FR2824417A1 - Actionneur magnetique bistable - Google Patents
Actionneur magnetique bistable Download PDFInfo
- Publication number
- FR2824417A1 FR2824417A1 FR0105909A FR0105909A FR2824417A1 FR 2824417 A1 FR2824417 A1 FR 2824417A1 FR 0105909 A FR0105909 A FR 0105909A FR 0105909 A FR0105909 A FR 0105909A FR 2824417 A1 FR2824417 A1 FR 2824417A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- magnetic
- actuator
- magnetic circuit
- bistable
- mobile
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F7/00—Magnets
- H01F7/06—Electromagnets; Actuators including electromagnets
- H01F7/08—Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures
- H01F7/081—Magnetic constructions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F7/00—Magnets
- H01F7/06—Electromagnets; Actuators including electromagnets
- H01F7/08—Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures
- H01F7/18—Circuit arrangements for obtaining desired operating characteristics, e.g. for slow operation, for sequential energisation of windings, for high-speed energisation of windings
- H01F7/1872—Bistable or bidirectional current devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H1/00—Contacts
- H01H1/0036—Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS]
- H01H2001/0042—Bistable switches, i.e. having two stable positions requiring only actuating energy for switching between them, e.g. with snap membrane or by permanent magnet
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H50/00—Details of electromagnetic relays
- H01H50/005—Details of electromagnetic relays using micromechanics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H51/00—Electromagnetic relays
- H01H51/22—Polarised relays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Electromagnets (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
Actionneur magnétique bistable.Selon l'invention, l'actionneur comprend deux structures magnétiques fixes (321 , 341 ) (322 , 342 ) et une partie magnétique mobile (36) apte à se déplacer vers l'une ou l'autre des deux extrémités des structures magnétiques. L'actionneur est de préférence réalisé sous forme de microactionneur.Application à la réalisation de microrelais, microvannes, micropompes, etc...
Description
formé au moyen d'un processus à pression interne de gaz.
_ ACTIONNEUR MAGNETIQUE BISTABLE
DESCRIPTION
Domaine technique La présente invention a pour objet un actionneur
magnétique bistable et notamment un microactionneur.
Elle trouve une application dans la réalisation de microrelais (électriques ou optiques), de microvannes,
de micropompes, etc..
Etat de la technigue antérieure Le document WO 97/39468 décrit un actionneur magnétique pouvant prendre la forme illustrée sur la figure 1 annexce. Tel que représenté, cet actionneur comprend un circuit magnétique constitué d'une pièce polaire centrale 12 entourée d'un bobinage conducteur 14 et de deux pièces polaires symétriques 16. Une pièce magnétique mobile 18 est disposoe en regard de la pièce
polaire centrale 12.
Lorsqu'un courant circule dans le bobinage 14, une force magnétique F agit sur la pièce magnétique mobile 18 et vient plaquer celle-ci sur une pièce conductrice fixe 19. Ce contact ferme un circuit électrique (non
2 5 représenté).
Un tel actionneur est unidirectionnel en ce sens que la force F exercce sur la pièce mobile ne peut étre dirigée que dans un seul sens. Cet actionneur n'est donc pas bistable, mais monostable, la seule position de travail stable étant celle o la pièce mobile 18 est
plaquée contre le contact 19.
_ On connaît cependant des actionneurs magnétiques bistables. L' article de M. Sc. H. Ren et al. intitulé "A Bistable Microfabricated Magnetic Cantilever Microactuator with Permanent Magnet" publié dans les Compterendus de la 5ème Conférence Internationale Microsystem Technologies 96, Potsdam, 17-19 Septembre, 1996, pages 799 à 801 décrit un actionneur représenté sur la figure 2 annexée. Cet actionneur comprend un aimant permanent 20 prolongé par deux branches magnétiques 22, 24 entourées chacune d'un bobinage conducteur, respectivement 23, 25. Une poutre flexible 26, en matériau magnétique, complète le cTrcuit magnétique. Celui-ci présente donc deux entrefers définis par l'extrémité de la poutre 26 et chacune des extrémités des branches 22 et 24. Le flux magnétique présent dans chacun de ces entrefers résulte de la somme des flux dus à l'aimant permanent 20 et aux courants cTrculant éventuellement dans l'un ou l'autre
des bobinages 23 et 25.
Les forces magnétiques F1 et F2 appliquces à l'extrémité de la poutre 26 s'exercent soit dans un sens soit dans l'autre selon que l'un ou l'autre des bobinages conducteurs 23, 25 est parcouru par un courant. Un tel actionneur est donc bidirectionnel ou,
si l'on veut, bistable.
Cet actionneur bistable présente un inconvénient.
En effet, comme la pièce mobile 26 fait intogralement partie du circuit magnétique, son déplacement est limité. Par ailleurs, sa mobilité est réduite car elle
résulte d'une flexion d'une pièce magnétique.
La présente invention a justement pour but= de
remédier à cet inconvénient.
Exposé de 1' invention L' invention propose un actionneur bistable dans lequel le déplacement de la pièce mobile est augmenté et sa mobilité améliorée. Ce but est atteint par le fait que la pièce mobile est fixce à des moyens flexibles qui ne font plus partie du circuit magnétique. De façon plus précise, l' invention a pour objet un actionneur magnétique bistable comprenant: - une première structure magnétique fixe comprenant un premier bobinage conducteur entourant un premier circuit magnétique ouvert présentant une première extrémité, - une seconde structure magnétique fixe comprenant un second bobinage conducteur entourant un second circuit magnétique ouvert présentant une première extrémité, les premières extrémités des premier et second circuits magnétiques étant disposéss en regard l'une de l'autre, - une pièce magnétique mobile pouvant occuper une première ou une seconde position de travail stable selon que le premier ou le second bobinage conducteur est excité, caractérisé en ce que: - la pièce magnétique mobile est localisée au voisinage de la première extrémité du - premier circuit magnétique et de la première extrémité du second circuit magnétique, - la pièce magnétique mobile est fixée à des moyens non magnétiques permettant le déplacement de la pièce mobile en direction de la première extrémité du premier circuit magnétique ou en direction de la première
extrémité du second circuit magnétique.
Les bobinages conducteurs et les circuits magnétiques peuvent être réalisés selon des techniques empruntées à la micrcélectronique. L'actionneur est
alors un micoactionneur.
Les bobinages peuvent être constitués de nappes de ruhans conducteurs déposés dans des caissons gravés. Le circuit magnétique peut étre réalisé à l' aide de couches de matériaux magnétiques "douxi' ou "durs" ou de matériaux à hystérésis. Les matériaux doux siaimantent de façon linéaire en fonction du champ magnétique qui leur est appliqué (fer, nichel, fernickel, fer-cobalt, fer-silicium,...). Les matériaux durs ont une aimantation fixe qui ne dépend pas du champ appliqué (ferrite, samariumcobalt, néodyme-fer-bore, platine-cobalt). Les matériaux à hystérésis ont des propriétés se situant entre celles des matériaux doux et celles des matériaux durs. Ils peuvent s'aimanter et garder une aimantation après que le champ d' excitation
a disparu.
Les deux structures magnétiques peuvent prendre diverses formes, et être par exemple symétriques par
rapport à un plan ou par rapport à un point.
_ Quant au déplacement de la pièce mobile, il peut s'agir d'une translation (ou d'une quasi-translation)
ou d'une rotation.
srève description des dessins
- la figure 1, déjà décrite, illustre un actionneur monostable selon l'état de la technique; - la figure 2, déjà décrite, illustre un actionneur bistable selon l'état de la technique; - la figure 3 illustre un mode particulier de réalisation d'un microactionneur bistable selon l' invention; - les figures 4A à 4I montrent différentes étapes d'un procédé de réalisation d'un microactionneur selon l' invention; - la figure 5 illustre une application à la réalisation d'un microrelais; - la figure 6 illustre un autre mode de réalisation; - la figure 7 illustre encore un autre mode de réalisation à centre de symétrie; - la figure 8 illustre un microactionneur à
axe de rotation.
Description de modes particuliers de réalisation
La description qui va suivre se rapporte à un
microactionneur mais on ne sortirait pas du cadre de linvention en modifiant les exemples décrits pour
obtenir un actionneur.
, Le mode de réalisation illustré sur la figur 3 correspond à un dispositif présentant un plan de symétrie. La première structure magnétique comprend un premier bobinage conducteur 321 entourant un premier circuit magnétique ouvert comprenant une partie cTrculaire 341 et une partie droite 30 située dans le plan de symétrie. La seconde structure comprend, de la même manière, un second bobinage conducteur 322 entourant un second circuit magnétique ouvert comprenant une partie circulaire 342 et la partie droite 30 déjà citée, qui se trouve donc être commune
aux deux structures.
Il va de soi que les formes ctrculaires des parties 34: et 342 ne sont que des exemples et que l'on ne sortirait pas du cadre de l' invention en réalisant
des circuits rectangulaires ou autres.
Le dispositif se complète par une pièce magnétique mobile 36 placée entre les extrémités 351 et 352 des premier et second circuits magnétiques. Cette pièce 36 est fixée à deux poutres flexibles 38 et 39 non
magnétiques, encastrées dans une embase 40.
Naturellement, on pourrait n'utiliser qu'une seule
poutre ou en utiliser plus de deux.
Le fonctionnement de ce dispositif est le suivant.
Tel que représenté sur la figure 3, le microactionneur est au repos. Lorsque le bobinage de gauche 321 est parcouru par un courant, le circuit magnétique de gauche 341 est excité et la partie mobile 36 est attirée vers la gauche. Elle vient alors fermer l'entrefer de gauche qu'elle définissait avec le premier circuit magnétique. Lorsque c'est le bobinage de roite 322 qui est paraouru par un courant, c'est le circuit magnétique de droite 342 qui est excité et la partie mobile est attirée vers la droite. Elle vient alors fermer lentrefer de droite qu'elle définissait avec le second circuit magnétique. Le microactionneur décrit possède donc bien deux positions de travail stables. Suivant la composition des matériaux des enroulements magnétiques, la partie mobile peut garder l'une ou l'autre de ces positions méme si l'alimentation des bobinages est interrompue (cas des matériaux à hystérésis). Mais la partie mobile peut aussi reprendre sa position de repos (cas des matériaux doux). Dans le cas des matériaux à hystérésis, il faudra désaimanter le circuit magnétique en alimentant le bobinage approprié avec un courant de sens correct pour que la partie mobile reprenne sa
position initiale.
Les figures 4A à 4I illustrent un procédé de réalisation d'un microactionneur selon la présente invention. On part d'un substrat 50, par exemple en silicium (figure 4A); on y grave des caissons quon remplit de matériau conducteur pour obtenir une nappe de conducteurs 52 situés sur un premier niveau; on planarise l 'ensemble; on dépose une couche isolante 54 sur laquelle on forme une couche 56 isolante (par
exemple en SiO2), couche dite sacrificielle.
On dépose ensuite (figure 4B) une couche de résine 58. Dans cette couche de résine, on dépose une couche de matériau magnétique (figure 4C) pour former le ciruit magnétique 60 et la future partie mobile &2;
puis on isole les motifs (figure 4D).
On dépose ensuite une nouvelle couche de résine 66
(figure 4E) et on planarise l'ensemble (figure 4F).
On dépose ensuite une couche isolante 70 (figure 4G) et une couche de résine; on grave dans celle-ci de nouveaux caissons que l'on remplit de matériau conducteur pour obtenir une seconde nappe de conducteurs 74 sur un deuxième niveau. Des connexions non représentées permettent de réunir les deux nappes de conducteurs pour obtenir un bobinage entourant la
plece magneLlque.
On planarise l'ensemble (figure 4H) et l'on isole
les différents motifs.
On grave ensuite la couche sacrificielle 56 (figure 4I) pour dégager un espace libre 78 et libérer
la partie mobile 62.
La figure 5 illustre une application de l' invention à la réalisation d'un microrelais électrique. Ce dispositif comprend les moyens déjà représentés sur la figure 4 et qui portent les mémes références. I1 comprend, en outre, des contacts électriques 80 et 82 disposés aux extrémités 351 et 352 des circuits magnétiques, trois plots de contact 91, 92, 93 et trois pistes 94, 95, 96 reliant les plots aux
contacts 80 et 82 et à la base 40.
Lorsque le bobinage de gauche 321 est alimenté, la partie mobile 36 est attirée vers la gauche et vient refermer le circuit électrique 91, 93. Lorsque le bobinage de droite 322 est alimenté, la partie mobile esaLtirde vers la droiLe et vienL refermer le cicuiL
lecLique 92, 93.
Les contacts lectrigues ne sont gue schmatiss sur la figure 5. Dans la rdalit6, les pistes permettent de reporter les ploLs de conLact vers la priphrie du microrelais oL peuvent figurer galement les contacts
permettant de commander 1'actionneur.
[a figure 6 illusCre un autre mode de ralisacion 1Q dun microactionneur selon l' invention dans leuel les branches centrales des ctrcuiLs magn6Ligues ne sot pas confondues en une seule brache 30, comme sur la figure 3, mais sont constitus de deux branches ind6pendantes
301, 30. Les fuites magntiues sont ainsi rduites.
La figure 7 111ustre un mode de 4aliaLion sym6Lrie ceoLale. Autrement diL, les deux truccures (301, 321, 34,) (30:, 32:, 34) sont sYm6trigues ar rapport un point gui est le centre du disositif. La partie mobile 36 peut alors tre relide de manire elle aussi symtrique deux embases 401, 40:, par deux jeux
de deux poutres flexibles (381, 391) (38, 19).
La figure 8, enfin, montre un mode de ralisation oL la ice magntigue mo) lle 36 est mobile en coLaLion auLour d'un axe 98. Elle peuL venir se laguer soit sous l'exLrAmiL 351 soiL sous l'exLrdmiLd 35 des deux circuiLs magn4Ligues 341 eL 34: selon que le couranL
passe dans l'enroulemenL 321 ou dans lenroulemenL 32.
_ REV-ENDICATIONS
1. Actionneur magnétique bistable comprenant: - une première structure magnétigue fixe comprenant un premier bobinage conducteur (321) entourant un premier circuit magnétigue ouvert (341) présentant une première (351) extrémité, - une seconde structure magnétigue fixe comprenant un second bobinage conducteur (322) entourant un second circuit magnétigue ouvert (342) présentant une première extrémité (3S2), les premières extrémités (351, 352) des premier et second circuits magnétigues étant disposées en regard l'une de l'autre, - une pièce magnétique mobile (36) pouvant occuper une première ou une seconde position de travail stable selon gue le premier ou le second bobinage conducteur (321, 322) est excité, .. caracterlse en ce que: - la pièce magnétique mobile (36) est localisoe au voisinage de la première extrémité (351) du premier circuit magnétigue et de la première extrémité (352) du second circuit magnétigue, - la pièce magnétigue mobile (36) est fixée à des moyens non magnétiques (38, 39) permettant le déplacement de la pièce mobile (36) en direction de la première extrémité (351) du premier cirGuit magnétique ou en direction de la première extrémité (352) du second circuit magnétique. 2. Actionneur selon la revendication 1, dans lequel les première (32l, 341) et seconde (322, 342) structures magnétiques sont disposoes symétriquement
lune de l'autre par rapport à un plan.
3. Actionneur selon la revendication 2, dans lequel les moyens auxquels la pièce magnétique mobile est fixée comprennent au moins une poutre flexible (33,
39) non magnétique.
4. Actionneur selon la revendication 2, dans lequel le premier et le second circuits magnétiques ont en commun une branche magnétique (30) située dans le
plan de symétrie.
5. Actionneur selon la revendication 1, dans lequel les première et seconde structures magnétiques
sont disposoes symétriquement par rapport à un point.
6. Actionneur selon la revendication 5, dans lequel les moyens auxquels la pièce magnétique mobile (36) est fixée comprennent au moins deux poutres
flexibles (381, 391) (382, 392) symétriques.
_ 7. Actionneur selon la revendication 1, dans lequel la pièce magnétique mobile (36) est mobile en
rotation autour d'un axe (98).
8. Actionneur selon l'une quelconque des
revendications 1 à 7, dans lequel les bobinages
conducteurs (321, 322) et les circuits magnétiques (341, 342, 30, 301, 302) sont réalisés en matériaux déposés en couches, l'actionneur étant alors un
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR0105909A FR2824417B1 (fr) | 2001-05-03 | 2001-05-03 | Actionneur magnetique bistable |
| PCT/FR2002/001487 WO2002091402A2 (fr) | 2001-05-03 | 2002-04-29 | Actionneur magnetique bistable |
| EP02735523A EP1425764B1 (fr) | 2001-05-03 | 2002-04-29 | Actionneur magnetique bistable |
| JP2002588571A JP4034657B2 (ja) | 2001-05-03 | 2002-04-29 | 双安定磁気アクチュエータ |
| DE60223566T DE60223566T2 (de) | 2001-05-03 | 2002-04-29 | Bistabiler magnetischer aktuator |
| US10/476,163 US7049915B2 (en) | 2001-05-03 | 2002-04-29 | Bistable magnetic actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR0105909A FR2824417B1 (fr) | 2001-05-03 | 2001-05-03 | Actionneur magnetique bistable |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2824417A1 true FR2824417A1 (fr) | 2002-11-08 |
| FR2824417B1 FR2824417B1 (fr) | 2004-05-14 |
Family
ID=8862933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR0105909A Expired - Fee Related FR2824417B1 (fr) | 2001-05-03 | 2001-05-03 | Actionneur magnetique bistable |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7049915B2 (fr) |
| EP (1) | EP1425764B1 (fr) |
| JP (1) | JP4034657B2 (fr) |
| DE (1) | DE60223566T2 (fr) |
| FR (1) | FR2824417B1 (fr) |
| WO (1) | WO2002091402A2 (fr) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7463125B2 (en) * | 2002-09-24 | 2008-12-09 | Maxim Integrated Products, Inc. | Microrelays and microrelay fabrication and operating methods |
| US6621135B1 (en) * | 2002-09-24 | 2003-09-16 | Maxim Integrated Products, Inc. | Microrelays and microrelay fabrication and operating methods |
| FR3050339B1 (fr) | 2016-04-15 | 2020-08-28 | Enerbee | Generateur d'electricite comprenant un convertisseur magneto-electrique et son procede de fabrication |
| US11300378B2 (en) | 2017-03-08 | 2022-04-12 | Sturm, Ruger & Company, Inc. | Electromagnetic firing system for firearm with interruptable trigger control |
| US10670361B2 (en) | 2017-03-08 | 2020-06-02 | Sturm, Ruger & Company, Inc. | Single loop user-adjustable electromagnetic trigger mechanism for firearms |
| WO2018164923A1 (fr) | 2017-03-08 | 2018-09-13 | Sturm, Ruger & Company, Inc. | Mécanisme de détente à force variable dynamique d'armes à feu |
| US10458736B2 (en) | 2017-03-08 | 2019-10-29 | Sturm, Ruger & Company, Inc. | Dynamic variable force trigger mechanism for firearms |
| US10240881B1 (en) | 2017-03-08 | 2019-03-26 | Louis M. Galie | Fast action shock invariant magnetic actuator for firearms |
| US10969186B2 (en) | 2017-03-08 | 2021-04-06 | Strum, Ruger & Company, Inc. | Fast action shock invariant magnetic actuator for firearms |
| US10900732B2 (en) | 2017-03-08 | 2021-01-26 | Sturm, Ruger & Company, Inc. | Electromagnetic firing system for firearm with firing event tracking |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5724015A (en) * | 1995-06-01 | 1998-03-03 | California Institute Of Technology | Bulk micromachined inductive transducers on silicon |
| US5818131A (en) * | 1997-05-13 | 1998-10-06 | Zhang; Wei-Min | Linear motor compressor and its application in cooling system |
| EP1081722A2 (fr) * | 1999-09-03 | 2001-03-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Actionneur électromagnétique, son procédé de fabrication, et dispositif de balayage optique avec un tel actionneur électromagnétique |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3858135A (en) * | 1973-08-14 | 1974-12-31 | S Gray | Push-pull linear motor |
| US5847631A (en) | 1995-10-10 | 1998-12-08 | Georgia Tech Research Corporation | Magnetic relay system and method capable of microfabrication production |
| US5793272A (en) * | 1996-08-23 | 1998-08-11 | International Business Machines Corporation | Integrated circuit toroidal inductor |
| EP0970296A1 (fr) | 1997-03-24 | 2000-01-12 | LSP Innovative Automotive Systems GmbH | Dispositif de commande electromagnetique |
| DE19714413A1 (de) | 1997-04-08 | 1998-10-15 | Braunewell Markus | Elektromagnetischer Antrieb |
| JP3492288B2 (ja) * | 2000-06-16 | 2004-02-03 | キヤノン株式会社 | 電磁アクチュエータ、該電磁アクチュエータの作製方法、該電磁アクチュエータを用いた光偏向器 |
| US6803843B2 (en) * | 2001-02-22 | 2004-10-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Movable-body apparatus, optical deflector, and method of fabricating the same |
| FR2826504B1 (fr) * | 2001-06-25 | 2003-09-12 | Commissariat Energie Atomique | Actionneur magnetique a temps de reponse reduit |
-
2001
- 2001-05-03 FR FR0105909A patent/FR2824417B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-04-29 JP JP2002588571A patent/JP4034657B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-04-29 EP EP02735523A patent/EP1425764B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 2002-04-29 US US10/476,163 patent/US7049915B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-04-29 DE DE60223566T patent/DE60223566T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-04-29 WO PCT/FR2002/001487 patent/WO2002091402A2/fr active IP Right Grant
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5724015A (en) * | 1995-06-01 | 1998-03-03 | California Institute Of Technology | Bulk micromachined inductive transducers on silicon |
| US5818131A (en) * | 1997-05-13 | 1998-10-06 | Zhang; Wei-Min | Linear motor compressor and its application in cooling system |
| EP1081722A2 (fr) * | 1999-09-03 | 2001-03-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Actionneur électromagnétique, son procédé de fabrication, et dispositif de balayage optique avec un tel actionneur électromagnétique |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2824417B1 (fr) | 2004-05-14 |
| US20040113732A1 (en) | 2004-06-17 |
| WO2002091402A2 (fr) | 2002-11-14 |
| JP2004534494A (ja) | 2004-11-11 |
| WO2002091402A3 (fr) | 2004-03-25 |
| EP1425764A2 (fr) | 2004-06-09 |
| US7049915B2 (en) | 2006-05-23 |
| DE60223566D1 (de) | 2007-12-27 |
| JP4034657B2 (ja) | 2008-01-16 |
| EP1425764B1 (fr) | 2007-11-14 |
| DE60223566T2 (de) | 2008-10-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100474536B1 (ko) | 전자적으로 스위칭하는 래칭 마이크로-마그네틱 릴레이 및그 동작방법 | |
| JP3750574B2 (ja) | 薄膜電磁石およびこれを用いたスイッチング素子 | |
| US6377155B1 (en) | Microfabricated electromagnetic system and method for forming electromagnets in microfabricated devices | |
| FR2824417A1 (fr) | Actionneur magnetique bistable | |
| KR20010106144A (ko) | 마이크로 전기기계 시스템 자기작동 스위치 및 그 스위치어레이 | |
| EP0869519A1 (fr) | Moteur planaire magnétique et micro-actionneur magnétique comportant un tel moteur | |
| JPH09198983A (ja) | 小型デバイス | |
| FR2864526A1 (fr) | Dispositif d'actionnement electrostatique | |
| WO2004040607A1 (fr) | Dispositif de commutation electrique, relais et appareil electrique comportant un tel dispositif | |
| CN101689444A (zh) | 微继电器 | |
| EP1428232B8 (fr) | Actionneur magnetique a aimant mobile | |
| EP1525595B1 (fr) | Actionneur magnetique a levitation | |
| KR100661176B1 (ko) | Ｍｅｍｓ 스위치 및 그 제조 방법 | |
| CN101138060B (zh) | 具有电磁控制的微系统 | |
| US7300815B2 (en) | Method for fabricating a gold contact on a microswitch | |
| US20020196112A1 (en) | Electronically switching latching micro-magnetic relay and method of operating same | |
| FR2880730A1 (fr) | Microsysteme utilisant un microactionneur magnetique a aimant permanent. | |
| US11594389B2 (en) | MEMS dual substrate switch with magnetic actuation | |
| FR2927466A1 (fr) | Actionneur bistable a commande electrostatique et consommation electrique faible | |
| JPH0864052A (ja) | 小型リレー | |
| EP1836713B1 (fr) | Microsysteme integrant un circuit magnetique reluctant | |
| WO2003072486A3 (fr) | Dispositifs microelectromecaniques (mems) et procedes de fabrication | |
| EP1866946A1 (fr) | Microsysteme a partie mobile bistable | |
| FR2868870A1 (fr) | Electroaimant a concentration de champ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| ST | Notification of lapse |
Effective date: 20100129 |