et au moins un connecteur (26, 27) fixé sur ce circuit imprimé, chacun des transducteurs étant monté de façon que le circuit imprimé soit serré entre sa (ses) céramique(s) et sa contre-masse.

Description

ANTENNE ACOUSTIQUE A CIRCUITS IMPRIMES INTEGRES La présente invention se rapporte à une antenne acoustique à circuits imprimés intégrés, et en particulier à une antenne acoustique à bas coût.
La technologie de transduction acoustique utilisée classiquement dans les applications sous-marines et présentant le meilleur compromis entre puissance acoustique rayonnée et bande passante utilisable est le "Tonpilz". Ce système est un convertisseur électro-acoustique de type masse-ressort-masse à symétrie de révolution fonctionnant généralement en dilatation/compression.
On a schématiquement représenté en figure 1 un tel transducteur de type Tonpilz. Il comporte essentiellement un empilement 1 de disques de céramique piézoélectriques (ou à effet électrostrictif) serrés entre un disque épais 2 formant contre-masse et un disque 3 moins épais que le disque 2 et formant pavillon. Tous ces disques sont percés d'une ouverture centrale permettant le passage d'une tige de serrage 4 qui assure leur serrage avec un écrou 5. Chacun des éléments représentés en figure 1 assure un rôle bien particulier : la fonction motrice est assurée par le pilier 1 de céramiques piézoélectriques reliées entre elles électriquement par des électrodes 1A formées sur leurs faces planes en vis-à-vis. Les céramiques sont câblées en parallèle.Le pavillon 3 assure le couplage acoustique avec le milieu et permet aussi d'élargir la bande par mode propre dit de "papillonnage". C'est lui qui détermine la géométrie du champ rayonné (diagramme de directivité). La contremasse 2 stabilise le système et canalise l'énergie rayonnée dans une seule direction de l'espace. La tige de précontrainte 4 et l'écrou de serrage 5 garantissent le fonctionnement du dispositif (transducteur) en dilatation/ compression. La quantité de câblage par soudure à réaliser est donc très rapidement rhédibitoire pour des antennes hautes fréquences (supérieure à 50kHz), composées d'un grand nombre de transducteurs de petites dimensions, par exemple, et à titre non limitatif, 128 transducteurs élémentaires à 150kHz. Ce poste de câblage, de soudage et de repérage, très difficilement automatisable, s'avère être très souvent dans la pratique le poste le plus lourd du process de montage d'une antenne acoustique 2 2931016 La présente invention a pour objet une antenne acoustique à bas coût nécessitant le minimum possible d'opérations d'assemblage, ces opérations pouvant être facilement automatisées. On emploie ici, pour simplifier, le terme acoustique , mais il est bien entendu que la bande de fréquences de 5 fonctionnement de l'antenne de l'invention peut être supérieure aux fréquences sonores et même nettement supérieures à celles-ci ; elle peut s'étendre par exemple de 20 kHz à plusieurs centaines de kHz, et typiquement, mais non limitativement, ce peut être la bande de fréquences de 140-160 kHz. L'antenne acoustique conforme à l'invention est caractérisée en ce qu'elle 10 comporte un réseau de transducteurs élémentaires, chaque transducteur élémentaire comprenant, entre une contre-masse et un pavillon, au moins une céramique, tous les transducteurs élémentaires étant montés sur un circuit imprimé commun de liaison électrique entre les transducteurs et de positionnement des transducteurs les uns par rapport aux autres, et au moins un connecteur fixé sur ce circuit imprimé, chacun des 15 transducteurs étant monté de façon que le circuit imprimé soit serré entre sa (ses) céramique(s) et sa contre-masse. . Selon une caractéristique de l'invention, les transducteurs élémentaires sont de l'un des types électro-acoustiques suivants : piézo-électrique ou électrostrictif. La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description 20 détaillée d'un mode de réalisation, pris à titre d'exemple non limitatif et illustré par le dessin annexé, sur lequel : - la figure 1, mentionnée ci-dessus, est une vue en coupe simplifiée d'un élément d'antenne du type Tonpilz de l'art antérieur, - la figure 2 est une vue en coupe d'un transducteur élémentaire 25 monté sur un circuit imprimé, conformément à l'invention, les figures 3 à 7 sont respectivement des représentations en perspective en vue de dessus, de face et en perspective en vue de dessous, en vue de dessous et en vue de dessus d'un exemple de réalisation, conforme à la présente invention, d'un circuit imprimé 30 portant huit transducteurs élémentaires, les pistes des circuits imprimés étant représentées schématiquement et partiellement, et 3 2931016 la figure 8 est une vue de dessus partielle en perspective du circuit imprimé et des transducteurs d'une antenne à 64 transducteurs, conforme à l'invention.
5 Un objet de la présente invention consiste à éliminer, lors du processus de fabrication, les postes de positionnement des transducteurs sur leur support et de soudure de leurs électrodes de connexion (fils d'alimentation des transducteurs) du processus de fabrication des antennes type tonpilz à haute fréquence à grand nombre d'éléments. 10 L'invention prévoit, selon un mode de réalisation préféré, de réduire le pilier de céramiques du Tonpilz à une seule céramique et de fixer les différents piliers sur un circuit imprimé commun à toute l'antenne dans la structure du tonpilz, entre la céramique et la contremasse, afin d'assurer la connexion électrique de tous les éléments de l'antenne et de fixer de façon stable la disposition des transducteurs les 15 uns par rapport aux autres. Il est bien entendu que l'invention n'est pas limitée à des transducteurs à une seule céramique, et que ces transducteurs peuvent en comporter davantage. On a représenté en figure 2 un transducteur élémentaire 6 conforme à l'invention et fixé sur un circuit imprimé 7. Selon l'invention, le matériau isolant du 20 circuit imprimé est choisi en fonction des caractéristiques des transducteurs utilisés, par exemple, et à titre non limitatif, ce matériau peut être du verre époxy ou tout support sérigraphiable. Le transducteur 6 comporte essentiellement une céramique tubulaire 8, un pavillon 9 en forme de disque et une contre-masse 10. Ces trois éléments 8 à 10 sont assemblés de la façon suivante sur le circuit imprimé 7 à l'aide 25 d'une vis 11 traversant un perçage de ce circuit imprimé: la contre-masse 10 est appliquée sur une face du circuit imprimé, tandis que la céramique 8 est appliquée sur l'autre face de ce circuit, et le pavillon 9 est appliqué sur la face plane libre de la céramique 8. La vis 11 (vis d'assemblage et de précontrainte) traverse donc librement les éléments 10, 7, et 8 et est vissée dans un alésage axial fileté du pavillon 30 9. L'axe commun de tous ces éléments est référencé 12. Bien entendu, un grand nombre (une centaine ou plus) d'autres transducteurs peuvent être fixés sur le circuit 4 2931016 imprimé 7, et à titre d'exemple, on a représenté un perçage 13 formé dans ce circuit imprimé pour la fixation d'un transducteur voisin du transducteur 6. La topologie d'implantation des différents transducteurs sur le circuit imprimé 7 est déterminée de façon connue en soi en vue d'obtenir un diagramme de rayonnement recherché et, le 5 cas échéant, pour pouvoir mettre en oeuvre un système de formation et d'orientation de faisceaux. Les connexions électriques sont assurées de la façon suivante. Le circuit imprimé 7 récupère chacun des points positif et négatif du transducteur sur ses deux faces principales. La connexion positive est obtenue par le contact direct d'une face 10 plane de la céramique sur le circuit imprimé 7. La connexion négative est obtenue de façon indirecte: l'autre face plane de la céramique est en contact direct avec le pavillon (électriquement conducteur), et la vis 11 relie électriquement le pavillon à la contremasse, et la contremasse est en contact direct avec le circuit imprimé 7. La vis 11 est isolée électriquement de la céramique à l'aide d'un fourreau (non représenté), 15 en matière plastique par exemple. La topographie des conducteurs formés sur le circuit imprimé 7 et partant des transducteurs est optimisée et ces conducteurs sont reliés à un connecteur (non représenté) fixé sur le circuit imprimé. Ces conducteurs véhiculent l'énergie d'excitation des voies en émission depuis les dispositifs d'électronique de puissance 20 et de pilotage (non représentés), et en phase de réception, ils véhiculent les signaux vers les circuits électroniques de traitement (non représentés). Pour simplifier le dessin, on a représenté sur les figures 3 à 7 un mode de réalisation d'une antenne 14 (sans son boîtier de protection) conforme à l'invention avec seulement huit transducteurs, référencés 15 dans leur ensemble, mais il est bien 25 entendu que dans la réalité, une antenne comporte généralement un plus grand nombre de transducteurs, par exemple au moins 64. Ces transducteurs 15 ont été représentés alignés, mais il est également bien entendu que dans la réalité, ils ne sont pas nécessairement alignés, et que leur disposition sur le circuit imprimé les supportant est fonction, de façon connue en soi, des caractéristiques du faisceau 30 acoustique à obtenir. 5 2931016 Les transducteurs 15 sont fixés sur une plaque 16 sur laquelle sont imprimés des conducteurs de liaison électrique entre les différents transducteurs et un connecteur (non représenté) assurant, avec un autre connecteur (non représenté non plus) la connexion avec des circuits de réception et de traitement de signal 5 appropriés, bien connus en soi et non décrits ici. Les conducteurs 17 imprimés sur la face supérieure de la plaque 16 (celle contre laquelle sont appliquées les céramiques telles que la céramique 8 de la figure 2) comportent chacune une partie circulaire entourant le perçage de fixation du transducteur, assurant le contact avec une première électrode frontale de la 10 céramique correspondante, et se prolongeant par une partie filiforme s'étendant jusqu'à une zone 18A où ces conducteurs 17 sont reliés à travers la plaque 16, dans une zone 18B (en vis-à-vis de la zone 18A) de la face inférieure de la plaque 16, à des tronçons de conducteurs 19 dont les extrémités sont soudées à un connecteur (non représenté, dont on a uniquement représenté la trace 20 sur la plaque 16). Des 15 conducteurs 21 sont imprimés sur la face inférieure de la plaque 16. Ils assurent la connexion électrique avec une seconde électrode de chaque céramique, et ont une forme similaire à celle des conducteurs 17, avec cette différence que leurs extrémités sont soudées à un deuxième connecteur (non représenté, dont on a uniquement représenté la trace 22 sur la plaque 16. Bien entendu, les conducteurs imprimés sur la 20 plaque 16 peuvent avoir d'autres parcours et être reliés différemment au(x) connecteur(s). L'antenne 23 représentée en figure 8 comporte essentiellement une plaque 24 à circuits imprimés sur laquelle sont fixés 64 transducteurs référencés 25 dans leur ensemble. Quatre connecteurs (dont seulement deux, référencés 26, 27 sont visibles 25 sur la figure) sont fixés sur la plaque 24. Le circuit imprimé 24 est du type double face, et ne voit donc sur la figure que les pistes 28 imprimées sur une seule de ses faces. L'ensemble est fixé dans un boîtier étanche (non représenté) . De même, on n'a pas représenté non plus les circuits électroniques (préamplification, amplification, pré-traitement,...) pouvant être inclus dans ce boîtier. 30 Les avantages de la présente invention sont de cinq ordres : 1- Facilité du montage des tonpilz de type empilage/serrage. 6 2931016 2- Positionnement mutuel très précis des transducteurs par nature (déterminé par le circuit imprimé), ce qui garantit une bonne répétabilité des caractéristiques de rayonnement de l'antenne ainsi constituée. 3- Suppression de la dispersion de performances, sur de petits transducteurs, due au 5 soudage (déformation thermique, dérive des caractéristiques des pièces assemblées). 4- Repérage automatique du câblage des transducteurs par le circuit imprimé; 5- Le contrôle électro-acoustique de l'antenne (contrôle individuel de chaque transducteur) devient automatisable.En effet, le (les) connecteur(s) peut (peuvent) 10 être également relié(s) à un circuit de test disposé dans le boîtier de l'antenne et télécommandé pour effectuer les tests appropriés directement in situ. 6- L'ensemble des avantages mentionnés ci-dessus amène une réduction du coût de production, car il permet un gain de temps considérable.
15 Les couplages vibratoires entre voies ("cross-talking") susceptibles d'apparaître par l'intermédiaire du circuit imprimé sont minimisés par optimisation du fonctionnement par la méthode des éléments finis, en optimisant la masse de chaque élément de chaque transducteur, en particulier les contre-masses (10), de façon à ramener le point nodal de vibration de la structure au niveau du circuit 20 imprimé afin de réduire le plus possible la déformation de ce dernier et les éventuels déplacements infimes des transducteurs sur leur plaque de support (généralement, la tige de fixations des transducteurs sur la plaque de circuit imprimé est bien plus élastique que la céramique, et la précontrainte qu'elle exerce sur le transducteur n'est pas suffisante pour le brider, mais suffit à assurer le contact électrique entre les 25 éléments des transducteurs et le circuit imprimé). Pour mettre en oeuvre l'optimisation des transducteurs, la structure de chaque transducteur est représentée comme un maillage de petits éléments volumiques dans lequel chacune des grandeurs acoustiques est calculée, connaissant les conditions initiales et les conditions aux limites et en appliquant le théorème de Kirchhoff. 30 7

Claims (5)

  1. REVENDICATIONS1. Antenne acoustique à montage facilité, caractérisée en ce qu'elle comporte un réseau de transducteurs élémentaires(15), chaque transducteur élémentaire comprenant, entre une contre-masse (10) et un pavillon (9), au moins une céramique (8), tous les transducteurs élémentaires étant montés sur un circuit imprimé (7, 16) commun de liaison électrique entre les transducteurs et de positionnement des transducteurs les uns par rapport aux autres, et au moins un connecteur (26, 27) fixé sur ce circuit imprimé, chacun des transducteurs étant monté de façon que le circuit imprimé soit serré entre sa (ses) céramique(s) et sa contre-masse.
  2. 2. Antenne selon la revendication 1, caractérisée en ce que les transducteurs élémentaires sont de l'un des types électro-acoustiques suivants : piézo-électrique ou électrostrictif.
  3. 3. Antenne selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que la masse de chaque élément de chaque transducteur est optimisée de façon à ramener le point nodal de vibration de la structure au niveau du circuit imprimé.
  4. 4. Antenne selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les transducteurs élémentaires sont alignés.
  5. 5. Antenne selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que les transducteurs élémentaires ne sont pas alignés, leur disposition sur le circuit imprimé les supportant étant fonction des caractéristiques du faisceau acoustique à obtenir.25
FR0802548A 2008-05-07 2008-05-07 Antenne acoustique a circuits imprimes integres Active FR2931016B1 (fr)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0802548A FR2931016B1 (fr) 2008-05-07 2008-05-07 Antenne acoustique a circuits imprimes integres
EP09750050.8A EP2276583B1 (fr) 2008-05-07 2009-05-06 Antenne acoustique a circuits imprimes integres
US12/991,033 US9114427B2 (en) 2008-05-07 2009-05-06 Acoustic antenna having integrated printed circuits
DK09750050.8T DK2276583T3 (en) 2008-05-07 2009-05-06 Acoustic antenna with integrated printed circuits
JP2011507975A JP5723765B2 (ja) 2008-05-07 2009-05-06 印刷集積回路を備えた音響アンテナ
PCT/FR2009/050842 WO2009141569A2 (fr) 2008-05-07 2009-05-06 Antenne acoustique a circuits imprimes integres

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0802548A FR2931016B1 (fr) 2008-05-07 2008-05-07 Antenne acoustique a circuits imprimes integres

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2931016A1 true FR2931016A1 (fr) 2009-11-13
FR2931016B1 FR2931016B1 (fr) 2010-08-13

Family

ID=40090003

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR0802548A Active FR2931016B1 (fr) 2008-05-07 2008-05-07 Antenne acoustique a circuits imprimes integres

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9114427B2 (fr)
EP (1) EP2276583B1 (fr)
JP (1) JP5723765B2 (fr)
DK (1) DK2276583T3 (fr)
FR (1) FR2931016B1 (fr)
WO (1) WO2009141569A2 (fr)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4373143A (en) * 1980-10-03 1983-02-08 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Parametric dual mode transducer
US4545041A (en) * 1982-10-27 1985-10-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Shock-hardened hydrophone
US6181052B1 (en) * 1996-09-24 2001-01-30 William L. Puskas Ultrasonic generating unit having a plurality of ultrasonic transducers

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3370186A (en) * 1965-02-05 1968-02-20 Blackstone Corp Ultrasonic transducers
US3739327A (en) * 1970-12-16 1973-06-12 Dynamics Corp Massa Div Electroacoustic transducers of the mass loaded vibratile piston type
JPS513886A (ja) * 1974-06-29 1976-01-13 Nippon Electric Co Itsutankoteitategatashindoshi
JPS59101593U (ja) * 1982-12-24 1984-07-09 日本電気株式会社 振動子配列構造体
JPH0523268Y2 (fr) * 1986-10-29 1993-06-15
JP2001526006A (ja) * 1996-05-09 2001-12-11 クレスト・ウルトラソニックス・コーポレーション 超音波トランスデューサ
DE19620133C2 (de) * 1996-05-18 2001-09-13 Endress Hauser Gmbh Co Schall- oder Ultraschallsensor
JP3961903B2 (ja) * 2002-08-21 2007-08-22 古野電気株式会社 超音波振動子

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4373143A (en) * 1980-10-03 1983-02-08 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Parametric dual mode transducer
US4545041A (en) * 1982-10-27 1985-10-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Shock-hardened hydrophone
US6181052B1 (en) * 1996-09-24 2001-01-30 William L. Puskas Ultrasonic generating unit having a plurality of ultrasonic transducers

Also Published As

Publication number Publication date
WO2009141569A2 (fr) 2009-11-26
FR2931016B1 (fr) 2010-08-13
EP2276583A2 (fr) 2011-01-26
WO2009141569A3 (fr) 2010-03-11
JP5723765B2 (ja) 2015-05-27
US20110051969A1 (en) 2011-03-03
EP2276583B1 (fr) 2015-08-26
JP2011520374A (ja) 2011-07-14
US9114427B2 (en) 2015-08-25
DK2276583T3 (en) 2015-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2178312B1 (fr) Microphone directionnel à condensateur de silicium et à chambre arrière additionnelle
US6594369B1 (en) Electret capacitor microphone
US8542852B2 (en) Electro-mechanical transducer, an electro-mechanical converter, and manufacturing methods of the same
EP2526705B1 (fr) Structure de haut-parleur électrodynamique à technologie mems
US8537640B2 (en) Active sonar system
US20170067856A1 (en) Transducer unit, acoustic probe including the transducer unit, and photoacoustic apparatus including the acoustic probe
WO2007129787A1 (fr) Microphone à condensateur de silicium à chambre dorsale additionnelle et trou de passage du son dans le pcb
EP0801595A1 (fr) Sonde acoustique et procede de realisation
FR2556165A1 (fr) Reseau d'hydrophones en polymere a couches multiples
FR2572616A1 (fr) Transducteur electro-acoustique a diaphragme piezoelectrique
US20180242066A1 (en) Multi-Element Bending Transducers and Related Methods and Devices
JP4884749B2 (ja) 導電性接触子ホルダの製造方法および導電性接触子ユニットの製造方法
EP2276583B1 (fr) Antenne acoustique a circuits imprimes integres
EP0664633A1 (fr) Dispositif de production de signaux acoustiques, transmissibles par voie téléphonique
JP2019140672A (ja) 超音波センサ
EP0663136B1 (fr) Transducteur electro-acoustique a volume diffusant
JP7088099B2 (ja) 超音波センサ
CN104145532B (zh) X射线照射源
EP1274518B1 (fr) Sonde acoustique unidirectionnelle et procede de fabrication
US6561034B2 (en) Ultrasonic sparse imaging array
CN106996810B (zh) 超声转换器
US20130026884A1 (en) Ultrasonic sensor
EP3179527B1 (fr) Transducteur avec des connecteurs soudés sur celui-ci
CN103562731A (zh) 加速度传感器
US10334368B2 (en) Acoustic sensor for transmitting and receiving acoustic signals

Legal Events

Date Code Title Description
CD Change of name or company name
GC Lien (pledge) constituted

Effective date: 20140716

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 9

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 10

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 11

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 13

GC Lien (pledge) constituted

Effective date: 20200826

RG Lien (pledge) cancelled

Effective date: 20200903

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 14

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 15

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 16

CA Change of address

Effective date: 20230310

CD Change of name or company name

Owner name: EXAIL, FR

Effective date: 20230310

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 17