FR2874909A1 - Element de capteur micromecanique - Google Patents
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Abstract
Procédé de fabrication d'un élément de capteur micromécanique comportant une cavité (275, 500, 505) et une membrane (285, 585).La fabrication de la membrane comprend les étapes de procédé suivantes :- application d'un masque de gravure structuré (210) ayant un grand nombre de trous sur un substrat semi-conducteur (200),- réalisation de cavités (220) sous les trous à l'aide d'un procédé de gravure,- formation par anodisation d'une zone rendue poreuse (270) en dessous d'au moins une cavité dans le substrat semi-conducteur, et d'une structure en forme de grille (280) à la surface de la matière non rendue poreuse du substrat semi-conducteur entre les cavités,- enlèvement des masques de gravure, et- génération de la cavité à partir d'au moins une zone poreuse, et de- la membrane au-dessus de la cavité à partir de la structure en forme de réseau, au moyen d'un traitement thermique ou d'un polissage électrolytique du semi-conducteur.
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