FR2792770A1 - Fonctionnement a haute pression d'une cathode froide a emission de champ - Google Patents
Fonctionnement a haute pression d'une cathode froide a emission de champ Download PDFInfo
- Publication number
- FR2792770A1 FR2792770A1 FR9905089A FR9905089A FR2792770A1 FR 2792770 A1 FR2792770 A1 FR 2792770A1 FR 9905089 A FR9905089 A FR 9905089A FR 9905089 A FR9905089 A FR 9905089A FR 2792770 A1 FR2792770 A1 FR 2792770A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- microtips
- electrons
- cathode
- emission
- field emission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J3/00—Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J3/02—Electron guns
- H01J3/021—Electron guns using a field emission, photo emission, or secondary emission electron source
- H01J3/022—Electron guns using a field emission, photo emission, or secondary emission electron source with microengineered cathode, e.g. Spindt-type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/13—Solid thermionic cathodes
- H01J1/20—Cathodes heated indirectly by an electric current; Cathodes heated by electron or ion bombardment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
- H01J1/304—Field-emissive cathodes
- H01J1/3042—Field-emissive cathodes microengineered, e.g. Spindt-type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2201/00—Electrodes common to discharge tubes
- H01J2201/19—Thermionic cathodes
- H01J2201/196—Emission assisted by other physical processes, e.g. field- or photo emission
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2201/00—Electrodes common to discharge tubes
- H01J2201/30—Cold cathodes
- H01J2201/304—Field emission cathodes
- H01J2201/30403—Field emission cathodes characterised by the emitter shape
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Abstract
Un dispositif de génération d'électrons par cathode à émission de champ (1) selon l'invention comprend un réseau de micropointes (4-7) émettrices d'électrons associées à une grille (13) et portées par un substrat (3) dans lequel sont intégrés des moyens de chauffe (25-28) pour amener et maintenir les micropointes (4-7) à une température d'environ 300degreC à 400degreC pendant l'émission d'électrons. La cathode peut ainsi fonctionner à des pressions résiduelles d'air plus élevées, sans risque de claquage.
Description
FONCTIONNEMENT A HAUTE PRESSION
D'UNE CATHODE FROIDE A EMISSION DE CHAMP
La présente invention concerne les dispositifs dans lesquels on génère un flux d'électrons dans une enceinte à vide à partir d'une cathode à émission de champ comprenant un réseau de
micropointes émettrices d'électrons associées à une grille.
Comme générateur d'électrons, on a développé depuis quelques années des cathodes à émission de champ à micropointes émettrices d'électrons, dans lesquelles des micropointes conductrices de l'électricité sont réalisées sur un substrat conducteur approprié et encastrées dans des cavités d'une couche isolante recouvrant le substrat, avec leur extrémité venant en affleurement d'une grille polarisée positivement et comportant des ouvertures au regard de chaque cavité. La forme acérée des sommets des micropointes produit un effet d'amplification locale de champ électrique qui favorise l'émission des électrons à température ambiante et permet d'obtenir cette émission à partir d'une tension de seuil de l'ordre de 50 à 100 volts en fonction de la
constitution du réseau de micropointes.
Parmi les moyens de génération d'un flux d'électrons dans une enceinte à vide, les cathodes à émission de champ, ou cathodes froides, présentent des avantages substantiels par rapport aux sources traditionnelles constituées par un filament de tungstène
chauffé à une température de 1 000 à 2 000 C.
Notamment, les cathodes à émission de champ présentent un très bon rendement énergétique, par le fait que les micropointes permettent d'émettre les électrons à partir de la température ambiante, alors que les filaments de tungstène nécessitent un apport d'énergie électrique de chauffage important pour amener le filament à une température permettant l'émission d'électrons par effet thermoélectronique; les ordres de grandeur des puissances mises en jeu sont d'environ 10 watts pour un filament chauffé, à
comparer à environ 0,2 watts pour une cathode à émission de champ.
Les cathodes à émission de champ présentent également l'avantage d'une grande rapidité de réaction, aussi bien en début d'émission qu'en fin d'émission d'électrons; il est ainsi possible de les désactiver instantanément, contrairement à un filament de tungstène dont la température et les propriétés émissives correspondantes ne baissent que lentement à cause de son inertie thermique. Les cathodes à émission de champ présentent également l'avantage de générer un faisceau d'électrons directif, tous les électrons étant émis perpendiculairement à la surface du réseau de micropointes, contrairement à un filament pour lequel les électrons
sont émis dans toutes les directions autour du filament.
L'absence de dissipation thermique est un autre avantage des cathodes à émission de champ, évitant de perturber les circuits
électroniques environnants qui sont sensibles à la température.
Les cathodes à émission de champ fonctionnent correctement lorsque la pression résiduelle gazeuse régnant à l'intérieur de l'enceinte à vide est inférieure à 10-5 hPa environ. Mais la réalisation et le maintien d'une pression résiduelle suffisamment basse dans l'enceinte à vide nécessitent des moyens de pompage appropriés, et surtout un temps de pompage suffisamment long. Cela constitue un inconvénient notamment dans les applications dans lesquelles le dispositif de génération d'électrons est utilisé dans une enceinte o l'on réalise un vide intermittent, notamment dans un spectromètre de masse pour l'analyse ou la détection des gaz dans l'enceinte à vide: il est nécessaire d'attendre l'obtention du vide suffisamment poussé avant de procéder à l'analyse ou à la mesure. Il y a donc un besoin pour fonctionner à des pressions résiduelles gazeuses supérieures à 10-5 hPa, qui peuvent être
réalisées en des temps plus courts et avec des moyens plus simples.
Cependant, pour une tension de polarisation donnée entre la cathode et la grille, le flux d'électrons produit par les cathodes à émission de champ décroît à mesure qu'augmente la pression résiduelle gazeuse dans l'enceinte à vide. Pour compenser cette baisse de productivité de flux d'électrons, les dispositifs augmentent généralement la tension de polarisation de grille, et on constate que la durée de vie des cathodes à émission de champ décroît très rapidement à mesure qu'augmente la pression résiduelle gazeuse dans l'enceinte à vide. Lors d'un fonctionnement de la cathode à émission de champ dans une atmosphère à pression résiduelle supérieure à 10- hPa, on constate l'apparition progressive de dégradations localisées par claquage entre les micropointes et la grille, avec un risque important de claquage
généralisé et d'explosion.
Le problème proposé par la présente invention est de concevoir un moyen de réduction des risques de claquage des cathodes à émission de champ, en augmentant leur productivité en flux d'électrons pour une géométrie donnée de réseau de
micropointes et pour une tension de polarisation de grille donnée.
La présente invention résulte de l'observation surprenante selon laquelle les risques de claquage, à flux constant d'électrons émis, diminuent sensiblement lorsqu'on chauffe les micropointes de
la cathode à émission de champ.
Ce résultat paraît surprenant, dès lors qu'un échauffement augmente l'agitation moléculaire et est a priori susceptible d'augmenter les risques de claquage; de même, un échauffement volontaire des micropointes paraît a priori cumulatif avec
l'échauffement résultant de microclaquages localisés.
Ainsi, la présente invention met à profit cette observation pour résoudre le problème du claquage des cathodes à émission de champ travaillant à des pressions supérieures à 10-5 hPa, en proposant un dispositif à génération d'électrons par cathode à émission de champ, comprenant un réseau de micropointes émettrices d'électrons associées à une grille et comprenant des moyens de chauffe pour amener et maintenir les micropointes à une température supérieure à la température ambiante pendant l'émission d'électrons. Les moyens de chauffe peuvent avantageusement être adaptés pour amener et maintenir les micropointes à une température
supérieure à 300 C environ pendant l'émission d'électrons.
De bons résultats ont été obtenus en amenant et en maintenant les micropointes à une température comprise entre 3000C
et 400 C environ pendant l'émission d'électrons.
Selon un mode de réalisation avantageux, les micropointes
sont portées par un substrat incorporant les moyens de chauffe.
Par exemple, les moyens de chauffe sont des éléments électriquement résistifs logés dans le substrat à proximité des
micropointes et connectables à une source d'énergie électrique.
Un tel dispositif de génération d'électrons peut fonctionner avec une cathode à émission de champ logée dans une enceinte à vide o règne une pression résiduelle gazeuse supérieure
à 10-5 hPa.
On sait qu'a priori l'augmentation de pression résiduelle gazeuse dans l'enceinte à vide nécessite, pour l'obtention d'un flux donné d'électrons, d'augmenter la tension de polarisation de la cathode. Cela conduit habituellement au claquage de la cathode, par fusion des micropointes. L'augmentation de la température des micropointes, à une température comprise entre 300 C et 400 C environ, a permis de conserver un même flux d'électrons avec une tension de polarisation plus basse, évitant le claquage de la cathode. On a ainsi pu atteindre, avec une même géométrie de cathode à émission de champ, une pression résiduelle gazeuse de
104 hPa dans l'enceinte à vide.
Ainsi, l'invention prévoit un procédé de génération d'électrons par cathode à émission de champ à micropointes dans lequel les micropointes sont portées à une température supérieure à la température ambiante, de préférence supérieure à 3000C, par
exemple comprise entre 300 C et 400 C environ.
D'autres objets, caractéristiques et avantages de la
présente invention ressortiront de la description suivante de modes
de réalisation particuliers, faite en relation avec les figures jointes, parmi lesquelles: - la figure 1 est une vue schématique montrant un dispositif de génération d'électrons par cathode à émission de champ selon un mode de réalisation de la présente invention, appliqué à la réalisation d'un spectromètre de masse pour analyse ou détection d'un gaz; et - la figure 2 est une vue schématique en coupe d'une cathode à émission de champ selon un mode de réalisation particulier de la
présente invention.
En se référant à la figure 2, une cathode à émission de champ 1 selon un mode de réalisation de la présente invention comprend un support en céramique 2 portant un substrat 3, par exemple en silicium ou autre matériau approprié et conducteur de l'électricité. La face active 30 du substrat 3 porte un réseau de micropointes telles que les micropointes 4 à 7, logées dans des cavités correspondantes 8 à 11 prévues dans une couche isolante 12, par exemple en oxyde de silicium, dont la face extérieure est recouverte d'un matériau conducteur formant une grille 13 percée au droit des cavités 8 à 11. Les pointes des micropointes 4-7 viennent
en affleurement de la surface de grille 13.
La dimension des cavités 8 à 11, et donc la dimension des micropointes 4 à 7, est de l'ordre du micron en hauteur et en largeur. On réalise généralement des réseaux de micropointes dont
la densité est de l'ordre de 10 000 à 100 000 micropointes par mm2.
En se référant maintenant à la figure 1, la cathode à émission de champ 1 est logée dans une enceinte à vide 14, et l'on distingue à nouveau le support 2, le substrat 3 et la grille 13. La grille 13 est polarisée positivement par rapport au substrat 3 par
un générateur électrique de polarisation de grille 15.
La cathode à émission de champ 1 est associée à une anode 16 en forme de boîte à parois en matériau amagnétique formant cage de Faraday et constituant une cage d'ionisation. L'anode 16 comprend une fente d'entrée 17 pour la pénétration des électrons provenant de la cathode à émission de champ 1, et une lumière 18 d'extraction des ions formés dans la cavité intérieure de l'anode 16. La flèche 19 représente le flux d'entrée d'électrons dans l'anode 16, et la flèche 20 illustre le flux de sortie des ions hors de l'anode 16. Le flux de sortie 20 d'ions est envoyé à un dispositif de traitement 21, schématiquement représenté, comprenant par exemple des moyens de discrimination et de mesure des ions
contenus dans le flux de sortie 20 d'ions.
L'anode 16 est polarisée positivement par rapport à la
grille 13 par un générateur électrique de polarisation d'anode 22.
L'enceinte à vide 14 est formée d'une paroi périphérique étanche ayant une sortie d'extraction 23 reliée à une pompe à vide,
et une entrée 24 par laquelle on fait pénétrer un gaz à analyser.
Ainsi, le dispositif illustré sur la figure 1 constitue un appareil de détection ou de mesure de gaz, par exemple un spectromètre de masse. Le flux d'électrons 19 dépend à la fois de la tension de polarisation de grille assurée par le générateur électrique de polarisation de grille 15, et de la pression résiduelle de gaz
présente dans l'espace intérieur de l'enceinte à vide 14.
Selon l'invention, on chauffe les micropointes de la cathode à émission de champ 1, à une température supérieure à la température ambiante pendant l'émission de la cathode à émission de champ 1, de façon à réduire la tension de polarisation de grille nécessaire à l'obtention d'un flux d'électrons 19 donné, pour une
pression résiduelle donnée de gaz dans l'enceinte à vide 14.
Autrement dit, pour une tension de polarisation de grille donnée et un flux d'électrons de sortie donné, l'invention permet d'augmenter la pression résiduelle de gaz à l'intérieur de l'enceinte à vide 14, réduisant ainsi les risques de claquage de la cathode à émission de champ 1, et augmentant sa durée de vie, ou permettant
un fonctionnement à des pressions résiduelles supérieures.
On a représenté, sur la figure 2, un mode de réalisation particulier des moyens de chauffe permettant d'amener et de maintenir les micropointes 4 à 7 à une température appropriée pendant l'émission d'électrons. Par exemple, ces moyens de chauffe sont des éléments électriquement résistifs 25, 26, 27 et 28 isolés électriquement et logés dans le substrat 3 à proximité des micropointes 4 à 7, et connectables à une source d'énergie électrique. En alternative, les moyens de chauffe peuvent être des éléments électriquement résistifs logés dans le support 2 du
substrat 3 et connectables à une source d'énergie électrique.
La source d'énergie électrique peut être un générateur de courant de chauffage 29 distinct illustré sur la figure 2. En alternative, on peut utiliser comme source d'énergie électrique le générateur électrique de polarisation de grille 15, aux bornes duquel sont connectés directement les éléments électriquement
résistifs 25-28.
La présente invention n'est pas limitée aux modes de réalisation qui ont été explicitement décrits, mais elle en inclut les diverses variantes et généralisations qui sont à la portée de
l'homme du métier.
Claims (11)
1 - Dispositif de génération d'électrons par cathode à émission de champ (1), comprenant un réseau de micropointes (4-7) émettrices d'électrons associées à une grille (13), caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de chauffe (25-28) pour amener et maintenir les micropointes (4-7) à une température supérieure à la
température ambiante pendant l'émission d'électrons.
2 - Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de chauffe (25-28) sont adaptés pour amener et maintenir les micropointes (4-7) à une température supérieure à
3000C environ pendant l'émission d'électrons.
3 - Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens de chauffe (25-28) sont adaptés pour amener et maintenir les micropointes (4-7) à une température comprise entre
300oC et 400 C environ pendant l'émission d'électrons.
4 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1
à 3, caractérisé en ce que les micropointes (4-7) sont portées par
un substrat (3) incorporant les moyens de chauffe (25-28).
- Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que les moyens de chauffe (25-28) sont des éléments électriquement résistifs logés dans le substrat (3) à proximité des micropointes
(4-7) et connectables à une source d'énergie électrique.
6 - Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que les moyens de chauffe (25-28) sont des éléments électriquement résistifs logés dans un support (2) du substrat (3) et connectables
à une source d'énergie électrique.
7 - Dispositif selon l'une des revendications 5 ou 6,
caractérisé en ce que la source d'énergie électrique est un
générateur de courant de chauffage (29) distinct.
8 - Dispositif selon l'une des revendications 5 ou 6,
caractérisé en ce que la source d'énergie électrique est un générateur électrique de polarisation de grille (15) aux bornes duquel sont connectés directement les éléments électriquement
résistifs (25-28).
9 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1
à 8, caractérisé en ce que la cathode à émission de champ (1) est logée dans une enceinte à vide (14) o règne une pression
résiduelle gazeuse supérieure à 10-5 hPa environ.
- Spectromètre de masse caractérisé en ce qu'il comprend un dispositif de génération d'électrons selon l'une
quelconque des revendications 1 à 9.
11 - Procédé de génération d'électrons par cathode à émission de champ (1) à micropointes (4-7), caractérisé en ce que les micropointes (4-7) sont portées à une température supérieure à
la température ambiante pendant l'émission d'électrons.
12 - Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce que les micropointes (4-7) sont portées à une température
supérieure à 300 C environ pendant l'émission d'électrons.
13 - Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce que les micropointes (4-7) sont portées à une température comprise
entre 300 C et 400 C environ pendant l'émission d'électrons.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9905089A FR2792770A1 (fr) | 1999-04-22 | 1999-04-22 | Fonctionnement a haute pression d'une cathode froide a emission de champ |
| EP00401027A EP1052668A1 (fr) | 1999-04-22 | 2000-04-13 | Fonctionnement à haute pression d'une cathode froide à émission de champ |
| US09/551,563 US6559442B1 (en) | 1999-04-22 | 2000-04-18 | High-pressure operation of a field-emission cold cathode |
| JP2000116161A JP2000353492A (ja) | 1999-04-22 | 2000-04-18 | 電界放出冷陰極の高圧動作 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9905089A FR2792770A1 (fr) | 1999-04-22 | 1999-04-22 | Fonctionnement a haute pression d'une cathode froide a emission de champ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2792770A1 true FR2792770A1 (fr) | 2000-10-27 |
Family
ID=9544733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR9905089A Withdrawn FR2792770A1 (fr) | 1999-04-22 | 1999-04-22 | Fonctionnement a haute pression d'une cathode froide a emission de champ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6559442B1 (fr) |
| EP (1) | EP1052668A1 (fr) |
| JP (1) | JP2000353492A (fr) |
| FR (1) | FR2792770A1 (fr) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20060185595A1 (en) * | 2005-02-23 | 2006-08-24 | Coll Bernard F | Apparatus and process for carbon nanotube growth |
| CH698896B1 (de) * | 2006-08-29 | 2009-11-30 | Inficon Gmbh | Massenspektrometer. |
| JP5579038B2 (ja) * | 2010-05-14 | 2014-08-27 | キヤノンアネルバ株式会社 | 冷陰極電離真空計、該冷陰極電離真空計を備えた真空処理装置、該冷陰極電離真空計に用いる放電開始補助電極、該冷陰極電離真空計を用いた圧力測定方法 |
| GB2518122B (en) * | 2013-02-19 | 2018-08-08 | Markes International Ltd | An electron ionisation apparatus |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1520972A (fr) * | 1966-04-30 | 1968-04-12 | Beteiligungs & Patentverw Gmbh | Source d'ions à émission par champ |
| DE2212424A1 (de) * | 1971-03-25 | 1972-09-28 | Cambridge Scientific Instr Ltd | Elektronenkanone |
| US3786268A (en) * | 1971-04-12 | 1974-01-15 | Hitachi Ltd | Electron gun device of field emission type |
| US3786305A (en) * | 1972-05-15 | 1974-01-15 | Hitachi Ltd | Field emission electron gun |
| US3887835A (en) * | 1972-06-09 | 1975-06-03 | Hitachi Ltd | Field emission electron gun |
| JPS6454639A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 | Matsushita Electric Works Ltd | Field emission cathode |
| EP0601533A1 (fr) * | 1992-12-07 | 1994-06-15 | Ricoh Company, Ltd | Micro-dispositif à vide |
| JPH0765696A (ja) * | 1993-08-30 | 1995-03-10 | Canon Inc | 電子放出素子 |
| FR2714208A1 (fr) * | 1993-12-22 | 1995-06-23 | Mitsubishi Electric Corp | Cathode, canon à électrons comportant une telle cathode et tube à rayons cathodiques comportant un tel canon. |
| JPH09283065A (ja) * | 1996-04-16 | 1997-10-31 | Futaba Corp | 電界放出型表示素子およびその駆動方法 |
| EP0884762A1 (fr) * | 1997-06-13 | 1998-12-16 | Commissariat A L'energie Atomique | Spectromètre à deux moyens d'ionisation distincts et procédés de traitement des informations fournies par ce spectromètre |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5747815A (en) * | 1993-09-22 | 1998-05-05 | Northrop Grumman Corporation | Micro-miniature ionizer for gas sensor applications and method of making micro-miniature ionizer |
| US5386115A (en) * | 1993-09-22 | 1995-01-31 | Westinghouse Electric Corporation | Solid state micro-machined mass spectrograph universal gas detection sensor |
| US6175120B1 (en) * | 1998-05-08 | 2001-01-16 | The Regents Of The University Of Michigan | High-resolution ionization detector and array of such detectors |
| US6281626B1 (en) * | 1998-03-24 | 2001-08-28 | Casio Computer Co., Ltd. | Cold emission electrode method of manufacturing the same and display device using the same |
-
1999
- 1999-04-22 FR FR9905089A patent/FR2792770A1/fr not_active Withdrawn
-
2000
- 2000-04-13 EP EP00401027A patent/EP1052668A1/fr not_active Withdrawn
- 2000-04-18 JP JP2000116161A patent/JP2000353492A/ja not_active Withdrawn
- 2000-04-18 US US09/551,563 patent/US6559442B1/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1520972A (fr) * | 1966-04-30 | 1968-04-12 | Beteiligungs & Patentverw Gmbh | Source d'ions à émission par champ |
| DE2212424A1 (de) * | 1971-03-25 | 1972-09-28 | Cambridge Scientific Instr Ltd | Elektronenkanone |
| US3786268A (en) * | 1971-04-12 | 1974-01-15 | Hitachi Ltd | Electron gun device of field emission type |
| US3786305A (en) * | 1972-05-15 | 1974-01-15 | Hitachi Ltd | Field emission electron gun |
| US3887835A (en) * | 1972-06-09 | 1975-06-03 | Hitachi Ltd | Field emission electron gun |
| JPS6454639A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 | Matsushita Electric Works Ltd | Field emission cathode |
| EP0601533A1 (fr) * | 1992-12-07 | 1994-06-15 | Ricoh Company, Ltd | Micro-dispositif à vide |
| JPH0765696A (ja) * | 1993-08-30 | 1995-03-10 | Canon Inc | 電子放出素子 |
| FR2714208A1 (fr) * | 1993-12-22 | 1995-06-23 | Mitsubishi Electric Corp | Cathode, canon à électrons comportant une telle cathode et tube à rayons cathodiques comportant un tel canon. |
| JPH09283065A (ja) * | 1996-04-16 | 1997-10-31 | Futaba Corp | 電界放出型表示素子およびその駆動方法 |
| EP0884762A1 (fr) * | 1997-06-13 | 1998-12-16 | Commissariat A L'energie Atomique | Spectromètre à deux moyens d'ionisation distincts et procédés de traitement des informations fournies par ce spectromètre |
Non-Patent Citations (4)
| Title |
|---|
| DAS J H ET AL: "MICROMACHINED FIELD EMISSION CATHODE WITH AN INTEGRATED HEATER", JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY: PART B, VOL. 13, NR. 6, PAGE(S) 2432 - 2435, ISSN: 0734-211X, XP000558316 * |
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 013, no. 259 (E - 773) 15 June 1989 (1989-06-15) * |
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 199, no. 506 31 July 1995 (1995-07-31) * |
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 199, no. 802 30 January 1998 (1998-01-30) * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6559442B1 (en) | 2003-05-06 |
| JP2000353492A (ja) | 2000-12-19 |
| EP1052668A1 (fr) | 2000-11-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100360993B1 (ko) | 전계방사형전자원및그제조방법 | |
| US7588955B2 (en) | Method for promoting light emission efficiency of LED using nanorods structure | |
| Ward et al. | Electron emission characteristics of GaN pyramid arrays grown via organometallic vapor phase epitaxy | |
| KR100387053B1 (ko) | 전자방출소자의 세정방법 | |
| IL256917A (en) | Source of electrons | |
| US11715615B2 (en) | Light modulated electron source | |
| JP2000100316A (ja) | 電界放射型電子源 | |
| JP3828933B2 (ja) | 多孔質シリコンを含む電界発光デバイス | |
| US20080284332A1 (en) | Gun chamber, charged particle beam apparatus and method of operating same | |
| JP2987140B2 (ja) | 電界放射型電子源およびその製造方法および平面発光装置およびディスプレイ装置および固体真空デバイス | |
| FR2792770A1 (fr) | Fonctionnement a haute pression d'une cathode froide a emission de champ | |
| JP2001068012A (ja) | 電界放射型電子源およびその製造方法 | |
| Cheng et al. | A compact X-ray generator using a nanostructured field emission cathode and a microstructured transmission anode | |
| EP0241362B1 (fr) | Dispositif et notamment duoplasmatron utilisable pour ioniser un gaz et procédé d'utilisation de ce dispositif | |
| TWI840615B (zh) | 光調變電子源、用於調變電子束之方法、及包含電子源之裝置 | |
| FR2714966A1 (fr) | Jauge à ionisation munie d'une cathode à micropointes. | |
| Porshyn et al. | Laser-initiated explosive electron emission from flat germanium crystals | |
| Mousa | Field emission from a new type of electron source | |
| EP0889501B1 (fr) | Cellule d'ionisation pour spectromètre de masse | |
| JPH0612973A (ja) | 熱電界放射陰極の操作方法 | |
| Bellau et al. | Activation of a multi-emitter silicon carbide pn junction cold cathode | |
| WO2015158717A1 (fr) | Cellule photo-thermo-voltaïque à générateur de plasma par résonance microonde |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| ST | Notification of lapse |